JP2005025475A

JP2005025475A - Management value updating device, management updating system, production management system, management value updating method, management value updating program, computer readable storage medium storing it

Info

Publication number: JP2005025475A
Application number: JP2003189795A
Authority: JP
Inventors: Hajime Asano; 肇浅野; Koichi Kawada; 孝一川田
Original assignee: TOKYO SYSTEMS LABORATORIES Inc; Sharp Corp
Current assignee: TOKYO SYSTEMS LABORATORIES Inc; Sharp Corp
Priority date: 2003-07-01
Filing date: 2003-07-01
Publication date: 2005-01-27

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent the occurrence of a trouble for improving quality and yields. <P>SOLUTION: This management value updating device 10 arranged under a production management system 100 of a plant is provided with a management value computing part 13 communicatively connected to a process data collection device 141 collecting process data from the plant and to an examination result data collection device 152 collecting examination data from an examination device 202. On the basis of the process data, the computing part 13 updates a management value for applying a management schema to the process data toward the management value limit developing direction within a range giving a normal examination result data. In this way, a management limit value can be widened maximally based on the actual process data, and stop of the process can be minimized. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、工程能力測定により品質管理を行う製造管理システムに関し、さらに詳しくは、管理値を更新する管理値更新装置、管理値更新システム、製造管理システム、管理値更新方法、管理値更新プログラム、管理値更新プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ＬＣＤ（ｌｉｑｕｉｄｃｒｙｓｔａｌｄｉｓｐｌａｙ）製造工場をはじめ、ＰＤＰ（ｐｌａｓｍａｄｉｓｐｌａｙｐａｎｅｌ）製造工場、半導体製造工場では製品の品質や稼動効率を向上させるために自動化を目指し、近年の殆どの製造工場ではプロセスデータと検査結果データを製造管理システムに実績データとして格納し、品質管理システムに関しては主にＳＰＣ（ｓｔａｔｉｓｔｉｃｐｒｏｃｅｓｓｃｏｎｔｒｏｌ）機能として活用している。
【０００３】
統計的管理手法を応用したシステムとして、例えば下記の特許文献１があり、これは製造プロセス異常処置システムおよびその品質管理値更新方法を開示しており、統計的管理手法より得られる管理幅を外れた場合、または管理値に対して所定の傾向を有する場合にアラーム管理や流動制御装置等と連動して、該当ロットの流動に対するアラームを発生、もしくは停止させる手段を持ち、品質管理値の更新方法としては測定データを前回管理値と比較して特定条件を満たす場合に管理を厳しくする側のみに自動更新する方法を示している。
【０００４】
本願発明に関連する先行技術文献としては、次の特許文献１がある。特許文献１には、あらかじめトラブル発生を予防する処置がとれる製造プロセス品質異常処置システムおよびその品質管理値更新方法が記載されている。具体的には、プロセスデータ収集装置で収集された各プロセスデータは収集データチェック装置によって、製品仕様値から決められた管理値、および管理上限値、管理下限値と比較され、管理幅内に収まっているか判定される。と同時にサンプリングによって平均値、バラツキを算出して、これら収集データの動向を調べて、その求めた値に応じて管理値自動更新装置によって厳しい側に管理幅を自動的に再設定する。これにより、管理幅を越えたり所定の条件から外れる場合、アラームを発したり、ロットを自動停止させる。管理値が実績データに合わせて厳しくされるので、より品質向上が実現する。また見落としで異常が発生するのを未然に防ぐことができ、無駄なロットを発生させてしまうこともないとされている。
【０００５】
【特許文献１】
特開平８−２０２７７５号公報（公開日：平成８年（１９９６）８月９日）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の方法では、測定データから平均値とバラツキを算出し管理値を更新する際に前回管理値と比較しているのみであり、管理値の更新の際はより厳しい方向への更新であるため、製造装置が非常に安定動作した期間以降では検査結果の良・不良の別にかかわらずアラームを発生し、流動制御にも影響を与えることになる。
【０００７】
そして、管理限界値が狭まった場合、異常傾向が検出される以前に限界値を超える場合があり、異常傾向を見て製造装置に警告を出す機能が充分に作用しないことも考えられる。
【０００８】
なお、特許文献１に限らず、現状のＳＰＣ機能においては、バラツキの所定倍値によるか、装置メーカの提供する限界値により管理限界値が設定されており、測定対象となった装置の安定性だけを問題としている。装置が安定していれば品質の向上が望めるのは確かであるが、品質を維持可能な範囲内で装置の不安定さを認めることで、品質と共に歩留まりを向上する方向で管理値を更新し利用するに至っておらず、現状は製造装置に安定稼動を求めるに止まっている。
【０００９】
本発明は、上記の問題点を解決するためになされたもので、その目的は、トラブル発生を予防し、品質と共に歩留まりを向上させることができる管理値更新装置、管理値更新システム、製造管理システム、管理値更新方法を提供することにある。また、本発明の目的には、上記管理値更新システムを実現する管理値更新プログラム、およびそれを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体を提供することも含まれる。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、本発明の管理値更新装置は、製造装置と該製造装置で製造された製造物を検査する検査装置とを含む製造ラインを制御する製造管理システムの下に設けられた管理値更新装置であって、製造装置からプロセスデータを収集するプロセスデータ収集装置および検査装置から検査結果データを収集する検査結果データ収集装置と通信可能に接続されるとともに、上記プロセスデータに管理図を適用するための管理値を、上記プロセスデータに基づいて、上記検査結果データが正常である範囲内で管理値の限界を広げる方向に更新する管理値演算手段を備えたことを特徴としている。
【００１１】
また、本発明の管理値更新方法は、製造装置と該製造装置で製造された製造物を検査する検査装置とを含む製造ラインを制御する製造管理システムの下に設けられた管理値更新システムによる管理値更新方法であって、製造装置からプロセスデータを収集するプロセスデータ収集ステップと、検査装置から検査結果データを収集する検査結果データ収集ステップと、上記プロセスデータに管理図を適用するための管理値を、上記プロセスデータに基づいて、上記検査結果データが正常である範囲内で管理値の限界を広げる方向に更新する管理値演算ステップと、を含むことを特徴としている。
【００１２】
上記の構成および方法により、管理値更新装置あるいは管理値更新システムでは、プロセスデータに基づいて、検査結果データが正常である範囲内で管理値の限界を広げる方向に管理値を更新する。すなわち、管理値（プロセス値）を更新する際、プロセスデータだけでなく、検査結果データを反映させることができる。なお、管理値の更新は、管理値更新装置あるいは管理値更新システムが自動的に行ってもよいし、操作者の指示に応じて行ってもよい。
【００１３】
よって、実際のプロセスデータおよび検査結果データに基づいて、管理限界値を最大限に広げるように順次更新するため、製品仕様に適合するとともに、製造工場における製造上の特性を反映した管理値の真の限界値を得ることができる。
【００１４】
したがって、管理値に基づきプロセスデータの異常を検知する頻度を極小化できる。よって、アラーム発生や製造ラインの停止を最小限に抑制できる。それゆえ、品質を維持したまま製造工場の稼働率を向上させることができる。この点、従来は必要以上に厳しい管理値が設定していたため、本来不必要なアラームや停止が発生していた。
【００１５】
また、製造装置を停止させる間隔が長くなるため、装置間のバラツキをより長期に監視でき、適切な保守時期を設定することが可能となるため、歩留まり向上を実現できる。その結果、従来製造装置の安定稼動のために余裕を見込んで行っていた過剰な保守整備や点検が不要となる。
【００１６】
また、検査結果に影響しない、すなわち品質維持にあまり関係しない製造装置の管理限界値は増加するが、装置間のバラツキが欠陥数等の検査結果データに対応する製造装置の管理限界値は増加しない。よって、製造装置や工程ごとに品質管理や歩留まり管理に重要な要因を持つか否かが判断できるため、監視を強化するべき製造装置や工程を特定することが可能となる。それゆえ、品質および歩留まりの向上を実現できる。
【００１７】
さらに、本発明の管理値更新装置は、管理単位ごとに上記プロセスデータを上記管理値と比較してプロセスデータが正常であるか否かを判定するプロセスデータ判定手段と、当該管理単位ごとに上記検査結果データを所定のしきい値と比較して検査結果データが正常であるか否かを判定する検査結果データ判定手段と、を備えるとともに、上記管理値演算手段が、同一の管理単位に対して、上記プロセスデータ判定手段が異常と判定し、かつ、上記検査結果データ判定手段が正常と判定した場合に、該当するプロセスデータを正常と判定する新しい管理値を演算するものであることを特徴としている。
【００１８】
上記の構成により、さらに、管理単位（例えばロット）ごとに、プロセスデータおよび検査結果データをそれぞれ判定する。よって、プロセスデータの判定結果と、検査結果データの判定結果とを、管理単位ごとに照合できる。それゆえ、検査結果データが正常と判定された管理単位のプロセスデータを特定することが可能となる。
【００１９】
したがって、同一の管理単位に対して、プロセスデータは異常と判定されたが、検査結果データは正常と判定された場合に、該当するプロセスデータを正常と判定するように新しい管理値を演算することができる。それゆえ、プロセスデータに基づいて、検査結果データが正常である範囲内で管理値の限界を広げる方向に更新することができる。
【００２０】
さらに、本発明の管理値更新装置は、上記管理値を更新ごとに追加して記憶する管理値記憶手段を備えるとともに、上記管理値演算手段が、上記検査結果データ判定手段が異常と判定する頻度が所定の基準を超えた場合に、上記管理値記憶手段から過去の管理値を取得して、当該過去の管理値により管理値を更新するものであることを特徴としている。
【００２１】
上記の構成により、さらに、例えば、新しい管理値に変更した結果、検査結果の異常が頻発した場合、検査結果が正常となる過去の管理値（例えば、初期値や前回設定値）へ復帰させることができる。なお、管理値の復帰は、管理値更新システムが自動的に行ってもよいし、操作者の指示に応じて行ってもよい。
【００２２】
また、本発明の管理値更新システムは、上記の管理値更新装置を含み、かつ、上記プロセスデータを上記管理値とともに示した管理図と、上記検査結果データ判定手段による判定結果とを、管理単位ごとに対応付けて表示する相関図表示手段を備えたユーザインターフェイス装置を含むことを特徴としている。
【００２３】
さらに、本発明の管理値更新方法は、上記プロセスデータを上記管理値とともに示した管理図と、上記検査結果データ判定手段による判定結果とを、管理単位ごとに対応付けて表示する相関図表示ステップを含むことを特徴としている。
【００２４】
上記の構成および方法により、さらに、プロセスデータと検査結果データとを管理単位ごとに対応付けて相関図として一覧表示する。なお、相関図に含めるプロセスデータおよび検査結果データはそれぞれ複数でもよい。
【００２５】
よって、管理値更新システムの操作者は、製造装置のプロセスデータの変化が検査結果に与える影響を視認できる。特に、検査結果に特に影響のある製造装置あるいは製造工程を特定することが可能となる。したがって、管理値を演算するための条件である、製造装置、検査装置、測定期間、プロセスデータの測定項目、検査結果データの検査項目等の設定が容易となる。
【００２６】
また、本発明の製造管理システムは、上記の管理値更新装置を備え、かつ、上記管理値更新装置で更新された管理値を用いて製造装置を制御するプロセス管理装置を備えることを特徴としている。
【００２７】
上記の構成により、例えば、製造装置からリアルタイムで送信されるプロセスデータが管理上限値を超えた時、製造装置を停止させたり、担当の操作者へ警報を発するなどのアクションを行うことができる。
【００２８】
また、本発明の管理値更新プログラムは、コンピュータを上記管理値更新装置の各手段として機能させるコンピュータ・プログラムである。
【００２９】
上記の構成により、コンピュータで上記管理値更新装置の各手段を実現することによって、上記管理値更新装置を実現することができる。
【００３０】
また、本発明の管理値更新プログラムは、コンピュータを上記ユーザインターフェイス装置の相関図表示手段として機能させるコンピュータ・プログラムである。
【００３１】
上記の構成により、コンピュータで上記ユーザインターフェイス装置の相関図表示手段を実現することによって、上記ユーザインターフェイス装置を実現することができる。
【００３２】
また、本発明の管理値更新プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体は、上記の各手段をコンピュータに実現させて、上記管理値更新システムを構成する管理値更新装置およびユーザインターフェイス装置を動作させる管理値更新プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体である。
【００３３】
上記の構成により、上記記録媒体から読み出された管理値更新プログラムによって、上記管理値更新システムをコンピュータ上に実現することができる。
【００３４】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施の形態について図１から図１０に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、本実施の形態では、一般的なＬＣＤ製造工場に適用した製造管理システム１００を一例として説明するが、本発明は他の分野においても適用可能である。
【００３５】
図１は、本実施の形態に係る管理値更新システム１６０の構成を示す機能ブロック図である。図１に示すように、管理値更新システム１６０は、上位システムである製造管理システム１００の下に設けられる。製造管理システム１００は、製造ライン２００を制御する。この製造ライン２００は、製造装置２０１と、製造装置２０１で製造された製造物を検査する検査装置２０２とを少なくとも１組含んでいる。そして、製造管理システム１００は、管理値更新システム１６０の他、生産管理システム１１０、進捗管理システム１２０、物流管理システム１３０、製造装置管理システム１４０、検査装置管理システム１５０を備えて構成されている。ただし、生産管理システム１１０、進捗管理システム１２０、物流管理システム１３０、製造装置管理システム１４０、検査装置管理システム１５０については、基本的に従来と同様の構成および機能を備えているため、詳細な説明は省略する。
【００３６】
生産管理システム１１０は、プロセス管理装置３０を備えている。プロセス管理装置３０は、プロセスデータ収集装置１４１からプロセスデータを取得し、管理値更新装置１０で更新された管理値を用いてプロセスを管理する。具体的には、プロセス管理装置３０は、管理値更新システム１６０で更新された管理値を用いて製造装置２０１を制御する。そして、プロセス管理装置３０は、プロセスデータが管理値に対して異常であることを検知した場合、所定のアクションを実行する。具体的には、プロセス管理装置３０は、異常検知時のアクションとして、例えば、プロセス停止部３１により該当する製造装置２０１を進捗管理システム１２０を介して停止させるか、あるいは、警報発生部３２により担当の操作者に対して警報を発する。
【００３７】
製造装置管理システム１４０は、プロセスデータ収集装置１４１およびプロセスデータ記憶装置１４２を備えて構成されている。なお、製造装置管理システム１４０は、製造装置２０１、管理値更新システム１６０、進捗管理システム１２０との通信インターフェイス（図示せず）を備えている。
【００３８】
プロセスデータ収集装置１４１は、製造工場内のすべての製造装置２０１に対して設けられており、製造装置２０１からプロセスデータ（装置の内部状態、処理結果を示す）を収集して、管理する。また、プロセスデータ記憶装置１４２は、過去のプロセスデータ（例えば数十件分）をロットごとに保持する。プロセスデータ収集装置１４１は、管理値更新装置１０からプロセスデータの要求を受けると、指定された条件に該当するプロセスデータをプロセスデータ記憶装置１４２から取得して管理値更新装置１０へ送信する。
【００３９】
検査装置管理システム１５０は、検査結果データ収集装置１５１および検査結果データ記憶装置１５２を備えて構成されている。なお、検査装置管理システム１５０は、検査装置２０２、管理値更新システム１６０、進捗管理システム１２０との通信インターフェイス（図示せず）を備えている。
【００４０】
検査結果データ収集装置１５１は、製造工場内のすべての検査装置２０２に対して設けられており、検査装置２０２から検査結果データを収集して、管理する。また、検査結果データ記憶装置１５２は、過去の検査結果データ（例えば数十件分）をロットごとに保持する。検査結果データ収集装置１５１は、管理値更新装置１０から検査結果データの要求を受けると、指定された条件に該当する検査結果データを検査結果データ記憶装置１５２から取得して管理値更新装置１０へ送信する。
【００４１】
なお、製造装置管理システム１４０からは、製造装置２０１を制御するための制御データ（製造条件等を示すレシピデータ）を送信する。同様に、検査装置管理システム１５０からは、検査装置２０２を制御するための制御データを送信する。これらの制御データの送信、すなわち、製造装置管理システム１４０および検査装置管理システム１５０による製造装置２０１および検査装置２０２の制御は、進捗管理システム１２０および生産管理システム１１０の制御に従って行われる。
【００４２】
図１に示すように、管理値更新システム１６０は、製造ライン２００を制御する製造管理システム１００の下に設けられ、管理値更新装置１０および条件設定装置（ユーザインターフェイス装置）２０を備えて構成されている。
【００４３】
管理値更新装置１０は、プロセスデータ判定部（プロセスデータ判定手段）１１、検査結果データ判定部（検査結果データ判定手段）１２、管理値演算部（管理値演算手段）１３、管理値記憶部（管理値記憶手段）１４を備えて構成されている。なお、管理値更新装置１０は、製造装置管理システム１４０および検査装置管理システム１５０との通信インターフェイスを備えている。また、管理値更新装置１０は、条件設定装置２０との通信インターフェイスを備えている。すなわち、管理値更新装置１０は、プロセスデータ収集装置１４１および検査結果データ収集装置１５１と通信可能に接続されている。
【００４４】
プロセスデータ判定部１１は、プロセスデータ収集装置１４１を介して取得した製造装置２０１のプロセスデータに対して、管理図の手法による判定を行う。すなわち、プロセスデータ判定部１１は、ロット（管理単位）ごとにプロセスデータを管理値と比較してプロセスデータが正常であるか否かを判定する。そして、判定結果を管理値演算部１３へ通知する。なお、判定に使用する管理値は、管理値演算部１３より入力される。また、生産管理システム１１０のプロセス管理装置３０も同様に管理図を用いた判定を行う。
【００４５】
検査結果データ判定部１２は、検査結果データ収集装置１５１を介して取得した検査装置２０２の検査結果データが正常か否かを判定する。すなわち、検査結果データ判定部１２は、ロットごとに検査結果データを所定のしきい値と比較して検査結果データが正常であるか否かを判定する。そして、判定結果を管理値演算部１３へ通知する。なお、判定のしきい値は、例えば良品率であり、条件設定装置２０より入力される。
【００４６】
管理値演算部１３は、管理値の演算に必要な件数分の過去のプロセスデータおよび検査結果データをプロセスデータ収集装置１４１および検査結果データ収集装置１５１から取得し、新しい管理値を演算する。管理値演算部１３は、管理値の演算を製造装置２０１ごと行うことができる。なお、管理値演算部１３は、演算の間、プロセスデータおよび検査結果データを保持する記憶部（図示せず）を備えている。なお、プロセスデータ記憶装置１４２および検査結果データ記憶装置１５２を、管理値更新装置１０に設けてもよい。
【００４７】
そして、管理値演算部１３は、更新した新しい管理値を生産管理システム１１０へ送信する。また、管理値演算部１３は、更新した新しい管理値を条件設定装置２０へ送信し、操作者に提示させる。また、管理値演算部１３は、更新した新しい管理値を管理値記憶部１４に格納する。
【００４８】
ここで、管理値演算部１３は、プロセスデータに管理図を適用するための管理値を、プロセスデータに基づいて、検査結果データが正常である範囲内で管理値の限界を広げる方向に更新する。すなわち、管理値演算部１３は、指定された測定期間のプロセスデータおよび検査結果データに基づき、検査結果データが正常と判定されている限り最高値を保持するように、例えば管理値の幅を広げる方向で自動的に管理値を更新する。なお、管理値の演算方法の詳細については後述する。
【００４９】
また、管理値演算部１３は、検査結果データ判定部１２が異常と判定する頻度が所定の基準を超えた場合、例えば３ロット連続して異常と判定された場合、管理値記憶部１４から過去の管理値を取得して、当該過去の管理値により管理値を更新する。よって、新しい管理値に変更した結果、検査結果の異常が頻発した場合、検査結果が正常となる過去の管理値（例えば、初期値や前回設定値）へ自動的に復帰させることができる。
【００５０】
管理値記憶部１４は、管理値演算部１３が演算した管理値を設定順に格納して履歴を管理する。すなわち、管理値記憶部１４は、管理値を更新ごとに追加して記憶する。
【００５１】
よって、上記管理値更新装置１０によれば、管理値が、製造装置２０１のメーカの示す画一的な値ではなく、各工場の製造上の特性や製造工程で得られた実績データに基づく真の限界値に近づくように順次更新される。したがって、製造品の品質向上を実現できる。また、管理幅を広げる方向で設定することで、その間でのバラツキ動向をより長期に監視できるので、適切な保守時期を設定でき、歩留まり向上を実現できる。
【００５２】
条件設定装置２０は、管理値更新装置１０が更新する管理値を用いた管理図を表示するとともに、管理値更新装置１０に設定する条件を操作者に入力させるユーザインターフェイスを提供する。なお、条件設定装置２０は、製造装置２０１や検査装置２０２の近くで操作者が監視・操作できるように、製造ラインの適所に１台の管理値更新装置１０に対して複数台設けてもよい。
【００５３】
図１に示すように、条件設定装置２０は、ＧＵＩ（ＧｒａｐｈｉｃａｌＵｓｅｒＩｎｔｅｒｆａｃｅ）部（相関図表示手段）２１、表示画面生成部（相関図表示手段）２２、条件設定部２３を備えて構成されている。
【００５４】
ＧＵＩ部２１は、ボタンやメニューなどのグラフィックスの部品を使って設計されたユーザインターフェイスを操作者に提供する。具体的には、ＧＵＩ部２１は、ＬＣＤ等の表示装置、マウスやキーボードあるいはタッチパネル等の入力装置により構成されている。
【００５５】
表示画面生成部２２は、プロセスデータを管理値とともに示した管理図（例えば、図２のグラフｇ２）と、検査結果データ判定部１２による判定結果（例えば、図２のグラフｇ１）とを、管理単位ごとに対応付けて表示する画面を生成して、ＧＵＩ部２１に表示する。具体的には、表示画面生成部２２は、管理値更新装置１０よりプロセスデータ、管理値、検査結果データを取得し、条件として設定された測定期間、検査結果データの検査項目、およびプロセスデータの測定項目について、製造装置２０１のプロセスデータの管理図と検査装置２０２の検査結果データとの相関関係図を作成する。なお、相関関係図を作成するための条件である、製造装置、検査装置、測定期間、検査結果データの検査項目、およびプロセスデータの測定項目は、条件設定部２３によって設定される。
【００５６】
また、表示画面生成部２２は、上記管理図とともに、上記条件である、製造装置、検査装置、測定期間、検査結果データの検査項目、およびプロセスデータの測定項目を操作者が指定するための選択リストやテキストボックス等や、管理値の更新を操作者が指示するためのボタンｂ１〜ｂ３を表示する画面を生成する。
【００５７】
条件設定部２３は、管理対象となる製造装置２０１とプロセスデータの測定項目、および検査装置２０２、管理対象とする製品、測定期間等の条件をＧＵＩ部２１から取得して、管理値更新装置１０に送信する。
【００５８】
よって、上記条件設定装置２０によれば、検査結果データと複数の製造装置２０１のプロセスデータを一覧できる。したがって、操作者は、製造装置２０１のプロセスデータの変化が検査結果に与える影響を視認できる。特に、検査結果に特に影響のある製造工程または製造装置２０１を特定することが可能となる。
【００５９】
つづいて、図２から図６を参照しながら、管理値演算部１３における管理値の演算方法について説明する。図２から図６は、管理値演算部１３における管理値の更新方法を示す説明図である。詳細には、図２は相関図の具体例であり、グラフｇ１は検査結果データである良品率、グラフｇ２およびグラフｇ３は２５ロット分の管理図、グラフｇ４およびグラフｇ５は１０ロット分の管理図をそれぞれ示す。図３および図４は、プロセスデータおよび管理値の具体例である。図５は、管理図係数表の具体例である。図６は検査結果データの具体例である。
【００６０】
管理図は、図２のグラフｇ２に示すように、中心線（ＣＬ）と上下一対の管理限界線が引かれており、上の方の限界線を上方管理限界線（ＵＣＬ）、下の方の限界線を下方管理限界線（ＬＣＬ）という。なお、通常、管理限界線の幅は、（平均値）±３×（標準偏差）つまり、３シグマ法の幅に設定される。
【００６１】
Ｘｂａｒ管理図（図２のグラフｇ３，ｇ５）では、中心線（ＣＬ）は各ロットの平均値（Ｘ）の平均値であり、上方管理限界線（ＵＣＬ）および下方管理限界線（ＬＣＬ）は次のように表される。Ｘｂａｒ管理図によって工程平均が管理できる。
【００６２】
ＵＣＬ＝ＣＬ＋Ａ２＊Ｒｂａｒ
ＬＣＬ＝ＣＬ−Ａ２＊Ｒｂａｒ
また、Ｒ管理図（図２のグラフｇ２，ｇ４）では、中心線（ＣＬ）は各ロットの範囲（Ｒ）の平均値であり、上方管理限界線（ＵＣＬ）および下方管理限界線（ＬＣＬ）は次のように表される。Ｒ管理図によってバラツキが管理できる。
【００６３】
ＵＣＬ＝Ｄ４＊Ｒｂａｒ
ＬＣＬ＝Ｄ３＊Ｒｂａｒ
なお、Ｘｂａｒはロットの平均値、Ｒは最小値と最大値の幅を示す。また、Ａ２、Ｄ４、Ｄ３は、ロットの大きさ（１群に含まれるデータ数）によって決まる定数である（図５）。また、図２から図６に示す例では、１ロットに８枚の基板が含まれるものとする。よって、測定結果をロット単位、すなわち、基板８枚分のデータ群として扱う。
【００６４】
図３に示すように、ロット００１からロット０１０までのＲ管理図の上方管理限界値ＵＣＬは１６．１である。よって、図２のグラフｇ４に示すように、上方管理限界値ＵＣＬは１６．１に表示される。
【００６５】
次に、図４に示すように、ロット０１３のＲの値は１６．３であり、ロット００１からロット０１０までで算出した上方管理限界値ＵＣＬを超えている。よって、このときプロセスデータ判定部１１は異常と判定する。なお、生産管理システム１１０のプロセス管理装置３０も同様に異常と判定する。しかし、このロット０１３の良品率は９９．３％であり、操作者が指定した検査装置２０２の基準良品率９９％を上回っている（図６）。この状態が図２のグラフｇ１に示されている。
【００６６】
そこで、管理値演算部１３は、当該プロセスデータを含めて、中心線（ＣＬ）、上方管理限界値（ＵＣＬ）、下方管理限界値（ＬＣＬ）を再演算する。この状態が図２のグラフｇ２に示されている。
【００６７】
なお、以上ではＲ管理図について説明したが、Ｘｂａｒ管理図についても同様である。
【００６８】
次に、管理値演算部１３は、プロセスデータ（Ｒ管理図の場合はＲの値）が上方管理限界値ＵＣＬを超えた場合には、例えば次のようにして新しい管理値を決定する。なお、下方管理限界値ＬＣＬを下回った場合についても同様である。（１）当該プロセスデータを含めて再演算した上方管理限界値（ＵＣＬ）を新しい上方管理限界値ＵＣＬとする。（２）新しい上方管理限界値ＵＣＬと同様に、当該プロセスデータを含めて再演算した下方管理限界値（ＬＣＬ）を新しい下方管理限界値ＬＣＬとする。すなわち、管理幅を上方および下方へ広げる。
【００６９】
また、製造装置２０１からのプロセスデータが先に報告されるため、対応する検査結果データがない場合には、過去のデータに基づく３σを管理値とする。なお、管理値の初期値としては他に、（１）製造装置のメーカが管理値として示した値、（２）管理幅が十分に狭い適当な値、などが設定できる。ただし、いずれの初期値から出発しても、上記のような更新を行うため、ある程度安定した管理値へは短時間に達することができる。
【００７０】
また、管理値演算部１３によれば、管理値は検査結果が正常である限り、管理幅が広がる方向のみに変更される。よって、検査結果に影響しないプロセスデータでは際限なく変更されることが考えられる。その場合、変更可能な限界値（上方管理限界値ＵＣＬであれば上限値）を決めておくことができる。この限界値としては、例えば、当初のσを用いて４σや６σに設定してもよい。
