JP2004361098A - Semiconductor integrated circuit, and semiconductor integrated circuit device - Google Patents

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JP2004361098A JP2003156432A JP2003156432A JP2004361098A JP 2004361098 A JP2004361098 A JP 2004361098A JP 2003156432 A JP2003156432 A JP 2003156432A JP 2003156432 A JP2003156432 A JP 2003156432A JP 2004361098 A JP2004361098 A JP 2004361098A
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a semiconductor integrated circuit for reducing the development man-hours of a test program for inspecting AC characteristics and reducing the test time of AC characteristic inspection. <P>SOLUTION: A three-input selector is provided at the data of a flip-flop at an initial stage for receiving signals for ensuring AC characteristics. Input 1, input 2, and input 3 of the selector are set to be data in the normal case, data via the delay of set-up time from the reference clock of AC characteristics, and data via the delay of hold time from the reference clock of AC characteristics, respectively. Then, an output data compressor 20, an expectation value storage register 21, and a comparator 22 are provided to the output of an initial stage flip-flop 16, and the self-inspection of the semiconductor integrated circuit can be made. The development period of the test program, and test time can be greatly reduced by the self inspection. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体集積回路、及び半導体集積回路装置に関し、特に半導体集積回路のテスト回路に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
半導体集積回路のAC特性のセットアップ時間、ホールド時間の検査を行なう場合、該半導体集積回路の実動作パターンを、該半導体集積回路のAC特性の規格に合わせて加工して、その動作させた結果で、PASS/FAILの判定を行なっていた。
また、半導体集積回路の内蔵メモリのAC特性を、自己検査(BIST:Built In Self Test)する、という特許もある(例えば、特許文献1参照。)。
【0003】
【特許文献1】
特開平11−317096号公報(第1−2頁、第1図)
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上述の従来技術には、AC特性の規格に合わせて実動作パターンを加工するため、テストプログラムの開発工数が多くなるという問題や、実動作パターンを使用しているために、テスト時間が長くなるという問題があった。
【0005】
また、特開平11−317096号公報に開示されているセルフテスト方法は、内蔵メモリのAC特性の自己検査(BIST)に特化したものであるため、他のAC特性には使用できないという問題があった。
【0006】
この発明は、上記のような従来の問題点に鑑みてなされたもので、AC特性検査用テストプログラムの開発工数を削減するとともに、AC特性検査のテスト時間を短縮することのできる半導体集積回路を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するためには、AC特性のセットアップ時間、ホールド時間を保証するために、そのデータを受ける初段のフリップフロップが正常動作することを確認できるようにすればよいことから、本発明にかかる半導体集積回路は、該半導体集積回路内部に予め基準クロックに同期したセットアップ時間設定用の遅延セル、及びホールド時間設定用の遅延セルを内蔵させておくようにしたものである。これにより、データ入力の設定を容易に行なうことができる。
【0008】
すなわち、本発明の請求項1にかかる半導体集積回路は、AC特性のセットアップ時間を保証するための検査を行う半導体集積回路であって、AC特性のセットアップ時間の基準となるクロックを入力し、該クロックをセットアップ時間分遅延させるセットアップ時間設定用遅延セルを有する、ことを特徴とするものである。これにより、セットアップ時間を考慮した波形の設定が容易になり、セットアップ時間検査用テストプログラム開発工数を削減し、かつセットアップ時間検査のテスト時間を短縮することができる。
