JP2005013277A - Imaging device for endoscope and method of forming thin film section disposed in imaging device for endoscope - Google Patents

Imaging device for endoscope and method of forming thin film section disposed in imaging device for endoscope Download PDF

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JP2005013277A
JP2005013277A JP2003178646A JP2003178646A JP2005013277A JP 2005013277 A JP2005013277 A JP 2005013277A JP 2003178646 A JP2003178646 A JP 2003178646A JP 2003178646 A JP2003178646 A JP 2003178646A JP 2005013277 A JP2005013277 A JP 2005013277A
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Yasuyuki Futaki
泰行 二木
Tomoyuki Kinoshita
智之 木下
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Olympus Corp
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To enable to prevent a lens system disposed in a frame to be exposed to steam while autoclave sterilization is performed and to improve a precision of processing of brazing of parts which constitute the above frame. <P>SOLUTION: An airtight lens unit 30 is constituted to include an inner lens unit 31, a front end lens 32, a front end lens frame 33, a first pipe 34, a ceramic frame 35, a second pipe 36, a lens holder 37, a lens 38 and a rear end lens 39. A metallizing treatment is applied on outer peripheral surfaces of the front end lens 32 and the rear end lens 39. Inner peripheral surfaces of the front end lens frame 33 and the lens holder 37 are disposed with thin film sections 10 made of a vapor deposition material such as nickel or copper which is vapor-deposited by physical vapor-phase growth method. The front end lens 32 and the rear end lens 39 which are applied with the metallizing treatment are respectively connected to the inner peripheral surfaces of the front end lens frame 33 and the lens holder 37 by soldering with brazing material, pewter or the like. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、オートクレーブ滅菌が可能な内視鏡に用いられる内視鏡用撮像装置及びその内視鏡用撮像装置に設ける薄膜部の形成方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来より、細長の挿入部を体腔内に挿入することにより、体腔内臓器などを観察したり、必要に応じて処置具チャンネル内に挿通した処置具を用いて各種治療処置の行える医療用の内視鏡が広く利用されている。
【0003】
この内視鏡では挿入部を体腔内に挿入して観察を行ったり、処置具チャンネル内に挿入した処置具を用いて各種治療や処置が行われる。このため、一度使用した内視鏡を再使用する場合には、患者間感染を防止する必要から、検査終了後に洗滌消毒を行わなければならない。
【0004】
近年、煩雑な作業を伴わす、減菌後直ちに使用が可能で、ランニングコストが安価なオートクレーブ滅菌(高圧蒸気滅菌)が内視鏡機器の消毒滅菌処理の主流になりつつある。
【0005】
このオートクレーブ滅菌は、滅菌行程の前に真空にし、高温水蒸気で細部まで短時間で滅菌し、滅菌行程終了後に乾燥のために真空にするものである。このオートクレーブ滅菌の例として、米国規格ANSI/AAMIST37−1992には滅菌行程において約2気圧、132℃で4分間さらすように規定されている。しかし、高圧水蒸気は、樹脂やゴム、樹脂接着剤等のほとんどの高分子材料を透過する。
【0006】
一般的に、軟性部や可動部を有する軟性鏡では操作部や挿入部、湾曲部等を高分子材料を主に用いて構成する。このため、1気圧での水密を保つことは可能であっても、高圧下において水蒸気は容易に侵入可能である。また、一般的に用いられている接着剤であるエポキシ樹脂も、オートクレーブ滅菌の高圧水蒸気が透過してしまう。さらに、エポキシ樹脂は高圧水蒸気に直接触れることにより劣化する特性を有している。このため、水蒸気の侵入によって硬化した接着剤にクラックが発生することが考えられる。又、オートクレーブ滅菌は高温であるため、各材質の熱膨張率の違いにより、部品間に応力が加わって硬化した接着剤にクラックが発生することも考えられる。
【0007】
つまり、前記軟性鏡をオートクレーブ滅菌した場合、高圧水蒸気が光学窓接合部等の接着剤を透過して光学系の内部に侵入して、レンズ面を曇ってしまったり、レンズを形成する硝材やレンズに施したコーティングを劣化するおそれがある。
【0008】
これらの不具合を解消するため、特開平6−209898号公報には光学窓部材の接合を樹脂系の接着剤による接着固定の代わりに、半田付けやろう付け等のろう接により気密に接合するため、半田付け用の金鍍金等の表面処理(湿式鍍金)をステンレススチール製の内管の溝部と先端カバーガラス保持部材に施した技術が示されている。なお、前記内管を真鍮等の金属で構成すれば、鍍金を行うことなく良好なろう接が可能であるが、真鍮等の半田性の良好な金属ではオートクレーブ滅菌によって錆び、耐性がなくなるおそれがある。それを防止するため、内管を蒸気耐性を有するステンレススチールとしている。
【0009】
また、特開2002−253486号公報には、従来のフラックスを用いた半田付けのように残留フラックスによる汚れや腐食といった問題を解消する目的で、光学窓部材と枠部材を水素炉雰囲気中で加熱して半田付けする方法が示されている。
【0010】
さらに、密着性が良好でかつ均一な膜部を形成する方法として、例えば、クロムやニッケル、銅等の蒸着物質を高温加熱、スパッタリング等の物理的方法で蒸発させ、基板や細径のファイバー等に凝縮させて膜部を形成する物理気相成長法(physical vapor deposition、以下、PVDと呼ぶ)が知られている。
【0011】
【特許文献1】特開平6−209898号公報(第2−3頁、図1)
【0012】
【特許文献2】特開2002−253486号公報(第2−4頁、図2−4)
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記特開平6−209898号公報の内視鏡では、カバーガラス保持部材の外周等に半田が流れてしまうと、外径寸法が変化して他の部品と嵌合できなくなる。このため、半田を流れさせたくない部分の鍍金等の表面処理を追加工で除去する必要があり、加工精度の低下による画質低下等の問題があった。
【0013】
また、特開2002−253486号公報の水素炉雰囲気中で加熱して半田付けする方法では、金属枠の半田付けされる面に、半田の濡れ性を一定にするために設ける鍍金膜厚を制御する必要があり、この鍍金に高い技術が要求されるという難点があった。
【0014】
さらに、前記PVDでは基板等の平面部材に対して均質な膜部を形成する技術は確立されているが、曲面に対して均質な膜部を形成することは難しかった。
【0015】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、オートクレーブ滅菌を行った際、枠体の内部に設けられた光学系を構成する光学部材が水蒸気に曝されることを防止するとともに、前記枠体を構成する部品のろう接の加工精度の向上、製造コストの低減を図れる内視鏡用撮像装置及びその内視鏡用撮像装置に設ける薄膜部の形成方法を提供することを目的にしている。
【0016】
【課題を解決するための手段】
本発明の内視鏡用撮像装置は、少なくとも一端部に光学部材が配置される金属製のレンズ枠、又は、金属製の金属枠に嵌合して配置されるセラミック製のセラミック枠を備える内視鏡撮像装置であって、
前記レンズ枠の前記光学部材との嵌合面及び前記セラミック枠の前記金属枠との嵌合面に、物理気相成長法を用いて半田濡れ性を向上させる所定厚みの薄膜部を設けている。
この構成によれば、光学部材とレンズ枠との接合又は金属枠とセラミック枠との接合を半田等のろう接によって行える。
【0017】
