JP2004260182A - 亜酸化窒素を用いるシリコンの低温酸化方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 酸素(1D)を用いるシリコンの酸化を提供すること。
【解決手段】 シリコン基板の低温酸化方法は、シリコンウェハを真空チャンバ内に配置する工程と、シリコンウェハを約25℃〜約600℃の間の温度に維持する工程と、N2Oガスを真空チャンバに導入する工程と、N2Oガスを約172nmの波長で光を発生するキセノンレーザを用いて酸素(1D)に解離し、酸素(1D)をシリコンウェハ上に流す工程と、シリコンウェハの少なくとも一部分の上に酸化物層を形成する工程とを包含する。
【選択図】 図1
【解決手段】 シリコン基板の低温酸化方法は、シリコンウェハを真空チャンバ内に配置する工程と、シリコンウェハを約25℃〜約600℃の間の温度に維持する工程と、N2Oガスを真空チャンバに導入する工程と、N2Oガスを約172nmの波長で光を発生するキセノンレーザを用いて酸素(1D)に解離し、酸素(1D)をシリコンウェハ上に流す工程と、シリコンウェハの少なくとも一部分の上に酸化物層を形成する工程とを包含する。
【選択図】 図1
Description
(関連出願)
本願は、2002年6月4日に出願された、「A method of forming a high quality gate oxide at low temperatures」という名称の米国特許出願第10/164,919号に関連する。
本願は、2002年6月4日に出願された、「A method of forming a high quality gate oxide at low temperatures」という名称の米国特許出願第10/164,919号に関連する。
(発明の分野)
本発明は、シリコン上での集積回路の製造、具体的には、シリコンの酸化によって形成される低温、高品質の二酸化シリコン層に関する。
本発明は、シリコン上での集積回路の製造、具体的には、シリコンの酸化によって形成される低温、高品質の二酸化シリコン層に関する。
従来のシリコンの酸化の技術では、例えば、O2、N2OまたはNOなどの酸化環境内で長時間、例えば、800℃よりも高い高温を維持することが必要とされる。このような酸化の間、IC製造部品の拡散が基板内で起こり、一連の製造過程は、この拡散に対応するように調節される必要がある。膜の品質を犠牲にすることなく、ずっと低い温度で酸化を行うことができれば、本産業界にとって非常に大きな利益となる。(100)シリコン上での酸化速度は、(111)シリコンの酸化速度と、事実上同じであるので、この酸化は、浅溝分離のためのコンフォーマル酸化の需要に対応し得る。低温酸化はまた、高温熱酸化物の代わりとして、従来のCMOSデバイスのゲート酸化物を提供し得る。
シリコンを製造目的のため低温で酸化する有効な方法は、現在のところは存在しない。低温でシリコンを酸化する公知の方法として、プラズマ酸化または放射状スロット線アンテナを用いる酸化がある。しかし、これらの方法は、シリコン表面に損傷を与え、酸化物の品質を低下させ得る、大量のイオン、およびラジカルを生成する。
非特許文献1は、酸素ラジカルを発生させる、UVとオゾンとの組合せを報告している。しかし、これらのシステムにおいて用いられる気圧は、衝突によって、O(1D)が不活性化されてO(3P)状態になることを可能にする。従って、得られる結果は、O(1D)が不足していることによって、大幅に悪影響を受ける。それにもかかわらず、向上した酸化速度および化学量論的に良好な酸化物が報告されている。
非特許文献2は、電子サイクロトロン共鳴プラズマを用いた酸素および窒素ラジカルの生成について記載する。
非特許文献3は、マイクロ波励起されたKr/O2プラズマによる酸素ラジカルの生成について記載する。
非特許文献4も、マイクロ波によるKr/O2の励起について記載する。
非特許文献5は、レーザを用いたシリコンを酸化させる酸素原子の生成について記載する。
Nayer et al.、「Atmospheric Pressure, Low Temperature(<500℃)UV/Ozone Oxidation of Silicon」、Electronics Letters、26、205、1990 Watanabe et al.、「Controlling the concentration and position of nitrogen in ultrathin oxynitride films formed by using oxygen and nitrogen radicals」、Appl.Phys.Lett.76、2940、2000 Saito et al.、「Advantage of Radical Oxidation for Improving Reliablity of Ultra−Thin Gate Oxide」、2000 Symposium on VLSI Technology、T18−2、2000 Hirayama et al.、「Low Temperature Growth of High−Integrity Silicon Oxide Films by Oxygen Radical Generated in High Density Krypton Plasma」、IEDM Tech.Dig.、p249、1999 Coulter et al.、「Non−thermal SiO2 film growth on Si(100) using laser−generated O(1D) and O(3P)」、AVS Symposium 2001
