JP2004205145A

JP2004205145A - Substrate drying apparatus for plasma display panel

Info

Publication number: JP2004205145A
Application number: JP2002376436A
Authority: JP
Inventors: Keiji Kawazoe; 啓司川添; Naoko Matsuda; 直子松田; Hiroyuki Naka; 裕之中
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2002-12-26
Filing date: 2002-12-26
Publication date: 2004-07-22

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a substrate drying apparatus for a plasma display panel allowing the efficient insulation of heat in a drying part 100. <P>SOLUTION: A metal plate 703 is disposed between a first insulator 702 and a second insulator 704 separating upper and lower drying parts 100 with different room temperatures from each other so as to partition these both insulators 702 and 704. A cooling tube 701 is installed in contact with a metal plate 703. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO&NCIPI

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、プラズマディスプレィ用基板（以下ＰＤＰ用基板）の製造において、ガラス基板上に形成された電極、透明誘電体層、リブ、又は、蛍光体層等の膜を乾燥させるために使用するＰＤＰ用基板乾燥装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、この種のＰＤＰ用基板乾燥装置は、ＰＤＰ用の前面基板上に形成された電極の膜を乾燥し、上記前面基板上に形成された透明誘電体層等の膜を乾燥させるようにしている。また、ＰＤＰ用基板乾燥装置は、ＰＤＰ用の背面基板上に形成されたリブの膜を乾燥し、上記背面基板上に形成された蛍光体層等の膜を乾燥させるようにしている。上記各乾燥工程のために、長尺な横置き型乾燥炉が、それぞれ配置されている。
【０００３】
しかしながら、上記構造のものでは、平面的に複数の乾燥炉を横置きに並べているため、工場内における乾燥装置の占有面積がかなり大きくなるとともに、乾燥装置全体の表面積も、大きくなっている。その結果、乾燥装置から放散される熱量も全消費熱量のうち４０〜５０％を占める。
【０００４】
そこで、工場内における乾燥装置の占有面積及び乾燥装置全体の表面積を減少させる目的で、横置き型乾燥炉の乾燥装置に代わり、各乾燥炉を上方向に何段にも積み重ねた、縦型の多段の乾燥室より構成される多段乾燥装置が提案されている（例えば、特許文献１、特許文献２参照。）。
【０００５】
このような多段乾燥装置によって、省スペ−ス化、省エネルギ−化を実現することができる。
【０００６】
ところで、基板上に形成された膜を乾燥させるための乾燥室内の温度は、基板上に形成された膜の種類によって、変更する必要がある。例えば、基板上に形成されたリブを乾燥させるのに必要な乾燥室内の温度は、大略２００℃前後であり、基板上に形成された蛍光体層を乾燥させるのに必要な温度は、大略１００℃前後である。これらの異なる種類の基板上の膜を同時に乾燥処理すべく、何段にも積み重ねられた各乾燥室内は、それぞれ断熱材を挟んで仕切られており、それぞれ異なった温度に設定できるようになっている。具体的には、ある乾燥室内の温度が大略２００℃前後に設定され、該乾燥室と断熱材を挟んで設けられる別の乾燥室内の温度が大略１００℃前後に設定されることで、リブと蛍光体層を同時に乾燥処理できるようになっている。大略２００℃前後に設定された高温の乾燥室内の熱が、大略１００℃前後に設定された低温の乾燥室内へ移動しないように、５０ｍｍ〜２００ｍｍの厚みを有した断熱材が、高温側の乾燥室と低温側の乾燥室との間に設けられている。
【０００７】
【特許文献１】
特開平５−２０３３６４号公報
【特許文献２】
特開平５−２０３３６５号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかし上記の構造では、積み重ねられた乾燥室と乾燥室との間に設けられる断熱材の厚みの形成寸法が大きいため、多段の乾燥装置の全高が高くなり、装置の省スペース化が十分には図れないといった問題があった。
【０００９】
従って、本発明の目的は、上記問題を解決することにあって、多段の乾燥装置の全高を低くして省スペース化を図り、乾燥室内の熱を効率良く断熱することができるＰＤＰ用基板乾燥装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は以下のように構成する。
【００１１】
本発明の第１態様によれば、搬出搬入口より、ＰＤＰ用基板を乾燥室内に搬入し、上記基板に対して上記基板上方の給排気管から加熱ガスを給排気して上記基板を乾燥させる乾燥室が、上下に積み重ねられ、かつ上記上下の乾燥室での室内の温度が互いに異なるＰＤＰ用基板乾燥装置において、
上記上側の乾燥室の底部の外側に設けられ、上記底部と大略同じ面積を有する第１断熱材と、
上記下側の乾燥室の上部の外側に設けられ、上記上部と大略同じ面積を有する第２断熱部材と、
上記第１断熱材と上記第２断熱材とに挟まれるように設けられ、上記第１断熱材または上記断熱材と大略同じ面積を有する金属板と、
冷却媒体が循環する通路を有する管であって、上記金属板に接するように設けられた冷却管とを備えて、
上記いずれか一方の断熱材を伝わってきた熱を上記冷却管に移動させることにより、上記いずれか他方の断熱材に移動するのを低減させるようにしたことを特徴とするＰＤＰ用基板乾燥装置を提供する。
【００１２】
本発明の第２態様によれば、上記冷却管は上記金属板の大略全面に渡り、蛇行して設けられた第1の態様に記載のＰＤＰ用基板冷却装置を提供する。
【００１３】
本発明の第３態様によれば、上記金属板及び上記冷却管の材質はアルミニウムである第１または第２態様に記載のＰＤＰ用基板乾燥装置を提供する。
【００１４】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明にかかる実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１５】
本発明の第１の実施形態にかかるＰＤＰ用基板乾燥装置５００は、図１に示すように、直方体形状の乾燥室５０２の下面全体に配置された基台５０１上において、図１の左半分に直方体形状の上下移載空間５０６内に配置された上下移載部３００と、図１の右半分のほぼ中央部に配置された冷却部２００と、その冷却部２００の上に４段に積み重ねられた乾燥部１００と、乾燥部１００を動作制御している制御部６００とを備えている。
【００１６】
