JP2004194439A - 塗布装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】ケーブル支持装置が支持台から「つ」の字状に順次持ち上がる際、または「つ」の字状への繰り返し動作の際に、ブロックの外周面と支持台との間に摩擦力が生じず、ステージの走行速度に変動が発生するのを防止することである。
【解決手段】
機台1上を直線的に移動するステージ2と、該ステージ上に吸着された被処理物100に所定の液状物200を塗布する塗布機構3と、一端が前記ステージ2に接続され、他端が固定部4に接続されたケーブル5を屈曲させた状態で張力を付与する張力付与手段7とを備え、前記張力付与手段7が、ステージ2の移動に伴って回転すると共にステージ2の移動方向と同方向に移動するリール11により形成された構成にしてある。
【選択図】 図1
【解決手段】
機台1上を直線的に移動するステージ2と、該ステージ上に吸着された被処理物100に所定の液状物200を塗布する塗布機構3と、一端が前記ステージ2に接続され、他端が固定部4に接続されたケーブル5を屈曲させた状態で張力を付与する張力付与手段7とを備え、前記張力付与手段7が、ステージ2の移動に伴って回転すると共にステージ2の移動方向と同方向に移動するリール11により形成された構成にしてある。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明はガラス板あるいは樹脂フィルム等の被処理物にレジスト等の液状物を塗布する塗布装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
一般に、ガラス板あるいは樹脂フィルム等の被塗布物にレジスト等の液状物を塗布する塗布装置は例えばベース上を直線的に移動するステージと、該ステージ上に吸着された被塗布板に液状物を塗布するダイ等の塗布機構と、一端が前記ステージに接続され、他端が固定部に接続された電源を供給するケーブルあるいは信号をやり取りするケーブルあるいは圧縮空気供給用チューブ、真空用チューブを支持するケーブル支持手段とを備えた構成になっている。
【0003】
該ケーブル支持手段としては長尺体支持装置あるいは可動式電線体が提案されている。
【0004】
上述の長尺体支持装置は屈曲のための可撓性を有するベルト基部と、屈曲時における外周側に設けられ、互いの当接で屈曲以外はベルト基部を直線状に維持する第1の当接部と、屈曲持における内周側に設けられ互いの当接で円弧形状を維持する第2の当接部と、ケーブル等の長尺体を収容する空間部とを一体形成すると共に前記ベルト基部に対して所定のピッチで設けられた複数の歯部材とにより構成されており、後者の可動式電線体は屈曲のための可撓性を有する可撓基部と、該可撓基部の幅方向に沿うように配設された電線と、屈曲時に外周側となる前記可撓基部に所定ピッチで固定されることで、可撓基部を長手方向に略直線状に維持する外側矯正歯と、屈曲時に内周側となる前記可撓基部に所定ピッチで固定されると共に円弧形状を維持する形状部を有する複数の内側矯正歯とにより構成されている(特許文献1参照。)。
【0005】
上述の長尺体支持装置と可動式電線体はベルト基部あるいは可撓基部によって歯部材あるいは矯正歯が連結され、該歯部材(矯正歯)は一方向にのみ屈曲(「つ」の字状または逆方向の「つ」の字状に連続的に曲がる)し、屈曲時の曲率は互いの部材の一部がぶつかり合うことで決定されるようになっており、他方向に対しては歯部材の一部がぶつかり合うことで屈曲するのを防ぐようになっている(特許文献2参照。)。
【0006】
上述の長尺体支持装置および可動式電線体は騒音を減らすことには有効である。
【0007】
【特許文献1】
特開2000−161447号公報(第3−5頁、図1−2)
【特許文献2】
特開2000−102153号公報(第3−5頁、図1−3)
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
上述の塗布装置においてステージ上に載置された被処理物に対し、ダイ等の塗布機構から連続して吐出される液状物を均一に塗布するためにはステージの走行速度が変動しないか変動量を小さくする必要がある。
【0009】
しかし、上述の長尺体支持装置および可動式電線体の構成では、歯部材が多角形運動すると共に歯部材がそれを支持する支持台から「つ」の字状に順次持ち上がる際、歯部材の外周面と支持台との間に摩擦力が生じ、これが負荷変動の要因となってステージの走行速度に変動が生じて液状物を均一な厚さに塗布することができないという問題がある。
【0010】
本発明はケーブルが支持台から「つ」の字状に順次持ち上がる際、または「つ」の字状への繰り返し動作の際に、ブロックの外周面と支持台との間に摩擦力が生じず、ステージの走行速度に変動が発生しないようにすることである。
