JP2004235418A - Optical module, optical communication apparatus, photoelectricity mixed loading integrated circuit, circuit board, and electronic apparatus - Google Patents

Optical module, optical communication apparatus, photoelectricity mixed loading integrated circuit, circuit board, and electronic apparatus Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical module excellent in protection of a light emission face or a light receiving face of an optical device with a simplified structure, and preferable for the use of optical communication. <P>SOLUTION: The optical module (1) comprises an optical device (20) for emitting signal light in response to a supplied electric signal or generating an electric signal in response to the intensity of supplied signal light, a multilayer wiring (12, 14, 16) for transmitting the electric signal to the optical device (20), and a transparent substrate (10) optically transparent for a wavelength of the light emitted or received in the optical device (20) and supporting the optical device (20) and the multilayer wiring (12, 14, 16). The optical device (20) has its light emitting face or light receiving face in an opening part (21) provided in the multilayer wiring (12, 14, 16), and the signal light enters or emanates through the opening part (21) and the transparent substrate (10). <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO&NCIPI

Description

【0001】
【産業上の利用分野】
本発明は、複数の装置相互間あるいは装置内部などにおける情報通信(信号伝送)を光信号によって行う光通信に用いる装置、部品等に関する。
【0002】
【従来の技術】
ローカルエリアネットワーク(LAN)、コンピュータ装置相互間の直接接続、コンピュータ装置及びデジタルオーディオ・ビデオ機器の相互接続などに、光ファイバを用いるものがある。このような装置には、電気信号を光信号に変えて光ファイバに送ると共に、光ファイバから受けた光信号を電気信号に戻す光トランシーバが使用される。また、近年では、上述したような装置相互間における情報通信の他に、装置の内部における信号伝送においても光通信が導入され始めており、装置内の回路チップ間やモジュール間などにおいて、金属配線に電気信号を流す従来方法に代えて、光ファイバ(テープファイバ)や光導波路に光信号を通して行う方法が採用されつつある。
【0003】
このような光通信には、送信情報を担う電気信号を光信号に変換する発光素子、受信情報を担う光信号を電気信号に変換する受光素子、これらの発光素子又は受光素子を駆動するドライバなどが必要となる。一般には、これらの発光素子、受光素子、ドライバ等は、銅などからなる配線パターンを備える配線基板上に実装されて相互間の信号伝送がなされ、それぞれ所定の動作を行う。このような発光素子等が実装される配線基板としては、例えば、特開2000−277661号公報に開示された多層基板などが知られている。
【0004】
【特許文献1】
特開2000−277661号公報
【発明が解決しようとする課題】
ところで、従来例のような回路基板(多層基板)に発光素子等を実装する場合には、一般に発光面又は受光面を回路基板の素子実装面と反対側に向けて配置するることになるが、この場合には発光素子の発光面等が露出した状態となりその保護に欠け、粉塵等の付着による発光光量(又は受光効率)の低下や破損を生じやすいという不都合がある。これに対して、発光面等を保護する部材等を設ける場合には部品数が増加して構造が複雑化し、製造工数の増加を招くので好ましくない。また、発光面等を保護する部材を備える発光素子等を用いると、その分だけコストの増加を招くのでこれも好ましくない。
【0005】
そこで、本発明は、簡易な構造で光素子の発光面又は受光面の保護に優れ、光通信に用いて好適な光モジュールを提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の光モジュールは、供給される電気信号に応じて信号光を出射し又は供給される信号光の強度に応じて電気信号を発生する光素子と、当該光素子に対する電気信号の伝送を担う多層配線と、光素子において発光又は受光される光の波長に対して光透過性を有し、光素子及び多層配線を支持する透明基板と、を含み、上記光素子は多層配線に設けられた開口部内にその発光面又は受光面が配置されており、当該開口部及び透明基板を通して信号光の入射又は出射がなされる。
【0007】
かかる構成とすることにより、光素子の発光面又は受光面と透明基板の一方面とが向き合う構造となるので、簡易な構造で光素子の発光面又は受光面を保護することが可能となる。
【0008】
ここで本明細書において「透明基板」とは、光素子において用いられる光の波長に対する光透過性を有するものであればよく、必ずしも可視光に対する透過性を有するものに限定されない。例えば、光素子に用いられる光の波長が可視光またはそれに近い値(例えば850nmなど)の場合には、ガラスやプラスチックなどの材料を用いて透明基板を構成することが可能であり、光の波長が比較的に長波長(例えば1300nm〜1500nmなど)の場合には、シリコンやゲルマニウムなどの材料により透明基板を構成することが可能である。
【0009】
上述した多層配線は、マイクロストリップ伝送路とすることが好適である。マイクロストリップ伝送路(マイクロストリップライン)を用いることにより高周波信号への対応が容易となり、高速な光通信に用いて好適な光モジュールを実現することが可能となる。
