JP2004517328A - 磁界をセンシングする装置と磁界測定器と電流測定器 - Google Patents
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Abstract
装置、磁界測定器及び電流測定器が提案される。この装置は、第1の磁界センサ手段(1、101)、第2の磁界センサ手段(201)及び第3の磁界センサ手段(301)が設けられており、ここで第1の磁界センサ手段(101)の第1の出力量(110)は第1の入力量(200)であり、第1の磁界センサ手段(101)の第2の出力量(120)は第2の入力量(300)であり、第1の入力量(200)は第2の磁界センサ手段(201)のための入力量であり、第2の入力量(300)は第3の磁界センサ手段(301)のための入力量であることを特徴とする。
Description
【0001】
従来技術
磁界センサの使用領域は、例えば自動車の領域においてますます増加している。磁界測定を例えば、無接触に、損失が少なくまた電位に依存せずに電流を測定するために使用することができる。例えばジェネレータ及び電気的な駆動部の電気的な動作パラメータを検出する。一般にミリアンペアからキロアンペアの範囲の電流が測定されなければならず、このことは5から6のオーダの測定範囲を必要とする。
【0002】
今日における従来技術では、例えば導線からの磁界を、例えばホールセンサ、バイポーラマグネットトランジスタ、磁気抵抗性の抵抗、横型マグネットFET構造などのような磁界センサによって測定することができる。殊に簡単な構成部材はいわゆる横型マグネットトランジスタであり、その機能は磁界によって生じた2つのバイポーラトランジスタ間の非対称的な電流の分配に基づく。
【0003】
ミリアンペア範囲の電流に対してはそのような構成部材自体は、典型的にはμT範囲にある僅かな磁界のために感度が限界となる。したがって従来技術では小さな磁界はいわゆる磁束収束によって増幅され、この際それぞれの導線の適切な形態によってまたは高透過性材料からなる磁気回路によって、磁界センサのある場所における磁界をより強くすることができる。
【0004】
発明の利点
磁界をセンシングするための本発明の装置、本発明の磁界測定器及び本発明の電流測定器は、これに対して磁束を収束する補助手段を省略することができるという利点を有し、このことはコストを節約し、必要とされる構造空間を低減する。このことは本発明の装置の感度が高められることによって実現される。ここで測定信号と測定すべき磁界との間の線形の関係は十分に保たれる。
【0005】
従属請求に記載された措置によって、独立請求項に記載されている装置、磁界測定器及び電流測定器の有利な実施形態及び改善実施形態が実現される。
【0006】
殊に有利には第4の磁界センサ手段及び第5の磁界センサ手段が設けられており、第2の磁界センサ手段の出力量は第4の磁界センサ手段の入力量に相応し、第3の磁界センサ手段の出力量は第5の磁界センサ手段の入力量に相応する。このことにより、要求に応じて本発明のカスケード段を変化することによって、磁界センサ手段の直列接続による種々の感度を表すことができる。ここで種々の磁界センサ手段が1つのチップ上で実現されることは殊に有利である。
【0007】
さらに第1の磁界センサ手段は第1の横型マグネットトランジスタであり、第2の磁界センサ手段は第2の横型マグネットトランジスタであり、第3の磁界センサ手段は第3の横型マグネットトランジスタである。これによって本発明によれば、LMT(横型マグネットトランジスタ)センサの感度を、複数のそのようなLMT構成部材を適当に直列接続することにより高めることができる。LMT素子の出力電流、すなわち本発明によれば例えば2つのコレクタ電流のうちの一方のコレクタ電流を別のLMT素子のための入力電流として、すなわち本発明によれば例えばエミッタ電流として使用することによって、LMTにおける磁界の電流分配への比対称的な作用を何度も使用することができる。ここで有利には、LMTセンサ自体は既に高感度であり、したがってここで既述する最適化のための良好な基礎となる。択一的に前述したように感度を上昇させることを、類似の原理に応じて動作する他の全ての構成部材に使用することもできる。すなわちこれらの構成部材では磁界によって2つの出力量の値が変化される。
【0008】
さらには第1の出力量は第1のコレクタ電流であり、第2の出力量は第2のコレクタ電流であり、第1の入力量は第2の横型マグネットトランジスタのエミッタ電流であり、第2の入力量は第3の横型マグネットトランジスタのエミッタ電流であることは有利である。このことにより有利には感度を高めることができ、この際小さい磁界に対する磁界と測定信号との間の関係はそれにもかかわらず線形である。
【0009】
図面
本発明の実施例を図面に示し、以下詳細に説明する。ここで図1は、横型マグネットトランジスタの方式の磁界センサ手段である。図2は、磁界センサ手段の概略図である。図3は、複数の磁界センサの本発明による装置である。
【0010】
実施例の説明