【0011】
【課題を解決するための手段】
上述の課題を達成するために本発明の塗布装置は請求項1に記載されているように機台上を直線的に移動するステージと、該ステージ上に吸着された被処理物に所定の液状物を塗布する塗布機構と、一端が前記ステージに接続され、他端が固定部に接続されたケーブルを屈曲させた状態で張力を付与する張力付与手段とを備え、前記張力付与手段が、ステージの移動に伴って回転すると共にステージの移動方向と同方向に移動するリールにより形成された構成にしてある。
【0012】
また、発明の塗布装置は請求項2に記載されているような張力付与手段のリールが、ステージの移動方向に対して所定の角度を有するように形成された傾斜ガイドに沿って移動することにより張力を付与せしめる構成、請求項3に記載されているような張力付与手段のリールが、ステージの移動方向と平行または所定の角度を有するように形成されたガイドに沿って移動すると共に引っ張り部材により張力を付与せしめる構成、請求項4に記載されているような引っ張り部材が、バネまたは重錘である構成、請求項5に記載されているようなリールが、フランジ付きリールである形状、請求項6に記載されているようなリールが、ケーブルの厚さ寸法の少なくとも5倍以上の半径寸法を有する形状にしてある。
【0013】
【発明の実施の形態】
図1は本発明の塗布装置の構成の一実施形態を示す概略図、図2は図1におけるI−I矢視図であり、該塗布装置は機台1上を直線的に移動するステージ2と、該ステージ2上に吸着された被塗布物100に液状物200を塗布する塗布機構3と、一端が前記ステージ2の駆動手段(図示せず)等に接続され、他端が中継箱等の固定部4に接続された電源を供給する電線が絶縁性、柔軟性等を有する合成樹脂、合成ゴム等の被覆材により覆われたケーブルあるいは信号をやり取りする電線が該被覆材により覆われたケーブル等のケーブル5を屈曲させた状態で張力を付与する張力付与手段7とを備えた構成になっている。
【0014】
上述のステージ2はガラス板、合成樹脂フイルム等の被塗布物を吸着する吸着機能を有するテーブル8と、該テーブルを機台1に形成されたレール1aに沿って移動させる車輪9と、該車輪9を回転させるサーボモータ、ステッピングモータ等の駆動手段(図示せず)を備えた構成になっている。
【0015】
上述のケーブル5を電源用電線、信号用電線等の電線と共に圧空源、真空源に連結されたチューブが被覆材によって覆われたケーブルあるいは圧空源、真空源に連結されたチューブのみが柔軟性を有する合成樹脂、合成ゴム等の被覆材により覆われたケーブルにできることは言うまでもない。
【0016】
上述の張力付与手段7はステージ2の移動方向に対して所定の傾斜角度(θ)を有するように形成された傾斜ガイド10aを有し、機台1に取り付けられた断面が略U字状の案内用枠体10と、該案内用枠体10のU字状の枠内に位置し、両側の軸心部に螺着されたカムフォロア12、13によって傾斜ガイド10aに沿って移動しながら回転するリール11とにより構成されている。
【0017】
該リール11は1本または複数本のケーブル5を巻回するための凹部11aを有し、軸心部を両側からカムフォロア12、13によって回転自在に支持するようになっており、ポリアミド樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリプロピレン樹脂、フッ素樹脂等の合成樹脂、アルミニュウム合金、ステンレス鋼等の何れかによって製作されている。
【0018】
リール11の凹部11aの半径寸法(R)はケーブル5を周面に接触した状態で約180度巻回させるためにはケーブル5の厚さ寸法(t)の少なくとも5倍以上にする必要があり、厚さ寸法(t)の7倍以上にするのが好ましい。
【0019】
該半径寸法(R)はできるだけ大きくするのが好ましいが装置全体の寸法規制等の関係から適宜設定する。
【0020】
また、リール11が軽量の場合には、傾斜角度(θ)を大きくしないとステージ2が移動した時にケーブル5がリール11の周面に巻回され、(つ)の字状態で移動させることができず、該傾斜角度(θ)が大きくなり過ぎると該リール11が円滑に移動しなくなる。そこで、小さな傾斜角度でもステージ2の移動に伴ってケーブル5がリール11に巻回された状態で円滑に移動するようにリール11に重錘を取り付けるのが好ましい。
【0021】
カムフォロア12、13は同一の構成になっており、鍔を有する軸体14にニードルベアリング15が嵌挿され、該軸体14に形成された雄ねじがリール11の軸心部に穿設されたねじ孔に螺着されている。該ニードルベアリング15の外周部には外輪16が取り付けられ傾斜ガイド10aの下面を転動するようになっている。
【0022】
【実施例1】
