JP2004264148A - 撮影装置およびこれを利用するレーザー干渉縞計測装置とレーザー波面計測装置、並びにレーザー干渉縞計測方法とレーザー波面計測方法 - Google Patents
撮影装置およびこれを利用するレーザー干渉縞計測装置とレーザー波面計測装置、並びにレーザー干渉縞計測方法とレーザー波面計測方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】光線3を遮断あるいは通過させるシャッタ4と該シャッタ4を通過した光線3を撮影する撮像手段5とを有する撮影装置1において、シャッタ4は、光線3が入射されると共に高周波電流が与えられたときに光線3の回折光6を射出する音響光学素子7と、該音響光学素子7に高周波電流を付与可能な高周波電源8とを備えると共に、撮像手段5は回折光6を撮影する。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、撮影装置およびこれを利用するレーザー干渉縞計測装置とレーザー波面計測装置、並びにレーザー干渉縞計測方法とレーザー波面計測方法に関する。更に詳述すると、本発明は、レーザー干渉縞およびレーザー波面を高速撮影するのに適した撮影装置およびこれを利用するレーザー干渉縞計測装置とレーザー波面計測装置、並びにレーザー干渉縞計測方法とレーザー波面計測方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
レーザー干渉計などで生成されたレーザー干渉縞をマイクロ秒単位で切り出して測定するために、レーザービームを超高速カメラに入射して撮影し、得られた画像に基づいて測定する手法が考えられる。
【0003】
また、レーザー波面をマイクロ秒単位で切り出して測定するために、超高速カメラを利用したレーザー波面測定器を使用することが考えられる。
【0004】
一方、音響光学偏向器を用いてレーザビームを走査してフィルム面上に投影し、画像を記録する手法が開発されている(特開2001−100323)。
【0005】
【特許文献1】
特開2001−100323公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した超高速カメラは構造が複雑であるため高価になってしまう。このため、レーザー干渉縞やレーザー波面のマイクロ秒単位の測定を安価に行うのは困難であった。
【0007】
また、超高速カメラではマイクロチャネルプレートを用いたイメージインテンシファイアにより光感度を倍増するものが多いので、レーザービームを直接入射すると光量が大きすぎてマイクロチャネルプレートを破損する可能性がある。このため、超高速カメラをレーザー干渉縞やレーザー波面の測定に用いるのは困難である。
【0008】
一方、音響光学偏向器を用いてレーザービームを走査してフィルム面上に画像を記録する手法では、レーザービーム自体の強度分布を記録するものでは無いと共にレーザービームをマイクロ秒単位で切り出すものでは無いので、レーザー干渉縞やレーザー波面のマイクロ秒単位での測定に応用するのは困難である。
【0009】
そこで、本発明は、高輝度のレーザービームを入射しても破損の虞が無いと共に安価に測定することができる撮影装置およびこれを利用するレーザー干渉縞計測装置とレーザー波面計測装置、並びにレーザー干渉縞計測方法とレーザー波面計測方法を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
かかる目的を達成するため、請求項1記載の発明は、光線を遮断あるいは通過させるシャッタと該シャッタを通過した光線を撮影する撮像手段とを有する撮影装置において、シャッタは、光線が入射されると共に高周波電流が与えられたときに光線の回折光を射出する音響光学素子と、該音響光学素子に高周波電流を付与可能な高周波電源とを備えると共に、撮像手段は回折光を撮影するようにしている。
【0011】
したがって、音響光学素子に高周波電流を与えた時にのみ光線が回折されて撮像手段により撮影されるので、高周波電流を例えばマイクロ秒単位で与えることにより高速撮影を行うことができるようになる。また、従来の超高速カメラに比べて構造が簡易であるため安価になる。さらに、従来の超高速カメラで使用されているマイクロチャネルプレートを用いないので、高輝度の光線を入射しても装置を破損する虞が極めて小さい。
【0012】
