JP2004165052A

JP2004165052A - X-ray generator

Info

Publication number: JP2004165052A
Application number: JP2002331123A
Authority: JP
Inventors: Tatsuya Matsumura; 達也松村; Tomoyuki Okada; 知幸岡田
Original assignee: Hamamatsu Photonics KK
Current assignee: Hamamatsu Photonics KK
Priority date: 2002-11-14
Filing date: 2002-11-14
Publication date: 2004-06-10
Anticipated expiration: 2022-11-14
Also published as: JP4116402B2

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an X-ray generator for restraining lowering in a target current and reducing the focusing diameter of electron beams on a target. <P>SOLUTION: The X-ray generator 1 focuses electron beams E emitted from an electron gun to the target 28, by forming an electron lens between the electron gun and the target 28. In the X-ray generator 1, a retaining member 21 for retaining the target 28 is formed by a magnetic material, to constitute one portion of the magnetic circuit of a magnetic coil 12. Therefore, the distance between the target 28 and the lens center of the electron lens can be reduced, thus reducing the focusing diameter of the electron beams E on the target 28. Additionally, the distance between the target 28 and the lens center is reduced so as to decrease the focusing diameter, thus preventing a decrease in the utilization rate of the electron beams and maintaining the target current. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、主にＸ線非破壊検査のためのＸ線源として用いられるＸ線発生装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来のＸ線発生装置には、二段コイル型（例えば、特許文献１参照）や単コイル型（例えば、特許文献２参照）といった構造を有するものがある。二段コイル型のＸ線発生装置は、コンデンサコイルとオブジェクトコイルという２つの電磁コイルを用いて、電子銃から出射された電子ビームをターゲットに集束させ、このターゲットからＸ線を放出させるものである。このような二段コイル型のＸ線発生装置によれば、ターゲット上における電子ビームの集束径を小さくすることができ、Ｘ線による解像度を向上させることが可能である。
【０００３】
一方、単コイル型のＸ線発生装置は、１つの電磁コイルを用いて電子ビームをターゲットに集束させるものである。このような単コイル型のＸ線発生装置によれば、装置の小型化、操作の容易化を図ることができ、しかも、電子ビーム利用率（電子銃から出射された電子ビームのうちターゲットに到達する割合）が高いため、ターゲット電流を増加させることが可能である。
【０００４】
【特許文献１】
特開２００１−１２４８９９号公報
【特許文献２】
特開２０００−２７７０４２号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、二段コイル型のＸ線発生装置にあっては、電子ビーム利用率が低下するため、ターゲット電流を増加させることが一般的に困難である。また、単コイル型のＸ線発生装置にあっては、通常、二段コイル型に比べてターゲット上における電子ビームの集束径が大きくなってしまうという問題がある。
