JP2005005209A - 発光素子及びその製造方法、表示装置 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 22
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 180
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims abstract description 170
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims abstract description 170
- 239000011368 organic material Substances 0.000 claims abstract description 20
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 claims abstract description 13
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims abstract description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 116
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 claims description 56
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 29
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 29
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 12
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 239000002998 adhesive polymer Substances 0.000 claims description 8
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 8
- 239000000243 solution Substances 0.000 abstract description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 27
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 25
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 14
- 230000006870 function Effects 0.000 description 12
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 10
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 10
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 9
- 229920003227 poly(N-vinyl carbazole) Polymers 0.000 description 9
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 8
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 7
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 7
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 6
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 6
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 6
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 6
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 6
- 150000004985 diamines Chemical class 0.000 description 5
- -1 polyparaphenylene Polymers 0.000 description 5
- 229920000265 Polyparaphenylene Polymers 0.000 description 4
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 4
- 229920000547 conjugated polymer Polymers 0.000 description 4
- TVIVIEFSHFOWTE-UHFFFAOYSA-K tri(quinolin-8-yloxy)alumane Chemical compound [Al+3].C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1.C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1.C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1 TVIVIEFSHFOWTE-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 4
- OGGKVJMNFFSDEV-UHFFFAOYSA-N 3-methyl-n-[4-[4-(n-(3-methylphenyl)anilino)phenyl]phenyl]-n-phenylaniline Chemical compound CC1=CC=CC(N(C=2C=CC=CC=2)C=2C=CC(=CC=2)C=2C=CC(=CC=2)N(C=2C=CC=CC=2)C=2C=C(C)C=CC=2)=C1 OGGKVJMNFFSDEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229920001609 Poly(3,4-ethylenedioxythiophene) Polymers 0.000 description 3
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 description 3
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 description 3
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910017073 AlLi Inorganic materials 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical group [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N Chloroform Chemical compound ClC(Cl)Cl HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 2
- 125000002947 alkylene group Chemical group 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- MWPLVEDNUUSJAV-UHFFFAOYSA-N anthracene Chemical group C1=CC=CC2=CC3=CC=CC=C3C=C21 MWPLVEDNUUSJAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 2
- 125000000732 arylene group Chemical group 0.000 description 2
- 239000011203 carbon fibre reinforced carbon Chemical group 0.000 description 2
- 239000013522 chelant Substances 0.000 description 2
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 2
- 125000002993 cycloalkylene group Chemical group 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005566 electron beam evaporation Methods 0.000 description 2
- 238000004770 highest occupied molecular orbital Methods 0.000 description 2
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 2
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 2
- 125000005647 linker group Chemical group 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 125000004433 nitrogen atom Chemical group N* 0.000 description 2
- AHLBNYSZXLDEJQ-FWEHEUNISA-N orlistat Chemical compound CCCCCCCCCCC[C@H](OC(=O)[C@H](CC(C)C)NC=O)C[C@@H]1OC(=O)[C@H]1CCCCCC AHLBNYSZXLDEJQ-FWEHEUNISA-N 0.000 description 2
- 229920000553 poly(phenylenevinylene) Polymers 0.000 description 2
- 229920000548 poly(silane) polymer Polymers 0.000 description 2
- 229920000172 poly(styrenesulfonic acid) Polymers 0.000 description 2
- 229920001197 polyacetylene Polymers 0.000 description 2
- 229940005642 polystyrene sulfonic acid Drugs 0.000 description 2
