JP2004177414A - 自動車用センサの取付け構造及び半導体圧力センサ - Google Patents

自動車用センサの取付け構造及び半導体圧力センサ Download PDF

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Abstract

【課題】自動車用センサをねじを用いずに直接被検出部の壁部に取付けることができ、また、圧力導入管を用いずに圧力検知部を直接圧力導入管に取付け可能にする。
【解決手段】被検出部の壁部6にセンサハウジング1の一部を挿通させる非円形輪郭のセンサ取付け孔60Bを設ける。センサハウジング1には、第1係止部(爪4)と第2の係止部(フランジ4)とが一体にモールド成形される。ハウジング1は爪4を特定の方位に向けることを条件に取付け孔60Bへの挿通を許容され、挿通後に所定角度回転させることで、爪4が壁部6の内面に係止する。
フランジ2は壁部6の外面に係止する。爪4,フランジ2により被検出部の壁部6を挾み込むことでセンサが取付けられる。センサハウジング1に設けた凹部3にフック8の突起7が係合することでセンサの回り止めがなされる。
【選択図】 図1

Description

本発明は、自動車用のセンサ(例えば、圧力センサ,温度センサ等)を内燃機関に実装する場合のセンサ取付け構造及びその適用対象となる半導体圧力センサに関する。
自動車用内燃機関の電子制御には種々のセンサが使用され、従来はねじを用いてセンサを取付けることが多かった。例えば、特開平5−172673号公報には、圧力センサの取付け位置の自由度を持たせるために、樹脂モールドハウジングにブラケットの取付け位置を2箇所設け、このブラケットを介して圧力センサをエンジンルーム内の適宜箇所にねじ止めし、また、ホースにより圧力源とセンサ部を接続していた。
最近では、部品の軽量化のために、自動車用内燃機関の吸気通路、いわゆるインテークマニホールド(吸気管)は金属製から合成樹脂製に変わりつつある。合成樹脂製の場合、インテークマニホールドを成形する際に、センサハウジングを固定する取付けねじを受ける金属部品をインサート成形する必要があり、コスト上昇の要因となっていた。
また、ハウジング側にも、ネジのかみ込みや緩みを防止するために金属製のブッシュを挿入しておく必要があり、これもコスト上昇の要因となっていた。
そこで、取付けの簡便化のために、ブラケットや圧力源から圧力を導入するホースをなくし、吸気通路となる管壁にねじ止めに代わる手法によりセンサを直接固定する方式が提案されている。
例えば、特開昭63−215847号公報では、センサ取付部としてセンサ本体よりも径の大きい筒状部を設け、センサ側には非円形輪郭の係止フランジ部を設け、前記筒状部にセンサを挿入すべき挿通孔を設け、この挿通孔は、入口側に上記センサの係止フランジ部を特定の角度位置で挿通させ、挿通後に係止フランジ部の回動を許容する係止孔を有し、この係止孔の内面にセンサの係止フランジ部をばねの力で係止させることで、センサを取付ける構造としている。
この方式は、センサ本体の他にばね部材をセンサ取付け部(筒状部)に内挿しなければならず、その分のコスト増と組立ての手間が増える。
特開昭63−215846号公報では、センサ取付部としてセンサ本体よりも大きい筒状部を設け、この筒状部とセンサのいずれか一方に、筒状部の半径方向に弾性変形可能な弾性係止脚を形成するとともに、他方に自由状態のこの弾性係止脚と係合してセンサの抜け止め及び回り止めを図る固定係止部を設け、この弾性係止脚を皿ばねの力で固定係止部に圧接させることでセンサの抜け止めを図っているセンサ取付け構造が開示されている。この場合にもセンサ取付部として筒状部を形成しなければならず、またセンサ本体の他にばね部材をセンサ取付部(筒状部)に内挿しなければならず、その分のコスト増と組立ての手間が増える。
特開平10−122914号公報では、先端フランジ及び後端フランジを有する弾性部材(例えばゴム)をセンサの突出部に装着し、この弾性部材を後端フランジを残してセンサ突出部と共に被着部材に設けた貫通孔に弾性変形を利用して挿入し、挿入後に先端フランジが被着部材の内面に係止し後端フランジが被着部材の外面に係止するようにした、センサの取付け構造が提案されている。この公知例は、センサ取付け用弾性部材を必要とし、その分の部品点が増加し、また、センサ取付け前に弾性部材をセンサの突出部に装着する作業工程を必要とする。