Nayer et al.、「Atmospheric Pressure, Low Temperature(<500℃)UV/Ozone Oxidation of Silicon」、Electronics Letters、26、205、1990 Watanabe et al.、「Controlling the concentration and position of nitrogen in ultrathin oxynitride films formed by using oxygen and nitrogen radicals」、Appl.Phys.Lett.76、2940、2000 Saito et al.、「Advantage of Radical Oxidation for Improving Reliablity of Ultra−Thin Gate Oxide」、2000 Symposium on VLSI Technology、T18−2、2000 Hirayama et al.、「Low Temperature Growth of High−Integrity Silicon Oxide Films by Oxygen Radical Generated in High Density Krypton Plasma」、IEDM Tech.Dig.、p249、1999 Coulter et al.、「Non−thermal SiO2 film growth on Si(100) using laser−generated O(1D) and O(3P)」、AVS Symposium 2001
本発明の目的は、シリコンの低温酸化方法を提供することである。
本発明の他の目的は、酸素(1D)を用いるシリコンの酸化を提供することである。
本発明によるあるシリコン基板の低温酸化方法は、シリコンウェハを真空チャンバ内に配置する工程と、該シリコンウェハを約25℃〜約600℃の間の温度に維持する工程と、N2Oガスを該真空チャンバに導入する工程と、該N2Oガスを約172nmの波長の光を発生させるキセノンレーザを用いてラジカル酸素(1D)に解離し、該ラジカル酸素(1D)を該シリコンウェハ上に流す工程と、該シリコンウェハの少なくとも一部分の上に酸化物層を形成する工程とを包含し、それにより、上記目的を達成する。
前記方法は、前記真空チャンバを約20mTorr〜約1Torrの間の圧力に維持する工程をさらに包含してもよい。
N2Oガスを真空チャンバに導入する前記工程は、約5sccm〜約50sccmの間のガス流量を提供する工程を包含してもよい。
シリコンウェハを約25℃〜約600℃の間の温度に維持する前記工程は、前記ウェハを前記真空チャンバ内で酸素(1D)と接触させて約1分から約100分の間の期間維持する工程を包含してもよい。
約1分から約100分の間の期間で、約15Å〜約50Åの間の厚さを有する酸化物層をシリコンウェハ上に形成する工程をさらに包含してもよい。
本発明による別のシリコン基板の低温酸化方法は、シリコンウェハを、内部に加熱可能なウェハチャックを有する真空チャンバ内に配置する工程と、該シリコンウェハを約25℃〜約600℃の間の温度に維持する工程と、N2Oガスを該真空チャンバに導入する工程と、該N2Oガスを約172nmの波長の光を発生させるキセノンレーザを用いてラジカル酸素(1D)に解離し、該ラジカル酸素(1D)を該シリコンウェハ上に流す工程と、約1分から約100分の間の期間で、該シリコンウェハの少なくとも一部分の上に酸化物層を形成する工程とを包含し、それにより、上記目的を達成する。
前記真空チャンバを約20mTorr〜約1Torrの間の圧力に維持する工程をさらに包含してもよい。
N2Oガスを真空チャンバに導入する前記工程は、約5sccm〜約50sccmの間のガス流量を提供する工程を包含してもよい。
約15Å〜約50Åの間の厚さを有する酸化物層をシリコンウェハ上に形成する工程をさらに包含してもよい。