上述の塗布装置において厚さ寸法(t)が10mm、16mm、20mmのケーブル5と凹部11aの半径寸法(R)が70mm、112mm、140mmのリール11をそれぞれ準備し、上述の順序でケーブル5とリール11を取り替えながらそれぞれ対応させてケーブル5を巻回させた状態で一端部をステージ2に連結すると共に他端部固定部4に連結せしめ、傾斜角度(θ)が8度の傾斜ガイド10aを有する案内用枠体10に両側部にカムフォロア12、13が螺着されたリール11を移動自在に取り付け、ステージ2をストロークが1500mm、ステージの走行速度が50mm/minの条件で移動させたところ、何れの場合も走行速度の変動率は約±0.2%であった。
【0023】
【実施例2】
実施例1と同一のケーブル5を使用すると共に半径寸法(R)が50mm、80mm、100mmのリール11を準備し、実施例1の場合と同様に上述の順序でケーブル5とリール11を取り替えながらそれぞれ対応させてケーブル5を巻回させた状態でステージ2をストロークが1500mm、ステージの走行速度が50mm/minの条件で移動させたところ、何れも場合も走行速度の変動率は約±0.22%であった。
【0024】
【実施例3】
実施例1と同一のケーブル5を使用すると共に半径寸法(R)が80mm、150mm、160mmのリール11を準備し、実施例1の場合と同様に上述の順序でケーブル5とリール11を取り替えながらそれぞれ対応させてケーブル5を巻回させた状態でステージ2をストロークが1500mm、ステージの走行速度が50mm/minの条件で移動させたところ、何れも場合も走行速度の変動率は約±0.19%であった。
【0025】
【比較例】
実施例1〜3における張力付与手段7に代えて従来の塗布装置における特許文献1に記載されているようなケーブル支持装置(ポリアミド繊維製の帆布に合成ゴムがラミネートされた厚さ寸法(T)が0.5mm、幅寸法(W)が20mmの可撓性ベルトを使用すると共にブロック14、16における下部ブロック材14b(16b)の下端面(外周面)が直線状に加工されているもの。)を使用してステージ2を実施例1〜3と同一条件で移動させたところ、走行速度の変動率は±0.7%であった。
【0026】
上述のように本発明の塗布装置によればステージ2の走行速度の変動を非常に小さくすることができ、被処理物に対して液状物を均一な厚さに塗布することができた。
【0027】
上述の張力付与手段7をエッチング装置における可動ステージと中継箱等の固定部との間に設置すると、ステージの走行速度に変動が生じることがないため、ビビリ等を生じず高精密なパターンでも正確にエッチングすることができ、該張力付与手段7を研磨装置における可動ステージと中継箱等の固定部との間に設置すると、ステージの走行速度に変動が生じることがないため、ビビリ等を生じず研磨斑等の発生を防止することができる。
【0028】
上述の張力付与手段7はステージ2の移動に伴ってケーブル5がリール11の周面に常時約180度巻回され、大きな弛みを生じることなく円滑に移動することができれば良く、該張力付与手段7を図3、図4に示されるようなステージ2の移動方向に対して平行な状態で形成された水平ガイド21aを有し、機台1に取り付けられた断面が略U字状の案内用枠体21と、該案内用枠体21のU字状の枠内に位置し、両側部に螺着されたカムフォロア22、23によって水平ガイド21aに沿って移動しながら回転するリール24と、軸受部25a、25bが案内用枠体21の内壁部とリール24の両側部との間に位置するようベアリング30によってカムフォロア22、23の軸体部に取り付けられたU字状の牽引用枠25と、案内用枠体21の端部に取り付けられた軸26と、該軸26に回転自在に取り付けられたガイドローラ27と、一端が牽引用枠25に取り付けられ、該ガイドローラ27に支持された状態で他端に重錘29が取り付けられたロープ28とにより構成された張力付与手段20を使用することができる。
【0029】
上述のカムフォロア22、23はカムフォロア12、13と同様の構成になっており、軸体14にベアリング30と該ベアリング30の位置決め用のスペーサ31が嵌挿されている。
【0030】
該ベアリング30は軸受部25a、25bに穿設された穴に嵌挿され、該穴部に形成された段部と止め輪32あるいは二個の止め輪によってベアリング30の外輪が軸受部25a、25bに固定されている。
【0031】
上述のガイドローラ27はポリアミド樹脂、フッ素樹脂、ポリエチレン樹脂等の低摩擦性の合成樹脂、アルミ合金、ステンレス鋼、一般機械用鋼材等により製作し、回転抵抗が大きい場合にはベアリングあるいは合成樹脂軸受を軸26とガイドローラ27間に介在させる。
【0032】
該軸26は案内用枠体21の端部に穿設された孔に嵌挿され、該案内用枠体21から離脱しないように両端部に止め輪33が取り付けられている。
【0033】
