JP2004502291A - イオンビームにより半導体ウェハの表面に微細構造を形成するための装置 - Google Patents
イオンビームにより半導体ウェハの表面に微細構造を形成するための装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004502291A JP2004502291A JP2002507405A JP2002507405A JP2004502291A JP 2004502291 A JP2004502291 A JP 2004502291A JP 2002507405 A JP2002507405 A JP 2002507405A JP 2002507405 A JP2002507405 A JP 2002507405A JP 2004502291 A JP2004502291 A JP 2004502291A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- ion beam
- ion
- electron
- semiconductor wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
- H01J37/317—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for changing properties of the objects or for applying thin layers thereon, e.g. for ion implantation
- H01J37/3178—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for changing properties of the objects or for applying thin layers thereon, e.g. for ion implantation for applying thin layers on objects
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/30—Electron or ion beam tubes for processing objects
- H01J2237/317—Processing objects on a microscale
- H01J2237/31735—Direct-write microstructures
- H01J2237/31737—Direct-write microstructures using ions
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
- Junction Field-Effect Transistors (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Recrystallisation Techniques (AREA)
Abstract
本発明は電気及び真空技術の分野に係り、特に半導体ウェハ上に種々の構造や被着物を形成するための装置に関する。本発明は次世代半導体製品の開発に使用できる。本発明は高集積化半導体製品や高解像光学機器の作製に使用される微細構造の開発デバイスを可能とする。本発明の装置は、排気及びアニールシステムを備えた真空チャンバと、チャンバ内に半導体ウェハを導入するユニットと、エネルギ制御可能なイオン源と、質量分離器と、電子検出器と、半導体ウェハのホルダと、イオン電流の測定器と、4極質量分析器と、モニタ及びインターフェースを備えたコンピュータとから構成される。
Description
【0001】
(技術分野)
本発明は電気及び真空技術の分野に係り、特に半導体ウェハ上に種々の構造や被着物を形成するための装置に関する。
本発明は次世代半導体デバイスを開発に使用することができるだけでなく、光学機器の作製にも使用することが出来る。
【0002】
(従来の技術)
真空ユニットと真空排気デバイスとウェハ処理デバイスとを備え、半導体ウェハを処理する装置が知られている(欧州特許EP0275965,M cl. H01J 37/32 1988)。上記装置では、2.45GHzの周波数での単波伝送モードにおいて、プラズマビームの断面及び被処理ウェハの直径は76−100mmの範囲に設定されるものの、被処理ウェハの表面での法線に対してのプラズマ流入角は正確には定められていなかった。
上記方法は最近似アナログ(プロトタイプ)であるとみなされている。
【0003】
(発明の開示)
本発明の要旨は、集積度の高い半導体デバイスおよび高解像光学デバイスの作製に好適な微細構造製造用の装置を開発することにある。また本発明は、既存の装置の機能性を拡大することを目的としている。
半導体ウェハ表面上に微細構造を形成するための本装置は、排気及びアニールシステムを備えた真空チャンバと、半導体ウェハ搬入デバイスと、電力制御されたイオン源と、質量分離器と、電子銃と、ウェハホルダと、イオン電流計とを具備している。
【0004】
本装置には、イオンビーム搬送列と4極質量分析器と、光学顕微鏡と、コンピュータとが取付けられている。イオンビーム搬送列、光学顕微鏡及び電子銃の光軸は、稼動位置にある半導体ウェハの法線と同一面内にあり、ウェハ表面上の一点で交差している。各光軸間の角度は最小角に設定されている。コンピュータは、与えられた位置座標に沿ってウェハを移動させることにより、座標上でイオンビームを走査し、2次電子によるウェハ表面の画像を表示させ、ウェハ表面上でイオンと電子ビームとを結合させる。真空チャンバの真空度は5×10−10トルであり、イオンビーム直径は0.9μm乃至1.5μmの間で変化する。イオンエネルギは5keVである。