本発明による別のシリコン基板の低温酸化方法は、シリコンウェハを、少なくとも約350℃まで加熱可能なウェハチャックを有する真空チャンバ内に配置する工程と、該シリコンウェハを約25℃〜約600℃の間の温度に維持する工程と、N2Oガスを該真空チャンバに導入する工程と、約1分から約100分の間の期間、該N2Oガスを約172nmの波長の光を発生させるキセノンレーザを用いてラジカル酸素(1D)に解離し、該ラジカル酸素(1D)を該シリコンウェハ上に流す工程と、該シリコンウェハの少なくとも一部分の上に約15Å〜約50Åの間の厚さを有する酸化物層を形成する工程とを包含し、それにより、上記目的を達成する。
前記真空チャンバを約20mTorr〜約1Torrの間の圧力に維持する工程をさらに包含してもよい。
N2Oガスを真空チャンバに導入する前記工程は、約5sccm〜約50sccmの間のガス流量を提供する工程を包含してもよい。
シリコン基板の低温酸化方法は、シリコンウェハを真空チャンバ内に配置する工程と、シリコンウェハを約25℃〜約600℃の間の温度に維持する工程と、N2Oガスを真空チャンバに導入する工程と、N2Oガスを約172nmの波長の光を発生させるキセノンレーザを用いて酸素(1D)に解離し、酸素(1D)をシリコンウェハ上に流す工程と、シリコンウェハの少なくとも一部分の上に酸化物層を形成する工程とを含む。
本発明のこの要旨および目的は、本発明の性質についてのおおまかな理解を可能にするために提供される。本発明のより完全な理解は、以下の本発明の好適な実施形態の詳細な説明を図面と共に参照することによって得ることができる。
N2Oガスを約172nmの波長の光を発生させるキセノンレーザを用いてラジカル酸素(1D)に解離し、解離したラジカル酸素(1D)をシリコンウェハ上に流すことによって、シリコンを低温で酸化することができる。
本発明の方法は、特に、O(1D)準安定状態の大量のラジカル酸素原子を発生させる。O(1D)は、N2Oの光解離によって生成され得ることが公知である。195nm未満の波長で照射されるN2Oは、N2およびOが生成される単純な光解離工程においてO(1D)を生成する。O(1D)状態がグランドO(3P)状態よりも高エネルギーであるという事実によって、O(1D)は、O(3P)よりも、速く、かつ高い効率でシリコンを酸化する。関連出願の方法は、酸素のソースガスとしてO2/O3の利用について記載する。本明細書の方法は、N2Oをソースガスとして利用する。N2Oは、酸化物層を形成するが、酸化物層を成長させるためにより長い時間を必要とする。従って、本発明の方法は、酸化物層をよりゆっくりと成長させる工程を提供し、酸化物成長期間を長くすることが望ましい場合において有用である。
本発明の方法において用いられる装置全体を、参照符号10を付けて図1に示す。172nmの波長の光を発するエキシマーランプ12は、酸化されるシリコンウェハ16の表面の上の真空チャンバ14内に配置される。エキシマーランプ12は、キセノンベースのランプであり、手頃な価格で市販されている。このようなランプのうちの1つとして、Osram Sylvania製のXeradex(登録商標)ランプがある。
N2Oの安定したフローが、吸気口18を介してチャンバ14に導入される。チャンバ14における圧力は、スロットルバルブ20によって制御される。スロットルバルブ20は、チャンバとポンプシステムとの間に位置する。ウェハ16は、加熱チャック22上に位置する。チャック22の温度は、約350℃まで上昇させることができる。ウェハとチャックとの間の熱連結は、良好ではないので、チャック温度が350℃に設定される場合、実際のウェハ温度は300℃よりも低くなり得る。チャンバ圧は、約20mTorr〜約1Torrの間の範囲で制御される。N2Oフローは、約5sccm〜約50sccmの間で調節される。
(1D)状態における酸素の量は、チャンバに導入されるN2Oの量と、エキシマーランプからの光の強度と、ウェハ表面近傍にO(1D)が存在する持続時間との関数である。この環境にさらされる時間が長ければ長いほど、得られるウェハ上の酸化物は厚くなる。ウェハ温度200℃、N2Oフロー10sccm、チャンバ圧50mTorrで製造される酸化物層の厚さを、図2に示す。
O(1D)ラジカルを用いるシリコンの酸化の温度への依存度は高くなく、実質的に、酸化物は室温でも発生し得る。温度を上昇させると、酸化速度には、わずかな向上が見られる。様々な温度で10分間酸化した場合の温度依存度を、図3に示す。チャック設計のため、ウェハは、チャックと同じ温度には達しない。チャック設定点400℃において、ウェハの温度は、チャック設定点よりも50℃〜100℃低い。図2および3に示すように、約15Å〜約50Åの間の厚さの酸化物層が、ウェハ温度、チャンバ圧、およびN2Oフローに依存して、約1分から約100分の間の期間でウェハ上に形成される。
エキシマーランプ技術の進歩によって、別の波長を用いることも可能になる。他のエキシマーは、126nm、146nm、222nm、および308nmの光を生成するが、Xe2が172nmで生成する場合と比較するとそれほど効率的ではない。
ランプの現在の形は、ウェハまたはガスボリューム照明のためにより効率的な形になるように変更され得る。さらに、複数の現在のタイプのランプを用いて異なる方向に配向し、より高い光子束が得られ得る。
