JP2005031663A - レーザ、特に短パルスレーザの直接結合のための配置 - Google Patents

レーザ、特に短パルスレーザの直接結合のための配置 Download PDF

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ランゲ ラルフ
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シェラー ローランド
Michael Goelles
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Joerg-Michael Funk
ミケール ファンク イエルグ
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Abstract

【課題】
顕微鏡ハウジングの外部に存在する、非線型に試料を励起するためのレーザ、それも特に短パルスレーザを、ハウジングから成る、つまりビームスプリッタを通じて顕微鏡光路内へ結合可能である調整レーザの組み込まれているハウジングから成るレーザ走査型顕微鏡（ＬＳＭ）の光路内へ直接結合するための配置
【解決手段】ハウジングがＬＳＭのスキャンモジュールＭＯ内へ出し入れ可能な形で組み込まれていて、ビームスプリッタＳＶが、直接結合レーザに対しては対物レンズＬ方向に高い透過性を示し、また他方調整レーザおよび直接結合レーザの重なり具合を調節するために、試料から戻ってきた調整レーザの戻り反射に対しては、部分透過性を示す。
【選択図】図１

Description

図１は、顕微鏡ハウジングの外部にあるレーザ、それも特にＮＩＲ短パルスレーザの自由ビーム結合のための本発明に基づく結合モジュールを示している。
当モジュールは、好ましくも差込可能な機械的ユニットＭＯを形成し、その機械的ユニットＭＯは、好ましくも可視領域に波長を持つ調整レーザＪＬの組み込まれたレーザ走査型顕微鏡において、サービスインターフェースの役割を果たすことができる。
調整レーザＪＬは、結合レンズＬ、固定コリメータＫＯ、ミラーＳ１およびビーム合成器ＳＶを通じて顕微鏡光路内へ導かれる。
直接結合レーザの結合は調整可能な直接結合レンズＬ１を通じて行われる。
まず最初に、結合モジュールは、調節可能なコリメータレンズＫＯ１の予備調整をする直接結合レーザの位置において、たとえばオートコリメーション望遠鏡の使用下で、たとえば外部レーザにより予備調整される。
続いて、内部調整レーザ、ミラーＳ１およびビーム合成器ＳＶ並びにコリメータＫＯ１が、調整レーザのビームとユニットＭＯの光軸とが同一線上になるように、互いに調整される。
これは、調整レーザが２方向に傾斜可能であれば、またはたとえばミラーＳ１がそうであれば実現可能である。
モジュールは遅くともこの時点で顕微鏡ハウジング内へ装入される。
たとえば望遠鏡、スキャナ、走査対物レンズなどの顕微鏡照明モジュールの後続素子は、調整レーザのビームに対し数珠繋ぎにすることができる。
続いて、たとえば近赤外領域で作動し、試料上または調整鏡上に弱々しく認められる直接結合レーザを直接的に結合させるが、これは調整レーザへの光線の重ね合わせによって合一化される。
その目的のために、対物レンズの下にはミラーが好適に設置され、調整レーザの戻り反射がビーム合成器ＳＶを通過する。
その場合、ビーム合成器ＳＶは好適に短パルスレーザをすべて透過させ、調整レーザに対しては、好ましくも５０％の部分透過性を有している。
これによって、調整レーザのビームと直接結合レーザのビームとを対物レンズの方向に同一線上に重ね合わせ、他方では試料平面内で反射した調整レーザの一部を直接結合ポートを通じて分岐させることが可能である。
調整レーザは顕微鏡ハウジングの外部で直接結合レーザと同一線上に重なり合う。直接結合レーザはいくつかの自由度を通じて、たとえば傾斜可能な転向鏡を通じて合一化される。つまり、さまざまな方向から来る光線が直接結合の前の単一または複数の観測点において、たとえば散乱板により、重複度の検査がなされて合一化されるのである。
ＬＳＭ光路全体の説明に関してはＤＥ １９７ ０２ ７５３ Ａ１を参照のこと。
本発明に基づく差込可能なモジュールは、図１のスキャンモジュールに使用される。また、直接結合レーザは直接外部から結合される。
ビーム結合のための結合モジュール
符号の説明
Ｌ 結合レンズ
ＫＯ 固定コリメータ
Ｓ１ ミラー
ＳＶ ビーム合成器
ＭＯ ユニット

Claims (5)

  1. 顕微鏡ハウジングの外部に存在する、非線型に試料を励起するためのレーザ、ビームスプリッタを通じて顕微鏡光路内へ結合可能である調整レーザの組み込まれているハウジングレーザ走査型顕微鏡（ＬＳＭ）の光路内へ直接結合するための配置。
  2. ハウジングがＬＳＭのスキャンモジュール内へ出し入れ可能な形で組み込まれている、請求項１に記載の配置。
  3. ビームスプリッタが、直接結合レーザに対しては対物レンズ方向に高い透過性を示し、また他方調整レーザおよび直接結合レーザの重なり具合を調節するために、試料から戻ってきた調整レーザの戻り反射に対しては、部分透過性を示す、請求項１または２に記載の配置。
  4. 直接結合レーザ用の直接結合レンズがハウジング内に設置されている、請求項１ないし３のうちの１項に記載の配置。
  5. 直接結合レーザ用の調整可能な結合光学系がハウジング内に設置されている、請求項１ないし４のうちの１項に記載の配置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE602006009166D1 (de) 2005-03-23 2009-10-29 Olympus Corp Abtastuntersuchungsgerät
DE102007045454B4 (de) 2007-09-24 2013-04-25 Hellma Materials Gmbh & Co. Kg Pulsstretcher mit variablen Verzögerungsstrecken

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0075860A3 (en) * 1981-09-24 1984-12-27 James Robert Morris Microsurgical laser
FR2513873B1 (fr) * 1981-10-02 1985-10-25 Essilor Int Appareil de chirurgie ophtalmologique a laser
US4638801A (en) * 1983-07-06 1987-01-27 Lasers For Medicine Laser ophthalmic surgical system
US6167173A (en) * 1997-01-27 2000-12-26 Carl Zeiss Jena Gmbh Laser scanning microscope
US7359116B2 (en) * 2001-10-16 2008-04-15 Hamilton Thome Biosciences, Inc. Microscope turret mounted laser EPI-illumination port
DE10229935B4 (de) * 2002-07-04 2018-02-08 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Mikroskopschieber zur Einkopplung von Licht in ein Mikroskop

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