【0005】
(発明を実施するための好ましい実施の形態)
図1は本発明に係る装置を図形化して描いた説明図である。
図1には、イオンビームによって半導体ウェハ表面に微細構造を形成する装置が示されており、5×10−10トルの真空度を実現でき必要な図示しない排気及びアニールシステムを備えた超高真空チャンバ1を有している。
【0006】
本装置はさらに、200mmの直径を有する、チャンバ1への半導体ウェハ搬入デバイス2と、半導体ウェハ3と、ゲートウェイバルブ4と、電力制御されたイオン源5と、質量分離器6と、イオンビーム搬送列7と、顕微鏡8と、電子銃9と、4極質量分析器10と、電子検出器11と、ウェハホルダ12と、イオン電流計13と、コンピュータ14と、モニタ15と、インターフェース16とから構成されている。
本発明の装置を用いることにより、次世代半導体デバイスや回折スクリーンを作製するのに適した薄膜半導体構造を製造することが出来る。
【0007】
本発明の装置により上記結果を得る方法は次の通りである。
まず、ウェハ3を残留圧5×10−10トルの真空チャンバ1内に載置する。ついで、双プラズマトロンタイプのイオンビーム列源に窒素を満たし、窒素イオン流を発生させる。そして、イオン流エネルギとウェハ放射角値を設定する。ここでは、ウェハ表面上のS=200×200μm2の領域がI=250nAの電流値を持つ窒素イオン流で均等に照射される。なお、以下のような条件を満足させる必要がある。
【0008】
イオンビーム搬送列7、光学顕微鏡8及び電子銃9の各光軸はウェハ3の表面上にあるF点において交差しなくてはならない。
この交差点Fは、イオンビーム搬送列7、光学顕微鏡8及び電子銃9の各焦点である。
イオンビーム搬送列7、光学顕微鏡8及び電子銃9はウェハ3の前方に互いの光軸間の角度が最小となるように設置される。イオン源5は双プラズマトロンタイプで、アルゴン、酸素及び窒素のようなガスで動作し、500eV乃至20keVの範囲のイオンエネルギを供給する。
【0009】
質量分離器6は、1乃至100a.e.mの質量範囲を有し、相対質量分解能は5a.e.mである。イオンビーム搬送列7は、ラスタサイズとラスタサイズ比とを変更することが出来る。イオンエネルギが0.5keVのときのイオンビームの直径は約1μm(0.9μm乃至1.5μm)である。イオンビーム走査のX,Y方向は、ウェハホルダ12の移動方向と一致しなくてはならない。Y軸に沿ってのイオンビームシフトの電子制御は、Y方向での2倍のラスタサイズ以下である必要はない。Y方向でのイオンビーム走査の直線性が保たれるように制御する必要がある。
【0010】
顕微鏡8はウェハに光が当ったとき8乃至100倍の拡大率が得られるようになっており、映像はTVモニタ上に映される。
電子銃9は、100eV乃至10keVの電子エネルギ、5μAの電子ビーム電流及び約100nmのスポットサイズを発生させる。イオンビームのX,Y方向への走査は、ウェハホルダ12の移動方向と一致させなければならない。
【0011】
Y軸に沿ってのイオンビームシフトの電子制御はY方向での2倍のラスタサイズ以下である必要はない。Y方向でのイオンビーム走査の直線性が保たれるように制御する必要がある。
4極質量分析器10が光学器に取付けられており、正、負の二次イオンを収集する。
測定される質量範囲は1乃至100a.e.mである。絶対質量分解能は5a.e.mである。電子検出器11は2次電子の検出を行う。
【0012】
ウェルホルダ12は、ウェハ3の法線がイオンビーム搬送列7、光学顕微鏡8及び電子銃9の光軸面上に保たれるようにウェハ3を傾斜させる。ウェハ3のイオンビーム搬送列7の法線に対する傾斜角は0乃至90°であり、ウェハ回転角は0乃至360°である。連続回転の必要はない、角度精度は±0.5°でなくてはならない。ウェハホルダ12はウェハ3を室温から700℃まで加熱できる。ウェハ3のX,Y移動方向は、ウェハ面上でなければならない。
ウェハ3のZ方向の移動は、ウェハ表面がイオンビーム搬送列7、光学顕微鏡8及び電子銃9の焦点に重なるように行なわれなければならない。ウェハ移動誤差は約1μmでなくてはならない。
【0013】
イオン電流計13はウェハ3からの電流を測定する。
コンピュータ14はモニタ15とインターフェース16とを備え、装置全体を制御するよう設計されている。コンピュータ14は、与えられた位置座標に沿ってウェハを移動させることによりイオンビームを所定位置内で走査する。イオンビームの停止は、ウェハ電流積算値および4極質量分析器10によって検出されたあるイオンの信号によって決定される。
コンピュータ14は、走査電子又はイオンビームによって発生した2次電子からウェハ表面画像を抽出する。そして、光学顕微鏡8を介して、イオンと電子ビームのラスタを重畳してウェハ表面に供給する。
【0014】
(産業上の利用分野)
本発明は電気及び真空技術の分野に利用される。特に半導体ウェハ上に種々の構造や被着物を形成するための装置に利用される。本発明は次世代半導体デバイスの開発や光学機器の作製にも利用することが出来る。
本発明はさらに、高集積半導体デバイスや高解像光学デバイスの作製に好適な微細構造製造用の装置を開発に利用できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る装置を図形化して描いた説明図。
【符号の説明】
1:超高真空チャンバ
2:半導体ウェハ搬入デバイス
3:半導体ウェハ
4:ゲートウェイバルブ
5:イオン源
6:質量分離器
