JP2004165544A - プリント配線板 - Google Patents
プリント配線板 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004165544A JP2004165544A JP2002331888A JP2002331888A JP2004165544A JP 2004165544 A JP2004165544 A JP 2004165544A JP 2002331888 A JP2002331888 A JP 2002331888A JP 2002331888 A JP2002331888 A JP 2002331888A JP 2004165544 A JP2004165544 A JP 2004165544A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wiring board
- printed wiring
- board according
- layer
- copper foil
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
- Printing Elements For Providing Electric Connections Between Printed Circuits (AREA)
- Parts Printed On Printed Circuit Boards (AREA)
Abstract
【解決手段】銅はくをエッチングして形成したバンプによって層間接続がとれるため、従来のようにバイアホールの導通化のためのめっきが不要となり、エッチング代が薄くなることにより、細線化と配線パターンの高精度化を可能とした多層のプリント配線板を提供することができる。
【選択図】 図4
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、表面実装部品、特にベアチップ等の電子部品を実装するプリント配線板に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
最近の情報、通信端末を中心とした電子機器の高機能化と小型、軽量化の要求により、半導体の高集積及び高速化技術が急速に進展している。
【0003】
そのため、これら小型化、軽量化を達成するためのベアチップ等の電子部品を実装するプリント配線板に対しても高密度配線および高密度実装を可能とし、なおかつ安価なものが求められている。
【0004】
このような市場の要求に応えるために、従来の銅めっきによるスルーホール接続を基本構成とするプリント配線板に代わって、インタースティシャルバイアホール(以下、IVHという)により、必要な層間のみ導通接続を図るとともに、部品ランド直下にもIVHを形成し、実装密度を向上することができるビルドアッププリント配線板が開発され、市場に供給されている。
【0005】
以下従来のビルドアッププリント配線板の製造方法について説明する。
【0006】
図5、図6は従来のビルドアップのプリント配線板の構成を示すための製造工程断面図である。
【0007】
まず、ガラスエポキシ基材31と銅はく32からなる銅張り板を準備し[図5(A)]、NCボール盤で所定の位置に貫通孔33を形成する[図5(B)]。そして貫通孔33を導通化させるため、無電解銅めっき後、電解銅めっきを行い、第1銅めっき層34を形成する[図5(C)]。
【0008】
次にスルーホールとなった貫通孔33にエポキシ樹脂を主成分とする孔埋め樹脂35を充填し、基板表面を平坦化した後[図5(D)]、無電解銅めっきに続いて、電解銅めっきを行い、第2銅めっき層36を形成する[図5(E)]。そしてフォトプロセスを用いて銅はく32、第1銅めっき層34、第2銅めっき層36をエッチングして、配線パターン37を形成する[図5(F)]。
【0009】
次に基板の表裏に層間絶縁樹脂層38を形成後[図5(G)]、層間絶縁樹脂層38の表面から配線パターン37までの層間接続のためのバイアホール39を形成する[図6(H)]。なおこのバイアホール39は層間絶縁樹脂層38が感光性の場合はフォトプロセスにより形成することができる。また層間絶縁樹脂層38が非感光性の場合はレーザ加工機によって形成する。
【0010】
次に層間絶縁樹脂層の表面とバイアホール39の内部に無電解銅めっき後、電解銅めっきを行い、第1銅めっき層40を形成したうえで[図6(I)]、バイアホール39にエポキシ樹脂を主成分とする孔埋め樹脂41を充填し、基板表面を平坦化した後[図6(J)]、無電解銅めっきに続いて、電解銅めっきを行い、第2銅めっき層42を形成する[図6(K)]。
【0011】
そしてフォトプロセスを用いて、第1銅めっき層40、第2銅めっき層42をエッチングして、配線パターン43を形成する[図6(L)]。
【0012】
以後、上記の図5(G)〜図6(L)に示す工程と同じプロセスを繰り返すことによって、6層および8層のビルドアッププリント配線板を製造することができる。
【0013】
以上のように、バイアホール内に孔埋め樹脂を充填し、平坦化した後、銅めっきをすることにより、バイアホールの上に部品を実装することができ、またスタックドビアも可能となるため、大幅に高密度化ができる。