図1には、横型マグネットトランジスタを基礎とする磁界センサ手段1が図示されている。ここで重要な特徴は1つの入力量と2つの出力量が存在することであり、磁界センサ手段1の領域内に磁界14が存在しない場合にはこれらの出力量の値は実質的に等しく、また磁界14が存在する場合には第1の出力量12と第2の出力量13との間には非対称性が存在する。この基本的な特性を有する各磁界センサ手段に、複数の磁界センサ手段の本発明の装置を使用することができる。
【0011】
磁界センサ手段1の例として、図1には横型マグネットトランジスタ1、略してLMT1が図示されている。LMT1は、負にドーピングされている第1の半導体基板層5及び正にドーピングされている第2の半導体基板層6を有する。第1の半導体基板層5の下方には、すなわち第2の半導体基板6との接触側と反対側には、ボンディングのための例えば第1の金属化部層7が設けられている。第1の金属化部層7はLMT1の垂直コレクタを形成する。第2の半導体基板層6内には半導体基板領域8が埋め込まれており、この半導体基板層8は例えば負にドーピングされている。さらに第1の半導体基板領域8に隣接して第2の半導体基板領域9及び第3の半導体基板領域10が第2の半導体基板層6に埋め込まれており、第1の半導体基板領域8は第2の半導体基板領域9と第3の半導体基板領域10との間に位置する。第2及び第3の半導体基板領域9及び10は、第1の半導体基板領域と同様にドーピングされている。第1の半導体基板領域8の上方には、LMT1のエミッタ接触部を形成する第1の金属ボンディング20が配置されている。第2の半導体基板領域9の上方には、LMT1の第1の横型コレクタを形成する第2の金属ボンディング30が形成されている。第3の半導体基板領域10の上方には、LMT1の第2の横型コレクタを形成する第3の金属ボンディング40が設けられている。第2の金属ボンディング30の隣には、第1の金属ボンディング20とは反対側に第4の金属ボンディング50があり、この第4の金属ボンディング50はLMT1の第1のベース端子を形成する。第3の金属ボンディング40の隣には、第1の金属ボンディング20とは反対側に第5の金属ボンディング60があり、この第5の金属ボンディング60はLMT1の第2のベース端子を形成する。
【0012】
LMT1では電流が垂直方向にエミッタ領域8から、すなわち第1の半導体基板領域8から下方に向かって流れる。第1の電流は図1においては参照記号11でもって表されている。第1の電流11は、エミッタ端子を介して供給されるLMT1の入力量に相応する。動作時にはコレクタ端子30、40は同じ電位にあり、エミッタ領域8から第1のコレクタ領域9、すなわち第1の半導体基板領域9への第2の電流12が生じ、さらにエミッタ領域8から第2のコレクタ領域10、すなわち第2の半導体基板領域10への第3の電流13が生じる。本発明によれば第1の電流11は、第2及び第3の電流12、13へと完全に分割されるか、第1の電流の一部は垂直コレクタ7へと流れる。前者の場合は、例えば裏側コレクタ7とも称される垂直コレクタ7が設けられていない場合に関連する。後者の場合は、第1の電流11が完全には第2及び第3の電流へと分割されずに、第1の電流11の一部が裏側コレクタ7へと流れる。磁界14が存在しない場合、すなわち磁界14が無くなった場合には、第2の電流と第3の電流は理想的には、すなわちオフセットは存在せず、ないしはオフセットが十分に精確に調節されている場合には等しい大きさである。図示した平面に垂直方向に延びる成分を有する磁界14が存在する場合には、第1の電流12及び第2の電流13に関する対称性が崩れる。すなわち電流の一方が大きくなる。
【0013】
磁界14が無ければ、理想的には2つのコレクタ30、40を通って同じ電流が流れる。チップ表面の側方に磁界14が隣接することによって、電荷はローレンツ力に基づき磁界方向に応じて左または右へと偏る。図面においては、この図面の平面に垂直に延びている磁界14によって、第1のコレクタから比較的強い電流が流れるので、第2の電流は第3の電流よりも大きく、したがって2つの電流12、13は相対的に不均衡となる。磁界14によって誘導された第1のコレクタ30と第2のコレクタ40との間の電流の差は測定信号である。所定の磁界強度においてこの差が大きくなればなるほど、装置の感度は一層大きくなる。
【0014】
図2にはLMT1が概略的に図示されており、ここでは単に入力電流11に相応し、参照記号100で表された入力量と第1の出力量110と第2の出力量120とが図示されている。
【0015】
図2には図1に図示したLMT1の概略的な等価回路図が示されている。第1の出力量110は例えば第1の電流12、すなわちLMT1の第1のコレクタ電流に相応する。第2の出力量120は例えば第2の電流13、すなわちLMT1の第2のコレクタ電流に相応する。入力量100は例えば第1の電流11、すなわちLMT1のエミッタ電流に相応する。LMT原理には絶対的に必要ではない垂直コレクタ端子7への基板電流は示していない。磁界を測定するために、場がコレクタ電流、例えば出力量110、120の可能な限り大きな変化を誘導することが重要である。磁界が無い場合に流れる出力量110、120に相対的にこの変化が大きくなればなるほど、小さな磁界14もより良く測定することができる。したがってLMT素子の感度を比η=(磁界14が隣接する場合の出力量110、120の差の絶対値)/(磁界14がない場合の出力量110、120の和の絶対値)として規定することができる。入力量100、すなわち例えばエミッタ20における入力電流が損失なく2つの出力量110、120に分割されたとすると、個々のセンサ素子には以下のことが当てはまる。すなわち
