JP2004324948A - メンテナンス用窓及び排ガス処理装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】排ガス処理装置の燃焼排ガス排出路に堆積した粉塵を容易に清掃すること。
【解決手段】収容容器内に配置される配管の内部を掃除するためのメンテナンス用窓において、前記配管の清掃用開口部の周囲に構成される窓枠と、前記窓枠を覆うための窓部と、前記窓部に付帯され、前記清掃用開口部に嵌合する嵌合部材と、を有することを特徴とする。
【選択図】 図2
【解決手段】収容容器内に配置される配管の内部を掃除するためのメンテナンス用窓において、前記配管の清掃用開口部の周囲に構成される窓枠と、前記窓枠を覆うための窓部と、前記窓部に付帯され、前記清掃用開口部に嵌合する嵌合部材と、を有することを特徴とする。
【選択図】 図2
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば半導体の製造工程で用いられ且つ排出される排ガスであって、可燃性ガス成分や支燃性ガス成分、環境に有害なガス成分を含有したガス等を含む排ガスを燃焼或いは熱分解させて除害処理するための排ガス処理装置及び、該排ガス処理装置の燃焼排ガス排出路に堆積した粉塵等を取り除くメンテナンス用窓に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
半導体製造工程における特定の工程から、シラン(SiH4)、ジシラン(Si2H6)、ジボラン(B2H6)、ホスフィン(PH3)、アルシン(AsH3)、三フッ化窒素(NF3)等の有害な排ガスが生成することが知られている。このような有毒性排ガスは人体に対する毒性が高いため、大気への放出に際しては有毒性物質の完全な除去が要求されている。また半導体製造工程における他の特定の工程から、四フッ化炭素(CF4)や六フッ化硫黄(SF6)など地球環境に悪影響を与えるフロンガスが排出される。このような排ガスは大気への放出に際して予め除害することが要求されている。
【0003】
このため、本出願人は、上記の如き排ガスを燃焼させて除害した後、大気へ放出することで上記要求を満足させることができる有毒性排ガスの処理方法及び装置を提案している(特許文献1参照。)。
【0004】
この技術は、上記のような排ガスを一端が閉鎖された筒状の燃焼室に導入し、該燃焼室に配置されたバーナーにより水素、メタン、エタン、プロパン、ブタン等の燃料ガスが燃焼するとき生成する高温部で分解し、或いは助燃用空気の作用により燃焼することで除害し、その後、燃焼排ガス搬送通路を通って水スクラバーに供給し、該水スクラバーで冷却すると共に粉塵や有害な燃焼副生成ガス等を吸収し、所定の煙道を通して大気に排出するものである。
【0005】
また、この技術を用いた排ガス処理装置として、T型筒体を使用して燃焼排ガス排出路(燃焼ガス搬送通路)を構成し、燃焼排ガス排出路中に空気を導入する構成のものがある(例えば、特許文献2参照。)。この装置においては、排ガスを燃焼して無害化するための燃焼室の排ガス排出方向下流側に、装置のケーシング内の空気を導入する燃焼排ガス排出路を設ける。燃焼排ガス排出路内に空気を導入することで、燃焼室での燃焼を助ける助燃を行って燃焼効率を上げる効果の他に、燃焼排ガス排出路内の温度を冷却する効果も得られる。
【0006】
この排ガス処理装置において、燃焼室にて排ガスを燃焼した後の粉塵が燃焼排ガス排出路の壁面に堆積すると、燃焼排ガス排出路の断面積が狭められる。燃焼排ガス排出路の断面積が狭められると、燃焼排ガス排出路から排出する排ガスの量が減るとともに、燃焼排ガス排出路へ導入する空気の量も減る。その結果、装置が異常停止を起こすおそれがある。このため、排ガス処理装置には、燃焼排ガス排出路の定期的なメンテナンス作業が必要である。
【0007】
【特許文献1】
特許第2963792号公報
【特許文献2】
特願2002−156881
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のメンテナンス作業においては、燃焼ガス排出路に繋がる他の配管を外す必要があるため、大変な手間がかかっていた。
【0009】
また、燃焼排ガス排出路のメンテナンス時には、該燃焼排ガス排出路に繋がる他の配管をも外す必要があるため部外専門家を呼ぶ必要があり、手間とコストがかかっていた。
【0010】
そこで本発明の目的は、排ガス処理装置の燃焼排ガス排出路に堆積した粉塵を容易に清掃することである。
【0011】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するための、本発明の代表的な構成は、収容容器内に配置される配管の内部を掃除するためのメンテナンス用窓において、前記配管の清掃用開口部の周囲に構成される窓枠と、前記窓枠を覆うための窓部と、前記窓部に付帯され、前記清掃用開口部に嵌合する嵌合部材と、を有することを特徴とする。
