JP2004301802A

JP2004301802A - 光線検出装置

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Publication number: JP2004301802A
Application number: JP2003098109A
Authority: JP
Inventors: Kenichi Asada; 憲一浅田
Original assignee: Nippon Sheet Glass Co Ltd
Current assignee: Nippon Sheet Glass Co Ltd
Priority date: 2003-04-01
Filing date: 2003-04-01
Publication date: 2004-10-28
Anticipated expiration: 2023-04-01
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Abstract

【課題】可視光や不可視光に限定されず、あらゆる光線の光路位置の検出が実現できる光線検出装置を提供する。
【解決手段】電源スイッチをオン操作して、赤外線検出装置１を動作状態（待機モード）とした後、スタートスイッチをオン操作して、検知板をＸ方向及びＹ方向に移動させ窓７に検出領域Ｔを形成させる。そして、窓７の検出領域Ｔに、光ファイバケーブルから赤外線ビームが照射されると検出領域Ｔには、発光残像Ｌが形成される。そして、前記窓７から試料を透かして見ながら、前記発光残像Ｌと同試料が重なるように、同光ファイバケーブルと同目標物の位置調整を行う。前記試料と前記発光残像が重なった位置では、同試料に赤外線ビームが正確に照射されている。
【選択図】図７

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光線検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、光通信等に用いられる光信号の光源には、レーザ光源が用いられることが広く知られている。一般に、このレーザ光源から出力される光線は、その波長が可視光線の波長より長い不可視光線（例えば、赤外線）である。このため、光ファイバケーブル等を用いて伝送される光信号を光線として、光ファイバケーブルの一端から外部に取り出しても、取り出した光線の光路位置を視認することはできない。
【０００３】
ところで、光通信用モジュール等に用いられている光学素子（例えば、回折格子、ミラー等）の検査を行う際には、サンプルステージに置いた被検査体である光学素子に対して、光ファイバケーブルの一端から検査光として赤外線を照射する。そして、光学素子によって反射された反射光に基づいて、その光学素子の評価を行う。このため、光学素子に対して、正しく赤外線を照射させるためには、赤外線の光路位置を検出して、光学素子に一致させる作業が必要となる。また、一般に光線として照射される赤外線においては、その強度は中心部で最大となり、中心部から離れるに従って徐々に弱くなる。そして、その強度分布は、ガウシャン分布と呼ばれ正規分布と同様の形状をとる。従って、光学素子に赤外線を照射する際には、赤外線の中心部からなる有効スポット径を認知し、最大となる強度で照射しなければならない。
【０００４】
この種の作業に用いられる赤外線を検出するための検出装置には、ＩＲカード、赤外ＣＣＤカード、光パワーメータ等がある。
ＩＲカードは、カードの表面に、赤外線を受光するとその強度に応じて可視光を放つ物質を塗布した発光領域が設けられていて、その発光領域に赤外線が照射されると、発光領域の受光した部分が可視光を発するものである。従って、その発光領域を視認することによって光路位置を検出することができる。
【０００５】
赤外ＣＣＤカメラは、赤外線を直接受光し表示部に出力表示する。そのため、赤外線の強度分布形状を観測でき、又感度が高いので、光路位置を容易に検出することができる。
【０００６】
光パワーメータは、受光素子を用いたセンサ部にて赤外線を受光し、その強度をメータに出力表示する。従って、センサ部を移動させて、出力表示される強度が最大になるときを知ることによって、光路位置を検出している。（例えば特許文献１）
特許文献１では、センサ部に４分割にした受光素子を用い、その２つずつの差動出力を２チャンネルのオシロスコープのＸ軸とＹ軸とに入力し、入力されると同オシロスコープのブラウン管上に表れる輝点の位置を見ることによって、光路位置を確認して、センサ部の位置決めを行っている。
【０００７】
【特許文献１】
特開平６−２３６５７４号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ＩＲカードは感度が低く、増感機能も備えていないので、微弱な強度の赤外線を検出する場合には、作業環境全体を暗くする必要がある。従って、部屋を暗くして光線の光路位置を検出した後に、部屋を明るくして光学素子の設置位置を調整する作業となるので、非常に実施しづらい。また、ＩＲカードは、強度に応じて可視光を発するが、感度が低くその発光部分と非発光部分との境界がはっきりしないので、ガウシャン分布を有する光線の有効スポット径の大きさはわからない。また、赤外ＣＣＤカメラは、本体形状が大きいので、狭い空間における赤外線の検出には適していない。
【０００９】
さらに、特許文献１の光パワーメータでは、光路位置を探す際に、ブラウン管を見ながらセンサ部間を配置するので、視線を頻繁に移すことになって、光路位置の検出に時間がかかった。
【００１０】
さらに又、上述したＩＲカード、赤外ＣＣＤカメラ、光パワーメータは、それぞれ光路位置を検出した後に、検出した光路位置に対して、被検査体である光学素子を配置し直さなければならないので、正確に光学素子に赤外線を照射させるのが困難であった。
【００１１】
