【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は被膜付セラミックス部材の膜厚（被膜の厚さ）測定方法、その装置、被膜付セラミックス部材の製造方法に係わり、特に被膜形成前のセラミックス部材及び被膜形成後のセラミックス部材から光測定センサーまでの距離を測定し、その差を利用して膜厚を測定する被膜付セラミックス部材の膜厚測定方法、その装置、被膜付セラミックス部材の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、ドーム形状のアルミナのようなセラミックスにイットリウムアルミニウムガーネット（ＹＡＧ）被膜を形成した被膜付セラミックス部材における膜厚（膜厚とは本明細書において被膜の厚さを意味する。）の測定は、セラミックス部材を切断し、電子顕微鏡を用いて切断面の膜厚を測定することが行われている。
【０００３】
（１）アルミナ基材とＹＡＧ被膜の物性値がほぼ等しいことや、アルミナ基材が透明ではないこと、非金属体であることなどから、現在一般に行われている膜厚測定技術（超音波式、渦電流式、Ｘ線を使用した方法、光の干渉を使用した方法、レーザー光を使用した方法など）ではＹＡＧ膜厚を非破壊で測定できないこと。（２）要求膜厚測定精度が極めて高いこと、（３）ＹＡＧ被膜は剥れやすいこと及び他の物質に触れるなどして汚染してはならない等の理由から非接触の測定方法が要求されている。特許文献１で提案されている膜厚測定方法は、光源としてファイバーレーザーを用い、さらに、入射光を複数照射するものであり、その膜厚測定装置は高価になり、アルミナ基材と物性値のほぼ等しいＹＡＧ被膜の測定には不適当であり、さらに、ドーム形状の被測定物の測定には適さない。
【０００４】
また、（４）従来の破壊検査では、１個のドーム形状部材の測定に、約２日の検査日数を要する（測定点数は２５点）。さらに、（５）破壊試験のため、全数検査が不可能である。
【０００５】
そこでドーム形状のアルミナのようなセラミックス基材にＹＡＧ被膜を形成した被膜付セラミックス部材の非破壊膜厚測定方法、その装置及びその場（ｉｎ−ｓｉｔｅ）測定で膜厚の測定が可能で生産性がよいドーム形状の被膜付セラミックス部材の製造方法が要望されていた。
【０００６】
【特許文献１】
特開２００３−５９９９３号公報（段落［００４９］、［００５０］、図１）
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上述した事情を考慮してなされたもので、セラミックス基材にセラミックス被膜を形成した被膜付セラミックス部材の非破壊及び被膜を傷付けることがない被膜付セラミックス部材の膜厚測定方法を提供することを目的とする。
【０００８】
また、セラミックス基材にセラミックス被膜を形成した被膜付セラミックス部材の非破壊膜厚測定及び被膜を傷付けることがない被膜付セラミックス部材の膜厚測定を可能とする被膜付セラミックス部材の膜厚測定装置を提供することを目的とする。
【０００９】
さらに、その場測定で膜厚の測定が可能な膜厚測定工程を組込み、被膜付セラミックス部材の生産性が向上し、さらに、所望の膜厚の被膜付セラミックス部材を製造することができる被膜付セラミックス部材の製造方法を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の１つの態様によれば、光距離センサーからセラミックス仮焼体の測定位置に照射し、この反射光を受光して測定位置から光距離センサーまでの距離を測定する第１の測定工程と、前記測定済みセラミックス仮焼体にセラミックス被膜を形成した被膜付セラミックス仮焼体の前記測定位置における前記ら光距離センサーから前記セラミックス被膜までの距離を測定する第２の測定工程を有し、前記第１の測定工程により測定された距離と第２の測定工程により測定された距離の差をセラミックス被膜の膜厚値に用いることを特徴とする被膜付セラミックス部材の膜厚測定方法が提供される。これにより、セラミックス基材にセラミックス被膜を形成した被膜付セラミックス部材の非破壊及び被膜を傷付けることがない被膜付セラミックス部材の膜厚（被膜の厚さ）測定方法が実現される。
【００１１】
好適な一例では、上記距離の差に、予め破壊試験により求めた修正係数をかけて、焼成後の膜厚値とする。これにより、焼成後の膜厚値が精度よく得られる。
【００１２】
また、他の好適な一例では、前記セラミックス仮焼体は、ドーム形状である。これにより、通常、測定が困難なドーム形状セラミックス焼成体の被膜の膜厚値を精度よく得られる。
【００１３】
また、他の好適な一例では、前記セラミックス仮焼体は、アルミナであり、被膜はイットリウムアルミニウムガーネットである。
【００１４】
また、本発明の他の態様によれば、曲面形状を有する被測定部材が載置されるワーク載置部と、このワーク載置部に載置された前記被測定部材の内表面の所定の位置から当該光距離センサーまでの距離を測定する光距離センサーと、前記光距離センサーを回転させる距離センサー回転機構と、この距離センサー回転機構を昇降させて距離センサーを昇降させるセンサー昇降機構と、このセンサー昇降機構の昇降位置を検知するセンサー昇降位置検知センサーを有することを特徴とする被膜付セラミックス部材の膜厚測定装置が提供される。これにより、セラミックス基材にセラミックス被膜を形成した被膜付セラミックス部材の非破壊膜厚測定及び被膜を傷付けることがない被膜付セラミックス部材の膜厚測定を可能とする被膜付セラミックス部材の膜厚測定装置が実現される。
【００１５】
また、好適な一例では、前記被測定部材は、この被測定部材の基準位置を決定するために用いられる基準治具に取付けられて、前記膜厚測定装置に載置される。これにより、アルミナ仮焼体の位置が容易かつ高精度に調整される。
【００１６】
また、好適な一例では、前記光距離センサーは、ゼロ点調整を行うゼロ点調整治具を前記膜厚測定装置に載置してゼロ点調整が行われる。これにより、容易かつ高精度にゼロ点調整が行われる。
【００１７】
また、本発明の他の態様によれば、セラミックス仮焼体を製造する工程と、光距離センサーから光線をセラミックス仮焼体の所定位置に照射し、この反射光を受光して所定位置から光距離センサーまでの距離を測定する第１の測定工程と、前記測定済みセラミックス仮焼体にセラミックス被膜を形成した被膜付セラミックス仮焼体の前記測定位置における前記光距離センサーから前記セラミックス被膜までの距離を測定する第２の測定工程と、前記第１の測定工程により測定された距離と第２の測定工程により測定された距離の差からセラミックス被膜の膜厚を求める工程と、被膜付セラミックス仮焼体を焼成する工程を有することを特徴とする被膜付セラミックス部材の製造方法が提供される。これにより、その場測定で膜厚の測定が可能な膜厚測定工程を組込み、被膜付セラミックス部材の生産性が向上し、さらに、所望の膜厚の被膜付セラミックス部材を製造することができる被膜付セラミックス部材の製造方法が実現される。
