JP2004160168A - プラズマ処理機付き滅菌装置及び滅菌方法 - Google Patents

Abstract

【課題】過酸化水素蒸気を用いる滅菌装置における排気の無害化。
【解決手段】反応容器１０と、これに滅菌剤の過酸化水素水を気化させて注入する滅菌剤供給ライン２０と、反応容器１０内の気体を吸い出して真空状態にする真空ポンプ１４とを含む滅菌装置において、反応容器１０での滅菌工程中に大気中に排出される過酸化水素蒸気を分解するプラズマ処理機３１が設けられる。反応容器１０内に被滅菌物１１を投入し、反応容器１０内の気体を吸い出して所定の真空圧にした後、過酸化水素水２１を加熱し気化させた過酸化水素蒸気を注入して所望の反応圧に調節した状態で所定の反応の時間保持し滅菌させた後、反応容器１０内の過酸化水素蒸気を吸い出してプラズマが発生しているプラズマ処理機を通過させ、環境汚染及び人体に無害な分解物に分解した後、大気中に排出する。
【選択図】 図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、滅菌装置及び滅菌方法に関し、より詳しくは、滅菌剤として過酸化水素蒸気を使用し、滅菌工程後に大気中に排出される過酸化水素蒸気を排出ライン上のプラズマ処理機で大気汚染乃至人体に全く無害な酸素と水分に分解し大気中に放出する、プラズマ処理機付き滅菌装置及び滅菌方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、各種の医療用器具（使い捨て用を含む）等は製品表面に存在する微生物に対し過酸化水素プラズマを用いて滅菌、消毒処理を行っているが、この種の過酸化水素プラズマを利用した滅菌に関する技術が多数提案されており、そのうちのいくつかを例に挙げて説明する。
【０００３】
韓国特許第０１３２２３３号では、被滅菌物を過酸化水素水に浸すステップと、過酸化水素が残留する被滅菌物を反応容器内に導入するステップと、この反応容器内で被滅菌物の周囲でプラズマを発生させ、残留過酸化水素から活性種（ａｃｔｉｖｅ ｓｐｅｃｉｅｓ）を生成させるステップと、被滅菌物を残留過酸化水素の活性種により滅菌作用を行うように５分乃至５０分間プラズマ中で保持するステップとを含む滅菌方法を開示しており、また、過酸化水素が残留する被滅菌物を反応容器内に入れ、残留過酸化水素が非毒性の分解産物に分解されるように被滅菌物の周囲でプラズマを発生させることを含む、過酸化水素に露出することで被滅菌物に付着している残留過酸化水素を除去する方法を要旨としている。
【０００４】
前記のような特許の滅菌方法では、被滅菌物とプラズマとが直に接触するため、例えば、ポリマー系統の医療器具を滅菌する際、変色または物質硬化といった性質の変化が起こり易く、また反応容器内にこの容器の体積の７０％以上を被滅菌物で充填した時、一部の被滅菌物が滅菌されずに残る可能性が高いという問題点がある。
【０００５】
また、反応容器内で一様的にプラズマを発生させる必要があるため、反応容器の大きさが極めて制限され、プラズマを発生させる際のカソードで生成されるセルフバイアスにより、カソードシース（ｃａｔｈｏｄｅ ｓｈｅａｔｈ）の近傍に置かれている被滅菌物は、滅菌できない場合が非常に高いという短所があると知られている。
【０００６】
韓国公開特許第１９９５−００３１１１６号では、被滅菌物を処理容器内に配置するステップ及び実質的に非水性の過酸化水素有機錯体から放出される過酸化水素蒸気と被滅菌物とを接触させ、接触滅菌させるステップとを含む滅菌方法を開示しており、また、被滅菌物を処理容器内に配置するステップと、実質的に非水性の過酸化水素有機錯体から放出される過酸化水素蒸気と被滅菌物とを接触させ、接触滅菌させるステップと、プラズマを被滅菌物と離れているところで生成させるステップと、前記プラズマを被滅菌物に流動させるステップ、及び前記被滅菌物をプラズマ中で保持するステップとを含む滅菌方法を要旨としている。