本発明は、このような従来の問題点に着目してなされたものである。その目的は、可視光や不可視光に限定されず、あらゆる光線の光路位置の検出が実現できる光線検出装置を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明は、光線を受光して検知信号を出力する受光手段と、前記検知信号に基づいて発光信号を生成し、出力する光検出回路と、前記発光信号に基づいて発光する発光手段と、前記受光手段と前記発光手段とを載置する検査部と、前記検査部を支持する支持部と、前記支持部をＸ方向に往復移動及びＹ方向に往復回動させて前記検査部の検出領域を形成する駆動手段とを備え、前記検出領域に光線が照射されるとき同検出領域には、前記発光手段によって、発光残像を形成することを要旨とする。
【００１３】
請求項１に記載の発明によれば、前記発光手段は、前記受光手段が光線を受光したとき発光する。従って、前記検出領域に照射された光線が例えば不可視光線であっても、受光手段は、その不可視光線を検出し発光手段を発光させる。その結果、検出領域に不可視光線の位置を発光残像として表示されるので、その光路位置及び光路径を視認することが可能となる。
【００１４】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の光線検出装置において、前記受光手段及び前記発光手段は、前記検査部にて近接して設けたことを要旨とする。
請求項２に記載の発明によれば、前記受光手段及び前記発光手段の両手段は、前記検査部にて近接して設けた。従って、前記検出領域に、表示される発光残像は、同検出領域に照射される光線の光路位置と一致するので、より正確に光路位置及び光路径を表示することができる。
【００１５】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の光線検出装置において、前記駆動手段は、前記支持部を前記Ｘ方向に往復移動させるＸ方向駆動手段と、Ｙ方向に振動運動させるＹ方向駆動手段とからなり、前記検出領域の大きさは、前記Ｘ方向駆動手段及びＹ方向駆動手段によって、調整可能であることを要旨とする。
【００１６】
請求項３に記載の発明によれば、前記検出領域の大きさは、前記Ｘ方向駆動手段及びＹ方向駆動手段によって調整可能である。つまり、前記Ｘ方向駆動手段及び前記Ｙ方向駆動手段を調整することによって、検出領域を拡大または、縮小することができる。従って、前記検出領域に照射される光線の照射範囲が拡大または縮小と変動があった場合でも、前記Ｘ方向駆動手段及びＹ方向駆動手段を調整することによって、同検出領域にて同光線を検出し発光残像を表示することができる。
【００１７】
請求項４に記載の発明は、請求項１〜３に記載の光線検出装置において、前記発光手段の発光輝度は、前記光検出回路によって調整可能であることを要旨とする。
【００１８】
請求項４に記載の発明によれば、前記発光手段の発光輝度は、前記光検出回路によって調整することができる。従って、前記検出領域に照射される光線の強度に変動があった場合でも、同検出領域に発光残像を表示することができる。
【００１９】
請求項５に記載の発明は、請求項１〜４に記載の光線検出装置において、前記光検出回路は、前記検知信号に基づいて比較電圧を生成するとともに、同比較電圧のピーク電圧を保持し、保持された前記ピーク電圧に基づいて基準電圧を生成し、さらに、前記比較電圧と前記基準電圧を比較して同比較電圧が同基準電圧よりも高い電圧レベルのときに前記発光信号を生成し出力することを要旨とする。
【００２０】
請求項５に記載の発明によれば、前記発光信号は、前記比較電圧が前記基準電圧よりも高い電圧レベルのときに出力される。従って、前記光検出回路は、前記検出領域に光線が照射されると、その光路中心部に位置する最も強度の高い光線について、基準電圧を生成し保持する。そして、この基準電圧と新たに生成される比較電圧を比較し、発光信号を出力することによって、前記検出領域には、光路中心部に対して比較した発光残像が形成される。つまり、この発光残像によって、前記検出領域には、光線の光路中心部からなる最も強度の高い光路位置及び光路径が表示される。
【００２１】
請求項６に記載の発明は、請求項１〜５に記載の光線検出装置において、前記支持部は、断面四角形状に形成されることを要旨とする。
請求項６に記載の発明によれば、前記支持部は、断面四角形状に形成される。従って、同支持部の前記Ｘ方向の往復移動及びＹ方向の往復回動の際に、前記支持部は、同支持部を構成する各面の方向に撓むので、断面円形状に形成された場合に比べその撓む方向が一定方向となる。その結果、前記支持棒に支持された前記検査部は、安定して検出領域を形成することができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の光線検出装置を赤外線検出装置に具体化した一実施形態を図１〜図７に従って説明する。
【００２３】
図１は、本実施形態における赤外線検出装置の概略を説明するための斜視図である。図２は、同赤外線検出装置の内部構成を説明するための斜視図である。図３は、同赤外線検出装置の検出領域を説明するための平面図である。
【００２４】
本実施形態における赤外線検出装置は、可視光より波長が長く不可視光線となっている赤外線を検出するためのものである。
図１に示すように、光線検出装置としての赤外線検出装置１には、把持可能な箱体に形成されたケース本体２の面３にセンサ部４が突出形成されている。前記センサ部４は、保護ケース５と、その保護ケース５内に前記ケース本体２から突出して配設される検出体６を有している。前記保護ケース５は、長方体をなし、その検出面５ａには、内部と連通する四角形状の窓７が透設されている。そして、その窓７には、例えば、硝子板が嵌め込まれ内部を密閉するとともに内部を視認できるようになっている。
【００２５】
前記検出体６は、四角柱状に形成された支持部としての支持棒８を有し、その支持棒８の基端部が前記ケース本体２に配設され、先端部が前記保護ケース５内に配設される。前記支持棒８の先端部には、検査部としての検知板９が設けられている。検知板９は、円板状であって、その検出面９ａは、窓７（前記硝子板）と相対向するように設けられている。前記検知板９の検出面９ａには、受光手段としての受光素子１０と発光手段としての発光素子１１とが近接し固着されている。前記受光素子１０は、本実施形態では、ホトダイオードからなり、前記窓７を介して入射して来る赤外線ビームを受光し、電気信号（検知電流Ｉｍ）に変換する。前記発光素子１１は、発光ダイオード（ＬＥＤ）からなり、前記受光素子１０にて変換された電気信号（検知電流Ｉｍ）に基づいて発光し、前記窓７を介してその検査光を被射する。
