JP2004320988A - 超音波モータ - Google Patents
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Abstract
【課題】 超音波振動子に対して同位相或いは逆位相の電圧をかけた場合に横振動モードと縦振動モードの両方の共振が発生してしまい、超音波モータが不安定な駆動をしてしまう問題を解決する。
【解決手段】 所定角度で交差するように配置された先端部が結合部材により相互に結合された少なくとも二つのランジュバン型振動子を具備する超音波モータ用駆動子であって、前記結合部材と、前記ランジュバン型振動子を連結する保持部材と、前記ランジュバン型振動子を構成するハウジング部材、圧電素子、ボルト部材からなり、前記ハウジング部材と前記ボルト部材をボルト締めする際におけるボルト部材の外径寸法当たりのトルク量Yが
(α/10)2×5≦Y≦(α/10)2×100
α:ボルト部材の外形寸法(mm)
Y:トルク量(N・m)
にする。
【選択図】 図1
【解決手段】 所定角度で交差するように配置された先端部が結合部材により相互に結合された少なくとも二つのランジュバン型振動子を具備する超音波モータ用駆動子であって、前記結合部材と、前記ランジュバン型振動子を連結する保持部材と、前記ランジュバン型振動子を構成するハウジング部材、圧電素子、ボルト部材からなり、前記ハウジング部材と前記ボルト部材をボルト締めする際におけるボルト部材の外径寸法当たりのトルク量Yが
(α/10)2×5≦Y≦(α/10)2×100
α:ボルト部材の外形寸法(mm)
Y:トルク量(N・m)
にする。
【選択図】 図1
Description
本発明は、位置決め装置等の電子機器の駆動子として使用される超音波モータ用駆動子に関するものである。
従来より、二つの超音波振動子を組み込んだ駆動子を複数設けることによって可動子としてのロータを回転させる超音波モータがある。駆動子の固有振動モードとしては、横振動モードと縦振動モードとがある。この二つの振動モードの共振周波数を一致させることによって、二つの振動モードは縮退する。よって、このような縮退を生じる共振周波数で、各超音波振動子に異なる位相の電圧をかけると、二つの超音波振動子の変位を合成する駆動子の先端部は、楕円運動を行う。そして、このような複数の駆動子はロータの外周部に当接可能に配置されており、各駆動子の楕円運動による駆動力がロータに伝達されてロータが回転する。(例えば、特許文献1参照)。
ここで、超音波モータの二つの超音波振動子に同位相或いは逆位相の電圧をかけてインピーダンス測定を行う際に、本来は両方の超音波振動子に同位相の電圧をかけた場合は縦振動モードのみで共振し、一方、片方の超音波振動子に対して他方の超音波振動子に逆位相の電圧をかけた場合は横振動モードのみで共振するはずである。しかし、超音波モータを複数個作成し、動作試験を行った際に、二つの超音波振動子に同位相のみの電圧をかけた場合或いは片方の超音波振動子の電圧に対して他方の超音波振動子に逆位相の電圧をかけた場合の何れにおいても横振動モードと縦振動モードの両方の共振が発生する現象が必ず数個は発生してしまった。この現象が起こると超音波モータが不安定な駆動になった。これは、超音波モータのバランスがくずれた為に、本来励起されるはずのない振動が励起されてしまったことが考えられる。
すなわち、本発明は、両方の超音波振動子に同位相の電圧をかけた場合は縦振動モードのみで共振し、一方、片方の超音波振動子に対して他方の超音波振動子に逆位相の電圧をかけた場合は横振動モードのみで共振する超音波モータを提供することを目的とする。
即ち、所定角度で交差するように配置された先端部が結合部材により相互に結合された少なくとも二つのランジュバン型振動子を具備する超音波モータ用駆動子であって、前記結合部材と、前記ランジュバン型振動子を連結する保持部材と、前記ランジュバン型振動子を構成するハウジング部材、圧電素子、ボルト部材からなり、前記ハウジング部材と前記ボルト部材をボルト締めする際におけるボルト部材の外径寸法当たりのトルク量Yが
(α/10)2×5≦Y≦(α/10)2×100