乾燥室５０２の外側で図１の左側下部に炉外排気口５０３と、その炉外排気口５０３の上方に配置された搬入・搬出口５０５と、上下移載空間５０６の天井に配置されたフィルターユニット５０４とを備えている。
【００１７】
搬入・搬出口５０５は、ＰＤＰ用基板乾燥装置５００外においてガラス基板１０上に被乾燥物の一例として電極又は透明誘電体層又はリブ又は蛍光体層等の膜が形成されたＰＤＰ用基板１０を上記乾燥室５０２内に搬入する搬入口であり、かつ、ＰＤＰ用基板乾燥装置５００内で乾燥後のＰＤＰ用基板１０をＰＤＰ用基板乾燥装置５００外に搬出する搬出口である。
【００１８】
上下移載部３００は、ＰＤＰ用基板１０を出し入れする基板移載部３１０と、基板移載部３１０を昇降させる上下駆動部３２０を備えている。
【００１９】
基板移載部３１０は、四角筒の形状しており、搬入・搬出口５０５と、４段の各乾燥部１００と、冷却部２００とに対してＰＤＰ用基板１０を出し入れするように駆動する。
【００２０】
上下駆動部３２０は、基板移載部３１０を、乾燥部１００の４段それぞれに対向する４つの位置と、冷却部２００かつ搬入・搬出口５０５に対向する位置とに適宜上昇下降して、位置決めして停止する。尚、冷却部２００かつ搬入・搬出口５０５に対向する基板移載部３１０の位置を基準位置２０とする。
【００２１】
上下駆動部３２０は、上下方向に平行に配設された上下駆動軸３２１ａと３２１ｂと、制御部６００に接続されかつ上下駆動軸３２１ａと３２１ｂとを同期して上下に移動させるように駆動する上下駆動モータ３２２ａと３２２ｂとを備えている。よって、上下駆動モータ３２２ａと３２２ｂとを駆動することにより基準位置２０を含む上記５つの位置に位置決めして停止することができる。上下駆動軸３２１ａと３２１ｂの各上端に基板移載部３１０の底面が取り付けられ、各下端はフリーとなっていて、上下駆動軸３２１ａと３２１ｂとの上下軸の途中に上下駆動モータ３２２ａと３２２ｂが乾燥室５０２に固定されている。２つの上下駆動モータ３２２ａと３２２ｂとを、制御部６００の制御の下に正逆同期回転させて上下駆動軸３２１ａと３２１ｂとを昇降させることにより、基板移載部３１０を上記所定位置に位置決め停止可能としている。
【００２２】
以下、図１において左側を正面側とし、右側を背面側とする。
【００２３】
基板移載部３１０は、筐体３１５と、搬入・搬出口側受け渡し口３１２と、乾燥部側受け渡し口３１３と、ローラ３１１と、ヒータ３１４とを備えている。
【００２４】
筐体３１５は、四角筒の形状でありかつ正面側と背面側に開口があり、正面側開口部に搬入・搬出口側受け渡し口３１２と、背面側開口部に乾燥部側受け渡し口３１３とを備えている。
【００２５】
ローラ３１１は、筐体３１５内部において上記両側の受け渡し口３１２、３１３間の下方に等間隔で横方向に平行にかつＰＤＰ用基板１０が入ってくる方向に直交して複数本、例えば４本設けられ、ＰＤＰ用基板１０を両側の上記受け渡し口３１２、３１３へそれぞれ移動させるように制御部６００の制御の下で例えば、図示しないモータにより正逆同期回転可能となっている。尚、ローラ３１１の一方の端部に設けた図示しない歯車に図示しないチェーンベルトを渡し掛け、チェーンベルトに図示しないモータから動力を伝達することによって、一斉に駆動されて回転するようになっている。
【００２６】
ヒータ３１４は、筐体３１５内部を一定温度に加熱して保持するために、筐体３１５内側上面のほぼ全体に設けられている。
【００２７】
一方、上下移載空間５０６の天井にはフィルターユニット５０４が設けられ、フィルターユニット５０４を通った清浄なエアーが、上下移載空間５０６を通って、乾燥室５０２の下部に設けられた排気口５０３より排気されることで、乾燥室５０２内を清浄に保つようにしている。
【００２８】
上記乾燥部１００は、上下移載部３００から送られてくるＰＤＰ用基板１０上の電極又は透明誘電体層又はリブ又は蛍光体層等を、乾燥させるためにそれぞれ適した温度を維持するようにそれぞれ異なる温度、例えば大略１２０℃前後、大略１６０℃前後、大略１００℃前後にそれぞれ温度管理された室であり、独立した各室は、断熱部７００を介して重ねて配置されている。断熱部７００の詳細は後述する。
【００２９】
各乾燥部１００は、筐体１０１と、正面扉１０２と、背面メンテナンス用扉１０３と、揺動ローラ１０４と、正面ヒータ１０５と、背面ヒータ１０６と、側面ヒータ１０７と、上部ヒータユニット１１０と、下ヒータユニット１２０とを備えている。
【００３０】
筐体１０１は、四角筒の形状でありかつ正面側と背面側にそれぞれ正面側開口１０１ａと背面側開口１０１ｂとを備えており、正面側開口１０１ａに配置された正面扉１０２と、背面側開口１０１ｂに配置された背面メンテナンス用扉１０３とを備えている。
【００３１】
正面扉１０２は基板移載部３１０よりＰＤＰ用基板１０を出し入れするために、正面側開口１０１ａの下端縁部に配置されたヒンジ１６１により開閉可能かつ密閉可能に正面側開口１０１ａに配置されている。ＰＤＰ用基板１０を出し入れするときのみ正面扉１０２が開閉することで、乾燥部１００内の熱量が逃げることを最小限に抑えることが可能となっている。
【００３２】
正面ヒータ１０５は、正面扉１０２の内側に溶剤の結露が生じないように正面扉１０２の内側を一定温度、例えば、大略８０℃前後に保持するために、正面扉１０２の内側のほぼ全体に設けられている。
【００３３】
背面メンテナンス用扉１０３は、乾燥部１００のメンテナンスを行うために、背面側開口１０１ｂに開閉可能かつ密閉可能に背面側開口１０１ｂに配置されている。
【００３４】
背面ヒータ１０６は、背面扉１０３の内側に溶剤の結露が生じないように背面扉１０３の内側を一定温度例えば、大略８０℃前後に保持するために、背面扉１０３の内側のほぼ全体に設けられている。
【００３５】
側面ヒータ１０７も、筐体１０１内部の相対する両側面側に溶剤の結露が生じないように筐体１０１内部の両側面を一定温度に保持するために、筐体１０１内部の両側面のほぼ全体にそれぞれ設けらている。
【００３６】
揺動ローラ１０４は、筐体１０１の内部において、上記両側の扉１０２、１０３の間の下方に等間隔で横方向に平行にかつＰＤＰ用基板１０が入ってくる方向に直交して複数本、例えば６本設けられ、上下移載部３００に対してＰＤＰ用基板１０を出し入れしかつ筐体内で図１の左右に揺動させるように制御部６００の制御の下で例えば図示しないモータにより正逆同期回転可能となっている。尚、ローラ３１１の一方の端部に設けた図示しない歯車に図示しないチェーンベルトを渡し掛け、チェーンベルトに図示しないモータから動力を伝達することによって、一斉に駆動されて回転するようになっている。また, ＰＤＰ用基板１０を左右に揺動するストロークは、ローラ１０４が停止した位置から例えば左に１／２ピッチと、右に１／２ピッチとの間の範囲とすることができる。ここで、ピッチとは、等間隔に配置された揺動ローラ１０４の配置ピッチを表す。
【００３７】
上部ヒータユニット１１０は、膜乾燥用として筐体１０１内部を加熱して一定温度に保持するために、筐体１０１内側上面のほぼ全体に設けられており、給気管１１２と排気管１１３とを備えている。給気管１１２に形成された図示しない給気穴よりガスが乾燥部１００内に供給されるようになっている。また、乾燥部１００内の溶剤を含んだガスは、排気管１１３に形成された図示しない排気穴から排気管１１３を通って冷却部２００の外へ排気されるようになっている。
【００３８】
下ヒータユニット１２０は、膜乾燥用として筐体１０１内部を加熱して一定温度に保持するために、上部ヒータユニット１１０に相対するように揺動ローラ１０４の下方に設けられている。
【００３９】
このような乾燥部１００の構成は、４段における他の段の乾燥部１００の構成と同一である。
【００４０】
