JP2004531732A - 運動センサ用ディザシステム - Google Patents

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Abstract

【解決手段】グローバルポジショニング信号が利用可能か、及び/又はアライメントが行われていないときに、リングレーザジャイロスコープ又は他の運動センサは第1の速度でディザリングされる。一方で、グローバルポジショニング信号が利用不能か、及び/又はアライメントが行われているときには第2の速度でディザリングされる。
【選択図】図3

Description

【技術分野】
【0001】
本発明は、リングレーザジャイロスコープや機械式ジャイロスコープ等の運動センサをディザリングする技術に関する。
【背景技術】
【0002】
リングレーザジャイロスコープはリング共振器と呼ばれるリング型の共振キャビティを備えたレーザ装置である。一般にリング共振器は、例えば三角形や矩形路の閉ループ路をなすように相互結合した複数の通路が設けられたガラスあるいはガラスセラミックのブロックで構成される。レーザビームは相互結合された通路対の交点に適切に位置する適当なミラーにより通路のまわりに指向される。
【0003】
一般に、レーザジャイロスコープでは、リングキャビティにより形成される閉ループ路を互いに逆方向に(時計回りと反時計回りに)進む2つのレーザビームがある。閉ループ路の各角におけるミラーの位置付けはレーザビームを共振キャビティの複数の通路を通過するように方向づける。1つの角にあるミラーは部分的に透過して、逆方向に伝搬する各ビームの一部が読出し装置に渡される。リングレーザジャイロスコープの幾つかの例はKillpatrickの米国特許第3,373,650号、米国特許第3,467,472号、Podgorskiの米国特許第3,390,606号に示され記載されている。
【0004】
リングレーザジャイロスコープの出力における誤差源は「ロックイン」である。ロックイン閾値又はロックイン速度(lock-in rate)と呼ばれる臨界値より低い回転入力速度のとき、逆方向に伝搬するビーム周波数は共通の値に同期する結果、逆伝搬ビーム間にゼロの周波数差が発生する。ビーム間の周波数差はリングレーザジャイロスコープの回転速度を決定するのに使用されているので、ロックインによる低回転速度におけるゼロ周波数差は回転無しとして誤って指示される。
【0005】
低回転速度での逆伝搬ビーム間の周波数差を維持してロックインを避けるために、リングレーザジャイロスコープはバイアスされて入力軸まわりに振動された。この種のバイアスは上記米国特許第3,373,650号に示され記載されている。リングレーザジャイロスコープのバイアス振動はディザと呼ばれ、上記米国特許にさらに示され記載されているように、慣性プラットホーム関してジャイロスコープのブロックを回転させるディザモータにより一般に与えられる。振動する回転バイアスは、動作時間の大部分でロックイン速度より高速な回転速度となる。
【0006】
Ljungの米国特許第4,370,583号に記載されるように、ディザモータはディザバネのスポークの一本に取り付けられた圧電変換器(PZT)で代表的に構成される。ディザバネは慣性プラットホームに取り付けられた中央部材ないしハブで構成されるのが一般的である。ディザバネのスポークは一端がハブに取り付けられる。これらのスポークはハブから放射状に広がり、他端がジャイロスコープブロックと係合する環状リムに取り付けられる。
【0007】
正弦波駆動信号を上記PZTに印加する。これによりPZTが取り付けられたスポークが撓む。この撓みによりリムがハブに対して振動して、ジャイロスコープブロックが慣性プラットホームに対して回転振動する。加えて、上記米国特許第3,467,472号に教示されるように、ノイズを正弦波信号に導入することでさらにロックイン効果を低減することができる。
【0008】
一般に、慣性プラットホームに関係するジャイロスコープブロックの振動はディザモータの固有共鳴周波数で行うのが望ましい。固有共鳴周波数における振動を達成するために、通常、ディザセンサを設け、このディザセンサとして代表的には少なくとも1つのPZTディザセンサをスポークに取り付けて慣性プラットホームに関係するジャイロスコープブロックの動きを感知する。ディザセンサの出力によりディザモータに供給される正弦波駆動信号を変更して固有共鳴周波数における振動が得られるようにする。特に、スポークが上述したように撓むとPZTディザセンサの出力信号が変化して、スポークの撓みを感知する。この出力信号、すなわち「ピックオフ」信号はフィードバック回路に入力として与えられる。フィードバック回路はディザモータに供給する正弦波駆動信号の振幅及び/又は周波数を制御してディザモータが固有共鳴周波数かその近くで振動するようにする。
【0009】
残念ながら、Laser Gyro Dither Random Noise Proceedings of S.P.I.E Meeting on Physics of Optical Ring Gyros, vol. 487 pp 85-93 (1984)においてKillpatrickが指摘したようにディザリングはジャイロスコープ出力に(すなわち逆伝搬ビーム間の周波数差に)誤差角成分を導入する。ジャイロスコープ出力に含まれるこの誤差角成分、ないしノイズはジャイロスコープ出力の回転誤差として現れる。高周波数のディザリング速度においてこの誤差は上記文献によれば次式により数学的に表現される。
【0010】
【数1】
Figure 2004531732
【0011】
ここに、△Ψ(t)は誤差角成分(アークセカンド)、Kはジャイロスコープスケールファクタ(アークセカンド/サイクル)、ΩLはロックイン速度(アークセカンド/秒)、ΩDはディザ回転角速度(アークセカンド/秒)、tは動作時間(秒)である。
【0012】
式(1)の両辺をtで割ると誤差角成分が得られる。誤差角成分はランダムドリフト誤差とも呼ばれ、次式で表される。
【0013】
【数2】
Figure 2004531732
【0014】
式(2)を考察すると、K、ΩL、及びΩDが一定であればランダムドリフト誤差△Ψ(t) /t、すなわちジャイロスコープ出力の全誤差速度は動作時間tの増加に対して減少する。このように、ランダムドリフト誤差はジャイロスコープの動作時間の増加と共に減少する。
【0015】
また、式(2)において、動作時間tを固定した場合、KとΩLが一定であればディザ回転角速度ΩDが増加することでランダムドリフト誤差が減少する。