【００１８】
好適な一例では、前記セラミックス仮焼体は、アルミナであり、被膜はイットリウムアルミニウムガーネットである。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係わる被膜付セラミックス部材の膜厚（被膜の厚さ）測定装置の一実施形態について図面を参照して説明する。
【００２０】
図１に示すように、本発明に係わる被膜付セラミックス部材の膜厚測定装置１は、直方体フレーム状の基台２と、この基台２の上部に設けられ、かつ中央部に円形状の収容孔３ａが設けられ、曲面形状を有する被測定部材例えばドーム形状のセラミックス仮焼体Ｍがダンパ支持部材３ｂを介して載置されるワーク載置部３と、収容孔３ａ内を昇降し、光距離センサー４ａからセラミックス仮焼体Ｍの内面あるいは基準治具までの距離を測定するセンサー部４と、このセンサー部４を回転させるセンサー回転機構５と、このセンサー回転機構５と共にセンサー部４を昇降させるセンサー昇降機構６を有している。また、膜厚測定装置１には、図１及び図２に２点鎖線で示し、セラミックス仮焼体Ｍの基準位置を決定するために用いられる基準治具２１と、光距離センサー４ａのゼロ点調整に用いられ図１５に示すゼロ点調整治具２２が用いられる。
【００２１】
さらに、図３に示すように、センサー部４は、截頂正方形状のセンサー取付基材４ｂと、このセンサー取付基材４ｂにセンサー取付部４ｃを介して、センサー取付基材４ｂの截頂部に各々対向し９０°の等間隔で設けられた４個の光距離センサー４ａを有している。これら４個の光距離センサー４ａのうち、光距離センサー４ａ１は光軸が垂直であって上向きであり、光距離センサー４ａ２は光軸が垂直線と小角度の鋭角をなして上向きであり、光距離センサー４ａ３は光軸が垂直線と大角度の鋭角をなして上向きであり、光距離センサー４ａ４は光軸が水平である。光距離センサー４ａとして例えばレーザー光距離センサーが用いられ、図１及び図２に示すように、ドーム形状のセラミックス焼結体Ｍの異なる位置を測定可能になっている。
【００２２】
図４に示すように、光距離センサー４ａは、膜厚測定装置１全体を制御するパソコン７に接続されており、各光距離センサー４ａから照射され、セラミックス仮焼体Ｍあるいは被膜で反射されたレーザー光を受け、Ａ／Ｄ変換手段８によりデジタル化され、セラミックス仮焼体Ｍあるいは被膜と各光距離センサー４ａまでの距離情報としてＣＰＵ７ｐ及び記憶手段７ｍを有するパソコン７に送るようになっており、デジタル化された距離情報はパソコン７で処理される。
【００２３】
図５に示すように、光距離センサー４ａは、通常用いられるもので、発光素子ドライバー４ａ５に制御され、レーザー光を発振する発光素子４ａ６、この発光素子４ａ６の光軸上に設けられた投光レンズ４ａ７と、上記光軸のセラミックス仮焼体Ｍに対する反射光軸上に設けられた結像レンズ４ａ８と、反射光軸上のポジションセンサー４ａ９と、このポジションセンサー４ａ９からの位置情報を処理する上記Ａ／Ｄ変換手段８に接続されている。また、図４に示すように、パソコン７には、入力手段、例えばキーボード９と、出力手段、例えばプリンタ１０およびディスプレー１１が接続されている。
【００２４】
図１及び図２に示すように、上記センサー回転機構５は、センサー取付基材４ｂに設けられた光距離センサー４ａを回転軸５ａを介して回転（公転）させるセンサー回転用モータ５ｂと、このセンサー回転用モータ５ｂをセンサー昇降機構６に取付けるモータ支持部材５ｃと、センサー昇降機構６に取付けられ回転軸５ａを受ける軸受５ｄと、モータ支持部材５ｃ及び回転軸５ａに設けられセンサー回転機構５の回転方向の原点を検出する原点検出センサー５ｅを有している。従って、センサー回転用モータ５ｂを回転させることにより、光距離センサー４ａを回転させることができるようになっている。
【００２５】
さらに、図１及び図２に示すように、センサー昇降機構６は、基台２に固定されたセンサー昇降用モータ６ａと、このセンサー昇降用モータ６ａにより回転されるボールネジ６ｂと、このボールネジ６ｂに螺合し昇降する昇降部材６ｃと、この昇降部材６ｃに取付けられモータ支持部材５ｃ及び軸受５ｄが取付けられた昇降支持部材６ｄと、センサー昇降機構６の原点を検知する原点検出センサー６ｅを有している。従って、センサー昇降用モータ６ａを回転させることにより、光距離センサー４ａを昇降させることができるようになっている。
【００２６】
また、図１及び図２に示すように膜厚測定時、膜厚測定装置１に載置されて用いられる基準治具２１は、さらに図６乃至図１０に示すように、セラミックス焼結体Ｍが直接載置される３個の別部材からなるワーク支持部材２１ａと、このワーク支持部材２１ａが上面外周に取付られ、リング形状をなし、かつ内周部にフランジ部２１ｂ１が設けられ下面外周に１２０°間隔で３個の位置決めプレート２１ｂ２が設けられた基準ベース部材２１ｂと、図６に示す押さえ部材２１ｃ及び押さえネジ２１ｄを除去して示す図７及び図９に示すように、図６の押さえ部材２１ｃと共にセラミックス仮焼体Ｍを固定するワーク固定ネジ２１ｅが設けられており、このワーク固定ネジ２１ｅは基準ベース部材２１ｂに立設されたネジ取付部材２１ｆを貫通して取付けられている。従って、ワーク支持部材２１ａにより３点支持されたセラミックス仮焼体Ｍは、押さえ部材２１ｃを介する押さえネジ２１ｄ及びワーク固定ネジ２１ｅにより基準治具２１に取付けられ、位置決めプレート２１ｂ２を介して３点支持で膜厚測定装置１に載置される。
【００２７】
図１０のＡ部を拡大して示す図１１（ａ）に示すように、基準ベース部材２１ｂのフランジ部２１ｂ１の内周面には、横ずれ検出面２１ｂ３及び高さ位置ずれ検出エッジ２１ｂ４が形成され、さらに、図１１（ｂ）に示すように、回転方向検出ノッチ２１ｂ５が形成されている。これにより、図１１（ａ）及び図１２に示すように光距離センサー４ａ４から照射された水平方向のレーザー光が横ずれ検出面２１ｂ３、また、図１２に示すように検出エッジ２１ｂ４、さらに、図１１（ｂ）及び図１４に示すように回転方向検出ノッチ２１ｂ５で反射され、基準治具２１の横ずれ、高さ位置ずれおよびセンサー部４の回転方向位置が検出されるようになっている。なお、符号２１ｇは成膜用スラリに垂れ防止部材である。
【００２８】
