【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、薄物を吸着搬送するための吸着冶具に関する。
【０００２】
【従来技術】
従来、吸着搬送をするための吸着パッドは、ゴム、プラスチック、等による弾力性を有するものであり、外部よりの負圧（真空）により吸引、吸着するものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
従来の吸着パッドに外部より負圧を供給して薄物である被吸着体を吸引・吸着するにおいて、吸着パッドの吸引口に吸引・吸着される薄物が負圧によりタワミを生ずる、歪みが生ずる、吸引されてしまう、また、最悪の場合には破壊する問題がある。薄い被吸着体を吸引・吸着しても吸引されてしまうことがなく、無駄なタワミがなく、歪みが生ずることなく、破壊することのない問題を解決した吸着冶具を提供することである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
負圧を導く吸引パイプ並びに連通した気孔を有する吸着面体よりなる吸着冶具であり、薄い被吸着体を吸引・吸着しても吸引されてしまうことがなく、無駄なタワミがなく、歪みが生ずることなく、破壊することがない吸着冶具を提供することができる。また、前記気孔の気孔径が１ミクロン〜１ｍｍである吸着冶具を提供することができる。
【０００５】
本発明に係る吸着冶具は、負圧を導く吸引パイプ並びに連通した気孔を有する吸着面体よりなる。また、前記気孔の気孔径が１ミクロン〜１ｍｍの吸着冶具である。以下にすいて本発明に係る吸着冶具の詳細を説明する。なお、本発明に係る吸着冶具は、以下の説明に限定されるものでない。
【０００６】
図１または図２に示されるような吸引パイプ３は、負圧（真空）を導くもので中空のパイプ状のものであり、材料、サイズ、等を特に限定するものでない。例えば、材料として金属、樹脂、等であ。形状として中空の円形、多角形のパイプ状であることであり、配管接続を容易にするためにタケノコ継ぎ手、ワンタッチ継ぎ手、ナット継ぎ手、等の継ぎ手機構を備えることが好ましい。
【０００７】
吸着面体４、６は、被吸着体であるワークピースを吸着する吸着口４、吸着プレート６、等である連通した気孔を有するものであり、材料、サイズ、等を特に限定するものでない。材料として例えば、金属、樹脂、カーボン、等であり、内部、表面、に導通した気孔を有するものである。該気孔のサイズを特に限定するものでないが１ミクロン〜１ｍｍであることが好ましく、より好ましくは、１ミクロン〜２００ミクロンである。また、表面の凹凸を特に限定するものでないが粒子径のまま、研磨をすることなどが好ましく、より好ましくは、研磨をした表面である。気孔を有する吸着面体の製造方法を特に限定するものでないが、発泡性樹脂材と共に成形、焼結、形成する方法、発泡した樹脂材料の気孔部分に金属メッキする方法、発砲した樹脂材料の気孔部分に金属粉末を充填して焼結する方法、粉末の発泡性焼結する方法、等の一般に行われている方法で吸着面体が製造される。
【０００８】
前記吸着面体を保持する構造、方法を特に限定するものでない。例えば、図１の如く気孔を有する吸着体の吸着部分を除いた他の部分を機械加工、樹脂、等で該気孔を埋めて吸着面体４を形成す方法である。また、図２の如く気孔を有する吸着面体６を受け皿５等で保持固定する方法である。また、気孔を有する吸着面体に吸引パイプ３を取り付けて吸着面以外の部分の気孔を埋める方法である。また、図１におけるドラム２全体が吸着面体である。
【０００９】
このような構造である吸着冶具は、薄い被吸着体を吸引・吸着しても吸引されてしまうことがなく、無駄なタワミがなく、歪みが生ずることなく、破壊することがない。用途として例えば、ＬＣＤ、ＰＤＰ、等のガラス基板、シリコンウェハ、等の薄くて割れやすいものの吸着搬送に用いて歪みの発生がなく、傷が付かなく、吸着痕が付かない等の有用性がある。また、離型紙付きのフィルムを自動機で剥がすのに有用である。また、ラベリングマシンに用いてラベルの自動剥がし自動貼付に用いて有用である。