α:ボルト部材の外形寸法(mm)
Y:トルク量(N・m)
であることを特徴とする。
(α/10)2×5≦Y≦(α/10)2×100
α:ボルト部材の外形寸法(mm)
Y:トルク量(N・m)
であることを特徴とする。
好適な実施形態において、前記ハウジング部材と前記ボルト部材をボルト締めする際は、全ての前記ランジュバン型振動子において、同一のトルク量Yにてボルト締めすることを特徴とする。
本発明の超音波モータによれば、横振動モードと縦振動モードの両方の共振が発生することを防止することができるため、両方の超音波振動子に同位相の電圧をかけた場合は縦振動モードのみで共振し、一方、片方の超音波振動子に対して他方の超音波振動子に逆位相の電圧をかけた場合は横振動モードのみで共振することができる。
本発明の実施の形態に係る超音波モータの可動子や駆動子の配置態様や、駆動力の伝達態様などは、前述した特開2000−152671号公報に開示した技術と同様である。
ここで、移動を行うための可動子を直線的な移動を行うためのリニア可動子とし、その外側面に駆動子を配置すれば、例えば、前述した位置決め装置の移動機構の駆動を行う超音波モータとして使用することができる。
ここで、移動を行うための可動子を直線的な移動を行うためのリニア可動子とし、その外側面に駆動子を配置すれば、例えば、前述した位置決め装置の移動機構の駆動を行う超音波モータとして使用することができる。
図1に、本発明の実施の形態に係る超音波モータ用駆動子の模式的な平面図を示す。
超音波モータ用駆動子1は、所定角度(本実施の形態では90度)で交差するように配置され先端部が相互に結合された二つのランジュバン型振動子3を備える。各ランジュバン型振動子3は、超音波領域の電圧をかけられ該電圧に応じて伸縮する圧電素子3aをその軸心部に備える。ランジュバン型振動子3を構成する各圧電素子3aは円環状の形状を有しており、各圧電素子3aの中央の穴にはボルト部材5が挿入されている。ボルト部材5は、両端に雄ねじ部5a,5bを有するロッド状部材である。各ボルト部材5の後端5aには、ランジュバン型振動子3を構成するナット状のハウジング部材7が螺合されている。ランジュバン型振動子3を構成する各ナット状のハウジング部材7は、その外面が円柱状に形成され、その内側には、対応する雄ねじ部5a,5bと螺合する雌ねじ部を有する。さらに、各ナット状のハウジング部材7と、それに対応する圧電素子3aとの間には、保持部材9が取り付けられている。保持部材9は、両端部に対応するボルト部材5が挿入される穴を有しており、二つのランジュバン型振動子3を、相互に軸心A1,A2が直交する関係となるように支持する。
超音波モータ用駆動子1は、所定角度(本実施の形態では90度)で交差するように配置され先端部が相互に結合された二つのランジュバン型振動子3を備える。各ランジュバン型振動子3は、超音波領域の電圧をかけられ該電圧に応じて伸縮する圧電素子3aをその軸心部に備える。ランジュバン型振動子3を構成する各圧電素子3aは円環状の形状を有しており、各圧電素子3aの中央の穴にはボルト部材5が挿入されている。ボルト部材5は、両端に雄ねじ部5a,5bを有するロッド状部材である。各ボルト部材5の後端5aには、ランジュバン型振動子3を構成するナット状のハウジング部材7が螺合されている。ランジュバン型振動子3を構成する各ナット状のハウジング部材7は、その外面が円柱状に形成され、その内側には、対応する雄ねじ部5a,5bと螺合する雌ねじ部を有する。さらに、各ナット状のハウジング部材7と、それに対応する圧電素子3aとの間には、保持部材9が取り付けられている。保持部材9は、両端部に対応するボルト部材5が挿入される穴を有しており、二つのランジュバン型振動子3を、相互に軸心A1,A2が直交する関係となるように支持する。
一対のボルト部材5の前端5bには、結合部材11が取り付けられている。ここで、結合部材11は、二つのランジュバン型振動子3の変位を合成することによって得られる駆動力を図示省略するリニア可動子に伝達するものであり、一つの合成部13と、その合成部13から左右にV字状に振り分けられるように配置された二つの先細り部15及び二つの変位受け部17とから構成される。