特開平5−172673号公報
特開昭63−215847号公報 特開昭63−215846号公報 特開平10−122914号公報
本発明の目的は、第1に自動車用のセンサのねじ止めを不要として吸気管壁等に容易に取付けることができ、さらに、従来のねじを不要とする取付け構造方式に比べて部品点数や構造の簡略化を図り得るセンサの取付け構造を提供することにある。
また、自動車用センサの一つである吸気圧力センサを吸気管壁に直接取付けることができ、しかも、センサの圧力検知のゲージを吸気通路に臨ませることができ、圧力導入管を不要とする半導体圧力センサを提供することにある。
さらに、半導体圧力センサを直接吸気管壁に取付ける場合、特に半導体圧力センサを圧力導入口が横向き或いは横向きに近い状態で取付ける場合、結露した水が圧力検知部に氷結するのを防止して圧力検知部の信頼性を維持できるセンサの取付け構造を提供することにある。
本発明は、上記目的を達成するために、基本的には、次のように構成する。
第1の発明は、自動車運転に必要な物理量を検出するセンサを被検出部の壁部に取付ける自動車用センサの取付け構造において、
前記被検出部の壁部に前記センサの一部を挿通させる非円形輪郭のセンサ用の取付け孔が設けられ、
前記センサのハウジングには、特定の方位に向けることを条件に前記取付け孔への挿通を許容され挿通後に所定角度回転させることで前記壁部の内側に向いた面に係止する第1の係止部と、前記センサの挿通状態で前記壁部の外側に向いた面に係止する第2の係止部とが該ハウジングと一体にモールド成形され、この第1,第2の係止部により前記被検出部の壁部を挾み込むことでセンサが取付けられていることを特徴とする。
このような構成によれば、被検出部の壁部にセンサを取付ける場合には、センサのハウジングに設けた第1の係止部を特定の方位に向けることでこの第1の係止部と被検出部の壁部に設けた取付け孔とが位置合わせされ、この状態でセンサのハウジングを取付け孔に挿通させ(第1の係止部が取付け孔の出口を通るまで、換言すれば第2の係止部が被検出部の外側に向いた壁面に接するまで取付け孔に挿通させる)、その後、センサのハウジングを所定角度回転させると、第1の係止部が被検出部の内側に向いた壁面に係止し、第2の係止部が被検出部の外側に向いた壁面に係止し、これにより第1,第2の係止部が被検出部の壁部を挾み込むことになるので、センサが被検出部の壁部にねじを使用せずに直接取付けられる。
第2の発明は、半導体圧力センサにおいて、
センサ本体を構成するハウジングは、そのゲージ部が直接被検出部に臨むようにして該被検出部の壁部に取付けられる形式であって、圧力検知用の半導体ゲージの収容部,電子回路を搭載する回路基板の収容部及びコネクタを有するセンサホルダーと、前記コネクタを外に出した状態で前記センサホルダーを内挿する筒状のキャップとの2ピース構造とし、前記センサホルダーの半導体ゲージ収容部と前記キャップの形状により圧力導入口を形成したことを特徴とする。
上記構成によれば、センサ本体(センサハウジング)は、電子回路部及び半導体ゲージを有するセンサホルダーをコネクタ部を残してキャップに内挿するだけで構成され、また、半導体ゲージ(圧力検知部)の収容部が圧力導入口に位置することで、圧力導入パイプを要さずに圧力を直接検出することができ、また、このように半導体ゲージが直接、被検出部(例えば吸気管)に臨んでも、その周囲に位置するキャップにより保護され、圧力センサの信頼性を保証する。
第3の発明は、内燃機関の吸気管の管壁に設けた取付け孔を介して圧力センサが前記吸気管に直接取付けられ、該圧力センサの圧力導入口が前記吸気管内に直接臨み、この圧力導入口に圧力を感知するゲージが内装されている自動車用センサの取付け構造において、
前記圧力センサの圧力導入口が横向き或いは横向きに近い状態で取付けられ、
この取付け状態で前記ゲージが前記圧力導入口の内部における上方に配置されていることを特徴とする。