また、請求項2記載の発明は、レーザー干渉縞を計測するレーザー干渉縞計測装置において、光線としてレーザービームが入射されると共にレーザービームの回折光を撮影してレーザー干渉縞を計測するための画像を得る請求項1記載の撮影装置を備えるようにしている。
【0013】
したがって、従来の超高速カメラによりレーザー干渉縞のマイクロ秒単位の計測を行う場合に比べて安価に行うことができると共に、高輝度のレーザービームを入射しても撮影装置を破損する虞を極めて小さくすることができる。
【0014】
ここで、請求項3記載の発明は、請求項2記載のレーザー干渉縞計測装置において、撮像手段はCCDカメラであるようにしている。したがって、汎用のCCDカメラを用いることができるので、マイクロ秒単位の高速撮影が可能なレーザー干渉縞計測装置を安価に得ることができる。
【0015】
また、請求項4記載の発明は、請求項2または3記載のレーザー干渉縞計測装置において、レーザー干渉縞はレーザー干渉計により生成されたものであるようにしている。したがって、レーザー干渉計において例えば放電現象により生成されたマイクロ秒単位のレーザー干渉縞を撮影して計測することができる。
【0016】
そして、請求項5記載の発明は、レーザー波面を計測するレーザー波面計測装置において、光線としてレーザービームが入射されると共にレーザービームの回折光を撮影してレーザー波面を計測するための画像を得る請求項1記載の撮影装置を備えるようにしている。
【0017】
したがって、従来の超高速カメラを用いてレーザー波面のマイクロ秒単位の計測を行う場合に比べて安価に行うことができると共に、高輝度のレーザービームを入射しても撮影装置を破損する虞を極めて小さくすることができる。
【0018】
また、請求項6記載の発明は、請求項5記載のレーザー波面計測装置において、撮像手段はレーザー波面測定器であるようにしている。したがって、マイクロ秒単位の高速測定が可能なレーザー波面計測装置を安価に得ることができる。
【0019】
一方、請求項7記載の発明は、レーザー干渉縞を計測するレーザー干渉縞計測方法において、レーザービームを音響光学素子に入射し、音響光学素子に高周波電流を与えてレーザービームの回折光を射出させ、この回折光を撮像手段で撮影して得られた画像からレーザー干渉縞を計測するようにしている。また、請求項9記載の発明は、レーザー波面を計測するレーザー波面計測方法において、レーザービームを音響光学素子に入射し、音響光学素子に高周波電流を与えてレーザービームの回折光を射出させ、この回折光を撮像手段で撮影して得られた画像からレーザー波面を計測するようにしている。
【0020】
したがって、音響光学素子に高周波電流を与えた時にのみレーザービームが回折されて撮像手段により撮影されるので、高周波電流を例えばマイクロ秒単位で与えることにより高速撮影を行うことができるようになる。また、従来の超高速カメラに比べて構造が簡易であるため安価になる。さらに、従来の超高速カメラで使用されているマイクロチャネルプレートを用いないので、高輝度のレーザービームを入射しても装置を破損する虞が極めて小さい。
【0021】
また、請求項8記載の発明は、請求項7記載のレーザー干渉縞計測方法において、高周波電流の周波数を異ならせることにより回折光の回折角度を変化させて回折光を撮影フレームの異なる領域に投射させ、単一のフレームに複数の回折光の画像を記録するようにしている。さらに、請求項10記載の発明は、請求項9記載のレーザー波面計測方法において、高周波電流の周波数を異ならせることにより回折光の回折角度を変化させて回折光を撮影フレームの異なる領域に投射させ、単一のフレームに複数の回折光の画像を記録するようにしている。したがって、単一のフレームに複数の回折光を記録することができるので、経時変化を容易に比較観察できるようになる。
【0022】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の構成を図面に示す最良の形態に基づいて詳細に説明する。
【0023】
図1に、本発明の撮影装置1をレーザー干渉縞計測装置2に適用した実施形態の一例を示す。この撮影装置1は、光線3を遮断あるいは通過させるシャッタ4と該シャッタ4を通過した光線3を撮影する撮像手段5とを有するものである。そして、シャッタ4は、光線3が入射されると共に高周波電流が与えられたときに光線3の回折光6を射出する音響光学素子7と、該音響光学素子7に高周波電流を付与可能な高周波電源8とを備えるようにしている。また、撮像手段5は回折光6を撮影するようにしている。よって、音響光学素子7に高周波電流を与えた時にのみ光線3が回折されて、これを撮像手段5により撮影することができる。このため、高周波電流を例えばマイクロ秒単位で与えることにより高速撮影を行うことができるようになる。