【0010】
また、光素子と多層配線は、共に透明基板の一方面側に配置されることが好ましい。これにより、光素子と多層配線との電気的接続を図ることが容易となる。
【0011】
また、多層配線は、透明基板の一方面上に共通配線層、誘電体層及び信号線層を積層して構成されており、光素子は信号線層の上側に配置されることが好ましい。この場合には、透明基板の他方面側と光素子との間に共通配線層を挟んだ配置となるので、この共通配線層を接地電位に接続することにより、透明基板の他方面側から光素子へノイズが入ることを抑制することが容易になる。
【0012】
また、多層配線は、透明基板の一方面上に信号線層、誘電体層及び共通配線層を積層して構成されており、光素子は信号線層の上側に配置されることも好ましい。この場合には、光素子の下側に配置される層が少なくなることによりこの領域の高さ(厚さ)の制御がしやすく、光素子の発光面又は受光面の位置精度(特に水平位置の精度)を確保することが容易になる。
【0013】
また、透明基板の他方面側であって光素子の発光面又は受光面と対向する位置に配置される光学要素を更に備えることが好ましい。ここで本明細書において「光学要素」とは、入射する光に対して何らかの光学的作用(例えば、屈折や回折等)を与えるものをいい、例えば、レンズや回折格子などが挙げられる。透明基板を挟んで光素子と光学要素を対向配置させるので、当該透明基板の厚みによって光素子と光学要素の間に必要な光学的距離を確保することができる。これにより、光学要素を独立に配置する場合に比べて位置精度の確保が容易であり、組立工程の簡略化が可能となる。
【0014】
また、本発明は、上述した光モジュールを備える光通信装置(光トランシーバ)でもある。このような本発明にかかる光通信装置は、例えば、パーソナルコンピュータやいわゆるPDA(携帯型情報端末装置)など、光を伝送媒体として外部装置等との間の情報通信を行う各種の電子機器に用いることが可能である。なお、本明細書において「光通信装置」とは、信号光の送信にかかる構成(発光素子等)と信号光の受信にかかる構成(受光素子等)の両方を含む装置のみならず、送信にかかる構成のみを備える装置(いわゆる光送信モジュール)や受信にかかる構成のみを備える装置(いわゆる光受信モジュール)を含む。
【0015】
また、本発明は、上述した光モジュールを備える光電気混載集積回路でもあり、上述した光モジュールと信号光の伝送を担う光導波路とを備える回路基板でもある。かかる回路基板は「光電気混載基板」と称される場合もある。
【0016】
また、本発明は、上述した光モジュールを備える電子機器でもある。より詳細には、本発明の電子機器は、上述した光モジュールそのものを備える場合の他に、当該光モジュールを含んでなる上述した光通信装置、光電気混載集積回路、回路基板のいずれかを備える場合も含む。ここで本明細書において「電子機器」とは、電子回路等を用いて一定の機能を実現する機器一般をいい、その構成には特に限定がないが、例えば、パーソナルコンピュータ、PDA(携帯型情報端末)、電子手帳など各種機器が挙げられる。本発明にかかる光モジュール、光通信装置、光電気混載集積回路あるいは回路基板は、これらの電子機器において機器内部での情報通信や外部機器等との間における情報通信に用いることが可能である。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【0018】
<第1の実施形態>
図1は、第1の実施形態の光モジュールの構成について説明する図である。同図に示す本実施形態の光モジュール1は、透明基板10、共通配線層12、誘電体層14、信号線層16、保護層18、VCSEL(面発光レーザ)20、回路チップ22、レンズ24、充填材26を含んで構成されている。共通配線層12、誘電体層14及び信号線層16からなる多層配線によってマイクロストリップラインが構成されており、当該マイクロストリップラインによって、VCSEL20と回路チップ22の相互間あるいはその他の図示しない回路要素との相互間における電気信号の送受がなされる。以下、各構成要素について詳述する。
【0019】
透明基板10は、VCSEL20からの出射光の波長に対して透過性を有し、光モジュール1を構成する各要素を支持する。例えば、VCSEL20からの出射光の波長が可視光またはそれに近い値(例えば850nmなど)の場合には、ガラスやプラスチックなどの材料により透明基板10を構成するとよい。また、出射光の波長が比較的に長波長(例え1300nm〜1500nmなど)の場合には、シリコンやゲルマニウムなどの材料により透明基板10を構成することもできる。
【0020】
共通配線層12は、接地電位に接続されるものであり、例えば銅などからなる導電体膜を用いて、透明基板10の一方面(上面)に形成されている。この共通配線層12は、リアクタンスを極力減らすために透明基板10の一方面の略全体に渡って形成することが好適である。
【0021】
誘電体層14は、共通配線層12と信号線層16の相互間を離間させてマイクロストリップ構造を構成するためのものであり、共通配線層12の上面に形成されている。この誘電体層14は、例えば、ポリイミド等の誘電体(絶縁体)を用いて数十μm程度の厚みに形成することが好適である。
【0022】
信号線層16は、銅などからなる導電体膜を用いて誘電体層14の上面に形成されており、所定形状にパターニングがなされている。上述したように、この信号線層16と、共通配線層12及び誘電体層14を含んでマイクロストリップラインが構成されている。当該マイクロストリップラインの特性インピーダンスは、共通配線層12及び信号線層16の形状(線幅、線の厚み等)や材質、誘電体層14の誘電率、共通配線層12と信号線層16との間隔などの各パラメータを適宜設定することにより所望値に調整可能である。
【0023】
ここで、共通配線層12、誘電体層14及び信号線層16からなる多層配線(マイクロストリップライン)の形成方法について概略的に説明する。まず、透明基板10上に電鋳、リフトオフ又はフォトリソグラフィ等の方法によって共通配線層12を形成する。次に、この共通配線層12上に、感光性ポリイミド層をスピンコートやシート貼り付け等の方法によって形成し、更に電極等を露出させるためにパターニングを行う。これにより誘電体層14が形成される。その後、上述した共通配線層12の形成方法と同様にして信号線層16を形成する。なお、必要に応じて、上記各工程を更に複数回繰り返して、より多くの配線層を含む多層配線を形成することも可能である。
【0024】
保護層18は、信号線層16を腐食や破損などから保護するためのものであり、信号線層16の上面の略全面を覆うように形成されている。当該保護層18は、例えば、ソルダリングレジスト等を塗布することによって形成することが好適である。
【0025】