第1の出力量110=α*入力量100
第2の出力量120=(1−α)*入力量100
ここで、磁界が無く理想的に対称である場合での非対称係数αは、α=0.50である。
【0016】
ここでαは磁界に依存しており、この磁界はまた文字「B」として表される。磁界によって変化する非対称係数αは、α(B)と表される。磁界のない出力状態ではα=α(0)である。
【0017】
参照記号で表していない、垂直コレクタ端子7への第3の基板コレクタ電流が存在する場合には、出力量すなわち横方向の電流110、120の成分が第3の垂直電流通路の低減に応じて減少する。すなわち入力量100としてエミッタ電流11ではなく、垂直コレクタ7へと流れる基板電流を差し引いたエミッタ電流11が使用される。個々のLMT素子1に対しては測定感度ηが生じる。ここでηはα(0)=0.50として、η=|2*α(B)−1|である。
【0018】
磁界14が存在する場合にαは、LMT1の表面に並行に延在する磁界14の成分を有する場の方向に応じて線形に増加ないし減少する。
【0019】
図3には、磁界センサ手段の本発明による装置が図示されている。全部で、第1の磁界センサ手段101、第2の磁界センサ手段201、第3の磁界センサ手段301、第4の磁界センサ手段401及び第5の磁界センサ手段501が図示されている。第1の磁界センサ手段101の入力量は参照記号100で表されている。出力量として第1の磁界センサ手段101は、第1の出力量110及び第2の出力量120を有する。第2の磁界センサ手段201は参照記号200で表された入力量を有し、また出力量として第2の磁界センサ手段201の第1の出力量210及び第2の出力量220を有する。相応に第3の磁界センサ手段301は入力量を有し、この入力量は参照記号300で表されている。出力量として第3の磁界センサ手段301は第1の出力量310及び第2の出力量320を有する。第4の磁界センサ手段は参照記号400で表された入力量と、参照記号410で表された第1の出力量と、参照記号420で表された第2の出力量とを有する。第5の磁界センサ手段501は参照記号500で表された入力量と、参照記号510で表された第1の出力量と、参照記号520で表された第2の出力量とを有する。
【0020】
本発明によれば、第1の磁界センサ手段101の第1の出力量110は、第2の磁界センサ手段201の入力量200として使用され、第1の磁界センサ手段101の第2の出力量120は第3の磁界センサ手段301の入力量300として使用される。第1、第2及び第3の磁界センサ手段101、201及び301が隣接する磁界14に依存して、出力量110及び120ないし210及び220ないし310及び320の実質的に同じ相対的な不均衡を惹起する場合には、第2の磁界センサ手段の第1の出力量210と第3の磁界センサ手段301の第2の出力量320との間の相対的な不均衡は、第1の磁界センサ手段101の第1の出力量110と第1の磁界センサ手段101の第2の出力量120との間の不均衡よりも大きい。したがって同一の磁界14が隣接する場合には、第1の磁界センサ手段101と第2の磁界センサ手段201及び第3の磁界センサ手段301とを合わせて構成された装置の感度は、第1の磁界センサ手段101だけの感度よりも大きい。
【0021】
すなわち第1の磁界センサ手段101を基礎としてさらに磁界センサ手段201、301、401、501を付け加えることによって、磁界センサ手段をカスケードにする本発明の可能性が生じる。そのようにしてカスケードにする際には、第1の磁界センサ手段101はそれだけでいわばカスケードの第1の段を表し、第2の磁界センサ手段201及び第3の磁界センサ手段301はカスケードの第2の段を表し、第1の磁界センサ手段101と第2の磁界センサ手段201及び第3の磁界センサ手段301とを合わせて2段カスケード70を形成する。相応に全部で5つの磁界センサ手段101、201、301、401、501は磁界センサ手段の3段カスケード80を表す。本発明によれば、任意の個数のカスケード段を設けることができる。便宜上例示的に、最初の3つのカスケード段のみが図示されている。
【0022】
カスケード段の個数によって、要求に応じて本発明の装置の種々の感度を表すことができる。横型磁界センサ手段101、201、301、401、501の直列接続をモノリシックに、すなわち1つのチップ上で実現することができる。LMTカスケードチップは例えば、磁界センサ手段カスケードに関して非常に大きな測定領域をカバーすることができ、この測定領域に対しては通常の従来技術によれば異なるセンサ素子を使用しなければならない。異なる感度領域をカバーする異なるセンサ素子を用いるそのような装置では、これら個々のセンサをそれぞれ例えば評価ICを介して制御することによって異なる測定領域に適合させなければならない。このことは例えば、評価すべき信号を種々に増幅させることによって行われることになる。しかしながらこれによって信号ノイズ比は改善されないであろう。本発明によれば、本発明によって提案される磁界センサ手段のカスケード接続は、各測定強度においてセンサのそれぞれ適切な感度領域を判定及び評価することができるという利点を有する。