リングレーザジャイロスコープによる慣性システムの較正または「アライメント」は、リングレーザジャイロスコープのプラットホームが地球の自転を除いて静止した状態の下で地球の自転をリングレーザジャイロスコープで感知することにより一般に行われる。このセンシングから得られる回転速度情報は(南、東、西とともに)北の方位を決定するので慣性システムは「アライメント」される。このアライメントプロセスの精度はジャイロスコープが入力回転速度を許容精度で読みとれる能力に依存する。例えば、緯度45度では、地球の自転の水平成分は南北方向で約10度/時間、東西方向で0度/時間である。0.01度/時間のジャイロスコープ誤差は1ミリラジアン(0.01/10ラジアン)のアライメント誤差になる。ジャイロスコープをアライメントするのに要する時間、すなわちアライメント時間はジャイロスコープ誤差がある値、例えば0.01度/時間に減少するまでにかかる時間により決定される。
【0016】
ジャイロスコープはアライメントの間も動作するので、式(2)におけるtをアライメント時間とみることもできる。アライメント時間はごく短時間であることが望まれる。しかしながら、式(2)においてアライメント時間を表すtを小さくするとその間に大きなランダムドリフト誤差が発生する。
【0017】
さらに、多くのナビゲーションシステムはリングレーザジャイロスコープによる慣性センシングに基づいて得た位置情報の精度を上げるためにグローバルポジショニング衛星から得たグローバルポジショニング信号を利用する。すなわち、ビークルの位置精度をこれらのグローバルポジショニング信号により上げることができる。しかしながら、そのようなグローバルポジショニング信号を利用できないときにナビゲーションシステムから与えられる位置情報にはより大きい程度の誤差が含まれてしまう。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0018】
本発明は、少なくとも1つの側面において、アライメントの期間中、及び/又はグローバルポジショニング信号が得られないときに誤差を低減する構成に関わるものである。
機械式ジャイロスコープのような他のタイプの運動センサも知られている。機械式ジャイロスコープは回転速度を決定すべきプラットホーム上に吊下された質量を有する。この質量をディザリングして直線的に振動させる。この質量に回転速度が加わると、直線振動運動と回転速度の両方に垂直な(直角な)方向にコリオリの力が発生する。
【0019】
このコリオリの力Fは次式で与えられる。
F=2mΩ×V 式(3)
ここに、mは質量、Ωは測定すべき回転速度、Vは上述した直線振動運動の瞬時速度、×は数学のクロス乗積である。上述したように、コリオリの力Fは回転速度と直線振動運動の瞬時速度の両方に垂直な方向に働いて質量を動かす。この運動の振幅を感知して回転速度に比例した出力を求める。
【0020】
リングレーザジャイロスコープの場合と同様に、機械式ジャイロスコープもアライメントされる。本発明は、少なくとももう1つの側面において、アライメント期間中、機械式ジャイロスコープが小さな回転速度を感知できるようにディザ振幅を増大することにより機械式ジャイロスコープの感度を上げる構成に関わるものである。
【課題を解決するための手段】
【0021】
本発明の1つの側面に基づいて、運動センサディザリング方法は、アライメントを行っていないときは上記運動センサを第1の速度振幅の信号によりディザリングするステップと、アライメントを行っているときは上記第1の速度振幅より大きな第2の速度振幅の信号により上記運動センサをディザリングするステップとを有する。
【0022】
本発明の別の側面に基づいて、運動センサディザリング方法は、グローバルポジションニング信号が利用可能なときは上記運動センサを第1の速度振幅の信号によりディザリングするステップと、グローバルポジションニング信号が利用不能なときは上記第1の速度振幅より大きな第2の速度振幅の信号により上記運動センサをディザリングするステップとを有する。
【0023】
本発明のさらに別の側面に基づいて、運動センサディザリング方法は、グローバルポジションニング信号が利用可能なときは上記運動センサを第1の速度振幅の信号によりディザリングするステップと、アライメントを行っていないときは上記運動センサを第2の速度振幅の信号によりディザリングするステップと、グローバルポジションニング信号が利用不能なときは上記運動センサを第3の速度振幅の信号によりディザリングするステップと、アライメントを行っているときは上記運動センサを第4の速度振幅の信号によりディザリングするステップとを有し、上記第3の速度振幅は上記第1の速度振幅より大きく、上記第4の速度振幅は上記第2の速度振幅より大きいことを特徴とする。
【0024】
本発明のさらに別の側面に基づいて、運動センサをディザリングするディザリングシステムは、ディザセンサとディザモータとコントローラを有する。ディザセンサは運動センサのディザリングを感知する。ディザモータは運動センサをディザリングする。コントローラは第1と第2の入力、及び出力を有する。出力はディザモータに接続され、第1の入力はディザセンサに接続される。コントローラは上記第1の入力に応じて上記ディザモータを第1のディザ速度振幅の信号により駆動するとともに、上記第2の入力に応じて上記ディザモータを第2のディザ速度振幅の信号により駆動する。ここに第2のディザ速度振幅は上記第1のディザ速度振幅より大きい。
【0025】
本発明のさらに別の側面に基づいて、運動センサディザリング方法は、選択時間の間、第1のモードで上記運動センサが振動するように上記運動センサに結合したディザシステムに対して、第1の選択時間の間、第1の振幅を有する振幅制御信号を供給するステップと、上記第1の選択時間の後、上記第1の振幅が減少して第2の振幅になるように上記振幅制御信号を調整するステップと、上記運動センサが第2のモードで振動するように上記第2の振幅を有する上記振幅制御信号を上記運動センサに結合したディザシステムに供給するステップと有する。
【0026】
上記及びその他の特徴及び利点は図面を参照してなされる以下の説明から明らかになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0027】
図1は、代表的なリングレーザジャイロスコープを記載したLjung等の米国特許第4,344,706号に示された図面にほぼ相当するものである。図1において、熱的かつ機械的に安定な三角形状のガラスセラミックブロック10にはヘリウムネオン等の混合ガスを充填した複数の通路12、14、及び16が形成される。キャビティ18は通路12と16を相互結合し、キャビティ20は通路14と16を相互結合し、キャビティ22は通路12と14を相互結合し、これにより連続的なキャビティが形成される。高反射率ミラー24と26はそれぞれキャビティ20と22に面して通じている。部分透過型出力ミラー28はキャビティ18に面して通じている。さらに、ミラー24、26、28はいずれも周縁部がガラスセラミックブロック10に堅固に取り付けられ、後述するように、ガラスセラミックブロック10内を時計回り及び反時計回りで進むようにレーザビームを導く。ビームコンバイナー30は部分透過型出力ミラー28に堅固に取り付けられる。
【0028】