VCSEL20は、回路チップ22から与えられる駆動信号に応じて信号光を出射する面発光型の発光素子であり、透明基板10の一方面上の所定位置に、発光面を透明基板10側に向けて配置されている。このVCSEL20は、上述した共通配線層12、誘電体層14及び信号線層16からなるマイクロストリップラインに設けられた開口部21内にその発光面が配置されており、当該開口部21及び透明基板10を通して光信号が出射されるようになっている。なお、本実施形態では、面発光型の発光素子であるVCSELを用いているが、他の発光素子(例えば、端面発光型の発光素子など)を用いてもよい。
【0026】
回路チップ22は、VCSEL20を駆動するためのドライバなどを含むものであり、透明基板10上の所定位置に配置されている。この回路チップ22は、透明基板10上に構成されたマイクロストリップラインを介してVCSEL20と接続されており、更に、必要に応じて図示しない他の回路素子、回路チップ、外部装置などと接続される。
【0027】
レンズ24は、透明基板10の他方面側であってVCSEL20の発光面と対向する位置に配置されている。このように、透明基板10を挟んでVCSEL20とレンズ24を対向配置させているので、当該透明基板10の厚みによって両者間に必要な光学的距離を確保することが可能となり、レンズ24を自由空間中に独立に配置する場合に比べて位置精度の確保が容易となる。なお、必要に応じて、レンズ24の代わりに他の光学要素(例えば、回折格子等)を設けるようにしてもよい。
【0028】
充填材26は、VCSEL20の近傍の気密性や接着性などを高めるために当該VCSEL20の近傍に充填されるものであり、アンダーフィル剤と呼ばれる場合もある。この充填剤26としては、透明基板10と同等の屈折率を有するものを用いる。これにより、透明基板10の表面での反射による戻り光を抑制することができる。
【0029】
このように、第1の実施形態の光モジュール1は、VCSEL20の発光面と透明基板10の一方面とが向き合う構造となるので、簡易な構造によりVCSEL20の発光面を保護することが可能となる。また、マイクロストリップラインを用いているので高周波信号への対応が可能となる。したがって、光通信に用いて好適な光モジュールを実現することが可能となる。また、本実施形態では、透明基板10の一方面上に共通配線層12、誘電体層14及び信号線層16を積層してマイクロストリップラインを構成し、信号線層16の上側にVCSEL20を配置しているので、透明基板10の他方面側とVCSEL20との間に、接地電位に接続される共通配線層12が介在することになり、透明基板10の他方面側からVCSEL20や回路チップ22へノイズが入ることを抑制することが容易になるという作用効果も奏する。
【0030】
なお、上述した実施形態及び後述する各実施形態において、VCSEL20に代えて、受光した光の強度に応じて電気信号を発生する受光素子(フォトディテクタ)を実装することも可能である。この場合には、上述した回路チップ22に、受光素子から出力される電流信号を電圧信号に変換する電流/電圧変換アンプ(あるいはトランスインピーダンスアンプ)などを含ませるようにし、当該回路チップ22と受光素子の相互間における電気信号の送受をマイクロストリップラインによって行うようにすることにより、動作速度の高速化に適する光モジュールを構成することが可能となる。更には、発光素子と受光素子のいずれも含むようにして光モジュールを構成してもよい。
【0031】
<第2の実施形態>
図2は、第2の実施形態の光モジュールの構成について説明する図である。同図に示す光モジュール1aは、基本的には上述した第1の実施形態の光モジュール1と同様な構成を備えており、マイクロストリップラインを構成する各配線層及び誘電体層の積層状態が異なっている。以下、主に第1の実施形態との相違点に着目して第2の実施形態の光モジュール1aの構成を説明する。
【0032】
図2に示すように、光モジュール1aは、透明基板10の上面に信号線層16aが形成され、当該信号線層16aの上層に誘電体層14a及び共通配線層12aが形成されている。これらの共通配線層12a、誘電体層14a及び信号線層16aを含んでマイクロストリップラインが構成されている。なお、共通配線層12a、誘電体層14a及び信号線層16aのそれぞれに好適な材質や形状等については、第1の実施形態における共通配線層12、誘電体層14及び信号線層16のそれぞれと同様である。
【0033】
このように、第2の実施形態の光モジュール1aによっても、簡易な構造によりVCSEL20の発光面を保護することが可能であり、高周波信号への対応にも優れ、光通信に用いて好適な光モジュールを実現することが可能となる。また、本実施形態では、透明基板10の一方面上に信号線層16a、誘電体層14a及び共通配線層12aを積層してマイクロストリップ伝送路を構成しており、信号線層16aの上側にVCSEL20を配置しているので、VCSEL20の下側の領域に積層される層が少なくなることにより当該領域の高さ(厚さ)の制御がしやすく、VCSEL20の発光面の位置精度(特に水平位置の精度)を確保することが容易になるという作用効果も奏する。
【0034】
<第3の実施形態>
次に、上述した実施形態において説明した光モジュールを用いて構成される光トランシーバ(光通信装置)について説明する。本発明にかかる光モジュールは、光トランシーバにおける外部機器とのインタフェースを担うフロントエンド部として用いることができる。
【0035】
図3は、第3の実施形態の光トランシーバの構成例について説明する図である。同図に示す光トランシーバ100は、光ファイバを介して情報通信を行うものであり、上述した実施形態にかかる光モジュール1(又は光モジュール1a)と、スリーブ102、回路基板104及び各構成要素を支持する筐体106を含んで構成されている。
【0036】
スリーブ102は、光ファイバの一端側が接続され、当該光ファイバと本例の光トランシーバ100の相互間の光学的結合を図るものであり、光モジュール1の他方面(裏面側)に配置されている。このスリーブ102は、光モジュール1の一方面上に実装されたVCSEL20から出射される信号光を集光して図示しない光ファイバに導くレンズ108を内蔵している。回路基板104は、情報通信にかかる信号処理を行うための電気回路を含むものであり、フレキシブル配線基板110を介して光モジュール1と電気的に接続されている。
【0037】
このように、本発明にかかる光モジュールを用いることにより、動作速度の高速化に適した光トランシーバを得ることが可能となる。このような本発明にかかる光トランシーバは、例えば、パーソナルコンピュータやいわゆるPDA(携帯型情報端末装置)など、光を伝送媒体として外部装置等との間の情報通信を行う各種の電子機器に用いることが可能である。
【0038】
<第4の実施形態>
次に、上述した実施形態において説明した光モジュールを用いて構成される光電気混載集積回路と、当該光電気混載集積回路を用いて構成される回路基板について説明する。
【0039】
図4は、光電気混載集積回路及び当該光電気混載集積回路を含む回路基板の構成例について説明する図である。同図に示す回路基板200は、上述した実施形態にかかる光モジュール1(又は光モジュール1a)を含む光電気混載集積回路202と、光電気混載基板204を含んで構成されている。
【0040】
