JP2004265100A - Flexible sensor and input device using the same and method for manufacturing flexible sensor - Google Patents

Flexible sensor and input device using the same and method for manufacturing flexible sensor Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a flexible sensor which can be freely attached to an article. <P>SOLUTION: A peeling layer 3 is provided with extendibility, insulating performance and peeling performance so that a flexible sensor from which a carrier sheet 2 is peeled can be attached to surfaces of articles of various shapes. The flexible sensor 1 is formed of an orthogonal coordinate system constituted of a first electrode layer 4 and a second electrode layer 6, and a predetermined capacitance C is formed between them. When the finger or the like is made to approach or brought into contact with the surface of an overcoat layer 7, capacitance C is changed so that coordinate positions can be detected by detecting a change in the capacitance as a voltage. It is therefore possible to provide various input devices by attaching the flexible sensor 1 to the surfaces of the articles in various shapes. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO&NCIPI

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、自由曲面に自在に貼り付けることが可能なフレキシブルセンサおよびそれを用いた入力装置並びにフレキシブルセンサの製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来この種の技術としては、例えば特許文献1および特許文献2などに記載された回路基板に関するものが存在する。
【0003】
特許文献1に記載されたものは、基板2に基板凸部6を形成するとともに、この基板2の表面に形成された基板電極3にも前記基板電極凸部7に倣う基板凸部6を成形した構成である。
【0004】
特許文献2に記載されたものは、プラスチック板1の表面に銅箔3を接着した後に、レジストにより保護層10を形成してエッチングを行い、余分な銅箔を除去して印刷配線図3a,3b、3cを形成する。そして、前記プラスチック板1を金型間に挟んで熱プレスすることにより、所定の形状に仕上げるというものである。
【0005】
【特許文献1】
実開昭64−20763号公報
【特許文献2】
特開昭56−111287号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記特許文献1に記載された回路基板で金属製のタガネ等で叩き出す事により成形するものであり、また特許文献2に記載の回路基板は、熱プレスすることにより任意の形状とするものであるため、いずれも回路基板としての自由度に欠けるものであった。すなわち、回路基板を任意の形状に変形する場合には、このような面倒な作業を行なう必要があり、作業性に欠けていた。
【0007】
また、回路基板の形状に変更があった場合に、即座に対応することが困難であるとともに、回路基板を複雑な形状に倣わせることは難しいという問題もある。
【0008】
本発明は上記従来の課題を解決するためのものであり、自由曲面に自在に貼り付けることが可能なフレキシブルセンサおよびそれを用いた入力装置並びにフレキシブルセンサの製造方法を提供することを目的としている。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明のフレキシブルセンサは、伸張性、絶縁性および剥離性を備えたマスキング材をキャリアシート上に印刷して形成された剥離層と、前記剥離層の上に設けられた複数のパターン線からなる第1の電極層と、前記第1の電極層の表面を覆う絶縁性のレジスト層と、前記レジスト層の上に前記第1の電極層に対向して設けられた複数のパターン線からなる第2の電極層と、前記第2の電極層の表面を覆うオーバーコート層と、を有することを特徴とするものである。
【0010】
上記において、前記第1の電極層と前記第2の電極層との間に所定の電圧を印加することにより静電容量を形成し、前記第1の電極層の個々の電極と前記第2の電極層の個々の電極との間の前記静電容量の変化を検出する検出手段が設けられているものが好ましい。
【0011】