ゼロ点調整治具２２は光距離センサー４ａのゼロ点調整時、上記膜厚測定時に膜厚測定装置１に載置されて用いられる基準治具２１と同様に、膜厚測定装置１に載置されて用いられる。図１５に示すように、ゼロ点調整治具２２は一部断面が円弧状をなし基準となるべきレーザー光反射面２２ａ１が形成されたレーザー光反射部材２２ａと、このレーザー光反射部材２２ａを支持し、図１０に示す基準ベース部材２１ｂと同様の形状を有し、内周部にフランジ部２２ｂ１が設けられ、図１６に示すように外周に１２０°間隔で３個の位置決めプレート２２ｂ２が設けられた基準ベース部材２２ｂと、レーザー光の漏れを防止し、把手２２ｃ１が設けられたカバー部材２２ｃからなっている。従って、レーザー光反射部材２２ａ及びカバー部材２２ｃは、基準ベース部材２２ｂに載置され、さらに、位置決めプレート２２ｂ２を介して３点支持で膜厚測定装置１に載置されている。また、図１１（ａ）の横ずれ検出面２１ｂ３、検出エッジ２１ｂ４と同様、図１６のＢ部を拡大して示す図１７（ａ）に示すように、フランジ部２２ｂ１には横ずれ検出面２２ｂ３及び高さ位置ずれ検出エッジ２２ｂ４が形成されさらに、図１１（ｂ）の回転方向検出ノッチ２１ｂ５と同様、図１７（ｂ）に示すように、回転方向検出ノッチ２２ｂ５が形成されている。これにより、光距離センサー４ａ４から照射された水平方向のレーザー光が横ずれ検出面２２ｂ３、高さ位置ずれ検出エッジ２２ｂ４及び回転方向検出ノッチ２２ｂ５で反射され、ゼロ点調整治具２２の横ずれ、高さ位置ずれ及びセンサー部４の回転位置が検出されるようになっている。
【００２９】
次に、本発明に係わる被膜付セラミックス部材の膜厚測定方法、被膜付セラミックス部材の製造方法の一実施形態について図１８に示す製造工程フロー図に沿って説明する。
【００３０】
セラミックス仮焼体、例えばドーム状のアルミナ仮焼体Ｍ１を用意する（Ｓ１）。
【００３１】
アルミナの原料粉、ＭｇＯ、純水、アルミナボールをポットに入れ、１２時間、ポットを回転させ、混合および解砕を行ってスラリを得、このスラリをスプレードライヤにて、粒径１００μｍ程度の造粒粉とした。このアルミナ造粒粉をＣＩＰ（圧力は１４．７ＭＰａ）により、成形体を作り、９００℃焼成、仮焼体を得る。
【００３２】
アルミナ仮焼体Ｍ１に基準点が設けられた基準治具２１を取付ける（Ｓ２）。
【００３３】
この基準治具２１の取付けは、図７及び図９に示すように、基準ベース部材２１ｂに取付けられたワーク支持部材２１ａをセラミックス仮焼体Ｍ、押さえ部材２１ｃを介して、押さえネジ２１ｄ及びワーク固定ネジ２１ｅにより行われる。
【００３４】
膜厚測定装置１のワーク載置部３にゼロ点調整治具２２を載置し、光距離センサー４ａのゼロ点調整を行う（Ｓ３）。
【００３５】
このゼロ点調整は、図１２に示すと同様、ダンパ支持部材３ｂを介してワーク載置部３にゼロ点調整治具２２を載置した後、センサー昇降機構６を作動させてセンサー部４を上昇させ、図１７（ａ）に示すように距離センサー４ａ４から水平方向にレーザー光を照射し、光距離センサー４ａ４から照射された水平方向のレーザー光が横ずれ検出面２２ｂ３で反射され、さらに、図１３に示すと同様、図１７（ａ）に示すように高さ位置ずれ検出エッジ２２ｂ４で反射され、ゼロ点調整治具２２の横ずれ、高さ位置ずれが認識される。さらに、これらのずれを調整し、センサー回転機構５を作動させてセンサー部４を回動させ、図１４に示すと同様に、図１７（ｂ）に示すように光距離センサー４ａ４から照射されたレーザー光は回転方向検出ノッチ２２ｂ５で反射され、回転方向位置が検出される。この位置からさらに所定の角度回転させ、全ての距離センサー４ａからレーザー光をレーザー光反射部材２２ａの反射面２２ａ１に照射させ、反射させて、ゼロ点調整を行う。これより容易かつ高精度にゼロ点調整が行われる。
【００３６】
ゼロ点調整治具２２をワーク載置部３から取外し、予め基準治具２１が取付られたアルミナ仮焼体Ｍ１をワーク載置部３に載置し、基準治具２１の位置を確認する（Ｓ４）。
【００３７】
この工程では基準治具２１の平面縦方向、横方向、高さ方向及び回転方向の基準（前回の位置）とのずれを確認する。
【００３８】
この確認は、Ｓ３と同様に、図１１（ａ）、図１６及び図１７に示すように、横ずれが横ずれ検出面２１ｂ３を用いて、図１９に示すように４箇所行われ、図１１（ａ）、図１７及び図１８に示すように、高さ位置ずれが高さ位置ずれ検出エッジ２１ｂ４を用いて、図１９に示すように４箇所行われる。
【００３９】
図１１（ｂ）、図２０に示すように、回転方向位置検出は回転方向検出ノッチ２１ｂ５を用いて行われ、その結果はディスプレー１１に表示される。
【００４０】
表示された各ずれ値を参照し、ずれが基準値を超える場合には、基準治具２１を置直し、位置を調整する（Ｓ５）。
【００４１】
これにより基準治具２１に一体的に取付けられているアルミナ仮焼体Ｍ１の位置も容易かつ高精度に調整される。
【００４２】
図２１に示すように、光距離センサー４ａを用いてアルミナ仮焼体Ｍ１の測定位置から光距離センサー４ａまでの距離Ｌ１を測定する（第１の測定工程）（Ｓ６）。
【００４３】
この測定は図２２に示すように２５点行われる。
【００４４】
基準治具２１が取付けられたままアルミナ仮焼体Ｍ１をワーク載置部３から取外し、ＹＡＧスラリをスプレーにより塗布して乾燥し、ＹＡＧ膜付アルミナ仮焼体Ｍ２を作製する（Ｓ７）。
【００４５】
基準治具２１が取外されたワーク載置部３に再びゼロ点調整治具２２を載置し、Ｓ３と同様にして光距離センサー４ａのゼロ点調整を行う（Ｓ８）。
【００４６】
基準治具２１をワーク載置部３から取外し、Ｓ７において成膜されたＹＡＧ付アルミナ仮焼体Ｍ２が取付けられた基準治具２１を、再びワーク載置部３に載置し、位置を確認する（Ｓ９）。
【００４７】
ＹＡＧ成膜は、ＹＡＧとアルミナの混合スラリ（アルミナの原料粉、ＹＡＧ粉、分散媒、純水、の混合、解砕）及びＹＡＧスラリ（ＹＡＧ粉、分散剤、純水の混合、解砕）を順次スプレーにより塗布し、乾燥して行われる。
【００４８】
この位置確認はＳ４と同様に行われる。
【００４９】
Ｓ５と同様に出力された各ずれ値を参照し、ずれが基準値を超える場合には、基準治具２１を置き直し、位置を調整する（Ｓ１０）。
【００５０】
図２３に示すように、レーザー距離センサー４ａを用い、第１の測定工程（Ｓ６）で測定した位置に対応するＹＡＧ膜付アルミナ仮焼体Ｍ２のＹＡＧ被膜の測定位置からレーザー距離センサー４ａまでの距離Ｌ２を測定し記憶する（第２の測定工程）（Ｓ１１）。
【００５１】
第１の測定工程により測定された距離と第２の測定工程により測定された距離の差ΔＬを演算し膜厚を求める（Ｓ１２）。
【００５２】
Ｓ１１における第２の測定工程後に、ＹＡＧ付アルミナ仮焼体Ｍ２から基準治具２１を取外し、再度仮焼し、ＹＡＧ付アルミナ仮焼体Ｍ２を１７００〜１８５０℃で４時間焼成して焼成体を得る（Ｓ１３）。
【００５３】