４段の乾燥部１００の最下部に配置されている乾燥部１００のさらに下方に断熱部７００を介して配置された冷却部２００は、筐体２０１と、正面扉２０２と、背面メンテナンス用扉２０３と、揺動ローラ２０４と、正面ヒ−タ２０５と、背面ヒータ２３６と、側面ヒータ２０７と、下部冷却プレート２０６と、上部ヒータ２１１とを備えている。
【００４１】
筐体２０１は、四角筒の形状でありかつ正面側と背面側にそれぞれ正面側開口２０１ａと背面側開口２０１ｂとを備えており、正面側開口２０１ａに配置された正面扉２０２と、背面側開口２０１ｂに配置された背面メンテナンス用扉２０３とを備えている。
【００４２】
正面扉２０２は基板移載部３１０よりＰＤＰ用基板１０を出し入れするために、正面側開口２０１ａの下端縁部に配置されたヒンジ２６１により開閉可能かつ密閉可能に正面側開口に配置されている。ＰＤＰ用基板１０を出し入れするときのみ正面扉２０２が開閉することで、冷却部２００内の熱量が逃げることを最小限に抑えることが可能となる。正面ヒータ２０５は、正面扉２０２内側に溶剤の結露が生じないように正面扉２０２内側を一定温度、例えば、大略８０℃前後に保持するために、正面扉２０２内側のほぼ全体に設けられている。
【００４３】
背面メンテナンス用扉２０３は、冷却部２００のメンテナンスを行うために、背面側開口２０１ｂの上端縁部に配置されたヒンジ２６２により開閉可能かつ密閉可能に背面側開口２０１ｂに配置される。背面ヒータ２０６は、背面扉２０３の内側に溶剤の結露が生じないように背面扉２０３の内側を一定温度例えば、大略８０℃前後に保持するために、背面扉２０３の内側のほぼ全体に設けられている。
【００４４】
揺動ローラ２０４は、筐体２０１の内部において、上記両側の扉２０２、２０３の間の下方に等間隔で横方向に平行にかつＰＤＰ用基板１０が入ってくる方向に直交して複数本、例えば６本設けられ、上下移載部３００に対してＰＤＰ用基板１０を出し入れしかつ筐体２０１内で図１の左右に揺動させるように制御部６００の制御の下で例えば図示しないモータにより正逆同期回転可能となっている。尚、ローラ３１１の一方の端部に設けた図示しない歯車に図示しないチェーンベルトを渡し掛け、チェーンベルトに図示しないモータから動力を伝達することによって、一斉に駆動されて回転するようになっている。また, ＰＤＰ用基板１０を左右に揺動するストロークは、ローラ２０４が停止した位置から例えば左に１／２ピッチと、右に１／２ピッチとの間の範囲とすることができる。ここで、ピッチとは、等間隔に配置された揺動ローラ２０４の配置ピッチを表す。
【００４５】
上部ヒータ２１１は、筐体２０１内部の上面に溶剤の結露が生じないように筐体２０１内部の上面を一定温度、例えば、大略８０℃前後に保持するために、筐体２０１内部の上面のほぼ全体に設けられて、上部ヒータ２１１に相対するように揺動ローラ２０４の下方に板状の下部冷却プレート２０６が、ＰＤＰ用基板１０を冷却するために設けられている。
【００４６】
側面ヒータ２０７も、筐体２０１内部の相対する両側面側に溶剤の結露が生じないように筐体２０１内部の両側面を一定温度に保持するために、筐体２０１内部の両側面のほぼ全体にそれぞれ設けらている。ここで、冷却工程とは、ＰＤＰ基板１０を冷却部２００内で冷却している間をいう。
【００４７】
冷却プレート２０６には、冷却部２００内にガスを給気するための図示しない給気穴が複数個形成されており、図示しない給気穴よりガスが冷却部２００に給気されるようになっている。また、冷却部２００内の溶剤を含んだガスは、図示しない排気管から冷却部２００の外へ排気されるようになっている。
【００４８】
乾燥部１００及び冷却部２００に供給されるガスの一例としては空気を用いることができ、被乾燥物に応じてＯ_２の多く含まれた空気や、Ｎ_２の多く含まれた不活性ガス等を用いる。
【００４９】
上記被乾燥物とは、背面基板用のＰＤＰ用基板上１０に形成された電極、透明誘電体層、リブ、又は、蛍光体層等の膜のことをいい、また前面基板用のＰＤＰ用基板上１０に形成された電極または透明誘電体層の膜のことをいう。
【００５０】
以上のように構成されたＰＤＰ用基板乾燥装置５００の各乾燥部１００、冷却部２００、上下移載部３００、排気部４００、給気部４２０のそれぞれの動作は、制御部６００に格納されている動作制御プログラムによって動作制御されている。
【００５１】
なお、上記のように構成された、上記ＰＤＰ用基板乾燥装置５００は、以下の如く動作する。
【００５２】
まず、乾燥対象のＰＤＰ用基板１０が、搬入・搬出口５０５を通って、基板移載部３１０のローラ３１１の回転により基板移載部３１０に搬入される。ＰＤＰ用基板１０が搬入された基板移載部３１０、上下駆動モータ３２２ａ、３２２ｂの同期回転により、昇降し、所定の温度設定された乾燥部１００に対向する位置で位置決め停止される。位置決め停止が完了すると、基板移載部３１０のローラ３１１及び、乾燥部１００のローラ１０４の回転によって、ＰＤＰ用基板１０は乾燥部１００内に搬入される。乾燥部１００内に搬入されたＰＤＰ用基板１０は、所定時間で乾燥が終了し、再び基板移載部３１０に移載され、冷却部２００に同様に搬入される。冷却部２００内で冷却されたＰＤＰ用基板１０は、基板移載部３１０を通って、基板搬入・搬出口５０５から搬出される。
【００５３】
一方、図２〜４に図示するように、４段に積み重ねられた乾燥部１００において、各乾燥部１００をそれぞれ仕切っている断熱部７００及び最下段の乾燥部と冷却部２００とを仕切っている断熱部７００について説明する。
【００５４】
断熱部７００は、第１断熱材７０２と、金属板７０３と、冷却水管７０１と、第２断熱材７０４とを上から下にこの順で備えている。
【００５５】
第１断熱材７０２は、筐体１０１の底面の面積とほぼ同じ面積を有する板状の部材であって、上側の筐体１０１の底部１０１ｅに設けられている。
【００５６】
金属板７０３は、伝熱性の良い、例えばアルミニウムの材質であって、第１断熱材７０２の下面の面積とほぼ同じ面積を有する板状の部材であって、第１断熱材７０２の下面に設けられている。また、金属板７０３は、冷却水管７０１の表面に熱を移動させるのに十分な厚みを持っていれば良い。
【００５７】
冷却水管７０１は、伝熱性の良い、例えばアルミニウム管であって、金属板７０３の下面に沿って、ＰＤＰ用基板乾燥装置５００の背面側と正面側とで複数個所折り返して、蛇行するように金属板７０３に接して設けられている。ここで、背面側は図２の下側で、正面側は図２の上側である。冷却水管７０１が金属板７０３の下面に接することで、金属板７０３の熱が冷却水管７０１に直接移動するようになっている。また、冷却水管７０１の一端は、ＰＤＰ用基板乾燥装置５００外に設けられているポンプ７１０に連通して接続され、他端はＰＤＰ用基板乾燥装置５００外に設けられている冷却装置７１１に連通して接続されている。なお、ポンプ７１０と冷却装置７１１は連通して接続されている。よって、ポンプ７１０から送り出される冷却水は、冷却水管７０１の一端から冷却水管７０１内を通って、冷却水管７０１の他端から排出され、冷却装置７１１を通ってポンプ７１０に戻るようになっている。また、冷却水は冷却装置を通る際に、図示しない放熱板に形成された通路を通ることで、冷却されるようになっている。つまり、冷却水が冷却水管７０１と冷却装置７１１とポンプ７１０とを循環することで、冷却水管７０１内には常に冷却された冷却水が供給されるようになっている。
【００５８】
第２断熱材７０４は、第１断熱材７０２の下面の面積とほぼ同じ面積を有する板状の部材であって、下側の筐体１０１の上部１０１ｆと金属板７０３との間で、冷却水管７０１の隙間に入るように設けられている。
【００５９】