【００２６】
前記支持棒８の基端部は、前記ケース本体２内に配設されている。図２に示すように、ケース本体２内には、基板１２がＸ方向に往復動可能に設けられている。前記基板１２の面３側には、ダンパ１３が設けられ、そのダンパ１３に配設された支軸１４に前記支持棒８がＹ方向に回動可能に支持されている。従って、支持棒８の先端部に設けられた検知板９は、前記支軸１４を回動中心として、前記窓７の面と平行にかつＹ方向に往復回動する。また、前記検知板９は、前記基板１２のＸ方向の往復動によって、前記窓７の面と平行にかつＸ方向に往復動する。このとき、四角形状に形成された前記支持棒８は、前記窓７の面と平行にかつＹ方向に撓む。従って、前記支持棒８は、安定して往復回動をすることができるので、前記検知板９は、安定してＸ方向に往復動及びＹ方向に往復回動することができる。
【００２７】
前記支持棒８の基端部の上下両側には、一対の永久磁石１５ａ，１５ｂが固着されている。上側の永久磁石１５ａは、上側面（支持棒８との固着面と反対側の面）がＮ極となっている。また、下側の永久磁石１５ｂは下側面（支持棒８との固着面との反対側の面）がＳ極となっている。前記基板１２には、前記回動する支持棒８の基端部を挟むようにＹ方向駆動手段としての電磁石１６と振動センサ１７が固設されている。前記電磁石１６は、同電磁石１６のコイルに流す駆動電流Ｉｄの向きを変えることによって、永久磁石１５ａと対向する側の磁極を切り換えることができる。また、振動センサ１７は、前記支持棒８が往復回動ことによって永久磁石１５ｂの磁場の変化を検出し、検出信号Ｉｆを出力する。また、前記基板１２には、Ｘ方向駆動手段としてのリニアモータ１８が設けられ、当該リニアモータ１８によって、同基板１２は、Ｘ方向に往復動される。従って、前記基板１２に支持される支持棒８は、前記基板１２の往復動とともにＸ方向に往復動することになる。
【００２８】
本実施形態では、前記支持棒８は、Ｘ方向に往復動しているとき、あわせて、Ｙ方向に往復回動するように設定されているとともに、Ｘ方向の往復速度がＹ方向の往復速度より小さくなるように設定している。そして、図３に示すように、支持棒８に支持される検知板９の移動軌跡Ｇは、窓７内から外れることなく、Ｘ方向及びＹ方向に移動し検出領域Ｔを形成することになる。つまり、前記窓７内の前記検出領域Ｔに入射される赤外線ビームは、前記窓７の範囲を移動する前記受光素子１０にて検出される。また、前記赤外線ビームの光路位置及び光路径は、前記窓７の範囲内を移動する前記発光素子１１の光によって検出領域Ｔに表示される。また、上述したように、前記受光素子１０と発光素子１１は、近接して設けられているので、前記発光素子１１は、前記受光素子１０が受光した位置とほぼ同じ位置で発光する。従って、受光素子１０に入射される赤外線ビームの光路位置と発光素子１１の光にて表示される同赤外線ビームの光路位置には、ずれが生じず、ほぼ一致する。
【００２９】
本実施形態におけるリニアモータ１８は、リニアステッピングモータである。これによって、前記検出体６の位置決めは、精度よく行うことができる。また、前記赤外線検出装置１では、前記ケース本体２の大きさは、８０ミリメートル×１００ミリメートル×３０ミリメートルであり、前記センサ部４の大きさは、４５ミリメートル×３５ミリメートル×１０ミリメートルである。そして、前記窓７の大きさは、２５ミリメートル×２５ミリメートルである。
【００３０】
前記ケース本体２の面３に連設する面２０には、電源スイッチＳＷと適正電流表示用の発光素子２１が設けられている。さらに、前記面３及び面２０に連設する面２２には、表示モード調整つまみ２３と、スタートスイッチ２４と、リセットスイッチ２５が設けられている。そして、スタートスイッチ２４を押すごとに前記支持棒８のＸ方向の往復運動の動きが変わるように設定してある。また、本実施例では、Ｙ方向の往復回動の動きは一定である。
【００３１】
次に、赤外線検出装置１の回路構成を説明する。
図４は、赤外線検出装置１の電気的構成を説明するための電気ブロック回路図を示す。図４において、赤外線検出装置１は、電源回路３０、制御回路３１、Ｙ方向駆動回路３２、Ｘ方向駆動回路３３、光検出回路としての検出表示回路３４及び原点位置検出回路３５を備えている。
【００３２】
電源回路３０は、前記電源スイッチＳＷのオン操作によって、前記各回路３１〜３４にそれぞれ駆動電圧Ｖｄｄを供給するとともに、電源スイッチＳＷのオフ操作によって各回路３１〜３４への駆動電圧Ｖｄｄの供給を停止するようになっている。従って、各回路３１〜３４は、電源回路３０からの駆動電圧Ｖｄｄの供給によって動作状態となり、電源回路３０からの駆動電圧Ｖｄｄの供給が停止されることによって非動作状態となる。
【００３３】
制御回路３１は、Ｙ方向駆動回路３２及びＸ方向駆動回路３３を駆動制御するための回路である。制御回路３１は、動作状態（待機モード）において、前記スタートスイッチ２４のオン操作に応答してＹ方向駆動回路３２に第１駆動制御信号ＳＧ１を、Ｘ方向駆動回路３３に第２駆動制御信号ＳＧ２をそれぞれ出力する。制御回路３１は、動作状態において前記スタートスイッチ２４のオン操作回数に基づいて待機モード、第１〜第４モードに設定される。詳述すると、前記制御回路３１は、電源スイッチＳＷのオン操作に基づいて電源回路３０から駆動電圧Ｖｄｄが供給されたとき、待機モードとなる。そして、制御回路３１は、この待機モードから前記スタートスイッチ２４をオン操作するたび毎に、第１モード→第２モード→第３モード→第４モード→待機モード→第１モード→第２モード→といったように、順番に各モードに設定変更するようになっている。
【００３４】
因みに、待機モードは、前記検出体６を静止状態に保持するモードである。第１〜第４モードは、表示分解能を設定するモードであって、第１モードから第４モードになるにつれて表示分解能が上がるようになっている。
