JP2004270716A

JP2004270716A - Fluid control valve

Info

Publication number: JP2004270716A
Application number: JP2003058274A
Authority: JP
Inventors: Norisuke Ikumichi; 教典生路; Yoshiyuki Yamada; 芳幸山田; Takehiro Itou; 丈裕井藤; Masateru Yoshida; 匡輝吉田
Original assignee: CKD Corp
Current assignee: CKD Corp
Priority date: 2003-03-05
Filing date: 2003-03-05
Publication date: 2004-09-30

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a fluid control valve equalizing a temperature of a part in contact with fluid in a valve main body. <P>SOLUTION: In the fluid control valve 1, two cartridge heaters 5 are embedded in a flange part of a lower part of a housing 22, and two cartridge heaters 6 are embedded in a lower part of the valve main body 3. Since a diaphragm 26 is efficiently heated from upper and lower parts thereof by the cartridge heaters 5, 6, heat is efficiently transmitted to the diaphragm 26 and thereby to make a temperature of the diaphragm 26 approximately the same as that of other parts. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO&NCIPI

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、加熱構造を備える流体制御弁に関する。さらに詳細には、弁内を流れる流体が接する部分の温度を均一にすることができる流体制御弁に関するものである。特に、半導体製造工程において使用するのに好適なものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造装置に用いられる流体制御弁では、使用されるプロセスガス等の融点が低い場合、それが液化、析出しないように、従来から加熱して使用されている。このように、流体制御弁を加熱するのは、プロセスガス等が液化、析出すると、その析出物が吹き飛ばされてパーティクルを発生させ、プロセスガス等に混入して半導体製造の歩留まりを低下させてしまう、またはシール面に堆積して漏れの原因となる、あるいは堆積により流路が絞られる（最悪の場合には流路が塞がれる）原因となるからである。
【０００３】
このようなヒーティング機構を備える流体制御弁としては、例えば、特開平１０−２９９９４３号公報や特開２００１−１７３８３８号公報などに開示されている。特開平１０−２９９９４３号公報に開示されているものは、図１４に示すように、加熱すべき流体制御器１０１のボディ１０２の対向する一対の側面に絶縁層１１３，１１２ａを介して当接される一対の板状側面ヒータ１１２と、側面ヒータ嵌入凹所１２０を有しかつ互いにねじ１２５で結合されて流体制御器ボディ１０２を両側から挟持する一対の側部保持部材１１４，１１５と、側面ヒータ１１２と側面ヒータ嵌入凹所１２０の底面との間に介在されて側面ヒータ１１２を流体制御器ボディ１０２側面に押圧するクッション部材１１７とを備えている。
【０００４】
これにより、流体制御器ボディ１０２と側面ヒータ１１２との間には、別部材とされた熱伝導材を介在させることなく、側面ヒータ１１２をクッション部材１１７により流体制御器ボディ１０２側面に押圧することができるようになっている。そのため、流体制御器ボディ１０２と側面ヒータ１１２との間に空気層ができることがなく、熱効率が向上するので流体制御弁を効率よく加熱することができるようになっている。
【０００５】
また、特開２００１−１７３８３８号公報に開示されているものは、図１５に示すように、弁体２３２に配置され、その弁体２３２を加熱する弁体用ヒータ２４４と、バルブ本体２０２に巻かれ、そのバルブ本体２を加熱するバルブ本体用ヒータ２４１とを有し、更にベローズアダプタ２３５のアクチュエータ２０３側に配置され、そのベローズアダプタ２３５に対して直接的又は間接的に接して加熱するベローズアダプタ用ヒータ２４５を有している。
【０００６】
これにより、従来十分に加熱されなかったベローズアダプタやベローズ上部を加熱することができるようになっている。
【０００７】
【特許文献１】
特開平１０−２９９９４３号公報（第２頁、第１図）
【特許文献２】
特開２００１−１７３８３８号公報（第３頁、第１図）
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記した特開平１０−２９９９４３号公報および特開２００１−１７３８３８号公報に開示されたものでは、弁内で流体が接する部分の温度が均一にならないという問題があった。
【０００９】
例えば、特開平１０−２９９９４３号公報に記載されたものでは、ダイアフラム弁体を備える流体制御弁に対して十分な加熱効果を得ることができなかった。すなわち、特開平１０−２９９９４３号公報に開示されているように、流体制御弁の外面からヒータを用いて加熱し保温しても、流体制御弁の内部に備わるダイアフラム弁体へは熱が伝わりにくく、またアクチュエータへの操作エアーの出し入れによる温度変化の影響を受けやすいため、ダイアフラムの温度が他の部分の温度よりも低くなってしまうのである。
【００１０】
また、特開２００１−１７３８３８号公報に開示されたものでは、弁内で流体が接する部分の温度にバラツキが生じていた。特に、ベローズ上方の温度が他の部分と比べて低くなっていた。これは、ベローズ上方に配置されているアクチュエータが金属製であるため、そちらへ熱が逃げてしまうためである。
【００１１】
そこで本発明は、上記した問題点を解決するためになされたものであり、弁本体内で流体が接する部分における温度の均一化を図ることができる流体制御弁を提供することを課題とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記問題点を解決するためになされた本発明に係る流体制御弁は、入力ポートと出力ポートとの間に弁座が形成された弁本体と、前記弁本体に組み付けられたアクチュエータとを備え、前記アクチュエータから弁本体内に挿入された出力軸の先端で弁体を前記弁座に押し当てて弁の開閉を行う流体制御弁において、前記弁体は、ダイアフラムであり、前記アクチュエータの下部であって前記ダイアフラムの上方となる位置にヒータを有することを特徴とするものである。
【００１３】
この流体制御弁では、アクチュエータにより出力軸を介して弁体であるダイアフラムを弁座に当接・離間させて弁の開閉を行う。そして、この流体制御弁には、アクチュエータの下部であってダイアフラムの上方となる位置にヒータが設設けられているので、このヒータにより、ダイアフラムが上方（背面）から効率的に加熱される。したがって、従来は最も熱が伝わりにくかったダイアフラムへも効率的に熱を伝えることができ、ダイアフラムの温度を他の部分とほぼ同じにすることができる。
【００１４】
本発明に係る流体制御弁において、前記アクチュエータは、梃子機構のレバーの一端部に出力用コイルバネの付勢力が作用することにより、前記レバーの他端部と係合する前記出力軸を前進させる一方、駆動源の圧力を受けたピストンが移動して、前記出力用コイルバネを圧縮させることにより、前記レバーの一端部を前記出力用コイルバネの付勢力から解放するとともに、復帰用コイルバネの付勢力により、前記出力軸を後退させるものであることが望ましい。
【００１５】
ダイアフラムの弁座に対する「シール推力」を確保しつつアクチュエータを小型化することができるからである。なぜなら、この流体制御弁では、レバーなどを有する梃子機構、ピストン、出力軸、出力用コイルバネ、復帰用コイルバネなどを備えたアクチュエータによって、ダイアフラムを弁座に当接・離間させる。すなわち、ノーマル時では、梃子機構のレバーの一端部に出力用コイルバネの付勢力が作用しており、そのため、レバーの他端部と係合する出力軸に前進方向の推力が発生するので、ダイアフラムが弁座に密着することになる。一方、非ノーマル時では、ピストンが駆動源の圧力を受けて移動することにより、出力用コイルバネが圧縮するので、レバーの一端部が出力用コイルバネの付勢力から解放され、その結果、復帰用コイルバネの付勢力により、出力軸に後退方向の推力が発生するので、ダイアフラムが弁座から離間することになる。
【００１６】
したがって、出力用コイルバネの付勢力を梃子機構の梃子比で増加させて作用させることにより、出力軸に前進方向の推力を発生させて、ダイアフラムを弁座に密着させて「シール推力」を確保しているので、最低限必要な出力用コイルバネの付勢力は、「シール推力」を梃子比で除した値となる。よって、「シール推力」を梃子比で除した値と「シール推力」の値との差に相当する分だけ、出力用コイルバネの外径を最小化することが可能となり、出力用コイルバネを内蔵するアクチュエータを小型化することができるのである。
【００１７】
また、本発明に係る流体制御弁においては、弁本体とアクチュエータとを螺合させるネジ部には、弁本体とアクチュエータとを組み付けたときにヒータの取付方向が常に一定となるようにネジが形成されていることが望ましい。
【００１８】
本発明に係る流体制御弁では、弁本体とアクチュエータとが螺合されて一体化されるため、アクチュエータの下部に取り付けられたヒータの位置が、弁本体とアクチュエータとの組み付け方によって毎回変化するおそれがある。そうすると、ヒータ配線の取扱性が非常に悪くなり、また、流体制御弁を集積して使用することができなくなってしまう。
【００１９】
そこで、この流体制御弁では、弁本体とアクチュエータとを螺合させるネジ部のネジを、弁本体とアクチュエータとを組み付けたときにヒータの取付方向が常に一定となるように形成している。つまり、ネジ部におけるネジの切り始めと切り終わりとを調整することにより、弁本体とアクチュエータとを組み付けたときにヒータの取付方向が常に一定となるようにしている。これにより、ヒータの配線などの取扱性がよく、また、流体制御弁を集積して使用することもできる。
【００２０】
また、本発明に係る流体制御弁においては、前記弁本体の下部にもヒータを備えることが望ましい。こうすることにより、ダイアフラムをより効率的に加熱することができるからである。
【００２１】
また、上記問題点を解決するためになされた本発明に係る流体制御弁は、入力ポートと出力ポートとの間に弁座が形成された弁本体と、前記弁本体にシリンダアダプタを介して組み付けられたアクチュエータとを備え、前記アクチュエータから弁本体内に挿入された出力軸の先端に弁体を固定して弁の開閉を行うものであって、前記出力軸を覆ったベローズが、前記弁本体と前記アクチュエータとの間に固定されたベローズアダプタと前記弁体とに接続されて流体漏れを防止する流体制御弁において、前記弁本体を加熱するヒータを有し、前記アクチュエータと前記弁本体との間に断熱部材が設けられていることを特徴とするものである。
【００２２】
この流体制御弁では、ヒータによって加熱されるとともに、アクチュエータと弁本体との間に設けられた断熱部材により断熱が行われる。すなわち、アクチュエータと弁本体との間に設けられた断熱部材を設けることにより、アクチュエータへ熱が逃げにくくなる。このため、ベローズ上方からアクチュエータへ熱が逃げなくなり、ベローズ上方の温度低下を防止することができる。したがって、弁内で流体が接する部分の温度をほぼ均一にすることができる。
【００２３】
また、上記問題点を解決するためになされた本発明に係る流体制御弁は、入力ポートと出力ポートとの間に弁座が形成された弁本体と、前記弁本体にシリンダアダプタを介して組み付けられたアクチュエータとを備え、前記アクチュエータから弁本体内に挿入された出力軸の先端に弁体を固定して弁の開閉を行うものであって、前記出力軸を覆ったベローズが、前記弁本体と前記アクチュエータとの間に固定されたベローズアダプタと前記弁体とに接続されて流体漏れを防止する流体制御弁において、前記弁本体を加熱するヒータを有し、前記シリンダアダプタは、前記出力軸方向に分割されており、前記分割されたシリンダアダプタ間に断熱部材が設けられていることを特徴とするものである。
【００２４】
この流体制御弁でも、ヒータによって加熱されるとともに、分割されたシリンダアダプタ間に設けられた断熱部材により断熱が行われるので、ベローズ上方からアクチュエータへ熱が逃げなくなり、ベローズ上方の温度低下を防止することができる。したがって、弁内で流体が接する部分の温度をほぼ均一にすることができる。
【００２５】
さらに、この流体制御弁では、シリンダアダプタが出力軸方向に分割されており、その分割されたシリンダアダプタ間に断熱部材が設けられている。これにより、アクチュエータおよび弁本体は、分割されたシリンダアダプタに接続されるので、断熱部材が熱収縮した場合であっても、アクチュエータおよび弁本体の外部シール性を十分に確保することができる。つまり、この流体制御弁は、外部シール性を十分に確保した上で、弁内で流体が接する部分の温度をほぼ均一化することができるのである。
【００２６】
本発明に係る流体制御弁においては、前記断熱部材として、樹脂プレートを使用すればよい。具体的には、熱伝導率が０．３（Ｗ／Ｍ・℃）以下の樹脂を使用すればよい。
【００２７】
また、上記問題点を解決するためになされた本発明に係る流体制御弁は、入力ポートと出力ポートとの間に弁座が形成された弁本体と、前記弁本体にシリンダアダプタを介して組み付けられたアクチュエータとを備え、前記アクチュエータから弁本体内に挿入された出力軸の先端に弁体を固定して弁の開閉を行うものであって、前記出力軸を覆ったベローズが、前記弁本体と前記アクチュエータとの間に固定されたベローズアダプタと前記弁体とに接続されて流体漏れを防止する流体制御弁において、前記弁本体を加熱するヒータを有し、前記シリンダアダプタは、前記出力軸方向に分割されており、前記分割されたシリンダアダプタ同士は複数の支柱により連結されていることを特徴とするものである。
【００２８】
この流体制御弁でも、シリンダアダプタが出力軸方向に分割されており、分割されたシリンダアダプタ同士は複数の支柱により連結されている。このため、分割されたシリンダアダプタ間には空気層が介在することになる。つまり、この流体制御弁では、分割されたシリンダアダプタ間に断熱部材を設ける代わりに、空気層を介在させたのである。このように空気層を介在させることによっても断熱効果が得られるので、弁内で流体が接する部分の温度をほぼ均一化することができる。また、上記したようにシリンダアダプタを分割しているので、外部シール性も十分に確保される。
【００２９】
なお、シリンダアダプタを分割せずに、シリンダアダプタ内に空気層を形成してもよい。
【００３０】
ここで、前記支柱としては、スタットボルトを使用すればよい。また、スタットボルトの代わりに、カラー（樹脂製あるいは金属製のどちらでもよい）を使用することもできる。
上記したいずれか１つの流体制御弁は、半導体製造装置に使用されるのが好適である。弁内でプロセスガス等が接する部分の温度を均一化することができるので、プロセスガス等が液化、析出してパーティクルを発生させることがないからである。
【００３１】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の流体制御弁を具体化した最も好適な実施の形態について図面に基づき詳細に説明する。本実施の形態は、半導体製造装置に使用される流体制御弁であって高温のプロセスガスを制御するものである。
【００３２】
（第１の実施の形態）
まず、第１の実施の形態について説明する。そこで、第１の実施の形態に係る流体制御弁の概略構成を図１〜図３に示す。図１は、ノーマル時の弁閉状態を示す断面図である。図２は、非ノーマル時の弁開状態を示す断面図である。図３は、流体制御弁におけるヒータの挿入方向を示す側面図である。流体制御弁１は、図１および図２に示すように、ハウジング２２、ハウジング２２の上部に螺合されるキャップ１１、ハウジング２２の下部が螺合する弁本体３に大別することができる。
【００３３】
キャップ１１の内部には、ピストン１３が装入されており、キャップ１１の内側とピストン１３の外周を耐熱パッキン１２で密封することにより、空気室３４を形成している。空気室３４は、導入口３３を介して外部と連通する。また、キャップ１１がハウジング２２の上部と螺合することにより、キャップ１１とハウジング２２で挟み込むようにして、梃子ベース１５を内設している。
【００３４】
梃子ベース１５には、図４の部分断面図や図５の背面図で示すように、その中心において、出力軸用嵌入口４２が形成され、その周辺において、等ピッチで３個の伝達出力軸用嵌通口４１が形成されるとともに、背面において、各々の伝達出力軸用嵌通口４１の内側に、平行ピン用挿入口を穿孔した梃子架台部４３が設けられている。そして、３個の梃子架台部４３の間においては、平行ピン用挿入口を穿孔したレバー１６が、図１あるいは図２に示すように、回動可能に支持される。
【００３５】
そのために、ここでは、梃子架台部４３に穿孔された平行ピン用挿入口の軸線と、レバー１６に穿孔された平行ピン用挿入口の軸線とが重なり合うように、梃子架台部４３の間にレバー１６をセットし、それらの平行ピン用挿入口に平行ピン１７を軸通させることにより行っている。
【００３６】
一方、ハウジング２２の内部には、出力用コイルバネ１９が内蔵されており、出力用コイルバネ１９の上端には、コイルバネ押さえ１８が載置されている。そして、キャップ１１がハウジング２２の上部と螺合すると、コイルバネ押さえ１８の上面に、梃子ベース１５に回動可能に支持された３個のレバー１６の一端部が圧接することになる。さらに、このとき、コイルバネ押さえ１８の上面とピストン１３の間に、梃子ベース１５の伝達出力軸用嵌通口４１（図４、図５参照）を嵌通した伝達出力軸１４が介装される。
【００３７】
また、ハウジング２２の内部には、その中心線上において、出力軸２１がその下端を弁本体３側に貫いた状態で取り付けられている。そして、キャップ１１がハウジング２２の上部と螺合すると、出力軸２１に挿着された復帰用コイルバネ２０の両端が、ハウジング２２の底面と出力軸２１のフランジ部に圧接することになる。さらに、このとき、出力軸２１に形成された係合部には、梃子ベース１５に回動可能に支持された３個のレバー１６の他端部が圧接するとともに、出力軸２１の上端が、梃子ベース１５の出力軸用嵌入口４２（図４、図５参照）に嵌入されることになる。
【００３８】