第1のアノード32はキャビティ18と22間のガラスセラミックブロック10に取り付けられて通路12に通じている。同様に、第2のアノード34はキャビティ20と22間のガラスセラミックブロック10に取り付けられて通路14に通じている。カソード36はキャビティ18と20間のガラスセラミックブロック10に取り付けられて通路16に通じている。
【0029】
第1と第2のアノード32、34、及びカソード36を電気的に駆動するとヘリウムネオン混合ガスがレイジングを起こして通路12、14、16及びキャビティ18、20、22内を時計回り及び反時計回りのレーザビームが形成される。
【0030】
時計回り及び反時計回りのレーザビームはミラー24、26、28で反射し、部分透過型出力ミラー28を部分的に透過する。部分透過型ミラー28を透過した時計回り及び反時計回りのレーザビームの部分はビームコンバイナー30で結合され、デュアル光検出器38に導かれる。デュアル光検出器38の出力は通常の論理デコーダ40でデコードされ、出力線42にガラスセラミックブロック10の時計回りの回転を表すパルス、あるいは出力線44にガラスセラミックブロック10の反時計回りの回転を表すパルスを出力する。
【0031】
ミラー24、26、28に入射した時計回り及び反時計回りのレーザビームはミラー面の凸凹のために、部分的に後方散乱して反射する。この後方散乱は上述した「ロックイン」誤差の一因であることが知られている。
【0032】
従来技術において、ロックイン誤差は、例えば「ディザ」システムを実施することにより低減化あるいは最小化が図られた。図1に示す代表的なディザシステムは中央支持部、ないしハブ48と環状リム50間に設けられた放射状のねじりバネ、またはスポーク46を有する。ハブ48は堅固に慣性(inertial)プラットホームに取り付けられ、環状リム50はガラスセラミックブロック10に摩擦接触する。
【0033】
少なくとも1つの圧電アクチュエータ54が少なくとも1つのスポーク46に取り付けられる。発振器56からの正弦波電圧が圧電アクチュエータ54に印加されると、ねじれストレスが1つのスポーク46に撓みを生じている該1つのスポーク46に与えられ、それによって所望のように、環状リム50及びガラスセラミックブロック10の回転運動をハブ48と慣性プラットホーム52に関係して発生する。
【0034】
また、少なくとも1つの圧電変換器58が別のスポーク46に取り付けられる。バネ状スポーク46の機械的振動はディザを規定し、圧電変換器58により検出される。圧電変換器58の出力は増幅器60に入力される。増幅器60は、ガラスセラミックブロック10のバネ質量系が休止しているときの固定点を基準としてこの固定点に対するジャイロスコープの回転角を表す出力信号を発生する。この出力信号は一般にディザ角信号と呼ばれている。
【0035】
図1のディザシステムと同様な動作をする従来技術のディザシステムを図2に示す。例えば、図1に示すリングレーザジャイロスコープにおけるガラスセラミックブロック10、慣性プラットホーム52、及びスポーク46による相互連結用弾性結合器の組合せのようなバネ質量系200がディザセンサ202に接続され、このディザセンサ202によりバネ質量系200の回転を表す信号が検出される。ディザセンサ202は、例えば1つのスポーク46に取り付けられた図1の圧電変換器58のような圧電変換器で構成される。ディザセンサ202の出力信号は増幅器204で増幅され、移相器206に入力される。移相器206の出力は増幅器208に供給され、ここで連続正弦波出力電圧となり、トルカー210に与えられる。この連続正弦波出力電圧はディザセンサ202からの出力信号を表している。トルカー210は増幅器208からの連続正弦波出力電圧に応じて正弦波トルクをバネ質量系200に加える。
【0036】
例えば、トルカー210は図1において別のスポーク46に取り付けられてガラスセラミックブロック10を回転させる圧電アクチュエータ54のような圧電アクチュエータにより構成される。トルカー210として圧電アクチュエータを使用する場合、典型的に増幅器208を高電圧増幅器にする必要がある。
【0037】
周知のように、バネ質量系200の振動を固有共鳴周波数で発生するには移相器206を適切に調整する必要がある。すなわち、一旦、バネ質量系200がランダムノイズにより一時的に動揺(摂動)すると、移相器206は再生型の正フィードバックとして機能し、バネ質量系200の振動は、増幅器204及び208のゲインにより基本的に決まる一定の時計回り及び反時計回りのピークディザ角の振幅を保つ。このようなシステムの機械的損失はシステムゲインに等しくなる。増幅器204あるいは増幅器208のゲイン調整によりシステムゲインを増大すると、システムは依然として固有共振ディザ周波数で振動するがピークツーピークのディザ角の振幅は変化する。適切なバネ質量系200の設計により(例えば、対称型かつ平衡型にすることにより)、ディザ角の振幅においてピークの時計回りとピークの反時計回りのディザ角の振幅がほぼ等しくなる。
【0038】
上述したように、リングレーザジャイロスコープ出力におけるランダムドリフト誤差は式(2)により表される。式(2)において、tも含めて他の全変数が一定であるとすると、ディザ速度ΩDを上げることにより明らかにランダムドリフト誤差△Ψ(t)/tは減少する。
【0039】
次式に示すように、ディザ振幅はディザ周波数に関係する。
θ(t)=θsin(2πfDt) 式(4)
ここに、θ(t)は時間関数としてのディザ角であり、θはディザ振幅(アークセカンド)、fDはディザ周波数(サイクル/秒)である。式(4)を時間tについて微分すると次式にしたがうディザ回転角速度が得られる。
【0040】
dθ(t)/dt=ΩD=2πfDθ(cos2πfDt) 式(5)
式(5)を式(2)に代入すると次式が得られる。
【0041】
【数3】
Figure 2004531732
【0042】
したがって、式(6)に示すように、tも含めて他の全変数が一定である場合、ディザ振幅θが増加するとランダムドリフト誤差△Ψ(t)/tは減少する。したがって、他の全変数が一定のときディザ振幅を増加した場合は、ディザ振幅を増加しなかった場合に比べ短時間tで同一のアライメント誤差精度を達成できる。例えば、許容精度のアライメントに10分間掛かるジャイロスコープシステムであればディザ振幅θを4倍にすることにより同じ精度のアライメントを5分間で達成できる。
【0043】
図3に示すのは、選択時間の間、ディザ速度を変更し、特に、式(6)に基づいてアライメントの間はディザ振幅θを増大する電気回路である。図3に示すように、図2の増幅器208に増幅器302のゲインを制御するゲイン調整スイッチ300を設ける。増幅器302はグランドに接続された正入力304と、入力抵抗308を介して移相器206の出力に接続された負入力306を有する。
【0044】
ゲイン調整スイッチ300が「開」のときは、第1のフィードバック抵抗310のみが出力抵抗312と増幅器302の負入力306間を結合して増幅器302のゲインを制御する。一方、ゲイン調整スイッチ300が「閉」のときは、第1のフィードバック抵抗310と第2のフィードバック抵抗314の両方が並列に接続されて、増幅器302の入出力間に結合される全抵抗値が減少する。