【０００７】
そこで、本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、ターゲット電流の低下を抑えつつ、ターゲット上における電子ビームの集束径を小さくすることのできるＸ線発生装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明に係るＸ線発生装置は、電子銃から出射された電子ビームをターゲットに入射させて、ターゲットからＸ線を放出させるＸ線発生装置であって、電子銃とターゲットとの間に配置され、電子ビームが通過する内筒部と、内筒部を包囲する電磁コイルと、電磁コイルを包囲する外筒部と、内筒部とターゲットとの間に配置され、ターゲットを保持する保持部材とを備え、保持部材は、導電性且つ磁性材料により形成され、内筒部及び外筒部から離間すると共に、電磁コイルにより生じる磁束が通過する磁気回路を内筒部及び外筒部とにより構成することを特徴とする。
【０００９】
このＸ線発生装置は、電子銃とターゲットとの間において電磁コイルによる電子レンズを形成することで、電子銃から出射された電子ビームをターゲットに集束させる。このＸ線発生装置において、ターゲットを保持する保持部材は、磁性材料により形成されて、電磁コイルの磁気回路の一部を構成している。そのため、保持部材が非磁性材料により形成された場合に比べ、ターゲットと電子レンズのレンズ中心との距離を短くすることができ、ターゲット上における電子ビームの集束径を小さくすることが可能になる。しかも、ターゲットとレンズ中心との距離を短くすることで焦点径の縮小化を図っているため、電子ビーム利用率の低下を防止することができ、ターゲット電流を維持することが可能になる。さらに、保持部材は、導電性を有すると共に内筒部及び外筒部から離間しているため、グランド電位である内筒部及び外筒部に対する保持部材の電位を測定することで、ターゲット電流を検出することが可能になる。
【００１０】
また、本発明に係るＸ線発生装置においては、内筒部と保持部材との間に、非磁性材料により形成されたスペーサを介在させることが好ましい。磁気回路を構成する内筒部と保持部材との間に非磁性材料からなるスペーサを介在させることで、電子レンズとしての機能を適正に発揮させることが可能になる。
【００１１】
また、本発明に係るＸ線発生装置においては、スペーサは、電気的絶縁性材料により形成され、保持部材は、スペーサ上に載置されることが好ましい。これにより、内筒部及び外筒部との電気的な絶縁性を維持して、内筒部及び外筒部から離間した所定の位置に保持部材を確実且つ容易に設置することが可能になる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係るＸ線発生装置の好適な実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。
【００１３】
［第１の実施形態］
図１に示すように、Ｘ線発生装置１は、ターゲットユニットＴや電子銃２のフィラメントＦの交換が可能な開放型と称されるものである。このＸ線発生装置１は、電子銃２を収容する円筒形状の本体部３を有し、この本体部３の前端部（すなわち、電子銃２から出射される電子ビームＥの進行方向側の端部）には、本体部３に対して着脱自在な円筒形状の開放部６がヒンジ部４を介して傾動自在に接続されている。よって、このヒンジ部４を介して開放部６を横倒しにすることで、本体部３の前端部を開放させることができ、フィラメントＦを交換することが可能になる。
【００１４】
開放部６は円筒形状の内筒部８を有し、この内筒部８には、電子ビームＥの出射方向に延在する電子通路７が形成されたステンレス製のパイプ部材９が挿入されている。この電子通路７の後端は本体部３内と連通しており、これにより、電子銃２から出射された電子ビームＥは、電子通路７を通過することになる。さらに、内筒部８は、アルミニウム製のボビン１１にエナメル線を巻き付けてなる電磁コイル１２によって包囲され、この電磁コイル１２は外筒部１３によって包囲されている。
【００１５】
この外筒部１３は、後端部において内筒部８と一体的に接続された断面Ｌ字状の第１の外筒部１３ａと、この第１の外筒部１３ａの前端部に固定ネジ１４により接続された円錐台形状の第２の外筒部１３ｂとを有している。これらの内筒部８及び外筒部１３は、軟鉄等の磁性材料により形成されて、電磁コイル１２により生じる磁束が通過する磁気回路の一部を構成する。
【００１６】