また、内視鏡用撮像装置に設ける薄膜部の形成方法は、枠部材を枠用治具の所定位置に配置する配置工程と、枠用治具に配置された枠部材をターゲットを有する蒸着装置内に設置する設置工程と、前記枠用治具をターゲットに対して移動させ、この枠用治具に配置された枠部材を移動に伴って所定量回転させて、物理気相成長法を用いて前記枠部材の周面に薄膜部を形成する膜部形成工程とを具備している。
この形成工程によれば、枠部材の周面に所定厚み寸法で均質な薄膜部が形成される。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
(第1実施形態)
図1ないし図12は本発明の第1実施形態に係り、図1は内視鏡の構成を説明する図、図2は内視鏡用撮像装置を説明する断面図、図3は先端レンズ枠を説明する図、図4は先端レンズを先端レンズ枠に接合した状態を示す図、図5はセラミック枠にマスキング部材を配置した状態を示す図、図6はマスキング部材を配置したセラミック枠と治具との関係を説明する図、図7は治具に配置したセラミック枠の外周面に薄膜部を設ける工程を説明する図、図8は先端レンズ枠にマスキング部材を配置した状態を示す図、図9は治具に配置した状態の先端レンズ枠を説明する図、図10は治具に配置された先端レンズ枠とターゲットとの位置関係を説明する図、図11は内周面に薄膜部を設ける他の方法を説明する図、図12は内周面に薄膜部を設ける別の方法を説明する図である。
【0019】
なお、図6(a)はセラミック枠を治具に配置する手順を説明する図、図6(b)は治具に配置した状態のセラミック枠を説明する図、図7(a)はスパッタリング装置内に配置された治具を説明する図、図7(b)は治具に配置されたセラミック枠とターゲットとの位置関係を説明する図である。
【0020】
図1に示すように本実施形態の内視鏡1は、挿入部11と、操作部12と、ユニバーサルコード13と、ライトガイドコネクタ14と、カメラケーブル15と、カメラコネクタ16とで主に構成されている。
【0021】
前記挿入部11は体内に挿入される部分であり、細長で柔軟に形成されている。前記操作部12は前記挿入部11の基端部に設けられている。前記ユニバーサルコード13は前記操作部12から延出している。前記ライトガイドコネクタ14はユニバーサルコード13の端部に設けられている。前記カメラケーブル15はライトガイドコネクタ14から分岐して設けられている。このカメラケーブル15の端部にはカメラコネクタ16が設けられている。前記カメラケーブル15はカメラコネクタ16を介して、図示しないカメラコントロールユニットに接続されるようになっている。
【0022】
前記挿入部11は前記操作部12側から順に、可撓管部17、湾曲部18、先端硬質部19を連設して構成されている。前記操作部12には前記湾曲部18の遠隔操作を行うためのアングルレバー21が設けられている。
【0023】
前記可撓管部17は軟性部材で形成されている。前記湾曲部18は、複数の湾曲駒を連接して構成されており、アングルレバー21の操作により例えば上下左右方向に湾曲動作する。前記先端硬質部19は硬質部材で形成されている。
【0024】
前記ライトガイドコネクタ14には内視鏡1の内部空間に連通する口金22が設けられている。前記内視鏡1は水密構造であり、この口金22に図示しないアダプターを組み付けることで内視鏡1の内部空間と内視鏡外部とが連通状態になる。
【0025】
図2を参照して内視鏡用撮像装置について説明する。
図に示すように内視鏡用撮像装置3は、気密レンズユニット30と、固体撮像素子ユニット50と、信号ケーブル61と、外枠62と、背面カバー63と、熱収縮性チューブ64とを含んで、撮像ユニットとして構成されている。
【0026】
前記気密レンズユニット30には後述する複数の光学部材であるレンズが所定の位置に配設されている。前記固体撮像素子ユニット50には前記気密レンズユニット30を通して撮像面に結像される光学像を光電変換する固体撮像素子51が設けられている。前記信号ケーブル61は前記固体撮像素子51で光電変換された電気信号を前記カメラコネクタ16に接続されたカメラコントロールユニットに伝達する。
【0027】
前記気密レンズユニット30は、内部レンズユニット31、先端レンズ32、先端レンズ枠33、第1のパイプ34、セラミック枠35、第2のパイプ36、レンズホルダ37、レンズ38及び後端レンズ39を含んで構成される。
【0028】
前記内部レンズユニット31は、内部レンズ枠41に複数のレンズを配設して構成されるレンズ群42を収納したものである。この内部レンズ枠41は、例えばアルミ合金で形成されている。
【0029】
前記先端レンズ枠33、前記第1のパイプ34、前記第2のパイプ36及び前記レンズホルダ37は略管状であり、ステンレス鋼等、水蒸気に対する耐性の高い素材で形成されている。また、前記セラミック枠35は、水蒸気に対する耐性の高いアルミナ等、緻密なセラミックによって形成されている。
【0030】
前記内部レンズユニット31の先端側には前記気密レンズユニット30の最先端部を構成する先端レンズ32が配置されている。この先端レンズ32は、水蒸気に対する耐性の高い、例えばサファイアガラス、石英ガラスで形成されている。また、この先端レンズ32の外周面にはメタライズ処理が施されている。
【0031】
前記先端レンズ枠33の前記先端レンズ32との接合面となる内周面には例えばクロムやニッケル、銅等の蒸着物質を、物理気相成長法(physical vapor deposition、以下、PVDと呼ぶ)により形成した薄膜部10が設けられている。このPVDは乾式鍍金の一つであり、低、高真空又はアルゴン、窒素等の希薄ガス中でイオン化した鍍金金属を製品に加速衝突させることにより、この製品に膜部を形成するものである。
【0032】
前記メタライズ処理が施された先端レンズ32は、例えばニッケルの薄膜部10を形成した先端レンズ枠33の内周面にろう付け、半田付け等のろう接によって固定される。これにより、先端レンズ32の外周面と、前記先端レンズ枠33の内周面とが気密的に接合されて、この接合部を介して気体が侵入することが防止される。
【0033】
前記先端レンズ枠33の内側には第1のパイプ34が嵌合配置されて例えば溶接により接合される。また、この第1のパイプ34の内側にはセラミック枠35の先端部が嵌合配置されて例えば溶接により接合される。さらに、前記第2のパイプ36の内側には前記セラミック枠35の基端部が嵌合配置されて例えば溶接により接合される。又、前記第2のパイプ36は前記レンズホルダ37の先端側内側に嵌合配置され例えば溶接により接合される。
【0034】
これら先端レンズ枠33、第1のパイプ34、セラミック枠35、第2のパイプ36及びレンズホルダ37の接合は、レーザ等による狭義の溶接、ろう付けや半田付け等のろう接、融接、圧接、金属による接合等を用いて気密的に接合して、接合部を介して気体が侵入することを防止している。
【0035】
なお、少なくとも前記セラミック枠35の溶接部位は、活性金属法やMo−Mn焼付け、湿式鍍金、PVD等による表面処理を予め行って、溶接可能にしてある。
【0036】
前記内部レンズユニット31は前記セラミック枠35の内側に挿入され、固体撮像素子ユニット50の固体撮像素子51に対して位置決めされた状態で接着等によって一体固定される。
【0037】
前記レンズホルダ37の基端側内周面には前記後端レンズ39がろう付け、半田付け等のろう接によって接合される。この後端レンズ39の外周面には前記先端レンズ32と同様にメタライズ処理が施されている。一方、前記レンズホルダ37の内周面には、例えばニッケルによる薄膜部10がPVDにより設けられている。そして、メタライズ処理を施した後端レンズ39と、前記薄膜部10を設けたレンズホルダ37とはろう付け、半田付け等のろう接によって接合固定されている。
【0038】
なお、前記後端レンズ39も水蒸気に対する耐性が高い例えば、サファイアガラス、石英ガラスで形成される。また、本実施形態においては先端レンズ32及び後端レンズ39を平板形状のカバーガラスとしているが、曲面のレンズ形状であってもよい。さらに、前記レンズホルダ37の内側にはリング状部材40を介して、前記後端レンズ39との間の隙間を設けてレンズ38が取り付けられている。
【0039】
このように、気密レンズユニット30を構成する先端レンズ32、先端レンズ枠33、第1のパイプ34、セラミック枠35、第2のパイプ36、レンズホルダ37及び後端レンズ39のそれぞれの接合部をろう接等で気密的に接合したことによって、この気密レンズユニット30の内部空間をオートクレーブ滅菌を行っても高圧水蒸気の全く侵入しない気密空間にすることができる。
【0040】
このことにより、この気密レンズユニット30の気密空間に設けられたレンズ群42を構成する複数のレンズ及びレンズ38の硝材の劣化や、これらレンズに施されているコーティングの劣化、レンズ曇りが発生することが防止されて、これら不具合の起因による画像劣化が確実に防止されて、良好な内視鏡観察画像を得られる。
【0041】
次に、前記固体撮像素子ユニット50について説明する。
固体撮像素子ユニット50は、固体撮像素子51及び回路基板52をケース53に収納して構成される。前記固体撮像素子51はワイヤーボンディングやフレキシブル配線基板を介して回路基板52に接続されている。前記回路基板52にはコンデンサー等の電子部品や電気信号を増幅させるICが実装されている。前記ケース53の基端側には回路基板52と電気的に接続されるリードピン54が設けられている。このリードピン54は、前記ケース53の外側で信号ケーブル61と電気的に接続されている。
【0042】
前記固体撮像素子51の受光部にはガラスリッド55が紫外線で硬化する透明の接着剤で接合されている。このガラスリッド55は、前記固体撮像素子51の受光部にゴミやキズが付くことを防ぐためのものである。このガラスリッド55の先端側面は前記後端レンズ39に接着固定されている。
【0043】
前記セラミック枠35、第2のパイプ36及びレンズホルダ37は、前記ガラスリッド55と接合した後端レンズ39をホールドするとともに、前記内部レンズユニット31を嵌合、位置決めすることで、光学系の焦点合わせを行っている。このように内部レンズユニット31と固体撮像素子51との位置合わせを行うことによって内視鏡用撮像装置3が構成される。
【0044】
前記レンズホルダ37の基端側の外周には金属製の外枠62の先端部が取り付けられている。この外枠62の基端部の内周には背面カバー63が取り付けられている。この背面カバー63には信号ケーブル61を通す開孔65が形成されている。