- 229920000123 polythiophene Polymers 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- BBEAQIROQSPTKN-UHFFFAOYSA-N pyrene Chemical group C1=CC=C2C=CC3=CC=CC4=CC=C1C2=C43 BBEAQIROQSPTKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- MPKKHQRPBMSEND-UHFFFAOYSA-N 2-pyran-4-ylidenepropanedinitrile Chemical compound N#CC(C#N)=C1C=COC=C1 MPKKHQRPBMSEND-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GOLORTLGFDVFDW-UHFFFAOYSA-N 3-(1h-benzimidazol-2-yl)-7-(diethylamino)chromen-2-one Chemical compound C1=CC=C2NC(C3=CC4=CC=C(C=C4OC3=O)N(CC)CC)=NC2=C1 GOLORTLGFDVFDW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002799 BoPET Polymers 0.000 description 1
- 241000284156 Clerodendrum quadriloculare Species 0.000 description 1
- 239000005083 Zinc sulfide Substances 0.000 description 1
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 description 1
- 229920000109 alkoxy-substituted poly(p-phenylene vinylene) Polymers 0.000 description 1
- HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N alpha-acetylene Natural products C#C HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 1
- 150000004982 aromatic amines Chemical class 0.000 description 1
- 239000002585 base Substances 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 150000004696 coordination complex Chemical class 0.000 description 1
- XCJYREBRNVKWGJ-UHFFFAOYSA-N copper(II) phthalocyanine Chemical compound [Cu+2].C12=CC=CC=C2C(N=C2[N-]C(C3=CC=CC=C32)=N2)=NC1=NC([C]1C=CC=CC1=1)=NC=1N=C1[C]3C=CC=CC3=C2[N-]1 XCJYREBRNVKWGJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 239000000412 dendrimer Substances 0.000 description 1
- 229920000736 dendritic polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000003599 detergent Substances 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 1
- 229920006332 epoxy adhesive Polymers 0.000 description 1
- GVEPBJHOBDJJJI-UHFFFAOYSA-N fluoranthrene Chemical group C1=CC(C2=CC=CC=C22)=C3C2=CC=CC3=C1 GVEPBJHOBDJJJI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- RBTKNAXYKSUFRK-UHFFFAOYSA-N heliogen blue Chemical compound [Cu].[N-]1C2=C(C=CC=C3)C3=C1N=C([N-]1)C3=CC=CC=C3C1=NC([N-]1)=C(C=CC=C3)C3=C1N=C([N-]1)C3=CC=CC=C3C1=N2 RBTKNAXYKSUFRK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002390 heteroarenes Chemical class 0.000 description 1
- 125000005842 heteroatom Chemical group 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 229910052747 lanthanoid Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002602 lanthanoids Chemical class 0.000 description 1
- 230000006386 memory function Effects 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- UFWIBTONFRDIAS-UHFFFAOYSA-N naphthalene-acid Natural products C1=CC=CC2=CC=CC=C21 UFWIBTONFRDIAS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001624 naphthyl group Chemical group 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- FIZIRKROSLGMPL-UHFFFAOYSA-N phenoxazin-1-one Chemical compound C1=CC=C2N=C3C(=O)C=CC=C3OC2=C1 FIZIRKROSLGMPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UOMHBFAJZRZNQD-UHFFFAOYSA-N phenoxazone Natural products C1=CC=C2OC3=CC(=O)C=CC3=NC2=C1 UOMHBFAJZRZNQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000767 polyaniline Polymers 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 1
- 238000005036 potential barrier Methods 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 238000012827 research and development Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 230000002269 spontaneous effect Effects 0.000 description 1
- PJANXHGTPQOBST-UHFFFAOYSA-N stilbene Chemical class C=1C=CC=CC=1C=CC1=CC=CC=C1 PJANXHGTPQOBST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- IFLREYGFSNHWGE-UHFFFAOYSA-N tetracene Chemical group C1=CC=CC2=CC3=CC4=CC=CC=C4C=C3C=C21 IFLREYGFSNHWGE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001834 xanthenyl group Chemical class C1=CC=CC=2OC3=CC=CC=C3C(C12)* 0.000 description 1
- 229910052984 zinc sulfide Inorganic materials 0.000 description 1
- DRDVZXDWVBGGMH-UHFFFAOYSA-N zinc;sulfide Chemical compound [S-2].[Zn+2] DRDVZXDWVBGGMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Abstract
【課題】長寿命であり、且つ容易に製造できる上面光取り出し構造の発光素子及び表示装置を提供する。
【解決手段】発光素子10は、電子注入電極2と、前記電子注入電極と対向している透明または半透明である正孔注入電極5と、前記電子注入電極と前記正孔注入電極との間に挟まれている、発光性有機材料を含む発光体層3と高分子系材料を含む正孔輸送層4とを備え、且つ、前記正孔注入電極と前記電子注入電極は、前記正孔輸送層を接着層として貼り合わせされている。
【選択図】 図1
【解決手段】発光素子10は、電子注入電極2と、前記電子注入電極と対向している透明または半透明である正孔注入電極5と、前記電子注入電極と前記正孔注入電極との間に挟まれている、発光性有機材料を含む発光体層3と高分子系材料を含む正孔輸送層4とを備え、且つ、前記正孔注入電極と前記電子注入電極は、前記正孔輸送層を接着層として貼り合わせされている。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、発光ディスプレイや、通信、照明等に用いられる各種光源として使用可能な発光素子及び該発光素子を用いた表示装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、平面型の表示装置の中で、エレクトロルミネッセンス(EL)素子に期待が集まっている。このEL素子は、自発発光性を有し視認性に優れ、視野角が広く、応答性が速いなどの特徴を持つ。
【0003】
現在実用化されているEL素子には、発光材料として無機材料を用いた無機EL素子と発光材料として有機材料を用いた有機EL素子がある。硫化亜鉛等の無機材料を用いた無機EL素子は、その駆動に比較的高い交流電圧を必要とすることから駆動回路が複雑であったり、輝度が低い等の課題があり、実用化が進んでいない。
【0004】
一方、有機材料を発光材料とする有機EL素子は、1987年にTangらによって提案された正孔輸送層と有機発光層とを順次積層した2層構成の素子(例えば、非特許文献1参照。)により、10V以下の駆動電圧で、輝度が1000cd/m2以上の発光が得られるとされており、これがきっかけとなって、今日に至るまで、活発な研究開発が進められてきた。
【0005】
以下、現在一般に検討されている有機EL素子について、図8を用いて説明する。この有機EL素子60は、透明基板66上に透明又は半透明の正孔注入電極65、正孔輸送層64、発光体層63、電子注入電極62の順に積層して形成されている。なお、正孔注入電極65と正孔輸送層64との間に正孔注入層を設けたり、発光体層63と電子注入電極62との間に電子輸送層、さらに電子注入電極62との界面に電子注入層を設けることもある。