光電気混載集積回路202は、光モジュール1と信号処理チップ206を含んでおり、両者をプラスチック等によって一体にモールドした構造となっている。光モジュール1と信号処理チップ206の間はワイヤボンディングによって電気的に接続されている。光モジュール1は、発光素子からの出射光の出射方向が光電気混載基板204に向かうように配置されている。
【0041】
光電気混載基板204は、上部に配線膜208が設けられ、内部(中間層)に光導波路210が設けられている。配線膜208は、光電気混載集積回路202と電気的に接続されており、当該配線膜208を介して光電気混載集積回路202と図示しない他の回路チップ等との相互間における電気信号の授受がなされる。
【0042】
光導波路210は、光電気混載集積回路202に含まれる発光素子から出射される光信号を伝搬させて図示しない他の装置、モジュール等へ送る機能を担う。この光導波路210は、端部に反射ミラー212が形成されており、発光素子からの光信号は当該反射ミラー212によって進行方向が略90度変換され、光導波路208内に入射し、進行する。
【0043】
このような本実施形態にかかる光電気混載集積回路202及び回路基板200は、例えばパーソナルコンピュータなど各種の電子機器に適用し、機器内での情報通信や外部機器等との間における情報通信に用いることが可能である。
【0044】
なお、本発明は上述した各実施形態の内容に限定されるものではなく、本発明の要旨の範囲内において種々の変形実施が可能である。例えば、上述した図1又は図2に示す光モジュールでは、光素子とマイクロストリップ伝送路とが共に透明基板の一方面に配置されていたが、光素子を一方面に配置し、マイクロストリップ伝送路を他方面に配置してもよい。この場合には、マイクロストリップ伝送路に設けられる開口部と光素子の発光面又は受光面とが向かい合うように位置合わせして配置するとともに、例えば透明基板にスルーホールを形成し、当該スルーホールに充填される導電体(プラグ)を介して光素子とマイクロストリップ伝送路の接続を図るようにすればよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の実施形態の光モジュールの構成について説明する図である。
【図2】第2の実施形態の光モジュールの構成について説明する図である。
【図3】光トランシーバの構成例について説明する図である。
【図4】光電気混載集積回路及び当該光電気混載集積回路を含む回路基板の構成例について説明する図である。
【符号の説明】
1…光モジュール、 10…透明基板、 12…共通配線層、 14…誘電体層、 16…信号線層、 18…保護層、 20…VCSEL(面発光レーザ)、 22…回路チップ、 100…光通信装置(光トランシーバ)、 200…回路基板、 202…光電気混載集積回路
[0001]
[Industrial applications]
The present invention relates to a device, a component, and the like used for optical communication in which information communication (signal transmission) between a plurality of devices or inside a device is performed by an optical signal.
[0002]
[Prior art]
Some use optical fibers for local area networks (LANs), direct connections between computer devices, and interconnections between computer devices and digital audio / video equipment. Such an apparatus uses an optical transceiver that converts an electric signal into an optical signal and sends it to an optical fiber, and also converts an optical signal received from the optical fiber into an electric signal. In recent years, in addition to information communication between devices as described above, optical communication has also been introduced in signal transmission inside the device, and metal wiring is used between circuit chips or modules in the device. Instead of the conventional method of passing an electric signal, a method of passing an optical signal through an optical fiber (tape fiber) or an optical waveguide is being adopted.
[0003]
In such optical communication, a light-emitting element that converts an electric signal carrying transmission information into an optical signal, a light-receiving element that converts an optical signal carrying reception information into an electric signal, a driver that drives these light-emitting elements or light-receiving elements, and the like. Is required. Generally, these light-emitting elements, light-receiving elements, drivers, and the like are mounted on a wiring board having a wiring pattern made of copper or the like, perform signal transmission between them, and perform predetermined operations. As a wiring board on which such a light emitting element or the like is mounted, for example, a multilayer board disclosed in JP-A-2000-277661 is known.