7:イオンビーム搬送列
8:顕微鏡
9:電子銃
10:4極質量分析器
11:電子検出器
12:ウェハホルダ
13:イオン電流計
14:コンピュータ
15:モニタ
16:インターフェース
(技術分野)
本発明は電気及び真空技術の分野に係り、特に半導体ウェハ上に種々の構造や被着物を形成するための装置に関する。
本発明は次世代半導体デバイスを開発に使用することができるだけでなく、光学機器の作製にも使用することが出来る。
【0002】
(従来の技術)
真空ユニットと真空排気デバイスとウェハ処理デバイスとを備え、半導体ウェハを処理する装置が知られている(欧州特許EP0275965,M cl. H01J 37/32 1988)。上記装置では、2.45GHzの周波数での単波伝送モードにおいて、プラズマビームの断面及び被処理ウェハの直径は76−100mmの範囲に設定されるものの、被処理ウェハの表面での法線に対してのプラズマ流入角は正確には定められていなかった。
上記方法は最近似アナログ(プロトタイプ)であるとみなされている。
【0003】
(発明の開示)
本発明の要旨は、集積度の高い半導体デバイスおよび高解像光学デバイスの作製に好適な微細構造製造用の装置を開発することにある。また本発明は、既存の装置の機能性を拡大することを目的としている。
半導体ウェハ表面上に微細構造を形成するための本装置は、排気及びアニールシステムを備えた真空チャンバと、半導体ウェハ搬入デバイスと、電力制御されたイオン源と、質量分離器と、電子銃と、ウェハホルダと、イオン電流計とを具備している。
【0004】
本装置には、イオンビーム搬送列と4極質量分析器と、光学顕微鏡と、コンピュータとが取付けられている。イオンビーム搬送列、光学顕微鏡及び電子銃の光軸は、稼動位置にある半導体ウェハの法線と同一面内にあり、ウェハ表面上の一点で交差している。各光軸間の角度は最小角に設定されている。コンピュータは、与えられた位置座標に沿ってウェハを移動させることにより、座標上でイオンビームを走査し、2次電子によるウェハ表面の画像を表示させ、ウェハ表面上でイオンと電子ビームとを結合させる。真空チャンバの真空度は5×10−10トルであり、イオンビーム直径は0.9μm乃至1.5μmの間で変化する。イオンエネルギは5keVである。
【0005】
(発明を実施するための好ましい実施の形態)
図1は本発明に係る装置を図形化して描いた説明図である。
図1には、イオンビームによって半導体ウェハ表面に微細構造を形成する装置が示されており、5×10−10トルの真空度を実現でき必要な図示しない排気及びアニールシステムを備えた超高真空チャンバ1を有している。
【0006】
本装置はさらに、200mmの直径を有する、チャンバ1への半導体ウェハ搬入デバイス2と、半導体ウェハ3と、ゲートウェイバルブ4と、電力制御されたイオン源5と、質量分離器6と、イオンビーム搬送列7と、顕微鏡8と、電子銃9と、4極質量分析器10と、電子検出器11と、ウェハホルダ12と、イオン電流計13と、コンピュータ14と、モニタ15と、インターフェース16とから構成されている。
本発明の装置を用いることにより、次世代半導体デバイスや回折スクリーンを作製するのに適した薄膜半導体構造を製造することが出来る。
【0007】
本発明の装置により上記結果を得る方法は次の通りである。
まず、ウェハ3を残留圧5×10−10トルの真空チャンバ1内に載置する。ついで、双プラズマトロンタイプのイオンビーム列源に窒素を満たし、窒素イオン流を発生させる。そして、イオン流エネルギとウェハ放射角値を設定する。ここでは、ウェハ表面上のS=200×200μm2の領域がI=250nAの電流値を持つ窒素イオン流で均等に照射される。なお、以下のような条件を満足させる必要がある。
【0008】
イオンビーム搬送列7、光学顕微鏡8及び電子銃9の各光軸はウェハ3の表面上にあるF点において交差しなくてはならない。
この交差点Fは、イオンビーム搬送列7、光学顕微鏡8及び電子銃9の各焦点である。
イオンビーム搬送列7、光学顕微鏡8及び電子銃9はウェハ3の前方に互いの光軸間の角度が最小となるように設置される。イオン源5は双プラズマトロンタイプで、アルゴン、酸素及び窒素のようなガスで動作し、500eV乃至20keVの範囲のイオンエネルギを供給する。
【0009】
質量分離器6は、1乃至100a.e.mの質量範囲を有し、相対質量分解能は5a.e.mである。イオンビーム搬送列7は、ラスタサイズとラスタサイズ比とを変更することが出来る。イオンエネルギが0.5keVのときのイオンビームの直径は約1μm(0.9μm乃至1.5μm)である。イオンビーム走査のX,Y方向は、ウェハホルダ12の移動方向と一致しなくてはならない。Y軸に沿ってのイオンビームシフトの電子制御は、Y方向での2倍のラスタサイズ以下である必要はない。Y方向でのイオンビーム走査の直線性が保たれるように制御する必要がある。
【0010】
顕微鏡8はウェハに光が当ったとき8乃至100倍の拡大率が得られるようになっており、映像はTVモニタ上に映される。
電子銃9は、100eV乃至10keVの電子エネルギ、5μAの電子ビーム電流及び約100nmのスポットサイズを発生させる。イオンビームのX,Y方向への走査は、ウェハホルダ12の移動方向と一致させなければならない。
【0011】
Y軸に沿ってのイオンビームシフトの電子制御はY方向での2倍のラスタサイズ以下である必要はない。Y方向でのイオンビーム走査の直線性が保たれるように制御する必要がある。
4極質量分析器10が光学器に取付けられており、正、負の二次イオンを収集する。
測定される質量範囲は1乃至100a.e.mである。絶対質量分解能は5a.e.mである。電子検出器11は2次電子の検出を行う。