【０００７】
前記公開特許のプラズマ滅菌方法における前者の場合は、被滅菌物を単に過酸化水素蒸気と接触させることで滅菌させるものであり、後者の場合は、被滅菌物を過酸化水素蒸気と接触させて１次に滅菌させた後、過酸化水素プラズマにより生成された反応活性種と滅菌すべき菌との化学反応により滅菌を行うものである。
【０００８】
特に、前述したプラズマ滅菌方法は、いずれも被滅菌物をプラズマ反応容器に入れ、過酸化水素蒸気を供給して滅菌させるか、これにプラズマを発生させて残留過酸化水素を除去するものであって、それらは、単に、被滅菌物に残留する過酸化水素を除去するに過ぎない。
【０００９】
また、前記方法では、被滅菌物を残留過酸化水素の反応活性種により滅菌作用を行うようにプラズマ中で保持するため、反応容器内に被滅菌物を多量入れると、過酸化水素を完璧に酸素、水素及び水分に分解できず、一部の過酸化水素がそのまま大気中に放出され、これにより、大気汚染による環境汚染をもたらし、ユーザや患者らの呼吸器疾患を誘発させる可能性が高いという問題点があった。
【００１０】
また、前述した従来の全ての滅菌方法では、低圧の真空雰囲気で滅菌工程を進めるため、細長いルーメン（ｌｕｍｅｎ）、即ち、直径が１ｍｍ以下で長さが５０ｃｍ以上のフレキシブルな内視鏡等には、滅菌の核心役割を果たす過酸化水素蒸気プラズマの浸透力が非常に弱いことから滅菌がきちんと行われないという致命的な問題点があった。前記ルーメンを滅菌するためには、ブースター等の別途の装置を設けてそれぞれのルーメンの一方の端部から過酸化水素蒸気を注入する必要があるという問題点を有している。
【００１１】
【特許文献１】
韓国特許第０１３２２３３号
【特許文献２】
韓国公開特許第１９９５−００３１１１６号
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、前記のような従来の問題点に鑑みてなされたものであって、その目的は、反応容器内で滅菌剤として過酸化水素蒸気を用いて医療器具等のような被滅菌物の表面に存在する微生物を滅菌させ、滅菌工程中に大気中に排出される過酸化水素蒸気をプラズマ処理機を通過させることで大気汚染を起こさない酸素、水素及び水分に分解し放出できるようにするプラズマ処理機付き滅菌装置及び滅菌方法を提供することである。
【００１３】
本発明の他の目的は、反応容器内に加熱注入される過酸化水素蒸気を大気圧以上にして滅菌させることにより、直径が１ｍｍ以下で長さが５０ｃｍ以上のフレキシブルな内視鏡、即ち、細長いルーメンを別途のブースターを必要とすることなく極めて容易に滅菌できるようにするプラズマ処理機付き滅菌装置及び滅菌方法を提供することである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
前記のような目的を達成するための本発明の滅菌装置は、被滅菌物を入れることができる反応容器と；この反応容器と連通し、滅菌剤の過酸化水素水、この過酸化水素水を気化させる気化器及びこの気化器で気化された過酸化水素蒸気の反応容器への注入量を調節する流量調節器が備えられた滅菌剤供給ラインと；前記反応容器と排出ラインを介して連通するように設けられ、前記反応容器内の気体を吸い出して真空状態にすることができる真空ポンプと；を含む滅菌装置において、前記排出ラインに反応容器内の気体がプラズマを通過するようにするプラズマ処理機が設けられることを特徴とする。
【００１５】