【００７１】
また、管理値演算部１３は、更新後の管理値では検査結果の異常が頻発した場合、検査結果が正常であった過去の管理値（例えば、初期値や前回設定値）へ復帰させる。なお、管理値の復帰は、管理値演算部１３が自動的に行ってもよいし、後述のように操作者の指示に応じて行ってもよい。
【００７２】
このように、管理値更新装置１０では、たとえ見逃せない異常原因により管理限界値の超過が見られたとしても、その検査結果が正常と判断されるなら、管理限界値を超えたロットのデータを偶然原因によるバラツキ範囲内のデータとして扱い、そのデータを管理値域内に含むように新たに中心線、上方管理限界値、下方管理限界値の演算を行う。
【００７３】
なお、管理値更新装置１０は、複数の検査装置２０２が指定された場合、すべての検査結果が正常を示す場合のみ、管理限界値を超えたロットのデータを偶然原因によるバラツキ範囲内のデータとして扱う。
【００７４】
図９は、条件設定装置２０の表示画面例（表示画面ｗ１）である。なお、演算開始ボタンｂ１、前回設定値復帰ボタンｂ２、初期値復帰ボタンｂ３については後述する。
【００７５】
条件設定装置２０は、ＧＵＩ部２１により操作者から、測定期間、複数の製造装置２０１と各製造装置２０１に対応したプロセスデータ項目、複数の検査装置２０２と各検査装置２０２に対応した検査結果項目、および製品種類の指定を受け付ける。そして、ＧＵＩ部２１に入力された各条件は条件設定部２３が管理値更新装置１０へ送信する。
【００７６】
また、条件設定装置２０は、プロセスデータと検査結果の相関関係を視認し易い表示形式でグラフ表示する。具体的には、グラフは製造装置２０１あるいは検査装置２０２の装置単位で縦方向に並べられ、横軸がロット単位となっている。よって、横軸の同一位置に縦方向に同一ロットのデータが配置される。グラフ表示の縦軸の単位は測定対象となった収集データの単位に従う。
【００７７】
ＧＵＩ部２１では、相関関係を見る製造装置２０１と検査装置２０２の組合せは、操作者の要求に応じて任意に選択可能である。装置の選択の際、一台の装置を基底装置として指定する。基底装置を設定するのは、横軸を構成するロットを特定するためである。基底装置として指定された装置を、例えば図９では画面の最上段に表示し、その他の装置の処理結果・検査結果を順次下方に表示する。もちろん、基底装置と同一ロットについてのデータを表示する。
【００７８】
表示画面ｗ１では、プロセスデータに基づいて生成されたＸｂａｒ−Ｒ管理図（平均値Ｘｂａｒの管理図と範囲Ｒの管理図とを組み合わせて１枚の図にまとめた管理図）が中下段に、検査結果データである良品率や欠陥数等をプロットしたグラフが上段にそれぞれ表示されている。
【００７９】
なお、検査結果データを線幅とすると、検査装置は線幅測定装置、製造装置とそのプロセスデータは、例えば露光装置と露光時間、化学的膜形成装置とガス圧力・ガス濃度となる。また、検査結果データを膜厚とすると、検査装置は膜厚測定装置、製造装置とそのプロセスデータは、例えば薄膜形成装置と反応室圧力・温度・処理時間となる。
【００８０】
表示画面ｗ１では、検査結果データの判断基準となるしきい値が指定可能である。例えば、良品率１００％を正常とするか、良品率９８％以上を正常とするかは操作者の設定したしきい値（基準良品率）に従う。
【００８１】
また、例えば、検査装置を膜厚測定装置、検査項目を膜厚良品率、製造装置を薄膜形成装置、測定項目を反応室圧力の最大値と最小値の幅、測定期間をロット００１〜０２５とすると、図２のグラフｇ１，ｇ２が表示される相関図に相当する。
【００８２】
表示画面生成部２２は、上記管理図とともに、上記のような、製造装置、検査装置、測定期間、検査結果データの検査項目、およびプロセスデータの測定項目を操作者が指定するための選択リストやテキストボックス等や、管理値の更新を操作者が指示するためのボタンｂ１〜ｂ３を表示する画面を生成する。
【００８３】
ここで、図７を参照しながら、管理値更新システム１６０における管理値（中心線、上方管理限界、下方管理限界）の基本的な更新ロジックについて説明する。
【００８４】
まず、プロセスデータ判定部１１が、プロセスデータ収集装置１４１より製造装置２０１のプロセスデータを取得し（プロセスデータ収集ステップ）、そのプロセスデータが管理限界値（上方管理限界および下方管理限界）を超えているか否かを判定する（Ｓ１１）。プロセスデータ判定部１１の判定の結果、プロセスデータが管理限界値を超えていなければ（Ｓ１１でＮＯ）、管理値演算部１３が、中心線（ＣＬ）、上方管理限界（ＵＣＬ）、および下方管理限界（ＬＣＬ）を再計算して管理値を更新する（Ｓ１２）。
【００８５】
一方、プロセスデータ判定部１１の判定の結果、プロセスデータが管理限界値を超えていれば（Ｓ１１でＹＥＳ）、検査装置２０２による当該ロットに対する検査結果が出ているかを判定する（Ｓ１３）。さらに、検査結果が出ていれば（Ｓ１３でＹＥＳ）、検査結果データ判定部１２が、検査結果データ収集装置１５１より上記プロセスデータと同一ロットに対する検査装置２０２による検査結果データを取得し（検査結果データ収集ステップ）、その検査結果データが正常か否かを判定する（Ｓ１４）。
【００８６】
そして、検査結果データが正常であれば（Ｓ１４でＹＥＳ）、中心線、上方管理限界、および下方管理限界を再計算して管理値を更新する（Ｓ１５（管理値演算ステップ））。このとき、管理限界値があらかじめ決められた上限値を超えない範囲で更新するものとし、上限値を超える場合には、上限値を管理限界値とする。
【００８７】
一方、検査結果が出ていない場合（Ｓ１３でＮＯ）、あるいは、検査結果データが異常の場合（Ｓ１４でＮＯ）、管理値演算部１３は管理値を更新しない（Ｓ１６）。
【００８８】
そして、ステップＳ１２およびＳ１５において更新された管理値、プロセスデータ、検査結果データを条件設定装置２０へ送信し、ＧＵＩ部２１に相関図を表示する（相関図表示ステップ）。
【００８９】
つづいて、図８を参照しながら、図７に示した管理値の基本更新ロジックに、管理値を自動復帰させる処理を追加した場合について説明する。この場合は、以下のステップが追加される。
プロセスデータが管理限界値を超えており（Ｓ１１でＹＥＳ）、検査結果が出ていて（Ｓ１３でＹＥＳ）、その検査結果データが異常の場合（Ｓ１４でＮＯ）、検査結果データの異常が連続して発生したか否かを判定する（Ｓ２１）。そして、検査結果データの異常が連続して発生した場合（Ｓ２１でＹＥＳ）、管理値演算部１３が前回の管理値を管理値記憶部１４から読み出し、前回の管理値によって更新する（Ｓ２２）。一方、検査結果データの異常が連続して発生していない場合（Ｓ２１でＮＯ）、管理値演算部１３は管理値を更新しない（Ｓ２３）。
【００９０】
また、管理値更新システム１６０では、操作者が管理値のための演算を手動で指示することもできる。
【００９１】
操作者が表示画面ｗ１（図９）にある演算開始ボタンｂ１を押下すると、それをトリガとして管理値演算部１３が管理の演算を実行する。演算結果は中心線（ＣＬ）、上方管理限界（ＵＣＬ）、および下方管理限界（ＬＣＬ）として表示される。なお、グラフ表示も更新するが、新たに演算開始ボタンｂ１が押下されるまでは、前回値を保持・表示する。
【００９２】
ここで、管理値更新システム１６０では、検査装置２０２からの検査結果データと、製造装置２０１からのプロセスデータとの相関をとる。それゆえ、対象となる装置の性能や動作状態に影響を受けやすく、対象装置が何らかの異常状態にある場合の検査結果データに基づいて、中心線、上方管理限界、下方管理限界の演算が行われるのは避けるべきである。そのため、管理値更新装置１０は、演算のトリガを操作者による演算開始ボタンｂ１の押下としている。操作者は、対象装置の安定状態を確認の上で演算開始ボタンｂ１の押下を行う。なお、誤操作を解消するために再計算を行う場合は、測定期間を対象装置が安定稼動していた期間に設定後、演算開始ボタンｂ１を押下する。
【００９３】
また、操作者が前回設定値復帰ボタンｂ２を押下すると、管理値演算部１３は管理値を前回の設定値に戻す。これにより、操作者が、管理値が不適切であると判断した場合、いつでも前回の設定値に戻すことができる。ここで、前回の設定値は装置単位で保持可能である。
【００９４】
また、操作者が初期値復帰ボタンｂ３を押下すると、管理値演算部１３は管理値を初期設定値に戻す。これにより、操作者が、管理値が不適切であると判断した場合、いつでも初期設定値に戻すことができる。ここで、初期設定値は装置単位で保持可能である。また、初期設定値は別画面（図示せず）にて登録・編集が可能である。また、前回の設定値などの過去の設定値を基に編集した設定値を初期設定値として登録することも可能である。
【００９５】
図１０は、上記管理値更新システム１６０を一般的なＬＣＤ製造工場に適用した場合の説明図である。
【００９６】
これまで、薄膜形成装置および膜厚測定装置が製造装置２０１および検査装置２０２にそれぞれ対応する場合（図１）、すなわち、製造工程とその直後の検査工程との間において、プロセスデータと検査結果データとのロットごとの相関関係を照合して管理値を更新する場合について説明した。これは、図１０において、ＴＦＴ製造工程の薄膜形成装置（製造装置２０１Ａ）および膜厚測定装置（検査装置２０２Ａ）からプロセスデータ収集装置１４１Ａおよび検査結果データ収集装置１５１Ａを介してプロセスデータおよび検査結果データを取得し、それらの相関関係を照合して薄膜形成装置に対する管理値を更新する管理値更新システム１６０Ａに相当する。
【００９７】
しかし、管理値更新システム１６０がプロセスデータと検査結果データとの相関関係を照合する製造装置２０１および検査装置２０２は、検査項目および測定項目に応じて適宜選択できる。例えば、図１０に管理値更新システム１６０Ｂとして示すように、配向膜形成工程のフォト装置、薄膜形成装置、エッチング装置、塗布装置、液晶注入・封止工程の真空チャンバーを製造装置２０１Ｂとして、プロセスデータ収集装置１４１Ｂを介してプロセスデータを収集し、パネル検査工程のパネル検査装置を検査装置２０２Ｂとして、検査結果データ収集装置１５１Ｂを介して検査結果データを収集し、それらの相関関係を照合して各製造装置２０１Ｂに対する管理値を更新することもできる。
【００９８】
なお、図１に示すように、製造管理システム１００では、すべての製造装置２０１に対してプロセスデータ収集装置１４１が設けられており、また、すべての検査装置２０２に対して検査結果データ収集装置１５１が設けられている。そして、管理値更新システム１６０は、製造装置管理システム１４０および検査装置管理システム１５０に要求することにより、任意の製造装置２０１のプロセスデータおよび任意の検査装置２０２の検査結果データを取得できる。よって、管理値更新装置１０は、条件設定装置２０での設定に応じて、１または複数の任意の製造装置２０１と１または複数の任意の検査装置２０２との組合せについてプロセスデータおよび検査結果データの相関関係を照合して、製造装置に対する管理値を更新することができる。
【００９９】
以上により、管理値更新システム１６０によれば、製品仕様に適した管理値が得られる。よって、従来、品質向上を目的として製造装置の安定稼動を求めて過剰なる管理値を設定したために発生していた製造装置の保守整備や点検が不要となるとともに、アラーム発生による製造ラインの停止を最小限に抑制できる。それゆえ、品質を維持したまま製造装置の稼働率を向上させることができる。
【０１００】
また、品質維持にあまり関係しない製造装置の管理限界値幅は増加傾向にあり、逆に装置のバラツキが欠陥数等の検査結果データに対応する製造装置の管理限界値幅は増加傾向が見られない。よって、品質管理や歩留まり管理に重要な要因を持つ製造装置が判断でき、データマイニングや回帰分析を行う際の変数に関する基礎データを提供することが可能である。それゆえ、効率的に解析して、工程改善を行うことが可能となる。
【０１０１】
なお、管理値が確定していない製造ライン２００の稼働の初期段階では、管理値の確定を優先させるために、上記のようにプロセスデータの判定で限界値を超えていても検査結果が出るまで処理を続けてもよい。そして、管理値が確定した安定段階では、上記のようにプロセスデータの判定で限界値を超えた場合には、装置を停止させてもよい。
【０１０２】
なお、本実施の形態は本発明の範囲を限定するものではなく、本発明の範囲内で種々の変更が可能であり、例えば、以下のように構成することができる。
【０１０３】
本発明の相関関係照合システムは、製造工場で、製造管理システムの下に、プロセスデータ収集装置および検査結果データ収集装置とのインターフェイスを持ち、プロセスデータを管理する管理値、および管理上限値、管理下限値で決まる管理幅を、過去の実績であるプロセスデータと検査結果データの照合を基に検査結果が正常である範囲内で最高値を保持するように広げる方向で自動更新する品質管理値自動更新装置と、管理対象となる製造装置とプロセスデータ内の測定項目、および工程検査装置、管理対象とする期間について品質管理値自動更新装置に対して指示し、品質管理値自動更新装置の更新する前記の管理幅を管理図手法にて表示し、操作者に対しＧＵＩを提供する品質管理対象設定装置と、を備えて構成されてもよい。
【０１０４】
また、本発明の品質管理値更新方法は、監視対象とした一定期間に、指定した製造装置により処理されたロットとプロセスデータ内の測定項目、および対応するロットの検査結果データに関して、前記品質管理値自動更新装置が、検査結果データが正常を示すプロセスデータ内の測定項目から得られる平均値およびバラツキを算出し、さらにバラツキの所定倍値と検査結果データが正常を示すプロセスデータ内の測定値の最高値、最低値および前回管理上限値、前回管理下限値と比較して、それら絶対値がより大きい値をとるものを新しい管理上限値、管理下限値として置き換える方法であってもよい。
【０１０５】
これにより、製造工程のすべての工程において、必要とされるプロセスデータと検査結果データはそれぞれプロセスデータ収集装置と検査結果データ収集装置で集められ、収集されたデータは品質管理対象設定装置にて指定される測定期間、製造装置、検査装置、および製品種類の条件で、品質管理値自動更新装置により抽出される。品質管理値自動更新装置は検査結果データが正常を示すプロセスデータ内の測定項目から得られる平均値およびバラツキを算出し、さらにバラツキの所定倍値と検査結果データが正常を示すプロセスデータ内の測定値の最高値、最低値および前回管理上限値、前回管理下限値と比較してそれら絶対値がより大きい値をとるものを新しい管理上限値、管理下限値として置き換え、更新された新しい品質管理値は品質管理対象設定装置を通じて操作者に通知する。
【０１０６】
また、検査結果と複数製造装置のプロセスデータを一覧できることから、製造装置のプロセスデータの変化が検査結果に与える影響を視認でき、特に検査結果に影響のある工程、または製造装置を特定するための補助装置として作用する。
【０１０７】
よって、製造工場の全工程において、検査結果を製造装置の管理値に反映することが可能となり、製品仕様に適した管理値で自動化工場が稼動され、品質向上を目的として製造装置の安定稼動を求めて過剰なる管理値を設定したために発生する不要な製造装置の保守整備や点検、およびアラーム発生による製造ラインの停止を最小限に抑制でき、品質を保持したまま歩留まりの向上を実現することができる。
【０１０８】
また。特に検査結果に影響のある工程、または製造装置を特定するための補助装置として作用し、結果として特に監視を強化する装置を特定できることから品質・歩留まり向上を実現することができる。
【０１０９】
最後に、製造管理システム１００、特に、管理値更新装置１０および条件設定装置２０は、パーソナルコンピュータ等の汎用のコンピュータをベースに構成できる。すなわち、管理値更新装置１０、条件設定装置２０等は、それぞれの機能を実現するプログラムの命令を実行するＣＰＵ（ｃｅｎｔｒａｌｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇｕｎｉｔ）、ブートロジックを格納したＲＯＭ（ｒｅａｄｏｎｌｙｍｅｍｏｒｙ）、上記プログラムを展開するＲＡＭ（ｒａｎｄｏｍａｃｃｅｓｓｍｅｍｏｒｙ）、上記プログラムおよび各種データベースを格納するハードディスク等の記憶装置（記録媒体）、キーボードやマウス等の入力機器、モニタ、スピーカー、プリンタ等の出力機器、外部のネットワークに接続するネットワーク接続機器が、内部バスによって接続されて構成されている。そして、管理値更新装置１０、条件設定装置２０等の機能は、記憶装置に格納されたプログラムを必要に応じてＲＡＭに展開してＣＰＵで実行することでそれぞれ実現される。
【０１１０】
また、本発明の目的は、上述した管理値更新装置１０および条件設定装置２０の各機能を実現するソフトウェアである管理値更新プログラムのプログラムコード（実行形式プログラム、中間コードプログラム、ソースプログラム）をコンピュータで読み取り可能に記録した記録媒体を、システムあるいは装置に供給し、そのシステムあるいは装置のコンピュータ（またはＣＰＵやＭＰＵ、ＤＳＰ）が記録媒体に記録されているプログラムコードを読み出し実行することによっても、達成可能である。
【０１１１】
上記プログラムコードを供給するための記録媒体は、システムあるいは装置と分離可能に構成することができる。また、上記記録媒体は、プログラムコードを供給可能であるように固定的に担持する媒体であってもよい。そして、上記記録媒体は、記録したプログラムコードをコンピュータが直接読み取ることができるようにシステムあるいは装置に装着されるものであっても、外部記憶装置としてシステムあるいは装置に接続されたプログラム読み取り装置を介して読み取ることができるように装着されるものであってもよい。
【０１１２】
例えば、上記記録媒体としては、磁気テープやカセットテープ等のテープ系、フロッピー（登録商標）ディスク／ハードディスク等の磁気ディスクやＣＤ−ＲＯＭ／ＭＯ／ＭＤ／ＤＶＤ／ＣＤ−Ｒ等の光ディスクを含むディスク系、ＩＣカード（メモリカードを含む）／光カード等のカード系、あるいはマスクＲＯＭ／ＥＰＲＯＭ／ＥＥＰＲＯＭ／フラッシュＲＯＭ等の半導体メモリ系などを用いることができる。
【０１１３】
また、システムあるいは装置を通信ネットワークと接続可能に構成し、上記プログラムコードを通信ネットワークを介して供給してもよい。そして、通信ネットワークとしては、特に限定されず、具体的には、インターネット、イントラネット、エキストラネット、ＬＡＮ、ＩＳＤＮ、ＶＡＮ、ＣＡＴＶ通信網、仮想専用網（ｖｉｒｔｕａｌｐｒｉｖａｔｅｎｅｔｗｏｒｋ）、電話回線網、移動体通信網、衛星通信網等が利用可能である。また、通信ネットワークを構成する伝送媒体としては、特に限定されず、具体的には、ＩＥＥＥ１３９４、ＵＳＢ、電力線搬送、ケーブルＴＶ回線、電話線、ＡＤＳＬ回線等の有線でも、ＩｒＤＡやリモコンのような赤外線、Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ、８０２．１１無線、ＨＤＲ、携帯電話網、衛星回線、地上波デジタル網等の無線でも利用可能である。なお、本発明は、上記プログラムコードが電子的な伝送で具現化された搬送波あるいはデータ信号列の形態でも実現され得る。
【０１１４】
上述した機能は、コンピュータが読み出した上記プログラムコードを実行することによって実現されるだけでなく、そのプログラムコードの指示に基づき、コンピュータ上で稼働しているＯＳなどが実際の処理の一部または全部を行うことによっても実現される。
【０１１５】
さらに、上述した機能は、上記記録媒体から読み出された上記プログラムコードが、コンピュータに装着された機能拡張ボードやコンピュータに接続された機能拡張ユニットに備わるメモリに書込まれた後、そのプログラムコードの指示に基づき、その機能拡張ボードや機能拡張ユニットに備わるＣＰＵなどが実際の処理の一部または全部を行うことによっても実現される。
【０１１６】
【発明の効果】
以上のように、本発明の管理値更新装置は、製造装置からプロセスデータを収集するプロセスデータ収集装置および検査装置から検査結果データを収集する検査結果データ収集装置と通信可能に接続されるとともに、上記プロセスデータに管理図を適用するための管理値を、上記プロセスデータに基づいて、上記検査結果データが正常である範囲内で管理値の限界を広げる方向に更新する管理値演算手段を備えた構成である。
【０１１７】
また、本発明の管理値更新方法は、製造装置からプロセスデータを収集するプロセスデータ収集ステップと、検査装置から検査結果データを収集する検査結果データ収集ステップと、上記プロセスデータに管理図を適用するための管理値を、上記プロセスデータに基づいて、上記検査結果データが正常である範囲内で管理値の限界を広げる方向に更新する管理値演算ステップと、を含む方法である。
【０１１８】
それゆえ、実際のプロセスデータおよび検査結果データに基づいて、管理限界値を最大限に広げるように順次更新するため、製品仕様に適合するとともに、製造工場における製造上の特性を反映した管理値の真の限界値を得ることができる。
【０１１９】
したがって、管理値に基づきプロセスデータの異常を検知する頻度を極小化できる。よって、アラーム発生や製造ラインの停止を最小限に抑制できる。それゆえ、上記管理値更新システムによれば、品質を維持したまま製造工場の稼働率を向上させることができるという効果を奏する。
【０１２０】
また、製造装置を停止させる間隔が長くなるため、装置間のバラツキをより長期に監視でき、適切な保守時期を設定することが可能となるため、歩留まり向上を実現できる。その結果、従来製造装置の安定稼動のために余裕を見込んで行っていた過剰な保守整備や点検が不要となるという効果を奏する。
【０１２１】
また、製造装置や工程ごとに品質管理や歩留まり管理に重要な要因を持つか否かが判断できるため、監視を強化するべき製造装置や工程を特定することが可能となる。それゆえ、品質および歩留まりの向上を実現できるという効果を奏する。
【０１２２】
さらに、本発明の管理値更新装置は、管理単位ごとに上記プロセスデータを上記管理値と比較してプロセスデータが正常であるか否かを判定するプロセスデータ判定手段と、当該管理単位ごとに上記検査結果データを所定のしきい値と比較して検査結果データが正常であるか否かを判定する検査結果データ判定手段と、を備えるとともに、上記管理値演算手段が、同一の管理単位に対して、上記プロセスデータ判定手段が異常と判定し、かつ、上記検査結果データ判定手段が正常と判定した場合に、該当するプロセスデータを正常と判定する新しい管理値を演算するものである。
【０１２３】
それゆえ、さらに、同一の管理単位に対して、プロセスデータは異常と判定されたが、検査結果データは正常と判定された場合に、該当するプロセスデータを正常と判定するように新しい管理値を演算することができる。それゆえ、プロセスデータに基づいて、検査結果データが正常である範囲内で管理値の限界を広げる方向に更新できるという効果を奏する。
【０１２４】
さらに、本発明の管理値更新装置は、上記管理値を更新ごとに追加して記憶する管理値記憶手段を備えるとともに、上記管理値演算手段が、上記検査結果データ判定手段が異常と判定する頻度が所定の基準を超えた場合に、上記管理値記憶手段から過去の管理値を取得して、当該過去の管理値により管理値を更新するものである。
【０１２５】
それゆえ、さらに、例えば、新しい管理値に変更した結果、検査結果の異常が頻発した場合、検査結果が正常となる過去の管理値（例えば、初期値や前回設定値）へ復帰させることができるという効果を奏する。
【０１２６】
また、本発明の管理値更新システムは、上記の管理値更新装置を含み、かつ、上記プロセスデータを上記管理値とともに示した管理図と、上記検査結果データ判定手段による判定結果とを、管理単位ごとに対応付けて表示する相関図表示手段を備えたユーザインターフェイス装置を含む構成である。
【０１２７】
さらに、本発明の管理値更新方法は、上記プロセスデータを上記管理値とともに示した管理図と、上記検査結果データ判定手段による判定結果とを、管理単位ごとに対応付けて表示する相関図表示ステップを含む方法である。
【０１２８】
それゆえ、さらに、管理値更新システムの操作者は、製造装置のプロセスデータの変化が検査結果に与える影響を視認できる。特に、検査結果に特に影響のある製造装置あるいは製造工程を特定することが可能となる。したがって、管理値を演算するための条件である、製造装置、検査装置、測定期間、プロセスデータの測定項目、検査結果データの検査項目等の設定が容易となるという効果を奏する。
【０１２９】
また、本発明の製造管理システムは、上記の管理値更新装置を備え、かつ、上記管理値更新装置で更新された管理値を用いて製造装置を制御するプロセス管理装置を備える構成である。
【０１３０】
それゆえ、例えば、製造装置からリアルタイムで送信されるプロセスデータが管理上限値を超えた時、製造装置を停止させたり、担当の操作者へ警報を発するなどのアクションを行うことができるという効果を奏する。
【０１３１】
また、本発明の管理値更新プログラムは、コンピュータを上記管理値更新装置の各手段として機能させるコンピュータ・プログラムである。
【０１３２】
それゆえ、コンピュータで上記管理値更新装置の各手段を実現することによって、上記管理値更新装置を実現することができるという効果を奏する。
【０１３３】
また、本発明の管理値更新プログラムは、コンピュータを上記ユーザインターフェイス装置の相関図表示手段として機能させるコンピュータ・プログラムである。
【０１３４】
それゆえ、コンピュータで上記ユーザインターフェイス装置の相関図表示手段を実現することによって、上記ユーザインターフェイス装置を実現することができるという効果を奏する。
【０１３５】
また、本発明の管理値更新プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体は、上記の各手段をコンピュータに実現させて、上記管理値更新システムを構成する管理値更新装置およびユーザインターフェイス装置を動作させる管理値更新プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体である。
【０１３６】
それゆえ、上記記録媒体から読み出された管理値更新プログラムによって、上記管理値更新システムをコンピュータ上に実現することができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態に係る管理値更新システムの構成の概略を示す機能ブロック図である。
【図２】図１に示した管理値更新システムにおける管理値の更新方法を示す説明図である。
【図３】図１に示した管理値更新システムにおける管理値の更新方法を示す説明図である。
【図４】図１に示した管理値更新システムにおける管理値の更新方法を示す説明図である。
【図５】図１に示した管理値更新システムにおける管理値の更新方法を示す説明図である。
【図６】図１に示した管理値更新システムにおける管理値の更新方法を示す説明図である。
【図７】図１に示した管理値更新システムにおける管理値の更新方法のフローチャートである。
【図８】図１に示した管理値更新システムにおける管理値の更新方法のフローチャートである。
【図９】図１に示した管理値更新システムにおける表示画面例を示す説明図である。
【図１０】図１に示した管理値更新システムを一般的なＬＣＤ製造工場に適用した場合の説明図である。
【符号の説明】
１１プロセスデータ判定部（プロセスデータ判定手段）
１２検査結果データ判定部（検査結果データ判定手段）
１３管理値演算部（管理値演算手段）
１４管理値記憶部（管理値記憶手段）
２１ＧＵＩ部（相関図表示手段）
２０条件設定装置（ユーザインターフェイス装置）
２２表示画面生成部（相関図表示手段）
３０プロセス管理装置
１００製造管理システム
１４１プロセスデータ収集装置
１５１検査結果データ収集装置
１６０管理値更新システム
２００製造ライン
２０１製造装置
２０２検査装置
Ｓ１５管理値演算ステップ[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a manufacturing management system that performs quality control by measuring process capability, and more specifically, a management value update device that updates a management value, a management value update system, a manufacturing management system, a management value update method, a management value update program, The present invention relates to a computer-readable recording medium on which a management value update program is recorded.
[0002]
[Prior art]
LCD (liquid crystal display) manufacturing factories, PDP (plasma display panel) manufacturing factories, and semiconductor manufacturing factories are aiming for automation in order to improve product quality and operating efficiency, and most recent manufacturing factories have process data and inspections. The result data is stored as actual data in the manufacturing management system, and the quality management system is mainly utilized as an SPC (Statistical Process Control) function.
[0003]
As a system that applies a statistical management technique, for example, there is the following Patent Document 1, which discloses a manufacturing process abnormality treatment system and a quality control value updating method thereof, and deviates from the management range obtained from the statistical management technique. If there is a tendency to control values, or if there is a means to generate or stop the alarm for flow of the corresponding lot in conjunction with alarm management or flow control device, etc. Shows a method of automatically updating the measurement data only to the stricter side when the specific condition is satisfied by comparing with the previous management value.