各変位受け部17は、対応する圧電素子3aの変位方向すなわち対応する軸心A1,A2方向に亙って横断面積S2が一定である角柱状部分であり、対応する圧電素子3aの変位を受ける部分である。さらに、各先細り部15は、変位受け部17の変位出力方向下流側に設けられた部分であって、合成部13に向けて軸心横断面積が減少する形状を有する。これら一対の変位受け部17及び先細り部15の内部には、ボルト部材5の前端5bと螺合する雌ねじ部が形成されている。さらに、一対の先細り部15の変位出力方向下流側には、これら先細り部15を連結し図示しないリニア可動子と接触しうる合成部13がある。
本発明においては、所定角度で交差するように配置された先端部が結合部材により相互に結合された少なくとも二つのランジュバン型振動子を具備する超音波モータ用駆動子であって、前記結合部材と、前記ランジュバン型振動子を連結する保持部材と、前記ランジュバン型振動子を構成するハウジング部材、圧電素子、ボルト部材からなり、前記ハウジング部材と前記ボルト部材をボルト締めする際におけるボルト部材の外径寸法当たりのトルク量Yが
(α/10)2×5≦Y≦(α/10)2×100
α:ボルト部材の外形寸法(mm)
Y:トルク量(N・m)
であるように設定されている。
(α/10)2×5≦Y≦(α/10)2×100
α:ボルト部材の外形寸法(mm)
Y:トルク量(N・m)
であるように設定されている。
次に、このような構成を有する本実施の形態に係る超音波モータ用駆動子1の動作について説明する。本超音波モータ用駆動子1においては、二つのランジュバン型振動子3のそれぞれに適当な電圧を印加するとそこで発生した変位がそれぞれ変位受け部17及び先細り部15を介して合成部13に伝わり合成される。合成部13すなわち結合部材11の先端は、横方向に動く左右振動と縦方向に動く前後振動とのそれぞれに関する固有振動モードを持っている。この二つの固有振動モードを一致させることによって二つの振動モードは縮退する。縮退する共振周波数で、二つのランジュバン型振動子3に90°位相がずれた正弦波の電圧を印加すると、二つのランジュバン型振動子3で発生した変位が合成される結合部材11の合成部13は、楕円運動を描くように動く。この部分にリニア可動子を押し付ければリニア可動子は摩擦力を介して推力を受ける。なお、二つの印加電圧の位相差を逆転すれば楕円運動は反対に回り、推力も反対向きに働く。
ここで、超音波モータ用駆動子1の二つのランジュバン型振動子3に同位相或いは片方のランジュバン型振動子3に対して他方のランジュバン型振動子3に逆位相の電圧をかけてインピーダンス測定を行う際に、本来は両方のランジュバン型振動子3に同位相の電圧をかけた場合はランジュバン型振動子3の合成部13は前後方向に動く縦振動モードのみで共振し、一方、片方のランジュバン型振動子3に対して他方の超音波振動子に逆位相の電圧をかけた場合は超音波モータ用駆動子1の合成部13は横向きに首を振るように動く横振動モードのみで共振する。
一般的に、図1で示される超音波モータ用駆動子1はハウジング部材7とボルト部材5を所定の力で締め付けるので、トルクレンチ等の工具で締め付けやすくする為に、ハウジング部材7の頭部は図5のハウジング部材の頭部20で示されるように2ケ所の切り込みが入っている。図5はこの切り込み以外は図1と同じ構成である。この切り込みはトルクレンチ等の工具で締め付けやすければ良いので、特に切り込み位置に指定はない。
ここで、図5で示される超音波モータ用駆動子1を複数個作成し、動作試験を行った際に、二つのランジュバン型振動子3に同位相のみの電圧をかけた場合或いは片方のランジュバン型振動子3の電圧に対して他方のランジュバン型振動子3に逆位相の電圧をかけた場合の何れにおいても横振動モードと縦振動モードの両方の共振が発生する現象が必ず数個は発生してしまった。図3が超音波モータ用駆動子1を用いた超音波モータの共振特性で、横振動モードと縦振動モードの両方の共振が発生した図である。
ここで、同位相と逆位相入力時の共振がほぼ重なっていることが確認できる。
この現象が起こると超音波モータが不安定な駆動になった。