【００３５】
因みに、Ｙ方向の振動数及び振動幅は、前記第１〜第４モードのいずれのモードにおいて、一定にし、Ｘ方向の移動速度を各モードにおいて変更しＸ方向の振動幅を変更して表示分解能を決定している。そして、本実施例では、第１モードから第４モードになるにつれてＸ方向の移動速度を順番に遅くするとともにＸ方向の振動幅を狭くするようにして表示分解能を決定している。
【００３６】
尚、本実施形態では、Ｘ方向の移動時間（前記リニアモータ１８の往復運動における片道の移動時間）とＸ方向の振動幅及びステップ数（前記リニアモータ１８の片道の移動当たりに動くステップ数）は、以下のようになっている。第１モードでは、移動時間が０．１８秒、振動幅が１５ミリメートル、ステップ数が８０ステップとなる。第２モードでは、移動時間が０．１９秒、振動幅が１１．３ミリメートル、ステップ数が６０ステップとなる。第３モードでは、移動時間が０．１６６秒、振動幅が７．５ミリメートル、ステップ数が４０ステップとなる。第４モードでは、移動速度が０．１０２秒、振動幅が３．８ミリメートル、ステップ数が２０ステップとなる。
【００３７】
従って、図３で示す、前記検出領域Ｔは、Ｙ方向の検出幅は一定（２０ミリメートル）で、Ｘ方向の検出幅が１５ミリメートル〜３．８ミリメートルの範囲で変更されるようになっている。そして、制御回路３１は、前記スタートスイッチ２４の操作に基づいて設定されたモードに基づく第１駆動制御信号ＳＧ１及び第２駆動制御信号ＳＧ２をＹ方向駆動回路３２及びＸ方向駆動回路３３にそれぞれ出力する。
【００３８】
また、制御回路３１は、原点位置検出回路３５からの原点検出信号ＨＰを入力する。原点位置検出回路３５は、前記検知板９に設けた受光素子１０が前記検出領域Ｔの予め定めた位置にあるか否かを検出するホトカプラなる回路であって、本実施形態では、リニアモータ１８でＸ方向に往復移動する基板１２の位置を検出する。つまり、原点位置検出回路３５は、前記検出領域Ｔの中心位置Ｐ０に前記受光素子１０が位置しているときの基板１２の相対位置を検出して原点検出信号ＨＰを制御回路３１に出力するようになっている。従って、制御回路３１は、原点検出信号ＨＰを入力したとき、検出領域Ｔの中心位置Ｐ０に受光素子１０が位置していると判断するようになっている。
【００３９】
前記Ｙ方向駆動回路３２は、制御回路３１からの第１駆動制御信号ＳＧ１に基づいて前記電磁石１６に駆動電流Ｉｄを供給する。Ｙ方向駆動回路３２は、制御回路３１から待機モードに基づく第１駆動制御信号ＳＧ１を入力したとき、前記電磁石１６への駆動電流Ｉｄの供給を停止する。また、Ｙ方向駆動回路３２は、制御回路３１から第１〜第４モードに基づく第１駆動制御信号ＳＧ１を入力したとき、駆動電流Ｉｄを電磁石１６に供給する。駆動電流Ｉｄは、前記電磁石１６を切り換え励磁してＹ方向の振動数及び振動幅を決定する交流電流である。本実施形態では、Ｙ方向駆動回路３２は、第１〜第４モードのいずれかにおいてもＹ方向の振動数及び振動幅が一定のため、第１〜第４モードの第１駆動制御信号ＳＧ１に依存せず、常に予め定めたＹ方向の振動数及び振動幅を保持するための駆動電流Ｉｄを出力する。
【００４０】
又、前記Ｙ方向駆動回路３２は、前記振動センサ１７からの検出信号Ｉｆを入力する。Ｙ方向駆動回路３２は、検出信号Ｉｆに基づいてその時々の実際の検知板９のＹ方向の振動数を算出し、その算出した実際のＹ方向の振動数と予め定めたＹ方向の振動数と比較する。Ｙ方向駆動回路３２は、実際のＹ方向の振動数が定めたＹ方向の振動数と偏倚している場合は、実際のＹ方向の振動数が予め定めたＹ方向の振動数になるように、前記駆動電流Ｉｄに周波数を補正して電磁石１６に供給するようになっている。
【００４１】
前記Ｘ方向駆動回路３３は、制御回路３１からの第２駆動制御信号ＳＧ２に基づいて前記リニアモータ１８に駆動信号を出力する。Ｘ方向駆動回路３３は、制御回路３１から待機モードに基づく第２駆動制御信号ＳＧ２を入力したとき、前記受光素子１０が検出領域Ｔの中心位置Ｐ０で静止するようにリニアモータ１８を停止させている。Ｘ方向駆動回路３３は、原点位置検出回路３５からの原点検出信号ＨＰに基づいて制御回路３１からの受光素子１０が中心位置Ｐ０に位置している旨の信号を入力したときリニアモータ１８を停止させる。従って、Ｘ方向駆動回路３３は、待機モードのとき、受光素子１０が中心位置Ｐ０に位置するまで、リニアモータ１８を駆動させるようになっている。
【００４２】
又、Ｘ方向駆動回路３３は、制御回路３１から第１〜第４モードに基づく第２駆動制御信号ＳＧ２を入力したとき、駆動信号Ｉｓをリニアモータ１８に供給をする。駆動信号Ｉｓは、リニアモータ１８をＸ方向に所定の速度で所定の移動範囲で往復動させるための駆動信号である。本実施形態では、Ｘ方向駆動回路３３は、第１〜第４モード毎に駆動信号Ｉｓの値を変更している。つまり、前記したように、第１モードでは、移動時間が０．１８秒、振動幅が１５ミリメートル、ステップ数が８０ステップ、第２モードでは、移動時間が０．１９秒、振動幅が１１．３ミリメートル、ステップ数が６０ステップとなるようにＸ方向駆動回路３３は、リニアモータ１８を駆動制御する。又、第３モードでは、移動時間が０．１６６秒、振動幅が７．５ミリメートル、ステップ数が４０ステップ、第４モードでは、移動速度が０．１０２秒、振動幅が３．８ミリメートル、ステップ数が２０ステップとなるように、Ｘ方向駆動回路３３は、リニアモータ１８を駆動制御する。
【００４３】
検出表示回路３４は、前記受光素子１０及び前記発光素子１１と接続されている。検出表示回路３４は、受光素子１０が赤外線ビームを受光したときに同受光素子１０から出力される前記検知電流Ｉｍを入力する。検出表示回路３４は、前記検知電流Ｉｍを入力すると、前記検知電流Ｉｍを同回路３４内の駆動アンプにて駆動電流Ｉｐに変換し、同駆動電流Ｉｐを前記発光素子１１に供給する。つまり、前記検出表示回路３４は、前記受光素子１０が赤外線ビームを受光すると、同受光素子１０に近接した発光素子１１を発光させるようになっている。
【００４４】