図２に示すように、内筒部８の前端側の開口部には、ステンレス、真鍮或いは銅等の非磁性材料からなるアパーチャ部材１７が挿入されており、このアパーチャ部材１７によって、電子通路７を通過してきた電子ビームＥの周辺部分がカットされる。アパーチャ部材１７の前端部は、内筒部８の前端面８ａから突出しており、この突出部分１７ａには、フランジ部（スペーサ）１７ｂが一体的に形成されている。このフランジ部１７ｂは、第２の外筒部１３ｂの前端側の開口部を塞いで、固定ネジ１８により第２の外筒部１３ｂに固定されている。
【００１７】
さらに、フランジ部１７ｂ上には、セラミックス等の電気的絶縁性材料からなるリング形状の絶縁部材１９が載置され、この絶縁部材１９上には、ターゲットユニットＴを保持する円板形状の保持部材２１が第２の外筒部１３ｂの前端部上に達するよう載置されている。このように内筒部８と保持部材２１との間にフランジ部１７ｂ及び絶縁部材１９を介在させることで、保持部材２１を内筒部８及び第２の外筒部１３ｂから離間させ、第２の外筒部１３ｂと保持部材２１との間に隙間Ｓを生じさせている。
【００１８】
この保持部材２１は、アパーチャ部材１７を通過した電子ビームＥをターゲットユニットＴ側に通過させるための電子通過孔２１ａを有すると共に、固定ネジ２２により第２の外筒部１３ｂに固定されている。このとき、第２の外筒部１３ｂと固定ネジ２２との間にベークライト等の電気的絶縁性材料からなる円筒形状の絶縁カラー２３を介在させることで、固定ネジ２２を通じた第２の外筒部１３ｂと保持部材２１との間の電気の流れを絶っている。
【００１９】
また、保持部材２１は、軟鉄等の導電性且つ磁性材料により形成されると共に、内筒部８及び外筒部１３と協働して、電磁コイル１２により生じる磁束が通過する磁気回路を構成する。この磁気回路においては、第２の外筒部１３ｂと保持部材２１との間の隙間Ｓにより磁界のロスが生じるが、面同士を対向させて両者の対向部分の面積を広くとり、隙間Ｓを１ｍｍ程度と狭くすることで、磁界のロスを最小限に抑えている。
【００２０】
さらに、保持部材２１上には、ターゲットユニットＴが載置されている。このターゲットユニットＴは、保持部材２１に当接する薄板状のステンレス製固定枠２６を有し、この固定枠２６には、ベリリウム製のＸ線出射板２７が固定されている。このＸ線出射板２７の裏面（後面）には、タングステンターゲット２８が形成され、このターゲット２８は、保持部材２１の電子通過孔２１ａに臨んでいる。したがって、ターゲット２８は、固定枠２６及びＸ線出射板２７を介して保持部材２１により保持されることになる。また、ターゲットユニットＴは、保持部材２１の側面に螺合する袋ナット状のキャップ２９により着脱自在とされている。
【００２１】
なお、Ｘ線発生装置１の動作時には、本体部３内や電子通路７等の電子ビームＥが通過する空間を真空引きする必要があるため、図１及び図２に示すように、本体部３と開放部６との間、アパーチャ部材１７とパイプ部材９との間、フランジ部１７ｂと絶縁部材１９との間、絶縁部材１９と保持部材２１との間、及び保持部材２１と固定枠２６との間等には、気密用のＯリング３１が配されている。
【００２２】
以上のように構成されたＸ線発生装置１においては、動作時に電磁コイル１２により電子レンズが形成されて、電子銃２から出射された電子ビームＥがターゲット２８に集束され、ターゲット２８からＸ線出射板２７を介して前方にＸ線が放出される。このＸ線発生装置１において、ターゲット２８を保持する保持部材２１は、磁性材料により形成されて、電磁コイル１２の磁気回路の一部を構成している。そのため、保持部材２１が非磁性材料により形成された場合に比べ、ターゲット２８は磁気回路に近接することになり、ターゲット２８と電子レンズのレンズ中心Ｃ（図２参照）との距離を短くすることができる。したがって、ターゲット２８上における電子ビームＥの集束径を小さくすることが可能になる。
【００２３】
これは、ターゲット２８上における電子ビームＥの集束径が、フィラメントＦとレンズ中心Ｃとの距離及びレンズ中心Ｃとターゲット２８との距離に依存し、フィラメントＦとレンズ中心Ｃとの距離に対してレンズ中心Ｃとターゲット２８との距離を短くすると、電子ビームＥの焦点径を小さくすることができるからである。
【００２４】
しかも、ターゲット２８とレンズ中心Ｃとの距離を短くすることによって集束径を小さくしているため、電子銃２から出射された電子ビームＥのうちターゲット２８に到達する割合である電子ビーム利用率の低下を防止することができ、ターゲット電流を維持することが可能になる。
【００２５】
さらに、保持部材２１は、導電性を有すると共に内筒部８及び第２の外筒部１３ｂから離間しているため、グランド電位である内筒部８及び外筒部１３に対する保持部材２１の電位を測定することで、ターゲット電流を検出することが可能になる。
【００２６】
また、Ｘ線発生装置１においては、磁気回路を構成する内筒部８と保持部材２１との間に非磁性材料からなるフランジ部１７ｂを介在させているため、電子レンズとしての機能を適正に発揮させることが可能になる。