【0012】
上記構成により、窓部を窓枠から外すと、窓枠に配設された嵌合部材も外れ、燃焼排ガス排出路等の配管には、配管の側面に配設される清掃用開口部が収容容器外部に露出する。
【0013】
また、本発明に係る他の構成は、燃焼室と燃焼排ガス排出路とを有し、前記燃焼室は一端が閉鎖されると共にその閉鎖された端部側に排ガス供給路が配置されると共に所定位置にバーナーが配置され、前記燃焼室に供給された排ガスをバーナーによって高温にして分解あるいは燃焼させて排出させる排ガス処理装置において、前記燃焼排ガス排出路の側面には、清掃用開口部が形成され、前記清掃用開口部の周囲に構成される窓枠と、前記窓枠を覆うための窓部と、前記窓部に付帯され、前記清掃用開口部に嵌合する嵌合部材と、で構成されるメンテナンス用窓を有することを特徴とする。
【0014】
【発明の実施の形態】
図を用いて本発明の実施形態を説明する。図1は排ガス処理装置の概略説明図である。図1において、排ガス処理装置Aは、半導体の製造工程から生成するシラン、ジシラン、ジボラン、ホスフィン、アルシンや、三フッ化窒素など毒性を持つ特殊材料ガスあるいは四フッ化炭素や六フッ化硫黄など地球環境に悪影響を与えるフロンガス等の排ガスを完全燃焼あるいは分解させて除害して排出する機能を有するものである。
【0015】
(排ガス処理装置Aの全体構成及び機能)
排ガス処理装置Aは、収容容器10内に、処理すべき排ガスが供給される排ガス供給路1と、供給される排ガスを燃焼させる燃焼室2と、燃焼室2で燃焼した燃焼排ガスを排出する配管としての燃焼排ガス排出路3と、を配設する。ここで、排ガス供給路1、燃焼室2及び燃焼排ガス排出路3は、図に示すように一体的に構成されている。
【0016】
排ガス供給路1は、図示しない排ガス発生部位(例えば半導体の製造工程を構成するプロセス機器類)に接続され、排ガス発生部位で発生した排ガスを燃焼室2に供給する機能を有する。排ガス供給路1の所定位置には、図示しない温度センサーが設けられている。このため、排ガス供給路1の温度を常に監視することによって、排ガス導入温度を監視すると共に逆火現象の発生を監視し得る。
【0017】
燃焼室2は、排ガス供給路1から供給される排ガスを無害化する機能を有する。燃焼室2は、耐熱材料によって形成された円筒状の筒体を用いて構成されており、一端が蓋体2aによって閉鎖され、他端が燃焼排ガス排出路3に接続されている。燃焼室2の所定位置には排ガス供給路1が接続され、排ガス供給路1よりも下流側に1または複数のバーナー2bが配置される。
【0018】
この構成により、まず、排ガス供給路1から排ガスが燃焼室2に供給されると、バーナー2bには、燃料ガスである水素ガスやLNG(液化天然ガス)、LPG(液化石油ガス)、都市ガスなどを選択的に供給され、更に酸素や空気等の支燃性ガスが添加される。これらバーナー2b内に供給されるガスに着火すると、火炎が形成され、この火炎が排ガスを燃焼させ、或いは排ガスを高温にして熱分解させる。このような手順で、供給された排ガスは燃焼及び熱分解により無害化され、燃焼排ガス排出路3へ排出される。
【0019】
尚、バーナー2bの数は特に限定するものではなく、1本或いは複数本のバーナーを配置することが可能である。特に、複数本のバーナー2bを燃焼室2の中心軸に向けて指向させることで、各バーナー2bを点火したとき、火炎が燃焼室2の中心軸上で合流して一つのまとまった火炎を形成する。これによって排ガスが火炎の脇をすり抜けて通ることを防止でき、高い除害率を実現することが可能である。またバーナー2bは、燃焼室2の縦断面半径方向に対し、0度〜80度の範囲の角度で取り付けることが可能である。
【0020】
燃焼排ガス排出路3は、燃焼室2において高温にして分解し、或いは燃焼した燃焼排ガスを流通させて排出する機能を有する。燃焼排ガス排出路3は、円筒状の筒体から構成され、一端が空気を管内に導入するための空気導入口3aとなり、他端が排ガスを排出する排気口3bとなる。また、燃焼排ガス排出路3の燃焼室2よりも排ガス排出方向下流側にメンテナンス用窓30が形成される。メンテナンス用窓30については後に詳しく説明する。
【0021】
収容容器10は、排ガス供給路1、燃焼室2及び燃焼排ガス排出路3を収容すると共に、排ガス処理装置Aの動作を制御する制御部を収容する。また、収容容器10の表面には、不図示の操作盤が構成されている。操作盤は、各温度センサーによる検出温度や排ガス処理装置Aの作動状態等を表示する表示部や各バーナー2bの点火制御を行う操作スイッチ等が配置されて構成されている。
【0022】
(排ガス及び空気の流れ)