上述のロープ28はポリアミド繊維、ポリプロピレン繊維等の合成繊維製のロープ、綿、麻等の天然繊維製のロープ、鋼線製のロープ等から材質、太さ等を引張力、柔軟性等によって適宜選択して使用する。
【0034】
上述の重錘29は厚さの異なる板状重錘が複数枚積層された重錘あるいは同一厚さの板状重錘が複数枚積層された重錘を使用すると、板状重錘の枚数を変更するだけでケーブル5に対する張力を精度良く容易に変更、調節することができる。
【0035】
上述の張力付与手段20を図5、図6に示されるような案内用枠体21、軸26、ガイドローラ27、重錘29に代えて両側板の端部が連結された形状の案内用枠体41と、該案内用枠体41の連結部に穿設された孔にナット43によって取り付けられた調整用ねじ42と、一端が該調整用ねじ42の端部に取り付けられ、他端がロープ28に取り付けられたばね44とにより構成された張力付与手段40を使用することは可能であり、該張力付与手段7、20、40はこれ等の構成に限定されないことは言うまでもない。
【0036】
該張力付与手段20を使用すると、調整用ねじ42のねじ込み量を変化させるだけでばね44によるケーブル5に対する張力を精度良く容易に変更、調節することができる。
【0037】
上述の塗布装置における張力付与手段7に代えて張力付与手段20、40を使用した場合の走行速度の変動率は実施例1〜3における走行速度の変動率と殆ど同一であり、ケーブル5の厚さ寸法に対応させた半径寸法を有するリール11を使用して所定の張力を付与すると走行速度の変動率が大きく変動しないと言うことができる。
【0038】
上述の案内用枠体10における傾斜ガイド10aのカムフォロア12、13の外輪が接触する面および案内用枠体21における水平ガイド21aのカムフォロア22、23の外輪が接触する面は円滑に回転しながら移動できるように滑らかな面に加工する必要がある。
【0039】
【発明の効果】
本発明の塗布装置は請求項1に記載されているように機台上を直線的に移動するステージと、該ステージ上に吸着された被処理物に所定の液状物を塗布する塗布機構と、一端が前記ステージに接続され、他端が固定部に接続されたケーブルを屈曲させた状態で張力を付与する張力付与手段とを備え、前記張力付与手段が、ステージの移動に伴って回転すると共にステージの移動方向と同方向に移動するリールにより形成された構成にしているため、ケーブル支持装置のブロックが支持台から「つ」の字状に順次持ち上がる際、または「つ」の字状への繰り返し動作の際に、ブロックの外周面と支持台との間に摩擦力が生じず、ステージの走行速度に変動が発生するのを確実に防止することができ、被処理物に対して液状物を均一な厚さに塗布することができる。
【0040】
また、発明の塗布装置は請求項2に記載されているような張力付与手段のリールが、ステージの移動方向に対して所定の角度を有するように形成された傾斜ガイドに沿って移動することにより張力を付与せしめる構成にすると、張力付与手段が簡単かつコンパクトなり、ステージの走行速度に変動が発生するのを確実に防止することができ、請求項3に記載されているような張力付与手段のリールが、ステージの移動方向と平行または所定の角度を有するように形成されたガイドに沿って移動すると共に引っ張り部材により張力を付与せしめる構成にすると、ケーブルに付与する張力を容易に変更、調節することができ、請求項4に記載されているような引っ張り部材が、バネまたは重錘である構成にすると、ケーブルに付与する張力を精度良く変更、調節することができ、請求項5に記載されているようなリールが、フランジ付きリールである形状にすると、ケーブルの移動時に該ケーブルが幅方向に移動してリールから離脱するのを防止することができ、請求項6に記載されているようなリールが、ケーブルの厚さ寸法の少なくとも5倍以上の半径寸法を有する形状にすると、ケーブルをリールの周面に確実に接触した状態で移動させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の塗布装置の構成の一実施の形態を示す概略図である。
【図2】図1におけるI−I矢視拡大図である。
【図3】本発明の塗布装置における張力付与手段の第2の実施形態を示す概略図である。
【図4】図3におけるII−II矢視図である。
【図5】本発明の塗布装置における張力付与手段の第3の実施形態を示す概略図である。
【図6】図5におけるIII−III矢視図である。
【符号の説明】
1 機台
2 ステージ
3 塗布機構
4 固定部
5 ケーブル
7、20、40 張力付与手段
8 テーブル
9 車輪
10、21、41 案内用枠体
11、24 リール
12、13、22、23 カムフォロア
25 牽引用枠
26 軸
27 ガイドローラ
28 ロープ
29 重錘
30 ベアリング
31 スペーサ
32、33 止め輪
42 調整用ねじ
43 ナット
44 ばね
10a 傾斜ガイド
21a 水平ガイド
25a、25b 軸受部