圧力センサを吸気管の管壁に直接取付けて圧力検知部(ゲージ部)を吸気管の内部に臨ませた場合、圧力センサは圧力導入口が横向き或いは横向きに近い状態で取付けられていると、吸気管内部で結露した水が圧力導入口に浸入して氷結した時にゲージが破損するおそれが生じる。しかし、上記構成のように、前記ゲージが横向きの前記圧力導入口の内部において上側に配置されていれば、結露水はゲージに溜らない構造とすることができ、ゲージが氷結破損するのを防止できる。
以上述べたように、本発明によれば、自動車用のセンサをねじ止めを不要として吸気管壁等に容易に取付けることができ、さらに、従来のねじを不要とする取付け構造方式に比べて部品点数や構造の簡略化を図り得るセンサの取付け構造を実現することができる。
また、自動車用センサの一つである吸気圧力センサを吸気管壁に直接取付けることができ、しかも、センサの圧力検知のゲージを吸気通路に臨ませることができ、圧力導入管を不要とする半導体圧力センサを提供することができる。
さらに、半導体圧力センサを直接吸気管壁に取付ける場合、特に半導体圧力センサを圧力導入口を横向き或いは横向きに近い状態で取付ける場合であっても、結露した水の半導体ゲージへの氷結防止を図ることで圧力検知部の破壊を防止できる。
本発明の実施の形態を、半導体圧力センサを一例に図面に基づき説明する。
図1は本発明の一実施例に係るセンサの取付け構造を自動車用内燃機関の吸気管に設けた取付け孔を断面して示す説明図、図2はその底面図、図3は上記センサの取付け途中の状態を示す説明図、図4はその底面図、図5は半導体圧力センサの縦断面図、図6は上記圧力センサを固定する取付け孔の上面図である。
まず、図1,3,5を用いて、半導体圧力センサの本体となるハウジング全体の構造を説明する。ハウジング1全体は、図5に示すように大きく2つの部分に分けており、一つはコネクタ10を含むセンサホルダー1Aであり、もう一つはこのセンサホルダー1Aを内挿する筒状のキャップ1Bであり、センサホルダー1A及びキャップ1Bは共に合成樹脂をモールド成形して成る。
センサホルダー1Aは、圧力検知部となる半導体ゲージ及び増幅回路などの電子回路を含むチップ13と、必要に応じて用意する外付け回路基板14を搭載,保持するベースであり、モールドケースと称せられることもある。
このセンサホルダー1Aの一面には、半導体ゲージ及び増幅回路のチップ(圧力検知部)13の収容部となるポケット11、及び回路基板14を収容するポケット12が形成され、チップ13はポケット11に接着され、回路基板14はポケット12に接着される。
半導体ゲージを構成するチップ13は、例えば、表面マイクロマシニング技術により形成された静電容量式センサである。その詳細は図示省略するが、原理的には、単結晶シリコン基板の上(片面)にアルミスパッタ膜などにより形成された第1の電極(固定電極)と、第1の電極と空隙を介して対向するように導電性を有する多結晶シリコンにより形成されたダイアフラム形の第2の電極(可動電極)とから成り、圧力によって第2の電極が変位することによって静電容量が変化し、圧力を検出する構成となっているもので、ミリオーダーの微小なチップ13により構成される。
このような微小なチップ13により半導体ゲージを形成することが可能なゆえに、このチップ(半導体ゲージ或いは圧力検知部と称することもある)13を、以下に述べるセンサハウジング構造及びセンサ取付け構造により、直接、エンジンの吸気管に臨ませて圧力を検知することが可能になる。
センサホルダー1Aは、コネクタ10側を後端とみた場合に、先端側から順にポケット11,ポケット12,コネクタ10の順に配置され、ポケット11と12の間には両者を隔離するための仕切り壁(板状の突起)18がセンサホルダー1Aと一体に設けられている。
キャップ1Bは筒状を呈して、その内部にセンサホルダー1Aを内挿するための軸方向の貫通空間を有し、その内挿用の空間の内壁には、センサホルダー1Aを係止させるための段差部30,31,32が設けられている。一方、センサホルダー1Aにも、これらの段差部と係止する係止部が設けられ、このうち、段差部32と係止する係止部19はフランジ形状で、センサホルダー1Aのうちコネクタ10とポケット12との間に配設されている。また、キャップ1Bの内部には、センサホルダー1Aを内挿した時に仕切り壁18を受ける受け部(段差部)33が形成されている。センサホルダー1Aは、キャップ1Bに内挿された時にキャップ1Bに接着され、このとき仕切り壁18もキャップ1Bの受け部33に接着されることで、ポケット11とポケット12は、気密性を保たれて隔離される。