本発明の排ガス処理装置Aにおいては、単に排ガスを取り入れて燃焼室2内のバーナー2bで燃焼させるのではなく、空気導入口3aから空気を取り入れ、燃焼室2内で前記排ガスと前記空気を混合させてから燃焼させている。これにより、燃焼室2内で高い燃焼効率が得られ、より高い燃焼排ガスの無害化を実現することができる。ここで、排ガス及び空気導入口3aから導入する空気について説明する。
【0023】
まず、上述のように排ガスは排ガス供給路1から燃焼室2内へ供給される。一方、空気導入口3aから導入される空気は、一部が燃焼室2側へ供給され、残りの空気が燃焼排ガス排出路3を通過する。ここで燃焼室2側へ供給される空気の量は、燃焼排ガス排出路3の口径や形状、燃焼室2の口径や形状、排ガスの流量等により決定され、燃焼や熱分解に最適な流量に保たれている。
【0024】
燃焼室2内で排ガスは、バーナー2bから供給された火炎によって燃焼及び熱分解する。このとき、空気中の酸素が混合することで、より燃焼効率を上昇させることができ、排ガスの無害化を実現することができる。
【0025】
こうして燃焼及び熱分解した排ガスは燃焼排ガスと粉体となり、燃焼排ガス排出路3に排出され、燃焼排ガス排出路3の排気口3bから排出される。排気口3bから排ガス処理装置A外へ排出される燃焼排ガスは、不図示の燃焼排ガス搬送通路を通って水スクラバー等に供給し、水スクラバーで冷却すると共に粉塵や有害な燃焼副生成ガス等を吸収し、所定の煙道を通して大気に排出する。
【0026】
(メンテナンス用窓30の構造及び機能)
上述のように、燃焼室2にて処理された燃焼排ガスは燃焼排ガス排出路3内を通過することとなるが、燃焼排ガスには排ガスを燃焼した後の粉塵が含まれており、該粉塵が燃焼排ガス排出路3の壁面に付着して堆積する。この粉塵を容易に除去するため、本発明の排ガス処理装置Aにおける燃焼排ガス排出路3の側面には、メンテナンス用窓30が設けられる。
【0027】
本発明のメンテナンス用窓30の構成を参考例と比較をしつつ、説明する。図2は参考例としてのメンテナンス用窓530を示す斜視図であり、図3は本発明のメンテナンス用窓30を示す斜視図である。尚、両図とも図1の燃焼排ガス排出路3をX方向から見た図である。
【0028】
図2を用いて、参考例としてのメンテナンス用窓530の構成を説明する。まず、メンテナンス時に燃焼排ガス排出路3の全体を収容容器10の外に取り出すことなく燃焼排ガス排出路3内に堆積した粉塵を取り除くために、燃焼排ガス排出路3の側面に清掃用開口部3cを空けて、この清掃用開口部3cを塞ぐ構成とすることが考えられる。
【0029】
ここで、前述のように、燃焼排ガス排出路3内には粉塵や燃焼副生成ガス等、有害な物質が含まれるため、清掃用開口部3cのシールは、確実に行わなければならない。このため、参考例として図2に示すように、清掃用開口部3cを覆うように粉塵やガスをシールする性能の高い窓枠531を設け、窓枠531の開口部531aを、窓部532にて覆うメンテナンス用窓530の構成が考えられる。
【0030】
このような構成によれば、メンテナンス時に窓部532を外すと、メンテナンス作業者は、開口部531aを通じて清掃用開口部3cの内部を直接掃除することができるため、外部から容易に燃焼排ガス排出路3の内部のメンテナンスを行うことができる。
【0031】
しかしながら、燃焼排ガス排出路3に窓枠531を形成すると、燃焼排ガス排出路3の側面に窓枠531の形状及び容量が追加されることになり、結果として、燃焼排ガス排出路3の形状を変更させることとなる。
【0032】
ここで上述したように、空気導入口3aから導入される空気は、燃焼排ガス排出路3の口径や形状、燃焼室2の口径や形状、排ガスの流量等により、その一部が燃焼室2側へ割り当てられている。このため、窓枠531が追加されることで燃焼排ガス排出路3の形状が変更すると、導入される空気の流れの乱れや燃焼室2に導入される空気量の変化、また排ガスの流れの乱れが発生する。その結果、供給される排ガスと導入される空気との混合比率が最適な状態から外れるため、燃焼室2内の排ガスの燃焼効率を低下させることとなる。
【0033】
そこで本発明においては、メンテナンス用窓30の構成を以下のようにする。図3に本発明のメンテナンス用窓30の構成を示す。
【0034】
本発明のメンテナンス用窓30は、粉塵やガスを耐腐食性ゴムパッキンや石綿ジョイントシート等によりシールする性能の高い窓枠31と、窓枠31の開口部31aを覆う窓部32と、窓部に付帯され清掃用開口部3cと嵌合する嵌合部材33と、を有する。また、窓部32の周縁には、窓枠31に配設される穴と重なり、ボルトにより係止するための複数の穴が配設される。こうして、窓部32は、窓枠31に対して着脱可能に構成される。
【0035】
