JP2004514883A - 静電容量型測定デバイス - Google Patents

Abstract

本発明は、少なくとも一つの測定プローブ（１０）と、測定プローブ（１０）と参照要素（２０）との間に制御された電源電圧を順に加えるための手段（３０）と、測定プローブ（１０）上に蓄積された電気負荷を積分するための手段（５０）とを備える測定デバイスに係る。本発明によると、このデバイスは、更に、積分段（５０）の入力オフセットを訂正するための手段（６０）を備える。

Description

【０００１】
本発明はセンサの分野に係る。
【０００２】
より詳細には、本発明は、それぞれ、測定プローブと参照要素、例えば、参照プローブとを形成する２つの導電体間の誘電率（ｐｅｒｍｉｔｔｉｖｉｔｙ）の間接的な測定を利用する測定デバイスに係る。
【０００３】
図１に示されるような基本構造を有するデバイスがＰＣＴ特許出願公開明細書第００２５０９８号において説明されている。
【０００４】
このデバイスは、それぞれ、測定プローブ１０と参照プローブ２０とを構成する２つの導電体と、制御された振幅のＤＣ電圧を供給する能力を有する電源手段３０と、容量スイッチングシステム５３を備える積分器段（ｉｎｔｅｇｒａｔｏｒ ｓｔａｇｅ）５０と、制御された周波数にて、以下のセットの２つのシーケンスをサイクル的に定義する動作手段（ｏｐｅｒａｔｉｎｇ ｍｅａｎｓ）４０とを備える。
第一のシーケンスＴ１においては、電源手段３０は、測定プローブ１０に連結され、測定プローブ１０と参照プローブ２０との間に電場が加えられ、電荷が測定プローブ１０上に蓄積され、
第二のシーケンスＴ２においては、電源手段３０は測定プローブ１０から切り離され、測定プローブ１０は積分器段５０の総和点（ｓｕｍｍａｔｉｏｎ ｐｏｉｎｔ）に連結され、電荷が積分器段５０に転送され、積分器段５０の出力の所に測定プローブ１０と参照プローブ２０との間に存在する誘電率を表す信号が得られる。
【０００５】
より詳細には、ＰＣＴ特許出願公開明細書第００２５０９８号によると、積分器段５０は、増幅器５１と、この増幅器５１と帰還モードに配列された第一の積分コンデンサ（ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ ｃａｐａｃｉｔｏｒ）５２と、動作手段４０によって駆動される前述のシーケンスのテンポにて演算増幅器５１の出力と入力との間で切換えられる第二のコンデンサ５３とを備え、定常平衡状態（ｓｔｅａｄｙ ｂａｌａｎｃｅ ｓｔａｔｅ）において、演算増幅器５１の出力の所に、−Ｅ×Ｃｓ／Ｃ５３に等しい平衡電圧（ｂａｌａｎｃｅ ｖｏｌｔａｇｅ）が得られる。この関係式において、−Ｅは電源手段３０の端子間の電圧の振幅を表し、Ｃｓは、測定プローブ１０と参照要素との間に測定される静電容量の値を表し、Ｃ５３は、前記測定プローブ１０と第二のスイッチドコンデンサ５３との間に測定される静電容量の値を表す。
【０００６】
電源手段３０及び第二のコンデンサ５３のスイッチングは、時間基準（ｔｉｍｅ ｂａｓｅ）４１によって駆動されるインバータオン／オフスイッチ４２、４３によって行われる。
【０００７】
この公知のデバイスの動作の様式は、本質的には、以下の通りである。
【０００８】
当初、積分コンデンサＣ５２、スイッチングコンデンサＣ５３、及び測定プローブ１０と参照プローブ２０との間に形成されるコンデンサＣｓは、各々、完全に放電されている、つまり、
ＱＣ５２＝０
ＱＣ５３＝０
ＱＣｓ＝０
であるものと想定する。
【０００９】
第一のシーケンスにおいて、コンデンサＣｓがモジュール３０によって供給される電源電圧の下で充電される。ここでは、この電源電圧は−Ｅに等しいものと想定される。
【００１０】
第一のシーケンスＴ１の終端において、我々は、以下のような値を有する。
ＱＣｓ＝−Ｅ×Ｃｓ
ＱＣ５２＝０
ＱＣ５３＝０
【００１１】
第二のシーケンスＴ２において、この電荷がＣｓからＣ５２に転送される。
【００１２】
つまり、電荷が蓄積され、ＣｓとＣ５２が零なる仮想インピーダンスを有する演算増幅器５１の反転入力に連結され、
−Ｅ×Ｃｓ＝Ｖｓ２×Ｃ５２となり、第二のシーケンスの際の演算増幅器５１の出力電圧はＶｓ２となる。
【００１３】
次のシーケンスＴ１において、２つのコンデンサＣ５２とＣ５３は並列にされる。すると、我々は、以下を得る。
Ｖｓ≒Ｖｓ２×Ｃ５２／（Ｃ５２＋Ｃ５３）
＝ＱＣ５３／Ｃ５３＝ＱＣ５２／Ｃ５２、つまり
Ｑ５３≒［Ｖｓ２×Ｃ５２／（Ｃ５２＋Ｃ５３）］×Ｃ５３
−［Ｖｓ２／（１＋Ｃ５３／Ｃ５２）×Ｃ５３
つまり、Ｃ５２≒ｎ×Ｃ５３＞＞Ｃ５５である場合は、
ＱＣ５３はほぼ、Ｖｓ２×Ｃ５３となる。
【００１４】
次のシーケンスＴ２において、Ｃ５３内に含まれる電荷は、Ｃｓの電荷の逆となり、Ｃｓの電荷の残りの部分がＣ５２等に転送される。
【００１５】
演算増幅器５１の出力の所の出力電圧Ｖｓは、次第に増加し、最終的にはＶｓ　ｂａｌａｎｃｅ≒ＱＣ５３／Ｃ５３なる平衡値に達し、この結果、
ＱＣ５３≒Ｖｓ　ｂａｌａｎｃｅ×Ｃ５３＝−Ｅ×Ｃｓとなる。
【００１６】
こうして、ｘ回の反復の後に、このデバイスは、総和点の所で平衡状態に達し、Ｃ５３の電荷ＱＣ５３によって、プローブの電荷Ｃｓが補償される。
【００１７】
静電容量Ｃｓの変動が検出されると直ちに、プローブの電荷Ｃｓの追加（或いは損失）によって、コンデンサＣ５２が充電（或いは放電）される。
【００１８】
こうして、定常状態においては、スイッチングコンデンサＣ５３によってプローブの電荷Ｃｓの変動が平衡化される。
【００１９】
本発明の目的は、公知のデバイスのそれよりも優れた性能を示す新規のデバイスを提唱することにある。
【００２０】
より具体的には、本発明の目的は、公知のデバイスにおいて見られる、温度、湿度、或いは容量結合によって生成される低周波の電気妨害等に起因するドリフトを補償することにある。
【００２１】
この目的が、本発明によると、少なくとも一つの測定プローブを含む少なくとも一つの測定ヘッドと、この測定プローブと参照要素との間に制御された電源電圧を順に供給する能力を有する手段と、測定プローブ上に蓄積された電荷を積分する手段とを備えるデバイスであって、更に、積分器段の入力のオフセット訂正を行う能力を有する手段を備えることを特徴とするデバイスによって達成される。
【００２２】
本発明のもう一つの好ましい態様においては、このデバイスは、更に、微分器段（ｄｉｆｆｅｒｅｎｔｉａｔｏｒ ｓｔａｇｅ）を備え、これは、自身の入力の所に、オフセット訂正（電圧）は同一とされ、様々な異なる制御された電源電圧が加えたとき、測定ヘッドから得られる出力を表す２つの信号を受信する。
【００２３】