【0012】
ウェルホルダ12は、ウェハ3の法線がイオンビーム搬送列7、光学顕微鏡8及び電子銃9の光軸面上に保たれるようにウェハ3を傾斜させる。ウェハ3のイオンビーム搬送列7の法線に対する傾斜角は0乃至90°であり、ウェハ回転角は0乃至360°である。連続回転の必要はない、角度精度は±0.5°でなくてはならない。ウェハホルダ12はウェハ3を室温から700℃まで加熱できる。ウェハ3のX,Y移動方向は、ウェハ面上でなければならない。
ウェハ3のZ方向の移動は、ウェハ表面がイオンビーム搬送列7、光学顕微鏡8及び電子銃9の焦点に重なるように行なわれなければならない。ウェハ移動誤差は約1μmでなくてはならない。
【0013】
イオン電流計13はウェハ3からの電流を測定する。
コンピュータ14はモニタ15とインターフェース16とを備え、装置全体を制御するよう設計されている。コンピュータ14は、与えられた位置座標に沿ってウェハを移動させることによりイオンビームを所定位置内で走査する。イオンビームの停止は、ウェハ電流積算値および4極質量分析器10によって検出されたあるイオンの信号によって決定される。
コンピュータ14は、走査電子又はイオンビームによって発生した2次電子からウェハ表面画像を抽出する。そして、光学顕微鏡8を介して、イオンと電子ビームのラスタを重畳してウェハ表面に供給する。
【0014】
(産業上の利用分野)
本発明は電気及び真空技術の分野に利用される。特に半導体ウェハ上に種々の構造や被着物を形成するための装置に利用される。本発明は次世代半導体デバイスの開発や光学機器の作製にも利用することが出来る。
本発明はさらに、高集積半導体デバイスや高解像光学デバイスの作製に好適な微細構造製造用の装置を開発に利用できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る装置を図形化して描いた説明図。
【符号の説明】
1:超高真空チャンバ
2:半導体ウェハ搬入デバイス
3:半導体ウェハ
4:ゲートウェイバルブ
5:イオン源
6:質量分離器
7:イオンビーム搬送列
8:顕微鏡
9:電子銃
10:4極質量分析器
11:電子検出器
12:ウェハホルダ
13:イオン電流計
14:コンピュータ
15:モニタ
16:インターフェース
Claims (3)
- 排気及びアニールシステムを備えた真空チャンバと、半導体ウェハ搬入デバイスと、電力制御されたイオン源と、質量分離器と、電子銃と、電子検出器と、ウェハホルダと、イオン電流計とを含み、半導体ウェア表面上に微細構造を形成する装置であって、
前記装置は、イオンビーム搬送列と、4極質量分析器と、光学顕微鏡と、コンピュータとを備え、
前記イオンビーム搬送列、前記光学顕微鏡及び前記電子銃の光軸は、稼動位置にある前記半導体ウェハの法線と同一面内にあり、前記ウェハ表面上の一点で交差しており、
前記イオンビーム搬送列、前記光学顕微鏡及び前記電子銃は、前記ウェハの前方に互いの光軸間の角度が最小となるよう設置され、
前記コンピュータは、与えられた位置座標に沿って前記ウェハを移動させることによりイオンビームを所定位置内で走査し、前記ウェハの表面上でイオンと電子ビームとを結合させることにより2次電子によるウェハ表面画像を表示させることを特徴とする装置。 - 請求項1に記載の装置において、
前記真空チャンバの真空度が5×10− 10トルであることを特徴とする装置。 - 請求項1に記載の装置において、
イオンビームの直径が、イオンエネルギが0.5keVのとき、0.9μm乃至1.5μmの範囲であることを特徴とする装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2000117335/28A RU2164718C1 (ru) | 2000-07-04 | 2000-07-04 | Установка для формирования наноструктур на поверхности полупроводниковых пластин ионными пучками |
PCT/RU2001/000261 WO2002003419A2 (fr) | 2000-07-04 | 2001-07-02 | Installation pour former des nanostructures a la surface de plaquettes de semi-conducteur par faisceaux d'ions |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004502291A true JP2004502291A (ja) | 2004-01-22 |
Family
ID=20237171
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002507405A Pending JP2004502291A (ja) | 2000-07-04 | 2001-07-02 | イオンビームにより半導体ウェハの表面に微細構造を形成するための装置 |
Country Status (13)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20020170497A1 (ja) |
EP (1) | EP1280192B1 (ja) |
JP (1) | JP2004502291A (ja) |
AT (1) | ATE279018T1 (ja) |
AU (1) | AU2001269655A1 (ja) |
CA (1) | CA2382984A1 (ja) |
DE (1) | DE60106230T2 (ja) |