例えば、前記第1の電極層がX方向に延びるX方向の電極層であり、前記第2の電極層が第1の電極層に直交するY方向に延びるY方向の電極層であり、前記第1の電極層と前記第2の電極層とによって直交座標系が形成されているものとすることができ、あるいは前記第1の電極層が緯度線で形成され、前記第2の電極層が経度線で形成されており、前記第1の電極層と前記第2の電極層によって球面座標系が形成されているものとすることができる。
【0012】
また本発明は上記いずれかのフレキシブルセンサを用いた入力装置であって、前記剥離層から前記キャリアを剥離させた後に前記剥離層の表面に接着層を形成し、対象となる曲面上に前記接着層を介して固定されていることを特徴とするものである。
【0013】
さらに本発明のフレキシブルセンサの製造方法は、ベースとなるキャリアシートの表面に、伸張性、絶縁性および剥離性を備えたマスキング材を印刷して剥離層を形成する工程と、前記剥離層の上に複数のパターン線からなる第1の電極層を形成する工程と、前記第1の電極層の表面を絶縁性のレジスト層で覆う工程と、前記レジスト層の上に前記第1の電極層に対向する複数のパターン線からなる第2の電極層を形成する工程と、前記第2の電極層の表面をオーバーコート層で覆う工程と、からなることを特徴とするものである。
【0014】
【発明の実施の形態】
図1は本発明のフレキシブルセンサを拡大して示す断面図、図2は本発明のフレキシブルセンサの利用形態を示す図である。
【0015】
図1に示すように、フレキシブルセンサ1の最下層にはベースとなるキャリアシート2が設けられている。前記キャリアシートは例えばPET(ポリエチレンテレフタレート)やPP(ポリプロピレン)など薄手のシート状の基材で形成されている。
【0016】
前記キャリアシート2の表面には剥離層3が設けられている。前記剥離層3は、伸張性、可撓性および絶縁性に優れたゾル状態のマスキング材をコーティングしたものである。前記剥離層3を形成する材料としては、例えば株式会社アサヒ化学研究所製のSTRIPMASK(登録商標)などであり、これを膜厚30〜60μm程度でスクリーン印刷した後に所定の温度による乾燥工程を経ることによって形成されている。
【0017】
前記剥離層3の表面には、図示X方向に延びる複数の細いパターン線からなるX方向の電極層(第1の電極層)4が形成されている。前記X方向の電極層4は、剥離層3の表面に膜厚6μm程度の銅箔を印刷した後に、フォトレジストにより銅箔の上に保護層を形成することにより、所定のパターン線を形成したものである。
【0018】
前記剥離層3の上には、前記X方向の電極層4を覆い隠すレジスト層5が設けられている。前記レジスト層5は例えばポリイミドなどアクリル系の材料で形成されており、その膜厚は約25μm程度である。また前記レジスト層5は、前記剥離層3と同程度の伸張性を有している。
【0019】
そして、このレジスト層5の表面には、前記X方向の電極層4に対向するとともに図示Y方向に延びる複数の細いパターン線からなるY方向の電極層(第2の電極層)6が形成されている。前記Y方向の電極層6は、前記X方向の電極層4と同じ方法で形成されており、その膜厚は約6μm程度である。
【0020】
そして、最上層には前記Y方向の電極層6を被覆するオーバーコート層7が設けられている。前記オーバーコート層7は前記レジスト5と同じ材料で形成されており、その膜厚は約20μm程度である。
【0021】
上記フレキシブルセンサ1の全体の膜厚は、約0.1mmと非常に薄く、全体としての可撓性に優れている。
【0022】
前記フレキシブルセンサ1では、前記X方向の電極層4とY方向の電極層6とがレジスト層5を介して互いに直交しており、各電極どうしがマトリックス状の直交座標系を形成している。このようなX方向の電極層4とY方向の電極層6との間に所定の電圧を与えると、X方向の電極層4を形成する個々の電極とY方向の電極層6を形成する個々の電極との間に静電容量Cが形成される。
【0023】
そして、指などをオーバーコート層7上の任意の箇所に近づけると、その付近のX方向の電極層4とY方向の電極層6との間の電気力線が減少して電界に乱れが生じるため、前記静電容量Cが減少する。
【0024】
よって、X方向の電極層4とY方向の電極層6の間の個々の電極をスキャンして各電圧を検出する検出手段(図示せず)を設けることにより、指が接近または接触したフレキシブルセンサ1上の座標を求めることが可能となる。すなわち、上記フレキシブルセンサ1は、平面上の座標の位置を検出可能な入力装置(位置センサ)としての機能を有している。
【0025】
上記フレキシブルセンサ1では、前記剥離層3から最下層に設けられているキャリアシート2のみを剥離させることが可能となっている。前記キャリアシート2の膜厚と、剥離層3ないしオーバーコート層7までの膜厚を比較すると、キャリアシート2の方が厚い。よって、キャリアシート2が剥離された後のフレキシブルセンサ1の総膜厚は極めて薄くなる。しかも剥離層3は伸張性に優れており、その伸び率は極めて高い。よって、キャリアシート2を剥離した後のフレキシブルセンサ1の接合面(キャリアシート2が設けられていた面)3aを球面や円筒の表面など様々な形状の物の表面(自由曲面)、より詳しくはガウス曲率がゼロでない曲面に沿うように当てがうと、ほとんど皺が形成されることなく倣うように貼ることが可能である。
【0026】
よって、図2に示すように、剥離層3の接合面3aに例えば両面テープなどからなる接着層を設けることにより、球面や円筒などの自由曲面10の表面にフレキシブルセンサ1を倣わせた状態で貼り付け固定することができる。
【0027】
また、フレキシブルセンサ1は優れた可撓性を有するため、例えば鋭角な面の表面に貼り付けた場合であっても、内部のX方向の電極層4およびY方向の電極層6を構成する個々の電極どうしがショートし、あるいは切断するようなこともない。
【0028】
よって、フレキシブルセンサ1により自由曲面10上に座標軸を形成することができるとともに、自由曲面10に指などを接近または接触させた場合には、前記自由曲面10上のどの位置に指が接近しまたは接触したのかを検出することが可能となる。