【0009】
本発明の請求項2にかかる半導体集積回路は、AC特性のホールド時間を保証するための検査を行う半導体集積回路であって、AC特性のホールド時間の基準となるクロックを入力し、該クロックをホールド時間分遅延させるホールド時間設定用遅延セルを有する、ことを特徴とするものである。これにより、ホールド時間を考慮した波形の設定が容易になり、ホールド時間検査用テストプログラム開発工数を削減し、かつホールド時間検査のテスト時間を短縮することができる。
【0010】
本発明の請求項3にかかる半導体集積回路は、AC特性のセットアップ時間、及びホールド時間を保証するための検査を行う半導体集積回路であって、AC特性のセットアップ時間、及びホールド時間の基準となるクロックを入力し、該クロックをセットアップ時間分遅延させるセットアップ時間設定用遅延セルと、AC特性のセットアップ時間、及びホールド時間の基準となるクロックを入力し、該クロックをホールド時間分遅延させるホールド時間設定用遅延セルと、セットアップ時間の検査と、ホールド時間の検査とを切り替え可能とするセレクタとを有する、ことを特徴とするものである。これにより、セットアップ時間の検査、及びホールド時間の検査を自動で切り替えることが可能となる。
【0011】
本発明の請求項4にかかる半導体集積回路は、請求項3に記載の半導体集積回路において、該半導体集積回路の出力データを圧縮する出力データ圧縮器と、該半導体集積回路の出力として出力されることが期待される期待値を格納する期待値格納レジスタと、上記出力データ圧縮器の結果と、上記期待値格納レジスタに格納されている期待値とを比較する比較器と、上記セレクタの切り替えを制御する制御回路とを有し、該半導体集積回路の自己検査を可能とした、ことを特徴とするものである。これにより、セットアップ時間、及びホールド時間の自己検査が可能となり、この結果、テストプログラム開発期間をさらに削減することができる。
【0012】
本発明の請求項5にかかる半導体集積回路装置は、請求項4に記載の半導体集積回路(以降ACBIST_UNITと記す)を複数有し、さらに、上記複数のACBIST_UNITの動作を制御するBIST制御部と、上記複数のACBIST_UNITの自己検査の結果を判定するBIST判定部とを有する、ことを特徴とするものである。これにより、複数のAC特性のセットアップ時間、及びホールド時間の自己検査が可能となり、この結果、テストプログラム開発期間をさらに削減することができる。
【0013】
本発明の請求項6にかかる半導体集積回路装置は、請求項5記載の半導体集積回路装置において、上記BIST制御部は、上記各ACBIST_UNITを同時に検査する並列検査モードと、上記各ACBIST_UNITの診断を任意の順序で行うことのできる診断モードとを切り替える機能を有する、ことを特徴とするものである。これにより、どのAC特性検査でFAILしたかを解析することができる。
【0014】
【発明の実施の形態】
(実施の形態1)
図1は、本発明の実施の形態1による半導体集積回路を示す図である。
図において、1は、AC特性のセットアップ時間、ホールド時間の基準となるクロックである。外部から入力されたクロック1は、I/Oセル2の入力バッファ3を通って、初段フリップフロップ16のCK端子18に接続されている。
【0015】
セットアップ時間、ホールド時間の対象となる入力データ4は、I/Oセル5内にあるセレクタ6の、入力A端子7に接続されている。クロック1から派生した2つの信号線は、一方は、セットアップ時間調整用遅延調整セル8を介して、セレクタ6の、入力B端子9に、もう一方は、ホールド時間調整用遅延調整セル10を介して、セレクタ6の、入力C端子11に接続されている。
【0016】
セレクト信号制御部13から出力される信号は、セレクタ6のS端子14に接続されるセレクト信号である。このセレクト信号は、セレクタ6の、入力A端子7、入力B端子9、及び入力C端子11のうち、いずれか1つ選択を行なう。ノーマル動作時は、入力A端子7が選択され、セットアップ時間の検査を行なっている時は、入力B端子9が選択され、ホールド時間の検査を行なっている時は、入力C端子11が選択される。
【0017】
セレクタ6の出力Y端子12から出力される信号は、入力バッファ15を通って、初段フリップフロップ16のデータD端子17に入力される。初段フリップフロップ16の出力Q端子19から出力された信号は、出力データ圧縮器20で、データを圧縮された後、比較器22で、期待値格納レジスタの期待値21との比較判定が行なわれる。
【0018】
次に、本実施の形態1による半導体集積回路の動作について説明する。
図2はAC特性のセットアップ時間を検査した時の初段フリップフロップの動作波形図である。セットアップ時間の検査を行なう時は図1のセレクタ6は入力B端子9が選択されセットアップ用遅延セルの遅延量分、クロックが遅れた波形が初段フリップフロップのD端子に入る。この時初段フリップフロップのCK端子とD端子の波形の位相差はセットアップ時間の規格分である。判定は初段フリップフロップのQ端子がHighであれば正常にデータを取り込めたことになりPASS、初段フリップフロップのQ端子がLowであれば1サイクル前のデータを取り込んだことになりFAILと判定することができる。
【0019】
図3は同様にAC特性のホールド時間の検査を行なう時の初段フリップフロップの動作波形図である。ホールド時間の検査を行なう時は図1のセレクタ6は入力C端子11が選択されホールド用遅延セルの遅延量分、クロックが遅れた波形が初段フリップフロップのD端子に入る。この時初段フリップフロップのCK端子とD端子の波形の位相差はホールド時間の規格分である。判定は初段フリップフロップの出力がHighであれば正常にデータを取り込めたことになりPASS、初段フリップフロップの出力がLowであれば1サイクル前のデータを取り込んだことになりFAILと判定することができる。