【0024】
撮像手段5はCCDカメラであるようにしている。このため、汎用の安価なCCDカメラを用いてレーザー干渉縞計測装置2のコスト増を抑えることができる。ここで、汎用のCCDカメラではシャッタ速度は通常のビデオレートである1/30秒または1/60秒であるが、高周波電流を音響光学素子7にマイクロ秒単位で与えることにより高速撮影を行うことができるようになる。また、撮像手段5の撮像面の前には干渉フィルタ9が設置されている。これにより、例えば光線3がレーザービームであるときに背景光をカットして計測の精度を高めることができる。
【0025】
音響光学素子7は、図2に示すように、高周波電流が与えられると音響波を発する音響トランスデューサ10と、音響波が与えられた時は入射光を周波数に応じた角度に偏向して射出すると共に音響波が与えられない時は入射光を偏向せずに通過させる音響光学結晶11とを備えている。入力される高周波電流としては、例えば5V、92MHzの1種類としている。
【0026】
図1に示すように、音響光学素子7の非回折光25の光路と撮像手段5との間には遮蔽板12が設けられている。これにより、非回折光25が撮像手段5に投射されることを防止できる。
【0027】
また、高周波電源8と撮像手段5には、各々に同期したトリガ信号を与えて作動させるパルスジェネレータ13が接続されている。パルスジェネレータ13が高周波電源8にトリガ信号を与えて高周波電流を出力させているときに光線3が回折光6になって撮像手段5により撮影される。よって、パルスジェネレータ13がトリガ信号を発した時が撮影時であり、またトリガ信号を発する長さが露光時間となる。またパルスジェネレータ13は、撮像手段5にトリガ信号を与えて露光時間の間に撮像手段5のシャッタを開いて回折光6を撮影させる。
【0028】
レーザー干渉縞計測装置2は、光線3としてレーザービーム3が入射されると共にレーザービーム3の回折光6を撮影してレーザー干渉縞を計測するための画像を得る上述した撮影装置1を備えるようにしている。このため、従来の超高速カメラによりレーザー干渉縞のマイクロ秒単位の計測を行う場合に比べて安価に行うことができる。また、従来の超高速カメラとは異なりマイクロチャネルプレートを使用していないので、高輝度のレーザービーム3を入射しても撮影装置1を破損する虞を極めて小さくすることができる。
【0029】
また、レーザー干渉縞はレーザー干渉計14により生成されたものとしている。このレーザー干渉計14は、レーザー発振器15と、レーザー発振器15から射出されたレーザービーム3をレンズ16により拡大するビーム拡大光学系17と、拡大されたレーザービーム3を測定光路18および参照光路19に分離する分離ハーフミラー20と、測定光路18および参照光路19からの各レーザービーム3を重ねる重畳ハーフミラー21と、重畳されたレーザービーム3をレンズ22により縮小して音響光学素子7に入射するビーム縮小光学系23とを備えている。
【0030】
測定光路18は測定領域24に設置されている。ビーム拡大光学系17では、レーザービーム3を測定領域24の大きさに対応するビーム径に拡大する。測定領域24では例えば放電を行って空間密度を変化させてレーザービーム3の位相を変化させる。また、参照光路19では何も行わない。測定光路18および参照光路19からの各レーザービーム3を重ねることにより干渉縞が発生する。ビーム縮小光学系23では、レーザービーム3を音響光学素子7の大きさに対応するビーム径に縮小する。
【0031】
上述したレーザー干渉縞計測装置2の動作を以下に説明する。
【0032】
レーザー干渉計14から射出したレーザービーム3は音響光学素子7に入射される。高周波電源8が作動していないときは、レーザービーム3は非回折光25として音響光学素子7から射出され遮蔽板12によって遮蔽される。
【0033】
そして、パルスジェネレータ13からのトリガ信号に応じて高周波電源8が作動して音響光学素子7に高周波電流が与えられる。これにより、レーザービーム3は回折光6として音響光学素子7から射出され干渉フィルタ9を通過して撮像手段5に投射される。また、パルスジェネレータ13からのトリガ信号は撮像手段5にも与えられていて、投射された回折光6を撮影する。
【0034】
そして、撮影された画像を解析してレーザー干渉縞の計測を行う。さらに、レーザー干渉縞から測定光路18における光路長変化を計測することができる。