ここで、図5で示される超音波モータ用駆動子1を複数個作成し、動作試験を行った際に、二つのランジュバン型振動子3に同位相のみの電圧をかけた場合或いは片方のランジュバン型振動子3の電圧に対して他方のランジュバン型振動子3に逆位相の電圧をかけた場合の何れにおいても横振動モードと縦振動モードの両方の共振が発生する現象が必ず数個は発生してしまった。図3が超音波モータ用駆動子1を用いた超音波モータの共振特性で、横振動モードと縦振動モードの両方の共振が発生した図である。
ここで、同位相と逆位相入力時の共振がほぼ重なっていることが確認できる。
この現象が起こると超音波モータが不安定な駆動になった。
そこで、本出願人は、研究を重ね、ボルト部材5の両端の雄ねじ部5a,5bと、ランジュバン型振動子3を構成するナット状のハウジング部材7の内側に形成されている雄ねじ部5a,5bと螺合する雌ねじ部とをボルト締めする際のトルク条件によって、超音波モータが不安定な駆動をしてしまう問題を解決することができることを見出すことができた。以下に実施例を例示して詳細に説明する。
まず、図5の構成で超音波モータ用駆動子1を10個作成した。ここで、ボルト部材5の両端の雄ねじ部5a,5bはM10にした。次にボルト部材5の両端の雄ねじ部5a,5bを、ランジュバン型振動子3を構成するナット状の各ハウジング部材7の内側にあり、且つ雄ねじ部5a,5bと螺合する雌ねじ部にボルト締めする際のトルクを1N・mにした。そして、超音波モータ用駆動子1の二つのランジュバン型振動子3に同位相(V=V0sin2πft、ここでV0=141V、f=29〜32KHz)の電圧をかけたところ、駆動時の振動でハウジング部材7が緩み、全ての超音波モータ用駆動子1が駆動しなかった。
次にボルト締めする際のトルクを5N・mにした。そして、超音波モータ用駆動子1の二つのランジュバン型振動子3に同位相(V=V0sin2πft、ここでV0=
141V、f=29〜32KHz)の電圧をかけたところ、超音波モータ用駆動子1の合成部は前後方向に動く縦振動モードのみで共振した。続いてボルト締めする際のトルクを20、40、60、80、100N・mに変更し、各トルク設定に対して、同様に二つのランジュバン型振動子3に同位相(V=V0sin2πft、ここでV0=141V、f=29〜32KHz)の電圧をかけたところ、全ての超音波モータ用駆動子1の合成部は前後方向に動く縦振動モードのみで共振した。ここで、図4が本発明の超音波モータ用駆動子1を用いた超音波モータの共振特性であり、縦振動モードによる共振が1つ、横振動モードによる共振が2つ確認できる。
引き続きボルト締めする際のトルクを120N・mにして、同様に二つのランジュバン型振動子3に同位相(V=V0sin2πft、ここでV0=141V、f=29〜32KHz)の電圧をかけたところ、全ての超音波モータ用駆動子1で、横振動モードと縦振動モードの両方の共振が発生してしまった。
次にボルト締めする際のトルクを5N・mにした。そして、超音波モータ用駆動子1の二つのランジュバン型振動子3に同位相(V=V0sin2πft、ここでV0=
141V、f=29〜32KHz)の電圧をかけたところ、超音波モータ用駆動子1の合成部は前後方向に動く縦振動モードのみで共振した。続いてボルト締めする際のトルクを20、40、60、80、100N・mに変更し、各トルク設定に対して、同様に二つのランジュバン型振動子3に同位相(V=V0sin2πft、ここでV0=141V、f=29〜32KHz)の電圧をかけたところ、全ての超音波モータ用駆動子1の合成部は前後方向に動く縦振動モードのみで共振した。ここで、図4が本発明の超音波モータ用駆動子1を用いた超音波モータの共振特性であり、縦振動モードによる共振が1つ、横振動モードによる共振が2つ確認できる。
引き続きボルト締めする際のトルクを120N・mにして、同様に二つのランジュバン型振動子3に同位相(V=V0sin2πft、ここでV0=141V、f=29〜32KHz)の電圧をかけたところ、全ての超音波モータ用駆動子1で、横振動モードと縦振動モードの両方の共振が発生してしまった。