さらに、ハウジング２２の下方に位置するフランジ部、つまり出力用コイルバネ１９の下端および復帰用コイルバネ２０の下端にその上面で当接し、ホルダー２３の上端にその下面が当接する部分に、カートリッジヒータ５が２本埋め込まれている。このカートリッジヒータ５は、ニクロム線からなる発熱コイルを耐熱合金に収納し、空間をセラミックコアで固定したものであって、図示しない温調機器により制御されるようになっている。なお、本実施の形態では、カートリッジヒータ５は、約２５０℃で温調される。
【００３９】
ここで、上記したようにハウジング２２と弁本体３とは螺合されて一体化されている。このため、ハウジング２２に埋め込まれたカートリッジヒータの位置が、ハウジング２２と弁本体３との組み付け方によって異なるおそれがある。そこで、本実施の形態では、ハウジング２２と弁本体３とが螺合するネジ部におけるネジの切り始めと切り終わりとを調整することにより、ハウジング２２と弁本体３とが組み付けられた状態では、カートリッジヒータ５の取付方向が常に同じになるようになっている。すなわち、後述するカートリッジヒータ６と同方向（流路ラインとほぼ直交する方向、図１でいうと紙面前後方向）に位置するようになっている。これにより、ヒータの配線などの取扱性がよく、特に図８に示すような集積タイプの流体制御弁であっても、隣り合う流体制御弁にカートリッジヒータ５が干渉するようなことはない。
【００４０】
なお、図６は、図１の線Ａ−Ａで切断した断面図であり、図７は、図１の線Ｂ−Ｂで切断した断面図である。
【００４１】
また、弁本体３には、入力ポート３１と出力ポート３２が形成されており、入力ポート３１の末端に位置する弁座２７や出力ポート３２の始端などは、ダイアフラム２６で覆われている。そして、ダイアフラム２６は、その周縁がホルダー２３の周縁突起部と当接しており、ハウジング２２の下部が弁本体３と螺合すると、ホルダー２３と弁本体３で挟持されることになる。さらに、このとき、ホルダー２３の中央部には、第１ステム２４が嵌装されているので、第１ステム２４の上面が、出力軸２１の下端に接面するとともに、第１ステム２４の下面は、第１ステム２４の下面に組み込まれた第２ステム２５を介して、ダイアフラム２６の上面に接面することになる。
【００４２】
さらに、弁本体３の下部にも、カートリッジヒータ６が２本埋め込まれている。このカートリッジヒータ６は、上記したカートリッジヒータ５と同じものである。このカートリッジヒータ６も、図示しない温調機器により、約２５０℃となるように制御される。
【００４３】
また、流体制御弁１のほぼ全体に断熱材７が装着されている。このようにして、流体制御弁１では、ハウジング２２および弁本体３に埋め込まれたカートリッジヒータ５，６によって、加熱するとともに断熱材７により保温している。これにより、２３０℃程度のプロセスガスを制御することができるようになっている。そして、２３０℃程度のプロセスガスを制御するために、流体制御弁１では、耐熱パッキン１２と第２ステム２５を除く全ての構成部品が金属材料から製作されており、例えば、ダイアフラム２６はＮｉ−Ｃｏ合金で、その他の構成部品の多くはＳＵＳ３１６Ｌで製作されている。
【００４４】
次に、本実施の形態の流体制御弁１の動作について説明する。図１に示すように、ノーマル時の出力軸２１においては、コイルバネ押さえ１８とレバー１６を介して、出力用コイルバネ１９の付勢力が弁本体３側に作用すると同時に、復帰用コイルバネ２０の付勢力がキャップ１１側に作用する。従って、出力用コイルバネ１９の付勢力が作用する方向と復帰用コイルバネ２０の付勢力が作用する方向が向き合うことになる。しかし、出力用コイルバネ１９の付勢力は、復帰用コイルバネ２０の付勢力より格段に大きく、さらに、レバー１６や梃子ベース１５などで構成された梃子機構により、梃子比を乗じた大きさに増加されて作用することから、ノーマル時の出力軸２１には、弁本体３側に大きな推力が発生することになる。そのため、ノーマル時の出力軸２１は、弁本体３側に前進し、その結果、出力軸２１の下端が第１ステム２４の上面に圧接して、第２ステム２５がダイアフラム２６を弁座２７に強く押しつけることができるので、ダイアフラム２６や弁座２７が金属製であっても、弁閉状態となる。
【００４５】
一方、弁閉状態にある流体制御弁１において、導入口３３を介して、駆動源たる圧縮空気を空気室３４に充填すると、図２に示すように、ピストン１３が圧縮空気の圧力を受けて弁本体３側に移動することになる。そして、ピストン１３が弁本体３側に移動すると、伝達出力軸１４を介して、コイルバネ押さえ１８も弁本体３側に移動し、出力用コイルバネ１９が圧縮されるので、レバー１６の一端部に出力用コイルバネ１９の付勢力が作用しなくなる。そのため、出力軸２１には、復帰用コイルバネ２０の付勢力しか作用せず、キャップ１１側に推力が発生するので、出力軸２１はキャップ１１側に後退することになる。その結果、出力軸２１の下端が第１ステム２４の上面に圧力を加えることが不可能となるので、ダイアフラム２６の反力により、第１ステム２４、第２ステム２５がキャップ１１側に押し上げられて、ダイアフラム２６が弁座２７から離間し、弁開状態に移行することになる。
【００４６】
そして、上記したように弁の開閉が行われることにより、流体制御弁１に高温のプロセスガスが流れる。このとき、流体制御弁１は、カートリッジヒータ５，６によって加熱されるとともに、断熱材７により保温されている。これにより、流体制御弁１において最も加熱され難かったダイアフラム２６も効率的に加熱される。特に、カートリッジヒータ５によって、ダイアフラム２６の背面（上面）からも加熱するので非常に効率よくダイアフラム２６を加熱することができる。したがって、流体制御弁１の内部でプロセスガスが接する部分の温度がほぼ均一となる。よって、プロセスガスの温度を低下させることがないので、使用しているプロセスガスが液化、析出することを確実に防止することができる。このため、プロセスガスの付着物が流路に送られて起こるパーティクルの発生が抑えられ、またはシール面に堆積して漏れの原因となったり、あるいは堆積により流路が絞られたりする（最悪の場合には流路が塞がれる）ことがないので、半導体製造の歩留まり低下を防止することができる。
【００４７】
以上、詳細に説明したように、本実施の形態に係る流体制御弁１には、ハウジング２２の下方に位置するフランジ部に、カートリッジヒータ５が２本埋め込まれているので、このカートリッジヒータ５により、ダイアフラム２６が上方（背面）から効率的に加熱される。したがって、従来は最も熱が伝わりにくかったダイアフラム２６へも効率的に熱を伝えることができ、ダイアフラム２６の温度を他の部分とほぼ同一にすることができる。
【００４８】
また、流体制御弁１では、出力用コイルバネ１９の付勢力を、レバー１６などを有する梃子機構の梃子比で増加させて作用させることにより、ロッド２１に前進方向（弁本体３側）の推力を発生させて、ダイアフラム２６を弁座２７に密着させて、「シール推力」を確保しているので、最低限必要な出力用コイルバネ１９の付勢力は、「シール推力」を梃子比で除した値となる。よって、「シール推力」を梃子比で除した値と「シール推力」の値との差に相当する分だけ、出力用コイルバネ１９の外径を最小化することが可能となり、出力用コイルバネ１９を内蔵するアクチュエータ２を小型化することができる。
【００４９】
また、流体制御弁１において、弁本体３とハウジング２２とを螺合させるネジ部には、弁本体３とハウジング２２とを組み付けたときにカートリッジヒータ５の取付方向が常に一定となるようにネジが形成されているので、カートリッジヒータ５の配線などの取扱性がよく、また、流体制御弁を集積して使用することもできる。
【００５０】
また、本発明に係る流体制御弁１には、弁本体３の下部にもカートリッジヒータ６が２本埋め込まれているので、ダイアフラム２６をより効率的に加熱することができる。
【００５１】
（第２の実施の形態）
次に、第２の実施の形態について説明する。そこで、第２の実施の形態に係る流体制御弁の概略構成を図９に示す。第２の実施の形態に係る流体制御弁は、いわゆる真空比例開閉弁である。そこで、第２の実施の形態に係る真空比例開閉弁の概略構成を図９および図１０に示す。図９は、ノーマル時の弁閉状態を示す断面図である。図１０は、非ノーマル時の弁開状態を示す断面図である。
【００５２】
真空比例開閉弁５１は、図９および図１０に示すように、大きく分けて下方の弁部と上方のアクチュエータ部とから構成され、弁本体５２とシリンダ５３とがシリンダアダプタ７５を介して一体に組み付けられている。その弁本体５２は、入力ポート６１および出力ポート６２が突設され、上方のシリンダ５３側に大きく開口した筒形のものであって弁室６３を形成し、入力ポート６１側内壁面が弁座面６４となっている。
【００５３】
一方、シリンダ５３は、シリンダ本体５４内を往復運動するピストン７１がダイアフラム７２を保持し、スプリング７３によって下方に付勢されている。シリンダ本体５４は、シリンダアダプタ７５とシリンダチューブ７６、そしてキャップ７７が一体に組み立てられたものである。ピストン７１には、パイプ状の出力軸８１が固定されており、その出力軸８１は、リニアブッシュ８７、シリンダアダプタ７５および樹脂プレート７８を貫いて弁室６３内に挿入されている。この出力軸８１の下端には、シール用のＯリングを保持した弁体８２が固定されている。そして、弁体８２とシリンダアダプタ７５（第２シリンダアダプタ７５ｂ）および弁本体５２に挟み込まれたベローズアダプタ８５との間に、ベローズ８３が接続されている。
【００５４】
ここで、シリンダアダプタ７５は、二分割されて、上方に位置する第１シリンダアダプタ７５ａと下方に位置する第２シリンダアダプタ７５ｂとから構成されている。そして、第１シリンダアダプタ７５ａと第２シリンダアダプタ７５ｂとの間には、断熱部材である樹脂プレート７８が設けられている。なお、樹脂プレート７８としては、例えば、ポリフェニレンサルファイド樹脂などの樹脂を使用すればよい。そして、リニアブッシュ８７の外周部を基準にして、リニアブッシュ８７に第２シリンダアダプタ７５ｂおよび樹脂プレート７８を貫通させ、上方から第１シリンダアダプタ７５ａが差し込まれている。これにより、径方向の組み付け精度が確保されている。
【００５５】
そして、こうした真空比例開閉弁５１には、プロセスガスの液化防止のため複数の加熱手段が設けられている。まず、弁本体５２を加熱するためにバンドヒータ９１がその周りに巻かれ、各ポート６１，６２部分にもバンドヒータ９２，９３が巻かれている。バンドヒータ９１，９２，９３は、シリコンラバーヒータであり、バンドヒータ９１には温度を計測するための熱電対を有している。
【００５６】
また、真空比例開閉弁５１には、弁体８２を加熱するために棒状ヒータ９４が弁体８２内に埋設されている。具体的には、出力軸８１内先端に棒状ヒータ９４が装填され、その出力軸８１の先端部分が弁体８２に対して嵌合されている。棒状ヒータ９４は、ニクロム線からなる発熱コイルを耐熱合金に収納し、空間をセラミックコアで固定したものである。
【００５７】
さらに、この真空比例開閉弁５１には、ベローズアダプタ８５を加熱するリングヒータ９５が設けられている。このリングヒータ９５は、図１１に示すように、環形状をしたものであり、内周に空気抜き用の凹み９５ａが形成されている。なお、図１１は、リングヒータ９５を示す平面図である。リングヒータ９５は、ニクロム線などの発熱体が絶縁体に埋め込まれたものであり、温度を計測するための熱電対９６，９６が設けられている。
【００５８】
一方、ベローズアダプタ８５は、図１２に示すように、周縁上に形成された挟持部８５ａの内側に、環状の凹部８５ｂが形成されたものである。また、第２シリンダアダプタ７５ｂには、リングヒータ９５の形状に合わせて環状溝が形成され、そこにシリコンスポンジ９７が接着されたリングヒータ９５がセットされている。そして、このリングヒータ９５を覆うようにして、ベローズアダプタ８５が組み込まれている。
【００５９】
そして、この真空比例開閉弁５１では、真空チャンバの真空排気を行う場合に、その真空チャンバ内の真空圧を調節するための開度調整が行われる。真空比例開閉弁５１は、ボックス５５内に収納された電磁弁を介してシリンダ５３に圧縮エアが供給され、ピストン７１が下方から加圧されて上昇し、図１０に示すように、弁体８２が弁座６４から離間して弁が開く。その際、ボックス５５内に収納されたポテンショメータによってピストン７１の位置検出が行われ、その検出信号に従いフィードバック制御されて正確な開度調整が行われる。
【００６０】
こうしてプロセスガスは、排気流量が調節されて吸引側へと引かれて流れるが、真空比例開閉弁５１ではプロセスガスが液化して付着しないように各種加熱手段の温度制御が行われている。真空比例開閉弁５１には不図示の温調器が２台用意され、そのうちの１台が、バンドヒータ９２，９３と棒状ヒータ９４とを並列につないだ弁本体５２用のバンドヒータ９１の温度調節を行い、もう１台が、リングヒータ９５の温度調節を行っている。
【００６１】
したがって、本実施の形態の真空比例開閉弁５１によれば、温度調節された各種加熱手段によって加熱される。また、第１シリンダアダプタ７５ａと第２シリンダアダプタ７５ｂとの間に樹脂プレート７８が設けられているので、樹脂プレート７８より上方、つまりアクチュエータ部に熱が逃げ難い。これにより、ベローズアダプタ８５およびこれに近いベローズ８３の上部が十分に加熱されるとともに、アクチュエータ部へ熱が逃げることを防止することができる。したがって、弁内でプロセスガスが接する部分の温度をほぼ均一にすることができる。具体的には、例えば、従来からプロセスガスの付着が生じやすかったベローズ８３上部の温度を測定したところ、従来のものと比べて２０〜３０℃程度上昇させることができた。
【００６２】
すなわち、第１シリンダアダプタ７５ａと第２シリンダアダプタ７５ｂとの間に樹脂プレート７８を設けたことにより、ベローズ８３上部の温度低下を抑えることができ、弁内でプロセスガスが接する部分の温度をほぼ均一化することができるのである。よって、プロセスガスの付着物が流路に送られて起こるパーティクルの発生を抑え、半導体製造の歩留まり低下を防止することができる。
【００６３】
ここで、第２の実施の形態の変形例について説明する。この変形例に係る真空比例開閉弁の概略構成を図１３に示す。図１３は、真空比例開閉弁５１ａの概略構成を示す断面図である。真空比例開閉弁５１ａは、上記した真空比例開閉弁５１とほぼ同様の構成を有するものであるが、シリンダアダプタ付近の構成が異なっている。したがって、以下の説明では、真空比例開閉弁５１と同じ構成のものについては図面に同符号を付して説明を省略し、相違点を中心に説明する。
【００６４】
真空比例開閉弁５１ａにおいても、図１３に示すように、シリンダアダプタが二分割されて第１シリンダアダプタ７５ｃと第２シリンダアダプタ７５ｄとから構成されている。そして、上記した真空比例開閉弁５１とは異なり、第１シリンダアダプタ７５ｃと第２シリンダアダプタ７５ｄとの間に樹脂プレートは設けられていない。その代わりに、複数本のスタットボルト（円周上に配置）７９が設けられ、これらのスタットボルト７９によって第１シリンダアダプタ７５ｃと第２シリンダアダプタ７５ｄとが連結されている。
【００６５】
これにより、第１シリンダアダプタ７５ｃと第２シリンダアダプタ７５ｄとの間には空気層が介在することになる。そして、この空気層が断熱効果を発揮するので、温度調節された各種加熱手段によって加熱された弁本体５２からアクチュエータ部へ熱が逃げ難い。したがって、ベローズアダプタ８５およびこれに近いベローズ８３の上部が十分に加熱されるとともに、アクチュエータ部へ熱が逃げることを防止することができる。よって、弁内でプロセスガスが接する部分の温度をほぼ均一にすることができる。
【００６６】
このように、第１シリンダアダプタ７５ｃと第２シリンダアダプタ７５ｄとの間に空気層を設けることによっても、ベローズ８３上部の温度低下を抑えることができ、弁内でプロセスガスが接する部分の温度をほぼ均一化することができる。
【００６７】
以上、詳細に説明したように、第２の実施の形態に係る真空比例開閉弁５１では、各種ヒータ９１，９２，９３，９４，９５を有し、第１シリンダアダプタ７５ａと第２シリンダアダプタ７５ｂとの間に樹脂プレート７８が設けられているので、各種ヒータ９１，９２，９３，９４，９５によって、弁本体５２が加熱されるとともに、樹脂プレート７８により断熱が行われる。このため、ベローズ上方からアクチュエータ部へ熱が逃げなくなり、ベローズ上方の温度低下を防止することができる。したがって、弁内で流体が接する部分の温度をほぼ均一にすることができる。
【００６８】
また、真空比例開閉弁５１では、シリンダアダプタ７５を出力軸方向に分割し、その分割した第１シリンダアダプタ７５ａと第２シリンダアダプタ７５ｂとの間に樹脂プレート７８を設けているので、アクチュエータ部および弁本体５２は、第１シリンダアダプタ７５ａおよび第２シリンダアダプタ７５ｂに接続されている。このため、樹脂プレート７８が熱収縮しても、アクチュエータおよび弁本体の外部シール性を十分に確保することができる。これにより、真空比例開閉弁５１では、外部シール性を十分に確保した上で、弁内で流体が接する部分の温度をほぼ均一化することができる。
【００６９】
なお、上記した実施の形態は単なる例示にすぎず、本発明を何ら限定するものではなく、その要旨を逸脱しない範囲内で種々の改良、変形が可能であることはもちろんである。例えば、第１の実施の形態では、ノーマルクローズドタイプの弁を例示したが、もちろん、本発明はノーマルオープンタイプの弁にも適用することができる。第２の実施の形態の変形例では、スタットボルト７９を用いて、第１シリンダアダプタ７５ｃと第２シリンダアダプタ７５ｄとの間に空気層を形成しているが、スタットボルトの代わりに金属製カラーあるいは樹脂製カラーなどを使用することもできる。
【００７０】
【発明の効果】
以上、説明した通り本発明に係る流体制御弁によれば、入力ポートと出力ポートとの間に弁座が形成された弁本体と、前記弁本体に組み付けられたアクチュエータとを備え、前記アクチュエータから弁本体内に挿入された出力軸の先端で弁体を前記弁座に押し当てて弁の開閉を行う流体制御弁において、前記弁体は、ダイアフラムであり、前記アクチュエータの下部であって前記ダイアフラムの上方となる位置にヒータを有するので、ダイアフラムが上方（背面）から効率的に加熱される。したがって、従来は最も熱が伝わり難かったダイアフラムへも効率的に熱を伝えることができ、ダイアフラムの温度を他の部分とほぼ同じにすることができる。
【００７１】
また、本発明の別の形態に係る流体制御弁によれば、入力ポートと出力ポートとの間に弁座が形成された弁本体と、前記弁本体にシリンダアダプタを介して組み付けられたアクチュエータとを備え、前記アクチュエータから弁本体内に挿入された出力軸の先端に弁体を固定して弁の開閉を行うものであって、前記出力軸を覆ったベローズが、前記弁本体と前記アクチュエータとの間に固定されたベローズアダプタと前記弁体とに接続されて流体漏れを防止する流体制御弁において、前記弁本体を加熱するヒータを有し、前記アクチュエータと前記弁本体との間に断熱部材が設けられているので、ヒータによって加熱されるとともに、アクチュエータと弁本体との間に設けられた断熱部材により断熱が行われる。このため、ベローズ上方からアクチュエータへ熱が逃げなくなり、ベローズ上方の温度低下を防止することができる。したがって、弁内で流体が接する部分の温度をほぼ均一にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施の形態に係る流体制御弁の概略構成を示す断面図であり、弁閉状態を示すものである。
【図２】第１の実施の形態に係る流体制御弁の概略構成を示す断面図であり、弁開状態を示すものである。
【図３】ヒータの挿入方向を示す流体制御弁の側面図である。