[0004]
As a prior art document related to the present invention, there is the following Patent Document 1. Patent Document 1 describes a manufacturing process quality abnormality treatment system and a quality control value updating method thereof that can take measures to prevent occurrence of trouble in advance. Specifically, each process data collected by the process data collection device is compared with the management value determined from the product specification value, the management upper limit value, and the management lower limit value by the collected data check device, and falls within the management range. Is determined. At the same time, the average value and variation are calculated by sampling, the trend of these collected data is examined, and the management range is automatically reset to the strict side by the management value automatic updating device according to the obtained value. As a result, when the management width is exceeded or the predetermined condition is not met, an alarm is issued or the lot is automatically stopped. Since the management value is tightened according to the actual data, the quality can be further improved. In addition, it is possible to prevent an abnormality from being overlooked and to prevent useless lots from being generated.
[0005]
[Patent Document 1]
JP-A-8-202775 (Publication date: August 9, 1996)
[0006]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the above conventional method, the average value and the variation are calculated from the measurement data, and the management value is only updated when compared with the previous management value, and the management value is updated in a more severe direction. Therefore, after the period when the manufacturing apparatus operates very stably, an alarm is generated regardless of whether the inspection result is good or bad, and the flow control is also affected.
[0007]
When the control limit value is narrowed, the limit value may be exceeded before the abnormal trend is detected, and the function of issuing a warning to the manufacturing apparatus when the abnormal trend is observed may not work sufficiently.
[0008]
In addition to Patent Document 1, in the current SPC function, the control limit value is set by a predetermined multiple value of variation or by a limit value provided by the device manufacturer, and the stability of the device to be measured is determined. Only the problem. If the equipment is stable, it is certain that the quality can be improved, but by recognizing the instability of the equipment within the range that can maintain the quality, the management value is updated in the direction of improving the yield as well as the quality. It has not been used, and the current situation is that it requires only stable operation of manufacturing equipment.
[0009]
The present invention has been made to solve the above-described problems, and its purpose is to prevent occurrence of trouble and improve the yield together with the quality, the management value updating system, the management value updating system, and the manufacturing management system. It is to provide a management value update method. Further, the object of the present invention includes providing a management value update program for realizing the management value update system, and a computer-readable recording medium recording the management value update program.
[0010]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above-described problems, a management value update device according to the present invention is provided under a manufacturing management system that controls a manufacturing line including a manufacturing device and an inspection device that inspects a product manufactured by the manufacturing device. A management data update device that is connected to a process data collection device that collects process data from a manufacturing device and an inspection result data collection device that collects inspection result data from the inspection device. A management value calculation means for updating a management value for applying the control chart based on the process data in a direction to widen the limit of the management value within a range where the inspection result data is normal is provided. Yes.
[0011]
The management value update method of the present invention is based on a management value update system provided under a manufacturing management system that controls a manufacturing line including a manufacturing apparatus and an inspection apparatus that inspects a product manufactured by the manufacturing apparatus. A management value update method, a process data collection step for collecting process data from a manufacturing apparatus, an inspection result data collection step for collecting inspection result data from an inspection apparatus, and a management for applying a control chart to the process data And a management value calculation step of updating the value in a direction to widen the limit of the management value within a range where the inspection result data is normal based on the process data.
[0012]
With the above configuration and method, the management value update device or the management value update system updates the management value based on the process data in a direction to widen the limit of the management value within a range where the inspection result data is normal. That is, when the management value (process value) is updated, not only the process data but also the inspection result data can be reflected. The management value update may be performed automatically by the management value update device or the management value update system, or may be performed according to an instruction from the operator.
[0013]
Therefore, since the control limit value is sequentially updated to maximize the control value based on the actual process data and inspection result data, the control value that matches the product specifications and reflects the manufacturing characteristics in the manufacturing plant is true. Can be obtained.
[0014]
Therefore, the frequency of detecting process data abnormality based on the management value can be minimized. Therefore, alarm generation and production line stoppage can be minimized. Therefore, the operation rate of the manufacturing plant can be improved while maintaining the quality. In this regard, conventionally, a management value that is stricter than necessary has been set, so that alarms and stops that were originally unnecessary occurred.
[0015]
In addition, since the interval at which the manufacturing apparatus is stopped becomes longer, variations between apparatuses can be monitored for a longer period of time, and an appropriate maintenance time can be set, thereby improving the yield. As a result, it is not necessary to perform excessive maintenance and inspection, which has been performed with a margin for stable operation of the conventional manufacturing apparatus.
[0016]
In addition, the control limit value of the manufacturing equipment that does not affect the inspection result, that is, not much related to quality maintenance, increases, but the control limit value of the manufacturing equipment corresponding to the inspection result data such as the number of defects does not increase. . Therefore, since it can be determined whether or not each manufacturing apparatus or process has an important factor in quality control or yield management, it is possible to specify a manufacturing apparatus or process that should be enhanced in monitoring. Therefore, improvement in quality and yield can be realized.
[0017]
Furthermore, the management value update device of the present invention includes a process data determination unit that determines whether or not the process data is normal by comparing the process data with the management value for each management unit, and the management data update unit for each management unit. Inspection result data determining means for comparing the inspection result data with a predetermined threshold value to determine whether or not the inspection result data is normal, and the management value calculation means for the same management unit When the process data determination unit determines that the process data is determined to be abnormal and the inspection result data determination unit determines that the process data is normal, a new management value is determined to determine that the corresponding process data is normal. It is said.
[0018]
With the above configuration, the process data and the inspection result data are further determined for each management unit (for example, lot). Therefore, the determination result of the process data and the determination result of the inspection result data can be collated for each management unit. Therefore, it is possible to specify the process data of the management unit in which the inspection result data is determined to be normal.
[0019]
Therefore, when the process data is determined to be abnormal for the same management unit, but the inspection result data is determined to be normal, a new management value is calculated so that the corresponding process data is determined to be normal. Can do. Therefore, on the basis of the process data, it is possible to update the control value in a direction to widen the limit of the management value within a range where the inspection result data is normal.
[0020]
Furthermore, the management value update device of the present invention includes management value storage means for adding and storing the management value for each update, and the frequency at which the management value calculation means determines that the inspection result data determination means is abnormal. When the value exceeds a predetermined standard, a past management value is acquired from the management value storage means, and the management value is updated with the past management value.
[0021]
With the above configuration, for example, when abnormalities in inspection results occur frequently as a result of changing to a new management value, for example, the management result is restored to a past management value (for example, an initial value or a previously set value) where the inspection result is normal. Can do. The management value may be restored automatically by the management value update system or according to an instruction from the operator.
[0022]
Further, the management value update system of the present invention includes a management value update apparatus, the control chart showing the process data together with the management value, and the determination result by the inspection result data determination means. It is characterized by including a user interface device provided with a correlation diagram display means for displaying in association with each other.
[0023]
Further, the management value update method of the present invention is a correlation diagram display step of displaying the control chart showing the process data together with the management value and the determination result by the inspection result data determination means in association with each management unit. It is characterized by including.
[0024]
With the above configuration and method, the process data and the inspection result data are further displayed as a correlation diagram in association with each management unit. A plurality of process data and inspection result data may be included in the correlation diagram.
[0025]
Therefore, the operator of the management value update system can visually recognize the influence of the change in the process data of the manufacturing apparatus on the inspection result. In particular, it is possible to specify a manufacturing apparatus or manufacturing process that has a particular influence on the inspection result. Therefore, it becomes easy to set the manufacturing apparatus, the inspection apparatus, the measurement period, the process data measurement item, the inspection result data inspection item, and the like, which are the conditions for calculating the management value.
[0026]
According to another aspect of the present invention, there is provided a manufacturing management system including the above-described management value update device, and a process management device that controls the manufacturing device using the management value updated by the management value update device. .
[0027]
With the above configuration, for example, when the process data transmitted in real time from the manufacturing apparatus exceeds the management upper limit value, an action such as stopping the manufacturing apparatus or issuing an alarm to the operator in charge can be performed.
[0028]
The management value update program of the present invention is a computer program that causes a computer to function as each means of the management value update device.
[0029]
With the above configuration, the management value update device can be realized by realizing each means of the management value update device with a computer.
[0030]
The management value update program of the present invention is a computer program that causes a computer to function as a correlation diagram display means of the user interface device.
[0031]
With the above configuration, the user interface device can be realized by realizing the correlation diagram display means of the user interface device with a computer.
[0032]
Also, a computer-readable recording medium recording the management value update program of the present invention causes the above-described means to be realized by a computer to operate the management value update device and the user interface device that constitute the management value update system. It is a computer-readable recording medium that records a management value update program.
[0033]