【0023】
本発明によれば、複数の磁界センサ手段ないし複数のLMT構成部材のカスケードは、本発明の装置の測定感度を高めるために使用される。磁界14の作用は以下のことにより強められる。すなわち、磁界14によって変化されたLMT素子の出力電流はそれぞれ次のLMT素子のための入力電流として使用され、したがって新たに磁界作用の影響を受けることによって高められる。磁界センサ手段のn重カスケードでは、測定感度ηがカスケードの磁界センサ手段の最後の2つのカスケード素子の電流差から以下のように計算される。
【0024】
【数1】
【0025】
カスケードによって得られる感度の上昇を最良に、n重カスケード(ηn)と個々の素子(η1)の感度との比として表すことができる
【0026】
【数2】
【0027】
理想的にα(0)を0.50と立てた場合には、次式が生じる。
【0028】
【数3】
【0029】
小さい磁界、すなわちαがほぼ0.50と等しい磁界に関して、感度はカスケード段の個数と共に線形に上昇する。磁界センサ手段を直列接続すればするほど、ないし磁界14が大きくなればなるほど、感度ηnは急速に上昇する。カスケード接続の欠点として、2段以上のカスケードに対しては測定信号と磁界との間の線形の関係に損失が生じる。しかしながら非線形性を、一方では測定信号の評価の際に考慮することができ、他方では非線形性はαが0.50強、すなわち大きい磁界に対して偏差したときに初めて顕著となる。しかしながら本発明によれば、小さい場に対する感度の上昇を達成し、カスケード接続は、例えばαがほぼ0.50と等しい領域において使用されることが特に本発明の課題である。この領域においては磁界センサ手段の本発明のカスケード回路は線形の特性を有し、何故ならばα=0.50としてηn=n*η1の関係が生じ、感度はカスケード段の個数nと共に線形に増加する。
【0030】
本発明のカスケード回路を個々のLMT素子を用いても、1つのチップ上で個々のLMT節を相応に結合することによっても実現することができる。制御を例えばASICによって行うことができる。測定信号を種々のカスケード段において取り出すことも可能であり、感度の要求に応じて評価すべきカスケードの階層を選択することができる。さらに異なるカスケード段のLMT動作点を、例えばそれぞれのベース電流を選択することによって、相互に依存せずに調整することができ、これによって場合によってはオフセット作用または温度作用を補償することができる。原則的に種々の素子の各動作点を別個に調節される可能性によって、本発明の装置を殊にフレキシブルに様々な制御ないし評価構想と組み合わせることができる。
【0031】
直列接続するために、出力量としてのコレクタ電流及び入力量としてのエミッタ電流を使用できるだけでなく、連続する素子の出力側としての2つのエミッタ及び入力側としての1つのコレクタも使用することができる。連続する素子に対するベース入力側としての出力電流を使用する第3の可能性は、それどころか感度をより一層高めることを約束する。
【0032】
典型的にはLMT素子の縁の長さは、1つのチップ上では現在約50から100μmである。したがってそのような素子を、LMT素子がブロック毎に隣接して配置されるか、またはチップ上の別の装置に配置されることによって、カスケードにすることは容易に達成できる。ここでは、チップ上の種々のLMT素子の場所における測定すべき磁界14がほぼ等しい、すなわち磁界14が測定に使用されるチップ領域にわたり均一であるとする。このことはセンサ素子が前述のように調節される場合には、十分に妥当性のある仮定である。
【図面の簡単な説明】
【図1】
横型のマグネットトランジスタによる磁界センサ手段である。
【図2】
磁界センサ手段の概略図である。
【図3】
複数の磁界センサ手段の本発明による装置である。
従来技術
磁界センサの使用領域は、例えば自動車の領域においてますます増加している。磁界測定を例えば、無接触に、損失が少なくまた電位に依存せずに電流を測定するために使用することができる。例えばジェネレータ及び電気的な駆動部の電気的な動作パラメータを検出する。一般にミリアンペアからキロアンペアの範囲の電流が測定されなければならず、このことは5から6のオーダの測定範囲を必要とする。
【0002】
今日における従来技術では、例えば導線からの磁界を、例えばホールセンサ、バイポーラマグネットトランジスタ、磁気抵抗性の抵抗、横型マグネットFET構造などのような磁界センサによって測定することができる。殊に簡単な構成部材はいわゆる横型マグネットトランジスタであり、その機能は磁界によって生じた2つのバイポーラトランジスタ間の非対称的な電流の分配に基づく。
【0003】
ミリアンペア範囲の電流に対してはそのような構成部材自体は、典型的にはμT範囲にある僅かな磁界のために感度が限界となる。したがって従来技術では小さな磁界はいわゆる磁束収束によって増幅され、この際それぞれの導線の適切な形態によってまたは高透過性材料からなる磁気回路によって、磁界センサのある場所における磁界をより強くすることができる。
