JP2004207347A - ガスレーザ発振装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光学ベンチに接続されるガス循環配管を内筒としてその外側にシリンダを形成し、光学ベンチと周辺部材の間の力と反対方向の力を発生させて力の均衡を保つ。また、ガス配管に孔を設けることで当該シリンダ内の圧力をガス配管内の圧力と同じにできる。同様にして、光学ベンチに接続されるガス配管を内筒とした外側のシリンダ内にガスレーザ発振装置でその原動として通常用いられるレーザガス・冷却水・圧縮エア等を供給して圧力を付与することにより上記の課題を解決できる。
【選択図】 図2
Description
【発明の属する技術分野】
本発明はガスレーザ発振装置において、光学ベンチと周辺部材の間の力の均衡を保つことにより、安定したレーザ出力とビームモードを確保し、安定したレーザ加工を提供する技術に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
図5および図6を参照しながら説明する。
【0003】
図5および図6において、光学ベンチ119とその保持部の構成を示す。図5において、101は放電管、111はメインパイプ、112は筐体、113はミラー取り付け部、115はミラー支持ブロック、117はセンタブロックであり、メインパイプ111に流入したレーザガスはメインパイプ111の両端に固定されたミラー支持ブロック115の中を通って放電管101に入り、放電管101における放電によって励起されレーザ光を発する。
【0004】
そして、放電管101内で励起されたレーザガスはセンターブロック117から図示しない熱交換器を経て送風機に戻られる。
【0005】
また、メインパイプ111の両端は、メインパイプ111のガス流動部すなわち内部断面と同じ内部断面積を有するつなぎパイプ114を介して、筐体112に固定されたキャンセラブロック116と接続されている。
【0006】
図6を用いて、光学ベンチ119のメインパイプ111が筐体112に固定されたキャンセラブロック116との間をつなぎパイプ114によって接続されている部分の構造を、さらに詳しく説明する。
【0007】
図6において、キャンセラブロック116が筐体112に固定されており、そのキャンセラブロック116とメインパイプ111は、キャンセラブロック116とメインパイプ111の両方に嵌合したつなぎパイプ114で摺動可能に結合されている。なお、キャンセラブロック116およびメインパイプ111とつなぎパイプ114との摺動部分には真空室の気密を保つためのOリング118が装着されている(例えば特許文献1参照)。
【0008】
また、ガスレーザ発振装置では一般的に図7に示すように構成される。
【0009】
この場合、発振器チャンバー内は圧力が通常30KPa以下の負圧のレーザ媒質2が封入され、ブロワー13により系内を矢印の方向に循環される。ブロワー13により断熱圧縮されたレーザ媒質2は熱交換器14により冷却された後、左右両側より放電管1に供給され、放電管1の両端の陽極3と陰極4の間に印加される高電圧によりそれらの間で放電が発生する。放電により熱せられたレーザ媒質2は、熱交換器15により冷却され再度ブロワ13に戻る。
【0010】
また、反射鏡5および部分反射鏡6は、4本の連結棒11により連結された左右の保持板10に装架され、放電管1は、板10に取り付けられた絶縁ブロック8と、連結棒11から支持された集合ブロック129の間に取り付けられ、これらにより光学ベンチ122が構成されている。放電管1内の陽極3と陰極4の間の放電により、レーザ媒質2が励起され再度安定状態に戻る際にレーザ光を誘導放出し、反射鏡5と部分反射鏡6の間で反射を繰り返した後、部分反射鏡6からその一部がレーザ光127として外部に取り出される。
【0011】
取り出されたレーザ光127は、通常複数の反射鏡により集光レンズに導かれ、それにより1点に集光されることによりきわめて高いエネルギー密度を得て、金属その他の被加工材料に照射して切断あるいは溶接等の施工が行われる。このレーザ加工の加工品質は、主としてレーザ出力とビームモードにより決定される。
【0012】
図8に、従来のガスレーザ発振装置の光学ベンチ122への作用力均衡機構について図示している。集合ブロック129には、放電管1を流れたレーザ媒質が孔30を通って流れ込み、ガス配管部材22の内部を通過して周辺部材23の方向に流れて行く。集合ブロック129およびガス配管部材22の内部におけるレーザ媒質の圧力は通常30KPa以下の負圧であり、集合ブロック129の内部に挿入されたOリング36と、周辺部材23の内部に挿入されたOリング39により大気と遮断されている。
【0013】