前記プラズマ処理機はプラズマ発生器を含み、前記プラズマ発生器はプラズマ処理機の内部にカソードとアノードとが対向して設けられ、前記カソードにインピーダンス調節器とインピーダンス整合回路を介して高周波電力供給源が電気的に連結されている高周波放電法（容量結合型または誘導コイル型）のものが使用される。前記プラズマ発生器は、その他に、高電圧の直流を用いるアーク放電法または交流高電圧を用いるコロナ放電法等によるものも使用することができる。
【００１６】
また、本発明の滅菌方法は、反応容器内に被滅菌物を投入し密閉するステップと、前記反応容器内の気体を真空ポンプで吸い出して前記反応容器内を所望の圧力に形成した後、そこに過酸化水素蒸気を注入して所望の反応圧に調節した状態で、前記被滅菌物を所定の反応の時間保持して滅菌を行うステップと、以後、反応容器内の過酸化水素蒸気を真空ポンプで吸い出してプラズマが発生しているプラズマ処理機を通過させることで環境汚染及び人体に無害な酸素、水素及び水分に分解し排出するステップとからなることを特徴とする。
【００１７】
前記滅菌ステップにおける反応容器の反応圧が大気圧以上に注入されることを特徴とする。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のプラズマ処理機付き滅菌装置及び滅菌方法を添付図面を参照して詳細に説明する。
【００１９】
図１は、本発明によるプラズマ処理機付き滅菌装置を概略的に示す図である。反応容器１０は、医療器具や手術用器具等の被滅菌物１１を包装材１２で包んで入れることができるチャンバーであり、前記反応容器１０の底部には、その内部の気体を吸い出すことで真空状態にすることができるように、排出ライン１３を介して真空ポンプ１４が連通されている。
【００２０】
前記反応容器１０には、滅菌剤供給ライン２０が連結され、この滅菌剤供給ライン２０は、滅菌剤の過酸化水素水２１を加熱して気化させ前記反応容器１０内に注入する気化器２２と、前記反応容器１０と前記気化器２２との間に設けられ、前記反応容器１０内への過酸化水素蒸気の注入量を調節する流量調節器２３とで構成されている。
【００２１】
前記排出ライン１３には、反応容器１０内の気体（過酸化水素蒸気）がプラズマを通過するようにプラズマ処理機３１が設けられ、このプラズマ処理機３１はプラズマ発生器３０を含むが、このプラズマ発生器３０としては容量結合型及び誘導コイル型の高周波放電法によるものを使用し、その他に、高電圧の直流を用いるアーク放電法または交流高電圧を用いるコロナ放電法等によるものを使用することができる。
【００２２】
ここでは、前記プラズマ発生器３０として高周波放電法によるものを例示しており、これは、排出ライン１３上のプラズマ処理機３１内にカソード３３とアノード３４とが対向して設けられており、前記プラズマ処理機３１のカソード３３には、インピーダンス調節器３６とインピーダンス整合回路３７を介して最適のプラズマを発生し得る周波数を有する高周波電力供給源３５が電気的に連結されている。
【００２３】
一方、前記プラズマ処理機３１の内部に設けられているカソード３３とアノード３４の間隔を０．５〜４０ｃｍ程度まで近接することができ、これにより、小さい高周波電力供給源３５でも前記プラズマ処理機３１内におけるプラズマの発生を容易にし、プラズマの密度を増加させることができる。
【００２４】
前記高周波電力供給源３５の周波数は、種々の周波数帯域を使用することができ、前記周波数が高くなるほど発生するプラズマの密度は増加するものの、装備が高価であり、また電磁波遮蔽等の付帯装置が必要となるため、使用装備に適する周波数帯域を採択することが好ましい。
【００２５】
前記のように構成された本発明のプラズマ処理機付き滅菌装置を用いる被滅菌物の滅菌方法を説明することにする。
【００２６】
