JP2004186210A - 窒素含有ケイ素化合物膜の形成方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の方法は、反応容器内の被成膜体上にCVD法によって窒素含有ケイ素化合物膜を形成する。反応容器内に導入する原料ガスとしては、ビス・ターシャル・ブチル・アミノ・シラン(BTBAS)のみを使用する。NH3は使用しない。本発明の方法により得られる窒素含有ケイ素化合物膜は、低いウェットエッチレートを有している。このため、LDD構造のサイドウォール、エッチストッパ、エッチング用のマスク、パシベーション膜などとして好適である。
【選択図】 図2
Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、窒素含有ケイ素化合物膜の形成に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体デバイス製造の分野では、様々な窒素含有ケイ素化合物膜の形成方法が知られている。その一例として、CVD法により窒化ケイ素(Si3N4)膜を形成する技術が知られている(例えば、特許文献1〜3)。これらの例では、ケイ素の原料としてSiH2(NH(C4H9))2(ビス・ターシャル・ブチル・アミノ・シラン:BTBAS)が使用され、窒素の原料としてNH3が使用されている。
【0003】
【特許文献1】
特開2001−156065号公報
【特許文献2】
特開2001−156067号公報
【特許文献3】
特開2001−230348号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、ウェットエッチレートの低い窒素含有ケイ素化合物膜を得ることを課題とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明の方法は、反応容器内の被成膜体上にCVD法によって窒素含有ケイ素化合物膜を形成する。反応容器内に導入する原料ガスとしては、アミノ基を含むケイ素化合物のみを使用する。従来技術で使用されているNH3は、本発明の方法では使用しない。アミノ基を含むケイ素化合物としては、例えば、ビス・ターシャル・ブチル・アミノ・シラン(BTBAS)、テトラ・ジメチル・エチル・アミノ・シラン(TDEAS)、またはテトラ・ジメチル・メチル・アミノ・シラン(TDMAS)を使用できる。
【0006】
本発明者の知見によれば、NH3のような窒素原料を使用せずとも、アミノ基を含むケイ素化合物のみを原料として使用することにより、窒素含有ケイ素化合物膜を形成できる。この窒素含有ケイ素化合物膜は、低いウェットエッチレートを有している。このため、エッチストッパ、エッチング用のマスク、パシベーション膜などとして好適である。また、本発明の方法によりLDD構造のサイドウォール(側壁スペーサ膜)として窒素含有ケイ素化合物膜を形成すると、パターンローディング効果が緩和されるという利点も得られる。また、本発明の方法は、成膜速度の温度依存性が低いという利点も有している。
【0007】
本発明の方法を熱CVD法によって実施すると、窒素含有ケイ素化合物膜が良好なカバレッジで形成される。ただし、成膜用の化学反応を熱的に励起する必要は必ずしもない。例えば、プラズマCVD法を用いてプラズマエネルギーにより化学反応を励起してもよいし、光CVD法を用いて光学的に化学反応を励起しても良い。
【0008】
また、原料ガスとともにキャリアガスをチャンバ内に導入してもよい。このキャリアガスとしては、一般的なCVD法で使用されるガス、例えばN2、ArまたはH2を使用できる。キャリアガスは、成膜用の化学反応には関与しない。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照しながら本発明の実施形態を詳細に説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【0010】
図1は、本実施形態の窒素含有ケイ素化合物膜の形成方法を実施するCVD装置の一例を示す概略断面図である。この装置1は、枚葉式のコールドウォール型熱CVD装置である。CVD装置1は、反応容器としてのチャンバ2にガス供給部3が接続された構造を有している。