このため、集合ブロック129には、内部の圧力とOリング36に内接する部分の直径寸法により決定される作用力42が作用して、光学ベンチ122全体が変形してしまう。これにより、予め放電管1、反射鏡5、および部分反射鏡6の中心が一致するよう調整された光軸が変化し、レーザ出力およびビームモードに悪影響を及ぼし安定したレーザ加工ができなくなる。これを防止するため、従来のガスレーザ発振装置では真空力キャンセラ16が集合ブロック129のガス配管部材22と反対側に装備されている。
【0014】
真空力キャンセラ16内のOリング24、25の外接する部分の直径寸法と前記Oリング36に内接する部分の直径寸法とを同一にするとともに、真空力キャンセラ16内部の圧力をガス配管部材22の内部の圧力と同一に保つことにより、連結部材21を通じて集合ブロック129に、前記作用力42と方向が反対で大きさが等しい作用力26を作用させて、光学ベンチに作用する作用力の総和をゼロとして、その変位を抑制することにより安定したレーザ出力とビームモードを得ていた。
【0015】
【特許文献1】
特開平5−121796号公報(第2−3頁、第1図,第2図)
【0016】
【発明が解決しようとする課題】
前記のような従来技術を用いた場合、例えば図7,8に示した構成だと集合ブロック129のガス配管部材22と反対側に真空力キャンセラ16の配置スペースが必要となるため、ガスレーザ発振装置の外形サイズを大型化させてしまうという問題があった。
【0017】
また、真空力キャンセラ16にチューブ等の配管部材を用いて配管することにより圧力を光学ベンチ12内のそれと同一に保つ必要がある。この際、光学ベンチ内への不純物の侵入を防止するため、その配管には脱ガス特性に優れた(脱ガス量が少ない)高価な材料を使用する必要がある。これにより、配管作業に時間を要するだけでなく、ガスレーザ発振装置の材料費を高めてしまうという問題があった。
【0018】
本発明は、上記のような従来の課題に鑑み、省スペースでかつ高価な配管部材を必要としない、光学ベンチに作用する作用力の均衡方法を提供することを目的とする。
【0019】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明のガスレーザ発振装置では、光学ベンチに接続されるガス配管部材を内筒としてその外側の空間にシリンダを形成している。これにより、光学ベンチと周辺部材の間の力と反対方向の力を発生させて力の均衡を図ることにより、光学ベンチの変位を防止している。
【0020】
また、ガス配管部材に孔を設けることにより、当該シリンダ内の圧力をガス配管内部の圧力と同一に保つ構成としているため、高価な配管部材と配管作業を必要としない。
【0021】
ただし、加工誤差や組み付け誤差により、光学ベンチと周辺部材の取り付けに角度誤差を持つと、集合ブロックに対して片当たりして作用力を作用させるため、光学ベンチにかかるモーメントの均衡が得られないことがある。本発明では、これを防止するため、光学ベンチへの作用力の伝達部材に弾性体を用いた。
【0022】
また、上記ガス配管部材や上記シリンダ部において、真空部と大気を遮断するのに用いられるOリングは、規格によりそのサイズが定められているため、ガス配管により引き合う力と外側に形成したシリンダの力を完全に同じにすることができない。本発明では、これを補うため、上記ガス配管部材に設ける孔の中心線とガス流方向との角度を直角から変えることにより、ベンチュリー効果を利用して上記外側のシリンダ内の圧力をガス配管内圧力から微小に変化させ、光学ベンチの力の均衡をより正確にしている。
【0023】
さらにまた、上記ガス配管部材の外側の、集合ブロックと周辺部材の間に圧力室を設けて、ガスレーザ発振器で用いられるユーティリティである、レーザガス、圧縮エア、冷却水等一定の圧力で供給される流体を上記圧力室内に導くことにより、集合ブロックに作用力を作用させて光学ベンチの力の均衡を図る方法も用いることができる。
【0024】
これらの構成によれば、集合ブロックのガス配管接続部と反対側に真空力キャンセラを配置するスペースが不要となるため、ガスレーザ発振装置の外形サイズを小型化することができる。
【0025】
【発明の実施の形態】
(実施の形態1)
以下、本発明の実施の形態1について、図1を用いて説明する。
【0026】
発振器チャンバー内は圧力が通常30KPa以下の負圧のレーザ媒質2が封入され、ブロワー13により系内を矢印の方向に循環される。ブロワー13により断熱圧縮されたレーザ媒質2は熱交換器14により冷却された後、左右両側より放電管1に供給され、放電管1の両端の陽極3と陰極4の間に印加される高電圧によりそれらの間で放電が発生する。放電により熱せられたレーザ媒質2は、熱交換器15により冷却され再度ブロワ13に戻る。
【0027】