実施例1と同様に図5の構成で超音波モータ用駆動子1を10個作成した。ここで、ボルト部材5の両端の雄ねじ部5a,5bはM5にした。次にボルト部材5の両端の雄ねじ部5a,5bを、ランジュバン型振動子3を構成するナット状の各ハウジング部材7の内側にあり、且つ雄ねじ部5a,5bと螺合する雌ねじ部にボルト締めする際のトルクを25cN・mにした。そして、超音波モータ用駆動子1の二つのランジュバン型振動子3に同位相(V=V0sin2πft、ここでV0=141V、f=29〜32KHz)の電圧をかけたところ、駆動時の振動でハウジング部材7が緩み、全ての超音波モータ用駆動子1超音波モータ用駆動子1が駆動しなかった。
次にボルト締めする際のトルクを1.25N・mにした。そして、超音波モータ用駆動子1の二つのランジュバン型振動子3に同位相(V=V0sin2πft、ここでV0=141V、f=29〜32KHz)の電圧をかけたところ、全ての超音波モータ用駆動子1の合成部は前後方向に動く縦振動モードのみで共振した。
続いてボルト締めする際のトルクを5、10、15、20、25N・mに変更し、各トルク設定に対して、同様に二つのランジュバン型振動子3に同位相(V=V0sin2πft、ここでV0=141V、f=29〜32KHz)の電圧をかけたところ、超音波モータ用駆動子1の合成部は前後方向に動く縦振動モードのみで共振した。ここで、図4が本発明の超音波モータ用駆動子1を用いた超音波モータの共振特性であり、縦振動モードによる共振が1つ、横振動モードによる共振が2つ確認できる。
引き続きボルト締めする際のトルクを30N・mにして、同様に二つのランジュバン型振動子3に同位相(V=V0sin2πft、ここでV0=141V、f=29〜32KHz)の電圧をかけたところ、全ての超音波モータ用駆動子1で、横振動モードと縦振動モードの両方の共振が発生してしまった。
次にボルト締めする際のトルクを1.25N・mにした。そして、超音波モータ用駆動子1の二つのランジュバン型振動子3に同位相(V=V0sin2πft、ここでV0=141V、f=29〜32KHz)の電圧をかけたところ、全ての超音波モータ用駆動子1の合成部は前後方向に動く縦振動モードのみで共振した。
続いてボルト締めする際のトルクを5、10、15、20、25N・mに変更し、各トルク設定に対して、同様に二つのランジュバン型振動子3に同位相(V=V0sin2πft、ここでV0=141V、f=29〜32KHz)の電圧をかけたところ、超音波モータ用駆動子1の合成部は前後方向に動く縦振動モードのみで共振した。ここで、図4が本発明の超音波モータ用駆動子1を用いた超音波モータの共振特性であり、縦振動モードによる共振が1つ、横振動モードによる共振が2つ確認できる。
引き続きボルト締めする際のトルクを30N・mにして、同様に二つのランジュバン型振動子3に同位相(V=V0sin2πft、ここでV0=141V、f=29〜32KHz)の電圧をかけたところ、全ての超音波モータ用駆動子1で、横振動モードと縦振動モードの両方の共振が発生してしまった。
これらの実施例1および実施例2より、以下のような現象となった。
ランジュバン型振動子3を構成するナット状の各ハウジング部材7の内側にあり、且つ雄ねじ部5a,5bと螺合する雌ねじ部にボルト締めする際のボルト部材5の外径寸法当たりのトルク量は、雄ねじ部5a,5bをM10にした場合は1N・mで、雄ねじ部5a,5bをM5にした場合は25cN・mで、ハウジング部材7が緩んでしまった。これはトルク量が小さすぎて僅かの振動でハウジング部材7が緩んでしまったものである。
一方、ボルト締めする際のトルクを雄ねじ部5a,5bをM10にした場合は120N・m、雄ねじ部5a,5bをM5にした場合は30N・mにすると、ハウジング部材7の締めすぎでハウジング部材7自身が撓む為、圧電素子3a全体に圧力が加わらず、ハウジング部材7の内側のみを押すことになっていることが考えられる他、ナットと締め付け面の摩擦の差が無視できなくなるなどの要因が重なったためではないかと類推される。
ランジュバン型振動子3を構成するナット状の各ハウジング部材7の内側にあり、且つ雄ねじ部5a,5bと螺合する雌ねじ部にボルト締めする際のボルト部材5の外径寸法当たりのトルク量は、雄ねじ部5a,5bをM10にした場合は1N・mで、雄ねじ部5a,5bをM5にした場合は25cN・mで、ハウジング部材7が緩んでしまった。これはトルク量が小さすぎて僅かの振動でハウジング部材7が緩んでしまったものである。