【0045】
前記背面カバー63の内部には接着剤66が充填されている。この接着剤66は、固体撮像素子ユニット50及び信号ケーブル61を背面カバー63に固定している。また、前記外枠62及び背面カバー63の外表面とレンズホルダ37の基端部側には電気絶縁性を有する熱収縮性チューブ64が被覆されている。
【0046】
なお、前記内視鏡用撮像装置3を構成する各部材どうしを溶接や融接、圧接で接合する場合、この内視鏡用撮像装置3にはレンズや電子部品等の破損し易い内蔵物があるため、同じ材質の部材を嵌合させた後に変形させて嵌合部の隙間を小さくすることは困難である。しかも、内視鏡用撮像装置3の外径寸法を小さく形成する必要があるので、肉厚を厚くすることが困難である。このため、溶接部位の肉厚が薄く、嵌合部の隙間が大きいことは、嵌合部を気密に溶接することを困難にする。そこで、隙間を小さくする手段の一つとして、内側の部材より外嵌配置される外側の部材の熱膨張率を大きい材質で構成し、それらの部材を加熱した状態で仮り組みし、その後に冷却することで隙間が小さい状態になって、容易に溶接を行う手法がある。したがって、例えば内側の部材に熱膨張率の小さいアンバーを用い、外嵌する部材に融点が近くて熱膨張率がこのアンバーより17倍大きいステンレス鋼(SUS304等)を用いることにより、溶接部位の肉厚が薄く、嵌合部の隙間を小さくすることが可能である。
【0047】
図3に示すように前記先端レンズ枠33は、先端部分の外周部71を他の外周部に比べて小径に形成してある。つまり、この先端レンズ枠33を段付き形状にしている。そして、この先端レンズ枠33の先端部の内周部72は、他の内周部に比べて小径に形成してある。
【0048】
前記先端レンズ枠33の内周部72の先端開口側は、前記先端レンズ32とろう接される接合面73になっており、この部分にろう接に用いられるろう材が濡れる(流れて合金化する)表面処理である薄膜部10が設けられる。この表面処理は、一般的には最外層を金で構成することが望ましく、本実施形態では、最外層と先端レンズ枠33の母材であるステンレス鋼の間に例えばニッケルの中間層を設けて最外層の付着強度の向上を図っている。
【0049】
なお、前記接合面73の先端側には半田付けの際、半田を流れ易くするためのテーパ面74が形成してある。
【0050】
次に、図4を参照して先端レンズ枠33と先端レンズ32とのろう接について説明する。
図に示すように外周面にメタライズ処理32aが施されている先端レンズ32を、薄膜部10が設けられている先端レンズ枠33の先端開口側から挿入する。言い換えれば、前記先端レンズ32を先端レンズ枠33内の接合面73に配置し、先端レンズ32の外周面と先端レンズ枠33の薄膜部10及びテーパ面74とを半田77によるろう接によって固定する。
【0051】
この半田付け時、薄膜部10が形成されていない範囲には半田が流れない。このため、先端レンズ32と先端レンズ枠33の嵌合部及びその周囲の表面処理が施されている範囲内のみに半田が流れる。よって、一定量の半田を用いることで、安定した半田付けを行える。
【0052】
なお、ろう接の一種である半田付けを行う場合、フラックスを用いない水素炉半田や真空炉を用いることでフラックス残留による汚れや腐食による問題を排除することが可能であり、内視鏡の撮像ユニットの組立てには望ましい。
【0053】
また、半田付けにおいて、半田77と先端レンズ32の外周のメタライズ32aとが合金になるとともに、半田77と先端レンズ枠33の薄膜部10とが合金になる。この合金の結晶化によっては、流れを阻止する場合がある。このため、半田成分はもちろん、先端レンズ32の外周のメタライズ32aと先端レンズ枠33の薄膜部10についても膜厚を管理して合金の結晶状態を制御する必要がある。本実施形態においては先端レンズ枠33の薄膜部10を後述するようにPVDによって施しているため、非常に高精度で膜厚の管理が可能になっている。
【0054】
ここで、図5ないし図12を参照して薄膜部10の形成方法を説明する。
図5ないし図7を参照して前記セラミック枠35の外周面に薄膜部10を形成する工程を説明する。
【0055】
まず、図5に示すように枠部材の1つであるセラミック枠35の中央部の半田が流れてはいけない部分にPVDによる膜部が形成されることを防止するため、管状のマスキング部材75aを嵌合配置して、接合面73だけを露出させる。
【0056】
なお、前記マスキング部材75としてはフッ素ゴム等の高分子材料で形成したもの、或いは、アルミ箔のような金属シートである。PVDのスパッタリングやイオンプレーティングでは真空蒸着より低い温度でも表面処理が高い密着力を有する。このため、マスキング部材75として高分子材料を用いることが可能であり、本図においてはフッ素ゴム製のものを使用している。
【0057】
次に、図6(a)に示すようにマスキング部材75aを配置したセラミック枠35を、枠用治具である治具本体81に直立状態で、回動自在に少なくとも1つ以上配置されている枠体保持部材82の軸部82aに配置する。その後、前記マスキング部材と同部材で所定形状に形成した管状の固定部材83を前記セラミック枠35の内孔に挿入するとともに、この固定部材83の有する貫通孔を前記軸部82aに挿通していく。このことによって、図6(b)に示すように治具本体81に回動自在に配置されている枠体保持部材82にセラミック枠35が直立状態で配置される。
【0058】
なお、前記枠体保持部材82の中途部には後述するラック部に噛合する歯部を形成したピニオン部82bが設けられている。
【0059】
次いで、図7(a)及び図7(b)に示すように前記治具本体81を前記ピニオン部82bの歯数に対応するラック部84及び表面処理のための蒸着物質原材料(例えばニッケル)であるターゲット76を配置した蒸着装置であるスパッタリング装置85内の移動機構86上の所定位置に設置する。
【0060】
そして、前記移動機構86を移動状態にして、間欠的又は連続的に前記治具本体81を矢印B方向に移動させる。すると、前記治具本体81が移動されることによって、この治具本体81に回動自在に配設されている枠体保持部材82のピニオン部82bとラック部84とが噛合して、前記ピニオン部82bが回転されて枠体保持部材82が矢印C方向に回転移動する。つまり、前記治具本体81が移動機構86によって移動されるとき、回転手段を構成するピニオン部82bとラック部84とが噛合していることによって、枠体保持部材82に配置されているセラミック枠35が回転移動する。
【0061】
このように前記治具本体81がスパッタリング装置85内を移動機構86によって移動されることによって、前記枠体保持部材82に固定配置されているセラミック枠35が回転してターゲット76に対向する接合面73の位置を換えながら、このターゲット76の前面を移動していく。
【0062】
このことによって、前記枠体保持部材82に直立状態で配置されて回転するセラミック枠35の露出している接合面73である外周面にニッケルが蒸着され、前記治具本体81がターゲット76を通過したとき、前記セラミック枠35の外周面に、接合面73を構成する所定厚み寸法の薄膜部10を形成することができる。
【0063】
なお、前記回転手段を前記ピニオン部82bとラック部84とを噛合させて構成する代わりに、例えば軸本体81にモータを設けて枠体保持部材82に配置されるセラミック枠35を回転させるようにしてもよい。
【0064】
図8ないし図10を参照して前記先端レンズ枠33の内周面に薄膜部10を形成する工程を説明する。
【0065】
まず、図8に示すように先端レンズ枠33の半田が流れてはいけない先端側外周面及び内周面所定範囲にPVDによる膜部が形成されることを防止する、管状のマスキング部材75b及び固定部材兼用マスキング部材75cを嵌合配置して、接合面73を露出させた状態にする。
【0066】
次に、図9に示すように前記マスキング部材75b、75cを配置した状態の先端レンズ枠33を治具本体81に配置されている枠体保持部材82の軸部82aに高さ調整部材87を介して配置する。このとき、前記固定部材兼用マスキング部材75c及び高さ調整部材87の貫通孔を前記軸部82aに挿通していく。このことによって、前記治具本体81に回動自在に配置されている枠体保持部材82に先端レンズ枠33が直立状態で固定配置される。
【0067】
次いで、図10に示すように前記治具本体81を傾斜角度調整手段である例えば角度調整治具90の可動ブロック91に配置し、この可動ブロック91と固定ブロック92との間に角度調整球体93を配置して、前記治具本体81に回動自在に配置されている枠体保持部材82に配置されている先端レンズ枠33を所定角度、傾けた状態にする。
【0068】
一方、前記ピニオン部82bの歯数に対応するラック部84を軸部84a中心に回転させて、前記治具本体81に回動自在に配置されている枠体保持部材82のピニオン部82bに対向するように、所定角度、傾けた状態に調節して固定する。
【0069】
そして、スパッタリング装置85内の移動機構86上の所定位置に前記治具本体81を角度調整治具90を介して設置した後、前記移動機構86を移動状態にして前記治具本体81を移動させる。すると、前記治具本体81に回動自在に配設されている枠体保持部材82のピニオン部82bとラック部84とが噛合して、前記ピニオン部82bが回転されて枠体保持部材82が回転移動する。つまり、所定角度傾いた状態の前記治具本体81が移動機構86によって移動されることによって、枠体保持部材82に固定配置されている先端レンズ枠33が回転移動する。
【0070】
このように、傾いた状態の治具本体81がスパッタリング装置85内を移動機構86によって移動されることによって、前記枠体保持部材82に固定配置されている先端レンズ枠33が回転して、ターゲット76に傾斜状態で対向する接合面73の位置を換えながら、このターゲット76の全面を移動していく。
【0071】
このことによって、所定角度傾いた状態の前記枠体保持部材82に直立状態で配置されて回転する先端レンズ枠33の露出している接合面73である先端側内周面にニッケルが蒸着され、前記治具本体81がターゲット76を通過したとき、前記先端レンズ枠33の内周面に接合面73を構成する所定厚み寸法の薄膜部10を形成することができる。
【0072】