With the above configuration, the management value update system can be realized on a computer by the management value update program read from the recording medium.
[0034]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
One embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. In the present embodiment, a manufacturing management system 100 applied to a general LCD manufacturing factory will be described as an example. However, the present invention can also be applied to other fields.
[0035]
FIG. 1 is a functional block diagram showing the configuration of the management value update system 160 according to the present embodiment. As shown in FIG. 1, the management value update system 160 is provided under the manufacturing management system 100 which is a host system. The production management system 100 controls the production line 200. The manufacturing line 200 includes at least one set of a manufacturing apparatus 201 and an inspection apparatus 202 that inspects a product manufactured by the manufacturing apparatus 201. In addition to the management value update system 160, the manufacturing management system 100 includes a production management system 110, a progress management system 120, a physical distribution management system 130, a manufacturing apparatus management system 140, and an inspection apparatus management system 150. However, the production management system 110, the progress management system 120, the physical distribution management system 130, the manufacturing apparatus management system 140, and the inspection apparatus management system 150 basically have the same configurations and functions as those in the past, and therefore will not be described in detail. Is omitted.
[0036]
The production management system 110 includes a process management device 30. The process management device 30 acquires process data from the process data collection device 141 and manages the process using the management value updated by the management value update device 10. Specifically, the process management apparatus 30 controls the manufacturing apparatus 201 using the management value updated by the management value update system 160. When the process management device 30 detects that the process data is abnormal with respect to the management value, the process management device 30 executes a predetermined action. Specifically, the process management device 30 may, for example, cause the process stop unit 31 to stop the corresponding manufacturing apparatus 201 via the progress management system 120 as an action when an abnormality is detected, or may be in charge by the alarm generation unit 32. An alarm is issued to the operator.
[0037]
The manufacturing apparatus management system 140 includes a process data collection device 141 and a process data storage device 142. The manufacturing apparatus management system 140 includes a communication interface (not shown) with the manufacturing apparatus 201, the management value update system 160, and the progress management system 120.
[0038]
The process data collection device 141 is provided for all the production apparatuses 201 in the production factory, and collects and manages process data (indicating the internal state of the apparatus and processing results) from the production apparatus 201. The process data storage device 142 holds past process data (for example, several tens of cases) for each lot. When the process data collection device 141 receives a request for process data from the management value update device 10, the process data collection device 141 acquires process data corresponding to the specified condition from the process data storage device 142 and transmits it to the management value update device 10.
[0039]
The inspection device management system 150 includes an inspection result data collection device 151 and an inspection result data storage device 152. The inspection apparatus management system 150 includes a communication interface (not shown) with the inspection apparatus 202, the management value update system 160, and the progress management system 120.
[0040]
The inspection result data collection device 151 is provided for all inspection devices 202 in the manufacturing factory, and collects and manages inspection result data from the inspection device 202. Moreover, the inspection result data storage device 152 holds past inspection result data (for example, several tens of cases) for each lot. When the inspection result data collection device 151 receives a request for inspection result data from the management value update device 10, the inspection result data collection device 151 acquires inspection result data corresponding to the specified condition from the inspection result data storage device 152 and sends it to the management value update device 10. Send.
[0041]
Note that control data (recipe data indicating manufacturing conditions and the like) for controlling the manufacturing apparatus 201 is transmitted from the manufacturing apparatus management system 140. Similarly, control data for controlling the inspection apparatus 202 is transmitted from the inspection apparatus management system 150. Transmission of these control data, that is, control of the manufacturing apparatus 201 and the inspection apparatus 202 by the manufacturing apparatus management system 140 and the inspection apparatus management system 150 is performed according to the control of the progress management system 120 and the production management system 110.
[0042]
As shown in FIG. 1, the management value update system 160 is provided under the manufacturing management system 100 that controls the manufacturing line 200, and includes a management value update device 10 and a condition setting device (user interface device) 20. ing.
[0043]
The management value update apparatus 10 includes a process data determination unit (process data determination unit) 11, an inspection result data determination unit (inspection result data determination unit) 12, a management value calculation unit (management value calculation unit) 13, and a management value storage unit ( Management value storage means) 14 is provided. The management value update device 10 includes a communication interface with the manufacturing device management system 140 and the inspection device management system 150. In addition, the management value update device 10 includes a communication interface with the condition setting device 20. That is, the management value update device 10 is connected to the process data collection device 141 and the inspection result data collection device 151 in a communicable manner.
[0044]
The process data determination unit 11 determines the process data of the manufacturing apparatus 201 acquired via the process data collection device 141 using a control chart technique. That is, the process data determination unit 11 compares the process data with the management value for each lot (management unit) to determine whether the process data is normal. Then, the determination result is notified to the management value calculation unit 13. The management value used for the determination is input from the management value calculation unit 13. Similarly, the process management apparatus 30 of the production management system 110 performs the determination using the control chart.
[0045]
The inspection result data determination unit 12 determines whether or not the inspection result data of the inspection device 202 acquired via the inspection result data collection device 151 is normal. That is, the inspection result data determination unit 12 compares the inspection result data with a predetermined threshold value for each lot to determine whether the inspection result data is normal. Then, the determination result is notified to the management value calculation unit 13. The determination threshold is, for example, a non-defective product rate, and is input from the condition setting device 20.
[0046]
The management value calculation unit 13 acquires the past process data and inspection result data for the number of cases necessary for calculation of the management value from the process data collection device 141 and the inspection result data collection device 151, and calculates a new management value. The management value calculation unit 13 can calculate the management value for each manufacturing apparatus 201. The management value calculation unit 13 includes a storage unit (not shown) that holds process data and inspection result data during calculation. Note that the process data storage device 142 and the inspection result data storage device 152 may be provided in the management value update device 10.
[0047]
Then, the management value calculation unit 13 transmits the updated new management value to the production management system 110. Further, the management value calculation unit 13 transmits the updated new management value to the condition setting device 20 to be presented to the operator. Further, the management value calculation unit 13 stores the updated new management value in the management value storage unit 14.
[0048]
Here, the management value calculation unit 13 updates the management value for applying the control chart to the process data in a direction of widening the limit of the management value within a range where the inspection result data is normal based on the process data. . That is, the management value calculator 13 widens the management value, for example, so as to retain the maximum value as long as the inspection result data is determined to be normal based on the process data and inspection result data of the designated measurement period. Update management values automatically with direction. Details of the management value calculation method will be described later.
[0049]
In addition, the management value calculation unit 13 determines the past from the management value storage unit 14 when the frequency that the inspection result data determination unit 12 determines to be abnormal exceeds a predetermined standard, for example, when it is determined to be abnormal for three consecutive lots. The management value is acquired, and the management value is updated with the past management value. Therefore, when abnormalities in inspection results frequently occur as a result of changing to new management values, it is possible to automatically return to past management values (for example, initial values and previous set values) in which the inspection results are normal.
[0050]
The management value storage unit 14 stores the management values calculated by the management value calculation unit 13 in the order of setting and manages the history. That is, the management value storage unit 14 adds and stores management values for each update.
[0051]
Therefore, according to the management value update device 10 described above, the management value is not a uniform value indicated by the manufacturer of the manufacturing apparatus 201, but is true based on the manufacturing characteristics of each factory and the actual data obtained in the manufacturing process. It is sequentially updated so as to approach the limit value. Therefore, it is possible to improve the quality of manufactured products. In addition, by setting in a direction to expand the management range, it is possible to monitor the variation trend between them for a longer period of time, so that it is possible to set an appropriate maintenance time and to improve the yield.
[0052]
The condition setting device 20 displays a control chart using the management values updated by the management value update device 10 and provides a user interface that allows an operator to input conditions to be set in the management value update device 10. A plurality of condition setting devices 20 may be provided for one management value update device 10 at an appropriate place on the production line so that an operator can monitor and operate the device near the manufacturing device 201 and the inspection device 202. .
[0053]
As shown in FIG. 1, the condition setting device 20 includes a GUI (Graphical User Interface) unit (correlation diagram display unit) 21, a display screen generation unit (correlation diagram display unit) 22, and a condition setting unit 23. Yes.
[0054]
The GUI unit 21 provides an operator with a user interface designed using graphics parts such as buttons and menus. Specifically, the GUI unit 21 includes a display device such as an LCD and an input device such as a mouse, a keyboard, or a touch panel.
[0055]
The display screen generation unit 22 manages a management chart (for example, a graph g2 in FIG. 2) showing process data together with a management value and a determination result (for example, the graph g1 in FIG. 2) by the inspection result data determination unit 12. A screen to be displayed in association with each unit is generated and displayed on the GUI unit 21. Specifically, the display screen generation unit 22 acquires process data, management values, and inspection result data from the management value update device 10, and sets the measurement period, inspection items of inspection result data, and process data set as conditions. For the measurement item, a correlation diagram between the process data management chart of the manufacturing apparatus 201 and the inspection result data of the inspection apparatus 202 is created. It should be noted that the condition setting unit 23 sets the conditions for creating the correlation diagram, that is, the manufacturing apparatus, the inspection apparatus, the measurement period, the inspection item of the inspection result data, and the measurement item of the process data.
[0056]