このように、燃焼排ガス排出路3の側面にメンテナンス用窓30を設けたため、窓部32を窓枠31から外すと、同時に清掃用開口部3cから嵌合部材33も外れ、清掃用開口部3cが外部に露出する。このため、メンテナンス作業をする者は、収容容器10の外に配管を取り出す必要もなく、また、燃焼排ガス排出路3を、燃焼室2等の他の配管から外す必要もない。こうして、排ガス処理装置の燃焼排ガス排出路に堆積した粉塵を、清掃する作業を容易に行うことができる。
【0036】
また、窓部32に清掃用開口部3cと嵌合する嵌合部材33を付帯したことにより、窓部32を窓枠31にボルト等で固定すると、嵌合部材33が清掃用開口部3cに嵌まり込み、燃焼排ガス排出路3の形状を復元させることができる。このため、燃焼室2で燃焼及び熱分解が行われた燃焼排ガスや空気導入口3aから導入する空気の流れを乱すことがなくなり、燃焼室2での排ガスの燃焼効率を低下させることがない。
【0037】
(他の実施形態)
前述した実施形態においては、窓部31に燃焼排ガス排出路3の一部と嵌合する嵌合部材32を付帯した例を示したが、これに限るものではない。即ち、燃焼排ガス排出路3の形状を乱すことなく、収容容器10の外部から燃焼排ガス排出路3内を清掃することができればよい。
【0038】
このため、例えば図4に示すように、窓部131と、燃焼排ガス排出路3の一部3dを保持して抜き出すための抜出し部材132を窓部131に付帯して、メンテナンス用窓130を構成してもよい。このような構成とすれば、窓部131を窓枠31でのボルトによる固定を外し、取手131aを持って引き出すと、窓部131に付帯される抜出し部材132も抜き出され、抜出し部材132内に配設される燃焼排ガス排出路3の一部3dが抜き出される。
【0039】
これにより、メンテナンス作業をする者は、燃焼排ガス排出路3の一部3dを外に取り出して清掃することができ、また、燃焼排ガス排出路3の一部3d以外の部分は、燃焼排ガス排出路3の一部3dが抜けた部分から清掃をすることができる。
【0040】
前述した実施形態においては、燃焼排ガス排出路3にメンテナンス用窓を形成して清掃する構成としたが、これに限るものではない。即ち、図5に示すように、燃焼排ガス排出路3を多段式にして、燃焼排ガス排出路3の一部(取出部233)を外し、収容容器10の外部に取り外せるように構成してもよい。
【0041】
取出部233を取り外す構成としては、燃焼排ガス排出路3と取出部233との接合部に互いにフランジを形成し、このフランジを留める構成が考えられる。
【0042】
取出部233を取り出す際には、図5に示すように、窓部232を収容容器10から取り外した後、フランジ留めを解除して、取出部233を収容容器10の外部へ取り出すことができる。このような構成とすれば、収容容器10の外部からでも、燃焼排ガス排出路に堆積した粉塵を清掃することができる。
【0043】
前述した実施形態においては、収容容器10内に燃焼排ガス排出路3等の配管を配設する構成としたが、これに限るものではなく、収容容器10がない構成であってもよい。
【0044】
【発明の効果】
以上のように、本発明においては、燃焼排ガス排出路の側面に清掃用開口部を設け、清掃用開口部に嵌合する嵌合部材を付帯した窓部を、収容容器の窓枠に着脱可能に構成した。
【0045】
このため、窓部を窓枠から外すと、窓枠に配設された嵌合部材も外れ、燃焼排ガス排出路には清掃用開口部が外部に露出する。これにより、収容容器の外部から燃焼排ガス排出路の清掃用開口部を通じて、燃焼排ガス排出路に堆積した粉塵を清掃する等のメンテナンスを、容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】排ガス処理装置の概略説明図。
【図2】参考例としてのメンテナンス用窓を示す斜視図。
【図3】本発明のメンテナンス用窓を示す斜視図。
【図4】他の実施形態におけるメンテナンス用窓を示す斜視図。
【図5】他の実施形態における収容容器に構成したメンテナンス用窓を示す斜視図。
【符号の説明】
A …排ガス処理装置、
1 …排ガス供給路、2 …燃焼室、2a …蓋体、2b …バーナー、
3 …燃焼排ガス排出路、3a …空気導入口、3b …排気口、
3c …清掃用開口部、3d …一部、10 …収容容器、
30 …メンテナンス用窓、31 …窓枠、31a …開口部、32 …窓部、
33 …嵌合部材、130 …メンテナンス用窓、131 …窓部、132 …抜出し部材、
230 …メンテナンス用窓、232 …窓部、233 …取出部
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば半導体の製造工程で用いられ且つ排出される排ガスであって、可燃性ガス成分や支燃性ガス成分、環境に有害なガス成分を含有したガス等を含む排ガスを燃焼或いは熱分解させて除害処理するための排ガス処理装置及び、該排ガス処理装置の燃焼排ガス排出路に堆積した粉塵等を取り除くメンテナンス用窓に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