この焼成により、僅かにＹＡＧ膜に収縮が生じるが、実用上距離の差をそのまま膜厚として用いても支障がない場合には、これを膜厚とし、修正をするのが好ましい場合には、予め破壊試験により求めた修正係数をかけることで、焼成後の膜厚を求めることができる。
【００５４】
上記のように本実施形態によれば、従来のように本焼成後に膜厚を測定するのと異なり、セラミックス膜形成前後のセラミックス仮焼体状態での膜厚測定であるので、非破壊の膜厚測定が可能となり、また、測定時間が短縮し、さらに、光距離センサーを用いるので、被膜に非接触で測定でき、被膜を傷付けることがない。
【００５５】
また、被膜付セラミックス部材の製造方法は、その製造工程中に、その場測定で膜厚の測定が可能な膜厚測定工程を組込むので、被膜付セラミックス部材の生産性が向上し、さらに、所望の膜厚の被膜付セラミックス部材を製造することができる。
【００５６】
【発明の効果】
本発明に係わる被膜付セラミックス部材の膜厚測定方法によれば、セラミックス基材にセラミックス被膜を形成した被膜付セラミックス部材の非破壊及び被膜を傷付けることがない被膜付セラミックス部材の膜厚測定方法を提供することができる。
【００５７】
また、本発明に係わる被膜付セラミックス部材の膜厚測定装置によれば、セラミックス基材にセラミックス被膜を形成した被膜付セラミックス部材の非破壊膜厚測定及び被膜を傷付けることがない被膜付セラミックス部材の膜厚測定を可能とする被膜付セラミックス部材の膜厚測定装置を提供することができる。
【００５８】
また、本発明に係わる被膜付セラミックス部材の製造方法によれば、その場測定で膜厚の測定が可能な膜厚測定工程を組込むので、被膜付セラミックス部材の生産性が向上し、さらに、所望の膜厚の被膜付セラミックス部材を製造することができる被膜付セラミックス部材の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係わる被膜付セラミックス部材の膜厚測定装置の正面視縦断面図。
【図２】本発明に係わる被膜付セラミックス部材の膜厚測定装置の側面視縦断面図。
【図３】本発明に係わる被膜付セラミックス部材の膜厚測定装置の平面図。
【図４】本発明に係わる被膜付セラミックス部材の膜厚測定装置の用いられる制御回路の概念図。
【図５】本発明に係わる被膜付セラミックス部材の膜厚測定装置の用いられる光距離センサーの概念図。
【図６】本発明に係わる被膜付セラミックス部材の膜厚測定装置に用いられる基準治具の平面図。
【図７】本発明に係わる被膜付セラミックス部材の膜厚測定装置に用いられる基準治具の押さえ部材及び押さえを除去して示す平面図。
【図８】本発明に係わる被膜付セラミックス部材の膜厚測定装置に用いられる基準治具の側面図。
【図９】図６のＸ−Ｘ線に沿う断面図。
【図１０】図７の基準治具に用いられるワーク支持部材の平面図。
【図１１】（ａ）、（ｂ）は、図１０のＡ部の拡大図。
【図１２】本発明の被膜付セラミックス部材の膜厚測定装置に用いられる光距離センサーによる横ずれ検出面方法を示す基準治具の断面図。
【図１３】本発明の被膜付セラミックス部材の膜厚測定装置に用いられる光距離センサーによる高さ位置ずれ検出エッジ方法を示す基準治具の断面図。
【図１４】本発明の被膜付セラミックス部材の膜厚測定装置に用いられる光距離センサーによる回転方向位置の検出方法を示す基準治具の断面図。
【図１５】本発明に係わる被膜付セラミックス部材の膜厚測定装置に用いられるゼロ点調整治具の断面図。
【図１６】図１５の基準治具に用いられる反射部材支持部材の平面図。
【図１７】（ａ）、（ｂ）は、図１６のＢ部の拡大図。
【図１８】本発明に係わる被膜付セラミックス部材の製造工程フロー図。
【図１９】本発明の被膜付セラミックス部材の膜厚測定装置に用いられる光距離センサーによる位置調整用測定点を示す説明図。
【図２０】本発明の被膜付セラミックス部材の膜厚測定装置に用いられる光距離センサーによる位置調整用測定点を示す説明図。
【図２１】本発明の被膜付セラミックス部材の膜厚測定方法によるアルミナ仮焼体までの距離測定方法の概念図。
【図２２】図２１における測定点の説明図。
【図２３】本発明の被膜付セラミックス部材の膜厚測定方法によるＹＡＧ被膜までの距離測定方法の概念図。
【符号の説明】
１ 被膜付セラミックス部材の膜厚測定装置
２ 基台
３ ワーク載置部
３ａ 収容孔
３ｂ ダンパ支持部材
４ センサー部
５ センサー回転機構
６ センサー昇降機構
２１ 基準治具
２１ａ ワーク支持部材
２２ ゼロ点調整治具[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a method for measuring a film thickness (film thickness) of a ceramic member with a film, an apparatus thereof, and a method for producing a ceramic member with a film, and in particular, a light measurement sensor from a ceramic member before film formation and a ceramic member after film formation. It is related with the film thickness measuring method of the ceramic member with a film | membrane which measures the distance to this, and measures a film thickness using the difference, its apparatus, and the manufacturing method of the ceramic member with a film | membrane.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, the measurement of the film thickness (film thickness means the thickness of the coating in this specification) in a coated ceramic member in which a yttrium aluminum garnet (YAG) coating is formed on a ceramic such as dome-shaped alumina, A ceramic member is cut and the thickness of the cut surface is measured using an electron microscope.