また、ポケット(半導体ゲージ収容部)11とキャップ1Bの先端形状により圧力導入部17が形成される。
センサホルダー1Aのポケット11,12には、圧力検知部(チップ)13と回路基板14を保護するためのゲルが充填される。このうちポケット11側のゲルは、例えば、吸気管などで生じる水、ガソリン,酸などから保護するため耐薬品性に優れたフロロシリコーンゲルであり、注入により充填される。
一方、ポケット12に充填されるゲルは、収容する回路基板14が圧力導入口17と遮断されるため、水、ガソリン、酸などに侵されず、耐薬品性を考慮する必要が無いので、ジメチル系のシリコーンゲルで保護する。ここで、ポケット11と12は、同一の面にあっても異なる面にあっても良く、また、耐薬品性に優れたフロロシリコーンゲルで圧力検知部と回路基板を保護すればポケット11と12をあえて仕切り壁により隔絶する必要がない。
圧力検知部となるチップ13,外付け回路基板14およびコネクタ10の各リードフレームの各端子間はリード線15をボンディングすることにより電気的に接続される。これにより、圧力検知部13において、吸気管圧力に応動するゲージの変形量が電気信号に変換され、増幅回路により増幅され、センサ出力としてコネクタ10の端子16から取り出すことができる。
次に上記の圧力センサを吸気管(被検出部)の管壁(壁部)6に取付ける場合の取付け構造について説明する。
図1〜図6に示すように、吸気管の管壁6には、圧力センサを取付けるための取付け孔60が形成され、取付け孔60は、センサハウジング1の円筒形胴部を受け入れる円形の孔部60Aと、センサハウジング1の先端を受け入れて吸気管6内壁の円形凹み61にセンサハウジング1先端の係止爪4を導く孔部60Bとで構成される。
孔部60Bは、センサハウジング1の先端部の径に適合する中央部60B−1とその中央部から180度間隔で外側に延設された係止爪挿通孔60B−2とで構成され、非円形輪郭のセンサ用の取付け孔となる。以下、孔部60Bは鍵孔状を呈しているので、鍵孔と称する。吸気管(壁部)6の孔部60Aの周縁には、180度間隔で2個の係止用のフック(弾性部材)8が配設され、また、フック8の外側への弾性変形を許容する溝9が形成されている。フック8の内側には、センサハウジング1の胴部に設けた凹部3と係合するテーパ状の凸部(突起)7が設けられている。凹部3は180度間隔で配置されている。なお、フック8や凹部3の配置態様や数はこれに限定されるものではない。センサハウジング1の胴部には、センサハウジング1を取付け孔60に挿入した時に気密性を保つためのOリング5が装着されている。このOリング5はセンサハウジング1の外周に形成した環状溝50に嵌め込まれている。
上記した係止爪4は、特定の方位に向けることを条件に取付け孔60の鍵孔60Bへの挿通を許容され挿通後に所定角度回転させることで吸気管の壁部6の内面(内側に向いた面)に係止する第1の係止部として機能する。すなわち、係止爪4は、センサハウジング1を所定角度(例えば90度)回転後にセンサハウジング1が外側へ抜けないように吸気管の壁部6内面に引っ掛かり、そのために孔部60Bが鍵孔構造となっている。
また、センサハウジング1の胴部には、該センサを取付け状態の位置まで取付け孔60に挿通させた状態の時に吸気管の壁部6外面(外側に向いた面)に係止する第2の係止部2がフランジにより構成されている。
つぎに、図1〜4を用いて本例のセンサの取付け方法を説明する。
まず、図3、4に示すように、鍵孔60Bに第1の係止部(係止爪)4が通るようにセンサハウジング1を特定の方位に向けて該センサハウジング1を挿入する。このとき、センサハウジング1に設けた凹部3は取付け孔60に設けたフック8に対して90度離れた位置にあり、また、この凹部3がある位置のセンサハウジング1の胴部の径は180度間隔の一対のフック8の凸部7,7間の距離より大きくしてあり、更に凸部7がテーパ形状であるため、センサハウジング1の押し込み力により、フック8は図3矢印ロに示すようにフックの弾性により外側に押し開かれる。
つぎに、図1,2に示すように、センサハウジング1を所定角度(ここでは90度)回転させると、凹部3がフック8の凸部7に嵌まり合い、図1矢印イに示すように、フック8はばね特性により元の状態に戻り、これにより回り止めがなされる。この90度回転の時には、係止爪4は吸気管壁の内壁凹部61にてセンサハウジング1と共に回転する。