【0045】
したがって、ジャイロスコープのアライメント中はゲイン調整スイッチ300を開いて増幅器302の入力電圧を上げ、それにより増幅器302の出力電圧を上げることでトルカー210に印加されるディザ電圧の振幅を増大させる。ジャイロスコープのアライメント終了後は、ゲイン調整スイッチ300を閉じてディザ振幅を減少させることにより長期間の高振幅ディザリングがもたらす過度の加速によるジャイロスコープへの悪影響を避ける。
【0046】
これに加え、あるいは代わりに、グローバルポジショニング信号の有無に基づいてゲイン調整スイッチ300を制御することができる。すなわち、グローバルポジショニング信号が利用不能な場合にナビゲーション精度を上げるためゲイン調整スイッチ300を開くようにすれば、増幅器302の入力電圧が増加し、その結果、増幅器302の出力電圧、ひいてはトルカー210に印加されるディザ電圧の振幅も増大する。逆に、グローバルポジショニング信号が利用可能な場合はゲイン調整スイッチ300を閉じるようにすることで増幅器302の入力電圧は減少し、その結果、増幅器302の出力電圧、ひいてはトルカー210に印加されるディザ電圧の振幅も減少し、長期間の高振幅ディザリングがもたらす過度の加速によるジャイロスコープへの悪影響を防止することができる。
【0047】
したがって、ゲイン調整スイッチ300の制御を下記の判定基準に基づいて行うことができる。
IF: アライメント中、又はGPS不能ならば、
Then: 高ディザ振幅
Else: 通常ディザ振幅
すなわち、アライメント中か、グローバルポジショニング信号が目下、利用不能ならば、精度を上げるためにディザ振幅を増大してガラスセラミックブロック10を高速でディザリングする。そうでなければディザ振幅を通常値とし、ガラスセラミックブロック10を通常速度でディザリングする。
【0048】
上述したように、本発明は機械式ジャイロスコープ等の他の運動センサにも適用可能である。一例として図4に示す機械式音叉型ジャイロスコープ400は米国特許第5,349,855号に示された機械式音叉型ジャイロスコープと同様な構造である。この機械式音叉型ジャイロスコープ400の第1と第2の質量402、404はアンカーポイント410でプラットホーム408に取り付けられた可撓性フレーム406に結合される。第1ディザモータ412、第2ディザモータ414、及び第3ディザモータ416により第1と第2の質量402、404をディザリングする。
【0049】
すなわち、第1のディザモータ412は第1の入力端子418と出力端子419間に印加される正弦波信号に応じて第1の質量402を静電的に振動させる櫛構造で構成される。同様に、第2のディザモータ414は第2の入力端子420と出力端子419間に印加される正弦波信号に応じて第2の質量404を静電的に振動させる櫛構造で構成される。第3のディザモータ416は第3の入力端子418と出力端子419間に印加される正弦波信号に応じて第1の質量402と第2の質量404の両方を静電的に振動させる両側櫛構造で構成される。2つの質量を用いているのは機械式音叉型ジャイロスコープ400の物理的な平衡をとるためである。したがって、公知のように、第1、第2、第3の入力端子418、420、422間に供給される信号の位相を制御してこの平衡が得られるようにする必要がある。
【0050】
第1のセンスコンデンサ424が第1の質量402とプラットホーム408間に設けられる。第1のセンスコンデンサ424の容量はディザ振動及び入力回転速度に応じて第1の質量402が動くのにつれて変化する。第2のセンスコンデンサ426が第2の質量404とプラットホーム408間に設けられる。第2のセンスコンデンサ426の容量はディザ振動及び入力回転速度に応じて第2の質量404が動くのにつれて変化する。
【0051】
第1、第2、第3のディザモータ412、414、及び416はオシレータに応じて第1と第2の質量402、404をディザリングする。このため、第1と第2の質量402、404はオシレータの周波数で互いに近づいたり遠ざかったりしながら、瞬時的に正弦波の線速度をもつ。プラットホーム408の回転速度のために式(3)に示すコリオリの力Fが入力回転速度とディザリング運動の両者に垂直な方向に発生する。入力軸が図4に示す通りでディザリング方向が上述した方向であるとすると、コリオリの力Fの方向は図4から機械式音叉型ジャイロスコープ400を見た場合において紙面に直交する方向になる。
【0052】
第1と第2の質量402、404の運動の振幅はそれぞれ第1と第2のセンスコンデンサ424、426により感知されて、質量、回転速度、及びディザリングに比例する出力信号が発生する。ディザ振幅が増大すると瞬時正弦波の線速度Vが増大し、式(3)から分かるようにコリオリの力が増大し、結果として第1と第2の質量402、404の運動が増大する。この第1と第2の質量402、404の運動が増大することにより第1と第2のセンスコンデンサ424、426の出力信号は振幅が増大し、これにより機械式音叉型ジャイロスコープ400の回転速度に対する感度が高くなる。第1と第2の質量のディザ振幅は図2及び図3と同様な構成により選択的に制御できる。
【0053】
増大したディザ振幅は、例えばアライメント中に利用することで機械式音叉型ジャイロスコープ400の較正精度を上げることができる。しかしながら、この増大したディザ振幅は機械式音叉型ジャイロスコープ400に損傷を与える虞があるため、長期間の使用は控えるべきである。
【0054】
以上、本発明の所定の変形例について説明した。本発明を実施する当業者には他の変形例も明らかである。例えば、図3の増幅器208以外の任意の適当な構成、例えばコンピュータ、論理回路、適当にプログラムされたデバイスによりバネ質量系のディザ振幅を制御することができる。
【0055】
また、機械式音叉型ジャイロスコープ400構成の機械式ジャイロスコープについて本発明を説明した。しかしながら、他の形態の機械式ジャイロスコープ、例えば、単一の質量系を有する機械式ジャイロスコープを本発明に関して利用することができる。
【0056】
さらに、本発明はアライメント中、あるいはGPS信号の利用不能時に有用であるとして説明した。しかしながら、本発明は一時的に高い感度が要求されるのでありさえすれば有用である。
【0057】
したがって、本発明の記載は専ら例示を目的とするものであって、当業者に最良の形態を提示するためのものである。詳細については本発明の趣旨から逸脱することなく実質的な変更が可能であり、特許請求の範囲内にある全変形形態の排他的使用は確保される。
【図面の簡単な説明】
【0058】
【図1】従来のリングレーザジャイロスコープの模式図である。
【図2】従来のディザシステムのブロック図である。
【図3】本発明の実施形態に基づいたディザシステムの一部の回路図である。
【図4】本発明に基づいたディザリングが可能な機械式音叉型ジャイロスコープの模式図である。

Claims (32)

