JP2004349290A - 真空内位置決めステージ装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】真空内における従来の位置決めステージでは合成樹脂のコネクタ、合成樹脂の端子台、ビニール電線、ガラスエポキシ基板の使用、またハンダによる素子の実装を行っているためガスが発生し真空度を上げることが出来なかった。また、ガスによりチャンバー内が汚染される等の問題点があった。本発明は上記従来例の欠点に鑑みてなされたものであって、真空雰囲気内においてガスの発生が少なく高真空度を達成すると共に、チャンバーを汚染することのないクリーンな位置決めステージ装置を提供することを目的としている。
【解決手段】上記目的を解決するために本発明では、ステージの実装に使用するコネクタをセラミックコネクタに、端子台をセラミック端子台に、ケーブルをセラミックコーテイングケーブルに、プリント基板をセラミック基板に変更した。
【選択図】 図1
【解決手段】上記目的を解決するために本発明では、ステージの実装に使用するコネクタをセラミックコネクタに、端子台をセラミック端子台に、ケーブルをセラミックコーテイングケーブルに、プリント基板をセラミック基板に変更した。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体露光装置、工作機械等において、真空チャンバー内に配置される位置決めステージ装置の電気実装方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
図4は大気中に配置された従来の位置決めステージ装置の概略構成図である。従来の位置決めステージでは、例えば特開平6−165473号公報に示されたようなリニアモータなどが使われる。この図に示すような従来の位置決めステージ装置は、4相のコイルを一直線上に並べたリニアモータコイル104を備えている。リニアモータコイル104はコイル支持部材103に支持されており、リニアモータコイル104を構成するコイルの並ぶ方向と平行に、一対のガイド102が設けられている。ガイド102には、ステージ天板101が軸受け106を介して取り付けられており、ステージ天板101はガイド102によって前記コイルの並ぶ方向に自在に案内される。ステージ天板101には可動磁石105が取り付けられ、可動磁石105は前記コイルの並ぶ方向に永久磁石を極性を交互にして4対並べて構成されている。また、天板101の上面にはステージ天板101の位置を検出するレーザ測長器用のミラー107が設けられている。
【0003】
リニアモータコイル104から引き出されたモータコイル線108は、合成樹脂などでできた端子台109に一旦固定され、さらにビニール電線であるモータ動力線110に結線されてコネクタ113を介してモータドライバに接続される。コネクタ113の概略の構成を図5に示す。ここでコンタクト間を絶縁するためにインシュレータ113aには合成樹脂を使い、全体をアルミ合金などのシェル113bで覆う構成のものが一般的である。動力線110にはコンタクト119が取り付けられており、インシュレータ113aのホールに差し込まれコネクタを形成する。
【0004】
位置決めステージ装置では、リミットセンサ及び加速度センサなど各種センサ111が使われている。センサ111からのセンサケーブル112はコネクタ113を介してビニール電線である信号線114に接続される。これらセンサ111には、信号増幅用のアンプ回路等が必要でありオペアンプ等の増幅素子116がガラスエポキシ素材のプリント基板115にハンダにより実装される。増幅された信号は、信号線114を介してコネクタ113に接続され、上位の制御装置に読み込まれる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来例では合成樹脂のコネクタ、合成樹脂の端子台、ビニール電線、ガラスエポキシ基板、ハンダによる素子の実装を使用していたため、真空雰囲気内に配置した場合以下の問題点があった。
【0006】
(1)合成樹脂のコネクタからのガスが発生するため真空度を上げることが出来ない。また、ガスによりチャンバー内が汚染される。
【0007】
(2)ビニール電線からのガスが発生するため真空度を上げることが出来ない。また、ガスによりチャンバー内が汚染される。
【0008】
(3)ガラスエポキシ基板からのガスが発生するため真空度を上げることが出来ない。また、ガスによりチャンバー内が汚染される。
【0009】
(4)プリント基板に部品を実装するために使用したハンダからガスが発生するため真空度を上げることが出来ない。また、ガスによりチャンバー内が汚染される。
【0010】
本発明は上記従来技術の欠点に鑑みてなされたものであって、真空雰囲気内においてガスの発生が少なく高真空度を達成すると共に、チャンバーを汚染することのないクリーンな位置決めステージ装置を提供することを目的としている。
【0011】
【課題を解決するための手段】
上記目的を解決するために本発明では、ステージの実装に使用するコネクタをセラミックコネクタに、端子台をセラミック端子台に、ケーブルをセラミックコーテイングケーブルに、プリント基板をセラミック基板に変更した。また、セラミック基板への部品の実装を圧接に変更した。
【0012】
【発明の実施の形態】
図1は本発明の真空内位置決めステージ装置の実施例の概略構成図である。この図に示すような従来の位置決めステージ装置は、4相のコイルを一直線上に並べたリニアモータコイル4を備えている。リニアモータコイル4はコイル支持部材3に支持されており、リニアモータコイル4を構成するコイルの並ぶ方向と平行に、一対のガイド2が設けられている。ガイド2には、ステージ天板1が軸受け6を介して取り付けられており、ステージ天板1はガイド2によって前記コイルの並ぶ方向に自在に案内される。ステージ天板1には可動磁石5が取り付けられ、可動磁石5は前記コイルの並ぶ方向に永久磁石を極性を交互にして4対並べて構成されている。また、天板1の上面にはステージ天板1の位置を検出するレーザ測長器用のミラー7が設けられている。
【0013】
位置決めステージ装置全体は真空チャンバー18内に配置され、フィードスルーコネクタ17を介してチャンバー外部と信号の受け渡しを行う。
【0014】
リニアモータコイル4から引き出されたモータコイル線8は、端子台9に一旦固定され、モータ動力線10に結線されてコネクタ13及びフィードスルーコネクタ17を介してモータドライバに接続される。ここで端子台9は真空内での脱ガスを押さえためにセラミックで製作する。またモータ動力線は表面をセラミックコーテングしたケーブルとすることで真空内での脱ガスを押さえることが出来る。さらに、コネクタ13はセラミックで製作することで同様に脱ガスを押さえるこが出来る。セラミックコネクタは、切削性の良いマシナブルセラミックを削り出して作る方法と、型により作る場合が考えられる。型により大量生産することで高価なセラミックのコストダウンがはかれる。
【0015】
コネクタ13の概略の構成を図2に示す。セラミックでコネクタを作る場合には、材料自体が絶縁特性がよく高剛性であることから従来例のようなシェルを必要としない構成が可能である。動力線10にはコンタクト19が取り付けられており、コネクタ13のホールに差し込まれコネクタを形成する。また、セラミックの高絶縁特性・高周波特性を生かして、ピン間を狭くすることが可能である。これにより、コネクタの小型化が可能であり真空チャンバー内における高密度実装が実現できる長所がある。
【0016】
位置決めステージ装置では、リミットセンサ及び変位センサなど各種センサ11が使われている。センサ11からのセンサケーブル12はコネクタ13を介して信号線14に接続される。これらセンサ11には、信号増幅アンプ回路等が必要でありオペアンプ等の増幅素子16がプリント基板15に実装される。増幅された信号は、信号線14を介してコネクタ13及びフィードスルーコネクタ17を介して、上位の制御装置に読み込まれる。
【0017】
ここでプリント基板は真空内での脱ガスを押さえためにセラミック基板を使用する。図3に実装の方法を示す。プリント基板15には、コネクタ13及び増幅素子を内蔵したハーメチックモジュール20を実装するためにスルーホール21を設ける。このスルーホールは実装する素子の足よりわずかに小さめに設計してあり、上から圧力を加えて押し込むことで実装が可能となる。
【0018】
従って従来例のようにガスの発生要因となるハンダは一切使用しない。また信号線14は、動力線10と同様にセラミックコーテングしたケーブルとすることで真空内での脱ガスを押さえることが出来る。
【0019】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、真空雰囲気内においてガスの発生が少なく高真空度を達成すると共に、チャンバーを汚染することのないクリーンな位置決めステージ装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の位置決めステージ装置の実施例の概略構成図である。
【図2】本発明の位置決めステージ装置のコネクタの概略構成図である。
【図3】本発明の位置決めステージ装置のプリント基板への実装方法を示した図である。
【図4】従来例の位置決めステージ装置の実施例の概略構成図である。
【図5】従来例の位置決めステージ装置のコネクタの概略構成図である。
【符号の説明】
1 ステージ天板
2 ガイド
3 コイル支持部材
4 リニアモータコイル
5、22 可動磁石
6 静圧軸受け
7 測長用
8 モータコイル線
9 端子台
10 動力線
11 センサ
12 センサケーブル
13 コネクタ
14 信号線
15 プリント基板
16 増幅素子
17 フィードスルーコネクタ
18 真空チャンバー
19 コンタクト
20 ハーメチックモジュール
21 スルーホール
【発明の属する技術分野】
本発明は半導体露光装置、工作機械等において、真空チャンバー内に配置される位置決めステージ装置の電気実装方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
図4は大気中に配置された従来の位置決めステージ装置の概略構成図である。従来の位置決めステージでは、例えば特開平6−165473号公報に示されたようなリニアモータなどが使われる。この図に示すような従来の位置決めステージ装置は、4相のコイルを一直線上に並べたリニアモータコイル104を備えている。リニアモータコイル104はコイル支持部材103に支持されており、リニアモータコイル104を構成するコイルの並ぶ方向と平行に、一対のガイド102が設けられている。ガイド102には、ステージ天板101が軸受け106を介して取り付けられており、ステージ天板101はガイド102によって前記コイルの並ぶ方向に自在に案内される。ステージ天板101には可動磁石105が取り付けられ、可動磁石105は前記コイルの並ぶ方向に永久磁石を極性を交互にして4対並べて構成されている。また、天板101の上面にはステージ天板101の位置を検出するレーザ測長器用のミラー107が設けられている。
【0003】
リニアモータコイル104から引き出されたモータコイル線108は、合成樹脂などでできた端子台109に一旦固定され、さらにビニール電線であるモータ動力線110に結線されてコネクタ113を介してモータドライバに接続される。コネクタ113の概略の構成を図5に示す。ここでコンタクト間を絶縁するためにインシュレータ113aには合成樹脂を使い、全体をアルミ合金などのシェル113bで覆う構成のものが一般的である。動力線110にはコンタクト119が取り付けられており、インシュレータ113aのホールに差し込まれコネクタを形成する。
【0004】
位置決めステージ装置では、リミットセンサ及び加速度センサなど各種センサ111が使われている。センサ111からのセンサケーブル112はコネクタ113を介してビニール電線である信号線114に接続される。これらセンサ111には、信号増幅用のアンプ回路等が必要でありオペアンプ等の増幅素子116がガラスエポキシ素材のプリント基板115にハンダにより実装される。増幅された信号は、信号線114を介してコネクタ113に接続され、上位の制御装置に読み込まれる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来例では合成樹脂のコネクタ、合成樹脂の端子台、ビニール電線、ガラスエポキシ基板、ハンダによる素子の実装を使用していたため、真空雰囲気内に配置した場合以下の問題点があった。
【0006】
(1)合成樹脂のコネクタからのガスが発生するため真空度を上げることが出来ない。また、ガスによりチャンバー内が汚染される。
【0007】
(2)ビニール電線からのガスが発生するため真空度を上げることが出来ない。また、ガスによりチャンバー内が汚染される。
【0008】
(3)ガラスエポキシ基板からのガスが発生するため真空度を上げることが出来ない。また、ガスによりチャンバー内が汚染される。
【0009】
(4)プリント基板に部品を実装するために使用したハンダからガスが発生するため真空度を上げることが出来ない。また、ガスによりチャンバー内が汚染される。
【0010】
本発明は上記従来技術の欠点に鑑みてなされたものであって、真空雰囲気内においてガスの発生が少なく高真空度を達成すると共に、チャンバーを汚染することのないクリーンな位置決めステージ装置を提供することを目的としている。
【0011】
【課題を解決するための手段】
上記目的を解決するために本発明では、ステージの実装に使用するコネクタをセラミックコネクタに、端子台をセラミック端子台に、ケーブルをセラミックコーテイングケーブルに、プリント基板をセラミック基板に変更した。また、セラミック基板への部品の実装を圧接に変更した。
【0012】
【発明の実施の形態】
図1は本発明の真空内位置決めステージ装置の実施例の概略構成図である。この図に示すような従来の位置決めステージ装置は、4相のコイルを一直線上に並べたリニアモータコイル4を備えている。リニアモータコイル4はコイル支持部材3に支持されており、リニアモータコイル4を構成するコイルの並ぶ方向と平行に、一対のガイド2が設けられている。ガイド2には、ステージ天板1が軸受け6を介して取り付けられており、ステージ天板1はガイド2によって前記コイルの並ぶ方向に自在に案内される。ステージ天板1には可動磁石5が取り付けられ、可動磁石5は前記コイルの並ぶ方向に永久磁石を極性を交互にして4対並べて構成されている。また、天板1の上面にはステージ天板1の位置を検出するレーザ測長器用のミラー7が設けられている。
【0013】
位置決めステージ装置全体は真空チャンバー18内に配置され、フィードスルーコネクタ17を介してチャンバー外部と信号の受け渡しを行う。
【0014】
リニアモータコイル4から引き出されたモータコイル線8は、端子台9に一旦固定され、モータ動力線10に結線されてコネクタ13及びフィードスルーコネクタ17を介してモータドライバに接続される。ここで端子台9は真空内での脱ガスを押さえためにセラミックで製作する。またモータ動力線は表面をセラミックコーテングしたケーブルとすることで真空内での脱ガスを押さえることが出来る。さらに、コネクタ13はセラミックで製作することで同様に脱ガスを押さえるこが出来る。セラミックコネクタは、切削性の良いマシナブルセラミックを削り出して作る方法と、型により作る場合が考えられる。型により大量生産することで高価なセラミックのコストダウンがはかれる。
【0015】
コネクタ13の概略の構成を図2に示す。セラミックでコネクタを作る場合には、材料自体が絶縁特性がよく高剛性であることから従来例のようなシェルを必要としない構成が可能である。動力線10にはコンタクト19が取り付けられており、コネクタ13のホールに差し込まれコネクタを形成する。また、セラミックの高絶縁特性・高周波特性を生かして、ピン間を狭くすることが可能である。これにより、コネクタの小型化が可能であり真空チャンバー内における高密度実装が実現できる長所がある。
【0016】
位置決めステージ装置では、リミットセンサ及び変位センサなど各種センサ11が使われている。センサ11からのセンサケーブル12はコネクタ13を介して信号線14に接続される。これらセンサ11には、信号増幅アンプ回路等が必要でありオペアンプ等の増幅素子16がプリント基板15に実装される。増幅された信号は、信号線14を介してコネクタ13及びフィードスルーコネクタ17を介して、上位の制御装置に読み込まれる。
【0017】
ここでプリント基板は真空内での脱ガスを押さえためにセラミック基板を使用する。図3に実装の方法を示す。プリント基板15には、コネクタ13及び増幅素子を内蔵したハーメチックモジュール20を実装するためにスルーホール21を設ける。このスルーホールは実装する素子の足よりわずかに小さめに設計してあり、上から圧力を加えて押し込むことで実装が可能となる。
【0018】
従って従来例のようにガスの発生要因となるハンダは一切使用しない。また信号線14は、動力線10と同様にセラミックコーテングしたケーブルとすることで真空内での脱ガスを押さえることが出来る。
【0019】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、真空雰囲気内においてガスの発生が少なく高真空度を達成すると共に、チャンバーを汚染することのないクリーンな位置決めステージ装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の位置決めステージ装置の実施例の概略構成図である。
【図2】本発明の位置決めステージ装置のコネクタの概略構成図である。
【図3】本発明の位置決めステージ装置のプリント基板への実装方法を示した図である。
【図4】従来例の位置決めステージ装置の実施例の概略構成図である。
【図5】従来例の位置決めステージ装置のコネクタの概略構成図である。
【符号の説明】
1 ステージ天板
2 ガイド
3 コイル支持部材
4 リニアモータコイル
5、22 可動磁石
6 静圧軸受け
7 測長用
8 モータコイル線
9 端子台
10 動力線
11 センサ
12 センサケーブル
13 コネクタ
14 信号線
15 プリント基板
16 増幅素子
17 フィードスルーコネクタ
18 真空チャンバー
19 コンタクト
20 ハーメチックモジュール
21 スルーホール
Claims (6)
- 真空雰囲気内に配置された位置決めステージ装置において、電気実装に用いるコネクタをセラミックコネクタとすることを特徴とする真空内位置決めステージ装置。
- 真空雰囲気内に配置された位置決めステージ装置において、電気実装に用いる端子台をセラミック端子台とすることを特徴とする真空内位置決めステージ装置。
- 真空雰囲気内に配置された位置決めステージ装置において、電気実装に用いる電気ケーブルをセラミックコーティングケーブルとすることを特徴とする真空内位置決めステージ装置。
- 真空雰囲気内に配置された位置決めステージ装置において、電気実装に用いるプリント基板をセラミック基板とすることを特徴とする真空内位置決めステージ装置。
- 前記セラミック基板には、セラミックコネクタを圧接にて実装することを特徴とする請求項4の真空内位置決めステージ装置。
- 前記セラミック基板には、電気回路を内蔵したハーメチックモジュールを圧接にて実装することを特徴とする請求項5の真空内位置決めステージ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003141402A JP2004349290A (ja) | 2003-05-20 | 2003-05-20 | 真空内位置決めステージ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003141402A JP2004349290A (ja) | 2003-05-20 | 2003-05-20 | 真空内位置決めステージ装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004349290A true JP2004349290A (ja) | 2004-12-09 |
Family
ID=33529762
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003141402A Withdrawn JP2004349290A (ja) | 2003-05-20 | 2003-05-20 | 真空内位置決めステージ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004349290A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012524390A (ja) * | 2009-04-20 | 2012-10-11 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | リソグラフィ投影装置およびデバイス製造方法 |
US9966229B2 (en) | 2015-10-20 | 2018-05-08 | Nuflare Technology, Inc. | Supporting case and multi charged particle beam drawing apparatus |
-
2003
- 2003-05-20 JP JP2003141402A patent/JP2004349290A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012524390A (ja) * | 2009-04-20 | 2012-10-11 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | リソグラフィ投影装置およびデバイス製造方法 |
JP2015092606A (ja) * | 2009-04-20 | 2015-05-14 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | 電気コネクタ及び電気接続システム |
US9112300B2 (en) | 2009-04-20 | 2015-08-18 | Asml Netherlands B.V. | Electrical connector for lithographic projection apparatus |
US9966229B2 (en) | 2015-10-20 | 2018-05-08 | Nuflare Technology, Inc. | Supporting case and multi charged particle beam drawing apparatus |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20060801 |