【0004】
発明の利点
磁界をセンシングするための本発明の装置、本発明の磁界測定器及び本発明の電流測定器は、これに対して磁束を収束する補助手段を省略することができるという利点を有し、このことはコストを節約し、必要とされる構造空間を低減する。このことは本発明の装置の感度が高められることによって実現される。ここで測定信号と測定すべき磁界との間の線形の関係は十分に保たれる。
【0005】
従属請求に記載された措置によって、独立請求項に記載されている装置、磁界測定器及び電流測定器の有利な実施形態及び改善実施形態が実現される。
【0006】
殊に有利には第4の磁界センサ手段及び第5の磁界センサ手段が設けられており、第2の磁界センサ手段の出力量は第4の磁界センサ手段の入力量に相応し、第3の磁界センサ手段の出力量は第5の磁界センサ手段の入力量に相応する。このことにより、要求に応じて本発明のカスケード段を変化することによって、磁界センサ手段の直列接続による種々の感度を表すことができる。ここで種々の磁界センサ手段が1つのチップ上で実現されることは殊に有利である。
【0007】
さらに第1の磁界センサ手段は第1の横型マグネットトランジスタであり、第2の磁界センサ手段は第2の横型マグネットトランジスタであり、第3の磁界センサ手段は第3の横型マグネットトランジスタである。これによって本発明によれば、LMT(横型マグネットトランジスタ)センサの感度を、複数のそのようなLMT構成部材を適当に直列接続することにより高めることができる。LMT素子の出力電流、すなわち本発明によれば例えば2つのコレクタ電流のうちの一方のコレクタ電流を別のLMT素子のための入力電流として、すなわち本発明によれば例えばエミッタ電流として使用することによって、LMTにおける磁界の電流分配への比対称的な作用を何度も使用することができる。ここで有利には、LMTセンサ自体は既に高感度であり、したがってここで既述する最適化のための良好な基礎となる。択一的に前述したように感度を上昇させることを、類似の原理に応じて動作する他の全ての構成部材に使用することもできる。すなわちこれらの構成部材では磁界によって2つの出力量の値が変化される。
【0008】
さらには第1の出力量は第1のコレクタ電流であり、第2の出力量は第2のコレクタ電流であり、第1の入力量は第2の横型マグネットトランジスタのエミッタ電流であり、第2の入力量は第3の横型マグネットトランジスタのエミッタ電流であることは有利である。このことにより有利には感度を高めることができ、この際小さい磁界に対する磁界と測定信号との間の関係はそれにもかかわらず線形である。
【0009】
図面
本発明の実施例を図面に示し、以下詳細に説明する。ここで図1は、横型マグネットトランジスタの方式の磁界センサ手段である。図2は、磁界センサ手段の概略図である。図3は、複数の磁界センサの本発明による装置である。
【0010】
実施例の説明
図1には、横型マグネットトランジスタを基礎とする磁界センサ手段1が図示されている。ここで重要な特徴は1つの入力量と2つの出力量が存在することであり、磁界センサ手段1の領域内に磁界14が存在しない場合にはこれらの出力量の値は実質的に等しく、また磁界14が存在する場合には第1の出力量12と第2の出力量13との間には非対称性が存在する。この基本的な特性を有する各磁界センサ手段に、複数の磁界センサ手段の本発明の装置を使用することができる。
【0011】
磁界センサ手段1の例として、図1には横型マグネットトランジスタ1、略してLMT1が図示されている。LMT1は、負にドーピングされている第1の半導体基板層5及び正にドーピングされている第2の半導体基板層6を有する。第1の半導体基板層5の下方には、すなわち第2の半導体基板6との接触側と反対側には、ボンディングのための例えば第1の金属化部層7が設けられている。第1の金属化部層7はLMT1の垂直コレクタを形成する。第2の半導体基板層6内には半導体基板領域8が埋め込まれており、この半導体基板層8は例えば負にドーピングされている。さらに第1の半導体基板領域8に隣接して第2の半導体基板領域9及び第3の半導体基板領域10が第2の半導体基板層6に埋め込まれており、第1の半導体基板領域8は第2の半導体基板領域9と第3の半導体基板領域10との間に位置する。第2及び第3の半導体基板領域9及び10は、第1の半導体基板領域と同様にドーピングされている。第1の半導体基板領域8の上方には、LMT1のエミッタ接触部を形成する第1の金属ボンディング20が配置されている。第2の半導体基板領域9の上方には、LMT1の第1の横型コレクタを形成する第2の金属ボンディング30が形成されている。第3の半導体基板領域10の上方には、LMT1の第2の横型コレクタを形成する第3の金属ボンディング40が設けられている。第2の金属ボンディング30の隣には、第1の金属ボンディング20とは反対側に第4の金属ボンディング50があり、この第4の金属ボンディング50はLMT1の第1のベース端子を形成する。第3の金属ボンディング40の隣には、第1の金属ボンディング20とは反対側に第5の金属ボンディング60があり、この第5の金属ボンディング60はLMT1の第2のベース端子を形成する。