以上のように構成された断熱部７００によって、例えば、図２の上側の乾燥部１００内の温度が、下側の乾燥部１００内の温度より高温に設定されている場合、上側の乾燥部１００内の熱が筐体１０１の底部１０１ｅから第１断熱材７０２を通って金属板７０３の上面に移動する。金属板７０３の上面の熱は、金属板７０３内を通って金属板７０３に接して設けられている冷却水管７０１の表面に移動する。冷却水管７０１の表面の熱は、冷却水管７０１内の冷却水に移動し、冷却水が冷却水管７０１と冷却装置７１１とポンプ７１０との間を循環することで、冷却水の熱は、直ちに冷却水管７０１内から外部に移動するようになっている。また、冷却水管７０１の表面の熱は、断熱材７０４によって、下側の乾燥部１００に移動しないようになっている。つまり、上側の乾燥部１００内の熱が下側の乾燥部１００内に移動しないようになっている。
【００６０】
また、逆に、上側の乾燥部１００内温度が、下側の乾燥部１００内の温度より低温に設定されている場合、下側の乾燥部１００内の熱は、第２断熱材７０４を通って、一部が冷却水管７０１の表面に移動し、残りが金属板７０３の下面に移動するようになっている。冷却水管７０１の表面の熱は、冷却水管７０１内の冷却水に移動し、冷却水の熱は、直ちに冷却水管７０１内から外部に移動するようになっている。金属板７０３の下面の熱は、金属板７０３内を通って冷却水管７０１の表面に移動し、冷却水管７０１の表面の熱は、冷却水管７０１内の冷却水に移動し、冷却水の熱は、直ちに冷却水管７０１内から外部に移動するようになっている。また、金属板７０３の上面の熱は、断熱材７０２によって、上側の乾燥部１００に移動しないようになっている。つまり、下側の乾燥部１００内の熱が上側の乾燥部１００内に移動しないようになっている。
【００６１】
このように、高温側の乾燥部１００内から外部へ移動する熱は、熱伝導性の良い金属板７０３と熱伝導性の良い冷却水管７０１により効率的に冷却水管内の冷却水へ移動し、さらに該冷却水を冷却水管内とＰＤＰ用基板乾燥装置５００外との間で循環させることで、冷却水管７０１内の冷却水の熱は、逐次、奪われるため、高温の乾燥部１００内から低温の乾燥部１００または冷却部２００内への熱の移動を効率的に遮断することができる。また、金属板７０３、第１断熱材７０２及び第２断熱材７０４は、筐体の上部１０１ｆまたは底部１０１ｅとほぼ同じ大きさで設けられているため、高温側から低温側へ移動する熱が、冷却水管７０１の隙間を抜けていくことが無いようになっており、高温側から低温側への熱の移動を完全に遮断できる。
【００６２】
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その他種々の態様で実施できる。
【００６３】
図４では、冷却水管７０１の上に金属板７０３を配置していたが、これに限らず図５に示すように、本実施形態の第１の変形例として、冷却水管７０１の下に配置しても良い。冷却水管７０１の下に金属板７０３を配置しても、冷却水管７０１の上に金属板７０３を配置した場合と同様に，高温側から低温側への熱の移動を効率的に、かつ完全に遮断することができる。
【００６４】
上記実施形態によれば、室温が互いに異なる上下の乾燥部１００間を隔てる第１断熱材７０２と第２断熱材７０４との間に、両断熱材７０２、７０４を仕切るように金属板７０３を配置するとともに、金属板７０３に冷却管７０１を接触させて設けるようにしている。従って、高温側の乾燥部１００からいずれか一方の断熱材を通って金属板７０３に伝わった熱は、いずれか他方の断熱材に伝わるよりも、冷却管７０１の冷却媒体に伝わり、いずれか他方の断熱材に熱が移動するのを大幅に低減することができる。この結果、多段の乾燥装置の全高を低くして省スペース化を図り、乾燥室内の熱を効率良く断熱することができる。
【００６５】
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その他種々の態様で実施できる。本実施形態における第２の変形例である断熱部７５０を図６に示す。
【００６６】
断熱部７５０は、冷却水管を１本ではなく、２本、即ち第１冷却水管７０５と第２冷却水管７０６に分割して設けたものである。図６の左側を第１側面側とし、図６の右側を第２側面側とし、また図６の上側はＰＤＰ用基板乾燥装置５００の正面側を示し、図６の下側は背面側を示す。
【００６７】
第１冷却水管７０５は、第１側面側とほぼ中央部付近との間で、複数個所折り返して蛇行し、金属板７０３の左側半分に接して設けられている。第２冷却水管７０６は、第１冷却水管７０５に対して対称に配置され、第２側面側とほぼ中央部付近との間で、複数個所折り返して蛇行し、金属板７０３の右側の半分に設けられている。
【００６８】
第１冷却水管７０５には、第１ポンプ７３０と第１冷却装置７３１とが連通して接続されており、第２冷却水管７０６には、第２ポンプ７４０と第２冷却装置７４１とが連通して接続されている。
【００６９】
このように、第１冷却水管７０５、７０６にそれぞれポンプ７３０、７４０及び冷却装置７３１、７４１を独立駆動可能に設けることで、より効果的に冷却水管７０５、７０６の冷却を行うことができ、高温側から低温側の熱の移動をさらに効果的かつ完全に遮断することができるようになる。
【００７０】
なお、上記様々な実施形態のうちの任意の実施形態を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。
【００７１】
【発明の効果】
本発明によれば、室温が互いに異なる上下の乾燥部間を隔てる第１断熱材と第２断熱材との間に、両断熱材を仕切るように金属板を配置するとともに、金属板に冷却管を接触させて設けるようにしている。従って、高温側の乾燥部からいずれか一方の断熱材を通って金属板に伝わった熱は、いずれか他方の断熱材に伝わるよりも、冷却管の冷却媒体に伝わり、いずれか他方の断熱材に熱が移動するのを大幅に低減することができる。この結果、多段の乾燥装置の全高を低くして省スペース化を図り、乾燥室内の熱を効率良く断熱することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態にかかるＰＤＰ用基板乾燥装置の構成を表す一部断面を有する右側面図である。
【図２】本発明のＰＤＰ用基板乾燥装置の断熱部の構成を示す図１のＡ−Ａ矢視図である。
【図３】本発明のＰＤＰ用基板乾燥装置の断熱部の構成を示す図１における拡大図である。
【図４】本発明のＰＤＰ用基板乾燥装置の断熱部の構成を示す図１のＢ−Ｂ矢視図である。
【図５】本発明の第１の変形例における断熱部の構成を示す図１のＢ−Ｂ矢視図である。
【図６】本発明の第２の変形例における断熱部の構成を示す図１のＢ−Ｂ矢視図である。
【符号の説明】
１０…ＰＤＰ用基板、１００…乾燥部、１０１…筐体、１０１ａ…正面側開口、１０１ｅ…底部、１０１ｆ…上部、１１１…上ヒータ、１１２…給気管、１１３…排気管、７０１…冷却水管、７０２…第１断熱材、７０３…金属板、７０４…第２断熱材。[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a PDP used for drying a film such as an electrode, a transparent dielectric layer, a rib, or a phosphor layer formed on a glass substrate in the manufacture of a plasma display substrate (hereinafter, a PDP substrate). The present invention relates to an apparatus for drying substrates.