【発明の属する技術分野】
本発明はガラス板あるいは樹脂フィルム等の被処理物にレジスト等の液状物を塗布する塗布装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
一般に、ガラス板あるいは樹脂フィルム等の被塗布物にレジスト等の液状物を塗布する塗布装置は例えばベース上を直線的に移動するステージと、該ステージ上に吸着された被塗布板に液状物を塗布するダイ等の塗布機構と、一端が前記ステージに接続され、他端が固定部に接続された電源を供給するケーブルあるいは信号をやり取りするケーブルあるいは圧縮空気供給用チューブ、真空用チューブを支持するケーブル支持手段とを備えた構成になっている。
【0003】
該ケーブル支持手段としては長尺体支持装置あるいは可動式電線体が提案されている。
【0004】
上述の長尺体支持装置は屈曲のための可撓性を有するベルト基部と、屈曲時における外周側に設けられ、互いの当接で屈曲以外はベルト基部を直線状に維持する第1の当接部と、屈曲持における内周側に設けられ互いの当接で円弧形状を維持する第2の当接部と、ケーブル等の長尺体を収容する空間部とを一体形成すると共に前記ベルト基部に対して所定のピッチで設けられた複数の歯部材とにより構成されており、後者の可動式電線体は屈曲のための可撓性を有する可撓基部と、該可撓基部の幅方向に沿うように配設された電線と、屈曲時に外周側となる前記可撓基部に所定ピッチで固定されることで、可撓基部を長手方向に略直線状に維持する外側矯正歯と、屈曲時に内周側となる前記可撓基部に所定ピッチで固定されると共に円弧形状を維持する形状部を有する複数の内側矯正歯とにより構成されている(特許文献1参照。)。
【0005】
上述の長尺体支持装置と可動式電線体はベルト基部あるいは可撓基部によって歯部材あるいは矯正歯が連結され、該歯部材(矯正歯)は一方向にのみ屈曲(「つ」の字状または逆方向の「つ」の字状に連続的に曲がる)し、屈曲時の曲率は互いの部材の一部がぶつかり合うことで決定されるようになっており、他方向に対しては歯部材の一部がぶつかり合うことで屈曲するのを防ぐようになっている(特許文献2参照。)。
【0006】
上述の長尺体支持装置および可動式電線体は騒音を減らすことには有効である。
【0007】
【特許文献1】
特開2000−161447号公報(第3−5頁、図1−2)
【特許文献2】
特開2000−102153号公報(第3−5頁、図1−3)
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
上述の塗布装置においてステージ上に載置された被処理物に対し、ダイ等の塗布機構から連続して吐出される液状物を均一に塗布するためにはステージの走行速度が変動しないか変動量を小さくする必要がある。
【0009】
しかし、上述の長尺体支持装置および可動式電線体の構成では、歯部材が多角形運動すると共に歯部材がそれを支持する支持台から「つ」の字状に順次持ち上がる際、歯部材の外周面と支持台との間に摩擦力が生じ、これが負荷変動の要因となってステージの走行速度に変動が生じて液状物を均一な厚さに塗布することができないという問題がある。
【0010】
本発明はケーブルが支持台から「つ」の字状に順次持ち上がる際、または「つ」の字状への繰り返し動作の際に、ブロックの外周面と支持台との間に摩擦力が生じず、ステージの走行速度に変動が発生しないようにすることである。
【0011】
【課題を解決するための手段】
上述の課題を達成するために本発明の塗布装置は請求項1に記載されているように機台上を直線的に移動するステージと、該ステージ上に吸着された被処理物に所定の液状物を塗布する塗布機構と、一端が前記ステージに接続され、他端が固定部に接続されたケーブルを屈曲させた状態で張力を付与する張力付与手段とを備え、前記張力付与手段が、ステージの移動に伴って回転すると共にステージの移動方向と同方向に移動するリールにより形成された構成にしてある。
【0012】
また、発明の塗布装置は請求項2に記載されているような張力付与手段のリールが、ステージの移動方向に対して所定の角度を有するように形成された傾斜ガイドに沿って移動することにより張力を付与せしめる構成、請求項3に記載されているような張力付与手段のリールが、ステージの移動方向と平行または所定の角度を有するように形成されたガイドに沿って移動すると共に引っ張り部材により張力を付与せしめる構成、請求項4に記載されているような引っ張り部材が、バネまたは重錘である構成、請求項5に記載されているようなリールが、フランジ付きリールである形状、請求項6に記載されているようなリールが、ケーブルの厚さ寸法の少なくとも5倍以上の半径寸法を有する形状にしてある。
【0013】
【発明の実施の形態】