また、反射鏡5および部分反射鏡6は、4本の連結棒11により連結された左右の保持板10に装架され、放電管1は、板10に取り付けられた絶縁ブロック8と、連結棒11から支持された集合ブロック9の間に取り付けられ、これらにより光学ベンチ12が構成されている。放電管1内の陽極3と陰極4の間の放電により、レーザ媒質2が励起され再度安定状態に戻る際にレーザ光を誘導放出し、反射鏡5と部分反射鏡6の間で反射を繰り返した後、部分反射鏡6からその一部がレーザ光7として外部に取り出される。
【0028】
取り出されたレーザ光7は、通常複数の反射鏡により集光レンズに導かれ、それにより1点に集光されることによりきわめて高いエネルギー密度を得て、金属その他の被加工材料に照射して切断あるいは溶接等の施工が行われる。このレーザ加工の加工品質は、主としてレーザ出力とビームモードにより決定される。
【0029】
図2において、集合ブロック9には、放電管1を流れたレーザ媒質が孔30を通って流れ込み、ガス配管部材31の内部を通過して周辺部材33の方向に流れて行く。集合ブロック9およびガス配管部材31の内部におけるレーザ媒質の圧力は通常30KPa以下の負圧であり、またその速度は音速の20〜50%と速い。これらは、集合ブロック9の内部に挿入されたOリング36と、周辺部材33の内部に挿入されたOリング39により大気と遮断されている。このため、集合ブロック9と周辺部材33には、内部の圧力とOリング36,39に内接する部分の直径寸法により決定される反対向きの作用力42、43が作用する。
【0030】
ガス配管部材31の外側には、ガス配管部材31に挿入されたOリング37と、外部部材32に挿入されたOリング38により大気と遮断された負圧室35が形成されている。負圧室35はガス配管部材31に設けられた孔34によりガス配管部材31内部と連通しており、それらの圧力が同一に保たれる構成となっている。このため、ガス配管部材31と外部部材32には、内部の圧力とOリング37に外接する部分の直径寸法、およびOリング38に内接する部分の直径寸法により決定される各々反対向きの作用力44、45が作用する。
【0031】
したがって、ガス配管部材31は作用力44によりその方向に摺動して周辺部材33と当接する。また、外部部材32は作用力45によりその方向に摺動して、外部部材32に取り付けられた弾性部材41が集合ブロック9に当接する。この際、集合ブロック9は弾性部材41から作用力45を受ける。即ち、集合ブロック9には、互いに反対方向の作用力42と45が働くことになる。
【0032】
ここで、作用力42と45が近似するように、Oリング36に内接する部分の直径寸法、Oリング37に外接する部分の直径寸法,およびOリング38と内接する部分の直径寸法の寸法を決定すれば、集合ブロック9、すなわち光学ベンチに作用する力の総和は極小となる。この力の均衡により、光学ベンチの変位を微小な範囲、即ち通常ではガスレーザ発振装置の特性上問題にならない程度に抑制することができる。
【0033】
ここで、集合ブロック9に作用力45を作用させる部材が弾性体でない場合の弊害について、図3を用いて説明する。集合ブロック9、ガス配管部材31、および外部部材32の間には部品加工上または組立上の誤差が存在するため、通常各々の中心線の間には微小な角度誤差が生じる。この場合、集合ブロック9に当接する部材49が剛体であると、作用力45は集合ブロック9の中心から離れた1点48に集中して作用してしまう。一方、作用力42は集合ブロック9の中心に作用するため、結果として集合ブロック9、すなわち光学ベンチには、中心から点48までの距離と作用力42、45により決定されるモーメントが作用する。
【0034】
このモーメントにより、光学ベンチに変形が発生する。これにより、予め放電管1、反射鏡5、および部分反射鏡6の中心が一致するよう調整された光軸が変化し、レーザ出力およびビームモードに悪影響を及ぼし安定したレーザ加工ができなくなる。
【0035】
集合ブロック9に作用力45が作用する部材が弾性体であることにより、その変形によって集合ブロック9により均一な力を作用させ、作用力45の中心を作用力42の中心に限りなく一致させることにより、上記モーメントの発生を抑制して光学ベンチの変形を防止することができる。
【0036】
しかしながら、前記Oリングに外接または内接する直径は規格により定められているため、集合ブロック9に作用する力の総和は厳密にはゼロにはならないため、集合ブロック9すなわち光学ベンチにはごく微小な変形が発生する。通常のレーザ加工において問題とならないこの微小変形も、特殊な用途のレーザ加工(例えばセラミックプリント基板のスクライブ加工等)において、ビームモードのわずかな歪みにより加工不良となる場合がある。
【0037】