In addition to the control chart, the display screen generation unit 22 is a selection for the operator to specify the manufacturing apparatus, the inspection apparatus, the measurement period, the inspection item of the inspection result data, and the measurement item of the process data, which are the above conditions. A screen for displaying a list, a text box, etc., and buttons b1 to b3 for instructing the operator to update the management value is generated.
[0057]
The condition setting unit 23 acquires the manufacturing device 201 to be managed, the measurement items of the process data, the inspection device 202, the product to be managed, the conditions such as the measurement period, from the GUI unit 21, and the management value update device 10 Send to.
[0058]
Therefore, the condition setting device 20 can list inspection result data and process data of a plurality of manufacturing apparatuses 201. Therefore, the operator can visually recognize the influence of the change in the process data of the manufacturing apparatus 201 on the inspection result. In particular, it is possible to identify a manufacturing process or manufacturing apparatus 201 that has a particular influence on the inspection result.
[0059]
Next, a management value calculation method in the management value calculation unit 13 will be described with reference to FIGS. 2 to 6. 2 to 6 are explanatory diagrams illustrating a management value update method in the management value calculation unit 13. Specifically, FIG. 2 is a specific example of the correlation diagram, the graph g1 is the non-defective product rate which is the inspection result data, the graphs g2 and g3 are management charts for 25 lots, and the graphs g4 and g5 are management for 10 lots. Each figure is shown. 3 and 4 are specific examples of process data and management values. FIG. 5 is a specific example of the control chart coefficient table. FIG. 6 is a specific example of inspection result data.
[0060]
As shown in the graph g2 of FIG. 2, the control chart has a center line (CL) and a pair of upper and lower control limit lines drawn. The upper limit line is the upper control limit line (UCL), and the lower one is This limit line is called the lower control limit line (LCL). Normally, the width of the control limit line is set to (average value) ± 3 × (standard deviation), that is, the width of the 3-sigma method.
[0061]
In the Xbar chart (graphs g3 and g5 in FIG. 2), the center line (CL) is the average value of the average value (X) of each lot, and the upper control limit line (UCL) and the lower control limit line (LCL) are It is expressed as follows. Process average can be managed by Xbar control chart.
[0062]
UCL = CL + A2 * Rbar
LCL = CL-A2 * Rbar
In the R control chart (graphs g2 and g4 in FIG. 2), the center line (CL) is an average value of the range (R) of each lot, and the upper control limit line (UCL) and the lower control limit line (LCL). Is expressed as: Variations can be managed using the R chart.
[0063]
UCL = D4 * Rbar
LCL = D3 * Rbar
Xbar represents the average value of the lots, and R represents the width between the minimum value and the maximum value. A2, D4, and D3 are constants determined by the size of the lot (the number of data included in one group) (FIG. 5). In the example shown in FIGS. 2 to 6, it is assumed that one substrate includes eight substrates. Therefore, the measurement results are handled as a lot unit, that is, as a data group for eight substrates.
[0064]
As shown in FIG. 3, the upper control limit value UCL of the R control chart from lot 001 to lot 010 is 16.1. Therefore, as shown in the graph g4 of FIG. 2, the upper management limit value UCL is displayed at 16.1.
[0065]
Next, as shown in FIG. 4, the value of R of the lot 013 is 16.3, which exceeds the upper management limit value UCL calculated from the lot 001 to the lot 010. Therefore, at this time, the process data determination unit 11 determines that it is abnormal. Similarly, the process management device 30 of the production management system 110 is determined to be abnormal. However, the non-defective product rate of the lot 013 is 99.3%, which exceeds the reference non-defective product rate 99% of the inspection apparatus 202 specified by the operator (FIG. 6). This state is shown in a graph g1 in FIG.
[0066]
Therefore, the management value calculation unit 13 recalculates the center line (CL), the upper management limit value (UCL), and the lower management limit value (LCL) including the process data. This state is shown in a graph g2 in FIG.
[0067]
Although the R chart has been described above, the same applies to the Xbar chart.
[0068]
Next, when the process data (R value in the case of the R management chart) exceeds the upper management limit value UCL, the management value calculation unit 13 determines a new management value as follows, for example. The same applies to the case where the value falls below the lower control limit value LCL. (1) The upper management limit value (UCL) recalculated including the process data is set as a new upper management limit value UCL. (2) Similarly to the new upper management limit value UCL, the lower management limit value (LCL) recalculated including the process data is set as the new lower management limit value LCL. That is, the management width is expanded upward and downward.
[0069]
Further, since the process data from the manufacturing apparatus 201 is reported first, if there is no corresponding inspection result data, 3σ based on the past data is set as the management value. In addition, as the initial value of the management value, (1) a value indicated by the manufacturer of the manufacturing apparatus as the management value, (2) an appropriate value having a sufficiently narrow management width, and the like can be set. However, even if starting from any initial value, the above-described updating is performed, so that a management value that is stabilized to some extent can be reached in a short time.
[0070]
Further, according to the management value calculation unit 13, the management value is changed only in the direction in which the management width increases as long as the inspection result is normal. Therefore, it is conceivable that the process data that does not affect the inspection result is changed without limit. In that case, a changeable limit value (upper limit value if the upper management limit value UCL) can be determined. For example, the limit value may be set to 4σ or 6σ using the initial σ.
[0071]
In addition, when abnormality in the inspection result frequently occurs in the updated management value, the management value calculation unit 13 returns the management value to a past management value (for example, an initial value or a previously set value) in which the inspection result is normal. The management value may be automatically restored by the management value calculation unit 13 or may be performed according to an instruction from the operator as will be described later.
[0072]
In this way, in the management value update device 10, even if the management limit value is exceeded due to an abnormal cause that cannot be overlooked, if the inspection result is determined to be normal, the lot value data exceeding the management limit value is obtained. The center line, the upper control limit value, and the lower control limit value are newly calculated so that the data is handled as data within the range of variation due to accidental causes and the data is included in the control value range.
[0073]
In addition, the management value update device 10 sets the lot data exceeding the control limit value as data within the variation range due to the accidental cause only when all the inspection results indicate normality when a plurality of inspection devices 202 are designated. deal with.
[0074]
FIG. 9 is a display screen example (display screen w1) of the condition setting device 20. The calculation start button b1, the previous set value return button b2, and the initial value return button b3 will be described later.
[0075]
The condition setting device 20 is operated by the GUI unit 21 from the operator from a measurement period, a plurality of manufacturing apparatuses 201 and process data items corresponding to the manufacturing apparatuses 201, a plurality of inspection apparatuses 202 and inspection result items corresponding to the inspection apparatuses 202. , And product type designations are accepted. The condition setting unit 23 transmits each condition input to the GUI unit 21 to the management value update device 10.
[0076]
The condition setting device 20 displays the correlation between the process data and the inspection result as a graph in a display format that is easy to visually recognize. Specifically, the graph is arranged in the vertical direction in units of the manufacturing apparatus 201 or the inspection apparatus 202, and the horizontal axis is in lot units. Therefore, data of the same lot is arranged in the vertical direction at the same position on the horizontal axis. The unit of the vertical axis of the graph display follows the unit of collected data that is the measurement target.
[0077]
In the GUI unit 21, the combination of the manufacturing apparatus 201 and the inspection apparatus 202 that see the correlation can be arbitrarily selected according to the operator's request. When selecting a device, one device is designated as the base device. The base device is set in order to identify the lots that constitute the horizontal axis. For example, in FIG. 9, the device designated as the base device is displayed at the top of the screen, and the processing results and inspection results of the other devices are sequentially displayed below. Of course, the data for the same lot as the base device is displayed.
[0078]
In the display screen w1, the Xbar-R control chart generated based on the process data (the control chart in which the control chart of the average value Xbar and the control chart of the range R are combined into one chart) is displayed in the middle and lower stages. Graphs in which the non-defective product rate, the number of defects, etc., which are inspection result data, are plotted are respectively displayed in the upper stage.
[0079]
When the inspection result data is a line width, the inspection apparatus is a line width measuring apparatus, the manufacturing apparatus and its process data are, for example, an exposure apparatus and an exposure time, a chemical film forming apparatus, a gas pressure and a gas concentration. If the inspection result data is a film thickness, the inspection apparatus is a film thickness measuring apparatus, the manufacturing apparatus, and its process data are, for example, a thin film forming apparatus, reaction chamber pressure, temperature, and processing time.
[0080]
On the display screen w1, it is possible to specify a threshold value that serves as a criterion for the inspection result data. For example, whether the non-defective product rate is 100% normal or the non-defective product rate of 98% or more is normal depends on a threshold (reference non-defective product rate) set by the operator.
[0081]
Also, for example, the inspection apparatus is a film thickness measuring apparatus, the inspection item is a non-defective film rate, the manufacturing apparatus is a thin film forming apparatus, the measurement item is the width between the maximum and minimum values of the reaction chamber pressure, and the measurement period is lots 001 to 025. Then, it corresponds to the correlation diagram in which the graphs g1 and g2 in FIG. 2 are displayed.
[0082]
The display screen generation unit 22 includes a selection list for the operator to specify the manufacturing apparatus, the inspection apparatus, the measurement period, the inspection items for the inspection result data, and the measurement items for the process data, as well as the control chart. A screen for displaying a text box or the like and buttons b1 to b3 for instructing the operator to update the management value is generated.
[0083]
Here, a basic update logic of management values (center line, upper management limit, lower management limit) in the management value update system 160 will be described with reference to FIG.
[0084]
First, the process data determination unit 11 acquires the process data of the manufacturing apparatus 201 from the process data collection device 141 (process data collection step), and the process data exceeds the control limit values (upper control limit and lower control limit). It is determined whether or not (S11). As a result of the determination by the process data determination unit 11, if the process data does not exceed the control limit value (NO in S11), the control value calculation unit 13 determines that the center line (CL), the upper control limit (UCL), and the lower control The limit (LCL) is recalculated and the management value is updated (S12).
[0085]
On the other hand, as a result of the determination by the process data determination unit 11, if the process data exceeds the control limit value (YES in S11), it is determined whether an inspection result for the lot by the inspection apparatus 202 is output (S13). Further, if an inspection result is output (YES in S13), the inspection result data determination unit 12 acquires inspection result data from the inspection device 202 for the same lot as the process data from the inspection result data collection device 151 (inspection result). Data collection step), it is determined whether or not the inspection result data is normal (S14).
[0086]
If the inspection result data is normal (YES in S14), the center line, the upper management limit, and the lower management limit are recalculated to update the management value (S15 (management value calculation step)). At this time, the management limit value is updated within a range that does not exceed a predetermined upper limit value. When the management limit value exceeds the upper limit value, the upper limit value is set as the management limit value.
[0087]