【0014】
なお、この出願の発明に関連する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献1、特許文献2が知られている。
【0015】
【特許文献1】
特開平1−143292号公報
【特許文献2】
特開平4−92496号公報
【0016】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、細線化が進みかつ配線パターンの高精度化が求められる背景において、それを実現するために銅はくの厚みを薄くする必要が生じてきた。
【0017】
従来の製造方法では内層の配線パターンにおいては、図5(E),(F)のように銅はく32、第1銅めっき層34、第2銅めっき層36というように3層の銅厚の総和がエッチング代となる。
【0018】
またビルドアップ層においても、図6(K),(L)のように第1銅めっき層40、第2銅めっき層42というように2層の銅厚の総和がエッチング代となり、細線化および配線パターンの高精度化が難しいという課題があった。さらに配線パターンが厚いため、プリント配線板の軽量化が困難であった。
【0019】
本発明は上記従来の課題を解決するものであり、バイアホールの上に部品を実装することができ、またスタックドビアも可能になるとともに、細線化および配線パターンの高精度化にも有効でかつ軽量なプリント配線板を提供することを目的とする。
【0020】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために本発明は、第1の銅はくと第2の銅はくの間に薄膜層を備えた3層構造の金属はくを2枚準備する工程と、前記2枚の3層構造の一表層に配線パターンを形成する工程と、貫通孔に導電性ペーストが充填された層間接着用シートを複数枚準備する工程と、前記層間接着用シートの両面に銅はくを重ね、加熱加圧し両面積層板を形成する工程と、前記両面積層板に配線パターンを形成し2層配線板を形成する工程と、前記2層配線板の上下に前記層間接着用シートを配置し、その外側に配線パターンが形成された面が対向するように前記3層構造の金属はくを重ね合わせる工程と、それを加熱加圧して多層の積層板を形成する工程を備えたプリント配線板の製造方法を用いてプリント配線板を提供することである。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施の形態におけるプリント配線板の構成を図面を参照しながら説明する。
【0022】
図1〜図4は本発明の実施の形態におけるプリント配線板の構成を示すための製造工程図である。
【0023】
まず、図1(D)に示す3層からなる金属はく5を2枚準備する。この金属はくの構成は、片側に厚さ12〜100μmの第1の銅はく6と他の側に厚さ5〜18μmの第2の銅はく8が、すずめっきからなる厚さ1〜3μmの導電層である薄膜層7を介した3層構造になったものである。
【0024】
厚さ1〜3μmの薄膜である理由は、後工程において薄膜層7を選択的に除去するため薄膜である方が製造工程上効率的であり、また第1の銅はく6と第2の銅はく8との導通を安定させるためである。さらに薄膜層7の存在により第1の銅はく6と第2の銅はく8の配線パターンの形成を分離して行うことが可能となる。
【0025】
この3層構造の金属はく5のうち、厚さ5〜18μmの第2の銅はく8の上にフォトプロセスにより、エッチングレジスト9を形成する[図1(E)]。
【0026】
そして銅アンモニウム錯イオンを主成分とするアルカリエッチング液により不要な銅はくを除去して所定の配線パターン10を形成したうえで、エッチングレジスト9を水酸化ナトリウム等の溶液で剥離する[図1(F)]。
【0027】
銅はく8を溶解除去して配線パターン10を形成するのに、銅アンモニウム錯イオンを主成分とするアルカリエッチング液を用いる理由は、すずめっきなどからなる薄膜層7をストッパーとして、反対面の銅はく6をエッチングしないためである。これにより、過剰なエッチングをしても、配線パターン10が細るだけで、銅はく6がエッチングされることはない。
【0028】
したがって薄膜層7は、銅アンモニウム錯イオンを主成分とするアルカリエッチング液に溶解しないものであれば、すずめっき以外にはんだめっき、ニッケルめっきでもよい。
【0029】
また銅はく6をキャリアとして利用すると、単独では製造工程上、取扱いが困難であった極薄銅はくも容易に取り扱えるので、銅はく8として5μmの厚みのものを選び、エッチングレジスト9の厚みも7μmのものを使用すると、サブトラクティブ法でもライン/スペースが20μm/20μmのファインパターンが可能となる。
【0030】
次に図1(A)に示すように、両面にポリエステルなどの離型性フィルム2を備えた多孔質の基材1を準備する。この多孔質基材としては、厚さが30〜100μmのアラミド不織布エポキシ樹脂含浸のBステージ状態(半硬化)のシートが用いられる。
【0031】
アラミド不織布は、軽量かつ物理的機械的に強度が高く、さらにレーザ加工に適している。また、Bステージ状態のシートを用いることにより層間接着層としての機能を備える。