【0012】
LMT1では電流が垂直方向にエミッタ領域8から、すなわち第1の半導体基板領域8から下方に向かって流れる。第1の電流は図1においては参照記号11でもって表されている。第1の電流11は、エミッタ端子を介して供給されるLMT1の入力量に相応する。動作時にはコレクタ端子30、40は同じ電位にあり、エミッタ領域8から第1のコレクタ領域9、すなわち第1の半導体基板領域9への第2の電流12が生じ、さらにエミッタ領域8から第2のコレクタ領域10、すなわち第2の半導体基板領域10への第3の電流13が生じる。本発明によれば第1の電流11は、第2及び第3の電流12、13へと完全に分割されるか、第1の電流の一部は垂直コレクタ7へと流れる。前者の場合は、例えば裏側コレクタ7とも称される垂直コレクタ7が設けられていない場合に関連する。後者の場合は、第1の電流11が完全には第2及び第3の電流へと分割されずに、第1の電流11の一部が裏側コレクタ7へと流れる。磁界14が存在しない場合、すなわち磁界14が無くなった場合には、第2の電流と第3の電流は理想的には、すなわちオフセットは存在せず、ないしはオフセットが十分に精確に調節されている場合には等しい大きさである。図示した平面に垂直方向に延びる成分を有する磁界14が存在する場合には、第1の電流12及び第2の電流13に関する対称性が崩れる。すなわち電流の一方が大きくなる。
【0013】
磁界14が無ければ、理想的には2つのコレクタ30、40を通って同じ電流が流れる。チップ表面の側方に磁界14が隣接することによって、電荷はローレンツ力に基づき磁界方向に応じて左または右へと偏る。図面においては、この図面の平面に垂直に延びている磁界14によって、第1のコレクタから比較的強い電流が流れるので、第2の電流は第3の電流よりも大きく、したがって2つの電流12、13は相対的に不均衡となる。磁界14によって誘導された第1のコレクタ30と第2のコレクタ40との間の電流の差は測定信号である。所定の磁界強度においてこの差が大きくなればなるほど、装置の感度は一層大きくなる。
【0014】
図2にはLMT1が概略的に図示されており、ここでは単に入力電流11に相応し、参照記号100で表された入力量と第1の出力量110と第2の出力量120とが図示されている。
【0015】
図2には図1に図示したLMT1の概略的な等価回路図が示されている。第1の出力量110は例えば第1の電流12、すなわちLMT1の第1のコレクタ電流に相応する。第2の出力量120は例えば第2の電流13、すなわちLMT1の第2のコレクタ電流に相応する。入力量100は例えば第1の電流11、すなわちLMT1のエミッタ電流に相応する。LMT原理には絶対的に必要ではない垂直コレクタ端子7への基板電流は示していない。磁界を測定するために、場がコレクタ電流、例えば出力量110、120の可能な限り大きな変化を誘導することが重要である。磁界が無い場合に流れる出力量110、120に相対的にこの変化が大きくなればなるほど、小さな磁界14もより良く測定することができる。したがってLMT素子の感度を比η=(磁界14が隣接する場合の出力量110、120の差の絶対値)/(磁界14がない場合の出力量110、120の和の絶対値)として規定することができる。入力量100、すなわち例えばエミッタ20における入力電流が損失なく2つの出力量110、120に分割されたとすると、個々のセンサ素子には以下のことが当てはまる。すなわち
第1の出力量110=α*入力量100
第2の出力量120=(1−α)*入力量100
ここで、磁界が無く理想的に対称である場合での非対称係数αは、α=0.50である。
【0016】
ここでαは磁界に依存しており、この磁界はまた文字「B」として表される。磁界によって変化する非対称係数αは、α(B)と表される。磁界のない出力状態ではα=α(0)である。
【0017】
参照記号で表していない、垂直コレクタ端子7への第3の基板コレクタ電流が存在する場合には、出力量すなわち横方向の電流110、120の成分が第3の垂直電流通路の低減に応じて減少する。すなわち入力量100としてエミッタ電流11ではなく、垂直コレクタ7へと流れる基板電流を差し引いたエミッタ電流11が使用される。個々のLMT素子1に対しては測定感度ηが生じる。ここでηはα(0)=0.50として、η=|2*α(B)−1|である。
【0018】
磁界14が存在する場合にαは、LMT1の表面に並行に延在する磁界14の成分を有する場の方向に応じて線形に増加ないし減少する。
【0019】
図3には、磁界センサ手段の本発明による装置が図示されている。全部で、第1の磁界センサ手段101、第2の磁界センサ手段201、第3の磁界センサ手段301、第4の磁界センサ手段401及び第5の磁界センサ手段501が図示されている。第1の磁界センサ手段101の入力量は参照記号100で表されている。出力量として第1の磁界センサ手段101は、第1の出力量110及び第2の出力量120を有する。第2の磁界センサ手段201は参照記号200で表された入力量を有し、また出力量として第2の磁界センサ手段201の第1の出力量210及び第2の出力量220を有する。相応に第3の磁界センサ手段301は入力量を有し、この入力量は参照記号300で表されている。出力量として第3の磁界センサ手段301は第1の出力量310及び第2の出力量320を有する。第4の磁界センサ手段は参照記号400で表された入力量と、参照記号410で表された第1の出力量と、参照記号420で表された第2の出力量とを有する。第5の磁界センサ手段501は参照記号500で表された入力量と、参照記号510で表された第1の出力量と、参照記号520で表された第2の出力量とを有する。