このように、本発明のレーザー干渉縞計測方法は、レーザービーム3を音響光学素子7に入射し、音響光学素子7に高周波電流を与えてレーザービーム3の回折光6を射出させ、この回折光6を撮像手段5で撮影して得られた画像からレーザー干渉縞を計測するものである。
【0035】
なお、上述の実施形態は本発明の好適な実施の一例ではあるがこれに限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々変形実施可能である。例えば本実施形態では高周波電源8は音響光学素子7に1種類の高周波電流を与えて回折角度を同じにしているが、これには限られず複数種類の高周波電流を与えて回折角度を異ならせても良い。すなわち、図2に示すように、高周波電流の周波数を異ならせることにより回折光6の回折角度を変化させて回折光6を撮影フレーム27の異なる領域に投射させ、単一のフレーム27に複数の回折光6の画像28を記録するようにする。例えば、周波数を経時的に段階的に変化させれば異なる時間におけるレーザー干渉縞を異なる角度に偏向させて記録することができる。これによれば、回折光6のレーザー干渉縞の経時変化を容易に比較観察できるようになる。例えば、図2に示す実施形態では4種類の周波数(例えば64〜92MHzの範囲の4種類の周波数)の高周波電流を与えて、1フレーム27内に4つの画像28を記録するようにしている。
【0036】
このように、本発明のレーザー干渉縞計測方法は、高周波電流の周波数を異ならせることにより回折光6の回折角度を変化させて回折光6を撮影フレーム27の異なる領域に投射させ、単一のフレーム27に複数の回折光6の画像28を記録するようにしても良い。
【0037】
また、この場合は高周波電源8に複数種類の高周波電流を順次ずらして出力させるために、パルスジェネレータ13の代わりに、周波数と出力タイミングと出力時間を制御する時間遅延ジェネレータ26を設けるようにする。この時間遅延ジェネレータ26は、外部トリガ29の入力により作動する。
【0038】
このときの撮影手段5のシャッタ速度は、異なる角度に偏向した全ての回折光6が露光されるように設定する。仮に異なる角度に偏向を行う時間間隔がマイクロ秒単位であると共に、撮像手段5のシャッタ速度が通常のビデオレートである1/30秒または1/60秒であれば、多種類のレーザー干渉縞を捉えることができる。すなわち、通常のビデオレートで高速撮影が可能になる。
【0039】
さらに、上述した実施形態では、撮像手段5としてCCDカメラを用いているが、これには限られず図3に示すように撮像手段をレーザー波面測定器5としても良い。即ち、図3に示すレーザー波面計測装置30としても良い。レーザー波面測定器5は、例えばCCD素子とマイクロレンズアレイとを備えたシャックハルトマン型とする。この場合、レーザー発振器15と音響光学素子7との間には、レーザー発振器15から射出されたレーザービーム3をレンズ16により拡大するビーム拡大光学系17と、測定領域24に設置された測定光路18と、レーザービーム3をレンズ22により縮小して音響光学素子7に入射するビーム縮小光学系23とを備えている。
【0040】
そして、測定領域24を経たレーザービーム3を音響光学素子7に入射し、音響光学素子7に高周波電源8により高周波電流を与えてレーザービーム3の回折光6を射出させ、この回折光6を撮像手段5で撮影して得られた画像からレーザー波面を計測する。撮影によりレーザー波面の位相分布を捉えて測定光路18における光路長変化を計測することができる。
【0041】
これによれば、図1に示すような参照光路19を使用しなくても測定光路18のみを設けるだけでその光路長変化を計測することができる。このため、光学部品を減らすことができるので容易に高精度にすることができる。また、例えば雷のような大電流の放電を計測する時のように参照光路19を測定光路18から大きく離して設置する必要が無いので、光学部品の設置誤差により精度が低下してしまうことを防止できる。
【0042】
このように、本発明のレーザー波面計測方法は、レーザービーム3を音響光学素子7に入射し、音響光学素子7に高周波電流を与えてレーザービーム3の回折光6を射出させ、この回折光6を撮像手段5で撮影して得られた画像からレーザー波面を計測するものである。
【0043】
さらに、図3に示す実施形態でも、高周波電流の周波数を異ならせることにより回折光6の回折角度を変化させて回折光6を撮影フレーム27の異なる領域に投射させ、単一のフレーム27に複数の回折光6の画像28を記録するようにすることができる。