【0032】
次に両面に離型性フィルム2を備えた基材1の所定の箇所にレーザ加工機などで直径30〜100μmの貫通孔3を形成[図1(B)]し、貫通孔3に導電性ペースト4を充填する。これにより配線の高密度化を図ることができる。
【0033】
充填方法としては、貫通孔3を有するアラミド不織布エポキシ樹脂含浸シート1をスクリーン印刷機などにセットした後、導電性ペースト4を直接、離型性フィルム2の上から印刷する。この離型性フィルム2が印刷マスクの役目を果たし、印刷の位置ズレやにじみを発生させることなく、貫通孔3に導電性ペースト4を確実に充填することができる。
【0034】
次に基材1の両面から離型性フィルム2を剥離した後[図1(C)]、先に作製した3層構造の金属はく5と、同様の方法により作製した異なる配線パターン14が形成された3層構造の金属はく11を対向させ、その間に導電性ペースト4が充填された層間接着用シートとしての基材1を重ね合わせる[図1(G)]。
【0035】
その後、真空熱プレス機で3層構造の金属はく5,11の両側から加熱加圧することにより、基材1が圧縮されるとともに基材1の内部に配線パターン10,14が埋設され、接着され、積層板が形成される[図1(H)]。
【0036】
このとき配線パターン10,14は、導電性ペースト4が充填されて導通孔となった貫通孔3を介して電気的に接続される。この構成により銅めっきを用いることなく層間接続を実現できる。
【0037】
第2の銅はく8の厚みを5〜18μmとして第1の銅はく6の厚みより比較的薄い範囲の側に設定した理由は、基材1に埋設される銅はくによって導通孔が変形し、電気的接続や、寸法上の不具合を生じさせないためである。第2の銅はく8の厚みは、基材1の厚さやその圧縮率に応じて、厚み5〜18μmの範囲内で設定することが望ましい。
【0038】
次に形成された積層板の第1の銅はく6,12の上にフォトプロセスにより、エッチングレジスト15を形成する[図1(I)]。
【0039】
そして銅アンモニウム錯イオンを主成分とするアルカリエッチング液により不要な銅はくを除去して所定の位置にバンプ16を形成したうえで、エッチングレジスト15を水酸化ナトリウム等の溶液で剥離する[図2(J)]。
【0040】
第1の銅はく6,12を溶解除去してバンプ16を形成するのに、銅アンモニウム錯イオンを主成分とするアルカリエッチング液を用いる理由は、すずめっきなどからなる薄膜層7,13をストッパーとして、すでに形成済みの配線パターン10,14がエッチングされないようにするためである。
【0041】
これにより、過剰なエッチングをしても、バンプ16が細るだけで、配線パターン10,14がエッチングされて断線、欠損などのダメージを受けることはない。
【0042】
第1の銅はく6,12の厚さは、12〜100μmとして第2の銅はく8の厚みより比較的厚い範囲の側に設定したが、これにより層間の導通を意図したバンプ16としての機能と、プリント配線板としての層間絶縁を図るための最小限の層間距離を図ることができる。
【0043】
次に薄膜層7,13がすず、はんだの場合は、硝酸を主成分とするはんだ剥離剤(例えばメック社製メックリムーバーS−6KM)により、バンプ16をレジストとして薄膜層7,13を除去する。この際、前記はんだ剥離剤はバンプ16や配線パターン10,14をおかすことなく、薄膜層7,13のみ選択的に除去するものである。
【0044】
また、薄膜層7,13がニッケルの場合は、同じく硝酸を主成分とするニッケル剥離剤(例えばメック社製メックリムーバーNH−1862)により、バンプ16や配線パターン10,14をおかすことなく、薄膜層7,13のみ選択的に除去できる[図2(K)]。
【0045】
これにより薄膜層7,13は、バンプ16の直下にのみ存在し、バンプ間における電気的絶縁の信頼性を損なうことはない。
【0046】
次に図2(L)に示すように、以上のようにしてできた基板の表面に層間絶縁樹脂層17を形成する。
【0047】
この層間絶縁樹脂材料としては、熱硬化型のエポキシ系樹脂を使用し、スクリーン印刷機、カーテンコータ、スロットコータなどで塗布した後、熱硬化炉で指触乾燥の状態にしたうえで、基板の裏面側にも同様に層間絶縁樹脂材料を塗布して、熱硬化炉で両面同時に硬化させる。
【0048】
次に、硬化した層間絶縁樹脂層17を研磨する。研磨装置としては例えばベルトサンダーやバフ研磨機などを使用し、バンプ16が表面に露出するまで平滑に研磨し、バンプ16と層間絶縁樹脂層17を同一の厚さとする[図2(M)]。これにより、次工程の研磨や表面へのめっきが容易となる。
【0049】
そして平滑になった層間絶縁樹脂層17の表面を機械研磨と化学研磨を組み合わせて、微小な凹凸を形成する。
【0050】
機械研磨としてはバフ研磨装置を使用し、研磨材として、酸化アルミニウムや炭化ケイ素などを使用する。また研磨粒の大きさはメッシュで♯400〜2500のものを用いる。また化学研磨としては主に、過マンガン酸処理を行う。
【0051】
そして、充分粗化された絶縁樹脂層の表面に無電解銅めっきを行った後、電解銅めっき層18を5〜25μm形成する[図2(N)]。
【0052】