【0006】
正孔注入電極としては、透明導電膜であるITO(インジウム錫酸化物)膜が用いられる。ITO膜はその透明性を向上させ、あるいは抵抗率を低下させる目的で、スパッタ法、エレクトロンビーム蒸着法、イオンプレーティング法等によって成膜される。
【0007】
正孔輸送層としては、N,N’−ビス(3−メチルフェニル)−N,N’−ジフェニルベンジジン(TPD)等、Tangらの用いたジアミン誘導体が用いられる。これらの材料は一般に透明性に優れ、80nm程度の膜厚でもほぼ透明である。また、高分子系の正孔輸送層としては、π電子共役系を分子鎖中に有するポリ−N−ビニルカルバゾール(PVK)等が用いられる。
【0008】
発光体層としては、Tangらの報告と同様に、トリス(8−キノリノラト)アルミニウム(Alq3)等の電子輸送性発光材料を真空蒸着により数十nmの膜厚に形成して用いる構成が一般的である。種々の発光色を実現するなどの目的で、発光体層は比較的薄膜とし、電子輸送層を20nm程度積層した、所謂ダブルヘテロ構造が採用されることもある。また、高分子系の発光体層としては、π電子共役系を分子鎖中に有するポリ(2−メトキシ−5−2’−エチル−ヘキソキシ)−1,4−フェニレン−ビニレン(MEH−PPV)等が用いられる。
【0009】
電子注入電極としては、Tangらの提案したMgAg合金あるいはAlLi合金等、仕事関数が低く電子注入障壁の低い金属と、比較的仕事関数が大きく安定な金属との合金、又はLiF等種々の電子注入層とアルミニウム等との積層電極が用いられることが多い。
【0010】
また、各画素の駆動に低温ポリシリコン薄膜トランジスタ(TFT)を用いた有機EL表示装置が知られている(例えば、非特許文献2参照。)。
【0011】
【非特許文献1】
Applied Physics Letters,51,1987,P913
【非特許文献2】
Journal of the Society for Information Display,vol.8,No.2,p93−97
【0012】
従来の有機EL素子を用いた表示装置では、透明基板上に透明正孔注入電極、有機層、電子注入電極の順に形成し、正孔注入電極側から発光を取り出す構成となっている。さらに、各画素を駆動する薄膜トランジスタを設けたアクティブマトリクス型の表示装置の場合には、薄膜トランジスタを配置することによって大きな開口率を取り難いという欠点があった。
【0013】
アクティブマトリクス型表示装置の開口率を向上させて高輝度化を図るために、薄膜トランジスタを形成した基板を下部に配置し、対向する上面から光を取り出す構造が提案されている(「高輝度・高精細に有利なTop Emission構造」,Trigger,10月号(2001)pp12−13)。
【0014】
上面から光を取り出す構造の有機EL素子を図9を用いて説明する。この有機EL素子70は、対向基板61上に正孔注入電極65、正孔輸送層64、発光体層63、透明である電子注入電極62、保護層67の順に積層して形成されている。また、この有機EL素子70は、図8を用いて示した有機EL素子60と異なり、電子注入電極62に光透過性が必要となる。前述の提案では、透明電子注入電極としてTangらの提案したMgAg合金を10nm程度の薄層として用いている。また保護層としては透明樹脂膜等が用いられる。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】
上面から光を取り出す構造の発光素子の場合、上部に配置される電極に透過性が必要となる。従って、下部に配置される背面基板に薄膜トランジスタを形成した後、順次有機材料を含む発光層等を積層し、さらにその後に透明電極を形成することになるが、一般に透明電極として用いられるITOの場合は、成膜する際の熱的影響によって、下層の有機層が劣化してしまったり、十分なキャリア注入が得られないといった課題が生ずる。また、図9のように電子注入電極を透明電極とすると、光取り出し面に薄い金属膜や樹脂膜を用いることになる。一般に有機EL素子は、水分や酸素の影響を受けて輝度の低下やダークスポットの増加等の劣化が生じるが、光の取り出し面に薄い金属膜や樹脂膜を用いる場合、ガラス基板等に比べて水分や酸素のバリア性に劣るため、素子の寿命が短くなる課題が生じる。このように、上面から光を取り出す構造の発光素子は、大きな開口率を実現しやすい反面、高輝度であることと高信頼性、長寿命であることを同時に満足させることは困難であった。
【0016】
また、カラー表示装置を実現するには、RGB各画素の区分して成膜する必要があるが、図8及び図9に示される従来の発光素子は、いずれも薄膜トランジスタに接続されている電極を正孔注入電極として使用しているため、発光体層をRGB各色毎に成膜するのに先立って、正孔輸送層を成膜しなければならず、画素単位の位置合せが困難であった。
【0017】
本発明の目的は、長寿命であり、且つ、製造が容易な上面光取り出し構造の発光素子ならびにその製造方法と、その発光素子を用いた表示装置を提供することである。
【0018】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る発光素子は、透明または半透明基板と、前記基板上に設けられている透明または半透明の正孔注入電極と、前記正孔注入電極と対向して設けられている電子注入電極と、前記正孔注入電極と前記電子注入電極との間に挟みこまれている正孔輸送層と発光体層とを備え、かつ前記正孔輸送層が接着性の高分子系材料を含み、前記接着性の高分子材料を含む層を接着層として、その上下の層を貼り合せていることを特徴とする。
【0019】
また、前記電子注入電極と前記発光体層との間に挟まれた電子輸送層をさらに備えていてもよい。
【0020】
またさらに、前記電子注入電極と前記発光体層との間に挟まれた正孔ブロック層をさらに備えていてもよい。
【0021】
またさらに、前記透明または半透明の正孔注入電極と正孔輸送層との間に挟まれた正孔注入層をさらに備え、且つ前記正孔注入層が高分子系材料を含んでいることを特徴とする。
【0022】
またさらに、透明または半透明基板と、前記基板上に設けられている透明または半透明の正孔注入電極と、前記正孔注入電極と対向して設けられている電子注入電極と、前記正孔注入電極と前記電子注入電極との間に挟みこまれている正孔注入層と正孔輸送層と発光体層とを備え、かつ前記正孔注入層が接着性の高分子系材料を含み、前記接着性の高分子材料を含む層を接着層として、その上下の層を貼り合せていることを特徴とする。
【0023】
またさらに、前記電子注入電極と前記発光体層との間に挟まれた電子輸送層をさらに備えていてもよい。
【0024】
またさらに、前記電子注入電極と前記発光体層との間に挟まれた正孔ブロック層をさらに備えていてもよい。
【0025】
またさらに、前記電子注入電極に接続された薄膜トランジスタをさらに備えていてもよい。
【0026】
本発明に係るアクティブマトリックス型表示装置は、上記複数の発光素子が2次元配列されている発光素子アレイと、
前記発光素子アレイの面に平行な第1方向に互いに平行に延在している複数のx電極と、
前記発光素子アレイの面に平行であって、前記第1方向に直交する第2方向に平行に延在している複数のy電極と
を備え、
前記発光素子アレイの前記薄膜トランジスタは、前記x電極及び前記y電極とそれぞれ接続されていることを特徴とする。
【0027】
本発明の発光素子の製造方法は、透明基板を準備する工程と、
前記透明基板の上に正孔注入電極を形成する工程と、
前記正孔注入電極の上に、正孔輸送層を形成する工程と、
対向基板を準備する工程と、
前記対向基板の上に電子注入電極を形成する工程と、
前記電子注入電極の上に発光性有機材料を含む発光体層を形成する工程と、
前記透明基板の上の前記正孔輸送層と、
前記対向基板の上の前記発光体層とを互いに対向させて貼り合せる工程と
を含んでいてもよい。
【0028】
また、前記電子注入電極の上に、発光体層を形成する工程に先立って、前記電子注入電極の上に電子輸送層を形成する工程を含んでいてもよい。
【0029】
さらに、前記電子注入電極の上に、発光体層を形成する工程に先立って、前記電子注入電極の上に正孔ブロック層を形成する工程を含んでいてもよい。
【0030】
またさらに、前記正孔注入電極の上に、正孔輸送層を形成する工程に先立って、前記正孔注入電極の上に正孔注入層を形成する工程を含んでいてもよい。
【0031】
また、透明基板を準備する工程と、
前記透明基板の上に正孔注入電極を形成する工程と、
前記正孔注入電極の上に、正孔注入層を形成する工程と、
対向基板を準備する工程と、
前記対向基板の上に電子注入電極を形成する工程と、
前記電子注入電極の上に発光性有機材料を含む発光体層を形成する工程と、
前記発光体層の上に正孔輸送層を形成する工程と、
前記透明基板の上の前記正孔注入層と、前記対向基板の上の前記正孔輸送層とを互いに対向させて貼り合せる工程と
を含むことを特徴とする。
【0032】
さらに、前記電子注入電極の上に、発光体層を形成する工程に先立って、前記電子注入電極の上に電子輸送層を形成する工程を含んでいてもよい。
【0033】
またさらに、前記電子注入電極の上に、発光体層を形成する工程に先立って、前記電子注入電極の上に正孔ブロック層を形成する工程を含んでいてもよい。
【0034】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態に係る発光素子及びその製造方法、該発光素子を用いた表示装置及びその製造方法について添付図面を用いて説明する。なお、図面において実質的に同一の部材には同一の符号を付している。
【0035】
(実施の形態1)
本発明の実施の形態1に係る発光素子について、図1を用いて説明する。図1は、この発光素子10の面に垂直な断面図である。この発光素子10は、透明基板6の上に形成された透明正孔注入電極5と、対向基板1の上に形成された電子注入電極2との間に、有機材料を含む正孔輸送層4と発光性有機材料を含む発光体層3を挟んでいる。この発光素子10は、正孔輸送層4に接着性を有する高分子系材料を含んでいる。そこで、この発光素子10は、透明基板6の上に形成された透明正孔注入電極5と、対向基板1の上に形成された発光体層3とを接着性を有する正孔輸送層4によって貼り合せている。また、光は、矢印で示したように、透明基板6の側から取り出される。なお、前述の構成に加えて、正孔注入電極5と正孔輸送層4との間に正孔注入層又は導電層等を備えていてもよい。また、発光体層3と電子注入電極2との間に電子輸送層又は導電層等を備えていてもよい。
【0036】
次に、この発光素子10の各構成部材について説明する。
まず、透明基板6は、発光性有機材料を含む発光体層3を支持できるものであればよい。また、発光体層3内で生じた発光を取り出せるように透明又は半透明の材料であればよい。透明基板6としては、例えば、コーニング1737等の通常のガラス基板、又は、ポリエステルその他の樹脂フィルム等を用いることができる。なお、発光素子10において、対向基板及び正孔注入電極を透明ないし半透明にすることにより、両面から発光を取り出すこともできる。
【0037】
正孔注入電極5としては、仕事関数の高い金属が用いられ、特に、光を取り出す側として配置される透明電極として、ITO(インジウム錫酸化物)膜を用いることができる。他に、酸化錫、Ni,Au,Pt,Pd、Cr、Mo、W、Ta、Nb等が挙げられるが、電子注入電極の面から光を取り出す場合には必ずしも透明でなくてもよい。ITO膜はその透明性を向上させ、あるいは抵抗率を低下させる目的で、スパッタリング法、エレクトロンビーム蒸着法、イオンプレーティング法等の成膜方法で成膜できる。また成膜後に、抵抗率や仕事関数制御の目的でプラズマ処理などの表面処理を施してもよい。正孔注入電極5の膜厚は必要とされるシート抵抗値と可視光透過率から決定されるが、発光素子10では比較的駆動電流密度が高く、配線抵抗が問題となるため、シート抵抗値を小さくするため100nm以上の厚さで用いられることが多い。なお、この発光素子10では、正孔注入電極5あるいは電子注入電極2の少なくとも一方の電極を透明ないし半透明にすることにより、面発光を取り出すことができる。