[0004]
[Patent Document 1]
JP 2000-277661 A [Problems to be Solved by the Invention]
By the way, when a light emitting element or the like is mounted on a circuit board (multilayer substrate) as in the conventional example, the light emitting surface or the light receiving surface is generally arranged facing the opposite side of the element mounting surface of the circuit board. In this case, however, the light-emitting surface of the light-emitting element is exposed, and the protection is lacking, and there is an inconvenience that the amount of light emitted (or light-receiving efficiency) is easily reduced or damaged due to the attachment of dust or the like. On the other hand, it is not preferable to provide a member or the like for protecting the light emitting surface or the like, because the number of parts increases, the structure becomes complicated, and the number of manufacturing steps increases. Use of a light-emitting element or the like including a member for protecting a light-emitting surface or the like is not preferable because the cost increases accordingly.
[0005]
Therefore, an object of the present invention is to provide an optical module which has a simple structure, is excellent in protection of a light emitting surface or a light receiving surface of an optical element, and is suitable for use in optical communication.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, an optical module according to the present invention includes: an optical element that emits a signal light according to a supplied electric signal or generates an electric signal according to the intensity of the supplied signal light; A multi-layer wiring for transmitting an electric signal to the element, and a transparent substrate that has a light-transmitting property with respect to the wavelength of light emitted or received in the optical element and supports the optical element and the multi-layer wiring; The light emitting surface or the light receiving surface of the element is disposed in an opening provided in the multilayer wiring, and signal light enters or exits through the opening and the transparent substrate.
[0007]
With this configuration, the light emitting surface or the light receiving surface of the optical element has a structure in which the light emitting surface or the light receiving surface of the optical element faces one surface of the transparent substrate, and thus the light emitting surface or the light receiving surface of the optical element can be protected with a simple structure.
[0008]
Here, in the present specification, the “transparent substrate” is not limited to a substrate having a light-transmitting property with respect to visible light as long as it has a light-transmitting property with respect to a wavelength of light used in an optical element. For example, when the wavelength of light used for the optical element is visible light or a value close to it (for example, 850 nm), a transparent substrate can be formed using a material such as glass or plastic, and the wavelength of light can be increased. When the wavelength is relatively long (for example, 1300 nm to 1500 nm), a transparent substrate can be formed using a material such as silicon or germanium.
[0009]
The above-described multilayer wiring is preferably a microstrip transmission line. By using a microstrip transmission line (microstrip line), it is easy to deal with high-frequency signals, and an optical module suitable for high-speed optical communication can be realized.
[0010]
Further, it is preferable that both the optical element and the multilayer wiring are arranged on one side of the transparent substrate. This facilitates electrical connection between the optical element and the multilayer wiring.
[0011]
In addition, the multilayer wiring is configured by laminating a common wiring layer, a dielectric layer, and a signal line layer on one surface of a transparent substrate, and the optical element is preferably arranged above the signal line layer. In this case, the common wiring layer is disposed between the other side of the transparent substrate and the optical element. Therefore, by connecting this common wiring layer to the ground potential, light can be transmitted from the other side of the transparent substrate. It becomes easy to suppress noise from entering the element.
[0012]
Further, the multilayer wiring is configured by laminating a signal line layer, a dielectric layer, and a common wiring layer on one surface of a transparent substrate, and it is preferable that the optical element is disposed above the signal line layer. In this case, since the number of layers disposed below the optical element is reduced, the height (thickness) of this region can be easily controlled, and the positional accuracy of the light emitting surface or the light receiving surface of the optical element (particularly, the horizontal position) Accuracy).
[0013]
Further, it is preferable to further include an optical element arranged on the other surface side of the transparent substrate and opposed to the light emitting surface or the light receiving surface of the optical element. Here, in this specification, the “optical element” refers to an element that gives some optical action (for example, refraction or diffraction) to incident light, and includes, for example, a lens and a diffraction grating. Since the optical element and the optical element are disposed to face each other with the transparent substrate interposed therebetween, a necessary optical distance between the optical element and the optical element can be secured by the thickness of the transparent substrate. Thereby, it is easier to secure the positional accuracy as compared with the case where the optical elements are independently arranged, and the assembling process can be simplified.
[0014]
The present invention is also an optical communication device (optical transceiver) including the above-described optical module. Such an optical communication device according to the present invention is used for various electronic devices such as a personal computer and a so-called PDA (portable information terminal device) that perform information communication with an external device or the like using light as a transmission medium. It is possible. In this specification, the term “optical communication device” refers not only to a device including both a configuration related to signal light transmission (light emitting element and the like) and a configuration related to signal light reception (light receiving device and the like) but also to a device for transmission. It includes a device having only such a configuration (a so-called optical transmission module) and a device having only a configuration for receiving (a so-called optical receiving module).
[0015]
The present invention is also an opto-electric hybrid integrated circuit including the above-described optical module, and is also a circuit board including the above-described optical module and an optical waveguide for transmitting signal light. Such a circuit board may be referred to as an “opto-electric hybrid board”.
[0016]
The present invention is also an electronic device including the above-described optical module. More specifically, in addition to the case where the electronic device of the present invention includes the optical module itself, the electronic device includes any of the above-described optical communication device, optical-electrical hybrid integrated circuit, and circuit board including the optical module. Including cases. As used herein, the term “electronic device” refers to a general device that realizes a certain function using an electronic circuit or the like, and its configuration is not particularly limited. For example, a personal computer, a PDA (portable information Terminal) and various devices such as an electronic organizer. The optical module, the optical communication device, the opto-electric hybrid integrated circuit or the circuit board according to the present invention can be used for information communication inside the device or information communication with an external device in these electronic devices.