なお、上述した実施形態においては、セラミック枠35の外周面及び先端レンズ枠33の内周面にPVDによって薄膜部10を形成するとしたが、前記第1のパイプ34、第2のパイプ36及びレンズホルダ37の内周面等にPVD10による薄膜部を形成するようにしてもよい。
【0073】
また、例えば前記レンズホルダ37の内周面にPVDによる薄膜部を形成するとき、図11に示すようにターゲットに対してレンズホルダ37を傾けた状態に配置するとともに、前記レンズホルダ37を図示しない回転治具によって回転させ、このレンズホルダ37の内周面に薄膜部を設けるようにしてもよい。
【0074】
前記レンズホルダ37の基端側の外周部71を他の外周部に比べて小径に形成し、レンズホルダ37の基端側の内周部72も他の内周部に比べて小径に形成しておく。そして、前記内周部72の端部が後端レンズ39とろう接される接合面73となっている。
【0075】
そして、前記接合面73の開口部にはテーパ面74を形成し、半田付けの際に半田が流れ易くしておく。一方、半田が流れてはいけない外周部71と内周部72の半田不可範囲には薄膜部が形成されないように例えばアルミ箔のような金属シートマスキング79を設けておく。
【0076】
さらに、図12に示すように例えば支持部89に取り付けた円柱状のターゲットを先端レンズ枠33の内側に配置し、このターゲットを先端レンズ枠33の接合面73に対向させた状態にして、この先端レンズ枠33の内周面に薄膜部を設けるようにしてもよい。なお、内周部72及び他の内周部の半田不可範囲に薄膜部が形成されないように半田不可範囲には前記金属シートマスキングを設けておく。
【0077】
このように、先端レンズ枠33及びレンズホルダ37にPVDによる薄膜部を設け、それぞれ先端レンズ32及び後端レンズ39をろう接するとともに、先端レンズ枠33、第1のパイプ34、セラミック枠35、第2のパイプ36の部材どうしをろう接によって接合することによって、これら部材で囲まれた空間内を、オートクレーブ滅菌を行っても高圧水蒸気が全く侵入しない気密空間にすることができる。
また、高い品質安定性を有する気密接合した気密レンズユニット30を安価に供給することができる。
【0078】
これらのことによって、オートクレーブ滅菌を行った際、枠体の内部に設けられた光学系が水蒸気に曝されることを防止するとともに、枠体を構成する部品のろう接部の加工精度の向上、製造コストの低減を図れる。また、水蒸気の侵入によるレンズ曇りやレンズの硝材及びコーティングの劣化が防止されて、良好な画像を継続的に得られる。
【0079】
(第2実施形態)
図13は本発明の第2の実施の形態に係る内視鏡用撮像装置の他の構成を説明する断面図である。
【0080】
図に示すように本実施形態の内視鏡用撮像装置103では撮像ユニットを、気密レンズユニット130と、固体撮像素子ユニット50と、信号ケーブル61と、レンズホルダ137と、背面カバー63と、熱収縮性チューブ64とを含んで構成している。
【0081】
つまり、前記第2の気密レンズユニット130においては、前記第1実施形態に示したレンズホルダ37及び外枠62とを設ける代わりに、これらレンズホルダ37及び外枠62を一体に形成した外枠一体レンズホルダ137を用いている。
【0082】
前記外枠一体レンズホルダ137の基端側には背面カバー63が挿入されて取り付けられる。この外枠一体レンズホルダ137は、ステンレス鋼等の金属で略管状に形成されており、内周部182の軸方向中央部に表面処理範囲189が設けられ、この表面処理範囲189にPVDによる薄膜部が設けられている。この表面処理範囲189の基端側の部分となる接合面183には、メタライズ処理が施された後端レンズ39がろう接によって気密に接合される。その他の構成は前記第1実施形態と同様であり同部材には同符号を付して説明を省略する。
【0083】
ここで、前記外枠一体レンズホルダ137の接合面183と、後端レンズ39のメタライズされた外周面とのろう接時、ろう材の流れ性を向上させるために外枠一体レンズホルダ137を高温にする必要があり、このことによって外枠一体レンズホルダ137は熱膨張する。一般的に後端レンズ39の方が外枠一体レンズホルダ137より熱膨張率が小さい。このため、ろう付け時、後端レンズ39の外周面と外枠一体レンズホルダ137の内周面の隙間は常温時より増加する。
【0084】
この後、後端レンズ39と外枠一体レンズホルダ137の隙間にろう材を流し込み、冷却していくことにより、ろう材が固化を開始し、さらに常温まで冷却されことによってろう部が完全に固体となる。
【0085】
前記ろう材が固化を開始する温度から常温までの間、前記外枠一体レンズホルダ137が収縮していくので、後端レンズ39の外周面を圧縮することになるが、ろう材が固体であるため圧縮応力だけが加わることになる。
【0086】
本実施形態の構造の外枠一体レンズホルダ137では、後端レンズ39を中心に挿入部の先端側と後端側とが略同じ長さである。このため、後端レンズ39の外周面には一定の圧縮力が加わる。よって、後端レンズ39の外周面のメタライズや、外枠一体レンズホルダ137の表面処理が剥離することを防止することができる。このことによって、より確実な気密確保が可能である。その他の作用は前記第1実施の形態と同様である。
【0087】
このように、外枠一体レンズホルダ137を構成するとともに、この外枠一体レンズホルダ137の略中央に後端レンズ39を配置することによって、後端レンズ39の外周面のメタライズ処理部や、外枠一体レンズホルダ137の表面処理部が剥離することを確実に防止することができる。このことによって、内視鏡用撮像装置の信頼性を高められる。
【0088】
[付記]
以上詳述したような本発明の前記実施の形態によれば、以下の如き構成を得ることができる。
【0089】
(1)少なくとも一端部に光学部材が配置される金属製のレンズ枠、又は、金属製の金属枠に嵌合して配置されるセラミック製のセラミック枠を備える内視鏡撮像装置において、
前記レンズ枠の前記光学部材との嵌合面及び前記セラミック枠の前記金属枠との嵌合面に、物理気相成長法を用いて半田濡れ性を向上させる所定厚みの薄膜部を設けた内視鏡用撮像装置。
【0090】
(2)枠部材を枠用治具の所定位置に配置する配置工程と、
枠用治具に配置された枠部材をターゲットを有する蒸着装置内に設置する設置工程と、
前記枠用治具をターゲットに対して移動させ、この枠用治具に配置された枠部材を移動に伴って所定量回転させて、物理気相成長法を用いて前記枠部材の周面に薄膜部を形成する膜部形成工程と、
を具備する内視鏡用撮像装置に設ける薄膜部の形成方法。
【0091】
(3)前記枠部材の外周面に前記薄膜部を形成するとき、前記枠部材をターゲットに対して平行に配置する付記2に記載の内視鏡用撮像装置に設ける薄膜部形成方法。
【0092】
(4)前記枠部材の内周面に前記薄膜部を形成するとき、前記枠部材をターゲットに対して所定量傾けて配置する付記2に記載の内視鏡用撮像装置に設ける薄膜部形成方法。
【0093】
(5)前記枠部材にマスキング部材を設けることによって、枠部材の所定位置に薄膜部を形成する付記2に記載の内視鏡用撮像装置に設ける薄膜部形成方法。
【0094】
(6)前記薄膜部の膜厚は、枠用治具のターゲットを通過させる移動時間によって設定する内視鏡用撮像装置に設ける薄膜部形成方法。
【0095】
(7)前記枠部材の内周面に前記薄膜部を形成するとき、前記枠部材の内周面側にターゲットを配置する付記1に記載の内視鏡用撮像装置。
【0096】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、オートクレーブ滅菌を行った際、枠体の内部に設けられた光学系を構成する光学部材が水蒸気に曝されることを確実防止するとともに、前記枠体を構成する部品のろう接の加工精度の向上、製造コストの低減を図れる内視鏡用撮像装置及びその内視鏡用撮像装置に設ける薄膜部の形成方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1ないし図12は本発明の第1の実施の形態に係り、図1は内視鏡の構成を説明する図
【図2】内視鏡用撮像装置を説明する断面図
【図3】先端レンズ枠を説明する図
【図4】先端レンズを先端レンズ枠に接合した状態を示す図
【図5】セラミック枠にマスキング部材を配置した状態を示す図
【図6】マスキング部材を配置したセラミック枠と治具との関係を説明する図
【図7】治具に配置したセラミック枠の外周面に薄膜部を設ける工程を説明する図
【図8】先端レンズ枠にマスキング部材を配置した状態を示す図
【図9】治具に配置した状態の先端レンズ枠を説明する図
【図10】治具に配置された先端レンズ枠とターゲットとの位置関係を説明する図
【図11】内周面に薄膜部を設ける他の方法を説明する図
【図12】内周面に薄膜部を設ける別の方法を説明する図
【図13】本発明の第2の実施の形態に係る内視鏡用撮像装置の他の構成を説明する断面図
【符号の説明】
1…内視鏡
3…内視鏡用撮像装置
10…薄膜部
30…気密レンズユニット
32…先端レンズ
33…先端レンズ枠
35…セラミック枠
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an endoscope imaging device used for an endoscope capable of autoclave sterilization and a method for forming a thin film portion provided in the endoscope imaging device.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, by inserting a long and thin insertion portion into a body cavity, the inside of a body cavity can be observed, and various medical treatments can be performed using a treatment instrument inserted into a treatment instrument channel as necessary. Endoscopes are widely used.