【0038】
電子注入電極2としては、仕事関数が低く電子注入障壁の少ないアルカリ金属やアルカリ土類金属と、比較的仕事関数が大きく安定なAl、Agなどの金属との合金を用いることができる。この合金からなる電子注入電極2は、安定でかつ電子注入が容易である。この電子注入電極2としては、例えば、MgAg、AlLiなどを用いることができる。
【0039】
また、他の電子注入電極2としては、有機層側に低仕事関数の金属薄膜を形成し、その上に保護電極として安定な金属からなる金属膜を積層とする構成や、LiF膜やAl2O3膜の薄膜を形成した後にAl膜を比較的厚く形成する積層構成など、種々の電極を用いることができる。
【0040】
発光体層3としては、大きく分けて、低分子系発光材料と高分子系発光材料とが挙げられる。低分子系発光材料としては、ナフタレン、アントラセン、ピレン、ナフタセン等の縮合環及びその誘導体や、クマリンや4H−ピラニリデンプロパンジニトリル、フェノキサゾン等のヘテロ芳香族系化合物の誘導体が用いられる。その他の低分子系発光材料としては、ポリメチン系化合物、スチルベン系化合物、キレート金属錯体、キレートランタノイド錯体、キサンテン系化合物、及びこれらの誘導体が用いられる。また、高分子系発光材料としては、π共役ポリマーやσ共役ポリマー、色素をポリマー化したもの、高分子金属錯体、等が用いられる。例えば、ポリ−パラ−フェニレンビニレン誘導体(PPV誘導体)、ポリチオフェン誘導体(PAT誘導体)、ポリパラフェニレン誘導体(PPP誘導体)、ポリアルキルフェニレン(PDAF)、ポリアセチレン誘導体(PA誘導体)、ポリシラン誘導体(PS誘導体)、ポリ−N−ビニルカルバゾール(PVK)等がある。さらに、分子量が中位のオリゴマーやデンドロン構造を有するデンドリマーであってもよい。またさらに、前述の発光性有機材料の混合物であってもよい。またさらに、前述の前述の発光性有機材料及びその混合物中には、キャリア輸送性材料や発光色を変えるためのドーパント色素を加えてもよい。
【0041】
また、前述の低分子系材料については、真空蒸着法による成膜が可能である。一方、高分子系材料を含む発行体層3の成膜には、ディッピング、スピンコート、インクジェット法、その他各種の塗布方法を使用することができる。
【0042】
正孔輸送層4としては、前述の発光体層3と電子注入電極2を含む対向基板1との接着層として機能する高分子系材料が含まれていることが好ましい。この正孔輸送層4としては、導電性ポリマーであればよく、さらに好ましくは、ホール移動度の高い正孔輸送性の高分子材料であればよい。正孔輸送性の高分子材料には、π共役ポリマーやσ共役ポリマー、さらに低分子系で正孔輸送性を示す分子構造を分子鎖中に組み込んだポリマー等があり、例えばアリールアミン系化合物等が組み込まれる。高分子系の正孔輸送性材料としては、例えば、ポリ−パラ−フェニレンビニレン誘導体(PPV誘導体)、ポリチオフェン誘導体(PAT誘導体)、ポリパラフェニレン誘導体(PPP誘導体)、ポリアルキルフェニレン(PDAF)、ポリアセチレン誘導体(PA誘導体)、ポリシラン誘導体(PS誘導体)等が挙げられるが、中でもポリ−N−ビニルカルバゾール(PVK)は、10−6cm2/Vsと極めて高いホール移動度を示す。他の具体例としては、ポリエチレンジオキシチオフェン(PEDOT)やポリメチルフェニルシラン(PMPS)等がある。
【0043】
また、非導電性ポリマーに低分子系の正孔輸送性材料を分子分散させた形態も同様に可能である。低分子系の正孔輸送材料としては、N,N’−ビス(3−メチルフェニル)−N,N’−ジフェニルベンジジン(TPD)、N,N’−ビス(α−ナフチル)−N,N’−ジフェニルベンジジン(NPD)等、Tangらの用いたジアミン誘導体、特に日本国特許第2037475号に開示されたQ1−G−Q2構造のジアミン誘導体等が挙げられる。なお、Q1及びQ2は、別個に窒素原子及び少なくとも3個の炭素鎖(それらの少なくとも1個は芳香族のもの)を有する基である。Gは、シクロアルキレン基、アリーレン基、アルキレン基又は炭素−炭素結合からなる連結基である。分子分散系での具体例としては、テトラフェニルジアミン(TPD)をポリカーボネート中に高濃度で分子分散させた例があり、そのホール移動度は10−4から10−5cm2/Vs程度である。
【0044】
次に、この発光素子10の製造方法について図2を用いて説明する。この発光素子10は、以下の工程によって作製される。
(a)透明基板6を準備する。
(b)上記透明基板6の上に正孔注入電極5を形成する(図2(a))。なお、正孔注入電極として機能する市販のITO薄膜付ガラス基板等を用いてもよい。(c)次いで、上記正孔注入電極5の上に、正孔輸送層4を形成する(図2(b))。これを基板Aとする。
【0045】
(d)対向基板1を準備する。
(e)その後、該対向基板1の上に電子注入電極2を成膜する(図2(c))。(f)対向基板1の上の電子注入電極2の上に、発光性有機材料を成膜して、発光体層3とする(図2(d))。これを基板Bとする。
【0046】
(g)正孔輸送層4の成膜直後に、基板Bの対向基板1の上の発光体層3を、基板Aの透明基板6の上の正孔輸送層4と互いに対向させて重ね合わせて、基板Aと基板Bとを貼り合わせる(図2(e))。これによって発光素子10を作成する。
【0047】
なお、これらの作業は乾燥雰囲気下で行うことが望ましく、さらに低酸素雰囲気下で行うことがより望ましい。これにより、動作電圧の低下、高効率化、長寿命化等の特性改善を図ることができる。
【0048】
(実施例1)
本発明の実施例1に係る発光素子について説明する。この発光素子の構成は実施の形態1に係る発光素子と実質的に同一である。そこで、用いた各構成部材について具体的に説明する。透明基板6の上に正孔注入電極5を形成した基板としては、市販のITO薄膜付ガラス基板を用い、対向基板1としては、ガラス基板を用いた。電子注入電極2としてMgAg膜を用いた。発光性有機材料としては、Alq3を、正孔輸送層にはPVKを用いた。
【0049】
次に、この発光素子の製造方法について、図2を用いて説明する。この発光素子は、以下の工程で作製される。
(a)正孔注入電極5を形成した透明基板6として、市販のITO薄膜付ガラス基板を用いる。
(b)次に、上記ITO薄膜付ガラス基板を、アルカリ洗剤、水、アセトン、イソプロピルアルコール(IPA)を用いて超音波洗浄し、次いで沸騰したIPA溶液から引き上げて乾燥した。最後に、UV/O3洗浄した(図2(a))。
(c)次に、PVKをクロロホルムに1wt%の濃度で溶解させ、前述のITO薄膜付ガラス基板の上に、正孔輸送層4として厚さ100nmになるようスピンコートにより成膜した(図2(b))。これを基板Aとした。
【0050】
(d)対向基板1としては、ガラス基板を用いて、これを上記透明基板6と同様に洗浄した。
(e)次に、該対向基板1の上に電子注入電極2としてMgAg膜を真空蒸着法で成膜した(図2(c))。
(f)次に、上記電子注入電極2の上に発光体層3としてAlq3を厚さ50nmになるよう真空蒸着法で成膜した(図2(d))。これを基板Bとした。
【0051】
(g)正孔輸送層4の成膜直後に、基板Bの対向基板1の上の発光体層3を、基板Aの透明基板6の上の正孔輸送層4と互いに対向させて重ね合わせて、常温で静置して、基板Aと基板Bとを貼り合わせた(図2(e))。これによって発光素子10を作成した。
【0052】
この発光素子に直流電圧を印加して評価したところ、9Vで発光輝度が350cd/m2、発光効率は1.8cd/Aを示し、以下に記述する比較例1及び2の有機EL素子と同等の発光特性を示した。この発光素子を電流密度11mA/cm2、初期輝度200cd/m2で寿命試験を実施したところ、輝度半減寿命は9000時間であった。これはパッケージングをした比較例1と同等であり、比較例2に比べて長かった。
【0053】
(比較例1)
比較例1の発光素子の製造方法について説明する。この発光素子の製造方法では、実施例1と比較すると、対向基板の上に各層を順に積層している点で相違する。すなわち、ITO膜付透明基板の上に正孔輸送層と発光体層を順次形成した後、電子注入電極としてMgAg膜を真空蒸着によって形成している。なお、電子注入電極を形成した後に、低湿度低酸素濃度環境下で、ガラス板とエポキシ接着剤によりパッケージングして発光素子を得た。
【0054】
(比較例2)
比較例2の発光素子の製造方法について説明する。この発光素子の構成は、実施例1と比較すると、透明基板及び正孔注入電極として、ITO膜付ガラス基板の代わりに、ITO膜付PETフィルムを用いる点で相違する。また素子作成時はガラス板をベースとして用い、貼り合わせ後にガラス板を離脱させ、発光素子を得た。
【0055】
(実施の形態2)
本発明の実施の形態2に係る発光素子について、図3を用いて説明する。この発光素子20は、実施の形態1に係る発光素子と比較すると、正孔輸送層4と正孔注入電極5との間に正孔注入層7が設けられている点で相違する。また、この発光素子20では、対向基板1の上に形成した正孔輸送層4と、透明基板6の上に形成した正孔注入電極5とを、接着性を有する正孔注入層7によって貼り合わせている点で相違する。なお、その他の構成部材については実質的に同一なので、説明を省略する。この発光素子20では、接着性を有する正孔注入層6によって貼り合わせており、正孔輸送層4に接着性の高分子系材料を用いなくてもよい。これによって正孔輸送層4として様々な構成をとることができる。また、光は、矢印で示したように、透明基板6の側から取り出される。なお、前述の構成に加えて、発光体層3と電子注入電極2との間に電子輸送層又は導電層を備えていてもよい。
【0056】
次に、この発光素子20における各構成部材について説明する。なお、実施の形態1に係る発光素子と実質的に同一の部材については説明を省略する。
【0057】
正孔輸送層4には、実施の形態1における正孔輸送性材料に加えて、低分子系材料を単独で使用することもできる。低分子系の正孔輸送材料としては、N,N’−ビス(3−メチルフェニル)−N,N’−ジフェニルベンジジン(TPD)、N,N’−ビス(α−ナフチル)−N,N’−ジフェニルベンジジン(NPD)等、Tangらの用いたジアミン誘導体、特に日本国特許第2037475号に開示されたQ1−G−Q2構造のジアミン誘導体等が挙げられる。なお、Q1及びQ2は、別個に窒素原子及び少なくとも3個の炭素鎖(それらの少なくとも1個は芳香族のもの)を有する基である。Gは、シクロアルキレン基、アリーレン基、アルキレン基又は炭素−炭素結合からなる連結基である。これらの低分子系材料については、真空蒸着法による成膜が可能である。
【0058】
正孔注入層7としては、前述の正孔輸送層4と、発光層3と電子注入電極2を含む対向基板1との接着層として機能する高分子系材料が含まれていることが好ましい。この正孔注入層7としては、正孔輸送層と同様の高分子材料であればよく、さらに好ましくは、正孔注入層7の最高占有分子軌道(HOMO)と、正孔注入電極の仕事関数との間で電位障壁がなく、容易に正孔注入がなされる高分子材料であればよい。具体的には、ポリアニリン誘導体等が用いられる。また、高分子材料に電子アクセプターをドープして導電性を高めた複合層も同様の効果があり、例えば、PEDOTにポリスチレンスルホン酸(PSS)をドープしたものが挙げられる。またさらに、非導電性ポリマーに低分子系の正孔注入層材料を分子分散させた形態も同様に可能である。低分子系の正孔注入層材料としては、イオン化ポテンシャルの小さい銅フタロシアニン(CuPc)スターバーストアミンと呼ばれる高分子量アリールアミンが用いられる。