本発明のもう一つの好ましい態様においては、このデバイスは、２つの測定ヘッドを備え、微分器段に加えられる信号は、それぞれ、これら２つの測定ヘッドの積分器段の出力から得られる。
【００２４】
本発明のもう一つの好ましい態様においては、それぞれ、上述の２つの測定ヘッドに属する２つの測定プローブは、ピッタリと近接して、同一の媒体内に配置される。
【００２５】
本発明のもう一つの好ましい態様においては、オプションとして、このデバイスは、単一の測定ヘッドと、あるオフセット訂正（電圧）とある与えられた制御された電源電圧を加えたとき測定ヘッドから得られる出力を格納する能力を有する手段とを備え、微分器段は、こうして格納された信号を、オフセット訂正（電圧）は同一とされ、ある異なる制御された電源電圧が加えられたときに測定ヘッドの出力の所に得られる電圧と比較する。
【００２６】
本発明のもう一つの好ましい態様においては、積分器段のオフセット訂正は、可変電圧（源）から給電されるコンデンサを備える回路の助けを得て遂行される。
【００２７】
本発明のもう一つの好ましい態様においては、このデバイスは、更に、オフセット訂正を積分器段からの出力信号に従属させる能力を有する手段を備える。
【００２８】
もう一つの態様においては、本発明は、少なくとも一つの測定プローブを含む少なくとも一つの測定ヘッドと、測定プローブと参照要素との間に制御された電源電圧をシーケンス順に加える能力を有する手段と、測定プローブ上に蓄積された電荷を積分する能力を有する手段とを備えるデバイスに係り、このデバイスは、複数の異なるプローブを順に積分器段の入力に連結する能力を有する手段を備えることを特徴とする。
【００２９】
もう一つの態様においては、本発明は、少なくとも一つの測定プローブを含む少なくとも一つの測定ヘッドと、測定プローブと参照要素との間に制御された電源電圧をシーケンス順に加える能力を有する手段と、測定プローブ（１０）上に蓄積された電荷を積分する能力を有する手段（５０）とを備えるデバイスに係り、電源手段が一連の制御された可変電圧を測定プローブに加えるのに適し、このデバイスが更に積分器段の出力の所の信号の傾向を加えられた電源電圧の関数として分析するための手段を備えることを特徴とする。
【００３０】
本発明の他の特徴、目的及び長所が、以下の詳細な説明を、単に一例として与えられ、制限することは意図しない添付の図面を参照しながら読むことで、一層明白になるものである。
【００３１】
【発明の実施の形態】
図２は、参照要素２０と協力して静電容量（ｃａｐａｃｉｔａｎｃｅ）Ｃｓを測定する測定プローブ１０と、電源手段（ｓｕｐｐｌｙ ｍｅａｎｓ）３０と、電荷積分器段（ｅｌｅｃｔｒｉｃ ｃｈａｒｇｅ ｉｎｔｅｇｒａｔｏｒ ｓｔａｇｅ）５０と、時間基準（ｔｉｍｅ ｂａｓｅ）４１と、を備える本発明による「測定ヘッド（ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ ｈｅａｄ）」が追加された基本回路を示す。
【００３２】
本発明によると、この参照要素２０は、参照プローブ、或いは、例えば、地球、或いは自動車のシャシ等の付近の金属物等の他の物体から構成される。
【００３３】
電源手段３０は、ここでは、電位インバータ段（ｐｏｔｅｎｔｉａｌ−ｉｎｖｅｒｔｅｒ ｓｔａｇｅ）から成る。この段は、演算増幅器３１を備え、この非反転入力は接地される。演算増幅器３１の反転入力は、抵抗Ｒ３２を介して電源電圧Ｖｆ＝＋Ｅを受ける。好ましくは、抵抗Ｒ３２と同一値の帰還抵抗Ｒ３３が演算増幅器ＯＰ３１の反転入力と出力との間に配置される。
【００３４】
演算増幅器ＯＰ３１の出力は、時間基準４１にて駆動されるオン／オフスイッチ４２０を介して測定プローブ１０にシーケンス順に加えられる。
【００３５】
参照プローブ２０は接地される。
【００３６】
測定プローブ１０は、更に、時間基準４１にてオン／オフスイッチ４２０とは反対に駆動される第二のオン／オフスイッチ４２２を介して積分器段５０に属する演算増幅器５１の反転入力にもシーケンス順に連結される。
【００３７】
これら２つのオン／オフスイッチ４２０、４２２は、図１に簡略的に示される反転オン／オフスイッチ４２から構成される。
【００３８】
これら二つのオン／オフスイッチ４２０、４２２は、図２においてＣＬＫ１及びＣＬＫ２として示される２つの位相の反対の信号によって駆動される。
【００３９】
演算増幅器５０の非反転入力は接地される。
【００４０】
演算増幅器ＯＰ５０の反転入力と出力との間には積分コンデンサ（ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ ｃａｐａｃｉｔｏｒ）Ｃ５２が帰還モードにて配置される。
【００４１】
スイッチドコンデンサ５３の第一の電極は接地される。
【００４２】
スイッチドコンデンサ５３の第二の電極は、時間基準４１にて生成される信号ＣＬＫ１とＣＬＫ２によって位相を逆に駆動される２つのオン／オフスイッチ４３０、４３２にて、演算増幅器ＯＰ５１２の出力と、演算増幅器ＯＰ５１２の反転入力に、シーケンス順に連結される。
【００４３】
これら２つのオン／オフスイッチ４３０、４３２は、図１に簡略的に示されるオン／オフスイッチ４３から構成される。
【００４４】
時間基準４１は、こうして、以下の２つの基準期間Ｔ１、Ｔ２から成るシーケンスを定義する。
期間Ｔ１においては、オン／オフスイッチ４２０、４３０は閉じられ、他方、オン／オフスイッチ４２２、４３２は開かれる。この第一の期間においては、測定プローブ１０は、段３１から供給される電源電圧−Ｅに充電され、他方、スイッチングコンデンサ５３は積分器段の出力に連結される。
【００４５】
次に、時間基準４１は、第二の期間Ｔ２を定義し、この第二の期間Ｔ２においては、オン／オフスイッチ４２２、４３２は閉じられ、他方、オン／オフスイッチ４２０、４３０は開かれる。この第二の期間においては、測定プローブ１０は、演算増幅器ＯＰ５１の反転入力に連結され、他方、スイッチングコンデンサ５３は積分器段５０の入力に連結される。
【００４６】
図２に示される基本デバイスは、更に、積分器段５０の入力のオフセット訂正を行う能力を有する手段６０を備える。
【００４７】
これらオフセット訂正手段６０は、積分器段５０の入力に加える訂正電圧（ｃｏｒｒｅｃｔｉｏｎ ｖｏｌｔａｇｅ）を分析適するのに適するが、この訂正電圧は、積分器段の入力の所に、例えば、温度や、湿度や、容量結合によって生成される低周波の電気的妨害に起因して生成されるオフセット電圧（ｏｆｆｓｅｔ ｖｏｌｔａｇｅ）を補償するために用いられる。
【００４８】
図２に示すこの特定の実現においては、このオフセット訂正手段６０は、演算増幅器６４と、これと関連するコンデンサ６２を備える。
【００４９】