【図４】梃子ベースの部分断面図である
【図５】梃子ベースの背面図である。
【図６】図１に示すＡ−Ａ線における断面図である。
【図７】図１に示すＢ−Ｂ線における断面図である。
【図８】集積タイプの流体制御弁を示す断面図である。
【図９】第２の実施の形態に係る流体制御弁の概略構成を示す断面図であり、弁閉状態を示すものである。
【図１０】第２の実施の形態に係る流体制御弁の概略構成を示す断面図であり、弁開状態を示すものである。
【図１１】リングヒータの平面図である。
【図１２】ベローズアダプタの断面図である。
【図１３】第２の実施の形態に係る流体制御弁の変形例を示す断面図である。
【図１４】従来の加熱構造を備える流体制御弁を示す斜視図である。
【図１５】従来の加熱構造を備える別の流体制御弁を示す断面図である。
【符号の説明】
１流体制御弁
２アクチュエータ
３弁本体
５，６カートリッジヒータ
２１出力軸
２６ダイアフラム
２７弁座[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a fluid control valve having a heating structure. More specifically, the present invention relates to a fluid control valve that can make the temperature of a portion where fluid flowing in the valve comes into contact with the fluid control valve uniform. In particular, it is suitable for use in a semiconductor manufacturing process.
[0002]
[Prior art]
2. Description of the Related Art In a fluid control valve used in a semiconductor manufacturing apparatus, when a melting point of a process gas or the like to be used is low, it is conventionally heated so as not to liquefy or precipitate. As described above, when the fluid control valve is heated, when the process gas or the like is liquefied or precipitated, the precipitate is blown off to generate particles, which are mixed with the process gas or the like and lower the yield of semiconductor manufacturing. This is because they may accumulate on the seal surface and cause leakage, or the accumulation may cause the flow path to be narrowed (in the worst case, the flow path to be blocked).
[0003]
A fluid control valve having such a heating mechanism is disclosed in, for example, JP-A-10-299943 and JP-A-2001-173838. As disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-299943, as shown in FIG. 14, a pair of opposed side surfaces of a body 102 of a fluid controller 101 to be heated are abutted via insulating layers 113 and 112a. A pair of plate-shaped side heaters 112, a pair of side holding members 114, 115 having side heater fitting recesses 120 and connected to each other with screws 125 and holding the fluid controller body 102 from both sides, There is a cushion member 117 interposed between the bottom surface of the side heater fitting recess 120 and the side heater 112 to press the side heater 112 against the side surface of the fluid controller body 102.
[0004]
This allows the side heater 112 to be pressed against the side of the fluid controller body 102 by the cushion member 117 without interposing a separate heat conductive material between the fluid controller body 102 and the side heater 112. Can be done. Therefore, no air layer is formed between the fluid controller body 102 and the side heater 112, and the thermal efficiency is improved, so that the fluid control valve can be efficiently heated.
[0005]
As disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-173838, as shown in FIG. 15, a valve body heater 244 for heating the valve body 232 and a valve body heater 244 for heating the valve body 232 are provided. And a valve body heater 241 for heating the valve body 2, and further disposed on the actuator 203 side of the bellows adapter 235 for directly or indirectly contacting the bellows adapter 235 for heating. Heater 245.
[0006]
As a result, the bellows adapter and the upper part of the bellows which have not been sufficiently heated can be heated.
[0007]
[Patent Document 1]
JP-A-10-299943 (page 2, FIG. 1)
[Patent Document 2]
JP 2001-173838 A (Page 3, FIG. 1)
[0008]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the above-described Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 10-299943 and 2001-173838, there is a problem that the temperature of the portion where the fluid contacts the inside of the valve is not uniform.
[0009]
For example, in JP-A-10-299943, a sufficient heating effect cannot be obtained with respect to a fluid control valve having a diaphragm valve element. That is, as disclosed in JP-A-10-299943, even when heating and keeping the temperature from the outer surface of the fluid control valve using a heater, heat is hardly transmitted to the diaphragm valve body provided inside the fluid control valve. In addition, the temperature of the diaphragm becomes lower than the temperature of the other parts because it is easily affected by the temperature change due to the operation air flowing into and out of the actuator.
[0010]
Further, in the structure disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-173838, the temperature of a portion where the fluid contacts the inside of the valve varies. In particular, the temperature above the bellows was lower than in other parts. This is because the actuator disposed above the bellows is made of metal, so that heat escapes there.
[0011]
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-described problem, and has as its object to provide a fluid control valve capable of achieving uniform temperature in a portion where a fluid contacts a valve body.
[0012]
[Means for Solving the Problems]
A fluid control valve according to the present invention made to solve the above problems includes a valve body having a valve seat formed between an input port and an output port, and an actuator assembled to the valve body, In a fluid control valve which opens and closes a valve by pressing a valve body against the valve seat at a tip of an output shaft inserted into a valve body from the actuator, the valve body is a diaphragm, and is a lower part of the actuator. And a heater at a position above the diaphragm.
[0013]
In this fluid control valve, the valve is opened and closed by bringing the diaphragm, which is a valve body, into and out of contact with a valve seat via an output shaft by an actuator. Since the fluid control valve is provided with a heater at a position below the actuator and above the diaphragm, the heater efficiently heats the diaphragm from above (back surface). Therefore, heat can be efficiently transmitted to the diaphragm to which the heat is hardly transmitted in the past, and the temperature of the diaphragm can be made almost the same as the other parts.
[0014]
In the fluid control valve according to the aspect of the invention, the actuator may move forward the output shaft that engages with the other end of the lever by applying an urging force of an output coil spring to one end of the lever of the lever mechanism. By moving the piston receiving the pressure of the drive source and compressing the output coil spring, one end of the lever is released from the urging force of the output coil spring, and the urging force of the return coil spring is used. It is desirable that the output shaft be retracted.
[0015]
This is because the size of the actuator can be reduced while ensuring "seal thrust" with respect to the valve seat of the diaphragm. Because, in this fluid control valve, the diaphragm is brought into contact with and separated from the valve seat by an actuator including a lever mechanism having a lever and the like, a piston, an output shaft, an output coil spring, a return coil spring, and the like. That is, in the normal state, the urging force of the output coil spring acts on one end of the lever of the lever mechanism, and therefore, a forward thrust is generated on the output shaft engaged with the other end of the lever. Will adhere to the valve seat. On the other hand, in the non-normal state, the output coil spring is compressed by the piston moving under the pressure of the driving source, so that one end of the lever is released from the urging force of the output coil spring, and as a result, the return coil spring is released. Generates a thrust in the backward direction on the output shaft, so that the diaphragm is separated from the valve seat.
[0016]
Therefore, by increasing the urging force of the output coil spring at the lever ratio of the lever mechanism to act, a thrust in the forward direction is generated on the output shaft, and the diaphragm is brought into close contact with the valve seat to secure "seal thrust". Therefore, the minimum required biasing force of the output coil spring is a value obtained by dividing the “seal thrust” by the leverage ratio. Therefore, it is possible to minimize the outer diameter of the output coil spring by an amount corresponding to the difference between the value obtained by dividing the “seal thrust” by the leverage ratio and the value of the “seal thrust”, and incorporate the output coil spring. The actuator can be reduced in size.
[0017]