図1は本発明の塗布装置の構成の一実施形態を示す概略図、図2は図1におけるI−I矢視図であり、該塗布装置は機台1上を直線的に移動するステージ2と、該ステージ2上に吸着された被塗布物100に液状物200を塗布する塗布機構3と、一端が前記ステージ2の駆動手段(図示せず)等に接続され、他端が中継箱等の固定部4に接続された電源を供給する電線が絶縁性、柔軟性等を有する合成樹脂、合成ゴム等の被覆材により覆われたケーブルあるいは信号をやり取りする電線が該被覆材により覆われたケーブル等のケーブル5を屈曲させた状態で張力を付与する張力付与手段7とを備えた構成になっている。
【0014】
上述のステージ2はガラス板、合成樹脂フイルム等の被塗布物を吸着する吸着機能を有するテーブル8と、該テーブルを機台1に形成されたレール1aに沿って移動させる車輪9と、該車輪9を回転させるサーボモータ、ステッピングモータ等の駆動手段(図示せず)を備えた構成になっている。
【0015】
上述のケーブル5を電源用電線、信号用電線等の電線と共に圧空源、真空源に連結されたチューブが被覆材によって覆われたケーブルあるいは圧空源、真空源に連結されたチューブのみが柔軟性を有する合成樹脂、合成ゴム等の被覆材により覆われたケーブルにできることは言うまでもない。
【0016】
上述の張力付与手段7はステージ2の移動方向に対して所定の傾斜角度(θ)を有するように形成された傾斜ガイド10aを有し、機台1に取り付けられた断面が略U字状の案内用枠体10と、該案内用枠体10のU字状の枠内に位置し、両側の軸心部に螺着されたカムフォロア12、13によって傾斜ガイド10aに沿って移動しながら回転するリール11とにより構成されている。
【0017】
該リール11は1本または複数本のケーブル5を巻回するための凹部11aを有し、軸心部を両側からカムフォロア12、13によって回転自在に支持するようになっており、ポリアミド樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリプロピレン樹脂、フッ素樹脂等の合成樹脂、アルミニュウム合金、ステンレス鋼等の何れかによって製作されている。
【0018】
リール11の凹部11aの半径寸法(R)はケーブル5を周面に接触した状態で約180度巻回させるためにはケーブル5の厚さ寸法(t)の少なくとも5倍以上にする必要があり、厚さ寸法(t)の7倍以上にするのが好ましい。
【0019】
該半径寸法(R)はできるだけ大きくするのが好ましいが装置全体の寸法規制等の関係から適宜設定する。
【0020】
また、リール11が軽量の場合には、傾斜角度(θ)を大きくしないとステージ2が移動した時にケーブル5がリール11の周面に巻回され、(つ)の字状態で移動させることができず、該傾斜角度(θ)が大きくなり過ぎると該リール11が円滑に移動しなくなる。そこで、小さな傾斜角度でもステージ2の移動に伴ってケーブル5がリール11に巻回された状態で円滑に移動するようにリール11に重錘を取り付けるのが好ましい。
【0021】
カムフォロア12、13は同一の構成になっており、鍔を有する軸体14にニードルベアリング15が嵌挿され、該軸体14に形成された雄ねじがリール11の軸心部に穿設されたねじ孔に螺着されている。該ニードルベアリング15の外周部には外輪16が取り付けられ傾斜ガイド10aの下面を転動するようになっている。
【0022】
【実施例1】
上述の塗布装置において厚さ寸法(t)が10mm、16mm、20mmのケーブル5と凹部11aの半径寸法(R)が70mm、112mm、140mmのリール11をそれぞれ準備し、上述の順序でケーブル5とリール11を取り替えながらそれぞれ対応させてケーブル5を巻回させた状態で一端部をステージ2に連結すると共に他端部固定部4に連結せしめ、傾斜角度(θ)が8度の傾斜ガイド10aを有する案内用枠体10に両側部にカムフォロア12、13が螺着されたリール11を移動自在に取り付け、ステージ2をストロークが1500mm、ステージの走行速度が50mm/minの条件で移動させたところ、何れの場合も走行速度の変動率は約±0.2%であった。
【0023】
【実施例2】
実施例1と同一のケーブル5を使用すると共に半径寸法(R)が50mm、80mm、100mmのリール11を準備し、実施例1の場合と同様に上述の順序でケーブル5とリール11を取り替えながらそれぞれ対応させてケーブル5を巻回させた状態でステージ2をストロークが1500mm、ステージの走行速度が50mm/minの条件で移動させたところ、何れも場合も走行速度の変動率は約±0.22%であった。
【0024】
【実施例3】
実施例1と同一のケーブル5を使用すると共に半径寸法(R)が80mm、150mm、160mmのリール11を準備し、実施例1の場合と同様に上述の順序でケーブル5とリール11を取り替えながらそれぞれ対応させてケーブル5を巻回させた状態でステージ2をストロークが1500mm、ステージの走行速度が50mm/minの条件で移動させたところ、何れも場合も走行速度の変動率は約±0.19%であった。