演算増幅器６４は、フォロアモードに配列される。演算増幅器６４は、その非反転入力には、可変電源電圧Ｖ０を受ける。演算増幅器６４の反転入力は、この出力と帰還モードに構成される。演算増幅器ＯＰ６４の出力は、クロックＣＬＫ１のテンポにて、オン／オフスイッチ６６を介してコンデンサ６２にシーケンス順に連結される。更に、コンデンサ６２自身は、時間基準４１によって生成されるクロックＣＬＫ２のテンポにて、第二のオン／オフスイッチ６８を介して、積分器段５０の入力、つまり、演算増幅器ＯＰ５１の反転入力にシーケンス順に連結される。
【００５０】
図２に示されるデバイスは、こうして、積分器段５０の演算増幅器５１の出力の所に出力信号Ｖｓ≒（Ｖｆ×Ｃｓ／Ｃｃ）−（Ｖｏ×Ｃｏ／Ｃｃ）を供給する。ここで、
Ｖｆは電源インバータ段３０の入力の所での電源電圧を表し、
Ｖｏはオフセット訂正段６０の入力の所での電源電圧を表し、
Ｃｓは測定プローブ１０と参照プローブ２０との間に測定される静電容量を表し、
Ｃｏはコンデンサ６２の静電容量を表し、
Ｃｃはスイッチングコンデンサ５３の静電容量を表す。
【００５１】
図２に示されるオフセット訂正手段６０は、Ｑｏ≒Ｖｏ×Ｃｏに等しい量の電荷を増幅器５１の総和点に、コンデンサ５３のスイッチングと同期して注入する能力を有する。
【００５２】
電圧Ｖｏを適当なやり方、例えば、デジタルアナログ変換器にて調節することで、出力電圧Ｖｓを実質的に零にすることが可能となる。
【００５３】
こうして形成されたデバイスを用いると、測定プローブ１０と、参照プローブ２０との間に存在する静電容量Ｃｓの小さな変動を、プローブに大きなオフセットが存在する場合でも、積分器段５１を飽和させることなく、測定することが可能となる。より具体的には、本発明によると、測定プローブの静電容量Ｃｓは、２つの成分容量（ｅｌｅｍｅｎｔａｒｙ ｃａｐａｃｉｔａｎｃｅ）ＣｓｏとＣｍに分割される。ここで、
Ｃｓｏは、プローブの、接続ワイヤに起因し、通常、高い値を有し、時には数百ピコファラッドに達することもあるオフセットを表し、
Ｃｍは、プローブの、測定プローブ１０と参照プローブ２０との間の誘電率を測定する際に見られる、仮想容量（ｖｉｒｔｕａｌ ｃａｐａｃｉｔａｎｃｅ）の、通常、数百フェムトファラッド程度の変動を表す。
【００５４】
Ｃｓｏの値は、より具体的には、温度及び相対湿度の関数として変化する。Ｃｓｏの値はＣｍと較べて高いため、この値のドリフトが比ΔＣｓｏ／Ｃｃにおいて増幅され（過剰に大きくなり）、これがＣｍの変動のフルスケールより遥かに大きくなることがある。
【００５５】
入力段が飽和することに起因する測定の誤りを回避するために、本発明においては、前述のように、微分段（減算器）７０が用いられる。
【００５６】
この微分段（ｄｉｆｆｅｒｅｎｔｉａｌ ｓｔａｇｅ）は、自身の２つの入力の所に、測定ヘッドからの出力を表す、オフセット訂正は同一とされ、異なる制御された電源電圧が加えられたときの、２つの信号を受信する。
【００５７】
図３には、本発明によるこの微分段７０を備えるデバイスの一つの実施例が示される。
【００５８】
図３には、各々が上に説明の図２に示されるタイプの積分器段５０と関連するプローブ１０を備える、２つの測定ヘッドＴＥ１とＴＥ２が示される。各測定プローブ１０は、図２に示されるタイプの電源手段３０、及び図２に示されるタイプの各々のオフセット補償手段６０と関連する。
【００５９】
電源手段３０は、測定ヘッドＴＥ１若しくはＴＥ２の各測定プローブ１０と関連する参照要素２０との間に特定の制御された電圧Ｅｎを加えるように設計される。ヘッドＴＥ１若しくはＴＥ２の各参照要素は、特定の参照プローブから形成することも、両方のヘッドに共通なプローブから形成することも、或いは地球や自動車のシャシ等の付近の金属物から形成することもできる。更にもう一つのバリエーションにおいては、ある与えられた測定ヘッドの参照要素２０は、他方のヘッドの測定プローブ１０から形成される。より具体的には、一つの実現においては、測定ヘッドＴＥ１の参照要素２０は、参照ヘッドＴＥ２の測定プローブ１０から形成される。
【００６０】
微分段７０は、自身の入力の所に、２つの測定ヘッドＴＥ１、ＴＥ２からの出力信号Ｖｓ１とＶｓ１を受信する。
【００６１】
このデバイスは、全体としては、時間基準４１によって駆動される。
【００６２】
微分段７０の出力の所に得られる信号は、任意の適当な手段によって、例えば、標本保持デバイス７２とこれに続くアナログデジタル変換器７４によって、或いは、任意の適当な分析手段、例えば、マイクロコンピュータによって利用される。
【００６３】
図３には、Ｃｓｏ１とＣｓｏ２なる参照符号の下に、とりわけ接続ワイヤに起因し、測定ヘッドＴＥ１とＴＥ２の積分段５０の入力の所にオフセット電圧を生成する原因となる浮遊容量（ｓｔｒａｙ ｃａｐａｃｉｔａｎｃｅｓ）が示される。
【００６４】
図３には、更に、Ｐなる参照符号の下に、電気結合に起因し、各測定ヘッドＴＥ１とＴＥ２の入力の所に加えられる可能性のある電気的な妨害（ｄｉｓｔｕｒｂａｎｃｅｓ）も示される。
【００６５】
図３に示されるシーケンサ４１は、デバイスの、主として図４に示されるような２つの一連のサイクルＣ１、Ｃ２から構成されるサイクル的な動作を制御する。
【００６６】
オフセット訂正（量）を校正するための第一のサイクルＣ１においては：
このデバイスは、同一の入力電源電圧Ｖｆ≒Ｅ_０、好ましくは、小さな、例えば、１ボルトの電圧を、２つの測定ヘッドＴＥ１とＴＥ２に加える。
【００６７】
このサイクルＣ１において、コントローラ７４は、測定ヘッドＴＥ１のオフセット訂正電圧Ｖｏ１を、零に極めて近い、例えば、０．１ボルトの出力電圧Ｖｓ１が得られるように調節する。
【００６８】
この同一のサイクルＣ１において、コントローラ７４は、第二の測定ヘッドＴＥ２に加えられるオフセット訂正電圧Ｖｏ２を、零に極めて近い、例えば、０．１ボルトの出力電圧Ｖｓ２が得られるように調節する。
【００６９】
この第一のサイクルの際に、微分段７０は、零に極めて近く、参照として取られた電圧Ｖｓ．ｒｅｆに等しい出力電圧Ｖｓ＝Ｖｓ１−Ｖｓ２を供給する。
【００７０】
第二の続く（測定）サイクルＣ２においては、コントローラ７４は、測定ヘッドＴＥ１に、第一のサイクルの終端において定義されるのと同一のオフセット訂正電圧Ｖｏ１と、ある異なる電源電圧Ｖｆ＝Ｅ_１、例えば、５ボルトを加える。
【００７１】
この第二のサイクルＣ２においては、コントローラ７４は、参照測定ヘッドとして機能する第二の測定ヘッドＴＥ２に、同一のオフセット訂正電圧Ｖｏ２と、第一のサイクルＣ１の終端において定義されるのと同一の電源電圧Ｖｆ＝Ｅ_ｏを加える。
【００７２】