[0003]
In this endoscope, an insertion portion is inserted into a body cavity for observation, and various treatments and treatments are performed using a treatment instrument inserted into a treatment instrument channel. For this reason, when an endoscope that has been used once is reused, it is necessary to wash and disinfect after completion of the examination because it is necessary to prevent infection between patients.
[0004]
In recent years, autoclave sterilization (high-pressure steam sterilization), which can be used immediately after sterilization, which involves complicated work, and has a low running cost, is becoming the mainstream of disinfection sterilization processing for endoscope devices.
[0005]
In this autoclave sterilization, a vacuum is applied before the sterilization process, a high-temperature steam is sterilized in a short time in a short time, and a vacuum is applied for drying after the sterilization process is completed. As an example of this autoclave sterilization, US standard ANSI / AAMIST 37-1992 stipulates that the sterilization process is performed at about 2 atm and 132 ° C. for 4 minutes. However, high-pressure steam permeates most polymer materials such as resin, rubber, and resin adhesive.
[0006]
In general, in a flexible mirror having a soft part and a movable part, an operation part, an insertion part, a bending part, and the like are mainly composed of a polymer material. For this reason, even if it is possible to maintain water tightness at 1 atm, water vapor can easily enter under high pressure. In addition, epoxy resin, which is a commonly used adhesive, also permeates high-pressure steam sterilized by autoclave. Furthermore, epoxy resins have the property of deteriorating by direct contact with high pressure steam. For this reason, it is considered that cracks occur in the cured adhesive due to the penetration of water vapor. In addition, since autoclave sterilization is performed at a high temperature, cracks may occur in the cured adhesive due to the stress applied between the parts due to the difference in coefficient of thermal expansion of each material.
[0007]
In other words, when the soft mirror is sterilized by autoclave, high-pressure steam penetrates the adhesive such as the optical window joint and penetrates into the optical system, and the lens surface becomes cloudy, or the glass material or lens forming the lens There is a risk of deteriorating the coating applied to.
[0008]
In order to solve these problems, Japanese Patent Laid-Open No. 6-209898 discloses that the optical window member is joined airtightly by soldering, brazing, or the like instead of adhesive fixing with a resin adhesive. Further, there is shown a technique in which a surface treatment (wet plating) such as a gold plating for soldering is performed on a groove portion of a stainless steel inner tube and a tip cover glass holding member. In addition, if the inner tube is made of a metal such as brass, good brazing can be performed without plating, but a metal with good solderability such as brass may be rusted by autoclave sterilization and lose resistance. is there. In order to prevent this, the inner tube is made of stainless steel having steam resistance.
[0009]
Japanese Patent Laid-Open No. 2002-253486 discloses that an optical window member and a frame member are heated in a hydrogen furnace atmosphere for the purpose of solving the problem of contamination and corrosion due to residual flux as in the case of soldering using a conventional flux. The method of soldering is shown.
[0010]
Further, as a method of forming a uniform film portion with good adhesion, for example, vapor deposition materials such as chromium, nickel, copper, etc. are evaporated by a physical method such as high temperature heating, sputtering, etc. There is known a physical vapor deposition method (hereinafter referred to as PVD) in which a film portion is condensed to form a film portion.
[0011]
[Patent Document 1] JP-A-6-209898 (page 2-3, FIG. 1)
[0012]
Japanese Patent Laid-Open No. 2002-253486 (page 2-4, FIG. 2-4)
[Problems to be solved by the invention]
However, in the endoscope disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-209898, when solder flows on the outer periphery of the cover glass holding member, the outer diameter changes and cannot be fitted to other parts. For this reason, it is necessary to remove the surface treatment such as plating of a portion where the solder is not desired to flow by an additional process, and there is a problem such as a reduction in image quality due to a reduction in processing accuracy.
[0013]
Further, in the method of heating and soldering in a hydrogen furnace atmosphere disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-253486, the plating film thickness provided to make the solder wettability constant on the soldered surface of the metal frame is controlled. There is a drawback that high technology is required for this plating.
[0014]
Furthermore, in the PVD, a technique for forming a homogeneous film part on a planar member such as a substrate has been established, but it has been difficult to form a homogeneous film part on a curved surface.
[0015]
The present invention was made in view of the above circumstances, and when performing autoclave sterilization, the optical member constituting the optical system provided inside the frame is prevented from being exposed to water vapor, and It is an object to provide an endoscope imaging apparatus capable of improving the brazing accuracy of parts constituting the frame and reducing the manufacturing cost, and a method for forming a thin film portion provided in the endoscope imaging apparatus. Yes.
[0016]
[Means for Solving the Problems]
An endoscope imaging apparatus according to the present invention includes a metal lens frame in which an optical member is disposed at least at one end, or a ceramic ceramic frame that is disposed by being fitted to a metal metal frame. An endoscopic imaging device,
A thin film portion having a predetermined thickness that improves solder wettability using a physical vapor deposition method is provided on a fitting surface of the lens frame with the optical member and a fitting surface of the ceramic frame with the metal frame. .
According to this configuration, the joining of the optical member and the lens frame or the joining of the metal frame and the ceramic frame can be performed by soldering such as solder.
[0017]
In addition, a method for forming a thin film portion provided in an endoscope imaging apparatus includes an arrangement step of arranging a frame member at a predetermined position of a frame jig, and a vapor deposition apparatus having a target of the frame member arranged in the frame jig Using the physical vapor deposition method, the installation step to be installed inside, the frame jig is moved with respect to the target, and the frame member arranged on the frame jig is rotated by a predetermined amount along with the movement. And a film part forming step of forming a thin film part on the peripheral surface of the frame member.
According to this forming step, a uniform thin film portion having a predetermined thickness dimension is formed on the peripheral surface of the frame member.
[0018]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
(First embodiment)
1 to 12 relate to a first embodiment of the present invention, FIG. 1 is a diagram for explaining the configuration of an endoscope, FIG. 2 is a cross-sectional view for explaining an endoscope imaging device, and FIG. FIG. 4 is a diagram showing a state in which the tip lens is joined to the tip lens frame, FIG. 5 is a diagram showing a state in which a masking member is disposed on the ceramic frame, and FIG. FIG. 7 is a diagram illustrating a process of providing a thin film portion on the outer peripheral surface of a ceramic frame disposed on a jig, FIG. 8 is a diagram illustrating a state in which a masking member is disposed on a tip lens frame, and FIG. 9 is a diagram for explaining the tip lens frame in a state where it is arranged on a jig, FIG. 10 is a diagram for explaining the positional relationship between the tip lens frame arranged on the jig and the target, and FIG. 11 is a thin film portion on the inner peripheral surface. FIG. 12 is a diagram for explaining another method for providing the thin film portion on the inner peripheral surface. Kicking is a diagram for explaining another method.
[0019]
6A is a diagram for explaining a procedure for arranging the ceramic frame on the jig, FIG. 6B is a diagram for explaining the ceramic frame in a state of being arranged on the jig, and FIG. 7A is a sputtering apparatus. FIG. 7B is a view for explaining the positional relationship between the ceramic frame placed on the jig and the target.
[0020]
As shown in FIG. 1, the endoscope 1 according to the present embodiment mainly includes an insertion portion 11, an operation portion 12, a universal cord 13, a light guide connector 14, a camera cable 15, and a camera connector 16. Has been.
[0021]
The insertion portion 11 is a portion to be inserted into the body, and is elongated and flexible. The operation portion 12 is provided at the proximal end portion of the insertion portion 11. The universal cord 13 extends from the operation unit 12. The light guide connector 14 is provided at the end of the universal cord 13. The camera cable 15 is branched from the light guide connector 14. A camera connector 16 is provided at the end of the camera cable 15. The camera cable 15 is connected to a camera control unit (not shown) via a camera connector 16.
[0022]
The insertion portion 11 is configured by connecting a flexible tube portion 17, a bending portion 18, and a distal end hard portion 19 in order from the operation portion 12 side. The operation portion 12 is provided with an angle lever 21 for remotely operating the bending portion 18.
[0023]
The flexible tube portion 17 is formed of a soft member. The bending portion 18 is configured by connecting a plurality of bending pieces, and bends in the vertical and horizontal directions by operating the angle lever 21, for example. The distal end hard portion 19 is formed of a hard member.
[0024]
The light guide connector 14 is provided with a base 22 that communicates with the internal space of the endoscope 1. The endoscope 1 has a watertight structure, and by attaching an adapter (not shown) to the base 22, the internal space of the endoscope 1 and the outside of the endoscope are in communication with each other.
[0025]
An endoscope imaging apparatus will be described with reference to FIG.
As shown in the drawing, the endoscope imaging device 3 includes an airtight lens unit 30, a solid-state imaging device unit 50, a signal cable 61, an outer frame 62, a back cover 63, and a heat-shrinkable tube 64. Thus, it is configured as an imaging unit.
[0026]
The hermetic lens unit 30 is provided with a plurality of lenses, which will be described later, at predetermined positions. The solid-state imaging device unit 50 is provided with a solid-state imaging device 51 that photoelectrically converts an optical image formed on the imaging surface through the airtight lens unit 30. The signal cable 61 transmits an electrical signal photoelectrically converted by the solid-state image sensor 51 to a camera control unit connected to the camera connector 16.
[0027]
The airtight lens unit 30 includes an internal lens unit 31, a front lens 32, a front lens frame 33, a first pipe 34, a ceramic frame 35, a second pipe 36, a lens holder 37, a lens 38, and a rear end lens 39. Consists of.