【0029】
なお、前記第1の電極層4と第2の電極層6は、互いにマトリックス状に配線され直交座標系を形成したもので説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば第1の電極層を緯度線で形成し、且つ第2の電極層を経度線で形成することにより、球面座標系を構成するものであってもよい。
【0030】
この場合、前記フレキシブルセンサ1をボールの全面に皺なく貼り付けることにより、ボールを握ったときの握り方(例えば、ホークボールの握り方であるか、カーブの握り方であるかなど)を検出することができる。あるいはボールを打ったり、蹴った場合には、衝撃が与えられたボールの球面上の位置を検出することが可能な入力装置を構成することができる。よって、例えば野球ゲームやサッカーゲームなどのコンピュータゲームの入力装置として、前記ボールを使用することが可能となる。
【0031】
【発明の効果】
以上のように本発明では、自由な曲面に倣って自在に貼り付けることが可能なフレキシブルセンサを提供することができる。
【0032】
またフレキシブルセンサ内に座標を検出可能な電極層を形成することにより、様々な入力装置(位置センサ)を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のフレキシブルセンサを拡大して示す断面図、
【図2】図2は本発明のフレキシブルセンサの利用形態を示す図、
【符号の説明】
1 フレキシブルセンサ
2 キャリアシート
3 剥離層
3a 接合面
4 第1の電極層
5 レジスト層
6 第2の電極層
7 オーバーコート層
10 自由曲面
[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a flexible sensor that can be freely attached to a free-form surface, an input device using the same, and a method for manufacturing a flexible sensor.
[0002]
[Prior art]
2. Description of the Related Art Conventionally, as this kind of technology, there is a technology relating to a circuit board described in, for example, Patent Document 1 and Patent Document 2.
[0003]
The one described in Patent Document 1 forms a substrate protrusion 6 on the substrate 2 and also forms the substrate protrusion 3 on the substrate electrode 3 formed on the surface of the substrate 2 so as to follow the substrate electrode protrusion 7. This is the configuration.
[0004]
In the method described in Patent Document 2, after a copper foil 3 is adhered to the surface of a plastic plate 1, a protective layer 10 is formed with a resist, and etching is performed to remove the excess copper foil. 3b and 3c are formed. Then, the plastic plate 1 is hot-pressed between molds to finish it into a predetermined shape.
[0005]
[Patent Document 1]
Japanese Utility Model Application Laid-Open No. 64-20763 [Patent Document 2]
JP-A-56-111287 [0006]
[Problems to be solved by the invention]
However, the circuit board described in Patent Literature 1 is formed by beating out with a metal rag or the like, and the circuit board described in Patent Literature 2 is formed into an arbitrary shape by hot pressing. Therefore, each of them lacks a degree of freedom as a circuit board. That is, when the circuit board is deformed into an arbitrary shape, it is necessary to perform such a troublesome operation, and the workability is lacking.
[0007]
In addition, it is difficult to immediately respond to a change in the shape of the circuit board, and it is also difficult to make the circuit board follow a complicated shape.