On the other hand, if the inspection result is not output (NO in S13) or the inspection result data is abnormal (NO in S14), the management value calculation unit 13 does not update the management value (S16).
[0088]
Then, the management values, process data, and inspection result data updated in steps S12 and S15 are transmitted to the condition setting device 20, and a correlation diagram is displayed on the GUI unit 21 (correlation diagram display step).
[0089]
Next, with reference to FIG. 8, a case will be described in which a process for automatically returning the management value is added to the basic update logic of the management value shown in FIG. In this case, the following steps are added.
If the process data exceeds the control limit value (YES in S11), an inspection result is output (YES in S13), and the inspection result data is abnormal (NO in S14), the inspection result data is continuously abnormal. It is determined whether or not it has occurred (S21). If abnormalities of the inspection result data continuously occur (YES in S21), the management value calculation unit 13 reads the previous management value from the management value storage unit 14 and updates it with the previous management value (S22). On the other hand, when the abnormality of the inspection result data does not occur continuously (NO in S21), the management value calculation unit 13 does not update the management value (S23).
[0090]
Further, in the management value update system 160, the operator can manually instruct calculation for the management value.
[0091]
When the operator depresses the calculation start button b1 on the display screen w1 (FIG. 9), the management value calculation unit 13 executes a management calculation using this as a trigger. The calculation results are displayed as a center line (CL), an upper control limit (UCL), and a lower control limit (LCL). The graph display is also updated, but the previous value is held and displayed until the calculation start button b1 is newly pressed.
[0092]
Here, the management value update system 160 correlates the inspection result data from the inspection apparatus 202 and the process data from the manufacturing apparatus 201. Therefore, the center line, upper control limit, and lower control limit are calculated based on the inspection result data when the target device is easily affected by the performance and operating state of the target device. Should be avoided. Therefore, the management value update device 10 sets the calculation trigger as the depression of the calculation start button b1 by the operator. The operator presses the calculation start button b1 after confirming the stable state of the target device. When recalculation is performed in order to eliminate an erroneous operation, the calculation start button b1 is pressed after setting the measurement period to a period during which the target apparatus is operating stably.
[0093]
When the operator presses the previous set value return button b2, the management value calculation unit 13 returns the management value to the previous set value. As a result, when the operator determines that the management value is inappropriate, the operator can always return to the previous set value. Here, the previous set value can be held in units of devices.
[0094]
When the operator depresses the initial value return button b3, the management value calculation unit 13 returns the management value to the initial setting value. As a result, when the operator determines that the management value is inappropriate, it can be restored to the initial setting value at any time. Here, the initial setting value can be held in units of devices. The initial setting values can be registered and edited on a separate screen (not shown). It is also possible to register a setting value edited based on a past setting value such as a previous setting value as an initial setting value.
[0095]
FIG. 10 is an explanatory diagram when the management value update system 160 is applied to a general LCD manufacturing factory.
[0096]
Up to now, when the thin film forming apparatus and the film thickness measuring apparatus correspond to the manufacturing apparatus 201 and the inspection apparatus 202 (FIG. 1), that is, between the manufacturing process and the immediately following inspection process, process data and inspection result data. In the above description, the management value is updated by checking the correlation of each lot. In FIG. 10, the process data and the inspection result are obtained from the thin film forming apparatus (manufacturing apparatus 201A) and the film thickness measuring apparatus (inspection apparatus 202A) in the TFT manufacturing process via the process data collecting apparatus 141A and the inspection result data collecting apparatus 151A. This corresponds to a management value update system 160A that acquires data and collates those correlations to update the management value for the thin film forming apparatus.
[0097]
However, the manufacturing apparatus 201 and the inspection apparatus 202 with which the management value update system 160 collates the correlation between the process data and the inspection result data can be appropriately selected according to the inspection item and the measurement item. For example, as shown in FIG. 10 as a management value update system 160B, a photo apparatus, a thin film forming apparatus, an etching apparatus, a coating apparatus, and a vacuum chamber for liquid crystal injection / sealing process in the alignment film forming process are used as the manufacturing apparatus 201B. The process data is collected via the collection device 141B, the panel inspection device in the panel inspection step is set as the inspection device 202B, the inspection result data is collected via the inspection result data collection device 151B, and their correlation is collated to each The management value for the manufacturing apparatus 201B can also be updated.
[0098]
As shown in FIG. 1, in the manufacturing management system 100, process data collection devices 141 are provided for all the manufacturing devices 201, and inspection result data collection devices 151 are provided for all the inspection devices 202. Is provided. The management value update system 160 can acquire process data of an arbitrary manufacturing apparatus 201 and inspection result data of an arbitrary inspection apparatus 202 by making a request to the manufacturing apparatus management system 140 and the inspection apparatus management system 150. Therefore, the management value update device 10 determines the process data and the inspection result data for the combination of one or more arbitrary manufacturing apparatuses 201 and one or more arbitrary inspection apparatuses 202 according to the setting in the condition setting apparatus 20. The management value for the manufacturing apparatus can be updated by checking the correlation.
[0099]
As described above, according to the management value update system 160, a management value suitable for the product specification can be obtained. Therefore, the maintenance and inspection of the manufacturing equipment, which has been caused by setting excessive control values for the stable operation of the manufacturing equipment for the purpose of quality improvement, is no longer necessary, and the production line is stopped due to the occurrence of an alarm. It can be minimized. Therefore, the operating rate of the manufacturing apparatus can be improved while maintaining the quality.
[0100]
In addition, the control limit value width of the manufacturing apparatus that is not very related to quality maintenance tends to increase, and conversely, the control limit value width of the manufacturing apparatus corresponding to the inspection result data such as the number of defects is not increasing. Therefore, it is possible to determine a manufacturing apparatus having an important factor in quality control and yield management, and to provide basic data regarding variables when performing data mining and regression analysis. Therefore, it is possible to efficiently analyze and improve the process.
[0101]
In the initial stage of operation of the production line 200 where the control value is not fixed, in order to prioritize the determination of the control value, until the inspection result is obtained even if the limit value is exceeded in the process data determination as described above. Processing may continue. In the stable stage where the management value is determined, the apparatus may be stopped when the limit value is exceeded in the process data determination as described above.
[0102]
The present embodiment does not limit the scope of the present invention, and various modifications are possible within the scope of the present invention. For example, the present embodiment can be configured as follows.
[0103]
The correlation matching system of the present invention has an interface with a process data collection device and an inspection result data collection device under a production management system at a manufacturing plant, and a management value for managing process data, a management upper limit value, and a management Automatic control of quality control values that automatically update the control range determined by the lower limit value in a direction that expands to maintain the maximum value within the range where the inspection results are normal based on the comparison of the past process data and inspection result data Instruct the quality control value automatic update device about the update device, the manufacturing device to be managed, the measurement items in the process data, the process inspection device, and the period to be managed, and update the quality control value automatic update device It may be configured to include a quality management target setting device that displays the management width by a control chart method and provides a GUI to the operator.
[0104]
Further, the quality control value updating method of the present invention relates to the quality control with respect to the lot processed by the designated manufacturing apparatus, the measurement item in the process data, and the inspection result data of the corresponding lot for a certain period to be monitored. The value automatic update device calculates the average value and variation obtained from the measurement items in the process data indicating that the inspection result data is normal, and further, the predetermined multiple of the variation and the measurement value in the process data indicating that the inspection result data is normal The maximum value, the minimum value, the previous management upper limit value, and the previous management lower limit value may be replaced with new management upper limit values and management lower limit values that have larger absolute values.
[0105]
As a result, the required process data and inspection result data are collected by the process data collection device and inspection result data collection device, respectively, in all the manufacturing processes, and the collected data is specified by the quality control target setting device. The quality control value automatic update device extracts the information in the measurement period, manufacturing device, inspection device, and product type conditions. The quality control value automatic update device calculates the average value and variation obtained from the measurement items in the process data indicating that the inspection result data is normal, and further measures the predetermined multiple of the variation and the process data in which the inspection result data indicates normal. New quality control values that have been updated by replacing the highest value, the lowest value, the previous control upper limit value, and the previous control lower limit value that have larger absolute values with the new control upper limit value and control lower limit value. Notifies the operator through the quality control target setting device.
[0106]
In addition, since inspection results and process data of multiple manufacturing devices can be listed, the influence of changes in manufacturing device process data on inspection results can be visually confirmed, and in particular, for identifying processes or manufacturing devices that affect inspection results. Acts as an auxiliary device.
[0107]
Therefore, it is possible to reflect the inspection results in the management values of the manufacturing equipment in all the processes of the manufacturing factory, the automated factory is operated with the management values suitable for the product specifications, and stable operation of the manufacturing equipment is aimed at improving quality. It is possible to minimize the maintenance and inspection of unnecessary manufacturing equipment that occurs due to excessive control values being sought, and to stop production lines from being stopped due to alarms, and to improve yield while maintaining quality. it can.
[0108]
Also. In particular, it is possible to identify an apparatus that acts as an auxiliary device for specifying a process or manufacturing apparatus that has an influence on the inspection result, and as a result, it is possible to specify an apparatus that particularly enhances monitoring, thereby improving quality and yield.
[0109]
Finally, the manufacturing management system 100, in particular, the management value update device 10 and the condition setting device 20 can be configured based on a general-purpose computer such as a personal computer. That is, the management value update device 10, the condition setting device 20 and the like develop a CPU (central processing unit) that executes instructions of programs that realize the respective functions, a ROM (read only memory) that stores boot logic, and the above programs. Connects to a random access memory (RAM), a storage device (recording medium) such as a hard disk for storing the program and various databases, an input device such as a keyboard and a mouse, an output device such as a monitor, a speaker, and a printer, and an external network Network connection devices are connected by an internal bus. The functions of the management value update device 10, the condition setting device 20, and the like are realized by developing a program stored in the storage device in the RAM as necessary and executing it on the CPU.