[0017]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
[0018]
<First embodiment>
FIG. 1 is a diagram illustrating the configuration of the optical module according to the first embodiment. The optical module 1 of this embodiment shown in FIG. 1 includes a transparent substrate 10, a common wiring layer 12, a dielectric layer 14, a signal line layer 16, a protective layer 18, a VCSEL (surface emitting laser) 20, a circuit chip 22, and a lens 24. , And a filler 26. A microstrip line is formed by multilayer wiring including the common wiring layer 12, the dielectric layer 14, and the signal line layer 16, and the microstrip line is used to connect between the VCSEL 20 and the circuit chip 22 or other circuit elements (not shown). The transmission and reception of electric signals are performed between each other. Hereinafter, each component will be described in detail.
[0019]
The transparent substrate 10 has transparency to the wavelength of the light emitted from the VCSEL 20 and supports each element constituting the optical module 1. For example, when the wavelength of light emitted from the VCSEL 20 is visible light or a value close to it (for example, 850 nm), the transparent substrate 10 may be made of a material such as glass or plastic. When the wavelength of the emitted light is relatively long (for example, 1300 nm to 1500 nm), the transparent substrate 10 can be made of a material such as silicon or germanium.
[0020]
The common wiring layer 12 is connected to the ground potential, and is formed on one surface (upper surface) of the transparent substrate 10 using a conductor film made of, for example, copper or the like. This common wiring layer 12 is preferably formed over substantially the entirety of one surface of the transparent substrate 10 in order to minimize the reactance.
[0021]
The dielectric layer 14 is for forming a microstrip structure by separating the common wiring layer 12 and the signal line layer 16 from each other, and is formed on the upper surface of the common wiring layer 12. The dielectric layer 14 is preferably formed to a thickness of about several tens of μm using a dielectric (insulator) such as polyimide.
[0022]
The signal line layer 16 is formed on the upper surface of the dielectric layer 14 using a conductor film made of copper or the like, and is patterned into a predetermined shape. As described above, the microstrip line includes the signal line layer 16, the common wiring layer 12, and the dielectric layer 14. The characteristic impedance of the microstrip line depends on the shapes (line width, line thickness, etc.) and materials of the common wiring layer 12 and the signal line layer 16, the dielectric constant of the dielectric layer 14, the common wiring layer 12 and the signal line layer 16. It can be adjusted to a desired value by appropriately setting each parameter such as the interval.
[0023]
Here, a method of forming a multilayer wiring (microstrip line) including the common wiring layer 12, the dielectric layer 14, and the signal line layer 16 will be schematically described. First, the common wiring layer 12 is formed on the transparent substrate 10 by a method such as electroforming, lift-off, or photolithography. Next, a photosensitive polyimide layer is formed on the common wiring layer 12 by a method such as spin coating or sheet bonding, and is further patterned to expose electrodes and the like. Thus, a dielectric layer 14 is formed. After that, the signal line layer 16 is formed in the same manner as the method of forming the common wiring layer 12 described above. Note that, if necessary, the above steps can be further repeated a plurality of times to form a multilayer wiring including more wiring layers.
[0024]
The protection layer 18 is for protecting the signal line layer 16 from corrosion, breakage, and the like, and is formed so as to cover substantially the entire upper surface of the signal line layer 16. The protective layer 18 is preferably formed by, for example, applying a soldering resist or the like.
[0025]
The VCSEL 20 is a surface-emitting type light-emitting element that emits signal light in accordance with a drive signal given from the circuit chip 22, and has a light-emitting surface at a predetermined position on one surface of the transparent substrate 10 with the light-emitting surface facing the transparent substrate 10. Are located. The light emitting surface of the VCSEL 20 is disposed in an opening 21 provided in a microstrip line including the common wiring layer 12, the dielectric layer 14, and the signal line layer 16 described above. An optical signal is emitted through 10. In this embodiment, a VCSEL which is a surface-emitting type light-emitting element is used, but another light-emitting element (for example, an edge-emitting type light-emitting element or the like) may be used.
[0026]
The circuit chip 22 includes a driver for driving the VCSEL 20 and the like, and is arranged at a predetermined position on the transparent substrate 10. The circuit chip 22 is connected to the VCSEL 20 via a microstrip line formed on the transparent substrate 10, and further connected to other circuit elements (not shown), circuit chips, external devices, and the like as necessary. .
[0027]
The lens 24 is disposed on the other surface side of the transparent substrate 10 at a position facing the light emitting surface of the VCSEL 20. As described above, since the VCSEL 20 and the lens 24 are arranged to face each other with the transparent substrate 10 interposed therebetween, it is possible to secure a necessary optical distance between the VCSEL 20 and the lens 24 according to the thickness of the transparent substrate 10. It is easier to ensure positional accuracy as compared with the case where they are independently arranged inside. If necessary, another optical element (for example, a diffraction grating or the like) may be provided instead of the lens 24.
[0028]
The filler 26 is filled in the vicinity of the VCSEL 20 in order to improve the airtightness and adhesiveness in the vicinity of the VCSEL 20, and is sometimes called an underfill agent. As the filler 26, a filler having a refractive index equivalent to that of the transparent substrate 10 is used. Thereby, return light due to reflection on the surface of the transparent substrate 10 can be suppressed.