例えば、温度或いは相対湿度に起因してドリフトが発生する場合、これらは、２つの測定ヘッドＴＥ１とＴＥ２のプローブの所に出現する。これは、これらが近接して配置され、類似の周囲媒体の影響を受けるためである。微分段７０を用いて測定が差分的に行われ、この微分段の出力の所にＣｓｏ１とＣｓｏ２に起因するドリフトを含まない電圧Ｖｓ、つまり：
Ｖｓｎ≒Ｅ１（Ｃｓｏ１／Ｃｃ−Ｃｓｏ２／Ｃｃ）−（Ｃｏ／Ｃｃ）（Ｖｏ１−Ｖｏ２）＋（Ｅｎ−Ｅ１）（Ｃｍ／Ｃｃ）が得られる。
【００７３】
測定ヘッドＴＥ１とＴＥ２の２つのプローブが互いに十分に近接して配置され、かつ、これら２つのサイクルが時間的に極めて近接する、例えば、５０ＫＨｚなる周波数とされる場合は、容量結合に起因する同相モード（ｃｏｍｍｏｎ−ｍｏｄｅ）雑音も除去される。
【００７４】
図３に示される差分モード（ｄｉｆｆｅｒｅｎｔｉａｌ ｍｏｄｅ）にて動作するデバイスは２つの測定ヘッドＴＥ１、ＴＥ２を備える。
【００７５】
本発明の一つの代替の実現においては、信号対雑音比を最大化するための差分動測定を、単一の測定ヘッドにて遂行できるようにされる。これを達成するために、このデバイスに、測定ヘッドからのオフセット訂正のための出力信号の大きさと、ある与えられた制御された電源電圧とを格納するためのメモリ手段が設けられ、その後、この信号が、同一のオフセット訂正（電圧）と、ある異なる制御された電源電圧とを用いたとき、測定ヘッドの出力の所に得られる信号と比較される。
【００７６】
この代替の実現においては、コントローラ７４に匹敵する手段によって、図５に示されるような２つのサイクルが定義される：
（オフセット訂正を校正するための）第一のサイクルＣ１において、例えば、０ボルトの弱い既知の電場Ｅｏが測定プローブ１０に加えられ、ある与えられたオフセット訂正Ｖｏ１に対して得られた、雑音に対応する、出力信号Ｖｓ１が格納される。
【００７７】
雑音に対応するこの出力電圧Ｖｓ１が格納される。
【００７８】
（測定の）第二のサイクルＣ２において、動作電場Ｅ_１を、オフセット電圧Ｖｏ１は同一に維持して、加えることで、出力Ｖｓ２が得られる。
【００７９】
これら２つの測定が時間的に十分に近接して行われた場合は、２つのサイクル間で周囲雑音が変化することはない。
【００８０】
このため、第一のサイクルＣ１の終端において格納された信号Ｖｓ１と第二のサイクルＣ２の際に得られた信号Ｖｓ２の差分を取ることで、雑音の除去された測定結果を得ることができる。
【００８１】
上述の２つのサイクルＣ１、Ｃ２がこのデバイスの使用を通じて順次反復される。
【００８２】
このデバイスが、図３に示すように２つの測定ヘッドＴＥ１とＴＥ２を用いるか、或いは単一の測定ヘッドと信号Ｖｓ１用のメモリとを用いるかに関係なく、上述のサイクルＣ１、Ｃ２自身は、各々、図４と５との関連で上で説明したような少なくとも２つの一連のシーケンスから成る。
【００８３】
勿論、図４と５に示されるタイミングチャートには様々なバリエーションが考えられる。
【００８４】
第一に、例えば、校正サイクルＣ１を、必要であれば、シーケンスＴ１、Ｔ２のペアの複数のセットから構成し、測定サイクルＣ２に進む前にオフセット訂正（電圧）を調節することもできる。
【００８５】
更に、オフセット訂正（電圧）を校正するためのサイクルＣ１と測定サイクルＣ２とを規則的に交替させたり、或いは数回の連続する測定サイクルＣ２毎に、定期的に、校正サイクルＣ１を挿入することもできる。
【００８６】
図６には、オフセット訂正電圧が積分器段からの出力電圧に従属するように構成された本発明によるデバイスが示される。
【００８７】
図６に示される機能図は、（プローブ１０と、入力電圧Ｖｆを受ける電源手段３０と積分器段５０から構成され）伝達関数（ｔｒａｎｓｆｅｒ ｆｕｎｃｔｉｏｎ）Ｇ（ｚ）を有する測定ヘッドと、一方においてはオフセット訂正電圧Ｖｏを受け、他方においてはデバイスからの出力電圧Ｖｏを、伝達関数Ｃ（ｚ）を有するセル９２を介して受ける第一の微分器段（減算器）９０と、一方においては測定ヘッドからの出力を受け、他方においては第一の微分器段９０からの出力Ｖｏ’を、伝達関数Ｈ（ｚ）を有するセル９６を介して受ける第二の微分器段（減算器）９４とを備える。
【００８８】
これによって：
Ｈ（ｚ）＝Ｃｏ／［Ｃ５２＋（Ｃ５３−Ｃ５２）ｘＺ^−１］
Ｇ（ｚ）＝Ｃｓ／［Ｃ５２＋（Ｃ５３−Ｃ５２）ｘＺ^−１］及び
Ｖｓ（ｚ）＝Ｖｆ（ｚ）×Ｇ（ｚ）−Ｖｏ’（ｚ）×Ｈ（ｚ）、つまり
Ｖｓ（ｚ）＝Ｖｆ（ｚ）×Ｇ（ｚ）−［Ｖｏ−Ｖｓ（ｚ）×Ｃ（ｚ）］×Ｈ（ｚ）が得られ；
これから：
Ｃ（ｚ）＝Ｃ５２／Ｃｏ
が得られる。
【００８９】
これから明らかなように、このシステムの安定性及び応答時間は比Ｃ５２／Ｃｏのみに依存する。従って、最小の応答時間を得るためには、この比を、他方において（Ｃ５２に依存する）積分項（ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ ｔｅｒｍ）が保存され、適正な信号対雑音比が得られる範囲内で、慎重に（可能な限り大きく）選択することで十分である。
【００９０】
より具体的には、オフセット訂正電圧Ｖｏが積分器段からの出力電圧に従属するように動作するこの発明では、オフセット訂正電圧Ｖｏが入力電圧Ｖｆに従属するように動作する構成と較べて、システムの安定性が向上する。つまり、この構成では、システムの安定性は、ＣｉとＣｏのみに依存し、より具体的には（可変であるプローブ１０の仮想容量）Ｃｓには依存しない。
【００９１】
図７には、測定プローブ１０と参照要素２０との間の静電容量Ｃｓの急激な階段状の変化が示される。
【００９２】
図１に示され、資料ＷＯ−００２５０８９において開示される従来のデバイスでは図８に示すタイプの遅い応答しか得られない。
【００９３】
他方、オフセット訂正（電圧）が出力信号Ｖｓに従属するように動作する本発明によるデバイスでは図９に示すタイプの速い応答を得ることが可能となる。
【００９４】
当業者においては明らかなように、本発明によるデバイスでは、公知の従来のデバイスと比較して、測定プローブ１０と参照要素２０との間に定義される静電容量の実際の値を表す出力値により速く到達することができる。
【００９５】
本発明では、ＣｉとＣｏを正しく選択することで、１ｍｓ以下の収束時間が可能となる。
【００９６】
非常に短かな応答時間が様々な用途において歓迎される。例えば、これに限定されるものではないが、ふくらまし式エアーバッグ（ｉｎｆｌａｔａｂｌｅ ａｉｒｂａｇｓ）を制御することを意図しての検出の分野がある。この分野においては、とりわけ、非常に短かな、典型的には１０ｍｓより小さい、応答時間を有することが極めて重要となる。
【００９７】
図１０は、参照要素２０と協力してそれぞれ静電容量Ｃｓ１，Ｃｓ２．．．Ｃｓｎを測定する一連の測定プローブ１０．１〜１０．ｎと、関連する電源手段３０と、電荷積分器段５０と、時間基準４１と、を備える本発明による回路を示す。