[0008]
An object of the present invention is to solve the above-mentioned conventional problems, and an object of the present invention is to provide a flexible sensor that can be freely attached to a free-form surface, an input device using the same, and a method of manufacturing the flexible sensor. .
[0009]
[Means for Solving the Problems]
The flexible sensor of the present invention includes a release layer formed by printing a masking material having extensibility, insulation and release properties on a carrier sheet, and a plurality of pattern lines provided on the release layer. A first electrode layer, an insulating resist layer covering a surface of the first electrode layer, and a plurality of pattern lines provided on the resist layer so as to face the first electrode layer. And an overcoat layer covering the surface of the second electrode layer.
[0010]
In the above, a capacitance is formed by applying a predetermined voltage between the first electrode layer and the second electrode layer, and an individual electrode of the first electrode layer and the second electrode are connected to each other. It is preferable that detection means for detecting a change in the capacitance between each electrode of the electrode layer and each electrode is provided.
[0011]
For example, the first electrode layer is an X-direction electrode layer extending in the X-direction, the second electrode layer is a Y-direction electrode layer extending in the Y-direction orthogonal to the first electrode layer, and An orthogonal coordinate system may be formed by the first electrode layer and the second electrode layer, or the first electrode layer may be formed by latitude lines, and the second electrode layer may be formed by longitude. The first electrode layer and the second electrode layer may form a spherical coordinate system.
[0012]
Further, the present invention is an input device using any one of the flexible sensors described above, wherein an adhesive layer is formed on a surface of the release layer after the carrier is released from the release layer, and the adhesive is formed on a target curved surface. It is characterized by being fixed via a layer.
[0013]
Further, the method for manufacturing a flexible sensor according to the present invention includes a step of printing a masking material having extensibility, insulation and release properties on the surface of a base carrier sheet to form a release layer; Forming a first electrode layer consisting of a plurality of pattern lines, covering the surface of the first electrode layer with an insulating resist layer, and forming the first electrode layer on the resist layer. Forming a second electrode layer including a plurality of pattern lines facing each other; and covering a surface of the second electrode layer with an overcoat layer.
[0014]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
FIG. 1 is an enlarged sectional view showing a flexible sensor of the present invention, and FIG. 2 is a diagram showing a use form of the flexible sensor of the present invention.
[0015]
As shown in FIG. 1, the lowermost layer of the flexible sensor 1 is provided with a carrier sheet 2 serving as a base. The carrier sheet is formed of a thin sheet-like base material such as PET (polyethylene terephthalate) or PP (polypropylene).
[0016]
A release layer 3 is provided on the surface of the carrier sheet 2. The release layer 3 is formed by coating a masking material in a sol state having excellent extensibility, flexibility and insulating properties. The material for forming the release layer 3 is, for example, STRIPMASK (registered trademark) manufactured by Asahi Chemical Laboratory Co., Ltd., which is subjected to screen printing with a film thickness of about 30 to 60 μm, and then subjected to a drying process at a predetermined temperature. It is formed by.
[0017]
On the surface of the release layer 3, an X-direction electrode layer (first electrode layer) 4 composed of a plurality of fine pattern lines extending in the X-direction is formed. The electrode layer 4 in the X direction formed a predetermined pattern line by printing a copper foil having a thickness of about 6 μm on the surface of the release layer 3 and then forming a protective layer on the copper foil with a photoresist. Things.
[0018]
On the release layer 3, a resist layer 5 for covering the electrode layer 4 in the X direction is provided. The resist layer 5 is formed of, for example, an acrylic material such as polyimide, and has a thickness of about 25 μm. The resist layer 5 has the same degree of extensibility as the release layer 3.
[0019]
Then, on the surface of the resist layer 5, an electrode layer (second electrode layer) 6 in the Y direction, which is formed of a plurality of thin pattern lines extending in the illustrated Y direction and facing the electrode layer 4 in the X direction, is formed. ing. The electrode layer 6 in the Y direction is formed in the same manner as the electrode layer 4 in the X direction, and has a thickness of about 6 μm.
[0020]
The uppermost layer is provided with an overcoat layer 7 covering the electrode layer 6 in the Y direction. The overcoat layer 7 is formed of the same material as the resist 5, and has a thickness of about 20 μm.
