JP2005005256A - プラズマディスプレイパネルとその製造方法およびその保護層用材料 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】前面基板4上に形成した走査電極5および維持電極6を覆うように誘電体層9を形成し、その誘電体層9上に保護層10を形成したプラズマディスプレイパネルであって、保護層10は珪素および窒素を含む。さらに、保護層10は、原子数が5×1018個/cm3〜2×1021個/cm3の珪素と、原子数が1×1018個/cm3〜8×1021個/cm3の窒素とを含む酸化マグネシウムである。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の第1の実施の形態における交流面放電型のPDPの一部を切り欠いて示す斜視図である。このPDPは、前面パネル1と背面パネル2とを対向配置してそれらの間に放電空間3を形成し、放電空間3にネオンおよびキセノン等からなる放電ガスを封入して構成されている。
蒸着時基板温度:200℃以上
蒸着時圧力:3.0×10-2Pa〜8.0×10-2Pa
ここで、保護層用材料として、MgOの焼結体と窒化珪素(Si3N4)の粉末とを混合した後、焼結体にした蒸着材料を用意した。このとき、混合するSi3N4の濃度を0〜20000重量ppmの範囲で変えた複数種類の蒸着材料を用意した。そして、この複数種類の蒸着材料をそれぞれ用いて保護層10を蒸着した複数種類の基板を作製し、これら各基板を用いてそれぞれPDPを作製した。
第1の実施の形態では、保護層用材料として、MgOの焼結体とSi3N4の粉末とを混合した蒸着材料を用いた場合について説明したが、他の組成の蒸着材料を用いることによって保護層10中にSiおよびNを含ませることができる。例えば、MgOの焼結体にSiの粉末および窒化物の粉末を混合した後、焼結体とした蒸着材料を蒸着源として用いることにより、SiおよびNを含む保護層10を得ることができる。ここで、窒化物の例としては、窒化アルミニウム(AlN)または窒化硼素(BN)を挙げることができる。また、Siの粉末の代わりに酸化珪素(SiO2)の粉末を用いることができる。
2 背面パネル
4 前面基板
5 走査電極
6 維持電極
9 誘電体層
10 保護層
Claims (8)
- 基板上に形成した走査電極および維持電極を覆うように誘電体層を形成し、前記誘電体層上に保護層を形成したプラズマディスプレイパネルであって、前記保護層は珪素および窒素を含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
- 保護層は、原子数が5×1018個/cm3〜2×1021個/cm3の珪素と、原子数が1×1018個/cm3〜8×1021個/cm3の窒素とを含む酸化マグネシウムであることを特徴とする請求項1に記載のプラズマディスプレイパネル。
- 基板上に形成した走査電極および維持電極を覆うように誘電体層を形成し、前記誘電体層上に保護層を形成したプラズマディスプレイパネルの製造方法であって、前記保護層を形成する工程が珪素および窒素を含む保護層用材料を用いた成膜工程であることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
- 保護層用材料は珪素および窒素を含む酸化マグネシウムであり、前記珪素の濃度範囲が7重量ppm〜8000重量ppm、前記窒素の濃度範囲が4重量ppm〜6000重量ppmであることを特徴とする請求項3に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
- 保護層用材料は窒化珪素を含む酸化マグネシウムであり、前記窒化珪素の濃度範囲が10重量ppm〜15000重量ppmであることを特徴とする請求項3に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
- 基板上に形成した走査電極および維持電極を覆うように誘電体層を形成し、前記誘電体層上に保護層を形成するプラズマディスプレイパネルの保護層用材料であって、前記保護層用材料は珪素および窒素を含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの保護層用材料。
- 保護層用材料は珪素および窒素を含む酸化マグネシウムであり、前記珪素の濃度範囲が7重量ppm〜8000重量ppmであり、前記窒素の濃度範囲が4重量ppm〜6000重量ppmであることを特徴とする請求項6に記載のプラズマディスプレイパネルの保護層用材料。
- 保護層用材料は窒化珪素を含む酸化マグネシウムであり、前記窒化珪素の濃度範囲が10重量ppm〜15000重量ppmであることを特徴とする請求項6に記載のプラズマディスプレイパネルの保護層用材料。
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