  1. 運動センサをディザリングする運動センサディザリング方法において、
    アライメントを行っていないときは上記運動センサを第1の速度振幅の信号によりディザリングするステップと、
    アライメントを行っているときは上記第1の速度振幅より大きな第2の速度振幅の信号により上記運動センサをディザリングするステップと、
    を有することを特徴とする運動センサディザリング方法。
  2. 上記運動センサは機械式ジャイロスコープを有することを特徴とする、請求項1記載の運動センサディザリング方法。
  3. 上記運動センサを第1の速度振幅の信号によりディザリングするステップは上記機械式ジャイロスコープを第1の速度においてディザリングし、上記第2の速度振幅の信号により上記運動センサをディザリングするステップは上記第1の速度より大きな第2の速度において上記機械式ジャイロスコープをディザリングすることを特徴とする、請求項2記載の運動センサディザリング方法。
  4. 上記運動センサはリングレーザジャイロスコープを有することを特徴とする、請求項1記載の運動センサディザリング方法。
  5. 上記運動センサを第1の速度振幅の信号によりディザリングするステップは上記リングレーザジャイロスコープを第1の速度によりディザリングし、上記第2の速度振幅の信号により上記運動センサをディザリングするステップは上記第1の速度より大きな第2の速度において上記リングレーザジャイロスコープをディザリングすることを特徴とする、請求項4記載の運動センサディザリング方法。
  6. 運動センサをディザリングする運動センサディザリング方法において、
    グローバルポジションニング信号が利用可能なときは上記運動センサを第1の速度振幅の信号によりディザリングするステップと、
    グローバルポジションニング信号が利用不能なときは上記第1の速度振幅より大きな第2の速度振幅の信号により上記運動センサをディザリングするステップと、
    を有することを特徴とする運動センサディザリング方法。
  7. 上記運動センサはリングレーザジャイロスコープを有することを特徴とする、請求項6記載の運動センサディザリング方法。
  8. 上記リングレーザジャイロスコープを第1の速度振幅の信号によりディザリングするステップは上記リングレーザジャイロスコープを第1の速度においてディザリングし、上記第2の速度振幅の信号により上記リングレーザジャイロスコープをディザリングするステップは上記第1の速度より大きな第2の速度において上記リングレーザジャイロスコープをディザリングすることを特徴とする、請求項7記載の運動センサディザリング方法。
  9. 運動センサをディザリングする運動センサディザリング方法において、
    グローバルポジションニング信号が利用可能なときは上記運動センサを第1の速度振幅の信号によりディザリングするステップと、
    アライメントを行っていないときは上記運動センサを第2の速度振幅の信号によりディザリングするステップと、
    グローバルポジションニング信号が利用不能なときは上記運動センサを第3の速度振幅の信号によりディザリングするステップと、
    アライメントを行っているときは上記運動センサを第4の速度振幅の信号によりディザリングするステップと、
    を有し、上記第3の速度振幅は上記第1の速度振幅より大きく、上記第4の速度振幅は上記第2の速度振幅より大きいことを特徴とする運動センサディザリング方法。
  10. 上記第1と第2の速度振幅はほぼ等しく、上記第3と第4の速度振幅はほぼ等しいことを特徴とする、請求項9記載の運動センサディザリング方法。
  11. 上記運動センサはリングレーザジャイロスコープを有することを特徴とする、請求項9記載の運動センサディザリング方法。
  12. 上記第1と第2の速度振幅はほぼ等しく、上記第3と第4の速度振幅はほぼ等しいことを特徴とする、請求項11記載の運動センサディザリング方法。
  13. 上記リングレーザジャイロスコープを第1の速度振幅の信号によりディザリングするステップは上記リングレーザジャイロスコープを第1の速度においてディザリングし、上記リングレーザジャイロスコープを第2の速度振幅の信号によりディザリングするステップは上記リングレーザジャイロスコープを第2の速度においてディザリングし、上記リングレーザジャイロスコープを第3の速度振幅の信号によりディザリングするステップは上記リングレーザジャイロスコープを第3の速度においてディザリングし、上記リングレーザジャイロスコープを第4の速度振幅の信号によりディザリングするステップは上記リングレーザジャイロスコープを第4の速度においてディザリングすることを特徴とする、請求項11記載の運動センサディザリング方法。
  14. 上記第3の速度は上記第1の速度より大きく、上記第4の速度は上記第2の速度より大きいことを特徴とする、請求項13記載の運動センサディザリング方法。
  15. 上記第1と第2の速度はほぼ等しく、上記第3と第4の速度はほぼ等しいことを特徴とする、請求項13記載の運動センサディザリング方法。
  16. 運動センサをディザリングする運動センサディザリングシステムにおいて、
    上記運動センサのディザリングを検出するディザセンサと、
    上記運動センサをディザリングするディザモータと、
    第1及び第2の入力と出力を有し、上記出力が上記ディザモータに接続され、上記第1の入力が上記ディザセンサに接続されているコントローラであって、上記第1の入力に応じて上記ディザモータを第1のディザ速度振幅の信号により駆動するとともに、上記第2の入力に応じて上記ディザモータを上記第1のディザ速度振幅より大きな第2のディザ速度振幅の信号により駆動するコントローラと、
    を有することを特徴とする運動センサディザリングシステム。
  17. 上記第2の入力は上記コントローラのゲインを制御することを特徴とする、請求項16記載の運動センサディザリングシステム。
  18. 上記コントローラは、アライメントが行われているときに上記第2の入力に応じて上記ディザモータを上記第2のディザ速度振幅の信号により駆動するともに、アライメントが行われていないときに上記第1の入力に応じて上記ディザモータを上記第1のディザ速度振幅の信号により駆動することを特徴とする、請求項16記載の運動センサディザリングシステム。
  19. 上記コントローラは、グローバルポジションニング信号が利用不能なときに上記第2の入力に応じて上記ディザモータを上記第2のディザ速度振幅の信号で駆動するともに、グローバルポジションニング信号が利用可能なときに上記第1の入力に応じて上記ディザモータを上記第1のディザ速度振幅の信号で駆動することを特徴とする、請求項16記載の運動センサディザリングシステム。