DK (1) | DK1280192T3 (ja) |
ES (1) | ES2232637T3 (ja) |
PL (1) | PL353885A1 (ja) |
PT (1) | PT1280192E (ja) |
RU (1) | RU2164718C1 (ja) |
WO (1) | WO2002003419A2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012168979A1 (ja) | 2011-06-10 | 2012-12-13 | 日立コンシューマエレクトロニクス株式会社 | ディスク状記録媒体、及びディスク状記録媒体の記録再生装置 |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
ATE338292T1 (de) * | 2000-07-18 | 2006-09-15 | Optaglio Ltd | Achromatisches beugungselement |
US20100085642A1 (en) * | 2000-07-18 | 2010-04-08 | Optaglio Limited | Diffractive device |
GB0117391D0 (en) | 2001-07-17 | 2001-09-05 | Optaglio Ltd | Optical device and method of manufacture |
US7351346B2 (en) * | 2004-11-30 | 2008-04-01 | Agoura Technologies, Inc. | Non-photolithographic method for forming a wire grid polarizer for optical and infrared wavelengths |
EP1838899A2 (en) * | 2004-11-30 | 2007-10-03 | Agoura Technologies Inc. | Applications and fabrication techniques for large scale wire grid polarizers |
JP4307470B2 (ja) * | 2006-08-08 | 2009-08-05 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置、試料加工方法及び半導体検査装置 |
US20080129930A1 (en) * | 2006-12-01 | 2008-06-05 | Agoura Technologies | Reflective polarizer configuration for liquid crystal displays |
CN103999244B (zh) | 2011-08-05 | 2017-02-15 | 沃斯特克公司 | 具有纳米结构化层的发光二极管及制造和使用方法 |
WO2013141740A1 (en) * | 2012-03-23 | 2013-09-26 | Wostec, Inc. | Sers-sensor with nanostructured layer and methods of making and using |
DE102012017502B4 (de) * | 2012-05-30 | 2022-11-17 | Airbus Defence and Space GmbH | Verfahren zur Nanostrukturierung von anorganischen und organischen Materialien mit hochenergetischer gepulster Laserstrahlung |
US9500789B2 (en) | 2013-03-13 | 2016-11-22 | Wostec, Inc. | Polarizer based on a nanowire grid |
RU2548016C1 (ru) * | 2013-10-16 | 2015-04-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М.Ф. Решетнева" (СибГАУ) | Устройство для ионной обработки внутренних поверхностей изделий миллиметрового диапазона |
WO2015199573A1 (en) | 2014-06-26 | 2015-12-30 | Wostec, Inc. | Wavelike hard nanomask on a topographic feature and methods of making and using |
WO2018093284A1 (en) | 2016-11-18 | 2018-05-24 | Wostec, Inc. | Optical memory devices using a silicon wire grid polarizer and methods of making and using |
WO2018156042A1 (en) | 2017-02-27 | 2018-08-30 | Wostec, Inc. | Nanowire grid polarizer on a curved surface and methods of making and using |