半導体製造工程における特定の工程から、シラン(SiH4)、ジシラン(Si2H6)、ジボラン(B2H6)、ホスフィン(PH3)、アルシン(AsH3)、三フッ化窒素(NF3)等の有害な排ガスが生成することが知られている。このような有毒性排ガスは人体に対する毒性が高いため、大気への放出に際しては有毒性物質の完全な除去が要求されている。また半導体製造工程における他の特定の工程から、四フッ化炭素(CF4)や六フッ化硫黄(SF6)など地球環境に悪影響を与えるフロンガスが排出される。このような排ガスは大気への放出に際して予め除害することが要求されている。
【0003】
このため、本出願人は、上記の如き排ガスを燃焼させて除害した後、大気へ放出することで上記要求を満足させることができる有毒性排ガスの処理方法及び装置を提案している(特許文献1参照。)。
【0004】
この技術は、上記のような排ガスを一端が閉鎖された筒状の燃焼室に導入し、該燃焼室に配置されたバーナーにより水素、メタン、エタン、プロパン、ブタン等の燃料ガスが燃焼するとき生成する高温部で分解し、或いは助燃用空気の作用により燃焼することで除害し、その後、燃焼排ガス搬送通路を通って水スクラバーに供給し、該水スクラバーで冷却すると共に粉塵や有害な燃焼副生成ガス等を吸収し、所定の煙道を通して大気に排出するものである。
【0005】
また、この技術を用いた排ガス処理装置として、T型筒体を使用して燃焼排ガス排出路(燃焼ガス搬送通路)を構成し、燃焼排ガス排出路中に空気を導入する構成のものがある(例えば、特許文献2参照。)。この装置においては、排ガスを燃焼して無害化するための燃焼室の排ガス排出方向下流側に、装置のケーシング内の空気を導入する燃焼排ガス排出路を設ける。燃焼排ガス排出路内に空気を導入することで、燃焼室での燃焼を助ける助燃を行って燃焼効率を上げる効果の他に、燃焼排ガス排出路内の温度を冷却する効果も得られる。
【0006】
この排ガス処理装置において、燃焼室にて排ガスを燃焼した後の粉塵が燃焼排ガス排出路の壁面に堆積すると、燃焼排ガス排出路の断面積が狭められる。燃焼排ガス排出路の断面積が狭められると、燃焼排ガス排出路から排出する排ガスの量が減るとともに、燃焼排ガス排出路へ導入する空気の量も減る。その結果、装置が異常停止を起こすおそれがある。このため、排ガス処理装置には、燃焼排ガス排出路の定期的なメンテナンス作業が必要である。
【0007】
【特許文献1】
特許第2963792号公報
【特許文献2】
特願2002−156881
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のメンテナンス作業においては、燃焼ガス排出路に繋がる他の配管を外す必要があるため、大変な手間がかかっていた。
【0009】
また、燃焼排ガス排出路のメンテナンス時には、該燃焼排ガス排出路に繋がる他の配管をも外す必要があるため部外専門家を呼ぶ必要があり、手間とコストがかかっていた。
【0010】
そこで本発明の目的は、排ガス処理装置の燃焼排ガス排出路に堆積した粉塵を容易に清掃することである。
【0011】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するための、本発明の代表的な構成は、収容容器内に配置される配管の内部を掃除するためのメンテナンス用窓において、前記配管の清掃用開口部の周囲に構成される窓枠と、前記窓枠を覆うための窓部と、前記窓部に付帯され、前記清掃用開口部に嵌合する嵌合部材と、を有することを特徴とする。
【0012】
上記構成により、窓部を窓枠から外すと、窓枠に配設された嵌合部材も外れ、燃焼排ガス排出路等の配管には、配管の側面に配設される清掃用開口部が収容容器外部に露出する。
【0013】
また、本発明に係る他の構成は、燃焼室と燃焼排ガス排出路とを有し、前記燃焼室は一端が閉鎖されると共にその閉鎖された端部側に排ガス供給路が配置されると共に所定位置にバーナーが配置され、前記燃焼室に供給された排ガスをバーナーによって高温にして分解あるいは燃焼させて排出させる排ガス処理装置において、前記燃焼排ガス排出路の側面には、清掃用開口部が形成され、前記清掃用開口部の周囲に構成される窓枠と、前記窓枠を覆うための窓部と、前記窓部に付帯され、前記清掃用開口部に嵌合する嵌合部材と、で構成されるメンテナンス用窓を有することを特徴とする。
【0014】
【発明の実施の形態】
図を用いて本発明の実施形態を説明する。図1は排ガス処理装置の概略説明図である。図1において、排ガス処理装置Aは、半導体の製造工程から生成するシラン、ジシラン、ジボラン、ホスフィン、アルシンや、三フッ化窒素など毒性を持つ特殊材料ガスあるいは四フッ化炭素や六フッ化硫黄など地球環境に悪影響を与えるフロンガス等の排ガスを完全燃焼あるいは分解させて除害して排出する機能を有するものである。