【0020】
本発明によれば、第1の磁界センサ手段101の第1の出力量110は、第2の磁界センサ手段201の入力量200として使用され、第1の磁界センサ手段101の第2の出力量120は第3の磁界センサ手段301の入力量300として使用される。第1、第2及び第3の磁界センサ手段101、201及び301が隣接する磁界14に依存して、出力量110及び120ないし210及び220ないし310及び320の実質的に同じ相対的な不均衡を惹起する場合には、第2の磁界センサ手段の第1の出力量210と第3の磁界センサ手段301の第2の出力量320との間の相対的な不均衡は、第1の磁界センサ手段101の第1の出力量110と第1の磁界センサ手段101の第2の出力量120との間の不均衡よりも大きい。したがって同一の磁界14が隣接する場合には、第1の磁界センサ手段101と第2の磁界センサ手段201及び第3の磁界センサ手段301とを合わせて構成された装置の感度は、第1の磁界センサ手段101だけの感度よりも大きい。
【0021】
すなわち第1の磁界センサ手段101を基礎としてさらに磁界センサ手段201、301、401、501を付け加えることによって、磁界センサ手段をカスケードにする本発明の可能性が生じる。そのようにしてカスケードにする際には、第1の磁界センサ手段101はそれだけでいわばカスケードの第1の段を表し、第2の磁界センサ手段201及び第3の磁界センサ手段301はカスケードの第2の段を表し、第1の磁界センサ手段101と第2の磁界センサ手段201及び第3の磁界センサ手段301とを合わせて2段カスケード70を形成する。相応に全部で5つの磁界センサ手段101、201、301、401、501は磁界センサ手段の3段カスケード80を表す。本発明によれば、任意の個数のカスケード段を設けることができる。便宜上例示的に、最初の3つのカスケード段のみが図示されている。
【0022】
カスケード段の個数によって、要求に応じて本発明の装置の種々の感度を表すことができる。横型磁界センサ手段101、201、301、401、501の直列接続をモノリシックに、すなわち1つのチップ上で実現することができる。LMTカスケードチップは例えば、磁界センサ手段カスケードに関して非常に大きな測定領域をカバーすることができ、この測定領域に対しては通常の従来技術によれば異なるセンサ素子を使用しなければならない。異なる感度領域をカバーする異なるセンサ素子を用いるそのような装置では、これら個々のセンサをそれぞれ例えば評価ICを介して制御することによって異なる測定領域に適合させなければならない。このことは例えば、評価すべき信号を種々に増幅させることによって行われることになる。しかしながらこれによって信号ノイズ比は改善されないであろう。本発明によれば、本発明によって提案される磁界センサ手段のカスケード接続は、各測定強度においてセンサのそれぞれ適切な感度領域を判定及び評価することができるという利点を有する。
【0023】
本発明によれば、複数の磁界センサ手段ないし複数のLMT構成部材のカスケードは、本発明の装置の測定感度を高めるために使用される。磁界14の作用は以下のことにより強められる。すなわち、磁界14によって変化されたLMT素子の出力電流はそれぞれ次のLMT素子のための入力電流として使用され、したがって新たに磁界作用の影響を受けることによって高められる。磁界センサ手段のn重カスケードでは、測定感度ηがカスケードの磁界センサ手段の最後の2つのカスケード素子の電流差から以下のように計算される。
【0024】
【数1】
【0025】
カスケードによって得られる感度の上昇を最良に、n重カスケード(ηn)と個々の素子(η1)の感度との比として表すことができる
【0026】
【数2】
【0027】
理想的にα(0)を0.50と立てた場合には、次式が生じる。
【0028】
【数3】
【0029】
小さい磁界、すなわちαがほぼ0.50と等しい磁界に関して、感度はカスケード段の個数と共に線形に上昇する。磁界センサ手段を直列接続すればするほど、ないし磁界14が大きくなればなるほど、感度ηnは急速に上昇する。カスケード接続の欠点として、2段以上のカスケードに対しては測定信号と磁界との間の線形の関係に損失が生じる。しかしながら非線形性を、一方では測定信号の評価の際に考慮することができ、他方では非線形性はαが0.50強、すなわち大きい磁界に対して偏差したときに初めて顕著となる。しかしながら本発明によれば、小さい場に対する感度の上昇を達成し、カスケード接続は、例えばαがほぼ0.50と等しい領域において使用されることが特に本発明の課題である。この領域においては磁界センサ手段の本発明のカスケード回路は線形の特性を有し、何故ならばα=0.50としてηn=n*η1の関係が生じ、感度はカスケード段の個数nと共に線形に増加する。