  20. 上記コントローラは、アライメントが行われているときに上記第2の入力に応じて上記ディザモータを上記第2のディザ速度振幅の信号で駆動し、グローバルポジションニング信号が利用不能なときに上記第2の入力に応じて上記ディザモータを上記第2のディザ速度振幅の信号により駆動し、アライメントが行われていないときに上記第1の入力に応じて上記ディザモータを上記第1のディザ速度振幅の信号により駆動し、グローバルポジションニング信号が利用可能なときに上記第1の入力に応じて上記ディザモータを上記第1のディザ速度振幅の信号により駆動することを特徴とする、請求項16記載の運動センサディザリングシステム。
  21. 上記ディザセンサは上記運動センサの振動を感知して当該振動を表す第1の出力信号を発生し、
    上記コントローラは、
    上記ディザセンサに電気的に接続されて上記第1の出力信号を増幅して第2の出力信号を発生する増幅器と、
    上記増幅器に電気的に接続されて上記第2の出力信号から第3の出力信号を発生する移相器と、
    上記移相器に電気的に接続されて上記第3の出力信号から第1の振幅を有する振幅制御信号を発生し、上記振幅制御信号が第2の振幅を有するように調整可能なゲイン調整器と、
    を有し、
    上記ディザモータは上記ゲイン調整器に接続されて上記振幅制御信号を受け、当該振幅制御信号に対応した正弦波トルクを上記運動センサに加えることを特徴とする、請求項16記載の運動センサディザリングシステム。
  22. 上記増幅器は第1の増幅器であり、
    上記ゲイン調整器は、
    電気的グランドに接続された正入力、負入力、及び出力を有する第2の増幅器と、
    第1端と第2端を有し、第1端が上記第2の増幅器の出力に接続されて上記振幅制御信号を発生する出力抵抗と、
    上記負入力と上記移相器間に電気的に接続されて第3の出力信号を受ける入力抵抗と、
    第1端と第2端を有し、第1端が上記負入力に電気的に接続され、第2端が上記出力抵抗の第2端に電気的に接続された第1のフィードバック抵抗と、
    第1端と第2端を有し、第1端が上記第1のフィードバック抵抗の第1端に電気的に接続され、第2端が上記コントローラの上記第2の入力を介して上記第1のフィードバック抵抗の第2端に電気的に接続された第2のフィードバック抵抗と、
    を有することを特徴とする、請求項21記載の運動センサディザリングシステム。
  23. 上記コントローラの上記第2の入力はスイッチで構成されることを特徴とする、請求項22記載の運動センサディザリングシステム。
  24. 上記運動センサはリングレーザジャイロスコープを有することを特徴とする、請求項16記載の運動センサディザリングシステム。
  25. 上記運動センサは機械式ジャイロスコープを有することを特徴とする、請求項16記載の運動センサディザリングシステム。
  26. 運動センサをディザリングする運動センサディザリング方法において、
    選択時間の間、第1のモードで上記運動センサが振動するように上記運動センサに結合したディザシステムに対して、第1の選択時間の間、第1の振幅を有する振幅制御信号を供給するステップと、
    上記第1の選択時間の後、上記第1の振幅が減少して第2の振幅になるように上記振幅制御信号を調整するステップと、
    上記運動センサが第2のモードで振動するように上記第2の振幅を有する上記振幅制御信号を上記運動センサに結合したディザシステムに供給するステップと、
    有することを特徴とする運動センサディザリング方法。
  27. 上記第2のモードは第1のモードより低速のディザ速度を有することを特徴とする、請求項26記載の運動センサディザリング方法。
  28. アライメントを行っているときは上記第1のモードになり、アライメントを行っていないときは上記第2のモードになることを特徴とする、請求項26記載の運動センサディザリング方法。
  29. グローバルポジションニング信号が利用不能なときは上記第1のモードになり、グローバルポジションニング信号が利用可能なときは上記第2のモードになることを特徴とする、請求項26記載の運動センサディザリング方法。
  30. アライメントを行っているときは上記第1のモードになり、グローバルポジションニング信号が利用不能なときは上記第1のモードになり、アライメントを行っていないときは上記第2のモードになり、グローバルポジションニング信号が利用可能なときは上記第2のモードになることを特徴とする、請求項26記載の運動センサディザリング方法。
  31. 上記運動センサは機械式ジャイロスコープを有することを特徴とする、請求項26記載の運動センサディザリング方法。
  32. 上記運動センサはリングレーザジャイロスコープを有することを特徴とする、請求項26記載の運動センサディザリング方法。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102109346A (zh) * 2010-12-15 2011-06-29 陕西宝成航空仪表有限责任公司 激光陀螺组合偏频方法及激光陀螺惯性测量组合装置

Families Citing this family (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8797260B2 (en) * 2002-07-27 2014-08-05 Sony Computer Entertainment Inc. Inertially trackable hand-held controller
US10086282B2 (en) 2002-07-27 2018-10-02 Sony Interactive Entertainment Inc. Tracking device for use in obtaining information for controlling game program execution
US20050268716A1 (en) * 2004-06-08 2005-12-08 Honeywell International Inc. Built in test for mems vibratory type inertial sensors
US7154326B2 (en) * 2005-04-18 2006-12-26 Visteon Global Technologies, Inc. Dither amplitude correction for constant current drivers
FR2894663B1 (fr) * 2005-12-13 2008-02-08 Thales Sa Gyrolaser a etat solide active optiquement par biais alternatif
US7505140B2 (en) * 2007-04-13 2009-03-17 Custom Sensors & Technologies, Inc. Indexing dithering mechanism and method
US8259302B2 (en) 2010-07-30 2012-09-04 Honeywell International Inc. Variable path length control modulation frequency