【0015】
(排ガス処理装置Aの全体構成及び機能)
排ガス処理装置Aは、収容容器10内に、処理すべき排ガスが供給される排ガス供給路1と、供給される排ガスを燃焼させる燃焼室2と、燃焼室2で燃焼した燃焼排ガスを排出する配管としての燃焼排ガス排出路3と、を配設する。ここで、排ガス供給路1、燃焼室2及び燃焼排ガス排出路3は、図に示すように一体的に構成されている。
【0016】
排ガス供給路1は、図示しない排ガス発生部位(例えば半導体の製造工程を構成するプロセス機器類)に接続され、排ガス発生部位で発生した排ガスを燃焼室2に供給する機能を有する。排ガス供給路1の所定位置には、図示しない温度センサーが設けられている。このため、排ガス供給路1の温度を常に監視することによって、排ガス導入温度を監視すると共に逆火現象の発生を監視し得る。
【0017】
燃焼室2は、排ガス供給路1から供給される排ガスを無害化する機能を有する。燃焼室2は、耐熱材料によって形成された円筒状の筒体を用いて構成されており、一端が蓋体2aによって閉鎖され、他端が燃焼排ガス排出路3に接続されている。燃焼室2の所定位置には排ガス供給路1が接続され、排ガス供給路1よりも下流側に1または複数のバーナー2bが配置される。
【0018】
この構成により、まず、排ガス供給路1から排ガスが燃焼室2に供給されると、バーナー2bには、燃料ガスである水素ガスやLNG(液化天然ガス)、LPG(液化石油ガス)、都市ガスなどを選択的に供給され、更に酸素や空気等の支燃性ガスが添加される。これらバーナー2b内に供給されるガスに着火すると、火炎が形成され、この火炎が排ガスを燃焼させ、或いは排ガスを高温にして熱分解させる。このような手順で、供給された排ガスは燃焼及び熱分解により無害化され、燃焼排ガス排出路3へ排出される。
【0019】
尚、バーナー2bの数は特に限定するものではなく、1本或いは複数本のバーナーを配置することが可能である。特に、複数本のバーナー2bを燃焼室2の中心軸に向けて指向させることで、各バーナー2bを点火したとき、火炎が燃焼室2の中心軸上で合流して一つのまとまった火炎を形成する。これによって排ガスが火炎の脇をすり抜けて通ることを防止でき、高い除害率を実現することが可能である。またバーナー2bは、燃焼室2の縦断面半径方向に対し、0度〜80度の範囲の角度で取り付けることが可能である。
【0020】
燃焼排ガス排出路3は、燃焼室2において高温にして分解し、或いは燃焼した燃焼排ガスを流通させて排出する機能を有する。燃焼排ガス排出路3は、円筒状の筒体から構成され、一端が空気を管内に導入するための空気導入口3aとなり、他端が排ガスを排出する排気口3bとなる。また、燃焼排ガス排出路3の燃焼室2よりも排ガス排出方向下流側にメンテナンス用窓30が形成される。メンテナンス用窓30については後に詳しく説明する。
【0021】
収容容器10は、排ガス供給路1、燃焼室2及び燃焼排ガス排出路3を収容すると共に、排ガス処理装置Aの動作を制御する制御部を収容する。また、収容容器10の表面には、不図示の操作盤が構成されている。操作盤は、各温度センサーによる検出温度や排ガス処理装置Aの作動状態等を表示する表示部や各バーナー2bの点火制御を行う操作スイッチ等が配置されて構成されている。
【0022】
(排ガス及び空気の流れ)
本発明の排ガス処理装置Aにおいては、単に排ガスを取り入れて燃焼室2内のバーナー2bで燃焼させるのではなく、空気導入口3aから空気を取り入れ、燃焼室2内で前記排ガスと前記空気を混合させてから燃焼させている。これにより、燃焼室2内で高い燃焼効率が得られ、より高い燃焼排ガスの無害化を実現することができる。ここで、排ガス及び空気導入口3aから導入する空気について説明する。
【0023】
まず、上述のように排ガスは排ガス供給路1から燃焼室2内へ供給される。一方、空気導入口3aから導入される空気は、一部が燃焼室2側へ供給され、残りの空気が燃焼排ガス排出路3を通過する。ここで燃焼室2側へ供給される空気の量は、燃焼排ガス排出路3の口径や形状、燃焼室2の口径や形状、排ガスの流量等により決定され、燃焼や熱分解に最適な流量に保たれている。
【0024】
燃焼室2内で排ガスは、バーナー2bから供給された火炎によって燃焼及び熱分解する。このとき、空気中の酸素が混合することで、より燃焼効率を上昇させることができ、排ガスの無害化を実現することができる。
【0025】
こうして燃焼及び熱分解した排ガスは燃焼排ガスと粉体となり、燃焼排ガス排出路3に排出され、燃焼排ガス排出路3の排気口3bから排出される。排気口3bから排ガス処理装置A外へ排出される燃焼排ガスは、不図示の燃焼排ガス搬送通路を通って水スクラバー等に供給し、水スクラバーで冷却すると共に粉塵や有害な燃焼副生成ガス等を吸収し、所定の煙道を通して大気に排出する。
【0026】
(メンテナンス用窓30の構造及び機能)