【0011】
チャンバ2の内部には、被成膜体として一枚のシリコンウェハWが収容される。チャンバ2は、シリコンウェハWが載置されるサセプタ5を内蔵している。サセプタ5は、ヒーター51を内蔵している。ヒーター51は、シリコンウェハWを所望の温度に加熱する。
【0012】
チャンバ2の内部においてサセプタ5の上方には、シャワーヘッド4が設けられている。シャワーヘッド4は、中空の円盤状をしている。シャワーヘッド4の胴部41の上壁には、ガス供給口9が設けられている。また、胴部41の下端には、フェイスプレート45が設けられている。フェイスプレート45には、複数の貫通孔45aが開けられている。シャワーヘッド4の内部には、ブロッカープレート43がフェイスプレート45とほぼ平行に設置されている。ブロッカープレート43には、複数の小さな貫通孔43aが開けられている。胴部41とブロッカープレート43との間に空間Saが形成され、胴部41とフェイスプレート45との間に空間Sbが形成されている。
【0013】
チャンバ2の下部には、開口部7が設けられている。開口部7には、圧力調整手段として排気系70が接続されている。排気系70は、真空ポンプを含んでいる。この真空ポンプは、チャンバ2の内部を排気し、ガス供給部3からのガスの供給流量に応じてチャンバ2内の圧力を調整できる。
【0014】
ガス供給部3は、原料ガス供給源としてのBTBAS供給源31と、キャリアガス供給源としてのN2供給源32を有している。BTBASは常温で液体なので、BTBAS供給源31は、BTBAS液体原料を気化することによりBTBASガスを生成する。このため、BTBAS供給源31は、液体のBTBASを気化するためのバブラー、インジェクションバルブ等を有している。これらのガス供給源31および32は、配管10を介してシャワーヘッド4のガス供給口9に接続されている。配管10には、各ガスの供給流量を制御するMFC(質量流量コントローラ)31aおよび32aが設けられている。供給源31および32から原料ガスとしてのBTBASガスとキャリアガスとしてのN2ガスがシャワーヘッド4内に導入される。BTBASおよびN2は、ブロッカープレート43およびフェイスプレート45を通ってチャンバ2内に流入する。
【0015】
次に、CVD装置1を用いた本実施形態の窒素含有ケイ素化合物膜の形成方法を説明する。本実施形態では、LDD構造を有するトランジスタのサイドウォール(側壁スペーサ膜)として窒素含有ケイ素化合物膜を形成する。シリコンウェハWには、すでにゲート電極が設けられている。また、ウェハWにおいてゲート電極の周囲には、不純物が低濃度でドープされた領域が設けられている。
【0016】
まず、チャンバ2内を排気系70の真空ポンプにより減圧する。この減圧中にウェハWをチャンバ2内へ搬送し、サセプタ5上に載置する。次に、キャリアガスであるN2が供給源32から配管10を通してチャンバ2内へ供給されると共に、排気系70によってチャンバ2内の圧力が所定の値に調整される。
【0017】
チャンバ2内の圧力が安定した後、原料ガスとしてBTBASが供給源31から配管10を通してシャワーヘッド4へ供給される。このとき、本実施形態では、チャンバ2内の圧力が排気系70によって275Torr(36.7kPa)に調整される。BTBASの流量は100sccm(0.169Pa・m3/s)であり、N2の流量は3000sccm(5.07Pa・m3/s)である。
【0018】
ガス供給口9から空間Saへ導入されたBTBASおよびN2は、ブロッカープレート43により分散されて十分に混合され、複数の貫通孔43aを通して空間Sbへ流出する。こうして空間Sbへ導入されたBTBASおよびN2の混合ガスは、フェイスプレート45の貫通孔45aを通ってシャワーヘッド4の下方に流出し、ウェハW上に供給される。
【0019】
BTBASの供給中は、サセプタ5のヒーター51に電力が供給され、これによりウェハWが所定の温度に加熱される。サセプタの温度は、600℃〜700℃が好ましい。本実施形態では、サセプタの温度を650℃とする。この場合、ウェハWの温度は約640℃となる。