次に、検出表示回路３４の動作の詳細について、図５に従って説明をする。図５は、検出表示回路３４の内部回路構成を説明するための回路図である。
図５に示すように、検出表示回路３４は、Ｉ／Ｖ変換回路４０、バッファ反転回路４１、ＬＥＤ駆動回路４２、ピークホールド回路４３、基準電圧設定回路４４、接続回路４５、適正電流表示回路４６を備えている。この検出表示回路３４は、上述したように、前記受光素子１０及び前記発光素子１１と接続されている。
【００４５】
受光素子１０によって変換された検知電流Ｉｍは、Ｉ／Ｖ変換回路４０を介して、マイナス極性のデータ電圧に変換された後、バッファ反転回路４１にてプラス極性のデータ電圧Ｖ１に変換される。バッファ反転回路４１から出力されるデータ電圧Ｖ１は、ＬＥＤ駆動回路４２のオペアンプＯＰ１のプラス入力端子に比較電圧として入力される。
【００４６】
また、バッファ反転回路４１からのデータ電圧Ｖ１は、ダイオード４７を介してピークホールド回路４３のオペアンプＯＰ２のプラス入力端子に入力される。そして、データ電圧Ｖ１は、ピークホールド回路４３のオペアンプＯＰ２を介して、その出力端子からデータ電圧Ｖ２として基準電圧設定回路４４に出力される。オペアンプＯＰ２は、その出力端子とマイナス入力端子間にダイオード４８を接続している。また、前記データ電圧Ｖ１は、オペアンプＯＰ２のプラス入力端子とアース間に接続されたコンデンサＣ１に充電されるようになっている。コンデンサＣ１に充電保持されているデータ電圧Ｖ１は、より高いレベルのデータ電圧Ｖ１が入力されると随時更新されピーク電圧として保持される。その結果、オペアンプＯＰ２のプラス入力端子には、データ電圧Ｖ１のピーク電圧が印加されることになる。尚、コンデンサＣ１にピーク電圧として充電保持されたデータ電圧Ｖ１は、前記リセットスイッチ２５がオン操作され、同リセットスイッチ２５の可動端子２５ａと固定端子２５ｂが接続されると、放電されてゼロボルトにリセットされるようになっている。
【００４７】
一方、前記オペアンプＯＰ２から出力されるデータ電圧Ｖ２は、基準電圧設定回路４４を構成する第１〜第３の分圧回路に印加される。第１の分圧回路は、抵抗Ｒ１と抵抗Ｒ２の直列回路より構成されている。この抵抗Ｒ１，Ｒ２の抵抗の比は、２０：３．３に設定されている。そして、第１の分圧回路に入力されたデータ電圧Ｖ２は分圧され、基準電圧としてのデータ電圧Ｖ３として抵抗Ｒ１と抵抗Ｒ２の接続点Ｐ１から接続回路４５を介してＬＥＤ駆動回路４２のオペアンプＯＰ１のマイナス入力端子に出力される。また、このときのデータ電圧Ｖ３の値は、前記コンデンサＣ１に充電保持されたデータ電圧Ｖ１のピーク電圧の値を１とすると１／ｅ^２の値となっている。
【００４８】
第２の分圧回路は、抵抗Ｒ３と抵抗Ｒ４の直列回路より構成されている。この抵抗Ｒ３，Ｒ４の抵抗値の比は、１：１に設定されている。そして、第２の分圧回路に入力されたデータ電圧Ｖ２は分圧され、基準電圧としてのデータ電圧Ｖ４として抵抗Ｒ３と抵抗Ｒ４の接続点Ｐ２から接続回路４５を介してＬＥＤ駆動回路４２のオペアンプＯＰ１のマイナス入力端子に出力される。また、このときのデータ電圧Ｖ４の値は、前記コンデンサＣ１に充電保持されたデータ電圧Ｖ１のピーク電圧の値を１とすると−３デシベルの値となっている。
【００４９】
第３の分圧回路は、抵抗Ｒ５と抵抗Ｒ６の直列回路より構成されている。この抵抗Ｒ５，Ｒ６の抵抗値の比は、１０：３９に設定されている。そして、第３の分圧回路に入力されたデータ電圧Ｖ２は分圧され、基準電圧としてのデータ電圧Ｖ５として抵抗Ｒ５と抵抗Ｒ６の接続点Ｐ３から接続回路４５を介してＬＥＤ駆動回路４２のオペアンプＯＰ１のマイナス入力端子に出力される。また、このときのデータ電圧Ｖ５の値は、前記コンデンサＣ１に充電保持されたデータ電圧Ｖ１のピーク電圧の値を１とする−１デシベルの値となっている。
【００５０】
また、オペアンプＯＰ１のマイナス入力端子は、ＬＥＤ駆動回路４２のトランジスタ４９のエミッタと抵抗Ｒ７の接続点Ｐ４から、基準電圧としてのデータ電圧Ｖ６が接続回路４５を介して入力されるようになっている。このデータ電圧Ｖ６は、抵抗Ｒ７の端子間電圧によって決定される。
【００５１】
接続回路４５は、可動端子ＣＴ１、第１〜第４の固定端子ａ１〜ａ４を備えている。可動端子ＣＴ１は、オペアンプＯＰ１のマイナス入力端子に接続されるとともに、前記表示モード調整つまみ２３の切り換え操作によって第１〜第４の固定端子ａ１〜ａ４のいずれか１つに接続される。第１〜第４の固定端子ａ１〜ａ４は、対応する前記接続点Ｐ１〜Ｐ４にそれぞれ接続されている。従って、前記表示モード調整つまみ２３の切り換え操作によって、可動端子ＣＴ１と第１の固定端子ａ１が接続されると、前記データ電圧Ｖ３がオペアンプＯＰ１のマイナス端子に入力される。また、可動端子ＣＴ１と第２の固定端子ａ２が接続されると、前記データ電圧Ｖ４がオペアンプＯＰ１のマイナス端子に入力される。さらに、可動端子ＣＴ１と第３の固定端子ａ３が接続されると、前記データ電圧Ｖ５がオペアンプＯＰ１のマイナス入力端子に入力される。さらにまた、可動端子ＣＴ１と第４の固定端子ａ４が接続されると、前記データ電圧Ｖ６がオペアンプＯＰ１のマイナス入力端子に入力される。
【００５２】
オペアンプＯＰ１は、前記プラス入力端子に入力されるデータ電圧Ｖ１と、前記マイナス入力端子に入力されるデータ電圧Ｖ３〜Ｖ４のうち接続回路４５にて選択されたデータ電圧とを比較し、その比較結果を２値のデータ電圧Ｖ７として抵抗Ｒ８を介してトランジスタ４９のベース端子に出力される。
【００５３】
詳しくは、データ電圧Ｖ１がデータ電圧Ｖ３〜Ｖ５の中から選択された基準電圧より高いレベルの電圧値のときには、Ｈレベルのデータ電圧Ｖ７がオペアンプＯＰ１から出力され、又低いレベルの電圧値のときにはＬレベルのデータ電圧Ｖ７がオペアンプＯＰ１から出力される。トランジスタ４９のベース端子にＨレベルのデータ電圧Ｖ７が印加されると、同トランジスタ４９は導通状態となる。また、Ｌレベルのデータ電圧Ｖ７が印加されると、同トランジスタ４９は非導通状態となる。
【００５４】