【００２７】
［第２の実施形態］
次に、上記Ｘ線発生装置１とターゲットユニットＴの周辺構成を異にするＸ線発生装置１０について説明する。なお、図面の説明において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
【００２８】
図３に示すように、Ｘ線発生装置１０において、内筒部８の前端側の開口部には、セラミックス等の電気的絶縁性且つ非磁性材料からなる円筒形状の連結部材３３が挿入されている。この連結部材３３の前端部は、内筒部８の前端面８ａから突出しており、この突出部分３３ａには、フランジ部（スペーサ）３３ｂが一体的に形成されている。このフランジ部３３ｂは、第２の外筒部１３ｂの前端側の開口部を塞いで、固定ネジ１８により第２の外筒部１３ｂに固定されている。また、連結部材３３内には、ステンレス等の非磁性材料からなるアパーチャ部材１７が挿入され、セラミックス等の電気的絶縁性且つ非磁性材料からなる固定リング３４により固定されている。
【００２９】
さらに、連結部材３３のフランジ部３３ｂ上には、ターゲットユニットＴを保持する円板形状の保持部材２１が第２の外筒部１３ｂの前端部上に達するよう載置されている。このように内筒部８と保持部材２１との間にフランジ部３３ｂを介在させることで、保持部材２１を内筒部８及び第２の外筒部１３ｂから離間させ、第２の外筒部１３ｂと保持部材２１との間に隙間Ｓを生じさせている。
【００３０】
この保持部材２１は、軟鉄等の導電性且つ磁性材料により形成されると共に、内筒部８及び外筒部１３と協働して、電磁コイル１２により生じる磁束が通過する磁気回路を構成する。このとき、第２の外筒部１３ｂと保持部材２１との間の隙間Ｓによる磁界のロスを最小限に抑えるため、互いに面同士を対向させてそれぞれの対向部分の面積を広くとり、隙間Ｓを１ｍｍ程度と狭くしている。
【００３１】
そして、上記Ｘ線発生装置１と同様に、保持部材２１上にはターゲットユニットＴが載置され、固定キャップ２９により着脱自在とされている。なお、Ｘ線発生装置１０においては、本体部３と開放部６との間、連結部材３３とパイプ部材９との間、フランジ部３３ｂと保持部材２１との間、及び保持部材２１と固定枠２６との間等にＯリング３１が配され、電子通路７等の気密性が確保されている。
【００３２】
以上のように構成されたＸ線発生装置１０においては、フランジ部３３ｂが電気的絶縁性且つ非磁性材料により形成され、このフランジ部３３ｂ上に保持部材２１が載置されるため、内筒部８及び第２の外筒部１３ｂとの電気的な絶縁性を維持して、内筒部８及び第２の外筒部１３ｂから離間させた所定の位置に保持部材２１を確実且つ容易に設置することが可能になる。これにより、グランド電位である内筒部８及び外筒部１３に対する保持部材２１の電位を測定してターゲット電流を検出することが可能になる。しかも、内筒部８と保持部材２１との間に非磁性材料からなるフランジ部３３ｂを介在させるため、電子レンズとしての機能を適正に発揮させることが可能になる。
【００３３】
本発明は、上記実施形態に限定されない。例えば、上述したＸ線発生装置１，１０はいずれも単コイル型の構造を有するものであったが、本発明は、二段コイル型のＸ線発生装置にも適用可能である。この場合にも、ターゲット電流を維持しつつ、ターゲット上における電子ビームの集束径のさらなる縮小化を図ることができる。換言すれば、ターゲット上における電子ビームの集束径を従来と同程度に維持して、ターゲット電流を増加させることが可能になる。
【００３４】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係るＸ線発生装置によれば、ターゲット電流の低下を抑えつつ、ターゲット上における電子ビームの集束径を小さくすることが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るＸ線発生装置の一実施形態を示す断面図である。
【図２】図１に示すＸ線発生装置の要部を示す拡大断面図である。
【図３】本発明に係るＸ線発生装置の他の実施形態の要部を示す拡大断面図である。
【符号の説明】
１，１０…Ｘ線発生装置、２…電子銃、８…内筒部、１２…電磁コイル、１３…外筒部、１３ａ…第１の外筒部、１３ｂ…第２の外筒部、１７…アパーチャ部材、１７ｂ…フランジ部（スペーサ）、２１…保持部材、２８…ターゲット、３３…連結部材、３３ｂ…フランジ部（スペーサ）、Ｅ…電子ビーム、Ｔ…ターゲットユニット。[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to an X-ray generator mainly used as an X-ray source for non-destructive X-ray inspection.