この状態では、センサハウジング1の係止爪(第1係止部)4とフランジ(第2係止部)2とが吸気管壁6を挾み込むことで、センサの軸方向の移動を抑制することができる。
このような取付け状態で、特に吸気管(壁部6)に対して第1,第2の係止部(係止爪4やフランジ2)をばね力で付勢するような固定方式を採用しなくとも、センサハウジング1には内燃機関の運転時に、吸気管の負圧により引き込み力が働くので、フランジ2が吸気管の外面に圧接するため、センサががたつくことなく固定される。また、通路の内部が正圧の場合やコネクタ10に接続されたハーネスを引っ張った場合など、センサ(ハウジング1)に抜ける力が働いた場合、内側にある係止爪4がストッパーになり、センサの抜けを防ぐことができる。内燃機関などからの振動により回転方向に力が加わった場合、まず、Oリング5により回転方向の振動が吸収されるので、センサのハウジング1に働く力が小さくなり、さらに、ハウジング1は回り止めにより固定されているので、回転しない。
センサハウジング1を取付け孔60に固定すると、センサハウジング1と取付け孔60間がOリング5によりシールされ、吸気管内の気密を保つことができる。ここで、キャップ1Bに装着するのはOリング5でなくとも良く、例えば、蛇腹状のゴムを挿入または、キャップ1Bに接着して取付け孔60の内面に圧接することで気密を確保することができる。
なお、フック8の凸部7と凹部3の嵌合により、フック8には応力が常時加わらないので、ばね特性を有するフック8のクリープ変形や応力緩和などの問題は全く無い。
センサを吸気管から取り外す必要が生じた場合には、センサハウジング1を取付時の回転と逆方向に力を入れて回転させてフック8の凸部7と凹部3との係合を解除させた後、センサハウジング1を図3,図4の状態にして引き抜く。
この場合、図7に示すように(図7は本実施例のセンサ取付け構造を上面からみた図である)、センサハウジング1のフランジ2に、フック8の凸部7とハウジング1側に設けた凹部3との嵌合部を覗く窓21をあらかじめ設けておき、この窓21を通してフック8を広げる治具を差し込んでハウジング1を少し回転させて凸部7を凹部3から外し、治具を外した後、挿入時の位置までハウジング1を回転させて引き抜けば、センサハウジングの回転に力をいれずに済む。
なお、上記実施例では、センサとして吸気管の圧力センサを例示したが、これに限定されるものではなく、そのほか、吸気温度センサや吸気管以外の冷却水温センサなどや排気管に取り付ける各種センサにも適用可能である。
本実施例によれば、次のような効果を奏する。
(1)自動車用センサをねじを不要として取付けることができるため、センサの取付けに必要な部品点数を減らし、特に、合成樹脂により吸気管等を構成した場合、この樹脂製の吸気管等にセンサをコスト低減を図りつつ簡単に取付けることができる。
(2)また、圧力センサを吸気管に取り付けて圧力検知部となる半導体ゲージを直接吸気管内に臨ませるので、圧力導入パイプを不要とし、しかも、センサハウジング内に電子回路等の回路基板を搭載しても、水やガソリン等の侵入を防止でき、センサの信頼性を維持することができる。
図8は、上記した本実施例に係る圧力センサを図1と異なる角度で吸気管に取付けた例である。
圧力センサのハウジング1は圧力導入口17が横向き或いは横向きに近い状態で取付けられる。この取付け状態で圧力検知部となるゲージ(チップ13)が圧力導入口17の内部における上側に配置されている。
吸気管内部では水蒸気が結露する場合があり、センサハウジング1を図1に示すように垂直に取り付けた場合には、圧力導入口17が下向きになっているので、排水がスムーズに行われる。
しかし、実際には、センサハウジング1を水平(横向き)あるいは水平に近い方向に取り付けなければならない場合もあり、この場合、圧力導入口17が横向き或いはそれに近い状態となり、結露した水分が圧力導入口17に浸入することがある。結露した水分が圧力検知部たるゲージ(チップ13)に入り込んで氷結すると、圧力検知部が破壊するおそれがあるが、本実施例のように圧力検知用のゲージ13を圧力導入口17内において上側に配置すると、水が付着しても落ちる。さらに、図8に示すように圧力導入口17内部を通路に向かって傾斜17´をつけることにより、吸気管(吸気通路)内にスムーズに排水される。このため、凍結によるゲージの破損防止を図ることができる。