【0025】
【比較例】
実施例1〜3における張力付与手段7に代えて従来の塗布装置における特許文献1に記載されているようなケーブル支持装置(ポリアミド繊維製の帆布に合成ゴムがラミネートされた厚さ寸法(T)が0.5mm、幅寸法(W)が20mmの可撓性ベルトを使用すると共にブロック14、16における下部ブロック材14b(16b)の下端面(外周面)が直線状に加工されているもの。)を使用してステージ2を実施例1〜3と同一条件で移動させたところ、走行速度の変動率は±0.7%であった。
【0026】
上述のように本発明の塗布装置によればステージ2の走行速度の変動を非常に小さくすることができ、被処理物に対して液状物を均一な厚さに塗布することができた。
【0027】
上述の張力付与手段7をエッチング装置における可動ステージと中継箱等の固定部との間に設置すると、ステージの走行速度に変動が生じることがないため、ビビリ等を生じず高精密なパターンでも正確にエッチングすることができ、該張力付与手段7を研磨装置における可動ステージと中継箱等の固定部との間に設置すると、ステージの走行速度に変動が生じることがないため、ビビリ等を生じず研磨斑等の発生を防止することができる。
【0028】
上述の張力付与手段7はステージ2の移動に伴ってケーブル5がリール11の周面に常時約180度巻回され、大きな弛みを生じることなく円滑に移動することができれば良く、該張力付与手段7を図3、図4に示されるようなステージ2の移動方向に対して平行な状態で形成された水平ガイド21aを有し、機台1に取り付けられた断面が略U字状の案内用枠体21と、該案内用枠体21のU字状の枠内に位置し、両側部に螺着されたカムフォロア22、23によって水平ガイド21aに沿って移動しながら回転するリール24と、軸受部25a、25bが案内用枠体21の内壁部とリール24の両側部との間に位置するようベアリング30によってカムフォロア22、23の軸体部に取り付けられたU字状の牽引用枠25と、案内用枠体21の端部に取り付けられた軸26と、該軸26に回転自在に取り付けられたガイドローラ27と、一端が牽引用枠25に取り付けられ、該ガイドローラ27に支持された状態で他端に重錘29が取り付けられたロープ28とにより構成された張力付与手段20を使用することができる。
【0029】
上述のカムフォロア22、23はカムフォロア12、13と同様の構成になっており、軸体14にベアリング30と該ベアリング30の位置決め用のスペーサ31が嵌挿されている。
【0030】
該ベアリング30は軸受部25a、25bに穿設された穴に嵌挿され、該穴部に形成された段部と止め輪32あるいは二個の止め輪によってベアリング30の外輪が軸受部25a、25bに固定されている。
【0031】
上述のガイドローラ27はポリアミド樹脂、フッ素樹脂、ポリエチレン樹脂等の低摩擦性の合成樹脂、アルミ合金、ステンレス鋼、一般機械用鋼材等により製作し、回転抵抗が大きい場合にはベアリングあるいは合成樹脂軸受を軸26とガイドローラ27間に介在させる。
【0032】
該軸26は案内用枠体21の端部に穿設された孔に嵌挿され、該案内用枠体21から離脱しないように両端部に止め輪33が取り付けられている。
【0033】
上述のロープ28はポリアミド繊維、ポリプロピレン繊維等の合成繊維製のロープ、綿、麻等の天然繊維製のロープ、鋼線製のロープ等から材質、太さ等を引張力、柔軟性等によって適宜選択して使用する。
【0034】
上述の重錘29は厚さの異なる板状重錘が複数枚積層された重錘あるいは同一厚さの板状重錘が複数枚積層された重錘を使用すると、板状重錘の枚数を変更するだけでケーブル5に対する張力を精度良く容易に変更、調節することができる。
【0035】
上述の張力付与手段20を図5、図6に示されるような案内用枠体21、軸26、ガイドローラ27、重錘29に代えて両側板の端部が連結された形状の案内用枠体41と、該案内用枠体41の連結部に穿設された孔にナット43によって取り付けられた調整用ねじ42と、一端が該調整用ねじ42の端部に取り付けられ、他端がロープ28に取り付けられたばね44とにより構成された張力付与手段40を使用することは可能であり、該張力付与手段7、20、40はこれ等の構成に限定されないことは言うまでもない。
【0036】
該張力付与手段20を使用すると、調整用ねじ42のねじ込み量を変化させるだけでばね44によるケーブル5に対する張力を精度良く容易に変更、調節することができる。
【0037】
上述の塗布装置における張力付与手段7に代えて張力付与手段20、40を使用した場合の走行速度の変動率は実施例1〜3における走行速度の変動率と殆ど同一であり、ケーブル5の厚さ寸法に対応させた半径寸法を有するリール11を使用して所定の張力を付与すると走行速度の変動率が大きく変動しないと言うことができる。