[0002]
[Prior art]
Conventionally, this type of PDP substrate drying apparatus dries an electrode film formed on a PDP front substrate and dries a film such as a transparent dielectric layer formed on the front substrate. I have. Further, the PDP substrate drying apparatus dries a rib film formed on the back substrate for PDP, and dries a film such as a phosphor layer formed on the back substrate. For each of the drying steps, a long horizontal drying oven is provided.
[0003]
However, in the above-described structure, since a plurality of drying furnaces are horizontally arranged in a plane, the area occupied by the drying apparatus in the factory becomes considerably large, and the surface area of the entire drying apparatus becomes large. As a result, the amount of heat dissipated from the drying device also accounts for 40 to 50% of the total consumed heat.
[0004]
Therefore, in order to reduce the occupied area of the drying device in the factory and the surface area of the entire drying device, instead of the drying device of the horizontal drying furnace, each drying furnace is stacked in multiple stages in the vertical direction, and the vertical type is used. A multi-stage drying device including a multi-stage drying chamber has been proposed (for example, see Patent Documents 1 and 2).
[0005]
With such a multi-stage drying apparatus, space saving and energy saving can be realized.
[0006]
By the way, the temperature in the drying chamber for drying the film formed on the substrate needs to be changed depending on the type of the film formed on the substrate. For example, the temperature in the drying chamber required to dry the ribs formed on the substrate is approximately 200 ° C., and the temperature required to dry the phosphor layer formed on the substrate is approximately 100 ° C. It is around ° C. In order to simultaneously dry the films on these different types of substrates, each of the drying chambers stacked in multiple layers is separated by a heat insulating material so that different temperatures can be set. I have. Specifically, the temperature in a certain drying chamber is set to about 200 ° C., and the temperature in another drying chamber provided with the heat insulating material and the drying chamber is set to about 100 ° C. The phosphor layer can be dried at the same time. A heat insulating material having a thickness of 50 mm to 200 mm is used to dry the high temperature side so that heat in the high temperature drying chamber set at about 200 ° C. does not move into the low temperature drying chamber set at about 100 ° C. It is provided between the room and the drying room on the low temperature side.
[0007]
[Patent Document 1]
JP-A-5-203364 [Patent Document 2]
JP-A-5-203365
[Problems to be solved by the invention]
However, in the above structure, since the thickness of the heat insulating material provided between the stacked drying chambers and the drying chamber is large, the overall height of the multi-stage drying apparatus is increased, and the space saving of the apparatus is not sufficiently achieved. There was a problem that it could not be achieved.
[0009]
Accordingly, an object of the present invention is to solve the above-mentioned problems, and to reduce the overall height of a multi-stage drying apparatus to save space and efficiently insulate heat in a drying chamber. It is to provide a device.
[0010]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, the present invention is configured as follows.
[0011]
According to the first aspect of the present invention, the PDP substrate is carried into the drying chamber from the carry-in / out entrance, and the substrate is dried by supplying / exhausting the heating gas to / from the substrate through the supply / exhaust pipe above the substrate. In a PDP substrate drying apparatus, drying chambers are stacked one above the other, and the indoor temperatures in the upper and lower drying chambers are different from each other.
A first heat insulating material provided outside the bottom of the upper drying chamber and having substantially the same area as the bottom;
A second heat insulating member provided outside the upper part of the lower drying chamber and having substantially the same area as the upper part;
A metal plate provided so as to be sandwiched between the first heat insulating material and the second heat insulating material, and having a substantially same area as the first heat insulating material or the heat insulating material;
A pipe having a passage through which a cooling medium circulates, and a cooling pipe provided so as to be in contact with the metal plate,
By transferring the heat transmitted through one of the heat insulating materials to the cooling pipe, it is possible to reduce the transfer to the one of the other heat insulating materials. provide.
[0012]
According to a second aspect of the present invention, there is provided the PDP substrate cooling device according to the first aspect, wherein the cooling pipe is provided to meander over substantially the entire surface of the metal plate.
[0013]
According to a third aspect of the present invention, there is provided the PDP substrate drying apparatus according to the first or second aspect, wherein the material of the metal plate and the cooling pipe is aluminum.
[0014]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
[0015]
As shown in FIG. 1, the PDP substrate drying apparatus 500 according to the first embodiment of the present invention has a left half of FIG. 1 on a base 501 arranged on the entire lower surface of a rectangular parallelepiped drying chamber 502. An upper and lower transfer unit 300 disposed in a rectangular parallelepiped upper and lower transfer space 506, a cooling unit 200 disposed substantially at the center of the right half of FIG. 1, and four layers stacked on the cooling unit 200. And a control unit 600 for controlling the operation of the drying unit 100.
[0016]
Outside the drying chamber 502, on the lower left side of FIG. 1, an out-of-furnace exhaust port 503, a loading / unloading port 505 disposed above the out-of-furnace exhaust port 503, and a filter disposed on the ceiling of the vertical transfer space 506. And a unit 504.
[0017]
The loading / unloading port 505 is a PDP substrate 10 on which a film such as an electrode or a transparent dielectric layer or a rib or a phosphor layer is formed as an example of an object to be dried on the glass substrate 10 outside the PDP substrate drying apparatus 500. It is a carry-in port for carrying in the drying chamber 502 and a carry-out port for carrying out the PDP substrate 10 dried in the PDP substrate drying apparatus 500 to the outside of the PDP substrate drying apparatus 500.
[0018]
The vertical transfer unit 300 includes a substrate transfer unit 310 for taking the PDP substrate 10 in and out, and a vertical drive unit 320 for moving the substrate transfer unit 310 up and down.
[0019]
The substrate transfer unit 310 is shaped like a square tube, and is driven to move the PDP substrate 10 in and out of the carry-in / out port 505, each of the four drying units 100, and the cooling unit 200.
[0020]
The vertical drive unit 320 raises and lowers the substrate transfer unit 310 appropriately to four positions facing the four stages of the drying unit 100 and a position facing the cooling unit 200 and the carry-in / out port 505, and positions the substrate transfer unit 310. And stop. The position of the substrate transfer unit 310 facing the cooling unit 200 and the loading / unloading port 505 is defined as a reference position 20.
[0021]
The vertical drive unit 320 is connected to the control unit 600 and drives the vertical drive shafts 321a and 321b to move up and down in synchronization with the vertical drive shafts 321a and 321b arranged in parallel in the vertical direction. Drive motors 322a and 322b are provided. Therefore, by driving the vertical drive motors 322a and 322b, it is possible to position and stop at the above five positions including the reference position 20. The bottom surface of the substrate transfer section 310 is attached to each upper end of the upper and lower drive shafts 321a and 321b, and each lower end is free, and the upper and lower drive motors 322a and 322b are provided in the middle of the upper and lower drive shafts 321a and 321b. It is fixed to the drying chamber 502. The two vertical drive motors 322a and 322b are rotated forward and reverse under the control of the control unit 600 to raise and lower the vertical drive shafts 321a and 321b, thereby stopping the positioning of the substrate transfer unit 310 at the predetermined position. It is possible.