[0021]
The overall thickness of the flexible sensor 1 is very thin, about 0.1 mm, and is excellent in flexibility as a whole.
[0022]
In the flexible sensor 1, the electrode layer 4 in the X direction and the electrode layer 6 in the Y direction are orthogonal to each other via the resist layer 5, and each electrode forms a matrix-like orthogonal coordinate system. When a predetermined voltage is applied between the X-direction electrode layer 4 and the Y-direction electrode layer 6, the individual electrodes forming the X-direction electrode layer 4 and the individual electrodes forming the Y-direction electrode layer 6 are formed. The capacitance C is formed between these electrodes.
[0023]
Then, when a finger or the like is brought closer to an arbitrary position on the overcoat layer 7, the lines of electric force between the X-direction electrode layer 4 and the Y-direction electrode layer 6 therearound are reduced, and the electric field is disturbed. Therefore, the capacitance C decreases.
[0024]
Therefore, by providing a detecting means (not shown) for scanning each electrode between the electrode layer 4 in the X direction and the electrode layer 6 in the Y direction to detect each voltage, a flexible sensor to which a finger approaches or contacts is provided. 1 can be obtained. That is, the flexible sensor 1 has a function as an input device (position sensor) that can detect the position of coordinates on a plane.
[0025]
In the flexible sensor 1, only the carrier sheet 2 provided in the lowermost layer can be peeled from the peeling layer 3. Comparing the film thickness of the carrier sheet 2 with the film thickness of the release layer 3 to the overcoat layer 7, the carrier sheet 2 is thicker. Therefore, the total thickness of the flexible sensor 1 after the carrier sheet 2 has been peeled off is extremely thin. Moreover, the release layer 3 has excellent extensibility, and its elongation is extremely high. Therefore, the bonding surface (the surface on which the carrier sheet 2 is provided) 3a of the flexible sensor 1 after the carrier sheet 2 has been peeled off is changed to the surface (free-form surface) of an object having various shapes such as a spherical surface or a cylindrical surface. When applied so as to follow a curved surface having a Gaussian curvature that is not zero, it is possible to adhere so as to imitate almost without forming wrinkles.
[0026]
Therefore, as shown in FIG. 2, by providing an adhesive layer made of, for example, a double-sided tape on the bonding surface 3 a of the release layer 3, the flexible sensor 1 can follow the surface of the free-form surface 10 such as a spherical surface or a cylinder. It can be stuck and fixed.
[0027]
Further, since the flexible sensor 1 has excellent flexibility, even if the flexible sensor 1 is attached to, for example, an acute-angled surface, the individual components constituting the internal X-direction electrode layer 4 and Y-direction electrode layer 6 are formed. The electrodes are not short-circuited or disconnected.
[0028]
Therefore, the coordinate axis can be formed on the free-form surface 10 by the flexible sensor 1, and when a finger or the like approaches or contacts the free-form surface 10, the position on the free-form surface 10 where the finger approaches or It is possible to detect whether the contact has been made.
[0029]
Although the first electrode layer 4 and the second electrode layer 6 are described as being wired in a matrix and forming an orthogonal coordinate system, the present invention is not limited to this. A spherical coordinate system may be formed by forming one electrode layer with a latitude line and forming the second electrode layer with a longitude line.
[0030]
In this case, by attaching the flexible sensor 1 to the entire surface of the ball without wrinkling, a gripping method (for example, a gripping method of a fork ball or a curve) is detected when the ball is gripped. can do. Alternatively, it is possible to configure an input device capable of detecting the position on the spherical surface of the ball to which an impact is applied when the ball is hit or kicked. Therefore, the ball can be used as an input device for a computer game such as a baseball game or a soccer game.
[0031]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, it is possible to provide a flexible sensor that can be freely attached according to a free curved surface.