Further, in the fluid control valve according to the present invention, the screw portion for screwing the valve body and the actuator is formed with a screw so that the mounting direction of the heater is always constant when the valve body and the actuator are assembled. It is desirable to have been.
[0018]
In the fluid control valve according to the present invention, since the valve body and the actuator are screwed and integrated, the position of the heater attached to the lower portion of the actuator may change every time depending on how the valve body and the actuator are assembled. There is. Then, the handleability of the heater wiring becomes extremely poor, and the fluid control valve cannot be used in an integrated manner.
[0019]
Therefore, in this fluid control valve, the screw of the screw portion for screwing the valve body and the actuator is formed so that the mounting direction of the heater is always constant when the valve body and the actuator are assembled. That is, by adjusting the start and end of the threading of the threaded portion, the mounting direction of the heater is always constant when the valve body and the actuator are assembled. Thereby, the handleability of the heater wiring and the like is good, and the fluid control valve can be integrated and used.
[0020]
Further, in the fluid control valve according to the present invention, it is preferable that a heater is provided also in a lower portion of the valve body. By doing so, the diaphragm can be heated more efficiently.
[0021]
In addition, a fluid control valve according to the present invention that has been made to solve the above problems has a valve body in which a valve seat is formed between an input port and an output port, and is assembled to the valve body via a cylinder adapter. The valve body is fixed to the tip of an output shaft inserted into the valve body from the actuator, and opens and closes the valve, wherein the bellows covering the output shaft comprises the valve body. A fluid control valve connected to the bellows adapter and the valve body fixed between the actuator and the actuator to prevent fluid leakage, the heater having a heater for heating the valve body; It is characterized in that a heat insulating member is provided therebetween.
[0022]
The fluid control valve is heated by the heater and is insulated by a heat insulating member provided between the actuator and the valve body. That is, by providing the heat insulating member provided between the actuator and the valve body, it becomes difficult for heat to escape to the actuator. For this reason, heat does not escape from above the bellows to the actuator, and it is possible to prevent a temperature drop above the bellows. Therefore, it is possible to make the temperature of the portion of the valve in contact with the fluid substantially uniform.
[0023]
In addition, a fluid control valve according to the present invention that has been made to solve the above problems has a valve body in which a valve seat is formed between an input port and an output port, and is assembled to the valve body via a cylinder adapter. The valve body is fixed to the tip of an output shaft inserted into the valve body from the actuator, and opens and closes the valve, wherein the bellows covering the output shaft comprises the valve body. A fluid control valve connected to the bellows adapter fixed between the actuator and the actuator and the valve body for preventing fluid leakage, the heater having a heater for heating the valve body, and the cylinder adapter being connected to the output shaft The heat insulating member is provided between the divided cylinder adapters.
[0024]
Also in this fluid control valve, heat is heated by the heater and heat insulation is performed by the heat insulating member provided between the divided cylinder adapters, so that heat does not escape from above the bellows to the actuator, and a temperature drop above the bellows is prevented. be able to. Therefore, it is possible to make the temperature of the portion of the valve in contact with the fluid substantially uniform.
[0025]
Further, in this fluid control valve, the cylinder adapter is divided in the output shaft direction, and a heat insulating member is provided between the divided cylinder adapters. Thus, the actuator and the valve body are connected to the divided cylinder adapter, so that even when the heat insulating member is thermally contracted, sufficient external sealing of the actuator and the valve body can be ensured. In other words, this fluid control valve can make the temperature of the portion in the valve in contact with the fluid substantially uniform while ensuring sufficient external sealability.
[0026]
In the fluid control valve according to the present invention, a resin plate may be used as the heat insulating member. Specifically, a resin having a thermal conductivity of 0.3 (W / M · ° C.) or less may be used.
[0027]
In addition, a fluid control valve according to the present invention that has been made to solve the above problems has a valve body in which a valve seat is formed between an input port and an output port, and is assembled to the valve body via a cylinder adapter. The valve body is fixed to the tip of an output shaft inserted into the valve body from the actuator, and opens and closes the valve, wherein the bellows covering the output shaft comprises the valve body. A fluid control valve connected to the bellows adapter fixed between the actuator and the actuator and the valve body for preventing fluid leakage, the heater having a heater for heating the valve body, and the cylinder adapter being connected to the output shaft And the divided cylinder adapters are connected by a plurality of columns.
[0028]
Also in this fluid control valve, the cylinder adapter is divided in the output axis direction, and the divided cylinder adapters are connected by a plurality of columns. Therefore, an air layer is interposed between the divided cylinder adapters. That is, in this fluid control valve, an air layer is interposed instead of providing a heat insulating member between the divided cylinder adapters. Since the heat insulating effect can be obtained by interposing the air layer in this manner, the temperature of the portion of the valve where the fluid contacts can be made substantially uniform. In addition, since the cylinder adapter is divided as described above, sufficient external sealability is ensured.
[0029]
The air layer may be formed in the cylinder adapter without dividing the cylinder adapter.
[0030]
Here, a stat bolt may be used as the support. Instead of the stud bolt, a collar (either resin or metal) may be used.
Any one of the above-described fluid control valves is preferably used in a semiconductor manufacturing apparatus. This is because the temperature of a portion where the process gas or the like contacts the inside of the valve can be made uniform, and thus the process gas or the like does not liquefy or precipitate and generate particles.
[0031]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, the most preferred embodiment of the fluid control valve of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The present embodiment is a fluid control valve used in a semiconductor manufacturing apparatus for controlling a high-temperature process gas.
[0032]
(First Embodiment)
First, a first embodiment will be described. Therefore, a schematic configuration of the fluid control valve according to the first embodiment is shown in FIGS. FIG. 1 is a cross-sectional view showing a valve closed state in a normal state. FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating a non-normal valve open state. FIG. 3 is a side view showing the insertion direction of the heater in the fluid control valve. As shown in FIGS. 1 and 2, the fluid control valve 1 can be roughly classified into a housing 22, a cap 11 screwed to an upper portion of the housing 22, and a valve body 3 screwed to a lower portion of the housing 22.
[0033]
A piston 13 is inserted into the cap 11, and an air chamber 34 is formed by sealing the inside of the cap 11 and the outer periphery of the piston 13 with a heat-resistant packing 12. The air chamber 34 communicates with the outside via the inlet 33. The lever base 15 is provided inside the cap 11 so that the cap 11 is screwed into the upper part of the housing 22 so as to be sandwiched between the cap 11 and the housing 22.
[0034]