【0059】
次に、この発光素子20の製造方法について図4を用いて説明する。この発光素子20は、以下の工程によって作製される。
(a)透明基板6を準備する。
(b)次いで、上記透明基板6の上に正孔注入電極5を形成する(図4(a))。なお、正孔注入電極として機能する市販のITO薄膜付ガラス基板等を用いてもよい。
(c)さらに、上記正孔注入電極5の上に、正孔注入層7を形成する(図4(b))。これを基板Cとする。
【0060】
(d)対向基板1を準備する。
(e)次いで、該対向基板1の上に電子注入電極2を成膜する(図4(c))。
(f)次に、該電子注入電極2に発光性有機材料を成膜して、発光体層3を形成する。
(g)さらに、該発行体層3の上に正孔輸送層4を成膜する(図4(d))。これを基板Dとする。
【0061】
(h)正孔注入層7の成膜直後に、基板Bの対向基板1の上の正孔輸送層4を、基板Aの透明基板6の上の正孔注入層7と互いに対向させて重ね合わせ、基板Aと基板Bとを貼り合わせる(図4(e))。これによって発光素子20を作成する。
【0062】
なお、これらの作業は乾燥雰囲気下で行うことが望ましく、さらに低酸素雰囲気下で行うことがより望ましい。これにより、動作電圧の低下、高効率化、長寿命化等の特性改善を図ることができる。
【0063】
(実施例3)
本発明の実施例3に係る有機EL素子について説明する。この有機EL素子では、実施例1に係る有機EL素子と比較すると、正孔輸送材料として、PVKの代わりにNPDを用いている点で相違する。この有機材料を真空蒸着により成幕して正孔輸送層4を形成した。
【0064】
このようにして作製した有機EL素子を、実施例1に係る発光素子と同様に評価したところ、7Vで発光輝度が370cd/m2、発光効率は2.1cd/Aを示し、以下に記述する比較例3の有機EL素子と同等の発光特性を示した。この発光素子を電流密度9.5mA/cm2、初期輝度200cd/m2で寿命試験を実施したところ、輝度半減寿命は10000時間であった。これらはパッケージングをした比較例1と同等であった。
【0065】
(実施の形態3)
本発明の実施の形態3に係る発光素子について、図5を用いて説明する。図5は、この発光素子30の電極構成を示す斜視図である。この発光素子30は、電子注入電極2に接続された薄膜トランジスタ11をさらに備える。薄膜トランジスタ11には、x電極12とy電極13とが接続されている。この発光素子30では、光は透明基板6の側から取り出すので、対向基板1の上への薄膜トランジスタ11の配置によらず開口率を大きくとることができる。また、薄膜トランジスタ11を用いることによって発光素子30にメモリ機能を持たせることができる。
【0066】
(実施の形態4)
本発明の実施の形態4に係る表示装置について、図6を用いて説明する。図6は、この表示装置40の互いに直交するx電極12とy電極13とによって構成されるアクティブマトリクスを示す概略平面図である。この表示装置40は、図5で示された薄膜トランジスタ11を有するアクティブマトリクス型表示装置である。このアクティブマトリクス型表示装置40は、上記複数の発光素子が2次元配列されている発光素子アレイと、該発光素子アレイの面に平行な第1方向に互いに平行に延在している複数のx電極12と、該発光素子アレイの面に平行であって、第1方向に直交する第2方向に平行に延在している複数のy電極13とを備える。この発光素子アレイの薄膜トランジスタ11は、x電極12及びy電極13とそれぞれ接続されている。一対のx電極12とy電極13とによって特定される発光素子が一つの画素となる。このアクティブマトリクス表示装置によれば、上述のように、透明基板6の上に形成された透明正孔注入電極5と、対向基板1の上に形成された電子注入電極2とを、接着性を有する正孔輸送層4によって貼り合わせている。
【0067】
(実施の形態5)
本発明の実施の形態5に係る表示装置50について、図7を用いて説明する。図7は、この表示装置50の光を取り出す面に垂直な断面構造を示す断面図である。この表示装置50は、実施の形態4に係る表示装置と同様に薄膜トランジスタ11を有するが、RGBの3色の画素51R、51G、51Bを有する点で相違している。各画素51R、51G、51Bでは、発光性有機材料をそれぞれ対応するように変えている。なお、各画素間を隔てる画素分離領域を設けてもよい。ここでは各画素を隔壁で分離している。
【0068】
次に、この表示装置50の製造方法について説明する。この表示装置50は、実施の形態1に係る発光素子を2次元的配列させているものであるので、実施の形態1に係る発光素子の製造方法と実質的に同様に行うことができる。この表示装置50の製造方法では、それぞれの画素ごとに異なる発光性有機材料5を使用する。この場合、透明基板6の側に正孔輸送層4が形成され、一方、対向基板1の上には薄膜トランジスタ11、電子注入電極2、さらに発光体層3が各画素51ごとに形成される。このため、それぞれの発光性有機材料を使用した各画素51の位置合せを正確に行うことができる。
【0069】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る構成の発光素子によれば、上部光取り出し面にガラス及びITO電極等からなる透明基板を用いることができ、水分や酸素のバリア性に優れた信頼性の高い発光素子を提供することができる。また、カラー表示装置とした場合、対向基板側に電子注入電極を配置するので、発光体層のみ画素単位の位置決めが必要となり、正孔輸送層、正孔注入電極がベタ薄膜として製造できる。以上のように、高信頼性、長寿命であり、且つ、位置合せ精度の点で容易に製造できる上面光取り出し構造の発光素子及び表示装置が提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1に係る発光素子の面に垂直な断面図である。
【図2】(a)〜(e)は、本発明の実施の形態1に係る発光素子の製造工程を示す断面図である。
【図3】本発明の実施の形態2に係る発光素子の面に垂直な断面図である。
【図4】(a)〜(e)は、本発明の実施の形態2に係る発光素子の製造工程を示す断面図である。
【図5】本発明の実施の形態3に係る発光素子の平面概略図である。
【図6】本発明の実施の形態4に係る表示装置の平面概略図である。
【図7】本発明の実施の形態5に係る表示装置の光取りだし面に垂直な断面図である。
【図8】従来の有機EL素子の面に垂直な断面図である。
【図9】従来の上面光取り出し構造の有機EL素子の面に垂直な断面図である。
【符号の説明】
1 対向基板、2 電子注入電極、3 発光体層、4 正孔輸送層、5 透明正孔注入電極、6 透明基板、7 正孔注入層、10、20 発光素子、11 薄膜トランジスタ、12 x電極、13 y電極、30、40、50 表示装置、51 画素(R、G、B)、60、70 発光素子、61 対向基板、62 電子注入電極、63 発光体層、64 正孔輸送層、65 正孔注入電極、66 透明基板 67 保護層
【発明の属する技術分野】
本発明は、発光ディスプレイや、通信、照明等に用いられる各種光源として使用可能な発光素子及び該発光素子を用いた表示装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、平面型の表示装置の中で、エレクトロルミネッセンス(EL)素子に期待が集まっている。このEL素子は、自発発光性を有し視認性に優れ、視野角が広く、応答性が速いなどの特徴を持つ。
【0003】
現在実用化されているEL素子には、発光材料として無機材料を用いた無機EL素子と発光材料として有機材料を用いた有機EL素子がある。硫化亜鉛等の無機材料を用いた無機EL素子は、その駆動に比較的高い交流電圧を必要とすることから駆動回路が複雑であったり、輝度が低い等の課題があり、実用化が進んでいない。
【0004】
一方、有機材料を発光材料とする有機EL素子は、1987年にTangらによって提案された正孔輸送層と有機発光層とを順次積層した2層構成の素子(例えば、非特許文献1参照。)により、10V以下の駆動電圧で、輝度が1000cd/m2以上の発光が得られるとされており、これがきっかけとなって、今日に至るまで、活発な研究開発が進められてきた。
【0005】
以下、現在一般に検討されている有機EL素子について、図8を用いて説明する。この有機EL素子60は、透明基板66上に透明又は半透明の正孔注入電極65、正孔輸送層64、発光体層63、電子注入電極62の順に積層して形成されている。なお、正孔注入電極65と正孔輸送層64との間に正孔注入層を設けたり、発光体層63と電子注入電極62との間に電子輸送層、さらに電子注入電極62との界面に電子注入層を設けることもある。
【0006】
正孔注入電極としては、透明導電膜であるITO(インジウム錫酸化物)膜が用いられる。ITO膜はその透明性を向上させ、あるいは抵抗率を低下させる目的で、スパッタ法、エレクトロンビーム蒸着法、イオンプレーティング法等によって成膜される。
【0007】
正孔輸送層としては、N,N’−ビス(3−メチルフェニル)−N,N’−ジフェニルベンジジン(TPD)等、Tangらの用いたジアミン誘導体が用いられる。これらの材料は一般に透明性に優れ、80nm程度の膜厚でもほぼ透明である。また、高分子系の正孔輸送層としては、π電子共役系を分子鎖中に有するポリ−N−ビニルカルバゾール(PVK)等が用いられる。
【0008】
発光体層としては、Tangらの報告と同様に、トリス(8−キノリノラト)アルミニウム(Alq3)等の電子輸送性発光材料を真空蒸着により数十nmの膜厚に形成して用いる構成が一般的である。種々の発光色を実現するなどの目的で、発光体層は比較的薄膜とし、電子輸送層を20nm程度積層した、所謂ダブルヘテロ構造が採用されることもある。また、高分子系の発光体層としては、π電子共役系を分子鎖中に有するポリ(2−メトキシ−5−2’−エチル−ヘキソキシ)−1,4−フェニレン−ビニレン(MEH−PPV)等が用いられる。
【0009】
電子注入電極としては、Tangらの提案したMgAg合金あるいはAlLi合金等、仕事関数が低く電子注入障壁の低い金属と、比較的仕事関数が大きく安定な金属との合金、又はLiF等種々の電子注入層とアルミニウム等との積層電極が用いられることが多い。
【0010】
また、各画素の駆動に低温ポリシリコン薄膜トランジスタ(TFT)を用いた有機EL表示装置が知られている(例えば、非特許文献2参照。)。
【0011】
【非特許文献1】
Applied Physics Letters,51,1987,P913
【非特許文献2】
Journal of the Society for Information Display,vol.8,No.2,p93−97
【0012】
従来の有機EL素子を用いた表示装置では、透明基板上に透明正孔注入電極、有機層、電子注入電極の順に形成し、正孔注入電極側から発光を取り出す構成となっている。さらに、各画素を駆動する薄膜トランジスタを設けたアクティブマトリクス型の表示装置の場合には、薄膜トランジスタを配置することによって大きな開口率を取り難いという欠点があった。
【0013】