【0030】
本発明のカスケード回路を個々のLMT素子を用いても、1つのチップ上で個々のLMT節を相応に結合することによっても実現することができる。制御を例えばASICによって行うことができる。測定信号を種々のカスケード段において取り出すことも可能であり、感度の要求に応じて評価すべきカスケードの階層を選択することができる。さらに異なるカスケード段のLMT動作点を、例えばそれぞれのベース電流を選択することによって、相互に依存せずに調整することができ、これによって場合によってはオフセット作用または温度作用を補償することができる。原則的に種々の素子の各動作点を別個に調節される可能性によって、本発明の装置を殊にフレキシブルに様々な制御ないし評価構想と組み合わせることができる。
【0031】
直列接続するために、出力量としてのコレクタ電流及び入力量としてのエミッタ電流を使用できるだけでなく、連続する素子の出力側としての2つのエミッタ及び入力側としての1つのコレクタも使用することができる。連続する素子に対するベース入力側としての出力電流を使用する第3の可能性は、それどころか感度をより一層高めることを約束する。
【0032】
典型的にはLMT素子の縁の長さは、1つのチップ上では現在約50から100μmである。したがってそのような素子を、LMT素子がブロック毎に隣接して配置されるか、またはチップ上の別の装置に配置されることによって、カスケードにすることは容易に達成できる。ここでは、チップ上の種々のLMT素子の場所における測定すべき磁界14がほぼ等しい、すなわち磁界14が測定に使用されるチップ領域にわたり均一であるとする。このことはセンサ素子が前述のように調節される場合には、十分に妥当性のある仮定である。
【図面の簡単な説明】
【図1】
横型のマグネットトランジスタによる磁界センサ手段である。
【図2】
磁界センサ手段の概略図である。
【図3】
複数の磁界センサ手段の本発明による装置である。
Claims (9)
- 第1の磁界センサ手段(1、101)を用いて磁界(14)をセンシングする装置において、
少なくとも1つの第2の磁界センサ手段(201)と1つの第3の磁界センサ手段(301)とが設けられており、
前記第1の磁界センサ手段(101)の第1の出力量(110)は第1の入力量(200)であり、
前記第1の磁界センサ手段(101)の第2の出力量(120)は第2の入力量(300)であり、
前記第1の入力量(200)は前記第2の磁界センサ手段(201)に対する入力量(201)であり、
前記第2の入力量(300)は第3の磁界センサ手段(301)に対する入力量であることを特徴とする、磁界(14)をセンシングする装置。 - 第4の磁界センサ手段(401)及び第5の磁界センサ手段(501)が設けられており、
前記第2の磁界センサ手段(201)の出力量(210)は、該第4の磁界センサ手段(401)の入力量に相応し、
前記第3の磁界センサ手段(301)の出力量(320)は、該第5の磁界センサ手段(501)の入力量に相応する、請求項1記載の装置。 - 前記第1の磁界センサ手段(101)は第1の横型マグネットトランジスタ(101)であり、
前記第2の磁界センサ手段(201)は第2の横型マグネットトランジスタ(201)であり、
前記第3の磁界センサ手段(301)は第3の横型マグネットトランジスタ(301)である、請求項1または2記載の装置。 - 前記第1の出力量(110)は第1のコレクタ電流であり、
前記第2の出力量(120)は第2のコレクタ電流であり、前記第1の入力量(200)は前記第2の横型マグネットトランジスタ(201)のエミッタ電流であり、
前記第2の入力量(300)は前記第3の横型マグネットトランジスタ(301)のエミッタ電流である、請求項3記載の装置。 - 前記第1の出力量(110)は第1のエミッタ電流または第1のエミッタ電圧であり、
前記第2の出力量(120)は第2のエミッタ電流または第2のエミッタ電圧であり、
前記第1の入力量(200)は前記第2の横型マグネットトランジスタ(201)のコレクタ電流またはコレクタ電圧であり、
前記第2の入力量(300)は前記第3の横型マグネットトランジスタ(301)のコレクタ電流またはコレクタ電圧である、請求項3記載の装置。 - 前記磁界センサ手段(101、201、301、401、501)はモノリシックに統合されて設けられている、請求項1から5のいずれか1項記載の装置。
- 評価回路が設けられており、該評価回路は前記磁界(14)に依存して前記第1の磁界センサ手段(101)の出力量(110、120)または前記第2の磁界センサ手段(201)の第1の出力量(210)及び前記第3の磁界センサ手段(301)の第2の出力量(320)を評価する、請求項1から6のいずれか1項記載の装置。
- 請求項1から7のいずれか1項記載の装置を備えることを特徴とする、磁界測定器。
- 請求項1から8のいずれか1項記載の装置を備えることを特徴とする、電流測定器。
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