一方、ボルト締めする際のトルクを雄ねじ部5a,5bをM10にした場合は120N・m、雄ねじ部5a,5bをM5にした場合は30N・mにすると、ハウジング部材7の締めすぎでハウジング部材7自身が撓む為、圧電素子3a全体に圧力が加わらず、ハウジング部材7の内側のみを押すことになっていることが考えられる他、ナットと締め付け面の摩擦の差が無視できなくなるなどの要因が重なったためではないかと類推される。
よって、上述より本発明では、ハウジング部材7と前記ボルト部材5をボルト締めする際におけるボルト部材の外径寸法当たりのトルク量Yが
(α/10)2×5≦Y≦(α/10)2×100
α:ボルト部材の外形寸法(mm)
Y:トルク量(N・m)
になるように設定することによって、超音波モータ用駆動子1を横振動モードと縦振動モードの両方の共振が発生させることなく、安定で且つ高速駆動を維持することが可能になる。
(α/10)2×5≦Y≦(α/10)2×100
α:ボルト部材の外形寸法(mm)
Y:トルク量(N・m)
になるように設定することによって、超音波モータ用駆動子1を横振動モードと縦振動モードの両方の共振が発生させることなく、安定で且つ高速駆動を維持することが可能になる。
尚、本発明の超音波モータ用駆動子1は位置決め装置で用いられる為、原則的にはボルト部材5の外形寸法αは特に定まるものではないが、作業の利便性を考慮するとαは30以下が好ましい。
又、図5の構成で作成した10個の超音波モータ用駆動子1において、ランジュバン型振動子3を構成するナット状の各ハウジング部材7の内側にあり、且つ雄ねじ部5a,5bと螺合する雌ねじ部にボルト締めする際、二つのボルト部材5のトルク量を右側のボルト部材を20N・m、左側のボルト部材5をそれぞれ20、40、60N・mにして、全ての超音波モータ用駆動子1の二つのランジュバン型振動子3に同位相(V=V0sin2πft、ここでV0=141V、f=29〜32KHz)の電圧をかけた駆動試験を行った。ここで、表1に示すように20、40N・mでの駆動は問題なかったが、60N・mの場合は、二つのランジュバン型振動子3に同位相のみの電圧をかけた場合或いは片方のランジュバン型振動子3の電圧に対して他方のランジュバン型振動子3に逆位相の電圧をかけた場合の何れにおいても図3のような横振動モードと縦振動モードの両方の共振が発生する現象が発生してしまった。これは超音波モータのバランスがくずれたことが原因と考えられる。
この対策としては二つのボルト部材5のトルク量を同一で、且つ均等にすることで解決できる。
この対策としては二つのボルト部材5のトルク量を同一で、且つ均等にすることで解決できる。
なお、本発明の超音波モータ用駆動子1は、直線的駆動に適用されることには限定されず、回転駆動に適用することも可能である。よって、可動子としては、回転運動可能に設けられたロータを用いることもできる。
また、通常は、超音波モータ用駆動子側が固定されており、その振動を受ける部材側が可動子として可動する形式が多いが、本発明は、これに限定されるものではない。よって、超音波モータ用駆動子側が可動であって、その振動を受ける部材側が固定されており、超音波モータ用駆動子及びそれと一体の部分が、振動を受ける部材からの反力によって可動子として可動する形式でもよい。
また、通常は、超音波モータ用駆動子側が固定されており、その振動を受ける部材側が可動子として可動する形式が多いが、本発明は、これに限定されるものではない。よって、超音波モータ用駆動子側が可動であって、その振動を受ける部材側が固定されており、超音波モータ用駆動子及びそれと一体の部分が、振動を受ける部材からの反力によって可動子として可動する形式でもよい。
本発明は、半導体製造装置等に装着されるX−Yステージ装置の駆動に用いられる超音波モータの使用に好適である。
1:超音波モータ用駆動子
3:ランジュバン型振動子
3a:圧電素子
5:ボルト部材
5a、5b:雄ネジ部
7:ハウジング部材
9:保持部材