[0028]
The internal lens unit 31 houses a lens group 42 configured by arranging a plurality of lenses on an internal lens frame 41. The internal lens frame 41 is made of, for example, an aluminum alloy.
[0029]
The front lens frame 33, the first pipe 34, the second pipe 36, and the lens holder 37 are substantially tubular and are made of a material having high resistance to water vapor such as stainless steel. The ceramic frame 35 is made of a dense ceramic such as alumina having high resistance to water vapor.
[0030]
A distal lens 32 that constitutes the most distal portion of the airtight lens unit 30 is disposed on the distal end side of the internal lens unit 31. The tip lens 32 is made of, for example, sapphire glass or quartz glass having high resistance to water vapor. Further, the outer peripheral surface of the tip lens 32 is subjected to metallization processing.
[0031]
For example, a vapor deposition material such as chromium, nickel, copper, or the like is deposited on the inner peripheral surface of the front lens frame 33 to be a joint surface with the front lens 32 by physical vapor deposition (hereinafter referred to as PVD). The formed thin film portion 10 is provided. This PVD is one of dry plating, and a film portion is formed on a product by accelerating and colliding the metal ionized in a low or high vacuum or a rare gas such as argon or nitrogen with the product.
[0032]
The tip lens 32 subjected to the metallization process is fixed to the inner peripheral surface of the tip lens frame 33 on which the nickel thin film portion 10 is formed, for example, by brazing such as brazing or soldering. Thereby, the outer peripheral surface of the front end lens 32 and the inner peripheral surface of the front end lens frame 33 are airtightly bonded, and gas can be prevented from entering through the bonded portion.
[0033]
A first pipe 34 is fitted and arranged inside the front lens frame 33 and joined by welding, for example. Further, the tip end portion of the ceramic frame 35 is fitted and disposed inside the first pipe 34 and joined by welding, for example. Further, the base end portion of the ceramic frame 35 is fitted and arranged inside the second pipe 36 and joined by welding, for example. The second pipe 36 is fitted and arranged on the inner side of the front end side of the lens holder 37, and is joined by welding, for example.
[0034]
The tip lens frame 33, the first pipe 34, the ceramic frame 35, the second pipe 36, and the lens holder 37 are joined in a narrow sense by laser or the like, brazing such as brazing or soldering, fusion welding, or pressure welding. In addition, airtight bonding is performed using metal bonding or the like, and gas is prevented from entering through the bonding portion.
[0035]
At least the welded portion of the ceramic frame 35 is subjected to surface treatment by an active metal method, Mo-Mn baking, wet plating, PVD, or the like in advance so that welding is possible.
[0036]
The internal lens unit 31 is inserted inside the ceramic frame 35 and is integrally fixed by bonding or the like while being positioned with respect to the solid-state image sensor 51 of the solid-state image sensor unit 50.
[0037]
The rear end lens 39 is joined to the inner peripheral surface of the base end side of the lens holder 37 by brazing such as brazing or soldering. The outer peripheral surface of the rear end lens 39 is metalized similarly to the front end lens 32. On the other hand, a thin film portion 10 made of nickel, for example, is provided on the inner peripheral surface of the lens holder 37 by PVD. Then, the rear end lens 39 subjected to metallization and the lens holder 37 provided with the thin film portion 10 are bonded and fixed by brazing such as brazing or soldering.
[0038]
The rear end lens 39 is also made of, for example, sapphire glass or quartz glass, which has high resistance to water vapor. In the present embodiment, the front lens 32 and the rear lens 39 are flat cover glasses, but may be curved lens shapes. Further, a lens 38 is attached to the inside of the lens holder 37 through a ring-shaped member 40 so as to provide a gap with the rear end lens 39.
[0039]
In this way, the joint portions of the front lens 32, the front lens frame 33, the first pipe 34, the ceramic frame 35, the second pipe 36, the lens holder 37, and the rear lens 39 constituting the airtight lens unit 30 are provided. By airtightly joining by brazing or the like, the internal space of the airtight lens unit 30 can be made into an airtight space where no high-pressure steam enters even if autoclave sterilization is performed.
[0040]
As a result, a plurality of lenses constituting the lens group 42 provided in the hermetic space of the hermetic lens unit 30 and a glass material of the lens 38, a coating applied to these lenses, and a lens fogging occur. This prevents the deterioration of the image due to the cause of these problems, and provides a good endoscopic observation image.
[0041]
Next, the solid-state image sensor unit 50 will be described.
The solid-state image sensor unit 50 is configured by housing a solid-state image sensor 51 and a circuit board 52 in a case 53. The solid-state image sensor 51 is connected to the circuit board 52 via wire bonding or a flexible wiring board. The circuit board 52 is mounted with an electronic component such as a capacitor and an IC for amplifying an electric signal. A lead pin 54 that is electrically connected to the circuit board 52 is provided on the base end side of the case 53. The lead pin 54 is electrically connected to the signal cable 61 outside the case 53.
[0042]
A glass lid 55 is bonded to the light receiving portion of the solid-state imaging device 51 with a transparent adhesive that is cured by ultraviolet rays. The glass lid 55 is for preventing dust and scratches on the light receiving portion of the solid-state image sensor 51. The front end side surface of the glass lid 55 is bonded and fixed to the rear end lens 39.
[0043]
The ceramic frame 35, the second pipe 36, and the lens holder 37 hold the rear end lens 39 joined to the glass lid 55, and fit and position the inner lens unit 31 to thereby focus the optical system. Aligning. Thus, the endoscope imaging device 3 is configured by aligning the internal lens unit 31 and the solid-state imaging device 51.
[0044]
A distal end portion of a metal outer frame 62 is attached to the outer periphery on the proximal end side of the lens holder 37. A back cover 63 is attached to the inner periphery of the base end portion of the outer frame 62. The back cover 63 has an opening 65 through which the signal cable 61 is passed.
[0045]
The back cover 63 is filled with an adhesive 66. The adhesive 66 fixes the solid-state image sensor unit 50 and the signal cable 61 to the back cover 63. Further, the outer surface of the outer frame 62 and the back cover 63 and the base end side of the lens holder 37 are covered with a heat-shrinkable tube 64 having electrical insulation.
[0046]
When the members constituting the endoscope imaging device 3 are joined together by welding, fusion welding, or pressure welding, the endoscope imaging device 3 has a built-in material that is easily damaged such as a lens or an electronic component. For this reason, it is difficult to reduce the gap between the fitting portions by deforming them after fitting the members of the same material. In addition, since it is necessary to reduce the outer diameter of the endoscope imaging device 3, it is difficult to increase the thickness. For this reason, the thickness of the welded portion is thin and the gap between the fitting portions is large, making it difficult to weld the fitting portions in an airtight manner. Therefore, as one of the means for reducing the gap, the outer member that is externally arranged than the inner member is made of a material having a large coefficient of thermal expansion, and these members are temporarily assembled in a heated state, and then cooled. As a result, there is a technique in which the gap becomes small and welding is easily performed. Therefore, for example, by using an amber having a low thermal expansion coefficient for the inner member and using stainless steel (SUS304 or the like) having a melting point close to that of the outer fitting member and a thermal expansion coefficient 17 times larger than this amber, The thickness is small, and the gap between the fitting portions can be reduced.
[0047]
As shown in FIG. 3, the tip lens frame 33 is formed such that the outer peripheral portion 71 of the tip portion has a smaller diameter than other outer peripheral portions. That is, the tip lens frame 33 has a stepped shape. And the inner peripheral part 72 of the front-end | tip part of this front-end | tip lens frame 33 is formed in the small diameter compared with the other inner peripheral part.
[0048]
The tip opening side of the inner peripheral portion 72 of the tip lens frame 33 is a joint surface 73 that is brazed to the tip lens 32, and the brazing material used for brazing wets (flows and forms alloy) into this portion. The thin film part 10 which is surface treatment is provided. In this surface treatment, it is generally desirable that the outermost layer be made of gold. In this embodiment, for example, a nickel intermediate layer is provided between the outermost layer and the stainless steel that is the base material of the tip lens frame 33. The adhesion strength of the outermost layer is improved.
[0049]
A taper surface 74 is formed on the front end side of the joint surface 73 to facilitate the flow of solder during soldering.
[0050]
Next, brazing between the front lens frame 33 and the front lens 32 will be described with reference to FIG.
As shown in the drawing, the tip lens 32 whose outer peripheral surface is metalized 32a is inserted from the tip opening side of the tip lens frame 33 on which the thin film portion 10 is provided. In other words, the tip lens 32 is disposed on the joint surface 73 in the tip lens frame 33, and the outer peripheral surface of the tip lens 32 and the thin film portion 10 and the tapered surface 74 of the tip lens frame 33 are fixed by soldering with solder 77. .
[0051]
During this soldering, the solder does not flow in the area where the thin film portion 10 is not formed. For this reason, the solder flows only within the range where the fitting portion between the front lens 32 and the front lens frame 33 and the surrounding surface treatment are performed. Therefore, stable soldering can be performed by using a certain amount of solder.
[0052]
In addition, when soldering, which is a kind of brazing, it is possible to eliminate problems caused by dirt and corrosion due to residual flux by using a hydrogen furnace solder or vacuum furnace that does not use flux. This is desirable for unit assembly.