【0020】
以上のような本実施の形態1による半導体集積回路においては、上記の構成により、クロックに対するセットアップ時間、ホールド時間の自己検査を行なうことができる。しかも、AC特性のセットアップ時間、ホールド時間を保証するために、そのデータを受ける初段のフリップフロップが正常動作することを確認するようにしているので、AC特性の規格に合わせて実動作パターンを加工する必要がなく、AC特性検査用テストプログラムの開発工数を大きく削減でき、また、実動作パターンを使用していないため、AC特性検査のテスト時間を大きく短縮することができる効果がある。
【0021】
(実施の形態2)
図4は、本発明の実施の形態2による半導体集積回路装置を示す図である。
図において、ACBIST(1)30、ACBIST(2)31、ACBIST(N)32、は、上記実施の形態1の半導体集積回路の構成要素を備えた各AC特性毎に自己検査を行うN個のUNITである。33は、ACBIST(1)30の基準となるクロックCLK(1)、34は、ACBIST(2)31の基準となるクロックCLK(2)、35は、上記ACBIST(N)32の基準となるクロックCLK(N)、36は、ACBIST(1)30〜ACBIST(N)32の制御を行なうBIST制御部、37は、AC特性自己検査の実行/非実行を制御する信号であるBIST_ENABLE信号である。38は、各自己検査回路の判定結果を受け、AC特性検査全体のPASS/FAIL判定を行ない、BIST結果判定信号39を出力するBIST判定部である。40は、検査終了時に出力されるテスト終了信号である。
【0022】
次に、本実施の形態2による半導体集積回路装置の動作について説明する。
図5は各ACBIST_UNITを並列に検査した時の各ACBIST_UNITの判定動作とAC特性全体の判定動作を示す動作波形図である。
【0023】
各ACBIST_UNITはBIST_ENABLE信号がHighになった後のCLK(1)の1クロック目で図1のセレクタ6の3つの入力の内、入力B端子が選択され、3クロック目でセットアップのPASS/FAIL判定が行なわれ、4クロック目でセレクタ6の3つの入力の内、入力C端子が選択され、6クロック目でホールドのPASS/FAIL判定が行なわれ、7クロック目で比較器による比較判定が行なわれ、セットアップ、ホールド検査ともにPASSの場合はHighが出力される。その他のACBIST_UNITも同様の動作が行なわれる。全ACBIST_UNITの動作終了後、テスト終了信号が出力され各ACBIST_UNITの比較器の判定信号のAND結果がBIST結果判定信号として出力される。BIST結果判定信号がHighならば全体の検査としてPASSしたことになる。
【0024】
以上のような本実施の形態2による半導体集積回路装置によれば、以上のような構成としたので、各ACBIST UNITの複数のAC特性の自己検査を行なうことができ、その際、AC特性検査用テストプログラムの開発工数を大きく削減でき、かつ、AC特性検査のテスト時間を大きく短縮することができる。さらに、本実施の形態2においては、並列検査/診断モード切替信号41を設けることにより、ACBIST(1)からACBIST(N)までを同時に並列検査を行なうことが可能で、これにより、テスト時間を大幅に短縮することができる。
【0025】
また、診断モードでは、任意のUNITを任意の順番でその診断を行なうことができ、これにより、どのAC検査でFAILになったかを解析することができる。
【0026】
【発明の効果】
以上のように、本発明の請求項1にかかる半導体集積回路によれば、AC特性のセットアップ時間を保証するための検査を行う半導体集積回路であって、AC特性のセットアップ時間の基準となるクロックを入力し、該クロックをセットアップ時間分遅延させるセットアップ時間設定用遅延セルを有する、ものとしたので、セットアップ時間を考慮した波形の設定が容易になり、セットアップ時間検査用テストプログラム開発工数を削減し、かつセットアップ時間検査のテスト時間を短縮できる効果が得られる。
【0027】
本発明の請求項2にかかる半導体集積回路によれば、AC特性のホールド時間を保証するための検査を行う半導体集積回路であって、AC特性のホールド時間の基準となるクロックを入力し、該クロックをホールド時間分遅延させるホールド時間設定用遅延セルを有する、ものとしたので、ホールド時間を考慮した波形の設定が容易になり、ホールド時間検査用テストプログラム開発工数を削減し、かつホールド時間検査のテスト時間を短縮できる効果が得られる。
【0028】
本発明の請求項3にかかる半導体集積回路によれば、AC特性のセットアップ時間、及びホールド時間を保証するための検査を行う半導体集積回路であって、AC特性のセットアップ時間、及びホールド時間の基準となるクロックを入力し、該クロックをセットアップ時間分遅延させるセットアップ時間設定用遅延セルと、AC特性のセットアップ時間、及びホールド時間の基準となるクロックを入力し、該クロックをホールド時間分遅延させるホールド時間設定用遅延セルと、セットアップ時間の検査と、ホールド時間の検査とを切り替え可能とするセレクタとを有する、ものとしたので、セットアップ時間の検査、及びホールド時間の検査を自動で切り替えることが可能となる効果が得られる。
【0029】
本発明の請求項4にかかる半導体集積回路によれば、請求項3に記載の半導体集積回路において、該半導体集積回路の出力データを圧縮する出力データ圧縮器と、該半導体集積回路の出力として出力されることが期待される期待値を格納する期待値格納レジスタと、上記出力データ圧縮器の結果と、上記期待値格納レジスタに格納されている期待値とを比較する比較器と、上記セレクタの切り替えを制御する制御回路とを有し、該半導体集積回路の自己検査を可能とした、ものとしたので、セットアップ時間、及びホールド時間の自己検査が可能となり、この結果、テストプログラム開発期間をさらに削減できる効果が得られる。
【0030】