このわずかな光学ベンチへの力の総和の不均衡を補うため、本発明ではガス配管部材31に設けられた孔34の中心線と、ガス流方向との角度を直角からわずかに変えている。すなわちガス配管部材31の中をレーザ媒質が高速で流れているため、孔34の中心線角度によって、ベンチュリー効果により負圧室35内部の圧力が変化するからである。これにより、集合ブロック9すなわち光学ベンチへの作用力の総和を完全にゼロとして、光学ベンチの変形と光軸の変化を無くし、レーザ出力およびビームモード、ひいてはレーザ加工を安定させることができる。
【0038】
(実施の形態2)
以下、本発明の実施の形態2について、図4を用いて説明する。
【0039】
前記、実施の形態1と同様に、集合ブロック9と周辺部材33には、内部の圧力とOリング36・39に内接する部分の直径寸法により決定される反対向きの作用力42、43が作用する。
【0040】
ガス配管部材51の外側には、集合ブロック9に挿入されたOリング54と、周辺部材33に挿入されたOリング55により外筒52が支持され、大気およびガス配管内と遮断された圧力室53が形成されている。圧力室53には一定圧力に調整されてガスレーザ発振装置に供給されるレーザ媒質(混合ガス)が配管ホース59を通して圧力室53に供給されている。
【0041】
このため、集合ブロック9と周辺部部材33には、圧力室53内部の圧力とOリング54および55に外接する部分の直径寸法により決定される各々反対向きの作用力57、58が作用する。ここで、作用力42と57が等しくなるように、圧力室53に供給されるレーザ媒質の圧力と、Oリング54と外接する部分の直径寸法、およびOリング36と内接する部分の直径寸法の寸法を決定すれば、集合ブロック9すなわち光学ベンチへの作用力の総和はゼロとなる。この作用力の均衡により、光学ベンチの変形を防止することができる。
【0042】
また、上記実施の形態では、圧力室53に供給する流体としてレーザ媒質を用いたが、ガスレーザ発振装置には、その他にも、冷却水や圧縮エアーが供給されている。したがって、圧力室53に、冷却水または圧縮エアー等を供給しても、集合ブロック9に作用する力の総和をゼロとして、光学ベンチの変形を防止することができる。
【0043】
ここで、圧力室53に流体を供給する配管材料は、いずれも正の圧力であるとともに脱ガスの影響を考慮する必要がないため、通常の廉価な配管材料を用いても問題はない。
【0044】
【発明の効果】
以上のように本発明によると、集合ブロックのガス配管接続部と反対側に真空力キャンセラの配置する必要がなく、ガス配管部材周辺のわずかなスペースで、光学ベンチの力の均衡を保って真空力による変形を防止することができる。そのため、ガスレーザ発振装置の外形サイズを小型化することが可能になる。
【0045】
また、真空力キャンセラへの高価な配管材料を使用する必要がなくなり、ガスレーザ発振装置の材料費を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1におけるガスレーザ発振装置の説明図
【図2】同実施の形態1における光学ベンチの作用力説明図
【図3】同実施の形態1における光学ベンチの作用力説明図
【図4】同実施の形態1における光学ベンチの作用力説明図
【図5】従来におけるガスレーザ発振装置の説明図
【図6】従来におけるガスレーザ発振装置の詳細説明図
【図7】従来における別のガスレーザ発振装置の説明図
【図8】従来における光学ベンチの作用力説明図
【符号の説明】
1 放電管
5 反射鏡
6 部分反射鏡
9 集合ブロック
12 光学ベンチ
31,51 ガス配管部材
41 弾性部材
52 外筒
53 圧力室
Claims (9)
- 放電管,反射鏡および部分反射鏡を装架した光学ベンチと、前記光学ベンチと周辺部材との間に有したガス配管部材と、前記ガス配管部材の外側に形成したシリンダと、前記シリンダの作用力を前記光学ベンチに伝達する作用力伝達手段とを備え、前記作用力伝達手段によって前記光学ベンチと前記周辺部材との間の力を均衡させたガスレーザ発振装置。
- シリンダ内の圧力とガス配管内の圧力とを同じ圧力にする圧力均衡手段を有した請求項1記載のガスレーザ発振装置。
- 圧力均衡手段はガス配管部材に孔を設けることにより行なう請求項2記載のガスレーザ発振装置。
- 作用力伝達手段は弾性体である請求項1から3のいずれかに記載のガスレーザ発振装置。
- ガス配管部材に設けた孔の中心線とガス流方向との角度を調整する調整手段を有したガスレーザ発振装置。
- ガス配管部材の外側に設けた外筒と、前記ガス配管部材と前記外筒との間に設けた圧力室を有し、前記圧力室はレーザガスにより圧力を付与される請求項5記載のガスレーザ発振装置。
- 圧力室に圧力を付与する圧力付与手段を有した請求項6記載のガスレーザ発振装置。
- 圧力付与手段は、圧縮媒体により行なう請求項7記載のガスレーザ発振装置。
- 圧力付与手段は、冷却媒体により行なう請求項7記載のガスレーザ発振装置。
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