[0110]
Also, an object of the present invention is to provide a program code (execution format program, intermediate code program, source program) of a management value update program, which is software that implements the functions of the management value update device 10 and the condition setting device 20 described above. This is also achieved by supplying the recording medium recorded in a readable manner to the system or apparatus, and reading and executing the program code recorded on the recording medium by the computer (or CPU, MPU, DSP) of the system or apparatus. Is possible.
[0111]
The recording medium for supplying the program code can be configured to be separable from the system or apparatus. The recording medium may be a medium that is fixedly supported so that the program code can be supplied. Even if the recording medium is attached to the system or apparatus so that the recorded program code can be directly read by the computer, the recording medium can be connected via the program reading apparatus connected to the system or apparatus as an external storage device. It may be mounted so that it can be read.
[0112]
For example, as the recording medium, a disk including a tape system such as a magnetic tape or a cassette tape, a magnetic disk such as a floppy (registered trademark) disk / hard disk, and an optical disk such as a CD-ROM / MO / MD / DVD / CD-R. Card system such as IC card, IC card (including memory card) / optical card, or semiconductor memory system such as mask ROM / EPROM / EEPROM / flash ROM.
[0113]
Further, the system or apparatus may be configured to be connectable to a communication network, and the program code may be supplied via the communication network. The communication network is not particularly limited. Specifically, the Internet, intranet, extranet, LAN, ISDN, VAN, CATV communication network, virtual private network, telephone line network, mobile communication A network, a satellite communication network, etc. can be used. In addition, the transmission medium constituting the communication network is not particularly limited, and specifically, it is an infrared ray such as IrDA or a remote control even in a wired manner such as IEEE 1394, USB, power line carrier, cable TV line, telephone line, ADSL line or the like. , Bluetooth, 802.11 wireless, HDR, mobile phone network, satellite line, terrestrial digital network, and the like. The present invention can also be realized in the form of a carrier wave or a data signal sequence in which the program code is embodied by electronic transmission.
[0114]
The functions described above are not only realized by executing the program code read out by the computer, but based on an instruction of the program code, an OS or the like operating on the computer partially or entirely in actual processing. It is also realized by performing.
[0115]
Furthermore, the function described above is obtained by writing the program code read from the recording medium into a memory provided in a function expansion board attached to the computer or a function expansion unit connected to the computer, and then the program code. Based on the instruction, the CPU or the like provided in the function expansion board or function expansion unit also implements part or all of the actual processing.
[0116]
【The invention's effect】
As described above, the management value update device of the present invention is communicably connected to the process data collection device that collects process data from the manufacturing device and the inspection result data collection device that collects inspection result data from the inspection device, Management value calculation means for updating a management value for applying a control chart to the process data in a direction of expanding the limit of the management value within a range where the inspection result data is normal based on the process data is provided. It is a configuration.
[0117]
The management value update method of the present invention also applies a control chart to the process data collection step for collecting process data from the manufacturing apparatus, the inspection result data collection step for collecting inspection result data from the inspection apparatus, and the process data. And a management value calculation step for updating the management value for increasing the limit of the management value within a range in which the inspection result data is normal based on the process data.
[0118]
Therefore, in order to sequentially update the control limit value to the maximum based on the actual process data and inspection result data, the control value that conforms to the product specifications and reflects the manufacturing characteristics in the manufacturing plant. A true limit value can be obtained.
[0119]
Therefore, the frequency of detecting process data abnormality based on the management value can be minimized. Therefore, alarm generation and production line stoppage can be minimized. Therefore, according to the management value update system, it is possible to improve the operating rate of the manufacturing factory while maintaining the quality.
[0120]
In addition, since the interval at which the manufacturing apparatus is stopped becomes longer, variations between apparatuses can be monitored for a longer period of time, and an appropriate maintenance time can be set, thereby improving the yield. As a result, it is possible to eliminate the need for excessive maintenance and inspection, which has been performed with a margin for stable operation of the conventional manufacturing apparatus.
[0121]
Further, since it is possible to determine whether or not each manufacturing apparatus or process has an important factor in quality control or yield management, it is possible to specify a manufacturing apparatus or process that should be enhanced in monitoring. Therefore, there is an effect that improvement in quality and yield can be realized.
[0122]
Furthermore, the management value update device of the present invention includes a process data determination unit that determines whether or not the process data is normal by comparing the process data with the management value for each management unit, and the management data update unit for each management unit. Inspection result data determining means for comparing the inspection result data with a predetermined threshold value to determine whether or not the inspection result data is normal, and the management value calculation means for the same management unit When the process data determination means determines that the process is abnormal and the inspection result data determination means determines that the process data is normal, a new management value is calculated for determining that the corresponding process data is normal.
[0123]
Therefore, when the process data is determined to be abnormal for the same management unit, but the inspection result data is determined to be normal, a new management value is set so that the corresponding process data is determined to be normal. It can be calculated. Therefore, the process data can be updated in the direction of expanding the limit of the management value within a range where the inspection result data is normal.
[0124]
Furthermore, the management value update device of the present invention includes management value storage means for adding and storing the management value for each update, and the frequency at which the management value calculation means determines that the inspection result data determination means is abnormal. When the value exceeds a predetermined standard, a past management value is acquired from the management value storage means, and the management value is updated with the past management value.
[0125]
Therefore, for example, when abnormalities in inspection results frequently occur as a result of changing to a new management value, for example, it is possible to return to a past management value (for example, an initial value or a previously set value) at which the inspection result is normal. There is an effect.
[0126]
Further, the management value update system of the present invention includes a management value update apparatus, the control chart showing the process data together with the management value, and the determination result by the inspection result data determination means. It is the structure containing the user interface apparatus provided with the correlation diagram display means displayed correspondingly for every.
[0127]
Further, the management value update method of the present invention is a correlation diagram display step of displaying the control chart showing the process data together with the management value and the determination result by the inspection result data determination means in association with each management unit. It is a method including.
[0128]
Therefore, the operator of the management value update system can visually recognize the influence of the change in the process data of the manufacturing apparatus on the inspection result. In particular, it is possible to specify a manufacturing apparatus or manufacturing process that has a particular influence on the inspection result. Therefore, it is possible to easily set a manufacturing apparatus, an inspection apparatus, a measurement period, process data measurement items, inspection result data inspection items, and the like, which are conditions for calculating a management value.
[0129]
The manufacturing management system of the present invention includes the above-described management value update device and a process management device that controls the manufacturing device using the management value updated by the management value update device.
[0130]
Therefore, for example, when the process data transmitted in real time from the manufacturing apparatus exceeds the control upper limit value, it is possible to perform an action such as stopping the manufacturing apparatus or issuing an alarm to the operator in charge. Play.
[0131]
The management value update program of the present invention is a computer program that causes a computer to function as each means of the management value update device.
[0132]
Therefore, the management value update device can be realized by realizing each means of the management value update device with a computer.
[0133]
The management value update program of the present invention is a computer program that causes a computer to function as a correlation diagram display means of the user interface device.
[0134]
Therefore, the user interface device can be realized by realizing the correlation diagram display means of the user interface device with a computer.
[0135]
Also, a computer-readable recording medium recording the management value update program of the present invention causes the above-described means to be realized by a computer to operate the management value update device and the user interface device that constitute the management value update system. It is a computer-readable recording medium that records a management value update program.
[0136]
Therefore, there is an effect that the management value update system can be realized on the computer by the management value update program read from the recording medium.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a functional block diagram showing an outline of a configuration of a management value update system according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is an explanatory diagram showing a management value update method in the management value update system shown in FIG. 1;
FIG. 3 is an explanatory diagram showing a management value updating method in the management value update system shown in FIG. 1;
FIG. 4 is an explanatory diagram showing a management value update method in the management value update system shown in FIG. 1;
FIG. 5 is an explanatory diagram showing a management value update method in the management value update system shown in FIG. 1;
6 is an explanatory diagram showing a management value update method in the management value update system shown in FIG. 1; FIG.
FIG. 7 is a flowchart of a management value update method in the management value update system shown in FIG. 1;
8 is a flowchart of a management value update method in the management value update system shown in FIG. 1; FIG.
FIG. 9 is an explanatory diagram showing an example of a display screen in the management value update system shown in FIG. 1;
10 is an explanatory diagram when the management value update system shown in FIG. 1 is applied to a general LCD manufacturing factory. FIG.
[Explanation of symbols]
11 Process data determination unit (process data determination means)
12 Inspection result data determination unit (Inspection result data determination means)
13 Management Value Calculation Unit (Management Value Calculation Unit)
14 management value storage unit (management value storage means)
21 GUI part (correlation diagram display means)
20 Condition setting device (user interface device)
22 Display screen generator (correlation diagram display means)
30 Process management device
100 Manufacturing management system
141 Process data collection device
151 Inspection result data collection device
160 Management Value Update System
200 Production line
201 Manufacturing equipment
202 Inspection equipment
S15 Management value calculation step