[0003]
(1) The film thickness measurement technique (ultrasonic wave type) currently generally used because the physical properties of the alumina base and the YAG film are almost equal, the alumina base is not transparent, and is a non-metallic body. , Eddy current method, method using X-ray, method using light interference, method using laser light, etc.) cannot measure the YAG film thickness non-destructively. (2) Non-contact measurement method is required because the required film thickness measurement accuracy is extremely high, (3) the YAG film is easy to peel off and must not be contaminated by touching other substances. Yes. The film thickness measurement method proposed in Patent Document 1 uses a fiber laser as a light source, and further irradiates a plurality of incident light. The film thickness measurement apparatus becomes expensive, and the alumina base material and physical property values are It is unsuitable for the measurement of a substantially equal YAG film, and is not suitable for the measurement of a dome-shaped object to be measured.
[0004]
Moreover, (4) In the conventional destructive inspection, the measurement of one dome-shaped member requires about 2 days of inspection days (the number of measurement points is 25 points). Furthermore, (5) 100% inspection is impossible due to destructive testing.
[0005]
Therefore, nondestructive film thickness measurement method of coated ceramic member with YAG film formed on ceramic base material such as dome-shaped alumina, its equipment and in-situ measurement enables measurement of film thickness. Therefore, there has been a demand for a method for manufacturing a ceramic member with a coated dome shape.
[0006]
[Patent Document 1]
JP 2003-59993 A (paragraphs [0049] and [0050], FIG. 1)
[0007]
[Problems to be solved by the invention]
The present invention has been made in view of the above-described circumstances, and provides a method for measuring the film thickness of a coated ceramic member that does not damage the coating-coated ceramic member in which the ceramic coating is formed on the ceramic substrate. For the purpose.
[0008]
Further, there is provided a film thickness measuring device for a coated ceramic member capable of measuring a nondestructive film thickness of a coated ceramic member having a ceramic film formed on a ceramic substrate and measuring a film thickness of the coated ceramic member without damaging the coated film. The purpose is to provide.
[0009]
Furthermore, a film thickness measurement process capable of measuring the film thickness in situ is incorporated, the productivity of the coated ceramic member is improved, and a coated ceramic member with a desired film thickness can be manufactured. It aims at providing the manufacturing method of a ceramic member.
[0010]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, according to one aspect of the present invention, the optical distance sensor irradiates the measurement position of the ceramic calcined body, receives the reflected light, and measures the distance from the measurement position to the optical distance sensor. And a second measuring step for measuring a distance from the optical distance sensor to the ceramic film at the measurement position of the ceramic calcined body with a film in which a ceramic film is formed on the measured ceramic calcined body. A film of a ceramic member with a coating film, characterized in that a difference between the distance measured by the first measurement process and the distance measured by the second measurement process is used as a film thickness value of the ceramic film. A thickness measurement method is provided. This realizes a method for measuring the film thickness (film thickness) of the coated ceramic member that does not damage the coating-coated ceramic member in which the ceramic film is formed on the ceramic substrate.
[0011]
In a preferred example, the difference in distance is multiplied by a correction coefficient obtained in advance by a destructive test to obtain a film thickness value after firing. Thereby, the film thickness value after baking can be obtained with high accuracy.
[0012]
In another preferable example, the ceramic calcined body has a dome shape. Thereby, the film thickness value of the coating film of the dome-shaped ceramic fired body, which is usually difficult to measure, can be obtained with high accuracy.
[0013]
In another preferred example, the ceramic calcined body is alumina, and the coating is yttrium aluminum garnet.
[0014]
According to another aspect of the present invention, a workpiece placement portion on which a measured member having a curved surface is placed, and a predetermined inner surface of the measured member placed on the workpiece placement portion. An optical distance sensor that measures the distance from the position to the optical distance sensor, a distance sensor rotation mechanism that rotates the optical distance sensor, a sensor elevating mechanism that raises and lowers the distance sensor by raising and lowering the distance sensor rotation mechanism, There is provided a film thickness measuring device for a coated ceramic member having a sensor lift position detection sensor for detecting a lift position of a sensor lift mechanism. Thus, a non-destructive film thickness measurement of a coated ceramic member in which a ceramic film is formed on a ceramic substrate and a film thickness measuring device for a coated ceramic member capable of measuring the film thickness of a coated ceramic member without damaging the coated film Is realized.
[0015]
In a preferred example, the member to be measured is attached to a reference jig used for determining a reference position of the member to be measured, and is placed on the film thickness measuring device. Thereby, the position of an alumina calcined body is adjusted easily and with high precision.
[0016]
In a preferred example, the optical distance sensor performs zero point adjustment by placing a zero point adjustment jig for performing zero point adjustment on the film thickness measuring device. Thereby, the zero point adjustment is performed easily and with high accuracy.