アクティブマトリクス型表示装置の開口率を向上させて高輝度化を図るために、薄膜トランジスタを形成した基板を下部に配置し、対向する上面から光を取り出す構造が提案されている(「高輝度・高精細に有利なTop Emission構造」,Trigger,10月号(2001)pp12−13)。
【0014】
上面から光を取り出す構造の有機EL素子を図9を用いて説明する。この有機EL素子70は、対向基板61上に正孔注入電極65、正孔輸送層64、発光体層63、透明である電子注入電極62、保護層67の順に積層して形成されている。また、この有機EL素子70は、図8を用いて示した有機EL素子60と異なり、電子注入電極62に光透過性が必要となる。前述の提案では、透明電子注入電極としてTangらの提案したMgAg合金を10nm程度の薄層として用いている。また保護層としては透明樹脂膜等が用いられる。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】
上面から光を取り出す構造の発光素子の場合、上部に配置される電極に透過性が必要となる。従って、下部に配置される背面基板に薄膜トランジスタを形成した後、順次有機材料を含む発光層等を積層し、さらにその後に透明電極を形成することになるが、一般に透明電極として用いられるITOの場合は、成膜する際の熱的影響によって、下層の有機層が劣化してしまったり、十分なキャリア注入が得られないといった課題が生ずる。また、図9のように電子注入電極を透明電極とすると、光取り出し面に薄い金属膜や樹脂膜を用いることになる。一般に有機EL素子は、水分や酸素の影響を受けて輝度の低下やダークスポットの増加等の劣化が生じるが、光の取り出し面に薄い金属膜や樹脂膜を用いる場合、ガラス基板等に比べて水分や酸素のバリア性に劣るため、素子の寿命が短くなる課題が生じる。このように、上面から光を取り出す構造の発光素子は、大きな開口率を実現しやすい反面、高輝度であることと高信頼性、長寿命であることを同時に満足させることは困難であった。
【0016】
また、カラー表示装置を実現するには、RGB各画素の区分して成膜する必要があるが、図8及び図9に示される従来の発光素子は、いずれも薄膜トランジスタに接続されている電極を正孔注入電極として使用しているため、発光体層をRGB各色毎に成膜するのに先立って、正孔輸送層を成膜しなければならず、画素単位の位置合せが困難であった。
【0017】
本発明の目的は、長寿命であり、且つ、製造が容易な上面光取り出し構造の発光素子ならびにその製造方法と、その発光素子を用いた表示装置を提供することである。
【0018】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る発光素子は、透明または半透明基板と、前記基板上に設けられている透明または半透明の正孔注入電極と、前記正孔注入電極と対向して設けられている電子注入電極と、前記正孔注入電極と前記電子注入電極との間に挟みこまれている正孔輸送層と発光体層とを備え、かつ前記正孔輸送層が接着性の高分子系材料を含み、前記接着性の高分子材料を含む層を接着層として、その上下の層を貼り合せていることを特徴とする。
【0019】
また、前記電子注入電極と前記発光体層との間に挟まれた電子輸送層をさらに備えていてもよい。
【0020】
またさらに、前記電子注入電極と前記発光体層との間に挟まれた正孔ブロック層をさらに備えていてもよい。
【0021】
またさらに、前記透明または半透明の正孔注入電極と正孔輸送層との間に挟まれた正孔注入層をさらに備え、且つ前記正孔注入層が高分子系材料を含んでいることを特徴とする。
【0022】
またさらに、透明または半透明基板と、前記基板上に設けられている透明または半透明の正孔注入電極と、前記正孔注入電極と対向して設けられている電子注入電極と、前記正孔注入電極と前記電子注入電極との間に挟みこまれている正孔注入層と正孔輸送層と発光体層とを備え、かつ前記正孔注入層が接着性の高分子系材料を含み、前記接着性の高分子材料を含む層を接着層として、その上下の層を貼り合せていることを特徴とする。
【0023】
またさらに、前記電子注入電極と前記発光体層との間に挟まれた電子輸送層をさらに備えていてもよい。
【0024】
またさらに、前記電子注入電極と前記発光体層との間に挟まれた正孔ブロック層をさらに備えていてもよい。
【0025】
またさらに、前記電子注入電極に接続された薄膜トランジスタをさらに備えていてもよい。
【0026】
本発明に係るアクティブマトリックス型表示装置は、上記複数の発光素子が2次元配列されている発光素子アレイと、
前記発光素子アレイの面に平行な第1方向に互いに平行に延在している複数のx電極と、
前記発光素子アレイの面に平行であって、前記第1方向に直交する第2方向に平行に延在している複数のy電極と
を備え、
前記発光素子アレイの前記薄膜トランジスタは、前記x電極及び前記y電極とそれぞれ接続されていることを特徴とする。
【0027】
本発明の発光素子の製造方法は、透明基板を準備する工程と、
前記透明基板の上に正孔注入電極を形成する工程と、
前記正孔注入電極の上に、正孔輸送層を形成する工程と、
対向基板を準備する工程と、
前記対向基板の上に電子注入電極を形成する工程と、
前記電子注入電極の上に発光性有機材料を含む発光体層を形成する工程と、
前記透明基板の上の前記正孔輸送層と、
前記対向基板の上の前記発光体層とを互いに対向させて貼り合せる工程と
を含んでいてもよい。
【0028】
また、前記電子注入電極の上に、発光体層を形成する工程に先立って、前記電子注入電極の上に電子輸送層を形成する工程を含んでいてもよい。
【0029】
さらに、前記電子注入電極の上に、発光体層を形成する工程に先立って、前記電子注入電極の上に正孔ブロック層を形成する工程を含んでいてもよい。
【0030】
またさらに、前記正孔注入電極の上に、正孔輸送層を形成する工程に先立って、前記正孔注入電極の上に正孔注入層を形成する工程を含んでいてもよい。
【0031】
また、透明基板を準備する工程と、
前記透明基板の上に正孔注入電極を形成する工程と、
前記正孔注入電極の上に、正孔注入層を形成する工程と、
対向基板を準備する工程と、
前記対向基板の上に電子注入電極を形成する工程と、
前記電子注入電極の上に発光性有機材料を含む発光体層を形成する工程と、
前記発光体層の上に正孔輸送層を形成する工程と、
前記透明基板の上の前記正孔注入層と、前記対向基板の上の前記正孔輸送層とを互いに対向させて貼り合せる工程と
を含むことを特徴とする。
【0032】
さらに、前記電子注入電極の上に、発光体層を形成する工程に先立って、前記電子注入電極の上に電子輸送層を形成する工程を含んでいてもよい。
【0033】
またさらに、前記電子注入電極の上に、発光体層を形成する工程に先立って、前記電子注入電極の上に正孔ブロック層を形成する工程を含んでいてもよい。
【0034】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態に係る発光素子及びその製造方法、該発光素子を用いた表示装置及びその製造方法について添付図面を用いて説明する。なお、図面において実質的に同一の部材には同一の符号を付している。
【0035】
(実施の形態1)
本発明の実施の形態1に係る発光素子について、図1を用いて説明する。図1は、この発光素子10の面に垂直な断面図である。この発光素子10は、透明基板6の上に形成された透明正孔注入電極5と、対向基板1の上に形成された電子注入電極2との間に、有機材料を含む正孔輸送層4と発光性有機材料を含む発光体層3を挟んでいる。この発光素子10は、正孔輸送層4に接着性を有する高分子系材料を含んでいる。そこで、この発光素子10は、透明基板6の上に形成された透明正孔注入電極5と、対向基板1の上に形成された発光体層3とを接着性を有する正孔輸送層4によって貼り合せている。また、光は、矢印で示したように、透明基板6の側から取り出される。なお、前述の構成に加えて、正孔注入電極5と正孔輸送層4との間に正孔注入層又は導電層等を備えていてもよい。また、発光体層3と電子注入電極2との間に電子輸送層又は導電層等を備えていてもよい。
【0036】
次に、この発光素子10の各構成部材について説明する。
まず、透明基板6は、発光性有機材料を含む発光体層3を支持できるものであればよい。また、発光体層3内で生じた発光を取り出せるように透明又は半透明の材料であればよい。透明基板6としては、例えば、コーニング1737等の通常のガラス基板、又は、ポリエステルその他の樹脂フィルム等を用いることができる。なお、発光素子10において、対向基板及び正孔注入電極を透明ないし半透明にすることにより、両面から発光を取り出すこともできる。
【0037】
正孔注入電極5としては、仕事関数の高い金属が用いられ、特に、光を取り出す側として配置される透明電極として、ITO(インジウム錫酸化物)膜を用いることができる。他に、酸化錫、Ni,Au,Pt,Pd、Cr、Mo、W、Ta、Nb等が挙げられるが、電子注入電極の面から光を取り出す場合には必ずしも透明でなくてもよい。ITO膜はその透明性を向上させ、あるいは抵抗率を低下させる目的で、スパッタリング法、エレクトロンビーム蒸着法、イオンプレーティング法等の成膜方法で成膜できる。また成膜後に、抵抗率や仕事関数制御の目的でプラズマ処理などの表面処理を施してもよい。正孔注入電極5の膜厚は必要とされるシート抵抗値と可視光透過率から決定されるが、発光素子10では比較的駆動電流密度が高く、配線抵抗が問題となるため、シート抵抗値を小さくするため100nm以上の厚さで用いられることが多い。なお、この発光素子10では、正孔注入電極5あるいは電子注入電極2の少なくとも一方の電極を透明ないし半透明にすることにより、面発光を取り出すことができる。
【0038】
電子注入電極2としては、仕事関数が低く電子注入障壁の少ないアルカリ金属やアルカリ土類金属と、比較的仕事関数が大きく安定なAl、Agなどの金属との合金を用いることができる。この合金からなる電子注入電極2は、安定でかつ電子注入が容易である。この電子注入電極2としては、例えば、MgAg、AlLiなどを用いることができる。
【0039】
また、他の電子注入電極2としては、有機層側に低仕事関数の金属薄膜を形成し、その上に保護電極として安定な金属からなる金属膜を積層とする構成や、LiF膜やAl2O3膜の薄膜を形成した後にAl膜を比較的厚く形成する積層構成など、種々の電極を用いることができる。
【0040】
発光体層3としては、大きく分けて、低分子系発光材料と高分子系発光材料とが挙げられる。低分子系発光材料としては、ナフタレン、アントラセン、ピレン、ナフタセン等の縮合環及びその誘導体や、クマリンや4H−ピラニリデンプロパンジニトリル、フェノキサゾン等のヘテロ芳香族系化合物の誘導体が用いられる。その他の低分子系発光材料としては、ポリメチン系化合物、スチルベン系化合物、キレート金属錯体、キレートランタノイド錯体、キサンテン系化合物、及びこれらの誘導体が用いられる。また、高分子系発光材料としては、π共役ポリマーやσ共役ポリマー、色素をポリマー化したもの、高分子金属錯体、等が用いられる。例えば、ポリ−パラ−フェニレンビニレン誘導体(PPV誘導体)、ポリチオフェン誘導体(PAT誘導体)、ポリパラフェニレン誘導体(PPP誘導体)、ポリアルキルフェニレン(PDAF)、ポリアセチレン誘導体(PA誘導体)、ポリシラン誘導体(PS誘導体)、ポリ−N−ビニルカルバゾール(PVK)等がある。さらに、分子量が中位のオリゴマーやデンドロン構造を有するデンドリマーであってもよい。またさらに、前述の発光性有機材料の混合物であってもよい。またさらに、前述の前述の発光性有機材料及びその混合物中には、キャリア輸送性材料や発光色を変えるためのドーパント色素を加えてもよい。