[0002]
[Prior art]
2. Description of the Related Art Some conventional X-ray generators have a structure such as a two-stage coil type (for example, see Patent Document 1) and a single coil type (for example, see Patent Document 2). A two-stage coil type X-ray generator uses two electromagnetic coils, a capacitor coil and an object coil, to focus an electron beam emitted from an electron gun on a target and emit X-rays from the target. . According to such a two-stage coil type X-ray generator, it is possible to reduce the focused diameter of the electron beam on the target, and to improve the resolution by X-rays.
[0003]
On the other hand, a single coil type X-ray generator focuses an electron beam on a target using one electromagnetic coil. According to such a single-coil type X-ray generator, it is possible to reduce the size and ease of operation of the device, and furthermore, to utilize the electron beam (the electron beam emitted from the electron gun which reaches the target). ), The target current can be increased.
[0004]
[Patent Document 1]
JP 2001-124899 A [Patent Document 2]
JP 2000-277042 A
[Problems to be solved by the invention]
However, in the two-stage coil type X-ray generator, it is generally difficult to increase the target current because the electron beam utilization rate is reduced. In addition, the single-coil type X-ray generator generally has a problem that the focused diameter of the electron beam on the target is larger than that of the two-coil type.
[0007]
Therefore, the present invention has been made in view of such circumstances, and it is an object of the present invention to provide an X-ray generator capable of reducing the focusing diameter of an electron beam on a target while suppressing a decrease in target current. Aim.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, an X-ray generator according to the present invention is an X-ray generator that emits X-rays from a target by causing an electron beam emitted from an electron gun to be incident on a target. And an inner cylinder portion through which the electron beam passes, an electromagnetic coil surrounding the inner cylinder portion, an outer cylinder portion surrounding the electromagnetic coil, and an inner cylinder portion disposed between the inner cylinder portion and the target. And a holding member for holding the target. The holding member is formed of a conductive and magnetic material, is separated from the inner and outer cylinders, and has a magnetic circuit through which a magnetic flux generated by an electromagnetic coil passes. And an outer cylinder portion.
[0009]
This X-ray generator focuses an electron beam emitted from an electron gun on a target by forming an electron lens with an electromagnetic coil between the electron gun and the target. In this X-ray generator, the holding member for holding the target is formed of a magnetic material and forms a part of a magnetic circuit of the electromagnetic coil. Therefore, the distance between the target and the lens center of the electron lens can be reduced as compared with the case where the holding member is formed of a non-magnetic material, and the focusing diameter of the electron beam on the target can be reduced. In addition, since the focal diameter is reduced by shortening the distance between the target and the center of the lens, a decrease in the electron beam utilization can be prevented, and the target current can be maintained. Furthermore, since the holding member has conductivity and is separated from the inner cylinder portion and the outer cylinder portion, the target current is measured by measuring the potential of the holding member with respect to the inner cylinder portion and the outer cylinder portion that is the ground potential. It becomes possible to detect.
[0010]
In the X-ray generator according to the present invention, it is preferable that a spacer formed of a nonmagnetic material is interposed between the inner cylinder and the holding member. By interposing a spacer made of a non-magnetic material between the inner cylinder part and the holding member constituting the magnetic circuit, the function as the electron lens can be properly exhibited.
[0011]
In the X-ray generator according to the present invention, it is preferable that the spacer is formed of an electrically insulating material, and the holding member is placed on the spacer. This makes it possible to reliably and easily install the holding member at a predetermined position separated from the inner cylinder and the outer cylinder while maintaining electrical insulation between the inner cylinder and the outer cylinder. .