【００１０】
【実施例】
本発明に係る吸着冶具の実施態様例を以下において説明する。尚、本発明に係る吸着冶具は以下の実施例及び図に限定されるものでない。
（実施例１）
図１に示すような吸着冶具１を製作した。該吸着冶具１は、中空で円柱状のポーラスなアルミニウム材（気孔径が５〜１００ミクロン、気孔率が約４０％）によるドラム２であり、該ドラム２の片方の端面がアルミニウム材の円盤で封着され、他の面がアルミニウム材の吸引パイプ３が付いた円盤で封着されている。また、該ドラム２は、吸着口４の部分を除いてポーラスなアルミニウムの目をエポキシ樹脂のコーティングにより埋められている。（図１には、該吸着口が一個所のみ表示されているものの所望により複数個所、諸々の図柄で形成することも可能である。）該吸着口４の部分のみが流体（気体）の流動が可能であり、エポキシ樹脂がコーティングされた部分及び両端面の該吸引パイプ３を除く部分が流体を流動しない。
【００１１】
このように製作された吸着冶具１の吸引パイプ３に負圧源に導通されたパイプを配管して薄いフィルム、紙、薄く脆いガラス、類を吸着口４で吸着することができる。ポーラスな面が露出している該吸着口４がガラスと接する接触点が多く、負圧で吸着されても力の分散がなされて歪むこともなく、割れることもなく、一枚一枚を剥がすように吸着することができる。また、紙、フィルム、等においても吸い込むことなく、シワが寄ることもなく、一枚一枚を頁めくりの如く吸着することができる。例えば、輪転機等の回転機構装置に用いて紙、フィルム、等の頁めくり、一枚一枚の剥がし、等に有用である。例えば、糊付きで離型紙付きのフィルムのフィルム剥がしにおける自動剥がしには、両面に吸着冶具を配置して使用することにより剥離が安易にできる。例えば、ラベル剥離・貼付装置（ラベリングマシン）に用いてラベルの離型紙からの剥がし、商品・製品等へのラベルの貼付に用いて有用である。
【００１２】
（実施例２）
図２に示すような吸着冶具を製作した。アルミニウム材による受け皿５を中央部に窪み、中央部の底に吸引パイプ３を取り付ける穴を形成して作成した。該受け皿５にアルミニウム材による吸引パイプ３を取付、中央窪みの部分にポーラスなカーボン材（気孔径が２〜５０ミクロン、気孔率が約３０％、厚みが５ｍｍ、外径が２０ｍｍ）の吸着プレート６をはめ込んで固定した。該吸着プレート４の表面は研磨されていて滑らかであり、表裏の間において全面に気体の導通性がある。
【００１３】
このように製作された吸着冶具は、小さな気孔径である前記吸着プレート６の表面で吸着するものであり、吸引パイプ３に接続された負圧源で薄いフィルム、薄いガラス、紙、等を吸着することにより吸い込むことがなく、シワが寄ることもなく、破壊することもなく、一枚一枚をページめくりの如くに吸着、吸着剥がしをすることができる。例えば、ＬＣＤ、ＰＤＰ、等用のガラス、シリコンウェハ、等の搬送に用いて歪みを生じさせることなく、傷を付けることなく、吸着痕を残すことなく有用である。
【００１４】
【発明の効果】
本発明に係る吸着冶具は、負圧を導く吸引パイプ並びに連通した気孔を有する吸着面体よりなる吸着冶具、また、前記気孔の気孔径が１ミクロン〜１ｍｍである吸着冶具である。このような吸着冶具は、薄い被吸着体を吸引・吸着しても吸引されてしまうことがなく、無駄なタワミがなく、歪みが生ずることなく、破壊することがない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る吸着冶具の一実施態様を示す図である。
【図２】本発明に係る吸着冶具の一実施態様を示す図である。
【符号の説明】
１ 吸着冶具
２ ドラム
３ 吸引パイプ
４ 吸着口（吸着面体）
５ 受け皿
６ 吸着プレート（吸着面体）[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to an adsorption jig for adsorbing and transporting a thin material.