【００９８】
各測定プローブ１０は、別個の参照要素２０と関連する。一つのバリエーションとして、参照要素２０を幾つかの測定プローブ１０に対して共通に用いることも、更には、これらの全てに対して共通に用いることもできる。
【００９９】
電源手段３０、積分器段５０及び時間基準４１は、好ましくは、図２との関連で前に説明されたように構成される。
【０１００】
図１０からわかるように、本発明の枠組み内で、測定プローブ１０．１〜１０．ｎは、順に、時間基準４１にてクロックされるオン／オフスイッチ８０．１〜８０．ｎを介して、オン／オフスイッチ４２０と４２２との間に定義される接点に連結され、こうして、これら測定プローブ１０．１〜１０．ｎは、順に、時間期間Ｔ１においては電源電圧Ｖｆに、そして、時間期間Ｔ２においては演算増幅器５１の反転入力に連結される。
【０１０１】
図１１には対応する動作タイミング図が示される。
【０１０２】
この図１１は、２つの校正シーケンスＴ１、Ｔ２のｎ個のペアのセット、つまり、測定プローブ１０の各々に対するオフセット訂正電圧Ｖｏを探索するためのシーケンスを含む第一の期間Ｐｅ１と、これも、各測定プローブ１０に対する２つの測定期間Ｔ１、Ｔ２のｎ個のペアのセットを含む第二の期間Ｐｅ２が示される。
【０１０３】
これらシーケンスＴ１とＴ２は前に説明した構成に従う。
【０１０４】
図３に示す例においては、これら校正期間Ｐｅ１は一つにグループ化されており、同様に、これら測定期間Ｐｅ２も一つにグループ化されている。
【０１０５】
一つのバリエーションとして、校正期間Ｐｅ１の間に測定期間Ｐｅ２を挿入することもできる。
【０１０６】
勿論、図１１に示されるタイミング図は、本発明が（図２、３に示すような２つのヘッドに基づく、若しくは図４に示すような単一のヘッドとメモリに基づく）差分モードでの測定と、（図１０に示すような）複数の測定プローブと用いるやり方とを組合せて利用する場合には、図４、５に示すそれと組合せて用いることが必要となる。
【０１０７】
図１２には、本発明によるプローブ構造の一つのバリエーションが示される。これは、参照プローブ２０の側面に配置される、単一のストランドから成る、「Ｕ］字形の測定プローブ１０から成る。
【０１０８】
この構成では、２つのプローブ１０、２０が平行な単一のストランドから形成される従来のデバイスと比較して、この構成では、「Ｕ」字形の測定プローブ１０の二つの要素の各々と、これらの間に配置された参照プローブ２０との間に分布する電場が総和されるために、感度が３０％から５０％なるオーダだけ向上する。
【０１０９】
類似の効果が、対称的なやり方にて、測定プローブ１０の側面に配置される、単一のストランドから成る、「Ｕ］字形の参照プローブ２０を用いることによっても得られる。
【０１１０】
これらに限定されるものではないが、プローブ１０と２０は、以下のような構成とすることが考えられる：
プローブ１０と２０の幅Ｌは、（平坦なストリップ或いはワイヤから形成される場合）０．５ｍｍから５ｍｍのオーダとされ；
プローブ１０と２０の長さｌは、検出されるべきゾーンと等しくされ；
プローブ１０と２０の間の間隔ｅは、所望の検出距離に依存して５から４０ｍｍのオーダとされ；
プローブの厚さＥは、ワイヤの場合は、０．５ｍｍから５ｍｍのオーダとされ、平坦なストリップの構造が用いられる場合は、数ミクロンから０．５ｍｍのオーダとされる。
【０１１１】
プローブ１０と２０は、典型的には、０．１から１００　ｏｈｍｓ　ｓｑｕａｒｅのオーダの抵抗率（ｒｅｓｉｓｔｉｖｉｔｙ）を有し、好ましくは、防水材にてカバーされる。このコーティング材には、好ましくは、高い抵抗率（Ｒ＞１００　Ｍｏｈｍｓ）と、比較的低い誘電率（εｒ＜７）を示すものが用いられる。
【０１１２】
図１２において、Ｃはプローブ１０、２０の密封シールドケーブルＦへの接続を表す。測定プローブ１０は、このシールドケーブルのコアに接続され、参照プローブ２０はこのシールドケーブルのシールディングに接続される。
【０１１３】
本発明によるこのＵ字形のプローブ構造の長所は、このシステムの枠組み内で、図１０に示すように、複数のプローブを用いた場合にも得られる。
【０１１４】
この目的のためには、少なくとも参照要素２０或いは測定プローブ１０の一つ、或いは両方を、Ｕ字形に成形することのみで十分である。
【０１１５】
例えば、図１３には、各々が単一のストランドから成り、蜘蛛の巣状の構造から形成される一つの共通の参照要素２０と関連する複数の測定プローブ１０を備えるシステムが示される。参照要素を形成するこの蜘蛛の巣状の構造は、各々の側面に測定プローブを形成するストランドが位置する複数の並列のＵ字形要素から成る。
【０１１６】
図１３において、Ｃは、一方においては、プローブ１０から複数のストランドから成る防水シールドケーブル（ｍｕｌｔｉｓｔｒａｎｄ ｌｅａｋｔｉｇｈｔ ｓｈｉｅｌｄｅｄ ｃａｂｌｅ）Ｆの導体への接続を提供し、他方においては、参照要素２０からこのケーブルＦのシールディング（ｓｈｉｅｌｄｉｎｇ）への接続を提供するコネクタを表す。測定プローブはシールドケーブルのコアに接続され、参照プローブ２０はシールドケーブルのシールディングに接続される。
【０１１７】
図１４には、一つのバリエーションが示され、ここでは、測定プローブ１０がＵ字形状を有する。
【０１１８】
これら測定プローブ１０及び関連する参照要素２０は、適用を考える用途に依存して、適当な、剛性或いはフレキシブルの、どのようなサポート上に設けることもできる。
【０１１９】
本発明によると、測定の動的な揺れ（ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ ｄｙｎａｍｉｃ ｓｗｉｎｇ）を改善するために、測定ヘッドは、一連の測定サイクルの際に、測定プローブ１０上に、可変電圧Ｅｎを、順次、受ける。
【０１２０】
これら可変電圧Ｅｎは、例えば、３から８ボルトへと、電圧的に次第に増大される。
【０１２１】
ただし、バリエーションも可能であり、一つのバリエーションにおいては、必要に応じて測定値の訂正ができるように、それぞれ、近いモードでの検出（ｎｅａｒ ｍｏｄｅ ｏｆ ｄｅｔｅｃｔｉｏｎ）と遠いモードでの検出（ｆａｒ ｍｏｄｅ ｏｆ ｄｅｔｅｃｔｉｏｎ）のために、それぞれ、低い値と高い値の２つの一連の電圧が順に加えられる。
【０１２２】
各測定サイクルにおいて、ある電源電圧Ｅｎに対応する値Ｖｓｎが測定ヘッドの出力、つまり、積分器５１の出力の所に得られる。
【０１２３】
各電源電圧値Ｅｎに対応して、参照プローブ２０、或いは近傍の金属物、例えば、上述の用途の場合は自動車のシャシ、或いは、地球を基準とする、空間的に閉じた一つの同電位分布線（ｉｓｏｐｏｔｅｎｔｉａｌ ｄｉｓｔｒｉｂｕｔｉｏｎ ｌｉｎｅ）が存在する。