As shown in the partial cross-sectional view of FIG. 4 and the rear view of FIG. 5, the lever base 15 is formed with an output shaft fitting inlet 42 at the center thereof, and three transmission output shafts at equal pitch around the center thereof. In addition to the insertion hole 41 formed therein, a lever mount 43 having a parallel pin insertion hole is provided inside the transmission output shaft insertion hole 41 on the rear surface. A lever 16 having a parallel pin insertion hole is rotatably supported between the three lever bases 43, as shown in FIG. 1 or FIG.
[0035]
For this purpose, here, the lever is inserted between the lever mounts 43 so that the axis of the parallel pin insertion hole drilled in the lever mount 43 and the axis of the parallel pin insert drilled in the lever 16 overlap. 16 are set, and the parallel pins 17 are passed through the insertion holes for the parallel pins.
[0036]
On the other hand, an output coil spring 19 is built in the housing 22, and a coil spring retainer 18 is mounted on the upper end of the output coil spring 19. When the cap 11 is screwed into the upper part of the housing 22, one ends of the three levers 16 rotatably supported by the lever base 15 are pressed against the upper surface of the coil spring retainer 18. Further, at this time, the transmission output shaft 14 into which the transmission output shaft insertion opening 41 (see FIGS. 4 and 5) of the lever base 15 is inserted is interposed between the upper surface of the coil spring retainer 18 and the piston 13. .
[0037]
The output shaft 21 is attached to the inside of the housing 22 with its lower end penetrating the valve body 3 on its center line. When the cap 11 is screwed into the upper part of the housing 22, both ends of the return coil spring 20 inserted into the output shaft 21 are pressed against the bottom surface of the housing 22 and the flange of the output shaft 21. Further, at this time, the other ends of the three levers 16 rotatably supported by the lever base 15 are brought into pressure contact with the engaging portions formed on the output shaft 21, and the upper ends of the output shafts 21 are The lever shaft 15 is fitted into the output shaft fitting port 42 (see FIGS. 4 and 5).
[0038]
Further, the cartridge heater 5 is attached to a portion of the flange located below the housing 22, that is, a portion of the lower surface of the output coil spring 19 and the lower portion of the return coil spring 20 which abuts on the upper surface thereof and the upper surface of the holder 23 abuts on the lower surface thereof. Two are embedded. The cartridge heater 5 has a heating coil made of a nichrome wire housed in a heat-resistant alloy and has a space fixed with a ceramic core, and is controlled by a temperature controller (not shown). In this embodiment, the temperature of the cartridge heater 5 is controlled at about 250 ° C.
[0039]
Here, the housing 22 and the valve body 3 are screwed and integrated as described above. Therefore, the position of the cartridge heater embedded in the housing 22 may be different depending on how the housing 22 and the valve body 3 are assembled. Therefore, in the present embodiment, by adjusting the start and end of the threading at the threaded portion where the housing 22 and the valve body 3 are screwed together, in a state where the housing 22 and the valve body 3 are assembled, The mounting direction of the cartridge heater 5 is always the same. That is, it is located in the same direction as a cartridge heater 6 described later (a direction substantially orthogonal to the flow path line, a front-rear direction in FIG. 1). Thereby, the handleability of the heater wiring and the like is good, and the cartridge heater 5 does not interfere with an adjacent fluid control valve, especially in the case of an integrated fluid control valve as shown in FIG.
[0040]
6 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 1, and FIG. 7 is a cross-sectional view taken along line BB in FIG.
[0041]
Further, an input port 31 and an output port 32 are formed in the valve body 3, and the valve seat 27 located at the end of the input port 31, the starting end of the output port 32, and the like are covered with the diaphragm 26. The diaphragm 26 has its peripheral edge in contact with the peripheral projection of the holder 23, and when the lower part of the housing 22 is screwed into the valve body 3, the diaphragm 26 is sandwiched between the holder 23 and the valve body 3. Further, at this time, since the first stem 24 is fitted in the center of the holder 23, the upper surface of the first stem 24 contacts the lower end of the output shaft 21 and the lower surface of the first stem 24 Will come into contact with the upper surface of the diaphragm 26 via the second stem 25 built into the lower surface of the first stem 24.
[0042]
Further, two cartridge heaters 6 are embedded in the lower portion of the valve body 3. The cartridge heater 6 is the same as the cartridge heater 5 described above. The temperature of the cartridge heater 6 is also controlled to about 250 ° C. by a temperature controller (not shown).
[0043]
Further, a heat insulating material 7 is attached to almost the entire fluid control valve 1. Thus, the fluid control valve 1 is heated by the cartridge heaters 5 and 6 embedded in the housing 22 and the valve body 3 and is kept warm by the heat insulating material 7. Thereby, the process gas at about 230 ° C. can be controlled. In order to control the process gas at about 230 ° C., in the fluid control valve 1, all the components except the heat-resistant packing 12 and the second stem 25 are made of a metal material. It is a Co alloy, and many other components are made of SUS316L.
[0044]
Next, the operation of the fluid control valve 1 of the present embodiment will be described. As shown in FIG. 1, in the normal output shaft 21, the urging force of the output coil spring 19 acts on the valve body 3 via the coil spring holder 18 and the lever 16, and at the same time, the urging force of the return coil spring 20. Acts on the cap 11 side. Therefore, the direction in which the biasing force of the output coil spring 19 acts and the direction in which the biasing force of the return coil spring 20 acts are opposed to each other. However, the urging force of the output coil spring 19 is much larger than the urging force of the return coil spring 20, and further increased to a magnitude multiplied by the lever ratio by a lever mechanism including the lever 16 and the lever base 15. Therefore, a large thrust is generated in the output shaft 21 in the normal state on the valve body 3 side. Therefore, the output shaft 21 in the normal state advances to the valve body 3 side, and as a result, the lower end of the output shaft 21 presses against the upper surface of the first stem 24, and the second stem 25 connects the diaphragm 26 to the valve seat 27. Since it can be pressed strongly, even if the diaphragm 26 and the valve seat 27 are made of metal, the valve is in a closed state.
[0045]
On the other hand, in the fluid control valve 1 in the valve closed state, when compressed air as a driving source is filled into the air chamber 34 through the inlet 33, the piston 13 receives the pressure of the compressed air as shown in FIG. It will move to the valve body 3 side. When the piston 13 moves toward the valve body 3, the coil spring retainer 18 also moves toward the valve body 3 via the transmission output shaft 14, and the output coil spring 19 is compressed. The urging force of the coil spring 19 does not work. Therefore, only the urging force of the return coil spring 20 acts on the output shaft 21 and a thrust is generated on the cap 11 side, so that the output shaft 21 retreats toward the cap 11 side. As a result, it becomes impossible for the lower end of the output shaft 21 to apply pressure to the upper surface of the first stem 24, and the first stem 24 and the second stem 25 are pushed up to the cap 11 side by the reaction force of the diaphragm 26. As a result, the diaphragm 26 separates from the valve seat 27 and shifts to the valve open state.
[0046]
Then, by opening and closing the valve as described above, a high-temperature process gas flows through the fluid control valve 1. At this time, the fluid control valve 1 is heated by the cartridge heaters 5 and 6 and is kept warm by the heat insulating material 7. As a result, the diaphragm 26 that has been hardly heated in the fluid control valve 1 is also efficiently heated. In particular, since the cartridge heater 5 also heats the back surface (upper surface) of the diaphragm 26, the diaphragm 26 can be heated very efficiently. Therefore, the temperature of the portion of the fluid control valve 1 where the process gas comes into contact is substantially uniform. Therefore, since the temperature of the process gas is not reduced, it is possible to reliably prevent the used process gas from being liquefied and precipitated. For this reason, the generation of particles that occur when the deposit of the process gas is sent to the flow path is suppressed, or is deposited on the sealing surface to cause leakage, or the flow path is narrowed by the deposition (in the worst case). In this case, the flow path is not blocked), so that a decrease in the yield of semiconductor manufacturing can be prevented.