[0012]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, preferred embodiments of an X-ray generator according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
[0013]
[First Embodiment]
As shown in FIG. 1, the X-ray generator 1 is of an open type in which the target unit T and the filament F of the electron gun 2 can be replaced. The X-ray generator 1 has a cylindrical main body 3 for accommodating an electron gun 2, and a front end of the main body 3 (that is, an end on the traveling direction side of an electron beam E emitted from the electron gun 2). A cylindrical opening 6 that is detachably attached to the main body 3 is connected to the main body 3 via a hinge 4 so as to be tiltable. Therefore, by turning the opening portion 6 sideways via the hinge portion 4, the front end portion of the main body portion 3 can be opened, and the filament F can be replaced.
[0014]
The open portion 6 has a cylindrical inner cylindrical portion 8, into which a stainless steel pipe member 9 having an electron passage 7 extending in the emission direction of the electron beam E is inserted. I have. The rear end of the electron passage 7 communicates with the inside of the main body 3, so that the electron beam E emitted from the electron gun 2 passes through the electron passage 7. Further, the inner cylindrical portion 8 is surrounded by an electromagnetic coil 12 formed by winding an enamel wire around an aluminum bobbin 11, and the electromagnetic coil 12 is surrounded by an outer cylindrical portion 13.
[0015]
The outer cylindrical portion 13 has a first outer cylindrical portion 13a having an L-shaped cross section integrally connected to the inner cylindrical portion 8 at a rear end portion, and a fixing screw at a front end portion of the first outer cylindrical portion 13a. And a second outer cylindrical portion 13b having a truncated cone shape and connected by the second outer cylindrical portion 13b. The inner tube portion 8 and the outer tube portion 13 are formed of a magnetic material such as soft iron, and constitute a part of a magnetic circuit through which a magnetic flux generated by the electromagnetic coil 12 passes.
[0016]
As shown in FIG. 2, an aperture member 17 made of a nonmagnetic material such as stainless steel, brass, or copper is inserted into an opening on the front end side of the inner cylindrical portion 8. The peripheral portion of the electron beam E passing through is cut off. The front end of the aperture member 17 protrudes from the front end face 8a of the inner cylindrical portion 8, and a flange portion (spacer) 17b is formed integrally with the protruding portion 17a. The flange portion 17b covers the opening on the front end side of the second outer cylinder portion 13b, and is fixed to the second outer cylinder portion 13b by a fixing screw 18.
[0017]
Further, a ring-shaped insulating member 19 made of an electrically insulating material such as ceramics is placed on the flange portion 17b, and a disk-shaped holding member for holding the target unit T is placed on the insulating member 19. 21 is placed so as to reach above the front end of the second outer cylindrical portion 13b. By thus interposing the flange portion 17b and the insulating member 19 between the inner cylinder portion 8 and the holding member 21, the holding member 21 is separated from the inner cylinder portion 8 and the second outer cylinder portion 13b, and the second A gap S is generated between the outer cylindrical portion 13b and the holding member 21.
[0018]
The holding member 21 has an electron passage hole 21a for passing the electron beam E passing through the aperture member 17 to the target unit T side, and is fixed to the second outer cylindrical portion 13b by a fixing screw 22. At this time, by interposing a cylindrical insulating collar 23 made of an electrically insulating material such as bakelite between the second outer cylinder portion 13b and the fixing screw 22, the second outer cylinder through the fixing screw 22 is provided. The flow of electricity between the portion 13b and the holding member 21 is cut off.
[0019]
The holding member 21 is formed of a conductive and magnetic material such as soft iron, and forms a magnetic circuit through which a magnetic flux generated by the electromagnetic coil 12 passes in cooperation with the inner cylindrical portion 8 and the outer cylindrical portion 13. . In this magnetic circuit, a magnetic field loss occurs due to the gap S between the second outer cylindrical portion 13b and the holding member 21. However, the surfaces are opposed to each other to increase the area of the opposed portion, and the gap S is formed. By making it as narrow as about 1 mm, the loss of the magnetic field is minimized.