[0029]
As described above, the optical module 1 of the first embodiment has a structure in which the light emitting surface of the VCSEL 20 and one surface of the transparent substrate 10 face each other, so that the light emitting surface of the VCSEL 20 can be protected with a simple structure. . Further, since a microstrip line is used, it is possible to cope with a high frequency signal. Therefore, it is possible to realize an optical module suitable for use in optical communication. In the present embodiment, the common wiring layer 12, the dielectric layer 14, and the signal line layer 16 are stacked on one surface of the transparent substrate 10 to form a microstrip line, and the VCSEL 20 is disposed above the signal line layer 16. Therefore, the common wiring layer 12 connected to the ground potential is interposed between the other surface side of the transparent substrate 10 and the VCSEL 20, and the VCSEL 20 and the circuit chip 22 are connected from the other surface side of the transparent substrate 10. There is also an operational effect that it is easy to suppress the entry of noise.
[0030]
In the above-described embodiment and each of the embodiments described below, a light receiving element (photodetector) that generates an electric signal according to the intensity of the received light may be mounted instead of the VCSEL 20. In this case, the above-described circuit chip 22 includes a current / voltage conversion amplifier (or transimpedance amplifier) for converting a current signal output from the light receiving element into a voltage signal, and the like. By transmitting and receiving electric signals between the elements by the microstrip line, it becomes possible to configure an optical module suitable for increasing the operation speed. Further, the optical module may be configured to include both the light emitting element and the light receiving element.
[0031]
<Second embodiment>
FIG. 2 is a diagram illustrating the configuration of the optical module according to the second embodiment. The optical module 1a shown in the figure has basically the same configuration as the optical module 1 of the first embodiment described above, and the lamination state of each wiring layer and dielectric layer constituting the microstrip line is different. Is different. Hereinafter, the configuration of the optical module 1a according to the second embodiment will be described, mainly focusing on the differences from the first embodiment.
[0032]
As shown in FIG. 2, in the optical module 1a, a signal line layer 16a is formed on the upper surface of the transparent substrate 10, and a dielectric layer 14a and a common wiring layer 12a are formed on the signal line layer 16a. A microstrip line includes these common wiring layer 12a, dielectric layer 14a and signal line layer 16a. Note that materials and shapes suitable for each of the common wiring layer 12a, the dielectric layer 14a, and the signal line layer 16a are described in each of the common wiring layer 12, the dielectric layer 14, and the signal line layer 16 in the first embodiment. Is the same as
[0033]
As described above, also with the optical module 1a of the second embodiment, the light emitting surface of the VCSEL 20 can be protected with a simple structure, is excellent in handling high-frequency signals, and is suitable for use in optical communication. Modules can be realized. In this embodiment, the signal line layer 16a, the dielectric layer 14a, and the common wiring layer 12a are stacked on one surface of the transparent substrate 10 to form a microstrip transmission line. Since the VCSEL 20 is disposed, the number of layers stacked in the region below the VCSEL 20 is reduced, so that the height (thickness) of the region can be easily controlled, and the positional accuracy of the light emitting surface of the VCSEL 20 (particularly, the horizontal position) This also has the effect of making it easier to ensure the accuracy).
[0034]
<Third embodiment>
Next, an optical transceiver (optical communication device) configured using the optical module described in the above embodiment will be described. The optical module according to the present invention can be used as a front-end unit that interfaces with an external device in an optical transceiver.
[0035]
FIG. 3 is a diagram illustrating a configuration example of the optical transceiver according to the third embodiment. An optical transceiver 100 shown in the figure performs information communication via an optical fiber, and includes an optical module 1 (or an optical module 1a) according to the above-described embodiment, a sleeve 102, a circuit board 104, and each component. It is configured to include a supporting casing 106.
[0036]
The sleeve 102 is connected to one end of the optical fiber, and serves for optical coupling between the optical fiber and the optical transceiver 100 of the present embodiment. The sleeve 102 is disposed on the other surface (back surface) of the optical module 1. . The sleeve 102 has a built-in lens 108 for collecting signal light emitted from the VCSEL 20 mounted on one surface of the optical module 1 and guiding the signal light to an optical fiber (not shown). The circuit board 104 includes an electric circuit for performing signal processing related to information communication, and is electrically connected to the optical module 1 via the flexible wiring board 110.
[0037]
As described above, by using the optical module according to the present invention, it is possible to obtain an optical transceiver suitable for increasing the operation speed. Such an optical transceiver according to the present invention is used for various electronic devices such as a personal computer and a so-called PDA (portable information terminal device) that perform information communication with an external device using light as a transmission medium. Is possible.
[0038]
<Fourth embodiment>
Next, an opto-electric hybrid integrated circuit configured using the optical module described in the above-described embodiment and a circuit board configured using the opto-electric hybrid integrated circuit will be described.
[0039]
FIG. 4 is a diagram illustrating a configuration example of an opto-electric hybrid integrated circuit and a circuit board including the opto-electric hybrid integrated circuit. The circuit board 200 shown in the figure includes an opto-electric hybrid integrated circuit 202 including the optical module 1 (or the optical module 1a) according to the above-described embodiment, and an opto-electric hybrid board 204.
[0040]
The opto-electric hybrid integrated circuit 202 includes the optical module 1 and the signal processing chip 206, and has a structure in which both are integrally molded with plastic or the like. The optical module 1 and the signal processing chip 206 are electrically connected by wire bonding. The optical module 1 is arranged such that the emission direction of the emitted light from the light emitting element is directed to the opto-electric hybrid board 204.
[0041]
A wiring film 208 is provided on the upper part of the opto-electric hybrid board 204, and an optical waveguide 210 is provided inside (an intermediate layer). The wiring film 208 is electrically connected to the opto-electric hybrid integrated circuit 202, and exchanges an electric signal between the opto-electric hybrid integrated circuit 202 and another circuit chip (not shown) via the wiring film 208. Is made.
