JP2004361977A5 - 横方向電界駆動方式の液晶電気光学装置の製造方法 - Google Patents
横方向電界駆動方式の液晶電気光学装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004361977A5 JP2004361977A5 JP2004245244A JP2004245244A JP2004361977A5 JP 2004361977 A5 JP2004361977 A5 JP 2004361977A5 JP 2004245244 A JP2004245244 A JP 2004245244A JP 2004245244 A JP2004245244 A JP 2004245244A JP 2004361977 A5 JP2004361977 A5 JP 2004361977A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- forming
- spacer
- substrates
- liquid crystal
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Claims (9)
- 画素電極とコモン電極との間に、基板面に平行に電界が形成される液晶電気光学装置の製造方法であって、
一対の基板のいずれか一方の上に薄膜トランジスタを形成する工程と、
前記一方の基板上の前記薄膜トランジスタを覆うように、電極及び該電極を被覆する誘電体からなる第１のスペーサを形成する工程と、
前記一方の基板上に、前記第１のスペーサと離間して絶縁体からなる第２のスペーサを形成する工程と、
前記第１のスペーサの側面に前記画素電極を形成すると共に、前記第２のスペーサの側面に前記コモン電極を形成する工程と、
前記一対の基板のいずれか一方の周辺にシール材を形成する工程と、
前記シール材が形成された一方の基板に液晶材料を滴下する工程と、
前記液晶材料が滴下された一方の基板に前記一対の基板の他方を重ねて押圧する工程とを有する横方向電界駆動方式の液晶電気光学装置の製造方法。 - 画素電極とコモン電極との間に、基板面に平行に電界が形成される液晶電気光学装置の製造方法であって、
一対の基板のいずれか一方の上に、島状のシリコン膜、ゲイト電極、及び該島状のシリコン膜と該ゲイト電極との間にゲイト絶縁膜を有する薄膜トランジスタを形成する工程と、
前記一方の基板上の前記薄膜トランジスタを覆うように、電極及び該電極を被覆する誘電体からなる第１のスペーサを形成する工程と、
前記一方の基板上に、前記第１のスペーサと離間して絶縁体からなる第２のスペーサを形成する工程と、
前記第１のスペーサの側面に前記画素電極を形成すると共に、前記第２のスペーサの側面に前記コモン電極を形成する工程と、
前記一対の基板のいずれか一方の周辺にシール材を形成する工程と、
前記シール材が形成された一方の基板に液晶材料を滴下する工程と、
前記液晶材料が滴下された一方の基板に前記一対の基板の他方を重ねて押圧する工程と、
前記一対の基板それぞれの外側に偏光板を貼る工程とを有する横方向電界駆動方式の液晶電気光学装置の製造方法。 - 画素電極とコモン電極との間に、基板面に平行に電界が形成される液晶電気光学装置の製造方法であって、
一対の基板のいずれか一方の上に、島状のシリコン膜、該島状のシリコン膜上にゲイト絶縁膜、及び該ゲイト絶縁膜上にゲイト電極を有する薄膜トランジスタを形成する工程と、
前記ゲイト電極及び前記ゲイト絶縁膜を覆うように窒化珪素若しくは酸化珪素、又は窒化珪素と酸化珪素を成膜することによって第１の層間絶縁膜を形成する工程と、
前記第１の層間絶縁膜上に透光性有機樹脂でなる第２の層間絶縁膜を形成する工程と、
前記第２の層間絶縁膜上に前記島状のシリコン膜と電気的に接続するように配線を形成し、
前記第２の層間絶縁膜上に、電極及び該電極を被覆する誘電体からなる第１のスペーサを形成する工程と、
前記第２の層間絶縁膜上に、前記第１のスペーサと離間して絶縁体からなる第２のスペーサを形成する工程と、
前記第１のスペーサの側面に前記画素電極を前記配線と電気的に接続するように形成すると共に、前記第２のスペーサの側面に前記コモン電極を形成する工程と、
前記一対の基板のいずれか一方の周辺にシール材を形成する工程と、
前記シール材が形成された一方の基板に液晶材料を滴下する工程と、
前記液晶材料が滴下された一方の基板に前記一対の基板の他方を重ねて押圧する工程と、
前記一対の基板それぞれの外側に偏光板を貼る工程とを有する横方向電界駆動方式の液晶電気光学装置の製造方法。 - 請求項１又は請求項２において、前記薄膜トランジスタは逆スタガー型になるように形成される横方向電界駆動方式の液晶電気光学装置の製造方法。
- 請求項２又は請求項３において、前記ゲイト絶縁膜はＴＥＯＳを用いたプラズマＣＶＤ法によって形成される横方向電界駆動方式の液晶電気光学装置の製造方法。
- 請求項３において、前記透光性有機樹脂はアクリル樹脂である横方向電界駆動方式の液晶電気光学装置の製造方法。
- 請求項３又は請求項６において、前記配線はアルミニウム、銅、クロム、チタン、又はＩＴＯを成膜した後、パターニングして形成される横方向電界駆動方式の液晶電気光学装置の製造方法。
- 請求項１乃至請求項７のいずれか一において、前記電極はアルミニウム膜をパターニングして形成される横方向電界駆動方式の液晶電気光学装置の製造方法。