最後に、銅めっき層18をフォトプロセスによりエッチングして、配線パターン19を形成する[図2(O)]。
【0053】
以上は4層プリント配線板の製造方法である。次に6層プリント配線板の場合の製造工程図を図3、図4を参照しながら説明する。
【0054】
まず図1(A)〜(C)と同様にして作製した導電性ペースト4を充填済みのアラミド不織布エポキシ樹脂含浸シート1を用意し[図3(A)]、銅はく22をアラミド不織布エポキシ樹脂含浸シート1の両面に重ねて、真空熱プレス機で加熱加圧し、導電性ペースト4を圧縮しながら、銅はく22とアラミド不織布エポキシ樹脂含浸シート1とを接着し、積層板を形成する[図3(B)]。
【0055】
そしてフォトプロセスにより銅はく22をエッチングして、配線パターン23を形成し、2層の内層用配線板20を作製する[図3(C)]。
【0056】
次に内層用配線板20の上下に、導電性ペーストを充填済みの層間接着用シートとしてのアラミド不織布エポキシ樹脂含浸シート21,24を配置し、さらにその外側に配線パターン25,26を形成済みの3層構造の金属はく5,11を配線パターン25と26が対向するように重ね合わせる[図3(D)]。
【0057】
それを加熱加圧することによって、図3(E)に示すような多層の積層板を形成する。
【0058】
なお導電性ペースト4を充填済みのアラミド不織布エポキシ樹脂含浸シート21,24は図1(A)〜(C)と同様の方法で作製したものであり、3層構造の金属はく5,11についても図1(D)〜(F)と同様の方法で作製したものである。
【0059】
以下、図3(E)〜(F)と図4(G)〜(L)の製造方法は図1(H)〜(I)と図2(J)〜(O)の製造方法と同様である。
【0060】
これにより、細線化および配線パターンの高精度化にも有効でかつ軽量なプリント配線板を提供することができる。
【0061】
また8層プリント配線板の場合は図3(D)の2層配線板の代わりに4層配線板を使うことにより作製し、10層以上の場合も同様にして作製できる。
【0062】
<本実施形態の利点>
このように本発明のプリント配線板の構成によれば、従来に比較して次のような効果が得られる。
【0063】
(1)従来のビルドアッププリント配線板においては、部品実装ランド直下にバイアホールを形成したり、スタックドビアを形成するには、バイアホールに孔埋め樹脂を充填し、複数回銅めっきをしなければならない。このため工程が煩雑になるばかりか、エッチングする銅厚が厚くなるため、細線化および配線パターンの高精度化が困難であった。
【0064】
本発明では内層をパターン形成するときのエッチング代は銅はくのみであるため、安定したファインパターンが得られる。
【0065】
(2)従来は12μm未満の薄い銅はくを製造工程内で扱うのは搬送等を含め作業上の困難が生じることが多々あった。
【0066】
本発明ではバンプ形成のための第1の銅はくそのものがキャリアとして有効な役割を果たしているため、厚さ5μm程度の極薄の第2の銅はくを結果的に使用することが可能となる。これによりサブトラクティブ法においても、ライン/スペースが20μm/20μmのファインパターンが可能となる。
【0067】
また外層をパターン形成するときのエッチング代も1回だけの銅めっき層によるものであり、ファインパターン化に有効である。
【0068】
(3)従来のビルドアッププリント配線板においては、以下の課題があった。すなわち、
▲1▼未貫通のブラインドバイアホールを形成する際、フォトビアでもレーザビアでも内層との接続ランド上に層間絶縁樹脂の残さが残りやすいため、過マンガン酸などで残さを取り除いて充分洗浄する必要がある。
【0069】
▲2▼さらに層間接続のための銅めっきにおいても、貫通孔のスルーホールに比べて、めっき液の流れが悪くなり、気泡が孔内に滞留して、めっきが析出しなかったり、めっき厚が孔内で不均一になりやすいため、バイアホールの信頼性を低下させている。
【0070】
▲3▼バイアホールの孔埋め樹脂の充填も未貫通の場合、気泡を巻き込みやすいため、熱衝撃試験などで気泡が破裂してバイアホールが断線に至ることもある。
【0071】
これらの課題はバイアホールの径が小さくなるほど顕著になるため未貫通のバイアホールの小径化が非常に困難になってきている。
【0072】
これに対し、本発明では孔をあける必要がなく、また層間導通化のためのバンプの径もフォトプロセスで使用する露光用マスクフィルムやエッチング条件により容易にコントロールでき、バンプ形成に使う銅はくの薄化により、更に小径化しやすくなる。
【0073】
【発明の効果】
以上のように従来のプリント配線板の製造方法においては、エッチング代が厚くなるため、細線化と配線パターンの高精度化が困難であったが、本発明によれば銅はくをエッチングして形成したバンプによって層間接続がとれるため、バイアホールの導通化のためのめっきが不要となりエッチング代が薄くなる。これにより細線化と配線パターンの高精度化を可能としたプリント配線板が実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態におけるプリント配線板の構成を示すための製造工程断面図