[0047]
As described above in detail, in the fluid control valve 1 according to the present embodiment, two cartridge heaters 5 are embedded in the flange portion located below the housing 22. The diaphragm 26 is efficiently heated from above (back side). Therefore, heat can be efficiently transmitted to the diaphragm 26 where heat was hardly transmitted in the past, and the temperature of the diaphragm 26 can be made substantially the same as the other parts.
[0048]
In the fluid control valve 1, the thrust in the forward direction (the valve body 3 side) is applied to the rod 21 by increasing the urging force of the output coil spring 19 at the lever ratio of the lever mechanism having the lever 16 and the like. Since the diaphragm 26 is brought into close contact with the valve seat 27 to secure “seal thrust”, the minimum necessary biasing force of the output coil spring 19 is a value obtained by dividing the “seal thrust” by the leverage ratio. It becomes. Therefore, it is possible to minimize the outer diameter of the output coil spring 19 by an amount corresponding to the difference between the value obtained by dividing the “seal thrust” by the leverage ratio and the value of the “seal thrust”. The built-in actuator 2 can be downsized.
[0049]
In the fluid control valve 1, the screw portion for screwing the valve body 3 and the housing 22 is screwed so that the mounting direction of the cartridge heater 5 is always constant when the valve body 3 and the housing 22 are assembled. Is formed, the handleability of the wiring of the cartridge heater 5 and the like are good, and the fluid control valve can be integrated and used.
[0050]
Further, in the fluid control valve 1 according to the present invention, since two cartridge heaters 6 are embedded in the lower part of the valve body 3, the diaphragm 26 can be heated more efficiently.
[0051]
(Second embodiment)
Next, a second embodiment will be described. Therefore, FIG. 9 shows a schematic configuration of a fluid control valve according to the second embodiment. The fluid control valve according to the second embodiment is a so-called vacuum proportional on-off valve. Therefore, a schematic configuration of a vacuum proportional on-off valve according to the second embodiment is shown in FIGS. FIG. 9 is a cross-sectional view showing a normally closed valve closed state. FIG. 10 is a cross-sectional view showing a non-normal valve open state.
[0052]
As shown in FIGS. 9 and 10, the vacuum proportional on-off valve 51 is roughly divided into a lower valve portion and an upper actuator portion, and the valve body 52 and the cylinder 53 are integrally formed via a cylinder adapter 75. It is assembled. The valve body 52 has a cylindrical shape with an input port 61 and an output port 62 projecting therefrom, and a large opening on the upper cylinder 53 side to form a valve chamber 63. The surface 64 is provided.
[0053]
On the other hand, in the cylinder 53, a piston 71 that reciprocates in the cylinder body 54 holds a diaphragm 72 and is urged downward by a spring 73. The cylinder body 54 is formed by integrally assembling a cylinder adapter 75, a cylinder tube 76, and a cap 77. A pipe-shaped output shaft 81 is fixed to the piston 71, and the output shaft 81 is inserted into the valve chamber 63 through the linear bush 87, the cylinder adapter 75, and the resin plate 78. At the lower end of the output shaft 81, a valve body 82 holding an O-ring for sealing is fixed. A bellows 83 is connected between the valve body 82, the cylinder adapter 75 (second cylinder adapter 75 b), and the bellows adapter 85 sandwiched between the valve body 52.
[0054]
Here, the cylinder adapter 75 is divided into two parts, and is composed of a first cylinder adapter 75a located above and a second cylinder adapter 75b located below. Further, a resin plate 78 as a heat insulating member is provided between the first cylinder adapter 75a and the second cylinder adapter 75b. In addition, as the resin plate 78, for example, a resin such as polyphenylene sulfide resin may be used. The second cylinder adapter 75b and the resin plate 78 are passed through the linear bush 87 with reference to the outer peripheral portion of the linear bush 87, and the first cylinder adapter 75a is inserted from above. Thereby, the assembling accuracy in the radial direction is ensured.
[0055]
The vacuum proportional on-off valve 51 is provided with a plurality of heating means for preventing liquefaction of the process gas. First, a band heater 91 is wound around the valve body 52 to heat it, and band heaters 92 and 93 are also wound around the ports 61 and 62. The band heaters 91, 92, and 93 are silicon rubber heaters, and the band heater 91 has a thermocouple for measuring a temperature.
[0056]
In the vacuum proportional on-off valve 51, a rod-shaped heater 94 is embedded in the valve body 82 to heat the valve body 82. Specifically, a rod-shaped heater 94 is mounted on the inner end of the output shaft 81, and the end of the output shaft 81 is fitted to the valve element 82. The rod-shaped heater 94 has a heating coil made of a nichrome wire housed in a heat-resistant alloy, and the space is fixed by a ceramic core.
[0057]
Further, the vacuum proportional on-off valve 51 is provided with a ring heater 95 for heating the bellows adapter 85. As shown in FIG. 11, the ring heater 95 has a ring shape, and has an air vent recess 95a formed on the inner periphery. FIG. 11 is a plan view showing the ring heater 95. The ring heater 95 has a heating element such as a nichrome wire embedded in an insulator, and is provided with thermocouples 96 for measuring the temperature.
[0058]
On the other hand, as shown in FIG. 12, the bellows adapter 85 has an annular concave portion 85b formed inside a holding portion 85a formed on the peripheral edge. An annular groove is formed in the second cylinder adapter 75b according to the shape of the ring heater 95, and the ring heater 95 having the silicon sponge 97 bonded thereto is set. A bellows adapter 85 is incorporated so as to cover the ring heater 95.
[0059]
When the vacuum chamber is evacuated, the opening of the vacuum proportional on-off valve 51 is adjusted to adjust the vacuum pressure in the vacuum chamber. In the vacuum proportional on-off valve 51, compressed air is supplied to the cylinder 53 via an electromagnetic valve housed in a box 55, and the piston 71 is pressurized from below and rises, and as shown in FIG. Is separated from the valve seat 64 to open the valve. At this time, the position of the piston 71 is detected by a potentiometer housed in the box 55, and feedback control is performed in accordance with the detection signal to perform accurate opening adjustment.
[0060]
In this way, the process gas is adjusted in exhaust flow rate and drawn to the suction side to flow. The vacuum proportional on-off valve 51 controls the temperature of various heating means so that the process gas does not liquefy and adhere. The vacuum proportional on-off valve 51 is provided with two temperature controllers (not shown), one of which is provided with a temperature of a band heater 91 for a valve body 52 in which band heaters 92 and 93 and a rod-shaped heater 94 are connected in parallel. The temperature of the ring heater 95 is adjusted by the other unit.
[0061]
Therefore, according to the vacuum proportional on-off valve 51 of the present embodiment, it is heated by various heating means whose temperature is adjusted. Further, since the resin plate 78 is provided between the first cylinder adapter 75a and the second cylinder adapter 75b, it is difficult for heat to escape above the resin plate 78, that is, to the actuator portion. Thus, the bellows adapter 85 and the upper portion of the bellows 83 close to the bellows adapter 85 are sufficiently heated, and the heat can be prevented from escaping to the actuator section. Therefore, it is possible to make the temperature of the portion of the valve in contact with the process gas substantially uniform. More specifically, for example, when the temperature of the upper part of the bellows 83 where the deposition of the process gas was apt to occur was measured, the temperature could be increased by about 20 to 30 ° C. as compared with the conventional one.
