JP2004200215A - 薄厚ウエハ搬送用ロボットハンド - Google Patents

Abstract

【課題】薄厚ウエハの搬送時の垂れによる接触を防止する薄厚ウエハ搬送用ロボットハンドを提供することを課題とするものである。
【解決手段】ロボットハンドの本体１に制御装置によって制御される円盤５が正逆転すると、Ｙリンク４，４を介して摺動溝３，３に案内されてＹ軸方向に同時に内方又は外方に移動する摺動部２，２を設け、各摺動部２，２にはそれぞれウエハＡを挟持する挟持部６，６，７，７を設ける。挟持部７，７は制御装置によって制御される円盤９が回動すると、Ｘリンク８を介して摺動部２，２上をＸ軸方向に移動するように構成する。ロボットハンドの本体１にコンプレッサー（図示せず）に接続されたエアー管１１を介してエアーを噴出させる噴出孔１０を設け、噴出するエアーで挟持されたウエハＡを略水平になるように押上げて、ウエハＡの垂れによる本体１との接触を防止する。
【選択図】 図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、薄厚ウエハを搬送する搬送用ロボットのロボットハンドに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、厚みが６００μｍ以上のウエハを搬送用ロボットハンドを使用して搬送していたが、近年厚みが１００〜３００μｍの薄厚ウエハが使用されるようになり、ウエハの搬送時にウエハに垂れが生じ、ウエハの底部が搬送用のロボットハンドに接触してパーティクルやウエハ上のバンプの破損等の問題が発生していた。
【０００３】
【特許文献１】
特開２０００−１９５９３６号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
そこで、本発明は、薄厚ウエハの搬送時の垂れによる接触を防止する薄厚ウエハ搬送用ロボットハンドを提供することを課題とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記の課題を解決するためになされたもので、ロボットハンドの本体にウエハの周縁を挟持する複数の移動自在な挟持部を設け、且つウエハの下部にエアーを噴出するエアー放出装置を設けた薄厚ウエハ用搬送用ロボットハンドである。
【０００６】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の一実施例の平面図、図２はその一部截断側面図を示し、１はロボットハンドの本体、２，２は制御装置によって制御される円盤５が正逆転するとＹリンク４，４を介して、摺動溝３，３に案内され、Ｙ軸方向に同時に内方又は外方に移動する摺動部で、それぞれウエハＡを挟持する挟持部６，６、７，７が設けられている。そして、前記挟持部７，７は制御装置によって制御される円盤９が回動すると、Ｘリンク８を介して摺動部２，２上をＸ軸方向に移動するように構成されている。
【０００７】
１０はエアー噴出孔、１１はエアー管で、コンプレッサー（図示せず）に接続されており、コンプレッサーから送られたエアーはエアー管１１を通じて噴出孔１０から噴出し、挟持されたウエハＡを略水平になるように押上げてウエハの垂れによる本体１との接触を防止する。尚本体１上面にはテフロン（登録商標）テープ等を貼付して、ウエハＡと本体１が万一接触した時、パーティクルやバンブの破損を防ぐようにしてある。
【０００８】
【発明の効果】
以上本発明によれば、薄厚ウエハの下部に噴出孔からエアーを噴出させ、それによりウエハＡとロボットハンドとの接触を防止するようにしたので、ウエハＡの破損を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例の平面図。
【図２】本発明の一実施例の一部截断側面図。
【符号の説明】
１ 本体
２ 摺動部
３ 摺動溝
４ Ｙリンク
５，９ 円盤
６，７ 把持部
８ Ｘリンク
１０ エアー噴出孔
１１ エアー管
Ａ ウエハ

Claims (1)

1. ロボットハンド本体にウエハの周縁を挟持する複数の移動自在な挟持部を設け、且つウエハの下部にエアーを噴出するエアー放出装置を設けたことを特徴とする薄厚ウエハ搬送用ロボットハンド。

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