本発明の請求項5にかかる半導体集積回路装置によれば、請求項4に記載の半導体集積回路(以降ACBIST_UNITと記す)を複数有し、さらに、上記複数のACBIST_UNITの動作を制御するBIST制御部と、上記複数のACBIST_UNITの自己検査の結果を判定するBIST判定部とを有する、ものとしたので、複数のAC特性検査を同時に並行して検査でき、テスト時間を大幅に短縮できる効果が得られる。
【0031】
本発明の請求項6にかかる半導体集積回路装置によれば、請求項5記載の半導体集積回路装置において、上記BIST制御部は、上記各ACBIST_UNITを同時に検査する並列検査モードと、上記各ACBIST_UNITの診断を任意の順序で行うことのできる診断モードとを切り替える機能を有する、ものとしたので、各ACBIST_UNITを同時に検査でき、検査時間を短縮することができるとともに、前記各自己検査回路は、どのAC特性検査でFAILしたかを解析することができる効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1による半導体集積回路を示す図である。
【図2】本発明の実施の形態1のセットアップ時間を検査する場合の動作波形図である。
【図3】本発明の実施の形態1のホールド時間を検査する場合の動作波形図である。
【図4】本発明の実施の形態2による半導体集積回路装置を示す図である。
【図5】本発明の実施の形態2の動作波形図である。
【符号の説明】
1 クロック
2、5 I/Oセル
3、15 入力バッファ
4 入力データ
6 セレクタ
7 セレクタの入力A端子
8 セットアップ時間調整用遅延調整セル
9 セレクタの入力B端子
10 ホールド時間調整用遅延調整セル
11 セレクタの入力C端子
12 セレクタの出力Y端子
13 セレクト信号制御部
14 セレクタのS端子
16 初段フリップフロップ
17 初段フリップフロップのデータD端子
18 初段フリップフロップのクロック端子
19 初段フリップフロップの出力Q端子
20 出力データ圧縮器
21 期待値格納レジスタ
22 比較器
30 ACBIST(1)
31 ACBIST(2)
32 ACBIST(N)
33 ACBIST(1)の基準となるクロックCLK(1)
34 ACBIST(2)の基準となるクロックCLK(2)
35 ACBIST(N)の基準となるクロックCLK(N)
36 BIST制御部
37 BIST_ENABLE信号
38 BIST判定部
39 BIST結果判定信号
40 テスト終了信号
41 並列検査/診断モード切替信号
[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a semiconductor integrated circuit and a semiconductor integrated circuit device, and more particularly to a test circuit for a semiconductor integrated circuit.
[0002]
[Prior art]
When testing the setup time and hold time of the AC characteristics of the semiconductor integrated circuit, the actual operation pattern of the semiconductor integrated circuit is processed in accordance with the standard of the AC characteristics of the semiconductor integrated circuit, and the result of the operation is used. , PASS / FAIL.
There is also a patent for performing a self-test (BIST: Built In Self Test) on the AC characteristics of a built-in memory of a semiconductor integrated circuit (for example, see Patent Document 1).
[0003]
[Patent Document 1]
JP-A-11-317096 (page 1-2, FIG. 1)
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the above-described conventional technology, the actual operation pattern is processed in accordance with the standard of the AC characteristics, so that the number of test program development steps is increased, and the test time is increased because the actual operation pattern is used. There was a problem of becoming long.
[0005]
Further, the self-test method disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-317096 is specialized in self-test (BIST) of the AC characteristics of the built-in memory, and therefore cannot be used for other AC characteristics. there were.