【0038】
上述の案内用枠体10における傾斜ガイド10aのカムフォロア12、13の外輪が接触する面および案内用枠体21における水平ガイド21aのカムフォロア22、23の外輪が接触する面は円滑に回転しながら移動できるように滑らかな面に加工する必要がある。
【0039】
【発明の効果】
本発明の塗布装置は請求項1に記載されているように機台上を直線的に移動するステージと、該ステージ上に吸着された被処理物に所定の液状物を塗布する塗布機構と、一端が前記ステージに接続され、他端が固定部に接続されたケーブルを屈曲させた状態で張力を付与する張力付与手段とを備え、前記張力付与手段が、ステージの移動に伴って回転すると共にステージの移動方向と同方向に移動するリールにより形成された構成にしているため、ケーブル支持装置のブロックが支持台から「つ」の字状に順次持ち上がる際、または「つ」の字状への繰り返し動作の際に、ブロックの外周面と支持台との間に摩擦力が生じず、ステージの走行速度に変動が発生するのを確実に防止することができ、被処理物に対して液状物を均一な厚さに塗布することができる。
【0040】
また、発明の塗布装置は請求項2に記載されているような張力付与手段のリールが、ステージの移動方向に対して所定の角度を有するように形成された傾斜ガイドに沿って移動することにより張力を付与せしめる構成にすると、張力付与手段が簡単かつコンパクトなり、ステージの走行速度に変動が発生するのを確実に防止することができ、請求項3に記載されているような張力付与手段のリールが、ステージの移動方向と平行または所定の角度を有するように形成されたガイドに沿って移動すると共に引っ張り部材により張力を付与せしめる構成にすると、ケーブルに付与する張力を容易に変更、調節することができ、請求項4に記載されているような引っ張り部材が、バネまたは重錘である構成にすると、ケーブルに付与する張力を精度良く変更、調節することができ、請求項5に記載されているようなリールが、フランジ付きリールである形状にすると、ケーブルの移動時に該ケーブルが幅方向に移動してリールから離脱するのを防止することができ、請求項6に記載されているようなリールが、ケーブルの厚さ寸法の少なくとも5倍以上の半径寸法を有する形状にすると、ケーブルをリールの周面に確実に接触した状態で移動させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の塗布装置の構成の一実施の形態を示す概略図である。
【図2】図1におけるI−I矢視拡大図である。
【図3】本発明の塗布装置における張力付与手段の第2の実施形態を示す概略図である。
【図4】図3におけるII−II矢視図である。
【図5】本発明の塗布装置における張力付与手段の第3の実施形態を示す概略図である。
【図6】図5におけるIII−III矢視図である。
【符号の説明】
1 機台
2 ステージ
3 塗布機構
4 固定部
5 ケーブル
7、20、40 張力付与手段
8 テーブル
9 車輪
10、21、41 案内用枠体
11、24 リール
12、13、22、23 カムフォロア
25 牽引用枠
26 軸
27 ガイドローラ
28 ロープ
29 重錘
30 ベアリング
31 スペーサ
32、33 止め輪
42 調整用ねじ
43 ナット
44 ばね
10a 傾斜ガイド
21a 水平ガイド
25a、25b 軸受部
Claims (6)
- 機台上を直線的に移動するステージと、該ステージ上に吸着された被処理物に所定の液状物を塗布する塗布機構と、一端が前記ステージに接続され、他端が固定部に接続されたケーブルを屈曲させた状態で張力を付与する張力付与手段とを備え、前記張力付与手段が、ステージの移動に伴って回転すると共にステージの移動方向と同方向に移動するリールにより構成されていることを特徴とする塗布装置。
- 張力付与手段のリールが、ステージの移動方向に対して所定の角度を有するように形成された傾斜ガイドに沿って移動することにより張力を付与せしめるようにしたことを特徴とする請求項1に記載の塗布装置。
- 張力付与手段のリールが、ステージの移動方向と平行または所定の角度を有するように形成されたガイドに沿って移動すると共に引っ張り部材により張力を付与せしめるようにしたことを特徴とする請求項1に記載の塗布装置。
- 引っ張り部材が、バネまたは重錘であることを特徴とする請求項3に記載の塗布装置。
- リールが、フランジ付きリールであることを特徴とする請求項1から請求項4の内の一つの請求項に記載の塗布装置。
- リールが、ケーブルの厚さ寸法の少なくとも5倍以上の半径寸法を有していることを特徴とする請求項1から請求項5の内の一つの請求項に記載の塗布装置。
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