[0062]
That is, by providing the resin plate 78 between the first cylinder adapter 75a and the second cylinder adapter 75b, it is possible to suppress a decrease in the temperature of the upper part of the bellows 83, and to reduce the temperature of the portion of the valve where the process gas comes into contact. It can be made uniform. Therefore, it is possible to suppress the generation of particles generated when the deposit of the process gas is sent to the flow path, and to prevent a decrease in the yield of semiconductor manufacturing.
[0063]
Here, a modified example of the second embodiment will be described. FIG. 13 shows a schematic configuration of a vacuum proportional on-off valve according to this modification. FIG. 13 is a sectional view showing a schematic configuration of the vacuum proportional on-off valve 51a. The vacuum proportional on-off valve 51a has substantially the same configuration as the above-described vacuum proportional on-off valve 51, but differs in the configuration near the cylinder adapter. Therefore, in the following description, the same components as those of the vacuum proportional on-off valve 51 will be denoted by the same reference numerals in the drawings, and description thereof will be omitted, and differences will be mainly described.
[0064]
Also in the vacuum proportional on-off valve 51a, as shown in FIG. 13, the cylinder adapter is divided into two parts, and is composed of a first cylinder adapter 75c and a second cylinder adapter 75d. Unlike the above-described vacuum proportional on-off valve 51, no resin plate is provided between the first cylinder adapter 75c and the second cylinder adapter 75d. Instead, a plurality of stud bolts (disposed on the circumference) 79 are provided, and the first cylinder adapter 75c and the second cylinder adapter 75d are connected by these stud bolts 79.
[0065]
Thus, an air layer is interposed between the first cylinder adapter 75c and the second cylinder adapter 75d. And since this air layer exhibits a heat insulating effect, it is difficult for heat to escape from the valve main body 52 heated by various temperature-controlled heating means to the actuator portion. Accordingly, the bellows adapter 85 and the upper portion of the bellows 83 near the bellows adapter 85 are sufficiently heated, and the heat can be prevented from escaping to the actuator section. Therefore, it is possible to make the temperature of the portion in the valve in contact with the process gas substantially uniform.
[0066]
As described above, by providing an air layer between the first cylinder adapter 75c and the second cylinder adapter 75d, it is also possible to suppress a decrease in the temperature of the upper part of the bellows 83, and to reduce the temperature of the portion of the valve where the process gas contacts. It can be made almost uniform.
[0067]
As described above in detail, the vacuum proportional on-off valve 51 according to the second embodiment includes various heaters 91, 92, 93, 94, and 95, and includes a first cylinder adapter 75a and a second cylinder adapter 75b. The valve body 52 is heated by various heaters 91, 92, 93, 94, and 95, and heat insulation is performed by the resin plate 78. Therefore, heat does not escape from above the bellows to the actuator portion, and it is possible to prevent a temperature drop above the bellows. Therefore, it is possible to make the temperature of the portion of the valve in contact with the fluid substantially uniform.
[0068]
Further, in the vacuum proportional on-off valve 51, the cylinder adapter 75 is divided in the output axis direction, and the resin plate 78 is provided between the divided first cylinder adapter 75a and the second cylinder adapter 75b. The valve body 52 is connected to a first cylinder adapter 75a and a second cylinder adapter 75b. For this reason, even if the resin plate 78 thermally contracts, sufficient external sealing properties of the actuator and the valve body can be ensured. Thereby, in the vacuum proportional on-off valve 51, the temperature of the portion where the fluid contacts the inside of the valve can be made substantially uniform, while the external sealing property is sufficiently ensured.
[0069]
It should be noted that the above-described embodiment is merely an example, and does not limit the present invention in any way. Needless to say, various improvements and modifications can be made without departing from the gist of the invention. For example, in the first embodiment, a normally closed type valve is illustrated, but of course, the present invention can be applied to a normally open type valve. In the modified example of the second embodiment, the air layer is formed between the first cylinder adapter 75c and the second cylinder adapter 75d by using the stat bolt 79. Alternatively, a resin collar or the like can be used.
[0070]
【The invention's effect】
As described above, according to the fluid control valve according to the present invention, the fluid control valve includes a valve body having a valve seat formed between an input port and an output port, and an actuator attached to the valve body. In a fluid control valve that opens and closes a valve by pressing a valve body against the valve seat at a tip of an output shaft inserted into a valve body, the valve body is a diaphragm, and the diaphragm is a lower part of the actuator and the diaphragm , The diaphragm is heated efficiently from above (back side). Therefore, heat can be efficiently transmitted to the diaphragm to which heat has hardly been transmitted in the past, and the temperature of the diaphragm can be made almost the same as the other parts.
[0071]
Further, according to the fluid control valve according to another aspect of the present invention, a valve body having a valve seat formed between an input port and an output port, and an actuator assembled to the valve body via a cylinder adapter. Comprising a valve body fixed to a tip of an output shaft inserted into the valve body from the actuator to open and close the valve, wherein a bellows covering the output shaft comprises the valve body and the actuator. A fluid control valve connected to the bellows adapter fixed between the valve body and the valve body to prevent fluid leakage, comprising a heater for heating the valve body, and a heat insulating member between the actuator and the valve body. Is provided, so that it is heated by the heater and is insulated by the heat insulating member provided between the actuator and the valve body. For this reason, heat does not escape from above the bellows to the actuator, and it is possible to prevent a temperature drop above the bellows. Therefore, it is possible to make the temperature of the portion of the valve in contact with the fluid substantially uniform.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a sectional view showing a schematic configuration of a fluid control valve according to a first embodiment, and shows a valve closed state.
FIG. 2 is a sectional view showing a schematic configuration of the fluid control valve according to the first embodiment, and shows a valve open state.
FIG. 3 is a side view of the fluid control valve showing a direction in which a heater is inserted.
FIG. 4 is a partial sectional view of a lever base.
FIG. 5 is a rear view of the lever base.
FIG. 6 is a sectional view taken along line AA shown in FIG. 1;
FIG. 7 is a cross-sectional view taken along the line BB shown in FIG.
FIG. 8 is a sectional view showing an integrated type fluid control valve.
FIG. 9 is a cross-sectional view illustrating a schematic configuration of a fluid control valve according to a second embodiment, showing a valve closed state.
FIG. 10 is a cross-sectional view illustrating a schematic configuration of a fluid control valve according to a second embodiment, showing a valve open state.
FIG. 11 is a plan view of a ring heater.
FIG. 12 is a sectional view of a bellows adapter.
FIG. 13 is a sectional view showing a modification of the fluid control valve according to the second embodiment.
FIG. 14 is a perspective view showing a fluid control valve having a conventional heating structure.
FIG. 15 is a cross-sectional view showing another fluid control valve including a conventional heating structure.
[Explanation of symbols]
1 Fluid control valve
2 Actuator
3 Valve body
5,6 cartridge heater
21 Output shaft
26 Diaphragm
27 valve seat