本発明によるシリコン基板の低温酸化方法は、シリコンウェハを真空チャンバ内に配置する工程と、シリコンウェハを約25℃〜約600℃の間の温度に維持する工程と、N2Oガスを真空チャンバに導入する工程と、N2Oガスを約172nmの波長で光を発生するキセノンレーザを用いて酸素(1D)に解離し、酸素(1D)をシリコンウェハ上に流す工程と、シリコンウェハの少なくとも一部分の上に酸化物層を形成する工程とを含む。
以上、亜酸化窒素を用いるシリコンの低温酸化方法が開示された。この低温酸化方法に対するさらなる変更および改善が、添付の特許請求の範囲に記載の本発明の範囲内で為され得ることが理解され得る。本発明の好ましい実施形態を用いて本発明を例示してきたが、本発明は、この実施形態に限定して解釈されるべきものではない。本発明は、特許請求の範囲によってのみその範囲が解釈されるべきであることが理解される。当業者は、本発明の具体的な好ましい実施形態の記載から、本発明の記載および技術常識に基づいて等価な範囲を実施することができることが理解される。本明細書において引用した特許、特許出願および文献は、その内容自体が具体的に本明細書に記載されているのと同様にその内容が本明細書に対する参考として援用されるべきであることが理解される。
10 低温酸化装置
12 エキシマーランプ
14 真空チャンバ
16 シリコンウェハ
18 吸気口
20 スロットルバルブ
22 加熱チャック
12 エキシマーランプ
14 真空チャンバ
16 シリコンウェハ
18 吸気口
20 スロットルバルブ
22 加熱チャック
Claims (12)
- シリコン基板の低温酸化方法であって、
シリコンウェハを真空チャンバ内に配置する工程と、
該シリコンウェハを約25℃〜約600℃の間の温度に維持する工程と、
N2Oガスを該真空チャンバに導入する工程と、
該N2Oガスを約172nmの波長の光を発生させるキセノンレーザを用いてラジカル酸素(1D)に解離し、該ラジカル酸素(1D)を該シリコンウェハ上に流す工程と、
該シリコンウェハの少なくとも一部分の上に酸化物層を形成する工程と
を包含する、方法。 - 前記真空チャンバを約20mTorr〜約1Torrの間の圧力に維持する工程をさらに包含する、請求項1に記載の方法。
- N2Oガスを真空チャンバに導入する前記工程は、約5sccm〜約50sccmの間のガス流量を提供する工程を包含する、請求項1に記載の方法。
- シリコンウェハを約25℃〜約600℃の間の温度に維持する前記工程は、前記ウェハを前記真空チャンバ内で酸素(1D)と接触させて約1分から約100分の間の期間維持する工程を包含する、請求項1に記載の方法。
- 約1分から約100分の間の期間で、約15Å〜約50Åの間の厚さを有する酸化物層をシリコンウェハ上に形成する工程をさらに包含する、請求項1に記載の方法。
- シリコン基板の低温酸化方法であって、
シリコンウェハを、内部に加熱可能なウェハチャックを有する真空チャンバ内に配置する工程と、
該シリコンウェハを約25℃〜約600℃の間の温度に維持する工程と、
N2Oガスを該真空チャンバに導入する工程と、
該N2Oガスを約172nmの波長の光を発生させるキセノンレーザを用いてラジカル酸素(1D)に解離し、該ラジカル酸素(1D)を該シリコンウェハ上に流す工程と、
約1分から約100分の間の期間で、該シリコンウェハの少なくとも一部分の上に酸化物層を形成する工程と
を包含する、方法。 - 前記真空チャンバを約20mTorr〜約1Torrの間の圧力に維持する工程をさらに包含する、請求項6に記載の方法。
- N2Oガスを真空チャンバに導入する前記工程は、約5sccm〜約50sccmの間のガス流量を提供する工程を包含する、請求項6に記載の方法。
- 約15Å〜約50Åの間の厚さを有する酸化物層をシリコンウェハ上に形成する工程をさらに包含する、請求項7に記載の方法。
- シリコン基板の低温酸化方法であって、
シリコンウェハを、少なくとも約350℃まで加熱可能なウェハチャックを有する真空チャンバ内に配置する工程と、
該シリコンウェハを約25℃〜約600℃の間の温度に維持する工程と、
N2Oガスを該真空チャンバに導入する工程と、
約1分から約100分の間の期間、該N2Oガスを約172nmの波長の光を発生させるキセノンレーザを用いてラジカル酸素(1D)に解離し、該ラジカル酸素(1D)を該シリコンウェハ上に流す工程と、
該シリコンウェハの少なくとも一部分の上に約15Å〜約50Åの間の厚さを有する酸化物層を形成する工程と
を包含する、方法。 - 前記真空チャンバを約20mTorr〜約1Torrの間の圧力に維持する工程をさらに包含する、請求項10に記載の方法。
- N2Oガスを真空チャンバに導入する前記工程は、約5sccm〜約50sccmの間のガス流量を提供する工程を包含する、請求項10に記載の方法。
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