【0041】
また、前述の低分子系材料については、真空蒸着法による成膜が可能である。一方、高分子系材料を含む発行体層3の成膜には、ディッピング、スピンコート、インクジェット法、その他各種の塗布方法を使用することができる。
【0042】
正孔輸送層4としては、前述の発光体層3と電子注入電極2を含む対向基板1との接着層として機能する高分子系材料が含まれていることが好ましい。この正孔輸送層4としては、導電性ポリマーであればよく、さらに好ましくは、ホール移動度の高い正孔輸送性の高分子材料であればよい。正孔輸送性の高分子材料には、π共役ポリマーやσ共役ポリマー、さらに低分子系で正孔輸送性を示す分子構造を分子鎖中に組み込んだポリマー等があり、例えばアリールアミン系化合物等が組み込まれる。高分子系の正孔輸送性材料としては、例えば、ポリ−パラ−フェニレンビニレン誘導体(PPV誘導体)、ポリチオフェン誘導体(PAT誘導体)、ポリパラフェニレン誘導体(PPP誘導体)、ポリアルキルフェニレン(PDAF)、ポリアセチレン誘導体(PA誘導体)、ポリシラン誘導体(PS誘導体)等が挙げられるが、中でもポリ−N−ビニルカルバゾール(PVK)は、10−6cm2/Vsと極めて高いホール移動度を示す。他の具体例としては、ポリエチレンジオキシチオフェン(PEDOT)やポリメチルフェニルシラン(PMPS)等がある。
【0043】
また、非導電性ポリマーに低分子系の正孔輸送性材料を分子分散させた形態も同様に可能である。低分子系の正孔輸送材料としては、N,N’−ビス(3−メチルフェニル)−N,N’−ジフェニルベンジジン(TPD)、N,N’−ビス(α−ナフチル)−N,N’−ジフェニルベンジジン(NPD)等、Tangらの用いたジアミン誘導体、特に日本国特許第2037475号に開示されたQ1−G−Q2構造のジアミン誘導体等が挙げられる。なお、Q1及びQ2は、別個に窒素原子及び少なくとも3個の炭素鎖(それらの少なくとも1個は芳香族のもの)を有する基である。Gは、シクロアルキレン基、アリーレン基、アルキレン基又は炭素−炭素結合からなる連結基である。分子分散系での具体例としては、テトラフェニルジアミン(TPD)をポリカーボネート中に高濃度で分子分散させた例があり、そのホール移動度は10−4から10−5cm2/Vs程度である。
【0044】
次に、この発光素子10の製造方法について図2を用いて説明する。この発光素子10は、以下の工程によって作製される。
(a)透明基板6を準備する。
(b)上記透明基板6の上に正孔注入電極5を形成する(図2(a))。なお、正孔注入電極として機能する市販のITO薄膜付ガラス基板等を用いてもよい。(c)次いで、上記正孔注入電極5の上に、正孔輸送層4を形成する(図2(b))。これを基板Aとする。
【0045】
(d)対向基板1を準備する。
(e)その後、該対向基板1の上に電子注入電極2を成膜する(図2(c))。(f)対向基板1の上の電子注入電極2の上に、発光性有機材料を成膜して、発光体層3とする(図2(d))。これを基板Bとする。
【0046】
(g)正孔輸送層4の成膜直後に、基板Bの対向基板1の上の発光体層3を、基板Aの透明基板6の上の正孔輸送層4と互いに対向させて重ね合わせて、基板Aと基板Bとを貼り合わせる(図2(e))。これによって発光素子10を作成する。
【0047】
なお、これらの作業は乾燥雰囲気下で行うことが望ましく、さらに低酸素雰囲気下で行うことがより望ましい。これにより、動作電圧の低下、高効率化、長寿命化等の特性改善を図ることができる。
【0048】
(実施例1)
本発明の実施例1に係る発光素子について説明する。この発光素子の構成は実施の形態1に係る発光素子と実質的に同一である。そこで、用いた各構成部材について具体的に説明する。透明基板6の上に正孔注入電極5を形成した基板としては、市販のITO薄膜付ガラス基板を用い、対向基板1としては、ガラス基板を用いた。電子注入電極2としてMgAg膜を用いた。発光性有機材料としては、Alq3を、正孔輸送層にはPVKを用いた。
【0049】
次に、この発光素子の製造方法について、図2を用いて説明する。この発光素子は、以下の工程で作製される。
(a)正孔注入電極5を形成した透明基板6として、市販のITO薄膜付ガラス基板を用いる。
(b)次に、上記ITO薄膜付ガラス基板を、アルカリ洗剤、水、アセトン、イソプロピルアルコール(IPA)を用いて超音波洗浄し、次いで沸騰したIPA溶液から引き上げて乾燥した。最後に、UV/O3洗浄した(図2(a))。
(c)次に、PVKをクロロホルムに1wt%の濃度で溶解させ、前述のITO薄膜付ガラス基板の上に、正孔輸送層4として厚さ100nmになるようスピンコートにより成膜した(図2(b))。これを基板Aとした。
【0050】
(d)対向基板1としては、ガラス基板を用いて、これを上記透明基板6と同様に洗浄した。
(e)次に、該対向基板1の上に電子注入電極2としてMgAg膜を真空蒸着法で成膜した(図2(c))。
(f)次に、上記電子注入電極2の上に発光体層3としてAlq3を厚さ50nmになるよう真空蒸着法で成膜した(図2(d))。これを基板Bとした。
【0051】
(g)正孔輸送層4の成膜直後に、基板Bの対向基板1の上の発光体層3を、基板Aの透明基板6の上の正孔輸送層4と互いに対向させて重ね合わせて、常温で静置して、基板Aと基板Bとを貼り合わせた(図2(e))。これによって発光素子10を作成した。
【0052】
この発光素子に直流電圧を印加して評価したところ、9Vで発光輝度が350cd/m2、発光効率は1.8cd/Aを示し、以下に記述する比較例1及び2の有機EL素子と同等の発光特性を示した。この発光素子を電流密度11mA/cm2、初期輝度200cd/m2で寿命試験を実施したところ、輝度半減寿命は9000時間であった。これはパッケージングをした比較例1と同等であり、比較例2に比べて長かった。
【0053】
(比較例1)
比較例1の発光素子の製造方法について説明する。この発光素子の製造方法では、実施例1と比較すると、対向基板の上に各層を順に積層している点で相違する。すなわち、ITO膜付透明基板の上に正孔輸送層と発光体層を順次形成した後、電子注入電極としてMgAg膜を真空蒸着によって形成している。なお、電子注入電極を形成した後に、低湿度低酸素濃度環境下で、ガラス板とエポキシ接着剤によりパッケージングして発光素子を得た。
【0054】
(比較例2)
比較例2の発光素子の製造方法について説明する。この発光素子の構成は、実施例1と比較すると、透明基板及び正孔注入電極として、ITO膜付ガラス基板の代わりに、ITO膜付PETフィルムを用いる点で相違する。また素子作成時はガラス板をベースとして用い、貼り合わせ後にガラス板を離脱させ、発光素子を得た。
【0055】
(実施の形態2)
本発明の実施の形態2に係る発光素子について、図3を用いて説明する。この発光素子20は、実施の形態1に係る発光素子と比較すると、正孔輸送層4と正孔注入電極5との間に正孔注入層7が設けられている点で相違する。また、この発光素子20では、対向基板1の上に形成した正孔輸送層4と、透明基板6の上に形成した正孔注入電極5とを、接着性を有する正孔注入層7によって貼り合わせている点で相違する。なお、その他の構成部材については実質的に同一なので、説明を省略する。この発光素子20では、接着性を有する正孔注入層6によって貼り合わせており、正孔輸送層4に接着性の高分子系材料を用いなくてもよい。これによって正孔輸送層4として様々な構成をとることができる。また、光は、矢印で示したように、透明基板6の側から取り出される。なお、前述の構成に加えて、発光体層3と電子注入電極2との間に電子輸送層又は導電層を備えていてもよい。
【0056】
次に、この発光素子20における各構成部材について説明する。なお、実施の形態1に係る発光素子と実質的に同一の部材については説明を省略する。
【0057】
正孔輸送層4には、実施の形態1における正孔輸送性材料に加えて、低分子系材料を単独で使用することもできる。低分子系の正孔輸送材料としては、N,N’−ビス(3−メチルフェニル)−N,N’−ジフェニルベンジジン(TPD)、N,N’−ビス(α−ナフチル)−N,N’−ジフェニルベンジジン(NPD)等、Tangらの用いたジアミン誘導体、特に日本国特許第2037475号に開示されたQ1−G−Q2構造のジアミン誘導体等が挙げられる。なお、Q1及びQ2は、別個に窒素原子及び少なくとも3個の炭素鎖(それらの少なくとも1個は芳香族のもの)を有する基である。Gは、シクロアルキレン基、アリーレン基、アルキレン基又は炭素−炭素結合からなる連結基である。これらの低分子系材料については、真空蒸着法による成膜が可能である。
【0058】
正孔注入層7としては、前述の正孔輸送層4と、発光層3と電子注入電極2を含む対向基板1との接着層として機能する高分子系材料が含まれていることが好ましい。この正孔注入層7としては、正孔輸送層と同様の高分子材料であればよく、さらに好ましくは、正孔注入層7の最高占有分子軌道(HOMO)と、正孔注入電極の仕事関数との間で電位障壁がなく、容易に正孔注入がなされる高分子材料であればよい。具体的には、ポリアニリン誘導体等が用いられる。また、高分子材料に電子アクセプターをドープして導電性を高めた複合層も同様の効果があり、例えば、PEDOTにポリスチレンスルホン酸(PSS)をドープしたものが挙げられる。またさらに、非導電性ポリマーに低分子系の正孔注入層材料を分子分散させた形態も同様に可能である。低分子系の正孔注入層材料としては、イオン化ポテンシャルの小さい銅フタロシアニン(CuPc)スターバーストアミンと呼ばれる高分子量アリールアミンが用いられる。
【0059】
次に、この発光素子20の製造方法について図4を用いて説明する。この発光素子20は、以下の工程によって作製される。
(a)透明基板6を準備する。
(b)次いで、上記透明基板6の上に正孔注入電極5を形成する(図4(a))。なお、正孔注入電極として機能する市販のITO薄膜付ガラス基板等を用いてもよい。
(c)さらに、上記正孔注入電極5の上に、正孔注入層7を形成する(図4(b))。これを基板Cとする。
【0060】
(d)対向基板1を準備する。
(e)次いで、該対向基板1の上に電子注入電極2を成膜する(図4(c))。
(f)次に、該電子注入電極2に発光性有機材料を成膜して、発光体層3を形成する。
(g)さらに、該発行体層3の上に正孔輸送層4を成膜する(図4(d))。これを基板Dとする。
【0061】
(h)正孔注入層7の成膜直後に、基板Bの対向基板1の上の正孔輸送層4を、基板Aの透明基板6の上の正孔注入層7と互いに対向させて重ね合わせ、基板Aと基板Bとを貼り合わせる(図4(e))。これによって発光素子20を作成する。
【0062】
なお、これらの作業は乾燥雰囲気下で行うことが望ましく、さらに低酸素雰囲気下で行うことがより望ましい。これにより、動作電圧の低下、高効率化、長寿命化等の特性改善を図ることができる。
【0063】
(実施例3)
本発明の実施例3に係る有機EL素子について説明する。この有機EL素子では、実施例1に係る有機EL素子と比較すると、正孔輸送材料として、PVKの代わりにNPDを用いている点で相違する。この有機材料を真空蒸着により成幕して正孔輸送層4を形成した。
【0064】
このようにして作製した有機EL素子を、実施例1に係る発光素子と同様に評価したところ、7Vで発光輝度が370cd/m2、発光効率は2.1cd/Aを示し、以下に記述する比較例3の有機EL素子と同等の発光特性を示した。この発光素子を電流密度9.5mA/cm2、初期輝度200cd/m2で寿命試験を実施したところ、輝度半減寿命は10000時間であった。これらはパッケージングをした比較例1と同等であった。