【0044】
このように、本発明のレーザー波面計測方法は、高周波電流の周波数を異ならせることにより回折光6の回折角度を変化させて回折光6を撮影フレーム27の異なる領域に投射させ、単一のフレーム27に複数の回折光6の画像28を記録するようにしても良い。
【0045】
また、上述した実施形態では、撮影装置1をレーザー干渉縞計測装置2あるいはレーザー波面測定装置30に適用しているが、これには限られずレーザービーム全般の撮影に使用することができると共に、レーザービーム以外の光線全般の撮影にも使用することができる。
【0046】
そして、上述した図1および図2に示す実施形態では、撮像手段5はCCDカメラとしているが、これには限られずフィルム記録式カメラなどのその他の撮像手段5を使用するようにしても良い。また、上述した図3に示す実施形態では、撮像手段5はレーザー波面測定器としているが、これには限られずシアリング干渉計などのその他の撮像手段5を使用するようにしても良い。
【0047】
さらに、上述した図1に示す実施形態では、レーザー干渉縞はレーザー干渉計14により生成されたものとしているが、これには限られずその他の手法により生成されたレーザー干渉縞を計測するようにしても良い。
【0048】
また、上述した図2に示す実施形態では回折光6の回折角度が1方向のみに変化しているが、これには限られず音響光学素子7を2つ直列に配置し、回折光6を入射光3に対して垂直な平面上の2つのお互いに垂直な2方向に変化するようにしても良い。仮に入射光3の伝播方向をz方向とした場合、1番目の音響光学素子でx方向に回折させ、2番目の音響光学素子でy方向に回折させることにより回折光6の回折角度を(x、y)面の任意の方向に変化させることができる。なお、x方向、y方向、z方向は互いに直交する3方向である。これによれば1フレーム27の中に縦横2次元的に画像28を配置することができるので、1方向のみに変化する場合に比べて1つの画像28の枠が正方形に近くなりCCDなどの撮像素子を有効に利用することができる。
【0049】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、請求項1記載の撮影装置によれば、音響光学素子に高周波電流を与えた時にのみ光線が回折されて撮像手段により撮影されるので、高周波電流を例えばマイクロ秒単位で与えることにより高速撮影を行うことができるようになる。また、従来の超高速カメラに比べて構造が簡易であるため安価になる。さらに、従来の超高速カメラで使用されているマイクロチャネルプレートを用いないので、高輝度の光線を入射しても装置を破損する虞が極めて小さい。
【0050】
また、請求項2記載のレーザー干渉縞計測装置によれば、従来の超高速カメラによりレーザー干渉縞のマイクロ秒単位の計測を行う場合に比べて安価に行うことができると共に、高輝度のレーザービームを入射しても撮影装置を破損する虞を極めて小さくすることができる。
【0051】
ここで、請求項3記載のレーザー干渉縞計測装置によれば、撮像手段として汎用のCCDカメラを用いることができるので、マイクロ秒単位の高速撮影が可能なレーザー干渉縞計測装置を安価に得ることができる。
【0052】
また、請求項4記載のレーザー干渉縞計測装置によれば、レーザー干渉計において例えば放電現象により生成されたマイクロ秒単位のレーザー干渉縞を撮影して計測することができる。
【0053】
そして、請求項5記載のレーザー波面計測装置によれば、従来の超高速カメラを用いてレーザー波面のマイクロ秒単位の計測を行う場合に比べて安価に行うことができると共に、高輝度のレーザービームを入射しても撮影装置を破損する虞を極めて小さくすることができる。
【0054】
また、請求項6記載のレーザー波面計測装置によれば、撮像手段はレーザー波面測定器であるようにしている。したがって、マイクロ秒単位の高速測定が可能なレーザー波面計測装置を安価に得ることができる。
【0055】
一方、請求項7記載のレーザー干渉縞計測方法および請求項9記載のレーザー波面計測方法によれば、音響光学素子に高周波電流を与えた時にのみレーザービームが回折されて撮像手段により撮影されるので、高周波電流を例えばマイクロ秒単位で与えることにより高速撮影を行うことができるようになる。また、従来の超高速カメラに比べて構造が簡易であるため安価になる。さらに、従来の超高速カメラで使用されているマイクロチャネルプレートを用いないので、高輝度のレーザービームを入射しても装置を破損する虞が極めて小さい。