【0020】
ウェハWに熱を与えることにより、ウェハW上に達したBTBASが化学的に活性となる。この結果、化学反応が生じ、ウェハWの表面全体に窒素含有ケイ素化合物膜が堆積する。本実施形態では、膜厚が約50nmとなるまで成膜を継続する。なお、LDD構造のサイドウォールを形成するためには、50〜90nmの膜厚が好ましい。所望の厚さの窒素含有ケイ素化合物膜が得られたら、BTBASの供給を停止して成膜を終了する。
【0021】
この後、チャンバ2からウェハWを取り出し、ウェハWの表面全体に反応性イオンエッチングを施して、ゲート電極の側面にだけ窒素含有ケイ素化合物膜を残す。これが、LDD構造におけるサイドウォールである。この後、サイドウォールをマスクとして用いるイオン注入により、不純物が高濃度でドープされた領域を低不純物濃度領域の外側に形成する。こうして、LDD構造のトランジスタが得られる。
【0022】
上記のように、本実施形態では、原料としてBTBASのみを使用して窒素含有ケイ素化合物膜を形成する。従来から窒素の原料として使用されているNH3は、チャンバ2内に導入しない。この膜は、熱エネルギーによってBTBASから解離した窒素とケイ素が化学反応を起こして生成されるものと考えられる。なお、ウェハWの温度はN2の解離温度より低いので、キャリアガスであるN2は、この化学反応に関与しない。実際、キャリアガスとしてN2以外のガス、例えばArやH2を使用しても成膜は可能である。
【0023】
以下では、図2〜図4を参照しながら、本実施形態で得られた窒素含有ケイ素化合物膜の優れた特性について説明する。
【0024】
図2は、BTBASのみを原料として使用する本実施形態の方法およびBTBASとNH3の双方を原料として使用する従来の方法の双方に関して、様々なBTBAS分圧で形成された膜のウェットエッチレートおよび成膜速度を測定した結果を示している。図2の横軸はBTBASの分圧を示し、右側の縦軸はウェットエッチレートを示し、左側の縦軸は成膜速度を示している。ウェットエッチレートは、エッチャントとしてフッ酸を使用するウェットエッチングにおけるものである。図2の実線100は、本実施形態の方法により形成された膜のウェットエッチレートを示している。破線101は、本実施形態の方法により形成された膜の成膜速度を示している。実線102は、従来の方法により形成された窒化ケイ素膜のウェットエッチレートを示している。破線103は、従来の方法により形成された窒化ケイ素膜の成膜速度を示している。実線102および破線103は、原料としてBTBASと共にNH3をチャンバに導入することを除いて、本実施形態と同じ手順で形成される。
【0025】
実線100と102を比較すれば明らかなように、本実施形態の方法により形成された窒素含有ケイ素化合物膜は、従来の方法により形成された窒化ケイ素膜よりも相当に低いウェットエッチレートを有している。実線100に示されるように、本実施形態による膜のウェットエッチレートWER(W/O NH3)は、5<WER(W/O NH3)<50である。一方、実線102に示されるように、従来の方法による膜のウェットエッチレートWER(W.NH3)は、100<WER(W.NH3)<500である。
【0026】
破線103によって示されるように、従来の方法では、BTBASの分圧が高まるにつれて成膜速度が上昇する。しかし、実線102によって示されるように、成膜速度の上昇に伴ってウェットエッチレートも上昇してしまう。そのため、従来の方法では、高い成膜速度でウェットエッチレートの低い膜を得ることができない。これに対し、本実施形態の方法では、実線100によって示されるように、BTBAS分圧の上昇に伴うウェットエッチレートの上昇が極めて小さい。その一方で、破線101によって示されるように、BTBASの分圧が高まるにつれて成膜速度は順調に上昇する。この結果、同じ成膜速度に対するウェットエッチレートが従来の方法よりも大きく低減される。また、同じBTBAS分圧に対するウェットエッチレートが約1/50に低減される。
【0027】