[0006]
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-described conventional problems, and provides a semiconductor integrated circuit capable of reducing the number of steps for developing an AC characteristic inspection test program and shortening the AC characteristic inspection test time. The purpose is to provide.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
In order to solve the above-mentioned problem, it is sufficient to confirm that the first-stage flip-flop receiving the data operates normally in order to guarantee the setup time and the hold time of the AC characteristics. In such a semiconductor integrated circuit, a delay cell for setting up a setup time and a delay cell for setting a hold time, which are synchronized with a reference clock in advance, are built in the semiconductor integrated circuit. This makes it easy to set data input.
[0008]
That is, the semiconductor integrated circuit according to claim 1 of the present invention is a semiconductor integrated circuit that performs a test for guaranteeing the setup time of the AC characteristics, and inputs a clock that is a reference for the setup time of the AC characteristics. It has a setup time setting delay cell for delaying the clock by the setup time. This facilitates setting of a waveform in consideration of the setup time, reduces the number of test program development man-hours for setup time inspection, and shortens the test time for setup time inspection.
[0009]
A semiconductor integrated circuit according to a second aspect of the present invention is a semiconductor integrated circuit for performing a test for guaranteeing a hold time of an AC characteristic. A delay cell for hold time setting for delaying by a hold time. This makes it easy to set the waveform in consideration of the hold time, reduces the number of test steps for developing the test program for the hold time inspection, and shortens the test time for the hold time inspection.
[0010]
A semiconductor integrated circuit according to a third aspect of the present invention is a semiconductor integrated circuit that performs a test for guaranteeing a setup time and a hold time of an AC characteristic, and serves as a reference for the setup time and the hold time of the AC characteristic. A setup time delay cell for inputting a clock and delaying the clock by the setup time, and a hold time setting for inputting a clock serving as a reference for the setup time and the hold time of the AC characteristics and delaying the clock by the hold time A delay cell for use, and a selector capable of switching between a test for a setup time and a test for a hold time. As a result, it is possible to automatically switch the inspection of the setup time and the inspection of the hold time.
[0011]
According to a fourth aspect of the present invention, in the semiconductor integrated circuit according to the third aspect, an output data compressor for compressing output data of the semiconductor integrated circuit is output as an output of the semiconductor integrated circuit. An expected value storage register for storing an expected value expected to be obtained, a comparator for comparing a result of the output data compressor with an expected value stored in the expected value storage register, and switching of the selector. And a self-inspection of the semiconductor integrated circuit. As a result, the self-test of the setup time and the hold time becomes possible, and as a result, the test program development period can be further reduced.
[0012]
A semiconductor integrated circuit device according to a fifth aspect of the present invention includes a plurality of the semiconductor integrated circuits according to the fourth aspect (hereinafter referred to as ACBIST_UNIT), and further includes a BIST control unit that controls an operation of the plurality of ACBIST_UNITs; A BIST determination unit that determines a result of the self-inspection of the plurality of ACBIST_UNITs. As a result, the self-test of the setup time and the hold time of a plurality of AC characteristics becomes possible, and as a result, the test program development period can be further reduced.
[0013]
In the semiconductor integrated circuit device according to a sixth aspect of the present invention, in the semiconductor integrated circuit device according to the fifth aspect, the BIST control unit arbitrarily sets a parallel test mode for simultaneously testing the ACBIST_UNITs and a diagnosis of the ACBIST_UNITs. And a function of switching between diagnostic modes that can be performed in this order. As a result, it is possible to analyze which AC characteristic test failed.
[0014]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
(Embodiment 1)
FIG. 1 is a diagram showing a semiconductor integrated circuit according to a first embodiment of the present invention.
In the figure, reference numeral 1 denotes a clock serving as a reference for a setup time and a hold time of AC characteristics. The clock 1 input from the outside passes through the input buffer 3 of the I / O cell 2 and is connected to the CK terminal 18 of the first-stage flip-flop 16.
[0015]
The input data 4 to be set and held is connected to the input A terminal 7 of the selector 6 in the I / O cell 5. One of two signal lines derived from the clock 1 is connected to the input B terminal 9 of the selector 6 via the setup time adjustment delay adjustment cell 8, and the other is connected to the hold time adjustment delay adjustment cell 10 via the setup time adjustment delay adjustment cell 8. The selector 6 is connected to the input C terminal 11.
[0016]
The signal output from the select signal control unit 13 is a select signal connected to the S terminal 14 of the selector 6. The select signal selects one of the input A terminal 7, the input B terminal 9, and the input C terminal 11 of the selector 6. In the normal operation, the input A terminal 7 is selected, the input B terminal 9 is selected when the setup time is checked, and the input C terminal 11 is selected when the hold time is checked. You.