[0053]
In soldering, the solder 77 and the metallization 32a on the outer periphery of the tip lens 32 become an alloy, and the solder 77 and the thin film portion 10 of the tip lens frame 33 become an alloy. Depending on the crystallization of this alloy, the flow may be blocked. For this reason, it is necessary to control the crystal state of the alloy by managing the film thickness of the metallization 32a on the outer periphery of the front lens 32 and the thin film portion 10 of the front lens frame 33 as well as the solder component. In this embodiment, since the thin film portion 10 of the front lens frame 33 is formed by PVD as described later, the film thickness can be managed with very high accuracy.
[0054]
Here, a method of forming the thin film portion 10 will be described with reference to FIGS.
The process of forming the thin film portion 10 on the outer peripheral surface of the ceramic frame 35 will be described with reference to FIGS.
[0055]
First, as shown in FIG. 5, a tubular masking member 75a is formed in order to prevent a PVD film portion from being formed in a portion where the solder in the central portion of the ceramic frame 35, which is one of the frame members, should not flow. Only the joint surface 73 is exposed by fitting.
[0056]
The masking member 75 is made of a polymer material such as fluororubber, or a metal sheet such as an aluminum foil. In PVD sputtering and ion plating, the surface treatment has high adhesion even at a temperature lower than that of vacuum deposition. For this reason, a polymer material can be used as the masking member 75, and in this figure, a fluororubber is used.
[0057]
Next, as shown in FIG. 6 (a), at least one ceramic frame 35 on which a masking member 75a is arranged is arranged upright on a jig body 81, which is a jig for the frame, so as to be rotatable. It is arranged on the shaft portion 82 a of the frame body holding member 82. Thereafter, a tubular fixing member 83 formed in the predetermined shape with the same member as the masking member is inserted into the inner hole of the ceramic frame 35, and the through hole of the fixing member 83 is inserted into the shaft portion 82a. . As a result, as shown in FIG. 6B, the ceramic frame 35 is arranged in an upright state on the frame body holding member 82 that is rotatably arranged on the jig main body 81.
[0058]
In addition, a pinion portion 82b having a tooth portion that meshes with a rack portion described later is provided in the middle portion of the frame body holding member 82.
[0059]
Next, as shown in FIGS. 7A and 7B, the jig body 81 is made of a rack portion 84 corresponding to the number of teeth of the pinion portion 82b and a vapor deposition material raw material (for example, nickel) for surface treatment. The target 76 is placed at a predetermined position on the moving mechanism 86 in the sputtering apparatus 85 which is a vapor deposition apparatus.
[0060]
And the said moving mechanism 86 is made into a movement state, and the said jig | tool main body 81 is moved to the arrow B direction intermittently or continuously. Then, when the jig main body 81 is moved, the pinion portion 82b of the frame body holding member 82 rotatably disposed on the jig main body 81 and the rack portion 84 mesh with each other, and the pinion The part 82b is rotated and the frame holding member 82 is rotated in the direction of arrow C. That is, when the jig body 81 is moved by the moving mechanism 86, the pinion portion 82b constituting the rotating means and the rack portion 84 mesh with each other, so that the ceramic frame disposed on the frame body holding member 82 is engaged. 35 rotates.
[0061]
In this way, the jig main body 81 is moved in the sputtering apparatus 85 by the moving mechanism 86, whereby the ceramic frame 35 fixedly arranged on the frame body holding member 82 rotates and the bonding surface faces the target 76. The front surface of the target 76 is moved while changing the position 73.
[0062]
As a result, nickel is deposited on the outer peripheral surface, which is the exposed joint surface 73 of the rotating ceramic frame 35 arranged in an upright state on the frame body holding member 82, and the jig body 81 passes through the target 76. In this case, the thin film portion 10 having a predetermined thickness dimension that forms the bonding surface 73 can be formed on the outer peripheral surface of the ceramic frame 35.
[0063]
Instead of configuring the rotating means by engaging the pinion portion 82b and the rack portion 84, for example, a motor is provided in the shaft body 81 to rotate the ceramic frame 35 disposed on the frame holding member 82. May be.
[0064]
A process of forming the thin film portion 10 on the inner peripheral surface of the tip lens frame 33 will be described with reference to FIGS.
[0065]
First, as shown in FIG. 8, a tubular masking member 75 b and a fixing member that prevent the film portion from PVD from being formed in a predetermined range of the outer peripheral surface and inner peripheral surface of the front end side where the solder of the front end lens frame 33 should not flow. The member / masking member 75c is fitted and arranged so that the joint surface 73 is exposed.
[0066]
Next, as shown in FIG. 9, the tip lens frame 33 in a state where the masking members 75b and 75c are arranged is provided with a height adjusting member 87 on the shaft portion 82a of the frame body holding member 82 arranged on the jig body 81. Through. At this time, the fixing member / masking member 75c and the through hole of the height adjusting member 87 are inserted through the shaft portion 82a. As a result, the tip lens frame 33 is fixedly disposed in an upright state on a frame body holding member 82 that is rotatably disposed on the jig body 81.
[0067]
Next, as shown in FIG. 10, the jig body 81 is disposed on a movable block 91 of an angle adjusting jig 90 that is an inclination angle adjusting means, for example, and an angle adjusting sphere 93 is interposed between the movable block 91 and the fixed block 92. The tip lens frame 33 disposed on the frame body holding member 82 that is rotatably disposed on the jig body 81 is inclined at a predetermined angle.
[0068]
On the other hand, the rack portion 84 corresponding to the number of teeth of the pinion portion 82b is rotated around the shaft portion 84a so as to face the pinion portion 82b of the frame body holding member 82 that is rotatably arranged on the jig body 81. In such a manner, it is adjusted and fixed in a tilted state at a predetermined angle.
[0069]
Then, after the jig body 81 is installed via the angle adjustment jig 90 at a predetermined position on the moving mechanism 86 in the sputtering apparatus 85, the jig body 81 is moved with the moving mechanism 86 in a moving state. . Then, the pinion part 82b and the rack part 84 of the frame body holding member 82 rotatably arranged on the jig body 81 are engaged with each other, and the pinion part 82b is rotated so that the frame body holding member 82 is moved. Rotate and move. In other words, when the jig body 81 tilted by a predetermined angle is moved by the moving mechanism 86, the tip lens frame 33 fixedly arranged on the frame body holding member 82 rotates.
[0070]
As described above, when the tilted jig body 81 is moved by the moving mechanism 86 in the sputtering apparatus 85, the tip lens frame 33 fixedly disposed on the frame body holding member 82 rotates, and the target The entire surface of the target 76 is moved while changing the position of the bonding surface 73 facing the surface 76 in an inclined state.
[0071]
Thus, nickel is deposited on the inner peripheral surface of the distal end side, which is the exposed joint surface 73 of the distal lens frame 33 that is arranged upright on the frame holding member 82 that is inclined at a predetermined angle and rotates, When the jig body 81 passes through the target 76, the thin film portion 10 having a predetermined thickness dimension that forms the bonding surface 73 can be formed on the inner peripheral surface of the tip lens frame 33.
[0072]
In the above-described embodiment, the thin film portion 10 is formed by PVD on the outer peripheral surface of the ceramic frame 35 and the inner peripheral surface of the tip lens frame 33. However, the first pipe 34, the second pipe 36, and the lens are formed. You may make it form the thin film part by PVD10 in the internal peripheral surface etc. of the holder 37. FIG.
[0073]
Further, for example, when a PVD thin film portion is formed on the inner peripheral surface of the lens holder 37, the lens holder 37 is disposed in an inclined state with respect to the target as shown in FIG. 11, and the lens holder 37 is not shown. You may make it rotate with a rotation jig and to provide a thin film part in the internal peripheral surface of this lens holder 37. FIG.
[0074]
The outer peripheral portion 71 on the proximal end side of the lens holder 37 is formed to have a smaller diameter than the other outer peripheral portions, and the inner peripheral portion 72 on the proximal end side of the lens holder 37 is also formed to have a smaller diameter than the other inner peripheral portions. Keep it. The end portion of the inner peripheral portion 72 is a joint surface 73 that is soldered to the rear end lens 39.
[0075]
A tapered surface 74 is formed at the opening of the joint surface 73 to facilitate the flow of solder during soldering. On the other hand, a metal sheet masking 79 such as an aluminum foil is provided so that a thin film portion is not formed in the unsolderable range between the outer peripheral portion 71 and the inner peripheral portion 72 where solder should not flow.
[0076]
Further, as shown in FIG. 12, for example, a cylindrical target attached to the support portion 89 is disposed inside the front lens frame 33, and this target is opposed to the joint surface 73 of the front lens frame 33. You may make it provide a thin film part in the internal peripheral surface of the front-end | tip lens frame 33. FIG. Note that the metal sheet masking is provided in the non-solderable area so that the thin film portion is not formed in the non-solderable area of the inner peripheral portion 72 and other inner peripheral portions.
[0077]
As described above, the front lens frame 33 and the lens holder 37 are provided with a thin film portion by PVD, and the front lens 32 and the rear lens 39 are brazed, and the front lens frame 33, the first pipe 34, the ceramic frame 35, the first By joining the members of the two pipes 36 by brazing, the space surrounded by these members can be made an airtight space where high-pressure steam does not enter at all even if autoclave sterilization is performed.