[0022]
Hereinafter, in FIG. 1, the left side is the front side, and the right side is the back side.
[0023]
The substrate transfer section 310 includes a housing 315, a transfer port 312, a transfer port 313, a transfer section 313, a roller 311 and a heater 314.
[0024]
The housing 315 has a rectangular tube shape and has openings on the front side and the back side. A loading / unloading side delivery port 312 is provided on the front side opening, and a drying section side delivery port 313 is provided on the back side opening. Have.
[0025]
A plurality of rollers, for example, four rollers 311 are provided inside the housing 315 at equal intervals below the transfer ports 312 and 313 on both sides, parallel to the horizontal direction, and orthogonal to the direction in which the PDP substrate 10 enters. Under the control of the control unit 600, the PDP substrate 10 can be rotated forward and backward synchronously by a motor (not shown), for example, so as to move the PDP substrate 10 to the transfer ports 312 and 313 on both sides. In addition, a chain belt (not shown) is passed over a gear (not shown) provided at one end of the roller 311, and power is transmitted from a motor (not shown) to the chain belt, so that the chain belt is driven and rotated at the same time. .
[0026]
The heater 314 is provided on almost the entire upper surface inside the housing 315 in order to heat and maintain the inside of the housing 315 at a constant temperature.
[0027]
On the other hand, a filter unit 504 is provided on the ceiling of the vertical transfer space 506, and clean air passing through the filter unit 504 passes through the vertical transfer space 506, and an exhaust port 503 provided at the lower part of the drying chamber 502. By exhausting more air, the inside of the drying chamber 502 is kept clean.
[0028]
The drying unit 100 maintains the temperature suitable for drying the electrode, the transparent dielectric layer, the rib, or the phosphor layer on the PDP substrate 10 sent from the vertical transfer unit 300, respectively. The chambers are temperature-controlled at different temperatures, for example, about 120 ° C., about 160 ° C., and about 100 ° C., and the independent chambers are arranged one on top of another through the heat insulating unit 700. Details of the heat insulating section 700 will be described later.
[0029]
Each drying unit 100 includes a housing 101, a front door 102, a rear maintenance door 103, a swing roller 104, a front heater 105, a rear heater 106, a side heater 107, an upper heater unit 110, And a lower heater unit 120.
[0030]
The housing 101 has a rectangular tube shape, and has a front side opening 101a and a back side opening 101b on the front side and the back side, respectively. A front door 102 disposed in the front side opening 101a, and a back side opening And a rear maintenance door 103 arranged at 101b.
[0031]
The front door 102 is disposed in the front opening 101a so that it can be opened and closed and can be hermetically closed by a hinge 161 disposed at the lower edge of the front opening 101a in order to put the PDP substrate 10 in and out of the substrate transfer unit 310. . By opening and closing the front door 102 only when the PDP substrate 10 is taken in and out, it is possible to minimize the escape of heat in the drying unit 100.
[0032]
The front heater 105 is provided on substantially the entire inside of the front door 102 in order to maintain the inside of the front door 102 at a constant temperature, for example, about 80 ° C. so that dew condensation of the solvent does not occur inside the front door 102. Have been.
[0033]
The rear maintenance door 103 is disposed in the rear opening 101b so as to be openable and closable in the rear opening 101b and to be capable of sealing in order to perform maintenance of the drying unit 100.
[0034]
The rear heater 106 is provided on substantially the entire inside of the rear door 103 in order to maintain the inside of the rear door 103 at a constant temperature, for example, about 80 ° C. so as to prevent dew condensation of the solvent inside the rear door 103. ing.
[0035]
The side heaters 107 are also provided on substantially both sides of the inside of the housing 101 in order to maintain both sides of the inside of the housing 101 at a constant temperature so as to prevent dew condensation of the solvent on the opposite sides of the housing 101. Each is provided.
[0036]
A plurality of oscillating rollers 104 are provided inside the housing 101 at equal intervals below the doors 102 and 103 on both sides in the horizontal direction and at right angles to the direction in which the PDP substrate 10 enters. For example, six motors (not shown) are provided under the control of the control unit 600 so that the PDP substrate 10 is moved in and out of the vertical transfer unit 300 and swings right and left in FIG. Synchronous rotation is possible. In addition, a chain belt (not shown) is passed over a gear (not shown) provided at one end of the roller 311, and power is transmitted from a motor (not shown) to the chain belt, so that the chain belt is driven and rotated at the same time. . Further, the stroke for swinging the PDP substrate 10 right and left can be, for example, in a range between a half pitch to the left and a half pitch to the right from the position where the roller 104 stops. Here, the pitch represents an arrangement pitch of the oscillating rollers 104 arranged at equal intervals.
[0037]
The upper heater unit 110 is provided on almost the entire upper surface inside the housing 101 for heating the inside of the housing 101 to maintain a constant temperature for film drying, and includes an air supply pipe 112 and an exhaust pipe 113. ing. Gas is supplied into the drying unit 100 from an air supply hole (not shown) formed in the air supply pipe 112. The gas containing the solvent in the drying unit 100 is exhausted from the cooling unit 200 through the exhaust pipe 113 (not shown) formed in the exhaust pipe 113 through the exhaust pipe 113.
[0038]
The lower heater unit 120 is provided below the oscillating roller 104 so as to face the upper heater unit 110 in order to heat the inside of the housing 101 to maintain a constant temperature for film drying.
[0039]
The configuration of such a drying unit 100 is the same as the configuration of the drying units 100 in the other four stages.
[0040]
The cooling unit 200 disposed below the drying unit 100 disposed at the bottom of the four-stage drying unit 100 via the heat insulating unit 700 includes a housing 201, a front door 202, and a rear maintenance door 203. , A swing roller 204, a front heater 205, a back heater 236, a side heater 207, a lower cooling plate 206, and an upper heater 211.
[0041]
The housing 201 has a square tube shape and includes a front opening 201a and a rear opening 201b on the front side and the rear side, respectively. A front door 202 disposed in the front opening 201a, and a rear opening And a rear maintenance door 203 disposed on the front side 201b.
[0042]
The front door 202 is disposed at the front opening so that it can be opened and closed and can be hermetically closed by a hinge 261 arranged at the lower edge of the front opening 201a in order to put the PDP substrate 10 in and out of the substrate transfer unit 310. By opening and closing the front door 202 only when the PDP substrate 10 is taken in and out, it is possible to minimize the escape of heat in the cooling unit 200. The front heater 205 is provided almost entirely inside the front door 202 in order to maintain the inside of the front door 202 at a constant temperature, for example, about 80 ° C. so that dew condensation of the solvent does not occur inside the front door 202. .
[0043]
The rear maintenance door 203 is disposed in the rear opening 201b so as to be openable and closable by a hinge 262 disposed at an upper edge of the rear opening 201b in order to perform maintenance of the cooling unit 200. The rear heater 206 is provided almost entirely inside the rear door 203 in order to maintain the inside of the rear door 203 at a constant temperature, for example, about 80 ° C. so that dew condensation of the solvent does not occur inside the rear door 203. ing.