[0002]
[Prior art]
2. Description of the Related Art Conventionally, a suction pad for performing suction conveyance has elasticity made of rubber, plastic, or the like, and suctions and suctions by a negative pressure (vacuum) from the outside.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
When a negative pressure is supplied from the outside to a conventional suction pad to suck and suck a thin object to be sucked, the thin material sucked and sucked into the suction port of the suction pad causes deflection and distortion due to the negative pressure. There is a problem of being sucked and, in the worst case, destroyed. It is an object of the present invention to provide an adsorption jig which solves the problem that a thin object is not sucked even if it is sucked and sucked, there is no useless deflection, no distortion occurs, and the thin object is not broken.
[0004]
[Means for Solving the Problems]
A suction jig consisting of a suction pipe for introducing a negative pressure and a suction surface body with communicating pores. Even if a thin object to be suctioned is sucked or sucked, it is not sucked, and there is no unnecessary deflection and distortion occurs. It is possible to provide an adsorption jig that is not broken. Further, it is possible to provide an adsorption jig in which the pores have a pore diameter of 1 micron to 1 mm.
[0005]
The suction jig according to the present invention includes a suction pipe for introducing a negative pressure and a suction face body having communicating pores. Further, the present invention is an adsorption jig having a pore diameter of 1 micron to 1 mm. Hereinafter, the adsorption jig according to the present invention will be described in detail. Note that the adsorption jig according to the present invention is not limited to the following description.
[0006]
The suction pipe 3 as shown in FIG. 1 or FIG. 2 guides a negative pressure (vacuum) and has a hollow pipe shape, and the material, size, and the like are not particularly limited. For example, the material is metal, resin, or the like. The shape is a hollow circular or polygonal pipe shape, and it is preferable to provide a joint mechanism such as a bamboo shoot joint, a one-touch joint, a nut joint, or the like in order to facilitate pipe connection.
[0007]
The suction surface bodies 4 and 6 have communicating pores such as a suction port 4 and a suction plate 6 for sucking a workpiece to be sucked, and there is no particular limitation on a material, a size, and the like. The material is, for example, metal, resin, carbon, or the like, and has pores that are conductive inside and on the surface. The size of the pores is not particularly limited, but is preferably 1 micron to 1 mm, more preferably 1 micron to 200 microns. In addition, although there is no particular limitation on the unevenness of the surface, it is preferable to perform polishing while keeping the particle diameter, and more preferably, the polished surface. Although there is no particular limitation on the method of manufacturing the adsorption face body having pores, a method of molding, sintering, and forming with a foamable resin material, a method of metal plating on pores of a foamed resin material, a pore portion of a foamed resin material The adsorption face body is manufactured by a generally used method such as a method of sintering by filling a metal powder into the powder and a method of foaming and sintering the powder.
[0008]
The structure and method for holding the suction face body are not particularly limited. For example, as shown in FIG. 1, there is a method of forming an adsorbing surface body 4 by filling the pores with a resin or the like except for the adsorbing portion of the adsorbent having pores. Further, as shown in FIG. 2, a method is employed in which the suction face body 6 having pores is held and fixed by the tray 5 or the like. In addition, a suction pipe 3 is attached to a suction surface body having pores to fill pores other than the suction surface. Further, the entire drum 2 in FIG. 1 is a suction surface body.