トランジスタ４９が導通状態のときには、同トランジスタ４９のエミッタに接続された前記発光素子１１には駆動電流Ｉｐが供給される。また、トランジスタ４９が非導通状態のときには、発光素子１１への駆動電流Ｉｐが遮断されるようになっている。従って、例えば、前記受光素子１０から検知電流Ｉｍが入力され、これに基づいて、１０ボルトのデータ電圧Ｖ１が生成されると、このデータ電圧Ｖ１は、オペアンプＯＰ１のプラス入力端子に入力されるとともに、コンデンサＣ１にて充電保持される。コンデンサＣ１に充電保持された１０ボルトのデータ電圧Ｖ１は、ピーク電圧としてオペアンプＯＰ２に入力される。そして、例えば、前記表示調整つまみ２３の可動端子ＣＴ１と固定端子ａ２が接続されていると、オペアンプＯＰ１のマイナス入力端子には、接続点Ｐ２を介して５ボルトのデータ電圧Ｖ４が基準電圧として入力される。これによって、オペアンプＯＰ２にて１０ボルトのデータ電圧Ｖ１は、５ボルトのデータ電圧Ｖ４と比較される。そして、オペアンプＯＰ２の出力端子からは、Ｈレベルのデータ電圧Ｖ７がトランジスタ４９のベース端子に出力される。これに応じて、トランジスタ４９は、導通状態となって、駆動電流Ｉｐを供給された発光素子１１は発光する。また、このときデータ電圧Ｖ１のピーク電圧（１０ボルト）はコンデンサＣ１に保持されているので、データ電圧Ｖ４は、５ボルトの電圧値を維持する。これによって、検知電流Ｉｍが小さくなってデータ電圧Ｖ１の電圧レベルが小さくなっても、オペアンプＯＰ１にて、５ボルトのデータ電圧Ｖ４を基準電圧として比較される。
【００５５】
従って、オペアンプＯＰ１からは、プラス入力端子に入力されるデータ電圧Ｖ１が５ボルト以上の電圧値のときにＨレベルのデータ電圧Ｖ７が出力され、データ電圧Ｖ１が５ボルト以下の電圧値のときにＬレベルのデータ電圧Ｖ７が出力される。また、これに応じてトランジスタ４９は、導通状態又は非導通状態となるので、発光素子１１は、発光状態又は非発光状態となる。つまり、コンデンサＣ１にて１０ボルトのデータ電圧Ｖ１が充電保持され、表示モード調整つまみ２３の操作によって、可動端子ＣＴ１と固定端子ａ２が接続されている場合には、発光素子１１は、５ボルト以上のデータ電圧Ｖ１に変換可能な光強度を有する赤外線ビームのみに対して発光する。よって、検出領域Ｔには、５ボルト以上のデータ電圧Ｖ１に変換可能な光強度を有する赤外線ビームの光路位置及び光路径が表示される。
【００５６】
一方、前記表示モード調整つまみ２３の切り換え操作によって、同つまみ２３の可動端子ＣＴ１と固定端子ａ４が接続されていると、接続点Ｐ４からデータ電圧Ｖ６が、オペアンプＯＰ１のマイナス入力端子に出力される。このとき、トランジスタ４９の導通状態は、オペアンプＯＰ１の出力端子から出力されるデータ電圧Ｖ７によって制御され駆動電流Ｉｐが決定されている。この駆動電流Ｉｐと抵抗Ｒ７の抵抗値に従ってデータ電圧Ｖ６の電圧レベルは決定される。従って、オペアンプＯＰ１のマイナス入力端子には、出力端子から出力されるデータ電圧Ｖ７に基づいたデータ電圧Ｖ６がフィードバックされるようになっている。オペアンプＯＰ１は、データ電圧Ｖ１の電圧レベルに基づいたデータ電圧Ｖ７を出力するので、発光素子１１は、受光素子１０の受光した赤外線ビームの強度に応じて発光する。従って、検出領域Ｔには、赤外線ビームの強度分布に応じた輝度によって光路及び光路位置が表示される。
【００５７】
上述したように、表示モード調整つまみ２３を切り換え操作することによって、接続回路４５の固定端子ａ１〜ａ４と可動端子ＣＴ１の接続を切り換え検出される赤外線ビームの強度範囲を４段階に選択できるようになっている。また、表示モード調整つまみ２３の切り換え操作に伴って、検出領域Ｔに表示される赤外線ビームの光路及び光路径は、４段階に変更される。そして、本実施例では、前記可動端子ＣＴ１と前記固定端子ａ１が接続された状態を第１表示段階、前記可動端子ＣＴ１と前記固定端子ａ２が接続された状態を第２表示段階としている。また、前記可動端子ＣＴ１と前記固定端子ａ３が接続された状態を第３表示段階、前記可動端子ＣＴ１と前記固定端子ａ４が接続された状態を第４表示段階としている。
【００５８】
第１表示段階では、赤外線ビームの有効スポット径を表示するようになっている。一般にガウシャン分布を有する赤外線ビームでは、最小半径（ガウシャンビーム半径）の位置において、その強度が１／ｅ^２となっている。本実施形態の第１表示段階では、データ電圧Ｖ３がピーク電圧に対して１／ｅ^２に設定される第１の分圧回路を使って、１／ｅ^２以上の強度を持つ赤外線ビームを検出するようになっている。このことから、検出領域Ｔに表示される光路径は、赤外線ビームの有効スポット径となっている。また、データ電圧Ｖ４を第２表示段階で−３デシベル、データ電圧Ｖ５を第３表示段階で−１デシベルとすることによって、従来のＩＲカードでは、検出できない程微弱な赤外線ビームを検出領域Ｔに表示させ視認することができる。
【００５９】
また、前記ピークホールド回路４３のオペアンプＯＰ２から出力されたデータ電圧Ｖ２は、適正電流表示回路４６のツェナ−ダイオード５０に印加される。印加されたデータ電圧Ｖ２は、予め設定された電圧レベルを超えるとツェナ−ダイオード５０を降伏させ、トランジスタ５１のベースに印加される。これに応じて、トランジスタ５１が導通状態となると前記適正電流表示用の発光素子２１には、駆動電流が供給されので、発光素子２１は発光する。データ電圧Ｖ２が予め設定された電圧レベルを超えないときには、ツェナ−ダイオード５０は降伏しない。従って、トランジスタ５１は非導通状態となるので、発光素子２１への駆動電流は遮断され発光を停止する。この予め設定された電圧レベルは、前記ＬＥＤ駆動回路４２を駆動することができる電圧レベルである。適正電流表示回路４６では、発光素子２１を発光又は発光停止させることによって、設定された電圧レベル以上のデータ電圧Ｖ２がオペアンプＯＰ２から出力され、前記ＬＥＤ駆動回路４２が駆動可能な状態であることを報知するようになっている。
【００６０】
次に、以上のように構成された前記赤外線検出装置１を用いて赤外線ビームの光路位置を検出し、さらに試料に対して同赤外線ビームを照射させる方法について図６及び図７に従って説明する。
【００６１】