[0017]
Further, according to another aspect of the present invention, a step of manufacturing a ceramic calcined body, and a light beam from a light distance sensor is irradiated to a predetermined position of the ceramic calcined body, and the reflected light is received and light is emitted from the predetermined position. A first measuring step for measuring a distance to the distance sensor; and a distance from the optical distance sensor to the ceramic coating at the measurement position of the ceramic calcined body with a coating in which a ceramic coating is formed on the measured ceramic calcined body. A second measuring step for measuring the thickness, a step for obtaining a film thickness of the ceramic film from a difference between the distance measured by the first measuring step and the distance measured by the second measuring step, There is provided a method for producing a coated ceramic member comprising a step of firing a body. As a result, a film thickness measurement process capable of measuring the film thickness in situ is incorporated, the productivity of the coated ceramic member is improved, and the coated ceramic member having a desired film thickness can be manufactured. The manufacturing method of a ceramic member with an attachment is implement | achieved.
[0018]
In a preferred example, the ceramic calcined body is alumina and the coating is yttrium aluminum garnet.
[0019]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, an embodiment of a film thickness (film thickness) measuring apparatus for a coated ceramic member according to the present invention will be described with reference to the drawings.
[0020]
As shown in FIG. 1, a film thickness measuring apparatus 1 for a coated ceramic member according to the present invention is provided on a rectangular parallelepiped frame-shaped base 2 and an upper portion of the base 2 and a circular housing at the center. A workpiece to be measured 3 having a hole 3a and having a curved surface, for example, a dome-shaped ceramic calcined body M placed via a damper support member 3b, and the inside of the accommodation hole 3a are moved up and down. The sensor unit 4 that measures the distance from the distance sensor 4a to the inner surface of the ceramic calcined body M or the reference jig, the sensor rotating mechanism 5 that rotates the sensor unit 4, and the sensor unit 4 together with the sensor rotating mechanism 5 moves up and down. A sensor lifting mechanism 6 is provided. In addition, the film thickness measuring device 1 is indicated by a two-dot chain line in FIGS. 1 and 2, and a reference jig 21 used for determining a reference position of the ceramic calcined body M and a zero point of the optical distance sensor 4a. A zero point adjustment jig 22 used for adjustment and shown in FIG. 15 is used.
[0021]
Further, as shown in FIG. 3, the sensor unit 4 includes a sensor mounting base 4 b having a square top shape and a sensor mounting base 4 b on the sensor mounting base 4 b via the sensor mounting base 4 c. There are four optical distance sensors 4a facing each other and provided at equal intervals of 90 °. Of these four optical distance sensors 4a, the optical distance sensor 4a 1 has an optical axis that is vertical and is upward, and the optical distance sensor 4a 2 has an optical axis that is upward with a small acute angle with the vertical line. , optical distance sensor 4a 3 is upward optical axis at an acute angle of the vertical line and a large angle, light distance sensor 4a 4 is the optical axis is horizontal. For example, a laser light distance sensor is used as the light distance sensor 4a, and as shown in FIGS. 1 and 2, different positions of the dome-shaped ceramic sintered body M can be measured.
[0022]
As shown in FIG. 4, the optical distance sensor 4a is connected to a personal computer 7 that controls the entire film thickness measuring device 1, and is irradiated from each optical distance sensor 4a and reflected by the ceramic calcined body M or the coating. The laser beam is received, digitized by the A / D conversion means 8, and sent to the personal computer 7 having the CPU 7p and the storage means 7m as distance information between the ceramic calcined body M or the coating and each optical distance sensor 4a. The digitized distance information is processed by the personal computer 7.
[0023]
As shown in FIG. 5, an optical distance sensor 4a is intended to be normally used, is controlled by the light emitting element driver 4a 5, the light emitting element 4a 6 for oscillating a laser beam, provided on the optical axis of the light emitting element 4a 6 The projected lens 4a 7 , the imaging lens 4a 8 provided on the reflected optical axis of the ceramic calcined body M with the optical axis, the position sensor 4a 9 on the reflected optical axis, and the position sensor 4a 9 Are connected to the A / D conversion means 8 for processing the position information. As shown in FIG. 4, input means such as a keyboard 9 and output means such as a printer 10 and a display 11 are connected to the personal computer 7.
[0024]
As shown in FIGS. 1 and 2, the sensor rotation mechanism 5 includes a sensor rotation motor 5b that rotates (revolves) an optical distance sensor 4a provided on the sensor mounting base 4b via a rotation shaft 5a, and a sensor rotation motor 5b. A motor support member 5c for attaching the sensor rotation motor 5b to the sensor lift mechanism 6, a bearing 5d attached to the sensor lift mechanism 6 for receiving the rotation shaft 5a, a motor support member 5c and the rotation shaft 5a provided to the sensor rotation mechanism 5 An origin detection sensor 5e that detects the origin in the rotation direction is provided. Therefore, the optical distance sensor 4a can be rotated by rotating the sensor rotating motor 5b.
[0025]
Further, as shown in FIGS. 1 and 2, the sensor elevating mechanism 6 includes a sensor elevating motor 6a fixed to the base 2, a ball screw 6b rotated by the sensor elevating motor 6a, and a ball screw 6b. An elevating member 6c that is screwed up and down, an elevating support member 6d that is attached to the elevating member 6c and to which a motor support member 5c and a bearing 5d are attached, and an origin detection sensor 6e that detects the origin of the sensor elevating mechanism 6 are provided. ing. Therefore, the optical distance sensor 4a can be raised and lowered by rotating the sensor raising / lowering motor 6a.
[0026]
Further, as shown in FIGS. 1 and 2, the reference jig 21 mounted and used on the film thickness measuring device 1 at the time of film thickness measurement further includes a ceramic sintered body M as shown in FIGS. There the work supporting member 21a consisting of three separate members which are mounted directly, the workpiece supporting member 21a is mounted on an upper surface outer periphery, a lower surface outer peripheral flange portion 21b 1 is provided without a ring shape, and the inner peripheral portion on the reference base member 21b of the three positioning plate 21b 2 are provided at 120 ° intervals, as shown in FIGS. 7 and 9 show by removing the pressing members 21c and cap screws 21d shown in FIG. 6, FIG. 6 A workpiece fixing screw 21e for fixing the ceramic calcined body M is provided together with the pressing member 21c, and the workpiece fixing screw 21e passes through a screw mounting member 21f provided upright on the reference base member 21b. Installed. Therefore, the ceramic calcined body is supported at three points by the workpiece support member 21a M is attached to the reference jig 21 by cap screws 21d and workpiece fixing screws 21e through the pressing member 21c, three points via the positioning plate 21b 2 It is mounted on the film thickness measuring device 1 with support.