KR101352827B1 (ko) 2010-09-18 2014-01-17 페어차일드 세미컨덕터 코포레이션 단일 프루프 매스를 가진 미세기계화 3축 가속도계
US8813564B2 (en) 2010-09-18 2014-08-26 Fairchild Semiconductor Corporation MEMS multi-axis gyroscope with central suspension and gimbal structure
EP2616771B8 (en) 2010-09-18 2018-12-19 Fairchild Semiconductor Corporation Micromachined monolithic 6-axis inertial sensor
US9156673B2 (en) 2010-09-18 2015-10-13 Fairchild Semiconductor Corporation Packaging to reduce stress on microelectromechanical systems
KR101871865B1 (ko) 2010-09-18 2018-08-02 페어차일드 세미컨덕터 코포레이션 멀티-다이 mems 패키지
US9352961B2 (en) 2010-09-18 2016-05-31 Fairchild Semiconductor Corporation Flexure bearing to reduce quadrature for resonating micromachined devices
KR101332701B1 (ko) 2010-09-20 2013-11-25 페어차일드 세미컨덕터 코포레이션 기준 커패시터를 포함하는 미소 전자기계 압력 센서
WO2012040245A2 (en) 2010-09-20 2012-03-29 Fairchild Semiconductor Corporation Through silicon via with reduced shunt capacitance
US9062972B2 (en) 2012-01-31 2015-06-23 Fairchild Semiconductor Corporation MEMS multi-axis accelerometer electrode structure
US8978475B2 (en) 2012-02-01 2015-03-17 Fairchild Semiconductor Corporation MEMS proof mass with split z-axis portions
US9488693B2 (en) 2012-04-04 2016-11-08 Fairchild Semiconductor Corporation Self test of MEMS accelerometer with ASICS integrated capacitors
US9069006B2 (en) 2012-04-05 2015-06-30 Fairchild Semiconductor Corporation Self test of MEMS gyroscope with ASICs integrated capacitors
EP2648334B1 (en) 2012-04-05 2020-06-10 Fairchild Semiconductor Corporation Mems device front-end charge amplifier
EP2647952B1 (en) 2012-04-05 2017-11-15 Fairchild Semiconductor Corporation Mems device automatic-gain control loop for mechanical amplitude drive
EP2647955B8 (en) 2012-04-05 2018-12-19 Fairchild Semiconductor Corporation MEMS device quadrature phase shift cancellation
US9094027B2 (en) * 2012-04-12 2015-07-28 Fairchild Semiconductor Corporation Micro-electro-mechanical-system (MEMS) driver
US9625272B2 (en) 2012-04-12 2017-04-18 Fairchild Semiconductor Corporation MEMS quadrature cancellation and signal demodulation
DE102013014881B4 (de) 2012-09-12 2023-05-04 Fairchild Semiconductor Corporation Verbesserte Silizium-Durchkontaktierung mit einer Füllung aus mehreren Materialien
US9644963B2 (en) 2013-03-15 2017-05-09 Fairchild Semiconductor Corporation Apparatus and methods for PLL-based gyroscope gain control, quadrature cancellation and demodulation
US9835647B2 (en) 2014-03-18 2017-12-05 Fairchild Semiconductor Corporation Apparatus and method for extending analog front end sense range of a high-Q MEMS sensor
RU2616348C2 (ru) * 2015-06-08 2017-04-14 Открытое акционерное общество "Серпуховский завод "Металлист" Способ юстировки кольцевых резонаторов лазерных гироскопов
JP2023115546A (ja) 2022-02-08 2023-08-21 日本航空電子工業株式会社 リングレーザージャイロスコープ

Family Cites Families (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3390606A (en) 1965-03-01 1968-07-02 Honeywell Inc Control apparatus
US3373650A (en) 1965-04-02 1968-03-19 Honeywell Inc Laser angular rate sensor