このように、本実施形態の方法によれば、従来の方法と同等の成膜速度で従来よりも極めてウェットエッチレートの低い膜を得ることができる。本実施形態の方法による膜が低いウェットエッチレートを有することは、この膜がLDD構造のサイドウォール、エッチストッパ、エッチング用のマスク、またはパッシベーション膜として好適であることを示している。例えば、LDD構造のトランジスタは、通常、他の種類の半導体デバイスと一緒にウェハ上に形成される。LDD構造の高不純物濃度領域をイオン注入によって形成するときは、他の種類の半導体デバイスを保護するためにレジストが設けられる。このレジストは、高不純物濃度領域を形成した後、薬液を用いて剥離される。本実施形態の方法により成膜されたサイドウォールはウェットエッチレートが低いので、レジスト剥離の際に高い耐性を発揮する。
【0028】
本実施形態の方法により形成される膜の組成は現在も調査中であるが、この膜にはケイ素および窒素に加えて炭素が含まれていることが分かっている。本発明者は、この炭素が低いウェットエッチレートをもたらすと考えている。炭素およびケイ素間の共有結合性は、窒素およびケイ素間の共有結合性よりも強い。このことが低ウェットエッチレートに寄与していると思われる。適切な炭素の割合は、5〜25atom%であると考えている。
【0029】
図3は、本実施形態の成膜方法および従来の成膜方法の双方に関して、成膜速度の温度依存性を測定した結果を示している。実線110は、本実施形態の方法における成膜速度の温度依存性を示し、実線111は、従来の方法における成膜速度の温度依存性を示している。横軸は成膜中の基板温度(成膜温度)の逆数を示し、縦軸は成膜速度を示している。図3に示される測定結果から活性化エネルギーを算出したところ、本実施形態の方法では2.4eVであり、従来の方法では2.6eVであった。
【0030】
図4は、本実施形態の成膜を複数のウェハに対して繰り返し実施したときのパーティクル増加数を示している。比較のため、図4の右側部分には、SiH4およびNH3を原料ガスとして用いる熱CVD法を繰り返し実施したときのパーティクル増加数も示されている。図4の横軸は成膜を行ったウェハの枚数を示し、縦軸はパーティクル増加数を示している。
【0031】
図4に示されるように、本実施形態の方法におけるパーティクル増加数は、SiH4およびNH3を原料ガスとして用いる一般的な成膜方法と比較して遜色のない程度に抑えられている。すなわち、本実施形態の成膜方法は、十分に実用的なパーティクル性能を有している。
【0032】
さらに、本実施形態の成膜方法ではパターンローディング効果が抑えられることも分かった。これは、LDD構造のサイドウォールにとって非常に有益な特徴である。パターンローディング効果とは、ウェハ上のパターンの粗密に応じて、そのパターン上に形成される膜の厚さが変動する現象である。LDD構造の製造時は、ウェハの全面にサイドウォールの母体となる膜を形成する。この膜に反応性イオンエッチングを施して膜を一定の厚さだけ除去することによりサイドウォールを形成するので、膜厚の均一性は重要である。
【0033】
本実施形態の方法により形成した膜を母体としてサイドウォールを形成した後、ゲート配線のうちパターンが密な部分と疎な部分との間でサイドウォールの膜厚均一性を調べたところ、2%であった。これに対し、BTBASとNH3を原料ガスとして用いる従来の方法によりサイドウォールの母体となる膜を形成したときは、膜厚均一性が7%であった。さらに、SiH4およびNH3を原料ガスとして用いる熱CVD法によりサイドウォールの母体となる膜を形成したときは、膜厚均一性が18%であった。なお、これらの成膜方法において使用するウェハ、成膜中のサセプタ温度およびチャンバ内の圧力は同じである。膜厚均一性は、(疎な部分のサイドウォールの厚さ−密な部分のサイドウォールの厚さ)/平均膜厚にしたがって算出した。
【0034】
このように、本実施形態の方法は、パターンローディング効果を大幅に改善することができる。したがって、本実施形態の方法により形成される窒素含有ケイ素化合物膜は、LDD構造のサイドウォールに極めて適している。
【0035】