図9は本発明の他の実施例で、図1〜8の実施例と異なる点は、突起(凸部7)付きフック8及び溝9をセンサハウジング1側に設け、凹部3を取付け孔60側に設けた点にある。このようにしても、前述の実施例同様のセンサハウジングの回り止めを図り得る。
図10も本発明の他の実施例で、本実施例では、フランジ2を無くして、これに代わってセンサハウジング1のキャップ1Bの胴部の一部101を取付け孔60の中の外側に向いた段差面62に係止させ、このキャップ1Bの一部101と係止爪4により鍵孔60B周辺の吸気管壁面を挾み込むようにしたものである。
本発明の一実施例に係るセンサの取付け構造を自動車用内燃機関の吸気管に設けた取付け孔を断面して示す説明図。 図1の底面図。 上記センサの取付け途中の状態を示す説明図。 図3の底面図。 上記実施例に用いる半導体圧力センサの縦断面図。 上記圧力センサを固定する取付け孔の上面図。 本実施例のセンサ取付け構造を上面からみた図。 上記実施例に係る圧力センサを図1と異なる角度で吸気管に取付けた例を示す縦断面図。 本発明の他の実施例を示すセンサ取付け状態説明図。 本発明の他の実施例を示すセンサ取付け状態説明図。
符号の説明
1…センサハウジング、1A…センサホルダー、1B…キャップ、2…フランジ(第2の係止部)、3…凹部、4…つめ(第1係止部)、5…Oリング、6…吸気管壁(被検出部の壁部)、7…凸部(突起)、8…フック(弾性部材)、10…コネクタ、11…ポケット(半導体ゲージ収容部)、12…ポケット(回路基板収納部)、13…半導体ゲージ(チップ)、14…回路基板、60…取付け孔、60B…非円形輪郭の孔部(鍵孔)。

Claims (3)

  1. 半導体圧力センサにおいて、
    センサ本体を構成するハウジングは、そのゲージ部が直接被検出部に臨むようにして該被検出部の壁部に取付けられる形式であって、圧力検知用の半導体ゲージの収容部,電子回路を搭載する回路基板の収容部及びコネクタを有するセンサホルダーと、前記コネクタを外に出した状態で前記センサホルダーを内挿する筒状のキャップとの2ピース構造とし、前記センサホルダーの半導体ゲージ収容部と前記キャップの形状により圧力導入口を形成したことを特徴とする半導体圧力センサ。
  2. 前記センサホルダーには、前記半導体ゲージの収容部と前記回路基板の収容部との間に仕切り壁が形成され、前記キャップの内部には前記仕切り壁の受け部が形成され、この仕切り壁と受け部とにより前記圧力導入口と前記回路基板の収容部とが遮られている請求項1記載の半導体圧力センサ。
  3. 内燃機関の吸気管の管壁に設けた取付け孔を介して圧力センサが前記吸気管に直接取付けられ、該圧力センサの圧力導入口が前記吸気管内に直接臨み、この圧力導入口に圧力を感知するゲージが内装されている自動車用センサの取付け構造において、
    前記圧力センサの圧力導入口が横向き或いは横向きに近い状態で取付けられ、この取付け状態で前記ゲージが前記圧力導入口の内部における上方に配置されていることを特徴とする自動車用センサの取付け構造。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8186208B2 (en) 2008-02-08 2012-05-29 Hitachi, Ltd. Pressure measuring module for detecting air pressure within a tire included in a wheel assembly attached to a vehicle body and tire pressure monitoring system
JP2012189495A (ja) * 2011-03-11 2012-10-04 Mitsubishi Heavy Ind Ltd センサ取付構造
JP2017009467A (ja) * 2015-06-23 2017-01-12 サーパス工業株式会社 圧力検出装置

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