[0009]
The suction jig having such a structure will not be sucked even if a thin object to be sucked is sucked and sucked, there is no unnecessary deflection, no distortion occurs, and no breakage occurs. For example, glass substrates such as LCDs and PDPs, and silicon wafers, which are thin and fragile, are used for suction and transport, but have no distortion, no scratches, and no suction marks. . It is also useful for peeling off a film with release paper by an automatic machine. It is also useful for labeling machines for automatic peeling and automatic sticking of labels.
[0010]
【Example】
An embodiment example of the adsorption jig according to the present invention will be described below. The adsorption jig according to the present invention is not limited to the following examples and figures.
(Example 1)
An adsorption jig 1 as shown in FIG. 1 was manufactured. The adsorption jig 1 is a drum 2 made of a hollow, columnar, porous aluminum material (pore diameter: 5 to 100 microns, porosity: about 40%). One end surface of the drum 2 is an aluminum disc. It is sealed and the other side is sealed with a disk with an aluminum suction pipe 3. The drum 2 has a porous aluminum mesh filled with an epoxy resin coating except for the suction port 4. (In FIG. 1, only one suction port is shown, but it is also possible to form a plurality of patterns and various patterns if desired.) Only the portion of the suction port 4 is a fluid (gas) flow. The portion coated with the epoxy resin and the portions except for the suction pipe 3 on both end surfaces do not flow the fluid.
[0011]
A thin film, paper, thin brittle glass, or the like can be sucked through the suction port 4 by connecting a pipe connected to a negative pressure source to the suction pipe 3 of the suction jig 1 manufactured as described above. There are many contact points where the suction port 4 where the porous surface is exposed comes into contact with the glass. Even if the suction port 4 is sucked by a negative pressure, the force is dispersed and the sheet is not distorted, cracked, and peeled off one by one. Can be adsorbed. In addition, paper, film, and the like can be absorbed one by one like a page without suction or wrinkling. For example, it is useful for turning pages of paper, film, and the like, peeling off individual sheets, and the like by using a rotating mechanism device such as a rotary press. For example, in the automatic peeling of a film with a release paper with a glue, the peeling can be easily performed by arranging and using an adsorption jig on both sides. For example, it is useful for peeling off a label from release paper using a label peeling / pasting device (labeling machine) and pasting a label to a product / product.
[0012]
(Example 2)
An adsorption jig as shown in FIG. 2 was manufactured. The tray 5 made of an aluminum material was recessed at the center, and a hole for attaching the suction pipe 3 was formed at the bottom of the center. A suction pipe 3 made of an aluminum material is attached to the receiving tray 5, and a suction plate made of a porous carbon material (porous diameter 2 to 50 microns, porosity about 30%, thickness 5 mm, outer diameter 20 mm) is provided in the central hollow portion. 6 was fitted and fixed. The surface of the suction plate 4 is polished and smooth, and the entire surface between the front and back has gas conductivity.
[0013]
The suction jig manufactured in this way is to suck on the surface of the suction plate 6 having a small pore diameter, and to suction a thin film, thin glass, paper, or the like by a negative pressure source connected to the suction pipe 3. By doing so, no suction, no wrinkles, no destruction, and it is possible to adsorb and peel off one by one like turning a page. For example, it is useful for transporting glass, silicon wafers, and the like for LCDs, PDPs, and the like without causing distortion, without causing damage, and without leaving suction marks.
[0014]
【The invention's effect】
The adsorption jig according to the present invention is an adsorption jig composed of a suction pipe for introducing a negative pressure and an adsorption face body having communicating pores, and an adsorption jig in which the pore diameter of the pores is 1 micron to 1 mm. Such an adsorption jig is not sucked even when a thin object is sucked and adsorbed, there is no unnecessary deflection, no distortion occurs, and no destruction occurs.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a view showing one embodiment of an adsorption jig according to the present invention.
FIG. 2 is a view showing one embodiment of an adsorption jig according to the present invention.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Suction jig 2 Drum 3 Suction pipe 4 Suction port (suction face body)
5 Receiving pan 6 Suction plate (Suction surface body)