[0017]
The signal output from the output Y terminal 12 of the selector 6 passes through the input buffer 15 and is input to the data D terminal 17 of the first-stage flip-flop 16. The signal output from the output Q terminal 19 of the first-stage flip-flop 16 is subjected to data compression by an output data compressor 20, and then a comparator 22 makes a comparison determination with an expected value 21 of an expected value storage register. .
[0018]
Next, the operation of the semiconductor integrated circuit according to the first embodiment will be described.
FIG. 2 is an operation waveform diagram of the first-stage flip-flop when the setup time of the AC characteristics is inspected. When checking the setup time, the selector 6 in FIG. 1 selects the input B terminal 9, and the waveform whose clock is delayed by the delay amount of the setup delay cell is input to the D terminal of the first stage flip-flop. At this time, the phase difference between the waveforms of the CK terminal and the D terminal of the first-stage flip-flop is a standardized setup time. If the Q terminal of the first-stage flip-flop is High, it means that the data has been normally captured, and if the Q terminal of the first-stage flip-flop is Low, it means that the data of one cycle before has been taken, and it is determined as FAIL. be able to.
[0019]
FIG. 3 is an operation waveform diagram of the first-stage flip-flop when the hold time of the AC characteristic is similarly inspected. When checking the hold time, the selector 6 in FIG. 1 selects the input C terminal 11, and the waveform whose clock is delayed by the delay amount of the hold delay cell enters the D terminal of the first stage flip-flop. At this time, the phase difference between the waveforms of the CK terminal and the D terminal of the first-stage flip-flop is the standard value of the hold time. If the output of the first-stage flip-flop is High, it means that the data has been normally captured, and if the output of the first-stage flip-flop is Low, it means that the data of one cycle before has been fetched. it can.
[0020]
In the semiconductor integrated circuit according to the first embodiment as described above, the self-test of the setup time and the hold time for the clock can be performed by the above configuration. Moreover, in order to guarantee the setup time and the hold time of the AC characteristics, it is confirmed that the first stage flip-flop receiving the data operates normally. Therefore, the actual operation pattern is processed in accordance with the standard of the AC characteristics. This eliminates the need to perform the test, thereby greatly reducing the number of steps for developing the test program for the AC characteristics inspection, and since the actual operation pattern is not used, the test time for the AC characteristics inspection can be greatly reduced.
[0021]
(Embodiment 2)
FIG. 4 is a diagram showing a semiconductor integrated circuit device according to a second embodiment of the present invention.
In the figure, ACBIST (1) 30, ACBIST (2) 31, and ACBIST (N) 32 are N pieces of self-tests for each AC characteristic having the components of the semiconductor integrated circuit of the first embodiment. UNIT. 33 is a clock CLK (1) serving as a reference for the ACBIST (1) 30, 34 is a clock CLK (2) serving as a reference for the ACBIST (2) 31, and 35 is a clock serving as a reference for the ACBIST (N) 32. CLK (N) and 36 are BIST control units for controlling the ACBIST (1) 30 to ACBIST (N) 32, and 37 is a BIST_ENABLE signal for controlling execution / non-execution of the AC characteristic self-test. Reference numeral 38 denotes a BIST determination unit that receives a determination result of each self-test circuit, performs a PASS / FAIL determination of the entire AC characteristic test, and outputs a BIST result determination signal 39. Reference numeral 40 denotes a test end signal output at the end of the test.
[0022]
Next, the operation of the semiconductor integrated circuit device according to the second embodiment will be described.
FIG. 5 is an operation waveform diagram showing a judgment operation of each ACBIST_UNIT and a judgment operation of the entire AC characteristic when each ACBIST_UNIT is inspected in parallel.
[0023]
In each ACBIST_UNIT, the input B terminal is selected from the three inputs of the selector 6 in FIG. 1 at the first clock of the CLK (1) after the BIST_ENABLE signal becomes High, and the PASS / FAIL judgment of the setup is performed at the third clock. The input C terminal is selected from the three inputs of the selector 6 at the fourth clock, the PASS / FAIL judgment of the hold is performed at the sixth clock, and the comparison judgment by the comparator is performed at the seventh clock. If both the setup and hold inspections are PASS, High is output. The other ACBIST_UNIT performs the same operation. After the operation of all ACBIST_UNITs is completed, a test end signal is output, and the AND result of the determination signals of the comparators of each ACBIST_UNIT is output as a BIST result determination signal. If the BIST result determination signal is High, it means that the entire test has been PASSed.
[0024]
According to the semiconductor integrated circuit device according to the second embodiment as described above, since the configuration is as described above, a plurality of AC characteristics of each ACBIST UNIT can be self-tested. The development man-hours of the test program for use can be greatly reduced, and the test time for the AC characteristic inspection can be greatly reduced. Furthermore, in the second embodiment, by providing the parallel test / diagnosis mode switching signal 41, it is possible to perform parallel tests from ACBIST (1) to ACBIST (N) simultaneously, thereby reducing the test time. It can be greatly reduced.