図６は、赤外線検出装置１と試料と光ファイバケーブルの配置を説明するための上面図である。図７は、赤外線検出装置１の動作を説明するための平面図である。
【００６２】
図６に示すように、試料Ｅに対して光ファイバケーブルＦの出力側の端部を対向するように配置する。前記光ファイバケーブルＦは、図示しない発光器から供給される赤外線ビームを出力するケーブルであって、同光ファイバケーブから出力される赤外線ビームは、前記試料Ｅに対して照射されるようになっている。
【００６３】
まず、前記光ファイバケーブルＦから前記試料Ｅに対して赤外線ビームの照射を開始する。そして、前記赤外線検出装置１の前記電源スイッチＳＷをオン操作して同赤外線検出装置１を起動する。このとき、前記赤外線検出装置１は、上述したように、待機モードとなっている。次に、前記リセットスイッチ２５をオン操作して、前記検出表示回路３４内の前記コンデンサをゼロボルトにリセットした後、前記スタートスイッチ２４をオン操作して、前記第１モードにて前記検知板９をＸ方向及びＹ方向に移動させ前記検出領域Ｔを形成させる。このとき、前記検出領域Ｔは、Ｙ方向の検出幅は２０ミリメートル、Ｘ方向の検出幅は１５ミリメートルである。
【００６４】
そして、前記試料Ｅと前記光ファイバケーブルＦの間に前記赤外線検出装置１の検出体６を配置し、同検出体６の窓７に赤外線ビームが照射されるように配置する。これによって、図７に示すように、前記窓７に形成されている検出領域Ｔには、前記赤外線ビームが照射された範囲に前記発光素子１１によって、発光残像Ｌが形成される。そして、前記表示モード調整つまみ２３にて、前記発光素子１１の輝度や発光強度範囲を第１〜第４表示段階の中から設定し、前記発光残像Ｌを明確に表示させる。そして、前記スタートスイッチ２４をオン操作し、前記第２モードとする。このとき、前記検出領域Ｔは、Ｙ方向の検出幅は２０ミリメートル、Ｘ方向の検出幅は１１．３ミリメートルである。また、検出領域Ｔは、狭くなるが、上述したように、検知板９のＸ方向の移動時間（片道）は、第１モードで０．１８秒、第２モードで０．１９秒であるので、Ｘ方向の振動幅を考慮すると表示分解能は向上している。そして、次々に前記スタートスイッチ２４をオン操作して、第３モード、第４モードと切り換えることによって、前記発光残像Ｌをより詳細に形成させる。
【００６５】
そして、前記窓７に形成された発光残像Ｌを視認することによって、前記光ファイバケーブルＦから照射された赤外線ビームの光路位置及び光路径を確認する。
【００６６】
次に、前記赤外線検出装置１の前記発光残像Ｌを見ながら、前記窓７から透かして見える同試料Ｅと前記発光残像Ｌが重ね合うように、前記光ファイバケーブルＦ及び試料Ｅの位置調整をする。そして、前記発光残像Ｌと試料Ｅが重なった位置では、前記光ファイバケーブルＦから照射された赤外線ビームは、前記試料Ｅに正確に照射されている。また、前記赤外線検出装置１のケース本体２を光ファイバケーブルＦから遠ざけると、同光ファイバケーブルＦから前記検出体６の窓７に照射される赤外線ビームの強度は減衰する。このとき、コンデンサＣ１保持されているデータ電圧Ｖ１のピーク電圧に対して、受光素子１０から新たに出力される検知電流Ｉｍに基づいたデータ電圧Ｖ１は、その強度が低いので、検出領域Ｔには、発光残像Ｌが形成されにくくなる。このような場合においては、前記ケース本体２のリセットスイッチ２５をオン操作すると、コンデンサＣ１に保持されたデータ電圧Ｖ１をゼロボルトにリセットされ、コンデンサＣ１は、新たにピーク電圧を保持することができるので、発光残像Ｌは検出領域Ｔに再び精細に形成される。
【００６７】
以上のように構成された本実施形態によれば、以下の作用効果を奏する。
（１）本実施形態では、前記発光素子１１は、前記受光素子１０の受光した赤外線の強度に応じて、発光するように形成した。さらに同受光素子１０と、同発光素子１１を近接して設けた検知板９をＸ方向及びＹ方向に移動させ検出領域Ｔを形成した。従って、前記窓７に赤外線ビームが照射されると、前記発光素子１１は、前記受光素子１０が受光した位置とほぼ同じ位置で発光する。そして、前記検出領域Ｔには、同赤外線ビームの光路位置とほぼ同じ位置に前記発光残像Ｌを形成させることができた。その結果、前記発光残像Ｌを見ることによって、不可視光線である前記赤外線ビームの光路位置を検出することができる。また、前記光ファイバケーブルＦから出力される赤外線ビームの光路径の大きさを視認することができる。
【００６８】
（２）本実施形態では、コンデンサＣ１にデータ電圧Ｖ１のピーク電圧を保持させるとともに、その保持されたデータ電圧Ｖ１に基づいたデータ電圧Ｖ３〜Ｖ５のいずれかを表示モード調整つまみ２３の切り換え操作によって、オペアンプＯＰ１のマイナス入力端子に入力させた。さらに、オペアンプＯＰ１には、オペアンプＯＰ１のマイナス入力端子に入力されたデータ電圧Ｖ３〜Ｖ５のいずれかと、受光素子１０から入力される検知電流Ｉｍに基づいたデータ電圧Ｖ１とを比較させ、Ｈレベル又はＬレベルのデータ電圧Ｖ７をトランジスタ４９に出力させた。これによって、トランジスタ４９は、Ｈレベルのデータ電圧Ｖ７が印加されると導通状態となって、又Ｌレベルのデータ電圧Ｖ７が印加されると非導通状態となり、発光素子１１は、発光状態又は非発光状態となる。この結果、照射される赤外線ビームの最大の強度に応じたピーク電圧を保持し、これに基づいてオペアンプＯＰ１にて比較するので、最も強度の高い赤外線ビームの光路径及び光路位置を表示することができる。また、オペアンプＯＰ１に入力されるデータ電圧Ｖ３〜Ｖ５を表示モード調整つまみ２３の切り換え操作によって、切り換えることで検出される赤外線ビームの強度範囲を選択し切り換えることができる。
【００６９】
（３）本実施形態では、前記窓７を形成し、前記検知板９をＸ方向及びＹ方向に移動させた。従って、前記窓７からは、前記目標物を透かして見ることができるので、前記光ファイバケーブルＦ及び前記目標物の位置調整が容易になる。その結果、前記目標物に対して、適確に前記光ファイバケーブルＦから前記赤外線ビームを照射させることができる。
【００７０】