[0027]
As shown in FIG. 11 (a), which is an enlarged view of the portion A in FIG. 10, the lateral displacement detection surface 21b 3 and the height displacement detection edge 21b 4 are formed on the inner peripheral surface of the flange portion 21b 1 of the reference base member 21b. Further, as shown in FIG. 11B, a rotation direction detection notch 21b 5 is formed. As a result, the horizontal laser beam emitted from the optical distance sensor 4a 4 as shown in FIGS. 11 (a) and 12 is detected as the lateral shift detection surface 21b 3 , the detection edge 21b 4 as shown in FIG. 11 (b) and FIG. 14, the light is reflected by the rotation direction detection notch 21b 5 , and the lateral deviation of the reference jig 21, the height position deviation, and the rotation direction position of the sensor unit 4 are detected. Yes. Reference numeral 21g denotes an anti-sag member in the film forming slurry.
[0028]
The zero point adjusting jig 22 is placed on the film thickness measuring device 1 in the same manner as the reference jig 21 used by being placed on the film thickness measuring device 1 when measuring the thickness of the optical distance sensor 4a. To be used. As shown in FIG. 15, and the laser beam reflecting member 22a in which a part cross-section laser beam reflecting surface 22a 1 that is to be used as a reference an arc shape is formed zero adjustment jig 22, the laser beam reflecting member 22a supporting, has the same shape as the reference base member 21b illustrated in FIG. 10, the flange portion 22b 1 is provided on the inner peripheral portion, three positioning at 120 ° intervals on the outer circumference as shown in FIG. 16 the plate 22b 2 And a cover member 22c provided with a handle 22c1 that prevents leakage of laser light. Therefore, the laser beam reflecting member 22a and the cover member 22c is placed on the reference base member 22b, and is further placed on the film thickness measuring device 1 by three-point support via a positioning plate 22b 2. Further, as shown in FIG. 17 (a), in which the portion B in FIG. 16 is enlarged, as in the lateral displacement detection surface 21b 3 and the detection edge 21b 4 in FIG. 11 (a), the lateral displacement detection surface is provided in the flange portion 22b 1. 22b 3 and a height misalignment detection edge 22b 4 are formed, and as shown in FIG. 17B, a rotation direction detection notch 22b 5 is formed as in the rotation direction detection notch 21b 5 of FIG. 11B. ing. As a result, the horizontal laser light emitted from the optical distance sensor 4 a 4 is reflected by the lateral displacement detection surface 22 b 3 , the height displacement detection edge 22 b 4 and the rotation direction detection notch 22 b 5 , and the zero point adjustment jig 22 A lateral shift, a height position shift, and a rotational position of the sensor unit 4 are detected.
[0029]
Next, an embodiment of a method for measuring a film thickness of a coated ceramic member and a method for manufacturing a coated ceramic member according to the present invention will be described with reference to a manufacturing process flowchart shown in FIG.
[0030]
A ceramic calcined body, for example, a dome-shaped alumina calcined body M1 is prepared (S1).
[0031]
Alumina raw material powder, MgO, pure water, and alumina balls are put into a pot, and the pot is rotated for 12 hours, mixed and crushed to obtain a slurry, and this slurry is made with a spray dryer to a particle size of about 100 μm. Granulated powder. The alumina granulated powder is made into a molded body by CIP (pressure is 14.7 MPa), and is fired at 900 ° C. to obtain a calcined body.
[0032]
A reference jig 21 provided with a reference point is attached to the alumina calcined body M1 (S2).
[0033]
As shown in FIGS. 7 and 9, the reference jig 21 is attached to the work supporting member 21a attached to the reference base member 21b via the ceramic calcined body M and the holding member 21c. The fixing screw 21e is used.
[0034]
The zero point adjusting jig 22 is placed on the workpiece placing portion 3 of the film thickness measuring device 1, and the zero point of the optical distance sensor 4a is adjusted (S3).
[0035]
In this zero point adjustment, as shown in FIG. 12, after the zero point adjusting jig 22 is placed on the work placing part 3 via the damper support member 3b, the sensor lifting mechanism 6 is operated to move the sensor part 4 raised, it irradiated with a laser beam in a horizontal direction from the distance sensor 4a 4 as shown in FIG. 17 (a), the horizontal direction of the laser beam emitted from the optical distance sensor 4a 4 is reflected by the lateral shift detecting surface 22b 3, Further, as shown in FIG. 13, as shown in FIG. 17A, the light is reflected by the height position deviation detection edge 22 b 4 , and the lateral deviation and height position deviation of the zero point adjustment jig 22 are recognized. Further, these deviations are adjusted, and the sensor rotating mechanism 5 is operated to rotate the sensor unit 4 and, as shown in FIG. 14, is irradiated from the optical distance sensor 4a 4 as shown in FIG. The reflected laser beam is reflected by the rotation direction detection notch 22b 5 and the position in the rotation direction is detected. This was further predetermined angular rotation from the position, is irradiated from all of distance sensor 4a the laser beam on the reflecting surface 22a 1 of the laser light reflecting member 22a, is reflected, performs zero-point adjustment. This makes the zero point adjustment easier and more accurate.
[0036]
The zero point adjusting jig 22 is removed from the work placing part 3, and the alumina calcined body M1 to which the reference jig 21 is attached in advance is placed on the work placing part 3, and the position of the reference jig 21 is confirmed ( S4).
[0037]
In this step, the deviation of the reference jig 21 from the reference (previous position) in the plane vertical direction, horizontal direction, height direction, and rotation direction is confirmed.
[0038]
As shown in FIG. 11A, FIG. 16 and FIG. 17, this confirmation is performed at four locations as shown in FIG. 19 using the lateral deviation detection surface 21b 3 as shown in FIG. a) As shown in FIGS. 17 and 18, the height position deviation is performed at four places as shown in FIG. 19 using the height position deviation detection edge 21 b 4 .
[0039]
As shown in FIGS. 11B and 20, the rotational position detection is performed using the rotational direction detection notch 21 b 5 , and the result is displayed on the display 11.
[0040]
The displayed deviation values are referred to. If the deviation exceeds the reference value, the reference jig 21 is replaced and the position is adjusted (S5).
[0041]
Thereby, the position of the alumina calcined body M1 integrally attached to the reference jig 21 is also adjusted easily and with high accuracy.
[0042]
As shown in FIG. 21, the distance L1 from the measurement position of the alumina calcined body M1 to the optical distance sensor 4a is measured using the optical distance sensor 4a (first measurement step) (S6).
[0043]
This measurement is performed at 25 points as shown in FIG.
[0044]
With the reference jig 21 attached, the alumina calcined body M1 is removed from the workpiece mounting unit 3, and YAG slurry is applied by spraying and dried to produce the YAG film-coated alumina calcined body M2 (S7).