Claims

A valve body having a valve seat formed between an input port and an output port, and an actuator assembled to the valve body, wherein the valve body is moved at the tip of an output shaft inserted into the valve body from the actuator. In a fluid control valve that opens and closes a valve by pressing against a valve seat,
The valve body is a diaphragm,
A fluid control valve having a heater at a position below the actuator and above the diaphragm.

The fluid control valve according to claim 1,
The actuator is configured such that the biasing force of the output coil spring acts on one end of the lever of the lever mechanism to advance the output shaft engaged with the other end of the lever, while the piston receives the pressure of the drive source. Is moved to compress the output coil spring, thereby releasing one end of the lever from the urging force of the output coil spring, and retracting the output shaft by the urging force of the return coil spring. And a fluid control valve.

In the fluid control valve according to claim 1 or 2,
A screw is formed in a screw portion for screwing the valve body and the actuator such that the mounting direction of the heater is always constant when the valve body and the actuator are assembled. And a fluid control valve.

The fluid control valve according to any one of claims 1 to 3,
A fluid control valve, further comprising a heater below the valve body.

A valve body having a valve seat formed between an input port and an output port; and an actuator assembled to the valve body via a cylinder adapter, and a tip of an output shaft inserted into the valve body from the actuator. The valve body is fixed to open and close the valve, and a bellows covering the output shaft is connected to the bellows adapter fixed between the valve body and the actuator and the valve body. In a fluid control valve for preventing fluid leakage,
Having a heater for heating the valve body,
A fluid control valve, wherein a heat insulating member is provided between the actuator and the valve body.

A valve body having a valve seat formed between an input port and an output port; and an actuator assembled to the valve body via a cylinder adapter, and a tip of an output shaft inserted into the valve body from the actuator. The valve body is fixed to open and close the valve, and a bellows covering the output shaft is connected to the bellows adapter fixed between the valve body and the actuator and the valve body. In a fluid control valve for preventing fluid leakage,
Having a heater for heating the valve body,
The cylinder adapter is divided in the output shaft direction,
A fluid control valve, wherein a heat insulating member is provided between the divided cylinder adapters.

In the fluid control valve according to claim 5 or 6,
The said heat insulation member is a resin plate, The fluid control valve characterized by the above-mentioned.

A valve body having a valve seat formed between an input port and an output port; and an actuator assembled to the valve body via a cylinder adapter, and a tip of an output shaft inserted into the valve body from the actuator. The valve body is fixed to open and close the valve, and a bellows covering the output shaft is connected to the bellows adapter fixed between the valve body and the actuator and the valve body. In a fluid control valve for preventing fluid leakage,
Having a heater for heating the valve body,
The cylinder adapter is divided in the output shaft direction,
A fluid control valve, wherein the divided cylinder adapters are connected by a plurality of columns.

The fluid control valve according to claim 8,
The said support | pillar is a stud bolt, The fluid control valve characterized by the above-mentioned.

In any one of the fluid control valves according to claims 1 to 9,
A fluid control valve for use in a semiconductor manufacturing apparatus.