Claims

A management value update device provided under a manufacturing management system for controlling a manufacturing line including a manufacturing device and an inspection device for inspecting a product manufactured by the manufacturing device,
It is communicably connected to a process data collection device that collects process data from a manufacturing device and an inspection result data collection device that collects inspection result data from an inspection device, and
Management value calculation means for updating a management value for applying a control chart to the process data in a direction of expanding the limit of the management value within a range where the inspection result data is normal based on the process data is provided. A management value update device characterized by that.

Process data determination means for comparing the process data with the management value for each management unit to determine whether the process data is normal;
A test result data determination unit that determines whether or not the test result data is normal by comparing the test result data with a predetermined threshold value for each management unit;
When the management value calculation means determines that the process data determination means is abnormal and the inspection result data determination means determines normal for the same management unit, the corresponding process data is determined to be normal. The management value update apparatus according to claim 1, wherein a new management value is calculated.

The management value storage means for adding and storing the management value for each update is provided,
When the frequency at which the inspection value data determining unit determines that the inspection result data determining unit is abnormal exceeds a predetermined reference, the management value calculating unit acquires a past management value from the management value storage unit, and uses the past management value. The management value updating apparatus according to claim 1, wherein the management value is updated.

Including the management value update device according to any one of claims 1 to 3, and
And a user interface device including a correlation diagram display unit that displays the control chart showing the process data together with the management value and the determination result by the inspection result data determination unit in association with each management unit. Management value update system.

Comprising the management value updating device according to any one of claims 1 to 3, and
A manufacturing management system comprising a process management device that controls a manufacturing device using a management value updated by the management value update device.

A management value update method by a management value update system provided under a production management system for controlling a production line including a production apparatus and an inspection device for inspecting a product produced by the production apparatus,
A process data collection step for collecting process data from the manufacturing equipment;
An inspection result data collection step for collecting inspection result data from the inspection device;
A management value calculation step for updating a management value for applying a control chart to the process data in a direction to widen the limit of the management value within a range where the inspection result data is normal based on the process data; A management value update method characterized by including.

7. A correlation diagram display step for displaying a control chart showing the process data together with the management value and a determination result by the inspection result data determination means in association with each management unit. The management value update method described.

A management value update program for operating the management value update device according to any one of claims 1 to 3, wherein the management value update program causes a computer to function as each of the means.

5. A management value update program for operating a user interface device constituting the management value update system according to claim 4 for causing a computer to function as the correlation diagram display means.

A computer-readable recording medium on which the management value update program according to claim 8 is recorded.