上述のように、燃焼室2にて処理された燃焼排ガスは燃焼排ガス排出路3内を通過することとなるが、燃焼排ガスには排ガスを燃焼した後の粉塵が含まれており、該粉塵が燃焼排ガス排出路3の壁面に付着して堆積する。この粉塵を容易に除去するため、本発明の排ガス処理装置Aにおける燃焼排ガス排出路3の側面には、メンテナンス用窓30が設けられる。
【0027】
本発明のメンテナンス用窓30の構成を参考例と比較をしつつ、説明する。図2は参考例としてのメンテナンス用窓530を示す斜視図であり、図3は本発明のメンテナンス用窓30を示す斜視図である。尚、両図とも図1の燃焼排ガス排出路3をX方向から見た図である。
【0028】
図2を用いて、参考例としてのメンテナンス用窓530の構成を説明する。まず、メンテナンス時に燃焼排ガス排出路3の全体を収容容器10の外に取り出すことなく燃焼排ガス排出路3内に堆積した粉塵を取り除くために、燃焼排ガス排出路3の側面に清掃用開口部3cを空けて、この清掃用開口部3cを塞ぐ構成とすることが考えられる。
【0029】
ここで、前述のように、燃焼排ガス排出路3内には粉塵や燃焼副生成ガス等、有害な物質が含まれるため、清掃用開口部3cのシールは、確実に行わなければならない。このため、参考例として図2に示すように、清掃用開口部3cを覆うように粉塵やガスをシールする性能の高い窓枠531を設け、窓枠531の開口部531aを、窓部532にて覆うメンテナンス用窓530の構成が考えられる。
【0030】
このような構成によれば、メンテナンス時に窓部532を外すと、メンテナンス作業者は、開口部531aを通じて清掃用開口部3cの内部を直接掃除することができるため、外部から容易に燃焼排ガス排出路3の内部のメンテナンスを行うことができる。
【0031】
しかしながら、燃焼排ガス排出路3に窓枠531を形成すると、燃焼排ガス排出路3の側面に窓枠531の形状及び容量が追加されることになり、結果として、燃焼排ガス排出路3の形状を変更させることとなる。
【0032】
ここで上述したように、空気導入口3aから導入される空気は、燃焼排ガス排出路3の口径や形状、燃焼室2の口径や形状、排ガスの流量等により、その一部が燃焼室2側へ割り当てられている。このため、窓枠531が追加されることで燃焼排ガス排出路3の形状が変更すると、導入される空気の流れの乱れや燃焼室2に導入される空気量の変化、また排ガスの流れの乱れが発生する。その結果、供給される排ガスと導入される空気との混合比率が最適な状態から外れるため、燃焼室2内の排ガスの燃焼効率を低下させることとなる。
【0033】
そこで本発明においては、メンテナンス用窓30の構成を以下のようにする。図3に本発明のメンテナンス用窓30の構成を示す。
【0034】
本発明のメンテナンス用窓30は、粉塵やガスを耐腐食性ゴムパッキンや石綿ジョイントシート等によりシールする性能の高い窓枠31と、窓枠31の開口部31aを覆う窓部32と、窓部に付帯され清掃用開口部3cと嵌合する嵌合部材33と、を有する。また、窓部32の周縁には、窓枠31に配設される穴と重なり、ボルトにより係止するための複数の穴が配設される。こうして、窓部32は、窓枠31に対して着脱可能に構成される。
【0035】
このように、燃焼排ガス排出路3の側面にメンテナンス用窓30を設けたため、窓部32を窓枠31から外すと、同時に清掃用開口部3cから嵌合部材33も外れ、清掃用開口部3cが外部に露出する。このため、メンテナンス作業をする者は、収容容器10の外に配管を取り出す必要もなく、また、燃焼排ガス排出路3を、燃焼室2等の他の配管から外す必要もない。こうして、排ガス処理装置の燃焼排ガス排出路に堆積した粉塵を、清掃する作業を容易に行うことができる。
【0036】
また、窓部32に清掃用開口部3cと嵌合する嵌合部材33を付帯したことにより、窓部32を窓枠31にボルト等で固定すると、嵌合部材33が清掃用開口部3cに嵌まり込み、燃焼排ガス排出路3の形状を復元させることができる。このため、燃焼室2で燃焼及び熱分解が行われた燃焼排ガスや空気導入口3aから導入する空気の流れを乱すことがなくなり、燃焼室2での排ガスの燃焼効率を低下させることがない。
【0037】
(他の実施形態)
前述した実施形態においては、窓部31に燃焼排ガス排出路3の一部と嵌合する嵌合部材32を付帯した例を示したが、これに限るものではない。即ち、燃焼排ガス排出路3の形状を乱すことなく、収容容器10の外部から燃焼排ガス排出路3内を清掃することができればよい。
【0038】
このため、例えば図4に示すように、窓部131と、燃焼排ガス排出路3の一部3dを保持して抜き出すための抜出し部材132を窓部131に付帯して、メンテナンス用窓130を構成してもよい。このような構成とすれば、窓部131を窓枠31でのボルトによる固定を外し、取手131aを持って引き出すと、窓部131に付帯される抜出し部材132も抜き出され、抜出し部材132内に配設される燃焼排ガス排出路3の一部3dが抜き出される。