【0056】
また、請求項8記載のレーザー干渉縞計測方法および請求項10記載のレーザー波面計測方法によれば、単一のフレームに複数の回折光を記録することができるので、経時変化を容易に比較観察できるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の撮影装置を用いたレーザー干渉縞計測装置の概略を示すブロック図である。
【図2】レーザー干渉縞計測装置の他の実施形態の主要部を示すブロック図である。
【図3】レーザー波面計測装置を示す概略のブロック図である。
【符号の説明】
1 撮影装置
2 レーザー干渉縞計測装置
3 レーザービーム(光線)
4 シャッタ
5 撮像手段
6 回折光
7 音響光学素子
8 高周波電源
30 レーザー波面計測装置
Claims (10)
- 光線を遮断あるいは通過させるシャッタと該シャッタを通過した光線を撮影する撮像手段とを有する撮影装置において、前記シャッタは、前記光線が入射されると共に高周波電流が与えられたときに前記光線の回折光を射出する音響光学素子と、該音響光学素子に前記高周波電流を付与可能な高周波電源とを備えると共に、前記撮像手段は前記回折光を撮影することを特徴とする撮影装置。
- レーザー干渉縞を計測するレーザー干渉縞計測装置において、前記光線としてレーザービームが入射されると共に前記レーザービームの回折光を撮影して前記レーザー干渉縞を計測するための画像を得る請求項1記載の撮影装置を備えることを特徴とするレーザー干渉縞計測装置。
- 前記撮像手段はCCDカメラであることを特徴とする請求項2記載のレーザー干渉縞計測装置。
- 前記レーザー干渉縞はレーザー干渉計により生成されたものであることを特徴とする請求項2または3記載のレーザー干渉縞計測装置。
- レーザー波面を計測するレーザー波面計測装置において、前記光線としてレーザービームが入射されると共に前記レーザービームの回折光を撮影して前記レーザー波面を計測するための画像を得る請求項1記載の撮影装置を備えることを特徴とするレーザー波面計測装置。
- 前記撮像手段はレーザー波面測定器であることを特徴とする請求項5記載のレーザー波面計測装置。
- レーザー干渉縞を計測するレーザー干渉縞計測方法において、レーザービームを音響光学素子に入射し、前記音響光学素子に高周波電流を与えて前記レーザービームの回折光を射出させ、この回折光を撮像手段で撮影して得られた画像から前記レーザー干渉縞を計測することを特徴とするレーザー干渉縞計測方法。
- 前記高周波電流の周波数を異ならせることにより前記回折光の回折角度を変化させて前記回折光を撮影フレームの異なる領域に投射させ、単一のフレームに複数の前記回折光の画像を記録することを特徴とする請求項7記載のレーザー干渉縞計測方法。
- レーザー波面を計測するレーザー波面計測方法において、レーザービームを音響光学素子に入射し、前記音響光学素子に高周波電流を与えて前記レーザービームの回折光を射出させ、この回折光を撮像手段で撮影して得られた画像から前記レーザー波面を計測することを特徴とするレーザー波面計測方法。
- 前記高周波電流の周波数を異ならせることにより前記回折光の回折角度を変化させて前記回折光を撮影フレームの異なる領域に投射させ、単一のフレームに複数の前記回折光の画像を記録することを特徴とする請求項9記載のレーザー波面計測方法。
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Cited By (2)
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CN105784129A (zh) * | 2016-04-15 | 2016-07-20 | 中国科学院光电研究院 | 一种用于激光波前检测的低频外差干涉仪 |
JP2022183194A (ja) * | 2016-11-11 | 2022-12-08 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | 光学システムにおける物理的効果の補償 |
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2003
- 2003-02-28 JP JP2003054726A patent/JP4202156B2/ja not_active Expired - Fee Related
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