[0020]
Further, the target unit T is mounted on the holding member 21. The target unit T has a thin plate-shaped stainless steel fixed frame 26 in contact with the holding member 21, and a beryllium X-ray emission plate 27 is fixed to the fixed frame 26. A tungsten target 28 is formed on the back surface (rear surface) of the X-ray emission plate 27, and this target 28 faces the electron passage hole 21 a of the holding member 21. Therefore, the target 28 is held by the holding member 21 via the fixed frame 26 and the X-ray emission plate 27. The target unit T is detachable by a cap nut-shaped cap 29 that is screwed to the side surface of the holding member 21.
[0021]
During operation of the X-ray generator 1, it is necessary to evacuate the space through which the electron beam E passes, such as the inside of the main body 3 and the electron passage 7, and as shown in FIGS. Between the opening member 6, between the aperture member 17 and the pipe member 9, between the flange portion 17 b and the insulating member 19, between the insulating member 19 and the holding member 21, and between the holding member 21 and the fixing frame 26. An O-ring 31 for airtightness is disposed in the middle of the room.
[0022]
In the X-ray generator 1 configured as described above, an electron lens is formed by the electromagnetic coil 12 during operation, and the electron beam E emitted from the electron gun 2 is focused on the target 28, and the X-ray is emitted from the target 28. X-rays are emitted forward through the emission plate 27. In the X-ray generator 1, the holding member 21 for holding the target 28 is made of a magnetic material, and forms a part of a magnetic circuit of the electromagnetic coil 12. Therefore, as compared with the case where the holding member 21 is formed of a non-magnetic material, the target 28 is closer to the magnetic circuit, and the distance between the target 28 and the lens center C of the electronic lens (see FIG. 2) is reduced. Can be. Therefore, it is possible to reduce the focusing diameter of the electron beam E on the target 28.
[0023]
This is because the convergence diameter of the electron beam E on the target 28 depends on the distance between the filament F and the lens center C and the distance between the lens center C and the target 28. This is because when the distance between the lens center C and the target 28 is reduced, the focal diameter of the electron beam E can be reduced.
[0024]
Moreover, since the focusing diameter is reduced by shortening the distance between the target 28 and the lens center C, the ratio of the electron beam utilization ratio, which is the ratio of the electron beam E emitted from the electron gun 2 that reaches the target 28, is reduced. The decrease can be prevented, and the target current can be maintained.
[0025]
Further, since the holding member 21 has conductivity and is separated from the inner cylindrical portion 8 and the second outer cylindrical portion 13b, the electric potential of the holding member 21 with respect to the inner cylindrical portion 8 and the outer cylindrical portion 13 which is the ground potential. Is measured, the target current can be detected.
[0026]
Further, in the X-ray generator 1, since the flange portion 17b made of a non-magnetic material is interposed between the inner cylindrical portion 8 and the holding member 21 constituting the magnetic circuit, the function as an electron lens can be properly performed. It is possible to demonstrate.
[0027]
[Second embodiment]
Next, an X-ray generator 10 having a different peripheral configuration of the X-ray generator 1 and the target unit T will be described. In the description of the drawings, the same or corresponding portions will be denoted by the same reference characters, without redundant description.
[0028]
As shown in FIG. 3, in the X-ray generator 10, a cylindrical connecting member 33 made of an electrically insulating and nonmagnetic material such as ceramics is inserted into an opening on the front end side of the inner cylindrical portion 8. I have. The front end of the connecting member 33 protrudes from the front end surface 8a of the inner cylindrical portion 8, and a flange portion (spacer) 33b is formed integrally with the protruding portion 33a. The flange portion 33b covers an opening on the front end side of the second outer cylinder portion 13b, and is fixed to the second outer cylinder portion 13b by a fixing screw 18. An aperture member 17 made of a non-magnetic material such as stainless steel is inserted into the connecting member 33, and is fixed by a fixing ring 34 made of an electrically insulating and non-magnetic material such as ceramics.
[0029]
Further, on the flange portion 33b of the connecting member 33, a disk-shaped holding member 21 for holding the target unit T is placed so as to reach the front end of the second outer cylindrical portion 13b. By thus interposing the flange portion 33b between the inner cylinder portion 8 and the holding member 21, the holding member 21 is separated from the inner cylinder portion 8 and the second outer cylinder portion 13b, and the second outer cylinder portion A gap S is created between the holding member 21 and the holding member 13b.