- 請求項１乃至請求項８のいずれか一において、前記第１のスペーサ及び前記第２のスペーサは、断面が長方形又は台形状になるように形成される横方向電界駆動方式の液晶電気光学装置の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004245244A JP3727643B2 (ja) | 2004-08-25 | 2004-08-25 | 横方向電界駆動方式の液晶電気光学装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004245244A JP3727643B2 (ja) | 2004-08-25 | 2004-08-25 | 横方向電界駆動方式の液晶電気光学装置の製造方法 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3887396A Division JP3645348B2 (ja) | 1996-01-31 | 1996-01-31 | 液晶電気光学装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2004361977A JP2004361977A (ja) | 2004-12-24 |
| JP2004361977A5 true JP2004361977A5 (ja) | 2005-06-09 |
| JP3727643B2 JP3727643B2 (ja) | 2005-12-14 |
Family
ID=34056498
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2004245244A Expired - Fee Related JP3727643B2 (ja) | 2004-08-25 | 2004-08-25 | 横方向電界駆動方式の液晶電気光学装置の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3727643B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5865088B2 (ja) | 2012-01-19 | 2016-02-17 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 液晶表示装置およびその製造方法 |
| CN106125436B (zh) * | 2016-08-31 | 2019-09-20 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种阵列基板、显示面板及制作方法 |
-
2004
- 2004-08-25 JP JP2004245244A patent/JP3727643B2/ja not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2011233889A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
| US8908117B2 (en) | Thin film transistor array substrate and liquid crystal display apparatus comprising a transparent conductive film pattern having a first type pattern and a second type pattern | |
| US9377644B2 (en) | Display device | |
| TWI519876B (zh) | 主動矩陣型基板 | |
| US9324735B2 (en) | Array substrate and manufacturing method thereof, display panel and display device | |
| KR102132445B1 (ko) | 액정 디스플레이 패널 및 이의 제조 방법 | |
| JP2008305843A5 (ja) | ||
| WO2012144450A1 (ja) | 表示装置 | |
| KR102312924B1 (ko) | 박막 트랜지스터 표시판 및 이의 제조 방법 | |
| JP2010097204A5 (ja) | ||
| TW201405833A (zh) | 顯示裝置及其製造方法 | |
| WO2012117695A1 (ja) | 半導体装置及びその製造方法並びに表示装置 | |
| WO2015096371A1 (zh) | 一种电极引出结构、阵列基板以及显示装置 | |
| TWI406420B (zh) | 主動矩陣基板、顯示裝置及主動矩陣基板之製造方法 | |
| JP2007304599A5 (ja) | ||
| WO2013104300A1 (zh) | 阵列基板及包括该阵列基板的显示装置 | |
| KR102062243B1 (ko) | 박막 트랜지스터, 및 화상 표시 장치 | |
| JP2006047827A5 (ja) | ||
| US20190109155A1 (en) | Array substrate, method of producing the same, and display panel | |
| JP2010243894A5 (ja) | ||
| CN103869561A (zh) | 具有双连接结构的液晶显示装置及其制造方法 | |
| US9082855B2 (en) | Thin film transistor display panel and method of manufacturing the same | |
| WO2013011601A1 (ja) | 液晶表示装置およびその製造方法 | |
| JP2004361977A5 (ja) | 横方向電界駆動方式の液晶電気光学装置の製造方法 | |
| WO2013008359A1 (ja) | 液晶表示装置およびその製造方法 |