【図2】本発明の実施の形態におけるプリント配線板の構成を示すための製造工程断面図
【図3】本発明の実施の形態におけるプリント配線板の構成を示すための製造工程断面図
【図4】本発明の実施の形態におけるプリント配線板の構成を示すための製造工程断面図
【図5】従来のプリント配線板の構成を示すための製造工程断面図
【図6】従来のプリント配線板の構成を示すための製造工程断面図
【符号の説明】
1,21,24 基材
2 離型性フィルム
3 貫通孔
4 導電性ペースト
5,11 3層構造の金属はく
6,12 第1の銅はく
7,13 薄膜層
8 第2の銅はく
9,15 エッチングレジスト
10,14,19 配線パターン
16 バンプ
17 層間絶縁樹脂層
18 銅めっき層
20 内層用配線板
22 銅はく
Claims (17)
- 片側に配線パターンが形成された3層構造の金属はく2枚が、内層用配線板を挟持した層間接着用シートを介して対向して配置・積層され、前記配線パターンが層間接着用シートに埋設されたプリント配線板。
- 3層構造の金属はく、第1の銅はくと第2の銅はくの間に薄膜層を備えたものであり、配線パターンは第2の銅はくで形成されたものであることを特徴とする請求項1に記載のプリント配線板。
- 薄膜層は厚さ1〜3μmの導電層であることを特徴とする請求項2に記載のプリント配線板。
- 薄膜層はすず、またはニッケル、はんだで構成されていることを特徴とする請求項2に記載のプリント配線板。
- 第1の銅はくの厚みは12〜100μm、第2の銅はくの厚みは5〜18μmであることを特徴とする請求項2に記載のプリント配線板。
- 層間接着用シートは、導通孔を備えていることを特徴とする請求項1に記載のプリント配線板。
- 導通孔は、層間接着用シートに形成された貫通孔に導電性ペーストを充填して形成されたものであることを特徴とする請求項6に記載のプリント配線板。
- 層間接着用シートに埋設された配線パターンは、導通孔を介して電気的に接続されていることを特徴とする請求項6に記載のプリント配線板。
- 層間接着用シートは、多孔質のアラミド不織布エポキシ樹脂含浸のBステージ状態のシートであることを特徴とする請求項1に記載のプリント配線板。
- 貫通孔はレーザ加工により直径30〜100μmに形成されていることを特徴とする請求項7に記載のプリント配線板。
- 請求項2に記載のプリント配線板を形成した後、その表層にバンプが形成されていることを特徴とするプリント配線板。
- バンプは、第1の銅はくで形成されていることを特徴とする請求項11に記載のプリント配線板。
- 薄膜層はバンプの直下にのみ存在することを特徴とする請求項11に記載のプリント配線板。
- 表層にバンプの厚さと同一の厚さの層間絶縁樹脂層と、その表層に配線パターンを備えた請求項11に記載のプリント配線板。
- 層間絶縁樹脂層の表面は微細な凹凸を備えた請求項14に記載のプリント配線板。
- 表層の配線パターンは銅めっきにて形成された請求項14に記載のプリント配線板。
- 内層用配線板は、導通孔を備えたアラミド不織布エポキシ樹脂含浸基材の両面に配線パターンが形成され、前記導通孔を介して電気的に接続されていることを特徴とする請求項1に記載のプリント配線板。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002331888A JP2004165544A (ja) | 2002-11-15 | 2002-11-15 | プリント配線板 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002331888A JP2004165544A (ja) | 2002-11-15 | 2002-11-15 | プリント配線板 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004165544A true JP2004165544A (ja) | 2004-06-10 |
JP2004165544A5 JP2004165544A5 (ja) | 2006-01-05 |
Family
ID=32809126
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002331888A Pending JP2004165544A (ja) | 2002-11-15 | 2002-11-15 | プリント配線板 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004165544A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009060076A (ja) * | 2007-08-31 | 2009-03-19 | Samsung Electro Mech Co Ltd | 多層プリント基板の製造方法 |
KR101231343B1 (ko) * | 2010-12-24 | 2013-02-07 | 엘지이노텍 주식회사 | 인쇄회로기판 및 그의 제조 방법 |