US4167336A (en) 1977-03-29 1979-09-11 The Singer Company Ring laser gyroscope having wedge desensitizing optical means
US4255054A (en) 1979-03-21 1981-03-10 The Singer Company Lock-in control system for spring suspended ring laser gyroscope
US4321557A (en) 1980-01-21 1982-03-23 Litton Systems, Inc. Laser gyro coupling system
US4344706A (en) 1980-07-14 1982-08-17 The Singer Company Ring laser gyro dither pulse eliminator
US4370583A (en) 1981-01-16 1983-01-25 The Singer Company Piezoelectric motor for dithering ring laser gyroscopes
US4411527A (en) 1981-06-29 1983-10-25 The Singer Company Ring laser gyroscope with compensation
US4445779A (en) 1981-07-06 1984-05-01 Honeywell Inc. Dither system for a spring mass system
US4695160A (en) 1981-07-06 1987-09-22 Honeywell Inc. Error cancelling bias system
DE3150160A1 (de) 1981-12-18 1983-06-30 Honeywell Gmbh, 6050 Offenbach Ringlaserkreisel
US4653919A (en) 1982-02-08 1987-03-31 Sundstrand Optical Technologies, Inc. Laser gyro with dithered mirrors and current dither
US4597667A (en) 1982-12-09 1986-07-01 Litton Systems, Inc. Dither controller for ring laser angular rotation sensor
US4653918A (en) 1983-04-18 1987-03-31 Sundstrand Corporation Low Q body-dithered laser gyro assembly
US4686683A (en) 1984-01-09 1987-08-11 Litton Systems, Inc. Laser angular rate sensor with dithered mirrors
US4710027A (en) 1984-01-30 1987-12-01 Litton Systems, Inc. Method and apparatus for mechanical dither stabilization of a laser angular sensor
US4755057A (en) 1984-10-02 1988-07-05 Litton Systems, Inc. Path length control method for ring laser gyroscope
US4740083A (en) 1984-10-02 1988-04-26 Litton Systems, Inc. Pathlength controller for ring laser gyroscope
US4610543A (en) 1985-04-03 1986-09-09 The Singer Company Electronic dither compensator for a ring laser gyro
US4783169A (en) 1985-08-09 1988-11-08 Litton Systems, Inc. Control of a ring laser gyro cavity according to a preselected model
US4801206A (en) 1986-06-04 1989-01-31 Litton Systems, Inc. Simplified ring laser gyroscope dither control and method
US4779985A (en) 1986-12-22 1988-10-25 Litton Systems, Inc. Dither suspension for ring laser gyroscope and method
US5349855A (en) 1992-04-07 1994-09-27 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. Comb drive micromechanical tuning fork gyro
US5363194A (en) * 1992-08-18 1994-11-08 Honeywell Inc. Laser gyro microprocessor start up control method and apparatus
CN1145664A (zh) * 1993-11-29 1997-03-19 霍尼韦尔公司 模块式激光陀螺
DE19504373C2 (de) * 1995-02-10 2000-06-15 Daimler Chrysler Ag Diodengepumpter Festkörper-Ringlaserkreisel
US6229615B1 (en) * 2000-01-06 2001-05-08 Honeywell International Inc. Automatic dither pickoff gain select

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102109346A (zh) * 2010-12-15 2011-06-29 陕西宝成航空仪表有限责任公司 激光陀螺组合偏频方法及激光陀螺惯性测量组合装置

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Publication number Publication date
US20020196445A1 (en) 2002-12-26
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EP1407228A1 (en) 2004-04-14

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