[0044]
A plurality of oscillating rollers 204 are provided inside the housing 201, at equal intervals below the doors 202 and 203 on both sides, parallel to the horizontal direction, and orthogonal to the direction in which the PDP substrate 10 enters. For example, six motors (not shown) are provided under the control of the control unit 600 so that the PDP substrate 10 is put in and out of the vertical transfer unit 300 and is swung right and left in FIG. Forward and reverse synchronous rotation is possible. In addition, a chain belt (not shown) is passed over a gear (not shown) provided at one end of the roller 311, and power is transmitted from a motor (not shown) to the chain belt, so that the chain belt is driven and rotated at the same time. . Further, the stroke for swinging the PDP substrate 10 right and left can be, for example, a range between a half pitch to the left and a half pitch to the right from the position where the roller 204 stops. Here, the pitch represents an arrangement pitch of the oscillating rollers 204 arranged at equal intervals.
[0045]
The upper heater 211 keeps the upper surface of the inside of the housing 201 at a constant temperature, for example, about 80 ° C. so as to prevent condensation of the solvent on the upper surface of the inside of the housing 201. A plate-like lower cooling plate 206 is provided on the whole and below the swing roller 204 so as to face the upper heater 211 to cool the PDP substrate 10.
[0046]
The side heater 207 is also provided to substantially maintain both sides of the inside of the housing 201 at a constant temperature in order to maintain both sides of the inside of the housing 201 at a constant temperature so that dew condensation of the solvent does not occur on the opposite sides of the housing 201. Each is provided. Here, the cooling step refers to a period during which the PDP substrate 10 is cooled in the cooling unit 200.
[0047]
The cooling plate 206 is provided with a plurality of gas supply holes (not shown) for supplying gas into the cooling unit 200, and gas is supplied to the cooling unit 200 from the gas supply holes (not shown). ing. The gas containing the solvent in the cooling unit 200 is exhausted to the outside of the cooling unit 200 from an exhaust pipe (not shown).
[0048]
As an example of the gas supplied to the drying unit 100 and the cooling unit 200, air can be used, and air containing a large amount of O ₂ or an inert gas containing a large amount of N ₂ depending on the material to be dried. Is used.
[0049]
The object to be dried refers to a film such as an electrode, a transparent dielectric layer, a rib, or a phosphor layer formed on the PDP substrate 10 for the rear substrate, and a PDP substrate for the front substrate. Refers to the electrode or transparent dielectric layer film formed on the upper part 10.
[0050]
The respective operations of the drying unit 100, the cooling unit 200, the vertical transfer unit 300, the exhaust unit 400, and the air supply unit 420 of the PDP substrate drying apparatus 500 configured as described above are stored in the control unit 600. Operation is controlled by an operation control program.
[0051]
The PDP substrate drying apparatus 500 configured as described above operates as follows.
[0052]
First, the PDP substrate 10 to be dried is carried into the substrate transfer unit 310 by rotating the rollers 311 of the substrate transfer unit 310 through the carry-in / out port 505. By the synchronous rotation of the substrate transfer unit 310 into which the PDP substrate 10 is carried in and the vertical drive motors 322a and 322b, the substrate is moved up and down, and the positioning is stopped at a position facing the drying unit 100 at a predetermined temperature. When the positioning stop is completed, the PDP substrate 10 is carried into the drying unit 100 by the rotation of the roller 311 of the substrate transfer unit 310 and the roller 104 of the drying unit 100. The PDP substrate 10 carried into the drying unit 100 finishes drying in a predetermined time, is transferred to the substrate transfer unit 310 again, and is similarly transferred to the cooling unit 200. The PDP substrate 10 cooled in the cooling unit 200 passes through the substrate transfer unit 310 and is unloaded from the substrate loading / unloading port 505.
[0053]
On the other hand, as illustrated in FIGS. 2 to 4, in the drying units 100 stacked in four stages, the heat insulating unit 700 that separates the respective drying units 100 and the lowermost drying unit and the cooling unit 200 are separated. The heat insulating unit 700 will be described.
[0054]
The heat insulating unit 700 includes a first heat insulating material 702, a metal plate 703, a cooling water pipe 701, and a second heat insulating material 704 in this order from top to bottom.
[0055]
The first heat insulating material 702 is a plate-like member having substantially the same area as the bottom surface of the housing 101, and is provided on the bottom 101 e of the upper housing 101.
[0056]
The metal plate 703 is a plate-like member having good heat conductivity, for example, a material of aluminum and having substantially the same area as the area of the lower surface of the first heat insulator 702, and provided on the lower surface of the first heat insulator 702. Have been. The metal plate 703 only needs to have a thickness sufficient to transfer heat to the surface of the cooling water pipe 701.
[0057]
The cooling water pipe 701 is, for example, an aluminum pipe having good heat conductivity. The cooling water pipe 701 is folded at a plurality of places along the lower surface of the metal plate 703 on the rear side and the front side of the substrate drying apparatus 500 for PDP, so as to meander. It is provided in contact with the plate 703. Here, the back side is the lower side of FIG. 2, and the front side is the upper side of FIG. When the cooling water pipe 701 comes into contact with the lower surface of the metal plate 703, heat of the metal plate 703 is directly transferred to the cooling water pipe 701. One end of the cooling water pipe 701 is connected to and connected to a pump 710 provided outside the PDP substrate drying device 500, and the other end is connected to a cooling device 711 provided outside the PDP substrate drying device 500. Connected. Note that the pump 710 and the cooling device 711 are connected to each other in communication. Therefore, the cooling water sent from the pump 710 passes through the cooling water pipe 701 from one end of the cooling water pipe 701, is discharged from the other end of the cooling water pipe 701, and returns to the pump 710 through the cooling device 711. . Further, when passing through the cooling device, the cooling water is cooled by passing through a passage formed in a heat sink (not shown). In other words, the cooling water circulates through the cooling water pipe 701, the cooling device 711, and the pump 710, so that the cooled water is always supplied into the cooling water pipe 701.
[0058]
The second heat insulating material 704 is a plate-shaped member having substantially the same area as the area of the lower surface of the first heat insulating material 702, and a cooling water pipe is provided between the upper portion 101 f of the lower housing 101 and the metal plate 703. 701 is provided so as to enter the gap.
[0059]
For example, when the temperature in the upper drying unit 100 in FIG. 2 is set higher than the temperature in the lower drying unit 100 by the heat insulating unit 700 configured as described above, the upper drying unit 100 The heat inside moves from the bottom 101 e of the housing 101 to the upper surface of the metal plate 703 through the first heat insulating material 702. Heat on the upper surface of the metal plate 703 moves through the inside of the metal plate 703 to the surface of the cooling water pipe 701 provided in contact with the metal plate 703. The heat of the surface of the cooling water pipe 701 moves to the cooling water in the cooling water pipe 701, and the cooling water circulates between the cooling water pipe 701, the cooling device 711, and the pump 710, so that the heat of the cooling water is immediately cooled. It moves from inside the water pipe 701 to the outside. Further, heat on the surface of the cooling water pipe 701 is prevented from moving to the lower drying unit 100 by the heat insulating material 704. That is, the heat in the upper drying section 100 does not move into the lower drying section 100.