US9572250B2 (en) | 2010-12-24 | 2017-02-14 | Lg Innotek Co., Ltd. | Printed circuit board and method for manufacturing the same |
-
2002
- 2002-11-15 JP JP2002331888A patent/JP2004165544A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009060076A (ja) * | 2007-08-31 | 2009-03-19 | Samsung Electro Mech Co Ltd | 多層プリント基板の製造方法 |
KR101231343B1 (ko) * | 2010-12-24 | 2013-02-07 | 엘지이노텍 주식회사 | 인쇄회로기판 및 그의 제조 방법 |
US9572250B2 (en) | 2010-12-24 | 2017-02-14 | Lg Innotek Co., Ltd. | Printed circuit board and method for manufacturing the same |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4427874B2 (ja) | 多層配線板の製造方法および多層配線板 | |
JP2001028483A (ja) | 配線基板、多層配線基板、回路部品実装体及び、配線基板の製造方法 | |
JP2004335989A (ja) | スタック型ビアホール付きビルドアッププリント配線板およびその作製方法 | |
WO2001045478A1 (fr) | Carte a circuit imprime multicouche et procede de production | |
JP4043115B2 (ja) | 多数個取り多層プリント配線板 | |
JPH1154934A (ja) | 多層プリント配線板およびその製造方法 | |
JP2004327510A (ja) | 多層プリント配線板用銅張り積層板、多層プリント配線板、多層プリント配線板の製造方法 | |
JPH11186698A (ja) | 回路基板の製造方法および回路基板 | |
JP3441368B2 (ja) | 多層配線基板およびその製造方法 | |
JP2004152904A (ja) | 電解銅箔、電解銅箔付きフィルム及び多層配線基板と、その製造方法 | |
JP2002324974A (ja) | 多層プリント配線基板及び多層プリント配線基板の製造方法 | |
JP4161604B2 (ja) | プリント配線板とその製造方法 | |
JPH1154926A (ja) | 片面回路基板およびその製造方法 | |
JP2004165545A (ja) | プリント配線板の製造方法 | |
JP2004165544A (ja) | プリント配線板 | |
JP2007208229A (ja) | 多層配線基板の製造方法 | |
JP2004172523A (ja) | プリント配線板 | |
JP2004172522A (ja) | プリント配線板の製造方法 | |
JP2001237550A (ja) | 多層プリント配線板およびその製造方法 | |
JP2004172524A (ja) | プリント配線板の製造方法 | |
JP2004165547A (ja) | プリント配線板の製造方法 | |
JP3304061B2 (ja) | プリント配線板の製造方法 | |
JP2004165546A (ja) | プリント配線板 | |
JP4693258B2 (ja) | 多層配線基板の製造方法 | |
JP3107535B2 (ja) | 配線基板、回路部品実装体、および配線基板の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Effective date: 20051115 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20051115 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20051213 |
|
A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20071120 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071204 |
|
A521 | Written amendment |
Effective date: 20080201 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20080422 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080623 |
|
A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20080805 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |