JP2004340585A

JP2004340585A - 高周波プローブ及びそれに用いる電気接触子

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Publication number: JP2004340585A
Application number: JP2003134193A
Authority: JP
Inventors: Jun Imazu; 準今津
Original assignee: JST Mfg Co Ltd
Current assignee: JST Mfg Co Ltd
Priority date: 2003-05-13
Filing date: 2003-05-13
Publication date: 2004-12-02

Abstract

【課題】同軸伝送線路と電気接触子の位置決めを容易に行え、接合不良が発生しにくく、工数低減でき、インピーダンスコントロールが容易で、機械的強度も確保可能な高周波プローブを提供する。
【解決手段】ばね性を有する板状部２１ａ、２１ｂと、被検査対象と電気的接触を得るための接触部２２ａ、２２ｂと、同軸伝送線路の外部導体に取付ける円筒状の取付部２３とを有する電気接触子４０を、中心導体１１ａを所定長露出させた同軸伝送線路の外部導体１１ｂに接合させることにより、同軸伝送線路の中心導体を第１の電気接触子とし、電気接触子４０を第２の電気接触子とするコプレーナ型の高周波プローブ５０が簡便に製造できる。板状部２３は、絶縁性の補強部６１により補強したり、第１の電気接触子を支持する絶縁性のガイド部７１、８１を設けてインピーダンス調整することが可能である。
【選択図】図４

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、例えば高周波の半導体デバイスやウェハー等の電気的特性を検査する際に好適な高周波プローブ及びそれに用いる電気接触子に関する。
【０００２】
【従来の技術】
高周波プローブの代表的な構造を図１１に示す。図のように、高周波プローブ１０は、同軸伝送線路１１と、同軸伝送線路１１の先端に取付られ、検査時に被検査対象と接触させるための電気接触子１２と、同軸伝送線路１１の後端に設けられ、外部の検査回路を接続させるための同軸コネクタ１３とから構成される。従来、このような高周波プローブ１０は、同軸伝送線路１１の先端部を一部切欠いて平坦部を設け、その平坦部の中心導体部分１１ａと外部導体部分１１ｂとに、それぞれ弾性を有する微小な導電性の第１の電気接触子１２ａと第２の電気接触子１２ｂとを位置決めし、半田等により接合することにより製造されていた（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】
米国特許第５５０６５１５号明細書
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような従来の高周波プローブでは、同軸伝送線路の先端部を一部切欠いて平坦部を形成する必要があること、形成された平坦部の微小な中心導体部分と外部導体部分に、それぞれ微小な第１の電気接触子と第２の電気接触子とを精度良く位置決めして接合する必要があることなどから、接合不良が発生しやすく、また工程的にも多大な工数を要し、製造コストが高くなってしまうという問題があった。
また、同軸伝送線路の中心導体に接合される第１の電気接触子と外部導体に接合される第２の電気接触子とはそれぞれ独立に位置決めして接合されるため、両者の間隔を調節してインピーダンスコントロールを行うことが困難であるという問題があった。
更に、同軸伝送線路と電気接触子とは、同軸伝送線路の先端部を切欠いて形成された平坦部の中心導体部分と外部導体部分の微小な面積で接合されるだけであるため、機械的強度が弱いという問題をも有していた。
【０００５】
それゆえに、本願発明の主たる目的は、同軸伝送線路と電気接触子の位置決めを容易に行え、接合不良が発生しにくく、工数低減でき、インピーダンスコントロールが容易で、機械的強度の強い高周波プローブを提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本願発明の高周波プローブは、同軸伝送線路の中心導体を第１の電気接触子とし、前記同軸伝送線路の外部導体に第２の電気接触子を接合してなる高周波プローブであって、前記第２の電気接触子は、被検査対象と電気的接触を得るための接触部を有する板状部と、前記板状部と一体として形成され、前記同軸伝送線路の外部導体を周方向から位置決めする同軸伝送線路外周位置決め面を有する取付部とを備えたものである。
同軸伝送線路の中心導体を第１の電気接触子とするので、余分な接合部を省略でき、接合不良が発生しにくく、工数低減でき、機械的強度も強い高周波プローブが得られる。また、第２の電気接触子は、被検査対象と電気的接触を得る接触部を有する板状部に一体として形成される取付部を有し、これにより同軸伝送線路の外部導体を周方向から位置決めして接合するので、同軸伝送線路に対して電気接触子を精度良く位置決めでき、接合不良が発生しにくく、工数低減でき、インピーダンスコントロールが容易で、機械的強度も強い高周波プローブが得られる。
尚、前記取付部の同軸線路外周位置決め面は、同軸伝送線路の外部導体を周方向の少なくとも２方向から位置決めできることが好ましい。これにより、第２の電気接触子は、外部に位置決め手段を設けることなく同軸伝送線路の周方向に対して一義的に位置を確定できる。
【０００７】
また本願発明の高周波プローブは、前記板状部が前記同軸伝送線路の外部導体の端部を軸方向から位置決めする同軸伝送線路端部位置決め面を有するものである。
これにより、第２の電気接触子は、同軸伝送線路の軸方向に対して一義的に位置を確定できるので、第１の電気接触子との位置合せが更に容易となり、更に工数が低減される。
【０００８】
また本願発明の高周波プローブは、前記取付部が前記同軸伝送線路の外部導体の外周部に接合可能なように半円筒状に形成されているものである。
これにより、第２の電気接触子の取付部を同軸伝送線路の外部導体に直接被せることで同軸伝送線路の周方向に対して一義的に位置を確定でき、更に工数が低減されるとともに、機械的強度も増進される。
【０００９】
また本願発明の高周波プローブは、前記板状部が弾性材で形成され、被検査対象との接触時に所定の接触圧が得られるようにしたものである。
これにより、第２の電気接触子の板状部自体の弾性によって接触部が被検査対象に接触する際の接触圧が得られるので、外部に接触圧を調節する機構を設けることなく、簡便に検査が行える。
尚、第１の電気接触子についても、弾性材で形成された中心導体を用いた同軸伝送線路を使用してもよく、所定の弾性を備えるように形状加工や表面加工を施すようにしてもよい。
【００１０】
また本願発明の高周波プローブは、前記板状部が前記第１の電気接触子の両側に形成され、前記取付部が前記第１の電気接触子の両側に形成された板状部を前記第１の電気接触子に対して一定の位置に保持する機能を有するものである。
これにより、中心導体を所定長露出させた同軸伝送線路に第２の電気接触子を接合させるだけで、コプレーナ型の電気接触子を簡単に精度良く形成することができ、製造コストを大幅に削減できる。
【００１１】
また本願発明の高周波プローブは、前記板状部が前記第１の電気接触子の両側に形成された板状部を相互に係止する絶縁性の補強部を備えるものである。
これにより、両側に形成された板状部が補強部によって相互に係止されるので、第２電気接触子の機械的強度が更に増進される。
【００１２】
また本願発明の高周波プローブは、前記板状部が前記第１の電気接触子をガイドする絶縁性のガイド部を備えるものである。
これにより、第１の電気接触子の位置がガイド部によって第２電気接触子と所定の位置関係に保持されるので、第１の電気接触子の機械的強度が更に増進され、インピーダンスコントロールが更に容易となる。
尚、ガイド部は、第２の電気接触子の板状部に脱着可能なように取付けるようにしてもよい。これにより、高周波プローブの組立後に、板状部に材質や形状の異なるガイド部を付替えることで、微妙なインピーダンス調整を行うことが可能となり、更にインピーダンスコントロールが容易となる。
【００１３】
本願発明の電気接触子は、高周波プローブに用いるものであって、被検査対象と電気的接触を得るための接触部を有する板状部と、前記板状部と一体として形成され、前記同軸伝送線路の外部導体を周方向から位置決めする同軸伝送線路外周位置決め面を有する取付部とを備えたものである。
これにより、中心導体を所定長露出させた同軸伝送線路に本願発明の電気接触子を接合させることにより、同軸伝送線路の中心導体を第１の電気接触子とし、本願発明の電気接触子を第２の電気接触子とする高周波プローブを簡便に製造でき、接合不良が発生しにくく、工数低減でき、インピーダンスコントロールが容易で、機械的強度も強い高周波プローブが得られる。
【００１４】
また本願発明の電気接触子は、前記板状部が前記同軸伝送線路の外部導体の端部を軸方向から位置決めする同軸伝送線路端部位置決め面を有するものである。これにより、第２の電気接触子は、同軸伝送線路の軸方向に対して一義的に位置を確定できるので、第１の電気接触子との位置合せが更に容易となり、更に工数が低減される。
また本願発明の電気接触子は、前記取付部が前記同軸伝送線路の外部導体の外周部に接合可能なように円筒状に形成されているものである。これにより、本願発明の電気接触子の取付部を同軸伝送線路の外部導体に直接被せることで同軸伝送線路の周方向に対して一義的に位置を確定でき、更に工数が低減されるとともに、機械的強度も増進される。
また本願発明の電気接触子は、前記板状部が弾性材で形成され、被検査対象との接触時に所定の接触圧が得られるようにしたものである。これにより、第２の電気接触子の板状部自体の弾性によって各接触部が被検査対象に接触する際の接触圧が得られるので、外部に接触圧を調節する機構を設けることなく、簡便に検査が行える。
また本願発明の電気接触子は、前記板状部が前記第１の電気接触子の両側に形成され、前記取付部が前記板状部を前記第１の電気接触子に対して一定の位置に保持する機能を有するものである。これにより、コプレーナ型の高周波プローブを簡単に精度良く形成でき、製造コストを大幅に削減できる。
また本願発明の電気接触子は、前記板状部が前記第１の電気接触子の両側に形成された板状部を相互に係止する絶縁性の補強部を備えるものである。これにより、両側の板状部が補強部によって相互に係止されるので、第２電気接触子の機械的強度が更に増進される。
また本願発明の高周波プローブは、前記板状部が前記第１の電気接触子をガイドする絶縁性のガイド部を備えるものである。これにより、第１の電気接触子の位置がガイド部によって第２電気接触子と所定の位置関係に保持されるので、第１の電気接触子の機械的強度が更に増進され、インピーダンスコントロールが更に容易となる。
【００１５】
また本願発明の高周波プローブは、同軸伝送線路の中心導体を第１の電気接触子とし、前記同軸伝送線路の外部導体に第２の電気接触子を接合してなる高周波プローブであって、前記第２の電気接触子は、被検査対象と電気的接触を得るための接触部と、前記同軸伝送線路の外部導体の端部を軸方向から位置決めする同軸伝送線路端部位置決め面と、前記同軸伝送線路の外部導体を周方向から位置決めする同軸伝送線路外周位置決め面とを有するものである。
同軸伝送線路の中心導体を第１の電気接触子とするので、余分な接合部を省略でき、接合不良が発生しにくく、工数低減でき、機械的強度も強い高周波プローブが得られる。
また、第２の電気接触子は、前記板状部が同軸伝送線路端部位置決め面と同軸伝送線路外周位置決め面とを有し、これにより同軸伝送線路を軸方向と周方向から位置決めして接合するので、同軸伝送線路に対して電気接触子を精度良く位置決めでき、接合不良が発生しにくく、工数低減でき、インピーダンスコントロールが容易で、機械的強度も強い高周波プローブが得られる。
【００１６】
本願発明の電気接触子は、高周波プローブに用いるものであって、被検査対象と電気的接触を得るための接触部と、前記同軸伝送線路の外部導体の端部を軸方向から位置決めする同軸伝送線路端部位置決め面と、前記同軸伝送線路の外部導体を周方向から位置決めする同軸伝送線路外周位置決め面とを有するものである。これにより、中心導体を所定長露出させた同軸伝送線路に本願発明の電気接触子を接合させることにより、同軸伝送線路の中心導体を第１の電気接触子とし、本願発明の電気接触子を第２の電気接触子とする高周波プローブを簡便に製造でき、接合不良が発生しにくく、工数低減でき、インピーダンスコントロールが容易で、機械的強度も確保可能な高周波プローブが得られる。
【００１７】
この発明の上述の目的、その他の目的、特徴および利点は、図面を参照して行う以下の発明の実施の形態の詳細な説明から一層明らかとなろう。
【００１８】
【発明の実施の形態】
図１に本願発明の第１実施形態にかかる電気接触子の形状を示す。図のように、第１実施形態の電気接触子２０は、板状部２１と、接触部２２と、取付部２３とから構成される。この第１実施形態の電気接触子２０を中心導体１１ａを所定長露出させた同軸伝送線路の外部導体１１ｂに接合することにより、図２に示すように、同軸伝送線路の中心導体１１ａを第１の電気接触子、第１実施形態の電気接触子２０を第２の電気接触子とする高周波プローブ３０が構成される。
【００１９】
板状部２１は、接触部２２を被検査対象に接触させるときに所定の接触圧を得るためのばね性（弾性）を有する。板状部２１は、同軸伝送線路の内部導体１１ａに沿う部分と外部導体１１ｂに沿う部分に段差を有し、これにより同軸伝送線路の外部導体１１ｂの端部を軸方向から位置決めする同軸伝送線路端部位置決め面Ａが形成される。
接触部２２は、被検査対象に接触する部分であり、ここでは板状部２１の先端部の所定位置に突起を設けた場合を例示しているが、これに限らず、被検査対象の形状に合せた特別な形状としてもよく、この部分を別部材で形成するようにしてもよい。例えば、球状の金合金等を板状部２１の所定位置に溶着させるようにしてもよい。この場合に、予め板状部の先端部に所要の幅を持たせることにより、この範囲で接触部２２の位置を任意に設置形成することができ、被検査対象の種々のパッド（電極）間隔に合せたピッチの高周波プローブを、多種の板状部を用意することなく作成することが可能になる。
取付部２３は、同軸伝送線路の外部導体１１ｂに接合させる部分であり、板状部２１の同軸伝送線路の外部導体１１ｂに沿う部分に、外部導体１１ｂの外径に対応した内径を有する半円筒状の部材が一体形成されている。この取付部２３の内面により、同軸伝送線路の外部導体１１ｂを周方向から位置決めする同軸伝送線路外周位置決め面Ｂが形成される。
【００２０】
これにより、中心導体１１ａを所定長露出させた同軸伝送線路の外部導体１１ｂに本願発明の電気接触子３０を被せ、同軸伝送線路端部位置決め面Ａを同軸伝送線路の外部導体１１ｂの端部に突き当てるとともに、同軸伝送線路外周位置決め面Ｂを同軸伝送線路の外部導体１１ｂに密着させて接合することにより、同軸伝送線路の中心導体と電気接触子の相対的位置関係が精度良く保持され、機械的強度の高い高周波プローブを簡便に製造することができる。
【００２１】
電気接触子の材質は、所定の導電性を有し、一定の弾性を持つものであれば良く、黄銅やベリリウム等のＣｕ合金に金メッキをしたものや無垢の金合金等を用いることができる。また、本願発明の電気接触子は板状部と取付部が一体形成されており、打ち抜きやプレス加工により容易に製造することができる。
【００２２】
一方、同軸伝送線路の中心導体も、一定の弾性を有することが望ましいが、形状加工や表面加工により所定の弾性を備えるようにしてもよい。また、被検査対象に接触する接触部は、同軸伝送線路の中心導体自体をそのまま用いてもよいが、先端を形状加工や表面加工するようにしてもよく、例えば球状の金合金を溶着させるようにしてもよい。
【００２３】
尚、上記実施形態では、板状部の同軸伝送線路の中心導体に沿う部分は一定の幅を有するものとして説明したが、被検査対象の形状やインピーダンスに合せて、先端部が細くなるようにテーパを持たせてもよい。また、更に同軸伝送線路の中心導体も先端部を細く加工し、板状部をそれに合せて中心側に絞り込むようにしてもよい。
【００２４】
また、上記実施形態では、電気接触子の板状部は同軸伝送線路の中心導体の同一線状に配置されるように記載したが、例えば被検査対象が接地部を先に接続してから信号部を接続することが好ましい場合には、検査時に電気接触子の板状部が同軸伝送線路の中心導体より被検査対象に近い側に配置されるようにしてもよい。
【００２５】
上記実施形態では、電気接触子全体に一定の弾性を有する材料を用い、これにより検査時の接触圧を得るものとして説明したが、板状部の一部に弾性を有する材料を使用してもよく、高周波プローブの支持機構に弾性を持たせるようにしてもよい。
【００２６】
上記実施形態では、取付部は同軸伝送線路の外部導体の外径に対応する内径を有する半円筒状に形成し、その内面を同軸伝送線路外周位置決め面とするものとして説明したが、本願発明はこれに限定されるものではなく、例えば取付部の内面をコの字型、山型、Ｌ字型等に形成するようにしてもよい。電気接触子の取付部を、同軸伝送線路の外部導体に対して周方向の少なくとも２方向から位置決めできるようにすれば、同軸伝送線路の中心導体に対する周方向の位置が一義的に決まるので、インピーダンスコントロールを容易に行える。
【００２７】
また、上記実施形態では、板状部の同軸伝送線路の中心導体に沿う部分と外部導体に沿う部分に段差を有し、その段差部分が同軸伝送線路端部位置決め面を構成するとして説明したが、本願発明はこれに限定されるものではなく、段差を設けないものでもよい。この場合には、板状部の同軸伝送線路外周位置決め面のみによって同軸伝送線路の中心導体と電気接触子の相対位置が定まるので、軸方向の位置は一義的には決まらないが、別の治具を用いて軸方向の位置決めを行うようにしてもよく、同軸伝送線路に電気接触子を接合後に、同軸伝送線路の中心導体をカットして軸方向の長さを調節するようにしてもよい。
【００２８】
図３に本願発明の第２実施形態にかかる電気接触子の形状を示す。図のように、第２実施形態の電気接触子４０は、第１実施形態の電気接触子２０と同様に板状部２１と、接触部２２と、取付部２３とから構成されるが、一対の板状部２１ａ、２１ｂを有し、それぞれに接触部２２ａ、２２ｂが備えられ、半円筒状の取付部２３を介して一体形成されている。
これにより、中心導体１１ａを所定長露出させた同軸伝送線路の外部導体１１ｂに電気接触子４０を接合することにより、図４に示すように、同軸伝送線路の中心導体１１ａを第１の電気接触子とし、その両側に一対の第２の電気接触子を有するコプレーナ型の高周波プローブ５０を精度良く簡便に製造することができる。
【００２９】
図５に本願発明の第３実施形態にかかる電気接触子を用いた高周波プローブの構造を示す。図のように、第３実施形態の電気接触子は、第２実施形態の電気接触子４０において、一対の板状部２１ａ、２１ｂを相互に係止する絶縁性の補強部６１を備えたものである。これにより、板状部２１ａ、２１ｂが絶縁性の補強部６１によって相互に係止されるので、電気的特性を損なうことなく第２電気接触子の機械的強度を更に増進させることができる。
【００３０】
図６に本願発明の第４実施形態にかかる電気接触子を用いた高周波プローブの構造を示す。図のように、第４実施形態の電気接触子は、第２実施形態の電気接触子４０において、図８に示すような同軸伝送線路の中心導体をガイドする絶縁性のガイド部７１を備え、板状部２１ａ、２１ｂをガイド部７１によって裏打ちするとともに、同軸伝送線路の中心導体を支持する。
これにより、同軸伝送線路の中心導体が絶縁性のガイド部によって支持されるので、電気的特性を損なうことなく機械的強度を更に増進させることができる。また第１電気接触子の位置がガイド部によって第２電気接触子と所定の位置関係に保持されるので、インピーダンスコントロールが更に容易となる。
【００３１】
図７に本願発明の第５実施形態にかかる電気接触子を用いた高周波プローブの構造を示す。図のように、第５実施形態の電気接触子は、第２実施形態の電気接触子４０において、図９に示すような同軸伝送線路の中心導体をガイドする絶縁性のガイド部８１を備え、板状部２１ａ、２１ｂに対して同軸伝送線路の中心導体を支持する。ここで、板状部２１ａ、２１ｂにはガイド部８１を脱着する脱着機構を有する（図示省略）。これにより、電気接触子を同軸伝送線路に接合した後に、ガイド部８１を付替えることによりインピーダンス調整を行うことができる。このため、ガイド部８１は、被検査対象に応じて誘電率や形状の異なる多数のガイド部をあらかじめ備えておく。尚、ガイド部８１の一部に導電性部材を備え、第１の電気接触子と第２の電気接触子のいずれか一方またはその両方に対して個別に導電部材と接続させることによって、インピーダンス調整を行うようにしてもよい。このように、脱着式のガイド部を設けることにより、同一形状の電気接触子を用いてさまざまな特性を有する被検査対象に適用することが可能となる。
尚、上記実施形態では、コプレーナ型の高周波プローブに脱着式のガイド部を設けた場合について説明したが、第２の電気接触子を第１電気接触子の片側にのみ設ける高周波プローブについても、このような脱着式のガイド部を設けることが可能であり、同様の作用効果を奏する。
【００３２】
図１０に第６実施形態にかかる電気接触子の形状を示す。第６実施形態の電気接触子９０は、板状部２１と接触部２２のみから構成され、取付部２３を有しない。第６実施形態の電気接触子９０の板状部２１は同軸伝送線路の中心導体の沿う部分と外部導体に沿う部分に段差を有し、その段差部分が同軸伝送線路の外部導体の端部を軸方向から位置決めする同軸伝送線路端部位置決め面Ａを構成するとともに、同軸伝送線路の外部導体に沿う部分が同軸伝送線路を周方向から位置決めする同軸伝送線路外周位置決め面Ｂを構成する。
これにより、中心導体を所定長露出させた同軸伝送線路の外部導体の側面に電気接触子９０の同軸伝送線路外周位置決め面Ｂを突き当てるとともに、同軸伝送線路の外部導体の端部に電気接触子９０の同軸伝送線路端部位置決め面Ａを突き当てて接合することにより、同軸伝送線路の中心導体と電気接触子の相対的位置関係が精度良く保持され、機械的強度の高い高周波プローブを簡便に製造することができる。
尚、このような電気接触子を同軸伝送線路の中心導体の両側に接合することにより、コプレーナ型の高周波プローブも容易に製造することができる。
【００３３】
【発明の効果】
以上のように、本願発明によれば、同軸伝送線路の中心導体を第１の電気接触子とし、同軸伝送線路の外部導体に所定形状の電気接触子を接合させ、これを第２の電気接触子とする高周波プローブを形成するようにしたので、電気接触子の位置決めが容易に行え、接合不良が発生しにくく、工数低減でき、インピーダンスコントロールが容易で、機械的強度も確保可能な高周波プローブを提供できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本願発明の第１実施形態にかかる電気接触子の形状を示す図である。
【図２】本願発明の第１実施形態にかかる電気接触子を用いた高周波プローブの組立図である。
【図３】本願発明の第２実施形態にかかる電気接触子の形状を示す図である。
【図４】本願発明の第２実施形態にかかる電気接触子を用いた高周波プローブの組立図である。
【図５】本願発明の第３実施形態にかかる電気接触子を用いた高周波プローブの組立図である。
【図６】本願発明の第４実施形態にかかる電気接触子を用いた高周波プローブの組立図である。
【図７】本願発明の第５実施形態にかかる電気接触子を用いた高周波プローブの組立図である。
【図８】本願発明の第４実施形態にかかる電気接触子のガイド部の詳細形状を示す図である。
【図９】本願発明の第５実施形態にかかる電気接触子のガイド部の詳細形状を示す図である。
【図１０】本願発明の第６の実施形態にかかる電気接触子の形状を示す図である。
【図１１】従来の高周波プローブの代表的な構成を示す図である。
【符号の説明】
１０従来の高周波プローブ
１１ａ同軸伝送線路の中心導体
１１ｂ同軸伝送線路の外部導体
１２ａ電気接触子の信号片
１２ｂ電気接触子の接地片
１３同軸コネクタ
２０、４０、９０本願発明の電気接触子
３０、５０、６０、７０、８０本願発明の高周波プローブ
２１板状部
２２接触部
２３取付部
６１補強部
７１、８１ガイド部

Claims

同軸伝送線路の中心導体を第１の電気接触子とし、前記同軸伝送線路の外部導体に第２の電気接触子を接合してなる高周波プローブであって、
前記第２の電気接触子は、被検査対象と電気的接触を得るための接触部を有する板状部と、前記板状部と一体として形成され、前記同軸伝送線路の外部導体を周方向から位置決めする同軸伝送線路周方向位置決め面を有する取付部とを備えたことを特徴とする、高周波プローブ。
前記板状部は、前記同軸伝送線路の外部導体の端部を軸方向から位置決めする同軸伝送線路端部位置決め面を有することを特徴とする、請求項１に記載の高周波プローブ。
前記取付部は、前記同軸伝送線路の外部導体の外周部に接合可能なように半円筒状に形成されていることを特徴とする、請求項１または請求項２に記載の高周波プローブ。
前記板状部は、弾性材で形成され、被検査対象との接触時に所定の接触圧が得られるようにしたことを特徴とする、請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の高周波プローブ。
前記板状部は、前記第１の電気接触子の両側に形成され、前記取付部は、前記第１の電気接触子の両側に形成された板状部を前記第１の電気接触子に対して一定の位置に保持する機能を有することを特徴とする、請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の高周波プローブ。
前記板状部は、前記第１の電気接触子の両側に形成された板状部を相互に係止する絶縁性の補強部を備えることを特徴とする、請求項５に記載の高周波プローブ。
前記板状部は、前記第１の電気接触子をガイドする絶縁性のガイド部を備えることを特徴とする、請求項１ないし請求項６のいずれかに記載の高周波プローブ。
高周波プローブに用いる電気接触子であって、
被検査対象と電気的接触を得るための接触部を有する板状部と、前記板状部と一体として形成され、前記同軸伝送線路の外部導体を周方向から位置決めする同軸伝送線路外周位置決め面を有する取付部とを備えたことを特徴とする、電気接触子。
同軸伝送線路の中心導体を第１の電気接触子とし、前記同軸伝送線路の外部導体に第２の電気接触子を接合してなる高周波プローブであって、
前記第２の電気接触子は、被検査対象と電気的接触を得るための接触部と、前記同軸伝送線路の外部導体の端部を位置決めする同軸伝送線路端部位置決め面と、前記同軸伝送線路の外部導体を周方向から位置決めする同軸伝送線路外周位置決め面とを有することを特徴とする、高周波プローブ。