[0025]
In the diagnostic mode, any unit can be diagnosed in any order, so that it is possible to analyze which AC test resulted in FAIL.
[0026]
【The invention's effect】
As described above, according to the semiconductor integrated circuit of the first aspect of the present invention, there is provided a semiconductor integrated circuit for performing an inspection for guaranteeing a setup time of an AC characteristic, wherein a clock serving as a reference of the setup time of the AC characteristic And a setup time delay cell for delaying the clock by the setup time, so that setting of the waveform in consideration of the setup time is facilitated, and the number of test program development steps for setup time inspection is reduced. In addition, the test time of the setup time inspection can be shortened.
[0027]
According to the semiconductor integrated circuit of the second aspect of the present invention, there is provided a semiconductor integrated circuit for performing a test for guaranteeing a hold time of an AC characteristic. Since it has a delay cell for hold time setting that delays the clock by the hold time, it is easy to set the waveform considering the hold time, reduce the number of test program development steps for hold time inspection, and hold time inspection This has the effect of reducing the test time of the test.
[0028]
According to a third aspect of the present invention, there is provided a semiconductor integrated circuit for performing a test for guaranteeing a setup time and a hold time of an AC characteristic, wherein a reference of the setup time and the hold time of the AC characteristic is provided. And a delay cell for setting the setup time for delaying the clock by the setup time, and a clock for inputting the reference clock for the setup time and the hold time of the AC characteristics and delaying the clock by the hold time It has a delay cell for time setting, and a selector that can switch between the test of the setup time and the test of the hold time, so that the test of the setup time and the test of the hold time can be automatically switched. The following effect can be obtained.
[0029]
According to the semiconductor integrated circuit of claim 4 of the present invention, in the semiconductor integrated circuit of claim 3, an output data compressor for compressing output data of the semiconductor integrated circuit, and an output as an output of the semiconductor integrated circuit An expected value storage register for storing an expected value expected to be performed; a comparator for comparing a result of the output data compressor with an expected value stored in the expected value storage register; And a control circuit for controlling the switching, and the self-inspection of the semiconductor integrated circuit is made possible.Thus, the self-inspection of the setup time and the hold time becomes possible. As a result, the test program development period is further increased. The effect of reduction can be obtained.
[0030]
According to a semiconductor integrated circuit device according to a fifth aspect of the present invention, there is provided a BIST control unit having a plurality of the semiconductor integrated circuits according to the fourth aspect (hereinafter referred to as ACBIST_UNIT), and further controlling the operation of the plurality of ACBIST_UNITs. And a BIST determination unit that determines the result of the self-test of the plurality of ACBIST_UNITs. Therefore, a plurality of AC characteristic tests can be performed simultaneously in parallel, and the effect of greatly reducing the test time can be obtained. .
[0031]
According to the semiconductor integrated circuit device of claim 6 of the present invention, in the semiconductor integrated circuit device of claim 5, the BIST control unit performs a parallel test mode for simultaneously testing each of the ACBIST_UNITs and a diagnosis of each of the ACBIST_UNITs. Has a function of switching between diagnostic modes that can be performed in an arbitrary order, so that each ACBIST_UNIT can be inspected at the same time, the inspection time can be reduced, and each self-inspection circuit can determine which AC characteristic The effect of being able to analyze whether the test has failed is obtained.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram showing a semiconductor integrated circuit according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is an operation waveform diagram when a setup time is inspected according to the first embodiment of the present invention.
FIG. 3 is an operation waveform diagram when a hold time is inspected according to the first embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a diagram showing a semiconductor integrated circuit device according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 5 is an operation waveform diagram according to the second embodiment of the present invention.
[Explanation of symbols]
1 clock 2, 5 I / O cell 3, 15 input buffer 4 input data 6 selector 7 selector input A terminal 8 setup time adjustment delay adjustment cell 9 selector input B terminal 10 hold time adjustment delay adjustment cell 11 selector Input C terminal 12 Selector output Y terminal 13 Select signal control unit 14 Selector S terminal 16 First stage flip-flop 17 First stage flip-flop data D terminal 18 First stage flip-flop clock terminal 19 First stage flip-flop output Q terminal 20 Output data compression Device 21 expected value storage register 22 comparator 30 ACBIST (1)
31 ACBIST (2)
32 ACBIST (N)
33 Clock CLK (1) serving as reference for ACBIST (1)
34 Clock CLK (2) serving as reference for ACBIST (2)
35 Clock CLK (N) serving as reference for ACBIST (N)
36 BIST control unit 37 BIST_ENABLE signal 38 BIST determination unit 39 BIST result determination signal 40 Test end signal 41 Parallel inspection / diagnosis mode switching signal

Claims (6)

AC特性のセットアップ時間を保証するための検査を行う半導体集積回路であって、
AC特性のセットアップ時間の基準となるクロックを入力し、該クロックをセットアップ時間分遅延させるセットアップ時間設定用遅延セルを有する、
ことを特徴とする半導体集積回路。
A semiconductor integrated circuit for performing a test for guaranteeing a setup time of AC characteristics,
It has a setup time setting delay cell that inputs a clock serving as a reference for the setup time of the AC characteristics and delays the clock by the setup time.