【0065】
(実施の形態3)
本発明の実施の形態3に係る発光素子について、図5を用いて説明する。図5は、この発光素子30の電極構成を示す斜視図である。この発光素子30は、電子注入電極2に接続された薄膜トランジスタ11をさらに備える。薄膜トランジスタ11には、x電極12とy電極13とが接続されている。この発光素子30では、光は透明基板6の側から取り出すので、対向基板1の上への薄膜トランジスタ11の配置によらず開口率を大きくとることができる。また、薄膜トランジスタ11を用いることによって発光素子30にメモリ機能を持たせることができる。
【0066】
(実施の形態4)
本発明の実施の形態4に係る表示装置について、図6を用いて説明する。図6は、この表示装置40の互いに直交するx電極12とy電極13とによって構成されるアクティブマトリクスを示す概略平面図である。この表示装置40は、図5で示された薄膜トランジスタ11を有するアクティブマトリクス型表示装置である。このアクティブマトリクス型表示装置40は、上記複数の発光素子が2次元配列されている発光素子アレイと、該発光素子アレイの面に平行な第1方向に互いに平行に延在している複数のx電極12と、該発光素子アレイの面に平行であって、第1方向に直交する第2方向に平行に延在している複数のy電極13とを備える。この発光素子アレイの薄膜トランジスタ11は、x電極12及びy電極13とそれぞれ接続されている。一対のx電極12とy電極13とによって特定される発光素子が一つの画素となる。このアクティブマトリクス表示装置によれば、上述のように、透明基板6の上に形成された透明正孔注入電極5と、対向基板1の上に形成された電子注入電極2とを、接着性を有する正孔輸送層4によって貼り合わせている。
【0067】
(実施の形態5)
本発明の実施の形態5に係る表示装置50について、図7を用いて説明する。図7は、この表示装置50の光を取り出す面に垂直な断面構造を示す断面図である。この表示装置50は、実施の形態4に係る表示装置と同様に薄膜トランジスタ11を有するが、RGBの3色の画素51R、51G、51Bを有する点で相違している。各画素51R、51G、51Bでは、発光性有機材料をそれぞれ対応するように変えている。なお、各画素間を隔てる画素分離領域を設けてもよい。ここでは各画素を隔壁で分離している。
【0068】
次に、この表示装置50の製造方法について説明する。この表示装置50は、実施の形態1に係る発光素子を2次元的配列させているものであるので、実施の形態1に係る発光素子の製造方法と実質的に同様に行うことができる。この表示装置50の製造方法では、それぞれの画素ごとに異なる発光性有機材料5を使用する。この場合、透明基板6の側に正孔輸送層4が形成され、一方、対向基板1の上には薄膜トランジスタ11、電子注入電極2、さらに発光体層3が各画素51ごとに形成される。このため、それぞれの発光性有機材料を使用した各画素51の位置合せを正確に行うことができる。
【0069】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る構成の発光素子によれば、上部光取り出し面にガラス及びITO電極等からなる透明基板を用いることができ、水分や酸素のバリア性に優れた信頼性の高い発光素子を提供することができる。また、カラー表示装置とした場合、対向基板側に電子注入電極を配置するので、発光体層のみ画素単位の位置決めが必要となり、正孔輸送層、正孔注入電極がベタ薄膜として製造できる。以上のように、高信頼性、長寿命であり、且つ、位置合せ精度の点で容易に製造できる上面光取り出し構造の発光素子及び表示装置が提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1に係る発光素子の面に垂直な断面図である。
【図2】(a)〜(e)は、本発明の実施の形態1に係る発光素子の製造工程を示す断面図である。
【図3】本発明の実施の形態2に係る発光素子の面に垂直な断面図である。
【図4】(a)〜(e)は、本発明の実施の形態2に係る発光素子の製造工程を示す断面図である。
【図5】本発明の実施の形態3に係る発光素子の平面概略図である。
【図6】本発明の実施の形態4に係る表示装置の平面概略図である。
【図7】本発明の実施の形態5に係る表示装置の光取りだし面に垂直な断面図である。
【図8】従来の有機EL素子の面に垂直な断面図である。
【図9】従来の上面光取り出し構造の有機EL素子の面に垂直な断面図である。
【符号の説明】
1 対向基板、2 電子注入電極、3 発光体層、4 正孔輸送層、5 透明正孔注入電極、6 透明基板、7 正孔注入層、10、20 発光素子、11 薄膜トランジスタ、12 x電極、13 y電極、30、40、50 表示装置、51 画素(R、G、B)、60、70 発光素子、61 対向基板、62 電子注入電極、63 発光体層、64 正孔輸送層、65 正孔注入電極、66 透明基板 67 保護層
Claims (16)
- 透明または半透明基板と、前記基板上に設けられている透明または半透明の正孔注入電極と、前記正孔注入電極と対向して設けられている電子注入電極と、前記正孔注入電極と前記電子注入電極との間に挟みこまれている正孔輸送層と発光体層とを備え、前記正孔輸送層が接着性の高分子系材料を含み、且つ、前記接着性の高分子材料を含む層を接着層として、その上下の層を貼り合せていることを特徴とする発光素子。
- 前記電子注入電極と前記発光体層との間に挟まれた電子輸送層をさらに備えていることを特徴とする請求項1に記載の発光素子。
- 前記電子注入電極と前記発光体層との間に挟まれた正孔ブロック層をさらに備えていることを特徴とする請求項1に記載の発光素子。
- 前記透明または半透明の正孔注入電極と正孔輸送層との間に挟まれた正孔注入層をさらに備え、且つ前記正孔注入層が高分子系材料を含んでいることを特徴とする請求項1に記載の発光素子。
- 透明または半透明基板と、前記基板上に設けられている透明または半透明の正孔注入電極と、前記正孔注入電極と対向して設けられている電子注入電極と、前記正孔注入電極と前記電子注入電極との間に挟みこまれている正孔注入層と正孔輸送層と発光体層とを備え、かつ前記正孔注入層が接着性の高分子系材料を含み、前記接着性の高分子材料を含む層を接着層として、その上下の層を貼り合せていることを特徴とする発光素子。
- 前記電子注入電極と前記発光体層との間に挟まれた電子輸送層をさらに備えていることを特徴とする請求項5に記載の発光素子。
- 前記電子注入電極と前記発光体層との間に挟まれた正孔ブロック層をさらに備えていることを特徴とする請求項5に記載の発光素子。
- 前記電子注入電極に接続された薄膜トランジスタをさらに備えることを特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載の発光素子。
- 請求項8に記載の複数の発光素子が2次元配列されている発光素子アレイと、
前記発光素子アレイの面に平行な第1方向に互いに平行に延在している複数のx電極と、
前記発光素子アレイの面に平行であって、前記第1方向に直交する第2方向に平行に延在している複数のy電極と
を備え、
前記発光素子アレイの前記薄膜トランジスタは、前記x電極及び前記y電極とそれぞれ接続されていることを特徴とする表示装置。 - 透明基板を準備する工程と、
前記透明基板の上に正孔注入電極を形成する工程と、
前記正孔注入電極の上に、正孔輸送層を形成する工程と、
対向基板を準備する工程と、
前記対向基板の上に電子注入電極を形成する工程と、
前記電子注入電極の上に発光性有機材料を含む発光体層を形成する工程と、
前記透明基板の上の前記正孔輸送層と、前記対向基板の上の前記発光体層とを互いに対向させて貼り合せる工程と
を含むことを特徴とする発光素子の製造方法。 - 前記電子注入電極の上に、発光体層を形成する工程に先立って、前記電子注入電極の上に電子輸送層を形成する工程を含むことを特徴とする請求項10に記載の発光素子の製造方法。
- 前記電子注入電極の上に、発光体層を形成する工程に先立って、前記電子注入電極の上に正孔ブロック層を形成する工程を含むことを特徴とする請求項10に記載の発光素子の製造方法。
- 前記正孔注入電極の上に、正孔輸送層を形成する工程に先立って、前記正孔注入電極の上に正孔注入層を形成する工程を含むことを特徴とする請求項10に記載の発光素子の製造方法。
- 透明基板を準備する工程と、
前記透明基板の上に正孔注入電極を形成する工程と、
前記正孔注入電極の上に、正孔注入層を形成する工程と、
対向基板を準備する工程と、
前記対向基板の上に電子注入電極を形成する工程と、
前記電子注入電極の上に発光性有機材料を含む発光体層を形成する工程と、
前記発光体層の上に正孔輸送層を形成する工程と、
前記透明基板の上の前記正孔注入層と、前記対向基板の上の前記正孔輸送層とを互いに対向させて貼り合せる工程と
を含むことを特徴とする発光素子の製造方法。 - 前記電子注入電極の上に、発光体層を形成する工程に先立って、前記電子注入電極の上に電子輸送層を形成する工程を含むことを特徴とする請求項14記載の発光素子の製造方法。
- 前記電子注入電極の上に、発光体層を形成する工程に先立って、前記電子注入電極の上に正孔ブロック層を形成する工程を含むことを特徴とする請求項14に記載の発光素子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003169570A JP2005005209A (ja) | 2003-06-13 | 2003-06-13 | 発光素子及びその製造方法、表示装置 |
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005005209A true JP2005005209A (ja) | 2005-01-06 |
Family
ID=34094672
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---|---|---|---|
JP2003169570A Pending JP2005005209A (ja) | 2003-06-13 | 2003-06-13 | 発光素子及びその製造方法、表示装置 |
Country Status (1)
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---|---|---|---|---|
JP2007042728A (ja) * | 2005-08-01 | 2007-02-15 | Konica Minolta Holdings Inc | 有機エレクトロルミネッセンス素子、表示装置及び照明装置 |
JP2007059687A (ja) * | 2005-08-25 | 2007-03-08 | Konica Minolta Holdings Inc | 有機エレクトロルミネッセンス素子、表示装置及び照明装置 |
JP2013222750A (ja) * | 2012-04-13 | 2013-10-28 | Kuraray Co Ltd | 光電変換素子とその製造方法、及び太陽電池 |
JP2020194781A (ja) * | 2011-07-08 | 2020-12-03 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 表示装置 |
-
2003
- 2003-06-13 JP JP2003169570A patent/JP2005005209A/ja active Pending
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