RU2755405C1 (ru) * | 2020-12-22 | 2021-09-15 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт теплофизики им. С.С. Кутателадзе Сибирского отделения Российской академии наук | Установка для высокотемпературного вакуумного отжига тонких плёнок с возможностью in situ оптического наблюдения с высоким разрешением |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4147937A (en) * | 1977-11-01 | 1979-04-03 | Fujitsu Limited | Electron beam exposure system method and apparatus |
DE3853890T2 (de) * | 1987-01-19 | 1995-10-19 | Hitachi Ltd | Mit einem Plasma arbeitendes Gerät. |
US4874947A (en) * | 1988-02-26 | 1989-10-17 | Micrion Corporation | Focused ion beam imaging and process control |
US5311028A (en) * | 1990-08-29 | 1994-05-10 | Nissin Electric Co., Ltd. | System and method for producing oscillating magnetic fields in working gaps useful for irradiating a surface with atomic and molecular ions |
RU2007783C1 (ru) * | 1991-10-02 | 1994-02-15 | Борис Михайлович Овчинников | Способ создания наноструктур |
US5852298A (en) * | 1995-03-30 | 1998-12-22 | Ebara Corporation | Micro-processing apparatus and method therefor |
FR2757881B1 (fr) * | 1996-12-31 | 1999-04-09 | Univ Paris Curie | Procede de traitement d'une surface d'un semi-conducteur, dispositif correspondant et semi-conducteur associe |
US6039000A (en) * | 1998-02-11 | 2000-03-21 | Micrion Corporation | Focused particle beam systems and methods using a tilt column |
-
2000
- 2000-07-04 RU RU2000117335/28A patent/RU2164718C1/ru not_active IP Right Cessation
-
2001
- 2001-07-02 PT PT01948177T patent/PT1280192E/pt unknown
- 2001-07-02 EP EP01948177A patent/EP1280192B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2001-07-02 WO PCT/RU2001/000261 patent/WO2002003419A2/ru active IP Right Grant
- 2001-07-02 JP JP2002507405A patent/JP2004502291A/ja active Pending
- 2001-07-02 AT AT01948177T patent/ATE279018T1/de not_active IP Right Cessation
- 2001-07-02 PL PL01353885A patent/PL353885A1/xx unknown
- 2001-07-02 ES ES01948177T patent/ES2232637T3/es not_active Expired - Lifetime
- 2001-07-02 CA CA002382984A patent/CA2382984A1/en not_active Abandoned
- 2001-07-02 AU AU2001269655A patent/AU2001269655A1/en not_active Abandoned
- 2001-07-02 DE DE60106230T patent/DE60106230T2/de not_active Expired - Fee Related
- 2001-07-02 DK DK01948177T patent/DK1280192T3/da active
- 2001-07-02 US US10/069,656 patent/US20020170497A1/en not_active Abandoned
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012168979A1 (ja) | 2011-06-10 | 2012-12-13 | 日立コンシューマエレクトロニクス株式会社 | ディスク状記録媒体、及びディスク状記録媒体の記録再生装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