[0045]
The zero point adjustment jig 22 is again placed on the workpiece placement unit 3 from which the reference jig 21 has been removed, and the zero point adjustment of the optical distance sensor 4a is performed in the same manner as S3 (S8).
[0046]
The reference jig 21 is removed from the workpiece placing unit 3, and the reference jig 21 to which the YAG-attached alumina calcined body M2 formed in S7 is attached is placed on the workpiece placing unit 3 again, and the position is confirmed. (S9).
[0047]
YAG film formation is a mixed slurry of YAG and alumina (mixing and crushing of alumina raw material powder, YAG powder, dispersion medium and pure water) and YAG slurry (mixing and crushing of YAG powder, dispersant and pure water). Are sequentially applied by spraying and dried.
[0048]
This position confirmation is performed in the same manner as S4.
[0049]
Each deviation value output is referred to in the same manner as in S5. If the deviation exceeds the reference value, the reference jig 21 is replaced and the position is adjusted (S10).
[0050]
As shown in FIG. 23, from the measurement position of the YAG film of the alumina calcined body M2 with YAG film corresponding to the position measured in the first measurement step (S6) using the laser distance sensor 4a to the laser distance sensor 4a. The distance L2 is measured and stored (second measurement step) (S11).
[0051]
The difference ΔL between the distance measured in the first measurement process and the distance measured in the second measurement process is calculated to obtain the film thickness (S12).
[0052]
After the second measurement step in S11, the reference jig 21 is removed from the YAG-attached alumina calcined body M2, calcined again, and the YAG-added alumina calcined body M2 is fired at 1700-1850 ° C. for 4 hours to obtain a fired body. Obtain (S13).
[0053]
This firing causes slight shrinkage of the YAG film, but if there is no problem in using the difference in distance as the film thickness in practice, it is preferable to use this as the film thickness and correct it. The film thickness after baking can be calculated | required by applying the correction coefficient previously calculated | required by the destructive test.
[0054]
As described above, according to the present embodiment, the film thickness is measured in the ceramic calcined body state before and after the ceramic film formation, unlike the conventional film thickness measurement after the main firing. Thickness measurement is possible, measurement time is shortened, and furthermore, since an optical distance sensor is used, measurement can be performed without contact with the film, and the film is not damaged.
[0055]
In addition, the manufacturing method of the coated ceramic member incorporates a film thickness measuring step capable of measuring the film thickness in-situ during the manufacturing process, so that the productivity of the coated ceramic member is improved and further desired. A coated ceramic member having a thickness of 5 mm can be produced.
[0056]
【The invention's effect】
According to the method for measuring the film thickness of a coated ceramic member according to the present invention, there is provided a method for measuring the film thickness of a coated ceramic member that does not damage the coating-coated ceramic member in which the ceramic film is formed on the ceramic substrate. Can be provided.
[0057]
Further, according to the film thickness measuring apparatus for a coated ceramic member according to the present invention, the nondestructive film thickness measurement of the coated ceramic member in which the ceramic film is formed on the ceramic substrate and the coated ceramic member that does not damage the coated film It is possible to provide a film thickness measuring device for a coated ceramic member capable of measuring a film thickness.
[0058]
In addition, according to the method for manufacturing a coated ceramic member according to the present invention, since a film thickness measuring step capable of measuring the film thickness in-situ is incorporated, the productivity of the coated ceramic member is improved and further desired. It is possible to provide a method for producing a coated ceramic member capable of producing a coated ceramic member having a thickness of 5 mm.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a front sectional view of a film thickness measuring apparatus for a coated ceramic member according to the present invention.
FIG. 2 is a side sectional view of the film thickness measuring apparatus for a coated ceramic member according to the present invention.
FIG. 3 is a plan view of a film thickness measuring apparatus for a coated ceramic member according to the present invention.
FIG. 4 is a conceptual diagram of a control circuit used in a film thickness measuring apparatus for a coated ceramic member according to the present invention.
FIG. 5 is a conceptual diagram of an optical distance sensor used in a film thickness measuring apparatus for a coated ceramic member according to the present invention.
FIG. 6 is a plan view of a reference jig used in a film thickness measuring apparatus for a coated ceramic member according to the present invention.
FIG. 7 is a plan view showing a pressing member and a pressing member of a reference jig used in the film thickness measuring apparatus for a coated ceramic member according to the present invention.
FIG. 8 is a side view of a reference jig used in a film thickness measuring apparatus for a coated ceramic member according to the present invention.
9 is a cross-sectional view taken along line XX in FIG.
10 is a plan view of a work support member used in the reference jig shown in FIG.
11A and 11B are enlarged views of part A in FIG.
FIG. 12 is a cross-sectional view of a reference jig showing a lateral deviation detection surface method using an optical distance sensor used in the film thickness measuring apparatus for a coated ceramic member according to the present invention.
FIG. 13 is a cross-sectional view of a reference jig showing an edge position detection edge method using an optical distance sensor used in a film thickness measuring apparatus for a coated ceramic member according to the present invention.
FIG. 14 is a cross-sectional view of a reference jig showing a method of detecting a rotational position by an optical distance sensor used in a film thickness measuring apparatus for a coated ceramic member according to the present invention.
FIG. 15 is a cross-sectional view of a zero point adjusting jig used in the film thickness measuring apparatus for a coated ceramic member according to the present invention.
16 is a plan view of a reflecting member support member used in the reference jig shown in FIG.
17A and 17B are enlarged views of a portion B in FIG.
FIG. 18 is a manufacturing process flow chart of a coated ceramic member according to the present invention.
FIG. 19 is an explanatory view showing measurement points for position adjustment by an optical distance sensor used in a film thickness measuring apparatus for a coated ceramic member of the present invention.
FIG. 20 is an explanatory view showing position adjusting measurement points by an optical distance sensor used in the film thickness measuring apparatus for a coated ceramic member of the present invention.
FIG. 21 is a conceptual diagram of a method for measuring a distance to an alumina calcined body by a film thickness measuring method for a coated ceramic member according to the present invention.
22 is an explanatory diagram of measurement points in FIG. 21. FIG.
FIG. 23 is a conceptual diagram of a method for measuring a distance to a YAG film by a film thickness measuring method for a coated ceramic member according to the present invention.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Thickness measuring apparatus 2 of coating-coated ceramic member 2 Base 3 Work placement part 3a Housing hole 3b Damper support member 4 Sensor part 5 Sensor rotation mechanism 6 Sensor lifting mechanism 21 Reference jig 21a Work support member 22 Zero point adjustment jig