以上、本発明をその実施形態に基づいて詳細に説明した。しかし、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。本発明は、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変形が可能である。
【0036】
上記実施形態では、唯一の原料ガスとしてBTBASを使用する。しかし、本発明で使用される原料ガスは、BTBASに限られない。BTBASは、アミノ基を含むケイ素化合物の一つである。本発明者は、BTBAS以外にもアミノ基を含むケイ素化合物であれば、それを単独の原料ガスとして使用することにより、窒素含有ケイ素化合物を形成できると考えている。アミノ基を含むケイ素化合物の他の例としては、テトラ・ジメチル・エチル・アミノ・シラン(TDEAS)やテトラ・ジメチル・メチル・アミノ・シラン(TDMAS)が挙げられる。なお、これらのアミノ基を含むケイ素化合物は、常温では液体なので、上記実施形態と同様に、バブラー、インジェクションバルブ等を用いて気化させてから反応容器内に導入される。
【0037】
上記実施形態では、キャリアガスとしてN2が使用されている。しかし、N2の代わりに、Ar、H2など他の不活性ガスを使用してもよい。
【0038】
上記実施形態では、サイドウォールを成膜する。しかし、本実施形態の方法による窒素含有ケイ素化合物膜は、その低ウェットエッチレートが有益な用途、例えば、エッチストッパ、パシベーション膜、マスクとしても好適に使用できる。
【0039】
上記実施形態では、熱CVD法によって窒素含有ケイ素化合物膜を形成する。しかし、本発明の方法は、他のCVD法、例えばプラズマCVD法や光CVD法を用いて実施することも可能である。ただし、熱CVD法を用いると、良好なカバレッジが期待できる。
【0040】
【発明の効果】
本発明の方法は、ウェットエッチレートの低い窒素含有ケイ素化合物膜を形成できる。また、本発明の方法は、成膜速度の温度依存性が低い、パターンローディング効果を抑えられる、といった利点も有している。したがって、本発明の方法によれば、LDD構造のサイドウォール、エッチストッパ、エッチング用のマスク、パシベーション膜などを好適に形成できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施形態の方法を実施するCVD装置の概略断面図である。
【図2】実施形態の成膜方法および従来の成膜方法の双方について、膜のウェットエッチレートおよび成膜速度を示すグラフである。
【図3】実施形態の成膜方法および従来の成膜方法の双方について、成膜温度と成膜速度との関係を示すグラフである。
【図4】実施形態の成膜方法および従来の成膜方法の双方について、パーティクルの増加の様子を示すグラフである。
【符号の説明】
1…CVD装置、2…チャンバ、3…ガス供給部、4…シャワーヘッド、5…サセプタ、9…ガス供給口、10…配管、31…BTBAS供給源、32…N2供給源、51…ヒーター、70…排気系、W…シリコンウェハ。
Claims (8)
- 反応容器内の被成膜体上にCVD法によって窒素含有ケイ素化合物膜を形成する方法であって、
前記反応容器内に導入する原料ガスとして、アミノ基を含むケイ素化合物のみを使用することを特徴とする方法。 - 前記アミノ基を含むケイ素化合物は、ビス・ターシャル・ブチル・アミノ・シラン、テトラ・ジメチル・エチル・アミノ・シラン、またはテトラ・ジメチル・メチル・アミノ・シランである、請求項1記載の方法。
- 前記CVD法は、熱CVD法である、請求項1または2に記載の方法。
- 前記原料ガスとともにキャリアガスを前記反応容器内に導入する請求項1〜3のいずれかに記載の方法。
- 前記被成膜体は、半導体ウェハである、請求項1〜4のいずれかに記載の方法。
- 前記窒素含有ケイ素化合物膜をLDD構造におけるサイドウォールとして形成する請求項1〜5のいずれかに記載の方法。
- 前記窒素含有ケイ素化合物膜をエッチストッパまたはエッチング用のマスクとして形成する請求項1〜5のいずれかに記載の方法。
- 前記窒素含有ケイ素化合物膜をパッシベーション膜として形成する請求項1〜5のいずれかに記載の方法。
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