【０１２４】
図１５に示すように、電源電圧Ｅｎの値を大きくすればするほど、この同電位線（ｅｑｕｉｐｏｔｅｎｔｉａｌ ｌｉｎｅ）の範囲は大きくなる。
【０１２５】
当業者においては理解できるように、測定プローブ１０と参照プローブ２０との間に測定プローブ１０から取り出される電荷を積分することによってこうして検出される静電容量の値は、測定ヘッドの検出図に影響を与える媒体の誘電率に直接に依存するとともに、勿論、この媒体の厚さにも依存する。
【０１２６】
これに限定されるものではないが、自動車のシート上のユーザを検出する、より具体的には、保護エアーバッグを展開するという文脈において、本発明を用いて、測定ヘッドの積分器段５１の出力の所の信号の変化を分析することで、これから得られる検出図の関数として、シート上に人が存在するのか、或いは水分の存在等の類似する漂遊現象（ｓｔｒａｙ ｐｈｅｎｏｍｅｎｏｎ）に過ぎないのかを弁別することが可能となる。
【０１２７】
人体の相対誘電率（ｒｅｌａｔｉｖｅ ｐｅｒｍｉｔｔｉｖｉｔｙ）は、自動車のシートを製造するために用いる材料や周囲物の誘電率より８０倍以上も高いために、測定ヘッドからの出力信号を分析することで、測定プローブ１０の近傍の人の存在を検出するとともに、その人の測定プローブ１０からの位置を特定することが十分に可能となる。
【０１２８】
図１６に示すように、電源電圧は、測定シーケンスの期間Ｔ１の際に、例えば、Ｅ１、Ｅ２、Ｅ３へと次第に増加される。図１６に示される期間Ｔ２は、測定プローブ１０が演算増幅器５１の反転入力に連結され、同時に、スイッチングコンデンサ５３がこの同一の反転入力に連結される期間に対応する。勿論、Ｅ１からＥｎへと増加されるこのサイクルの終端すると、類似の測定サイクルが反復される。
【０１２９】
前述のように、本発明の一つのバリエーションによると、例えば、それぞれ、低い値と高い値の２つの一連の電圧、例えば、図１７に示すような、近いモードでの検出のための低い値の２つの電圧Ｅ１、Ｅ２と、遠いモードでの検出のための高い値の２つの電圧Ｅ３、Ｅ４が、測定プローブ１０に順次加えられる。
【０１３０】
このような過程を用いると、とりわけ、遠く離れた物体を検出する際に、測定プローブ１０の近くに位置するある種の妨害媒体或いは物体の存在を考慮することが可能になる。
【０１３１】
可変電源電圧Ｅｎの個々の値に対して、Ｖｓｎが対応し、これらが格納される。
【０１３２】
こうして、一連の対の値Ｖｓｎ／Ｅｎが得られる。
【０１３３】
これらのデータに基づいて、デバイスの分析手段は、間接的に、測定プローブ１０と参照要素２０との間に測定される仮想静電容量の値を、それぞれ、近いモード、つまり、Ｃｓｎｅａｒと、遠いモード、つまり、Ｃｓｆａｒについて計算する。
【０１３４】
遠いモードにおいて検出される仮想静電容量Ｃｓｆａｒは：
Ｃｓｆａｒ＝Ｃｃ×Ｋ１＝Ｃｃ（Ｖｓ４−Ｖｓ３）／（Ｅ４−Ｅ３）
なる関係を用いて計算されるが、ここで、
Ｃｃは、スイッチングコンデンサ５３の静電容量を表す。
【０１３５】
この仮想静電容量Ｃｓｆａｒは、例えば、自動車のシート内のユーザを検出するケースにおいては、ユーザからシートまでの距離に関する情報を与える。
【０１３６】
同様に、近いモードにおいて検出される仮想静電容量Ｃｓｎｅａｒは：
Ｃｓｎｅａｒｒ＝Ｃｃ×Ｋ２＝Ｃｃ（Ｖｓ２−Ｖｓ１）／（Ｅ２−Ｅ１）
なる関係を用いて計算される。
【０１３７】
この仮想静電容量Ｃｓｎｅａｒは、例えば、自動車のシート内のユーザを検出するための用途のケースにおいては、ユーザとシートの間に、妨害物、例えば、ベッドマットやタオルが存在する可能性を示す。
【０１３８】
この後者の場合（つまり、妨害物が存在する場合）は、仮想Ｃｓｆａｒの値が影響を受け、過小評価されることとなる。
【０１３９】
この結果としてのユーザに関しての距離の誤りは、Ｃｓｆａｒについて得られた値を、Ｃｓｎｅａｒについて得られた値に基づいて訂正することで、訂正することができる。
【０１４０】
この訂正のためには様々な手段を用いることができる。
【０１４１】
一つの好ましい実施例においては、Ｋ１／Ｋ２なる比が計算され、この比が１より大きな場合は、Ｃｓｆａｒの訂正された値、つまり、Ｃｓｆａｒｍｏｄが：
Ｃｓｆａｒｍｏｄ＝Ｃｓｆａｒ×Ｋ＝Ｃｓｆａｒ×（Ｋ１／Ｋ２）
なる関係に基づいて計算される。
【０１４２】
こうして訂正された値Ｃｓｆａｒｍｏｄは、Ｅ３とＥ４の下で、Ｖｓ３とＶｓ４を測定することで得られるユーザの距離の良好な近似を与える。
【０１４３】
図１６のタイミング図は、本発明が（図２、３の場合のように２つのヘッドを用いる構成、或いは図４のように一つのヘッドとメモリを用いる構成に基づいて）可変電源電圧と差分測定を、及び／或いは（図１０に示すような）複数の測定プローブを、組合せて利用する場合には、勿論、図１１のタイミング図、及び／或いは図４、５のタイミング図と組合せて使用する必要がある。
【０１４４】
勿論、本発明は、上で説明された特定の実現に制限されるものではなく、本発明の精神の範囲内の様々なバリエーションにも及ぶものである。
【０１４５】
本発明は多数の用途に係る。上では自動車のシート上のユーザの検出、より具体的には、ふくらまし式エアーバッグの制御について言及されたが、本発明はこの特定の用途に限られるものではない。本発明は、例えば、とりわけ、浸入防止用の検出や液体レベル検出器の分野にも係る。
【図面の簡単な説明】
【図１】
資料ＷＯ−００２５０９８において開示される従来の技術によるデバイスを簡略的に示す。
【図２】
本発明によるオフセット訂正手段を備える基本回路を示す。
【図３】
本発明による２つの測定ヘッドを備えるデバイスの基本構造を示す。
【図４】
本発明による差分モードにて用いられる２つの測定ヘッドを備えるデバイスの動作のタイミング図を示す。
【図５】
本発明による単一の測定ヘッドとこの測定ヘッドの出力を格納するためのメモリを備えるデバイスの動作の類似のタイミング図を示す。
【図６】
本発明の枠組み内で遂行されるオフセット訂正のスレービングを示す。
【図７】
測定プローブと参照プローブ間の静電容量の急激な変動を示す。
【図８】
ＰＣＴ特許出願公開明細書第００２５０９８号による公知の測定デバイスによって得られる従来の応答を示す。
【図９】
本発明によるスレービングによるオフセット訂正を利用するデバイスによって得られる応答を示す。
【図１０】
本発明による複数の測定ヘッドを備えるデバイスを示す。
【図１１】
本発明による複数の測定ヘッドを備えるデバイスの動作のタイミング図を示す。
【図１２】
本発明によるプローブの一つのバリエーションを示す。
【図１３】
本発明によるプローブのもう一つのバリエーションを示す。