A semiconductor integrated circuit characterized by the above-mentioned.
AC特性のホールド時間を保証するための検査を行う半導体集積回路であって、
AC特性のホールド時間の基準となるクロックを入力し、該クロックをホールド時間分遅延させるホールド時間設定用遅延セルを有する、
ことを特徴とする半導体集積回路。
A semiconductor integrated circuit for performing a test for guaranteeing a hold time of AC characteristics,
A hold time setting delay cell for inputting a clock serving as a reference for the hold time of the AC characteristics and delaying the clock by the hold time;
A semiconductor integrated circuit characterized by the above-mentioned.
AC特性のセットアップ時間、及びホールド時間を保証するための検査を行う半導体集積回路であって、
AC特性のセットアップ時間、及びホールド時間の基準となるクロックを入力し、該クロックをセットアップ時間分遅延させるセットアップ時間設定用遅延セルと、
AC特性のセットアップ時間、及びホールド時間の基準となるクロックを入力し、該クロックをホールド時間分遅延させるホールド時間設定用遅延セルと、
セットアップ時間の検査と、ホールド時間の検査とを切り替え可能とするセレクタとを有する、
ことを特徴とする半導体集積回路。
A semiconductor integrated circuit for performing a test for guaranteeing a setup time and a hold time of AC characteristics,
A setup time setting delay cell for inputting a clock serving as a reference for a setup time and a hold time of AC characteristics and delaying the clock by the setup time;
A hold time setting delay cell for inputting a clock serving as a reference for the setup time and the hold time of the AC characteristics and delaying the clock by the hold time;
Inspection of setup time, having a selector that can switch between inspection of hold time,
A semiconductor integrated circuit characterized by the above-mentioned.
請求項3に記載の半導体集積回路において、
該半導体集積回路の出力データを圧縮する出力データ圧縮器と、
該半導体集積回路の出力として出力されることが期待される期待値を格納する期待値格納レジスタと、
上記出力データ圧縮器の結果と、上記期待値格納レジスタに格納されている期待値とを比較する比較器と、
上記セレクタの切り替えを制御する制御回路とを有し、
該半導体集積回路の自己検査を可能とした、
ことを特徴とする半導体集積回路。
The semiconductor integrated circuit according to claim 3,
An output data compressor for compressing output data of the semiconductor integrated circuit;
An expected value storage register for storing an expected value expected to be output as an output of the semiconductor integrated circuit;
A comparator for comparing the result of the output data compressor with an expected value stored in the expected value storage register;
A control circuit for controlling switching of the selector,
Enabled self-inspection of the semiconductor integrated circuit,
A semiconductor integrated circuit characterized by the above-mentioned.
請求項4に記載の半導体集積回路(以降ACBIST_UNITと記す)を複数有し、さらに、
上記複数のACBIST_UNITの動作を制御するBIST制御部と、
上記複数のACBIST_UNITの自己検査の結果を判定するBIST判定部とを有する、
ことを特徴とする半導体集積回路装置。
A plurality of semiconductor integrated circuits according to claim 4 (hereinafter, referred to as ACBIST_UNIT),
A BIST control unit that controls operations of the plurality of ACBIST_UNITs;
A BIST determination unit that determines a result of the self-test of the plurality of ACBIST_UNITs.
A semiconductor integrated circuit device characterized by the above-mentioned.
請求項5記載の半導体集積回路装置において、
上記BIST制御部は、上記各ACBIST_UNITを同時に検査する並列検査モードと、上記各ACBIST_UNITの診断を任意の順序で行うことのできる診断モードとを切り替える機能を有する、
ことを特徴とする半導体集積回路装置。
The semiconductor integrated circuit device according to claim 5,
The BIST control unit has a function of switching between a parallel test mode for simultaneously testing the ACBIST_UNITs and a diagnostic mode for performing a diagnosis of the ACBIST_UNITs in an arbitrary order.
A semiconductor integrated circuit device characterized by the above-mentioned.
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