In addition, the airtight lens unit 30 having high quality stability and hermetically bonded can be supplied at low cost.
[0078]
By these, when autoclave sterilization is performed, the optical system provided inside the frame is prevented from being exposed to water vapor, and the processing accuracy of the brazed part of the parts constituting the frame is improved. Manufacturing cost can be reduced. Further, it is possible to prevent lens fogging due to water vapor intrusion and deterioration of the glass material and coating of the lens, and continuously obtain good images.
[0079]
(Second Embodiment)
FIG. 13 is a cross-sectional view illustrating another configuration of the endoscope imaging apparatus according to the second embodiment of the present invention.
[0080]
As shown in the figure, in the endoscope imaging apparatus 103 according to the present embodiment, the imaging unit includes an airtight lens unit 130, a solid-state imaging device unit 50, a signal cable 61, a lens holder 137, a back cover 63, and heat. A contractible tube 64 is included.
[0081]
That is, in the second hermetic lens unit 130, instead of providing the lens holder 37 and the outer frame 62 shown in the first embodiment, an outer frame integrated with the lens holder 37 and the outer frame 62 integrally formed. A lens holder 137 is used.
[0082]
A back cover 63 is inserted and attached to the base end side of the outer frame integrated lens holder 137. The outer frame integrated lens holder 137 is made of a metal such as stainless steel and has a substantially tubular shape. A surface treatment range 189 is provided at the center in the axial direction of the inner peripheral portion 182, and a PVD thin film is formed in the surface treatment range 189. Is provided. The rear end lens 39 that has been subjected to the metallization process is airtightly bonded to the bonding surface 183 that is a base end side portion of the surface treatment range 189 by brazing. Other configurations are the same as those of the first embodiment, and the same members are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.
[0083]
Here, when the joint surface 183 of the outer frame integrated lens holder 137 and the metallized outer peripheral surface of the rear end lens 39 are brazed, the outer frame integrated lens holder 137 is heated at a high temperature in order to improve the flowability of the brazing material. Therefore, the outer frame integrated lens holder 137 is thermally expanded. In general, the rear end lens 39 has a smaller coefficient of thermal expansion than the outer frame integrated lens holder 137. For this reason, at the time of brazing, the clearance between the outer peripheral surface of the rear end lens 39 and the inner peripheral surface of the outer frame integrated lens holder 137 increases from that at normal temperature.
[0084]
Thereafter, the brazing material is poured into the gap between the rear end lens 39 and the outer frame integrated lens holder 137 and cooled, so that the brazing material starts to solidify and further cooled to room temperature, so that the brazing portion is completely solid. It becomes.
[0085]
Since the outer frame integrated lens holder 137 contracts from the temperature at which the brazing material starts to solidify to room temperature, the outer peripheral surface of the rear end lens 39 is compressed, but the brazing material is solid. Therefore, only compressive stress is applied.
[0086]
In the outer frame-integrated lens holder 137 having the structure of the present embodiment, the distal end side and the rear end side of the insertion portion have substantially the same length with the rear end lens 39 as the center. For this reason, a constant compressive force is applied to the outer peripheral surface of the rear end lens 39. Therefore, the metallization of the outer peripheral surface of the rear end lens 39 and the surface treatment of the outer frame integrated lens holder 137 can be prevented from peeling off. As a result, a more reliable airtightness can be secured. Other operations are the same as those in the first embodiment.
[0087]
In this way, the outer frame integrated lens holder 137 is configured, and the rear end lens 39 is arranged at substantially the center of the outer frame integrated lens holder 137, so that the metallization processing portion on the outer peripheral surface of the rear end lens 39, It is possible to reliably prevent the surface treatment portion of the frame-integrated lens holder 137 from peeling off. Thereby, the reliability of the endoscope imaging apparatus can be improved.
[0088]
[Appendix]
According to the embodiment of the present invention described in detail above, the following configuration can be obtained.
[0089]
(1) In an endoscope imaging device including a metal lens frame in which an optical member is disposed at least at one end portion or a ceramic ceramic frame disposed by being fitted to a metal metal frame.
A thin film portion having a predetermined thickness for improving solder wettability using physical vapor deposition is provided on the fitting surface of the lens frame with the optical member and the fitting surface of the ceramic frame with the metal frame. Imaging device for endoscope.
[0090]
(2) an arrangement step of arranging the frame member at a predetermined position of the frame jig;
An installation step of installing the frame member arranged in the frame jig in a vapor deposition apparatus having a target;
The frame jig is moved with respect to the target, the frame member arranged on the frame jig is rotated by a predetermined amount along with the movement, and a physical vapor deposition method is applied to the peripheral surface of the frame member. A film part forming step for forming a thin film part;
A method for forming a thin film portion provided in an endoscope imaging apparatus.
[0091]
(3) The thin film portion forming method provided in the endoscope imaging apparatus according to appendix 2, wherein the frame member is disposed in parallel to the target when the thin film portion is formed on the outer peripheral surface of the frame member.
[0092]
(4) When forming the thin film portion on the inner peripheral surface of the frame member, the thin film portion forming method provided in the endoscope imaging apparatus according to appendix 2, wherein the frame member is inclined with respect to the target by a predetermined amount. .
[0093]
(5) The thin film portion forming method provided in the endoscope imaging apparatus according to appendix 2, wherein a thin film portion is formed at a predetermined position of the frame member by providing a masking member on the frame member.
[0094]
(6) The thin film part forming method provided in the endoscope imaging apparatus, wherein the film thickness of the thin film part is set according to the moving time for passing the target of the frame jig.
[0095]
(7) The endoscope imaging apparatus according to appendix 1, wherein when forming the thin film portion on an inner peripheral surface of the frame member, a target is disposed on the inner peripheral surface side of the frame member.
[0096]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, when autoclave sterilization is performed, the optical member constituting the optical system provided inside the frame is reliably prevented from being exposed to water vapor, and the frame is It is possible to provide an endoscope imaging apparatus capable of improving the processing accuracy of brazing of components to be configured and reducing the manufacturing cost, and a method for forming a thin film portion provided in the endoscope imaging apparatus.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 to FIG. 12 relate to a first embodiment of the present invention, and FIG. 1 is a diagram for explaining the configuration of an endoscope;
FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating an endoscope imaging apparatus
FIG. 3 is a diagram for explaining a tip lens frame;
FIG. 4 is a diagram showing a state in which a front lens is joined to a front lens frame.
FIG. 5 is a diagram showing a state in which a masking member is arranged on a ceramic frame.
FIG. 6 is a diagram for explaining the relationship between a ceramic frame on which a masking member is arranged and a jig;
FIG. 7 is a diagram for explaining a process of providing a thin film portion on the outer peripheral surface of a ceramic frame disposed on a jig.
FIG. 8 is a diagram showing a state in which a masking member is arranged on the front lens frame.
FIG. 9 is a diagram for explaining the front lens frame in a state of being arranged on a jig.
FIG. 10 is a view for explaining the positional relationship between the tip lens frame arranged on the jig and the target.
FIG. 11 is a diagram for explaining another method of providing a thin film portion on the inner peripheral surface.
FIG. 12 is a diagram for explaining another method of providing a thin film portion on the inner peripheral surface.
FIG. 13 is a cross-sectional view illustrating another configuration of the endoscope imaging apparatus according to the second embodiment of the present invention.
[Explanation of symbols]
1 ... Endoscope
3 ... Imaging device for endoscope
10. Thin film part
30 ... Airtight lens unit
32 ... tip lens
33 ... tip lens frame
35 ... Ceramic frame

Claims (2)

少なくとも一端部に光学部材が配置される金属製のレンズ枠、又は、金属製の金属枠に嵌合して配置されるセラミック製のセラミック枠を備える内視鏡撮像装置において、
前記レンズ枠の前記光学部材との嵌合面及び前記セラミック枠の前記金属枠との嵌合面に、物理気相成長法を用いて半田濡れ性を向上させる所定厚みの薄膜部を設けたことを特徴とする内視鏡用撮像装置。
In an endoscope imaging device comprising a metal lens frame in which an optical member is disposed at least at one end, or a ceramic ceramic frame disposed by being fitted to a metal metal frame,
A thin film portion having a predetermined thickness for improving solder wettability using a physical vapor deposition method is provided on a fitting surface of the lens frame with the optical member and a fitting surface of the ceramic frame with the metal frame. An endoscope imaging device characterized by the above.
枠部材を枠用治具の所定位置に配置する配置工程と、
枠用治具に配置された枠部材をターゲットを有する蒸着装置内に設置する設置工程と、
前記枠用治具をターゲットに対して移動させ、この枠用治具に配置された枠部材を移動に伴って所定量回転させて、物理気相成長法を用いて前記枠部材の周面に薄膜部を形成する膜部形成工程と、
を具備することを特徴とする内視鏡用撮像装置に設ける薄膜部の形成方法。
An arrangement step of arranging the frame member at a predetermined position of the frame jig;
An installation step of installing the frame member arranged in the frame jig in a vapor deposition apparatus having a target;
The frame jig is moved with respect to the target, the frame member arranged on the frame jig is rotated by a predetermined amount along with the movement, and a physical vapor deposition method is applied to the peripheral surface of the frame member. A film part forming step for forming a thin film part;
A method of forming a thin film portion provided in an endoscope imaging apparatus, comprising:
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