PL353885A1 (en) | 2003-12-01 |
ATE279018T1 (de) | 2004-10-15 |
DE60106230D1 (de) | 2004-11-11 |
US20020170497A1 (en) | 2002-11-21 |
AU2001269655A1 (en) | 2002-01-14 |
EP1280192A4 (en) | 2003-03-26 |
WO2002003419A2 (fr) | 2002-01-10 |
EP1280192A2 (en) | 2003-01-29 |
RU2164718C1 (ru) | 2001-03-27 |
DK1280192T3 (da) | 2005-02-07 |
PT1280192E (pt) | 2005-02-28 |
EP1280192B1 (en) | 2004-10-06 |
CA2382984A1 (en) | 2002-01-10 |
ES2232637T3 (es) | 2005-06-01 |
DE60106230T2 (de) | 2005-08-18 |
WO2002003419A3 (fr) | 2002-10-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2004502291A (ja) | イオンビームにより半導体ウェハの表面に微細構造を形成するための装置 | |
US20020017619A1 (en) | Processing/observing instrument | |
EP1710327A2 (en) | Method of selective etching by using a focused ion beam, an electron beam or a laser beam | |
JP2004061504A (ja) | 基板の自動検査システムと方法 | |
JP2005539360A (ja) | 荷電粒子ビームシステム | |
TW200926245A (en) | Composite focused ion beam apparatus, and machining monitoring method and machining method using composite focused ion beam apparatus | |
US7755065B2 (en) | Focused ion beam apparatus | |
JP2023541664A (ja) | 試料を粒子線で分析および/または処理するための装置および方法 | |
JP2909061B2 (ja) | 断面観察装置 | |
JPH11213934A (ja) | 集束イオンビームによる二次イオン像観察方法 | |
JPH07169679A (ja) | プロセス装置 | |
WO2016129026A1 (ja) | ミラーイオン顕微鏡およびイオンビーム制御方法 | |
Davies et al. | Focused ion beam machining and deposition for nanofabrication | |
JP4740668B2 (ja) | 荷電ビーム装置及びそのビーム軸の軸合わせ方法 | |
KR101922004B1 (ko) | 이온 비임 생성을 위한 혁신적인 소스 조립체 | |
JPH08222175A (ja) | 荷電粒子を用いた微細加工方法及び装置 | |
US11199480B2 (en) | Thin-sample-piece fabricating device and thin-sample-piece fabricating method | |
JPH04149945A (ja) | 荷電ビーム断面加工・観察装置 | |
JPS61245164A (ja) | パタ−ン修正装置 | |
US20240170248A1 (en) | Particle beam system | |
JP2012241779A (ja) | 真空接続装置、荷電粒子ビーム描画装置および排気装置の荷電粒子ビーム描画装置への取付方法 | |
Postek et al. | Potentials for high pressure/environmental SEM microscopy for photomask dimensional metrology | |
Postek et al. | Photomask dimensional metrology in the scanning electron microscope, part II: High-pressure/environmental scanning electron microscope | |
JPH11330209A (ja) | 試料の処理方法及びその装置 | |
JP2023171699A (ja) | フォトマスク修復装置およびフォトマスク修復方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050222 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20050523 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20050602 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20051108 |