[0042]
The optical waveguide 210 has a function of propagating an optical signal emitted from a light emitting element included in the opto-electric hybrid integrated circuit 202 and sending the signal to another device or module (not shown). The optical waveguide 210 has a reflection mirror 212 formed at an end thereof, and the optical signal from the light emitting element is changed in direction by approximately 90 degrees by the reflection mirror 212, enters the optical waveguide 208, and travels.
[0043]
The opto-electric hybrid integrated circuit 202 and the circuit board 200 according to this embodiment are applied to various electronic devices such as a personal computer, and are used for information communication within the device and information communication with an external device. It is possible.
[0044]
Note that the present invention is not limited to the contents of the above-described embodiments, and various modifications can be made within the scope of the present invention. For example, in the optical module shown in FIG. 1 or FIG. 2 described above, the optical element and the microstrip transmission line are both arranged on one surface of the transparent substrate. May be arranged on the other surface. In this case, the opening provided in the microstrip transmission line and the light emitting surface or the light receiving surface of the optical element are aligned and arranged so as to face each other, for example, a through hole is formed in a transparent substrate, and the through hole is formed. The connection between the optical element and the microstrip transmission line may be achieved through the filled conductor (plug).
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a diagram illustrating a configuration of an optical module according to a first embodiment.
FIG. 2 is a diagram illustrating a configuration of an optical module according to a second embodiment.
FIG. 3 is a diagram illustrating a configuration example of an optical transceiver.
FIG. 4 is a diagram illustrating a configuration example of an opto-electric hybrid integrated circuit and a circuit board including the opto-electric hybrid integrated circuit.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Optical module, 10 ... Transparent substrate, 12 ... Common wiring layer, 14 ... Dielectric layer, 16 ... Signal line layer, 18 ... Protective layer, 20 ... VCSEL (surface emitting laser), 22 ... Circuit chip, 100 ... Light Communication device (optical transceiver), 200: circuit board, 202: opto-electric hybrid integrated circuit

Claims (11)

供給される電気信号に応じて信号光を出射し又は供給される信号光の強度に応じて電気信号を発生する光素子と、
前記光素子に対する電気信号の伝送を担う多層配線と、
前記光素子において発光又は受光される光の波長に対して光透過性を有し、前記光素子及び前記多層配線を支持する透明基板と、を含み、
前記光素子は前記多層配線に設けられた開口部内にその発光面又は受光面が配置されており、当該開口部及び前記透明基板を通して光信号の入射又は出射がなされる、光モジュール。
An optical element that emits a signal light according to the supplied electric signal or generates an electric signal according to the intensity of the supplied signal light,
Multilayer wiring responsible for transmission of electrical signals to the optical element,
The optical element has a light-transmitting property to the wavelength of light emitted or received, and a transparent substrate that supports the optical element and the multilayer wiring,
An optical module, wherein the optical element has a light emitting surface or a light receiving surface disposed in an opening provided in the multilayer wiring, and an optical signal is incident or emitted through the opening and the transparent substrate.
前記多層配線はマイクロストリップ伝送路である、請求項1に記載の光モジュール。The optical module according to claim 1, wherein the multilayer wiring is a microstrip transmission line. 前記光素子と前記多層配線は共に前記透明基板の一方面側に配置される、請求項1又は2に記載の光モジュール。The optical module according to claim 1, wherein the optical element and the multilayer wiring are both disposed on one side of the transparent substrate. 前記多層配線は、前記透明基板の一方面上に共通配線層、誘電体層及び信号線層を積層して構成されており、
前記光素子は、前記信号線層の上側に配置される、請求項3に記載の光モジュール。
The multilayer wiring is configured by stacking a common wiring layer, a dielectric layer and a signal line layer on one surface of the transparent substrate,
The optical module according to claim 3, wherein the optical element is arranged above the signal line layer.
前記多層配線は、前記透明基板の一方面上に信号線層、誘電体層及び共通配線層を積層して構成されており、
前記光素子は、前記信号線層の上側に配置される、請求項3に記載の光モジュール。
The multilayer wiring is configured by laminating a signal line layer, a dielectric layer and a common wiring layer on one surface of the transparent substrate,
The optical module according to claim 3, wherein the optical element is arranged above the signal line layer.
前記透明基板の他方面側であって前記光素子の発光面又は受光面と対向する位置に配置される光学要素を更に含む、請求項2乃至5のいずれかに記載の光モジュール。The optical module according to any one of claims 2 to 5, further comprising an optical element disposed on the other surface side of the transparent substrate and facing a light emitting surface or a light receiving surface of the optical element. 前記光学要素は、少なくともレンズ、回折格子のいずれかを含む、請求項6に記載の光モジュール。The optical module according to claim 6, wherein the optical element includes at least one of a lens and a diffraction grating. 請求項1乃至7のいずれかに記載の光モジュールを備える光通信装置。An optical communication device comprising the optical module according to claim 1. 請求項1乃至7のいずれかに記載の光モジュールを備える光電気混載集積回路。An opto-electric hybrid integrated circuit comprising the optical module according to claim 1. 請求項1乃至7のいずれかに記載の光モジュールと、
信号光の伝送を担う光導波路と、
を備える回路基板。
An optical module according to any one of claims 1 to 7,
An optical waveguide for transmitting signal light;
A circuit board comprising:
請求項1乃至7のいずれかに記載の光モジュールを備える電子機器。An electronic device comprising the optical module according to claim 1.
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