[0060]
Conversely, when the temperature in the upper drying section 100 is set lower than the temperature in the lower drying section 100, the heat in the lower drying section 100 passes through the second heat insulating material 704. Thus, a part moves to the surface of the cooling water pipe 701, and the rest moves to the lower surface of the metal plate 703. The heat of the surface of the cooling water pipe 701 moves to the cooling water in the cooling water pipe 701, and the heat of the cooling water immediately moves from the inside of the cooling water pipe 701 to the outside. The heat on the lower surface of the metal plate 703 moves to the surface of the cooling water pipe 701 through the inside of the metal plate 703, the heat on the surface of the cooling water pipe 701 moves to the cooling water in the cooling water pipe 701, and the heat of the cooling water is Then, the cooling water pipe 701 is immediately moved from the inside to the outside. The heat on the upper surface of the metal plate 703 is not moved to the upper drying unit 100 by the heat insulating material 702. That is, heat in the lower drying unit 100 does not move into the upper drying unit 100.
[0061]
In this way, the heat that moves from the inside of the drying unit 100 on the high-temperature side to the outside moves efficiently to the cooling water in the cooling water pipe by the metal plate 703 having good heat conductivity and the cooling water pipe 701 having good heat conductivity. Further, by circulating the cooling water between the inside of the cooling water pipe and the outside of the PDP substrate drying apparatus 500, the heat of the cooling water in the cooling water pipe 701 is sequentially taken away, and The transfer of heat into the drying unit 100 or the cooling unit 200 can be efficiently blocked. In addition, since the metal plate 703, the first heat insulating material 702, and the second heat insulating material 704 are provided with substantially the same size as the upper portion 101f or the bottom portion 101e of the housing, heat that moves from the high-temperature side to the low-temperature side is The cooling water pipe 701 does not pass through the gap, so that the transfer of heat from the high-temperature side to the low-temperature side can be completely shut off.
[0062]
Note that the present invention is not limited to the above embodiment, and can be implemented in other various modes.
[0063]
In FIG. 4, the metal plate 703 is arranged on the cooling water pipe 701. However, the present invention is not limited to this. As shown in FIG. 5, as a first modification of this embodiment, the metal plate 703 is arranged below the cooling water pipe 701. May be. Even when the metal plate 703 is arranged below the cooling water pipe 701, the transfer of heat from the high temperature side to the low temperature side is efficiently and completely performed, similarly to the case where the metal plate 703 is arranged above the cooling water pipe 701. Can be shut off.
[0064]
According to the above embodiment, the metal plate 703 is arranged between the first heat insulating material 702 and the second heat insulating material 704 separating the upper and lower drying units 100 having different room temperatures so as to partition the heat insulating materials 702 and 704. At the same time, the cooling pipe 701 is provided in contact with the metal plate 703. Therefore, the heat transmitted from the drying unit 100 on the high temperature side to the metal plate 703 through one of the heat insulating materials is transmitted to the cooling medium of the cooling pipe 701 rather than to the other heat insulating material. Transfer of heat to the heat insulating material can be greatly reduced. As a result, it is possible to reduce the overall height of the multi-stage drying device to save space and efficiently insulate heat in the drying chamber.
[0065]
Note that the present invention is not limited to the above embodiment, and can be implemented in other various modes. FIG. 6 shows a heat insulating portion 750 which is a second modification of the present embodiment.
[0066]
The heat insulating portion 750 is provided with two cooling water pipes instead of one, that is, divided into a first cooling water pipe 705 and a second cooling water pipe 706. The left side of FIG. 6 is the first side, the right side of FIG. 6 is the second side, and the upper side of FIG. 6 shows the front side of the substrate drying apparatus 500 for PDP, and the lower side of FIG. .
[0067]
The first cooling water pipe 705 is folded back and meandered at a plurality of places between the first side surface and substantially near the center, and is provided in contact with the left half of the metal plate 703. The second cooling water pipe 706 is arranged symmetrically with respect to the first cooling water pipe 705, and is folded and meandered at a plurality of places between the second side surface and substantially near the center, and is provided on the right half of the metal plate 703. Have been.
[0068]
The first pump 730 and the first cooling device 731 are connected to and connected to the first cooling water pipe 705, and the second pump 740 and the second cooling device 741 are connected to the second cooling water pipe 706. Connected.
[0069]
As described above, by providing the pumps 730 and 740 and the cooling devices 731 and 741 in the first cooling water pipes 705 and 706 respectively so as to be independently driven, the cooling water pipes 705 and 706 can be cooled more effectively, The heat transfer from the side to the cold side can be more effectively and completely blocked.
[0070]
Note that by appropriately combining any of the various embodiments described above, the effects of the respective embodiments can be achieved.
[0071]
【The invention's effect】
According to the present invention, a metal plate is arranged between a first heat insulating material and a second heat insulating material that separates upper and lower drying units having different room temperatures so as to partition both heat insulating materials, and a cooling pipe is provided on the metal plate. Are provided in contact with each other. Therefore, the heat transmitted from the drying section on the high-temperature side to the metal plate through one of the heat insulating materials is transmitted to the cooling medium of the cooling pipe rather than to one of the other heat insulating materials, and the heat is transmitted to the other heat insulating material. Heat transfer can be greatly reduced. As a result, it is possible to reduce the overall height of the multi-stage drying device to save space and efficiently insulate heat in the drying chamber.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a right side view having a partial cross section showing a configuration of a PDP substrate drying apparatus according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a view taken along the line AA of FIG. 1 showing a configuration of a heat insulating portion of the substrate drying apparatus for a PDP of the present invention.
FIG. 3 is an enlarged view of FIG. 1 showing a configuration of a heat insulating portion of the PDP substrate drying apparatus of the present invention.
FIG. 4 is a view taken in the direction of arrows BB in FIG. 1 showing a configuration of a heat insulating portion of the substrate drying apparatus for a PDP of the present invention.
FIG. 5 is a view taken in the direction of arrows BB in FIG. 1 showing a configuration of a heat insulating portion in a first modified example of the present invention.
FIG. 6 is a view taken along the line BB of FIG. 1 showing a configuration of a heat insulating portion in a second modified example of the present invention.
[Explanation of symbols]
Reference Signs List 10: PDP substrate, 100: drying unit, 101: housing, 101a: front opening, 101e: bottom, 101f: top, 111: upper heater, 112: air supply pipe, 113: exhaust pipe, 701: cooling water pipe, 702: first heat insulating material, 703: metal plate, 704: second heat insulating material.

Claims

A drying chamber for loading the PDP substrate into the drying chamber from the loading / unloading entrance and supplying and exhausting heating gas to and from the supply / exhaust pipe above the substrate to dry the substrate is stacked vertically. In the PDP substrate drying apparatus, in which the temperatures in the upper and lower drying chambers are different from each other,
A first heat insulating material provided outside the bottom of the upper drying chamber and having substantially the same area as the bottom;
A second heat insulating member provided outside the upper part of the lower drying chamber and having substantially the same area as the upper part;
A metal plate provided so as to be sandwiched between the first heat insulating material and the second heat insulating material, and having a substantially same area as the first heat insulating material or the heat insulating material;
A pipe having a passage through which a cooling medium circulates, and a cooling pipe provided so as to be in contact with the metal plate,
A substrate drying apparatus for a PDP, wherein the heat transmitted through one of the heat insulating materials is moved to the cooling pipe so that the heat is prevented from moving to the other heat insulating material.

2. The PDP substrate drying apparatus according to claim 1, wherein the cooling pipe is provided to meander over substantially the entire surface of the metal plate.

3. The PDP substrate drying apparatus according to claim 1, wherein the material of the metal plate and the cooling pipe is aluminum.