【図１４】
本発明によるプローブのもう一つのバリエーションを示す。
【図１５】
本発明による測定ヘッドの検出レンジを加えられる電源電圧の関数として示す。
【図１６】
本発明によるデバイスの動作のタイミング図を示す。
【図１７】
本発明の様々な枠組み内で、測定プローブに加えられる電圧と、結果として得られる対応する出力電圧を示す。
【符号の説明】
１０　測定プローブ
２０　参照プローブ
３０　電源手段
４０　動作手段
４１　時間基準
５０　積分器段
５１　演算増幅器
５２　積分コンデンサ
５３　スイッチングコンデンサ
６０　オフセット訂正手段
６２　コンデンサ
６４　演算増幅器
６６　オン／オフスイッチ
６８　第二のオン／オフスイッチ
７０　微分段（減算器）
７２　標本保持デバイス
７４　アナログデジタル変換器
７４　コントローラ

Claims (36)

1. 少なくとも一つの測定プローブ（１０）を含む少なくとも一つの測定ヘッドと、前記測定プローブ（１０）と参照要素（２０）との間に制御された電源電圧をシーケンス順に加える能力を有する手段（３０）と、前記測定プローブ（１０）上に蓄積された電荷を積分する能力を有する手段（５０）とを備える測定デバイスであって、更に、前記積分器段（５０）の入力のオフセット訂正を行う能力を有する手段（６０）を備えることを特徴とする測定デバイス。
2. さらに、自身の各々の入力端子に、オフセット訂正は同一とされ、異なる制御された電源電圧を加えたとき、測定ヘッドから得られる出力を表す信号を受信する微分器段（７０）を備えることを特徴とする請求項１記載のデバイス。
3. それぞれ、測定プローブ（１０）と参照要素（２０）を構成する２つの導電体と、制御された振幅のＤＣ電圧を供給する能力を有する電源手段（３０）と、容量スイッチングシステム（５３）を備える積分器段（５０）と、サイクル的に、制御された周波数にて、セットの２つのシーケンス（Ｔ１、Ｔ２）を定義するのに適する動作手段（４０）と、を備え、
   第一のシーケンスにおいては、前記電源手段（３０）は前記測定プローブ（１０）に連結され、前記測定プローブ（１０）と前記参照要素（２０）との間に電場が加えられ、前記測定プローブ（１０）上に電荷が蓄積され、
   第二のシーケンスにおいては、前記電源手段（３０）は前記測定プローブ（１０）から切り離され、前記測定プローブ（１０）は前記積分器段（５０）の総和点に連結され、電荷が前記積分器段（５０）に転送され、前記積分器段（５０）の出力の所に前記測定プローブ（１０）と前記参照要素（２０）との間に存在する誘電率を表す信号が得られ、
   前記積分器段（５０）がさらに演算増幅器（５１）と、この増幅器（５１）と帰還モードに配列された第一の積分コンデンサ（５２）と、この演算増幅器（５１）の出力と入力の間で、動作手段（４０）によって駆動されるシーケンス（Ｔ１、Ｔ２）のテンポにてスイッチングされる第二のコンデンサ（５３）とを備え、定常平衡状態においては、この演算増幅器（５１）の出力の所に−ＥＣｓ／Ｃ５３に等しい電圧Ｖｓ　ｂａｌａｎｃｅが得られ、この関係式において、
   −Ｅは、前記電源手段（３０）の端子間の電圧の大きさを表し、Ｃｓは、前記測定プローブ１０と参照要素との間に測定される静電容量の値を表し、Ｃ５３は、前記測定プローブ１０と前記第二のスイッチングコンデンサ（５３）との間に測定される静電容量の値を表す、ことを特徴とする請求項１或いは２のいずれかに記載のデバイス。
4. ２つの測定ヘッド（Ｔ１、Ｔ２）を備え、前記微分器段（７０）に加えられる信号が、それぞれ、これら２つの測定ヘッドの積分器段（５０）の出力から得られることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載のデバイス。
5. 前記２つの測定プローブが、互いにピッタリと近接して、同一の媒体内に配置されることを特徴とする請求項４記載のデバイス。
6. ２つの一連のサイクルから成るサイクル動作を制御する能力を有するコントローラを備え、第一のサイクルにおいては、前記２つの測定ヘッドが同一の電源電圧Ｖｆを受け、前記オフセット電圧が訂正され、第二のサイクルにおいては、前記測定ヘッドの第一の測定ヘッドＴＥ１に加えられる電源電圧は修正されるが、第二の測定ヘッドＴＥ２に加えられる電源電圧と前に得られたオフセット電圧はそのままにされることを特徴とする請求項４或いは５のいずれかに記載のデバイス。
7. 単一の測定ヘッドと、あるオフセット訂正（電圧）とある与えられた制御された電源電圧を加えたとき、この測定ヘッドから得られる出力信号を格納する能力を有する手段とを備え、この格納された電圧がオフセット訂正（電圧）は同一とし、ある異なる制御された電源電圧が加えられたときに前記測定ヘッドの出力の所に得られる電圧と比較されることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載のデバイス。
8. 前記オフセット訂正手段（６０）が可変電圧（源）Ｖｏから給電されるコンデンサ（６２）を備えることを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載のデバイス。
9. 各々がペアの２つのシーケンス（Ｔ１、Ｔ２）から成る数回のサイクルＣ１が含まれ、このサイクルが測定サイクルＣ２の前にオフセット訂正（電圧）を校正するために遂行されることを特徴とする、請求項３と組合せて用いられる、請求項１乃至８のいずれかに記載のデバイス。
10. 数回の測定サイクルＣ２が含まれ、これがオフセット訂正（電圧）を校正するためのサイクルＣ１に続いて遂行されることを特徴とする、請求項３と組合せて用いられる請求項１乃至９のいずれかに記載のデバイス。
11. 各オフセット訂正（電圧）校正サイクルＣ１と各測定サイクルＣ２が、少なくとも一つのセットの２つのシーケンス（Ｔ１、Ｔ２）を含むことを特徴とする、請求項３と組合せて用いられる請求項１乃至１０のいずれかに記載のデバイス。
12. 前記測定プローブ（１０）或いは前記参照要素（１０）の少なくとも一つが「Ｕ」字形状を有することを特徴とする請求項１乃至１１のいずれかに記載のデバイス。
13. 前記測定プローブ（１０）が「Ｕ」字形状を有することを特徴とする請求項１２記載のデバイス。
14. 前記参照要素（２０）が「Ｕ」字形状を有することを特徴とする請求項１２記載のデバイス。
15. 幾つかの測定プローブに共通に用いる一つの参照要素（２０）を備えることを特徴とする請求項１２乃至１４のいずれかに記載のデバイス。
16. 蜘蛛の巣状の参照要素（２０）を備えることを特徴とする請求項１５記載のデバイス。
17. 更に、前記オフセット訂正（電圧）を前記積分器段からの出力信号に従属させる能力を有する手段を備えることを特徴とする請求項１乃至１６のいずれかに記載のデバイス。