[0030]
The holding member 21 is formed of a conductive and magnetic material such as soft iron, and forms a magnetic circuit through which a magnetic flux generated by the electromagnetic coil 12 passes in cooperation with the inner cylindrical portion 8 and the outer cylindrical portion 13. At this time, in order to minimize the loss of the magnetic field due to the gap S between the second outer cylindrical portion 13b and the holding member 21, the surfaces are opposed to each other to increase the area of each opposed portion, and the gap S Is narrowed to about 1 mm.
[0031]
Then, similarly to the X-ray generator 1, the target unit T is mounted on the holding member 21, and is detachable by the fixing cap 29. Note that, in the X-ray generator 10, between the main body 3 and the opening 6, between the connecting member 33 and the pipe member 9, between the flange 33b and the holding member 21, and between the holding member 21 and the fixed frame. An O-ring 31 is arranged between the O-ring 26 and the like, and the airtightness of the electron path 7 and the like is secured.
[0032]
In the X-ray generator 10 configured as described above, the flange portion 33b is formed of an electrically insulating and non-magnetic material, and the holding member 21 is placed on the flange portion 33b. The holding member 21 is reliably and easily installed at a predetermined position separated from the inner cylindrical portion 8 and the second outer cylindrical portion 13b while maintaining electrical insulation between the inner cylindrical portion 8 and the second outer cylindrical portion 13b. It becomes possible to do. This makes it possible to detect the target current by measuring the potential of the holding member 21 with respect to the inner cylinder portion 8 and the outer cylinder portion 13 that is the ground potential. Moreover, since the flange portion 33b made of a non-magnetic material is interposed between the inner cylindrical portion 8 and the holding member 21, the function as an electron lens can be properly exhibited.
[0033]
The present invention is not limited to the above embodiment. For example, each of the X-ray generators 1 and 10 described above has a single-coil type structure, but the present invention is also applicable to a two-stage coil-type X-ray generator. Also in this case, it is possible to further reduce the focused diameter of the electron beam on the target while maintaining the target current. In other words, it is possible to increase the target current while maintaining the convergence diameter of the electron beam on the target at about the same level as before.
[0034]
【The invention's effect】
As described above, according to the X-ray generator according to the present invention, it is possible to reduce the focusing diameter of the electron beam on the target while suppressing a decrease in the target current.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of an X-ray generator according to the present invention.
FIG. 2 is an enlarged sectional view showing a main part of the X-ray generator shown in FIG.
FIG. 3 is an enlarged sectional view showing a main part of another embodiment of the X-ray generator according to the present invention.
[Explanation of symbols]
1, 10 X-ray generator, 2 electron gun, 8 inner cylinder, 12 electromagnetic coil, 13 outer cylinder, 13a first outer cylinder, 13b second outer cylinder, 17 ... Aperture member, 17b ... Flange part (spacer), 21 ... Holding member, 28 ... Target, 33 ... Connecting member, 33b ... Flange part (spacer), E ... Electron beam, T ... Target unit.

Claims

An X-ray generator that causes an electron beam emitted from an electron gun to enter a target and emits X-rays from the target,
An inner cylindrical portion disposed between the electron gun and the target, through which the electron beam passes;
An electromagnetic coil surrounding the inner cylinder;
An outer cylinder surrounding the electromagnetic coil;
A holding member that is disposed between the inner cylindrical portion and the target and holds the target,
The holding member is formed of a conductive and magnetic material, and is separated from the inner cylindrical portion and the outer cylindrical portion, and a magnetic circuit through which a magnetic flux generated by the electromagnetic coil passes through the inner cylindrical portion and the outer cylindrical portion. An X-ray generator characterized by comprising:

The X-ray generator according to claim 1, wherein a spacer formed of a non-magnetic material is interposed between the inner cylinder and the holding member.

The spacer is formed of an electrically insulating material,
The X-ray generator according to claim 2, wherein the holding member is mounted on the spacer.