【0039】
これにより、メンテナンス作業をする者は、燃焼排ガス排出路3の一部3dを外に取り出して清掃することができ、また、燃焼排ガス排出路3の一部3d以外の部分は、燃焼排ガス排出路3の一部3dが抜けた部分から清掃をすることができる。
【0040】
前述した実施形態においては、燃焼排ガス排出路3にメンテナンス用窓を形成して清掃する構成としたが、これに限るものではない。即ち、図5に示すように、燃焼排ガス排出路3を多段式にして、燃焼排ガス排出路3の一部(取出部233)を外し、収容容器10の外部に取り外せるように構成してもよい。
【0041】
取出部233を取り外す構成としては、燃焼排ガス排出路3と取出部233との接合部に互いにフランジを形成し、このフランジを留める構成が考えられる。
【0042】
取出部233を取り出す際には、図5に示すように、窓部232を収容容器10から取り外した後、フランジ留めを解除して、取出部233を収容容器10の外部へ取り出すことができる。このような構成とすれば、収容容器10の外部からでも、燃焼排ガス排出路に堆積した粉塵を清掃することができる。
【0043】
前述した実施形態においては、収容容器10内に燃焼排ガス排出路3等の配管を配設する構成としたが、これに限るものではなく、収容容器10がない構成であってもよい。
【0044】
【発明の効果】
以上のように、本発明においては、燃焼排ガス排出路の側面に清掃用開口部を設け、清掃用開口部に嵌合する嵌合部材を付帯した窓部を、収容容器の窓枠に着脱可能に構成した。
【0045】
このため、窓部を窓枠から外すと、窓枠に配設された嵌合部材も外れ、燃焼排ガス排出路には清掃用開口部が外部に露出する。これにより、収容容器の外部から燃焼排ガス排出路の清掃用開口部を通じて、燃焼排ガス排出路に堆積した粉塵を清掃する等のメンテナンスを、容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】排ガス処理装置の概略説明図。
【図2】参考例としてのメンテナンス用窓を示す斜視図。
【図3】本発明のメンテナンス用窓を示す斜視図。
【図4】他の実施形態におけるメンテナンス用窓を示す斜視図。
【図5】他の実施形態における収容容器に構成したメンテナンス用窓を示す斜視図。
【符号の説明】
A …排ガス処理装置、
1 …排ガス供給路、2 …燃焼室、2a …蓋体、2b …バーナー、
3 …燃焼排ガス排出路、3a …空気導入口、3b …排気口、
3c …清掃用開口部、3d …一部、10 …収容容器、
30 …メンテナンス用窓、31 …窓枠、31a …開口部、32 …窓部、
33 …嵌合部材、130 …メンテナンス用窓、131 …窓部、132 …抜出し部材、
230 …メンテナンス用窓、232 …窓部、233 …取出部
Claims (2)
- 収容容器内に配置される配管の内部を掃除するためのメンテナンス用窓において、
前記配管の清掃用開口部の周囲に構成される窓枠と、
前記窓枠を覆うための窓部と、
前記窓部に付帯され、前記清掃用開口部に嵌合する嵌合部材と、
を有することを特徴とするメンテナンス用窓。 - 燃焼室と燃焼排ガス排出路とを有し、前記燃焼室は一端が閉鎖されると共にその閉鎖された端部側に排ガス供給路が配置されると共に所定位置にバーナーが配置され、前記燃焼室に供給された排ガスをバーナーによって高温にして分解あるいは燃焼させて排出させる排ガス処理装置において、
前記燃焼排ガス排出路の側面には、清掃用開口部が形成され、
前記清掃用開口部の周囲に構成される窓枠と、前記窓枠を覆うための窓部と、前記窓部に付帯され、前記清掃用開口部に嵌合する嵌合部材と、で構成されるメンテナンス用窓を有することを特徴とする排ガス処理装置。
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JP2003117934A JP2004324948A (ja) | 2003-04-23 | 2003-04-23 | メンテナンス用窓及び排ガス処理装置 |
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JP2003117934A Pending JP2004324948A (ja) | 2003-04-23 | 2003-04-23 | メンテナンス用窓及び排ガス処理装置 |
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- 2003-04-23 JP JP2003117934A patent/JP2004324948A/ja active Pending
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