11:結合部材
13:合成部
15:先細り部
17:変位受け部
20:ハウジング部材の頭部
23a:圧電板
3:ランジュバン型振動子
3a:圧電素子
5:ボルト部材
5a、5b:雄ネジ部
7:ハウジング部材
9:保持部材
11:結合部材
13:合成部
15:先細り部
17:変位受け部
20:ハウジング部材の頭部
23a:圧電板
Claims (2)
- 所定角度で交差するように配置された先端部が結合部材により相互に結合された少なくとも二つのランジュバン型振動子を具備する超音波モータ用駆動子であって、前記結合部材と、前記ランジュバン型振動子を連結する保持部材と、前記ランジュバン型振動子を構成するハウジング部材、圧電素子、ボルト部材からなり、前記ハウジング部材と前記ボルト部材をボルト締めする際におけるボルト部材の外径寸法当たりのトルク量Yが
(α/10)2×5≦Y≦(α/10)2×100
α:ボルト部材の外形寸法(mm)
Y:トルク量(N・m)
であることを特徴とする超音波モータ用駆動子。 - 前記ハウジング部材と前記ボルト部材をボルト締めする際は、全ての前記ランジュバン型振動子において、同一のトルク量Yにてボルト締めすることを特徴とする請求項1記載の超音波モータ用駆動子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004090936A JP2004320988A (ja) | 2003-03-31 | 2004-03-26 | 超音波モータ |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003093112 | 2003-03-31 | ||
JP2004090936A JP2004320988A (ja) | 2003-03-31 | 2004-03-26 | 超音波モータ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004320988A true JP2004320988A (ja) | 2004-11-11 |
Family
ID=33478573
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004090936A Pending JP2004320988A (ja) | 2003-03-31 | 2004-03-26 | 超音波モータ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004320988A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006254603A (ja) * | 2005-03-11 | 2006-09-21 | Taiheiyo Cement Corp | ガイドプレート |
JP2010226895A (ja) * | 2009-03-24 | 2010-10-07 | Nikon Corp | アクチュエータ、駆動装置、レンズユニット及び撮像装置 |
CN101630924B (zh) * | 2009-08-25 | 2011-07-20 | 哈尔滨工业大学 | T型直线超声电机振子 |
-
2004
- 2004-03-26 JP JP2004090936A patent/JP2004320988A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2006254603A (ja) * | 2005-03-11 | 2006-09-21 | Taiheiyo Cement Corp | ガイドプレート |
JP2010226895A (ja) * | 2009-03-24 | 2010-10-07 | Nikon Corp | アクチュエータ、駆動装置、レンズユニット及び撮像装置 |
CN101630924B (zh) * | 2009-08-25 | 2011-07-20 | 哈尔滨工业大学 | T型直线超声电机振子 |
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