18. 前記従属手段（Ｃ（ｚ））がＣ５２／Ｃｏなる伝達関数を有し、ここで、Ｃ５２は積分コンデンサを表し、Ｃｏはオフセット訂正電圧のために用いられるコンデンサを表すことを特徴とする、請求項３と組合せて用いられる請求項１７記載のデバイス。
19. 複数の異なるプローブ（１０．１、１０．ｎ）を順に前記積分器段の入力の所に連結（配置）する能力を有する手段を備えることを特徴とする請求項１乃至１８のいずれかに記載のデバイス。
20. 少なくとも一つの測定プローブ（１０）を含む少なくとも一つの測定ヘッドと、前記測定プローブ（１０）と参照要素（２０）との間に制御された電源電圧をシーケンス順に加える能力を有する手段（３０）と、前記測定プローブ（１０）上に蓄積された電荷を積分する能力を有する手段（５０）とを備える測定デバイスであって、複数の異なるプローブ（１０．１、１０．ｎ）を順に前記積分器段の入力に連結する能力を有する手段を備えることを特徴とする測定デバイス。
21. 前記複数のプローブを前記積分器段５０の入力に順に連結するように設計されたオン／オフスイッチ（８０．１、８０．ｎ）のネットワークを備えることを特徴とする請求項１９或いは２０記載のデバイス。
22. 分析手段によって前記測定プローブ（１０）の各々に対してオフセット訂正電圧（Ｖｏ）を探索するために用いられる２つの校正シーケンス（Ｔ１、Ｔ２）のｎ個のペアのセットから成る第一の期間（Ｐｅ１）と、各測定プローブ（１０）に対するこれも２つの測定シーケンス（Ｔ１、Ｔ２）のｎ個のペアのセットから成る第二の期間（Ｐｅ２）から構成されるチックレートを定義する能力を有する手段を備えることを特徴とする請求項１９乃至２１のいずれかに記載のデバイス。
23. ｎ個の異なるプローブ（１０．１、１０．ｎ）を順に前記積分器段の入力に連結する能力を有する手段と、分析手段によって前記測定プローブ（１０）の各々に対してオフセット訂正電圧（Ｖｏ）を探索するために用いられる２つの校正シーケンス（Ｔ１、Ｔ２）のｎ個のペアのセットから成る第一の期間（Ｐｅ１）と、各測定プローブ（１０）に対するこれも２つの測定シーケンス（Ｔ１、Ｔ２）のｎ個のペアのセットから成る第二の期間（Ｐｅ２）から構成されるチックレートを定義する能力を有する手段とを備え、前記第二の期間において、微分器段（７０）が自身の各入力の所に、同一のオフセット訂正（電圧）と、複数の異なる制御された電源電圧が加えられたときに、測定ヘッドから出力される２つの信号を受信することを特徴とする請求項１乃至２２のいずれかに記載のデバイス。
24. 前記各ペアの２つ一連のシーケンスの際に、最初に制御された電圧が測定プローブ（１０）に加えられ、次に、測定プローブ（１０）が前記積分器段（５０）の入力に連結されることを特徴とする請求項２２或いは２３記載のデバイス。
25. 前記電源手段（３０）が一連の制御された可変電圧（Ｅ１、Ｅ２．．．）を前記測定プローブ（１０）に加えるのに適し、このデバイスが更に前記積分器段の出力の所の信号の傾向を加えられた電源電圧の関数として分析するための手段を備えることを特徴とする請求項１乃至２４のいずれかに記載のデバイス。
26. 少なくとも一つの測定プローブ（１０）を含む少なくとも一つの測定ヘッドと、前記測定プローブ（１０）と参照要素（２０）との間に制御された電源電圧をシーケンス順に加える能力を有する手段（３０）と、前記測定プローブ（１０）上に蓄積された電荷を積分する能力を有する手段（５０）とを備える測定デバイスであって、前記電源手段（３０）が一連の制御された可変電圧（Ｅ１、Ｅ２．．．）を前記測定プローブ（１０）に加えるのに適し、このデバイスが更に前記積分器段の出力の所の信号の傾向を加えられた電源電圧の関数として分析するための手段を備えることを特徴とする測定デバイス。
27. 前記参照要素が参照プローブ（２０）から形成されることを特徴とする請求項１乃至２６のいずれかに記載のデバイス。
28. 前記参照要素（２０）が、例えば、地球或いは自動車のシャシ等の付近の金属物などの物体から形成されることを特徴とする請求項１乃至２７のいずれかに記載のデバイス。
29. 前記電源電圧の増分が一定とされることを特徴とする請求項２５或いは２６のいずれかに記載のデバイス。
30. 前記電圧の増分が１ボルトのオーダとされることを特徴とする請求項２５、２６或いは２９のいずれかに記載のデバイス。
31. 前記電源手段が、それぞれ、低値と高値の少なくとも２つの一連の電圧を順に前記測定プローブ（１０）に加えるのに適することを特徴とする請求項２５、２６、２９或いは３０のいずれかに記載のデバイス。
32. 前記電源手段が、前記測定プローブ（１０）に、少なくとも、近いモードでの検出のための低い値の２つの電圧Ｅ１、Ｅ２と、遠いモードでの検出のための高い値の２つの電圧Ｅ３、Ｅ４を順に加えるのに適することを特徴とする請求項２５、２６、２９、３０、３１のいずれかに記載のデバイス。
33. 前記分析手段がＫ１＝（Ｖｓ４−Ｖｓ３）／（Ｅ４−Ｅ３）に比例する遠いモードにおける仮想容量Ｃｓｆａｒと、Ｋ２＝（Ｖｓ２−Ｖｓ１）／（Ｅ２−Ｅ１）に比例する近いモードにおける仮想容量Ｃｓｎｅａｒとを計算するのに適し、この式において、Ｖｓｎは、ある電源電圧Ｅｎが加えられたとき、積分器段の出力の所に得られる電圧を表すことを特徴とする請求項３２記載のデバイス。
34. 前記分析手段が遠いモードにて高い値の電圧を加えることで得られる容量値Ｃｓｆａｒを、近いモードにて低い値の電圧を加えることで得られる容量値Ｃｓｎｅａｒに基づいて訂正するのに適することを特徴とする請求項２５、２６、２９、３０、３１、３２、３３のいずれかに記載のデバイス。
35. 前記分析手段がＫ１／Ｋ２なる比を計算し、この比が１より大きな場合は、遠いモードにおける仮想容量Ｃｓｆａｒの訂正された値、つまり、Ｃｓｆａｒｍｏｄを、関係式：
    Ｃｓｆａｒｍｏｄ＝Ｃｓｆａｒ×Ｋ＝Ｃｓｆａｒ×（Ｋ１／Ｋ２）
    に基づいて計算するのに適することを特徴とする請求項３３或いは３４記載のデバイス。
36. 動作を一連のサイクルの形式にて制御する能力を有する手段を備え、前記測定プローブ（１０）に加えられる電圧があるサイクルから別のサイクルへと制御されたやり方にて変化され、各サイクルが２つの一連のシーケンス（Ｔ１、Ｔ２）に分割され、これらシーケンスの際に、それぞれ、制御された電圧が前記測定プローブ（１０）に加えられ、その後、前記測定プローブ（１０）が前記積分器段（５０）の入力に連結されることを特徴とする請求項２５、２６、２９、３０、３１、３２、３３、３４、３５のいずれかに記載のデバイス。

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