（４）本実施形態では、前記赤外線検出装置１は、第１〜第４モードを備えた。これによって、前記発光残像Ｌは、必要に応じた検出領域Ｔ及び表示分解能で表示することができる。
【００７１】
（５）本実施形態では、前記センサ部４の大きさを４５ミリメートル×３５ミリメートル×１０ミリメートルに形成した。従って、狭い隙間にも差し込むことができ、その結果、従来の赤外線カメラでは検出が困難な狭い場所での赤外線ビームの検出を容易にすることができる。
【００７２】
（６）本実施形態では、前記ケース本体２の大きさを８０ミリメートル×１００ミリメートル×３０ミリメートルに形成した。従って、前記赤外線検出装置１を片手で把持することができ、他方の手で試料Ｅや光ファイバケーブルＦの位置あわせ等の作業をすることができる。その結果、赤外線の検出及び照射を迅速に行うことができる。
【００７３】
尚、発明の実施の形態は、上記実施形態に限定されるものではなく、以下のように実施してもよい。
・本実施形態では、光線検出装置を赤外線検出装置１に具体化したが、赤外線等の不可視光線に限定されるものではなく、可視光線の光線検出装置に応用してもよい。
【００７４】
・本実施形態では、前記検知板９に前記受光素子１０と前記発光素子１１を近接して設けたが、この限りではなく、受光位置と発光位置のずれができる限り最小距離になればよい。例えば、前記受光素子１０と前記発光素子１１を一枚のチップセットとして構成してもよい。また、ビームスプリッタ等を用いて前記受光素子１０と前記発光素子１１を検出面５ａ側に同一配置にするように構成してもよい。
【００７５】
・本実施形態では、第１〜第４モードに基づいて前記検知板９を駆動させたが、この限りではなく、必要とするＸ方向及びＹ方向の振動幅が得ることができれば、駆動方式及び駆動範囲は問わない。
【００７６】
・本実施形態では、光線検出装置を赤外線検出装置１に具体化して光路位置を表示させが、この限りではなく、同赤外線検出装置１に光パワーメータを接続し、同光パワーメータの受光部と兼用してもよい。
【００７７】
・本実施形態では、第１モード〜第４モードを設けリニアモータ１８のＸ方向の振動幅を可変に設定し、これに伴って検知板９のＸ方向の振動幅を可変にしたが、この限りではなく、Ｘ方向及びＹ方向の振動幅を一定にしてもよい。また、検知板９のＹ方向の振動幅を一定にしたが、この限りではなく、適宜変更してもよい。
【００７８】
・本実施形態では、検知板９の表面（検出面９ａ）に発光素子１１を設けたが、この限りではなく、検知板９の裏面（検出面９ａと対を成す面）と検出面９ａの両面に設けてもよい。また、その際の発光素子１１の発光色が表面と裏面ともに異なるように構成してもよい。
【００７９】
・本実施形態では、検出表示回路３４は、Ｉ／Ｖ変換回路４０、バッファ反転回路４１、ＬＥＤ駆動回路４２、ピークホールド回路４３、基準電圧設定回路４４、接続回路４５、適正電流表示回路４６を設けたが、この限りではなく、各要素４０〜４６を一つのＩＣチップに構成してもよい。また、メモリ領域を設けピーク電圧のリセット操作を適宜行えるようにプログラム可能に構成してもよい。
【００８０】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１〜６載の発明によれば、可視光や不可視光に限定されず、あらゆる光線の光路位置の検出が実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施形態の赤外線検出装置の概略を説明するための斜視図。
【図２】同赤外線検出装置の内部構成を説明するための斜視図。
【図３】同赤外線検出装置の検出領域を説明するための平面図。
【図４】同赤外線検出装置の電気的構成を説明するための電気ブロック回路図。
【図５】同赤外線検出装置の検出表示用回路の内部回路構成を説明するための回路図。
【図６】同赤外線検出装置と試料と光ファイバケーブルの配置を説明するための上面図。
【図７】同赤外線検出装置の動作を説明するための平面図。
【符号の説明】
１…光線検出回路としての赤外線検出装置、８…支持部としての支持棒、９…検査部としての検知板、１０…受光手段としての受光素子、１１…発光手段としての発光素子、１６…Ｙ方向駆動手段としての電磁石、１８…Ｘ方向駆動手段としてのリニアモータ、３４…光検出回路としての検出表示回路、Ｉｍ…検知信号としての検知電流、Ｌ…発光残像、Ｔ…検出領域、Ｖ１…比較電圧としてのデータ電圧、Ｖ３〜Ｖ６…基準電圧としてのデータ電圧。

Claims

光線を受光して検知信号を出力する受光手段と、
前記検知信号に基づいて発光信号を生成し、出力する光検出回路と、
前記発光信号に基づいて発光する発光手段と、
前記受光手段と前記発光手段とを載置する検査部と、
前記検査部を支持する支持部と、
前記支持部をＸ方向に往復移動及びＹ方向に往復回動させて前記検査部の検出領域を形成する駆動手段とを備え、
前記検出領域に光線が照射されるとき同検出領域には、前記発光手段によって、発光残像を形成することを特徴とする光線検出装置。
請求項１に記載の光線検出装置において、
前記受光手段及び前記発光手段は、前記検査部にて近接して設けたことを特徴とする光線検出装置。
請求項１又は２に記載の光線検出装置において、
前記駆動手段は、前記支持部を前記Ｘ方向に往復移動させるＸ方向駆動手段と、Ｙ方向に振動運動させるＹ方向駆動手段とからなり、
前記検出領域の大きさは、前記Ｘ方向駆動手段及びＹ方向駆動手段によって、調整可能であることを特徴とする光線検出装置。
請求項１〜３に記載の光線検出装置において、
前記発光手段の発光輝度は、前記光検出回路によって調整可能であることを特徴とする光線検出装置。
請求項１〜４に記載の光線検出装置において、
前記光検出回路は、前記検知信号に基づいて比較電圧を生成するとともに、同比較電圧のピーク電圧を保持し、
保持された前記ピーク電圧に基づいて基準電圧を生成し、
さらに、前記比較電圧と前記基準電圧を比較して同比較電圧が同基準電圧よりも高い電圧レベルのときに前記発光信号を生成し出力することを特徴とする光線検出装置。
請求項１〜５に記載の光線検出装置において、
前記支持部は、断面四角形状に形成されることを特徴とする光線検出装置。