[0032]
By forming an electrode layer capable of detecting coordinates in the flexible sensor, various input devices (position sensors) can be provided.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is an enlarged sectional view showing a flexible sensor according to the present invention;
FIG. 2 is a diagram showing a use form of the flexible sensor of the present invention;
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Flexible sensor 2 Carrier sheet 3 Release layer 3a Joining surface 4 First electrode layer 5 Resist layer 6 Second electrode layer 7 Overcoat layer 10 Free-form surface

Claims (6)

伸張性、絶縁性および剥離性を備えたマスキング材をキャリアシート上に印刷して形成された剥離層と、前記剥離層の上に設けられた複数のパターン線からなる第1の電極層と、前記第1の電極層の表面を覆う絶縁性のレジスト層と、前記レジスト層の上に前記第1の電極層に対向して設けられた複数のパターン線からなる第2の電極層と、前記第2の電極層の表面を覆うオーバーコート層と、を有することを特徴とするフレキシブルセンサ。An exfoliation layer, an exfoliation layer formed by printing a masking material having an insulating property and an exfoliation property on a carrier sheet, and a first electrode layer including a plurality of pattern lines provided on the exfoliation layer, An insulating resist layer covering a surface of the first electrode layer, a second electrode layer including a plurality of pattern lines provided on the resist layer so as to face the first electrode layer, A flexible sensor, comprising: an overcoat layer covering a surface of the second electrode layer. 前記第1の電極層と前記第2の電極層との間に所定の電圧を印加することにより静電容量を形成し、前記第1の電極層の個々の電極と前記第2の電極層の個々の電極との間の前記静電容量の変化を検出する検出手段が設けられている請求項1記載のフレキシブルセンサ。A predetermined voltage is applied between the first electrode layer and the second electrode layer to form a capacitance, and the individual electrodes of the first electrode layer and the second electrode layer The flexible sensor according to claim 1, further comprising a detection unit configured to detect a change in the capacitance between each of the electrodes. 前記第1の電極層がX方向に延びるX方向の電極層であり、前記第2の電極層が第1の電極層に直交するY方向に延びるY方向の電極層であり、前記第1の電極層と前記第2の電極層とによって直交座標系が形成されている請求項1または2記載のフレキシブルセンサ。The first electrode layer is an X-direction electrode layer extending in the X-direction; the second electrode layer is a Y-direction electrode layer extending in the Y-direction orthogonal to the first electrode layer; 3. The flexible sensor according to claim 1, wherein an orthogonal coordinate system is formed by the electrode layer and the second electrode layer. 前記第1の電極層が緯度線で形成され、前記第2の電極層が経度線で形成されており、前記第1の電極層と前記第2の電極層によって球面座標系が形成されている請求項1または2記載のフレキシブルセンサ。The first electrode layer is formed of latitude lines, the second electrode layer is formed of longitude lines, and the first electrode layer and the second electrode layer form a spherical coordinate system. The flexible sensor according to claim 1. 請求項1ないし4のいずれか記載のフレキシブルセンサを用いた入力装置であって、
前記剥離層から前記キャリアを剥離させた後に前記剥離層の表面に接着層が形成され、対象となる自由曲面上に前記接着層を介して固定されていることを特徴とするフレキシブルセンサを用いた入力装置。
An input device using the flexible sensor according to any one of claims 1 to 4,
An adhesive layer was formed on the surface of the release layer after the carrier was released from the release layer, and a flexible sensor was used, which was fixed on the target free-form surface via the adhesive layer. Input device.
ベースとなるキャリアシートの表面に、伸張性、絶縁性および剥離性を備えたマスキング材を印刷して剥離層を形成する工程と、前記剥離層の上に複数のパターン線からなる第1の電極層を形成する工程と、前記第1の電極層の表面を絶縁性のレジスト層で覆う工程と、前記レジスト層の上に前記第1の電極層に対向する複数のパターン線からなる第2の電極層を形成する工程と、前記第2の電極層の表面をオーバーコート層で覆う工程と、からなることを特徴とするフレキシブルセンサの製造方法。Forming a release layer by printing a masking material having extensibility, insulation and release properties on the surface of the base carrier sheet; and a first electrode comprising a plurality of pattern lines on the release layer Forming a layer, covering the surface of the first electrode layer with an insulating resist layer, and forming a second pattern line on the resist layer, the plurality of pattern lines facing the first electrode layer. A method for manufacturing a flexible sensor, comprising: forming an electrode layer; and covering the surface of the second electrode layer with an overcoat layer.
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