まず、反応容器１０内に医療器具や手術用器具等の被滅菌物１１を包装材１２で包んだ状態で入れ、反応容器１０のドアを閉めて密閉させた後、反応容器１０とプラズマ処理機３１との間の排出ライン１３に設けられた自動圧力調節バルブ４０を開放した状態で、真空ポンプ１４を稼動し、反応容器１０及びプラズマ処理機３１内の空気を吸い出すことでそれらの内部を所望する所定の真空圧にする。
【００２７】
このように、反応容器１０及びプラズマ処理機３１の内部が真空ポンプ１４により所定の真空圧になると、排出ライン１３上の自動圧力調節バルブ４０を閉じた後、過酸化水素水２１を気化器２２で気化させ、流量調節器２３を通って作られた過酸化水蒸気を反応容器１０内に注入する。この際、反応容器１０の反応圧は、（１．３６〜１３．６）×１０^−３ｋｇｆ／ｃｍ^２の真空圧である。
【００２８】
このように反応容器１０内の過酸化水素蒸気の圧力、即ち反応圧を所望の圧力に調節した状態で、所定の時間保持して十分に滅菌させる。前記滅菌は、過酸化水素蒸気の濃度にもよるが、約５分程度の短時間で終わるとしても滅菌が十分に行われるまで持続的に保持することが好ましい。前記包装材１２は、被滅菌物１１を包んで反応容器１０内に入れるため、通気性の良い繊維のものであれば何でも構わない。
【００２９】
前記滅菌工程での反応容器１０内の反応圧が大気圧より低いため、細長いルーメン、即ち、直径が１ｍｍ以下で長さが５０ｃｍ以上の内視鏡等には滅菌の核心的役割を果たす過酸化水素蒸気の浸透力が極めて低いため、十分な滅菌時間が求められる。ゆえに、より早期の滅菌のためには、従来のとおり、別途のブースターを設け、それぞれのルーメンの一方の端部から過酸化水素蒸気を注入することで、より早期に且つ確実に滅菌できることはいうまでもない。
【００３０】
以後、プラズマ発生器３０のインピーダンス整合回路３７とインピーダンス調節器３６で調節された高周波電力供給源３５が印加されるため、プラズマ処理機３１内の前記カソード３３とアノード３４との間には高密度のプラズマが発生される。ここでは、高周波電力供給源３５として、断続的に印加するパルス形態の高周波電力印加方式、即ち、パルス形高周波容量結合型のものを使用して１００℃以下の低温を有する高密度のプラズマを発生させる。
【００３１】
前記高周波電力印加方式として断続的な印加方式を採択する理由は、被滅菌物１１と反応容器１０内での反応ガスの過熱を防止するためである。
【００３２】
このようにプラズマ処理機３１内を高密度のプラズマ雰囲気に保持した状態で、排出ライン１３上の自動圧力調節バルブ４０を開放すると共に真空ポンプ１４を稼動させると、反応容器１０内の過酸化水素蒸気が排出ライン１３内を通ってプラズマ処理機３１内に吸い出された後、真空ポンプ１４を通って大気中に排出される。
【００３３】
このように反応容器１０内の過酸化水素蒸気がプラズマ雰囲気のプラズマ処理機３１を通る間、プラズマエネルギーにより水分と酸素及び水素に分解され、このように分解された分解産物は、大気中に放出しても環境汚染乃至人体には全く無害なものである。即ち、プラズマは、プラズマ固有のエネルギーにより人体に有害な過酸化水素蒸気を水分と酸素及び水素に分解させる役割を果たす。
【００３４】
かかる過程が進められ、前記反応容器１０内の過酸化水素蒸気が大気中に完全に排出されると、高周波電力供給源３５をオフし、前記反応容器１０の圧力を再び空気で充填された大気圧に維持させた後、反応容器１０のドアを開いて包装材１２で包められている被滅菌物１１を取り出すと、すべての過程が終了する。
【００３５】
また、本発明の他の滅菌方法は、本発明のプラズマ処理機付き滅菌装置を用いる前述の滅菌方法の過程から、反応容器１０内の気体を吸い出してその内部を所定の真空圧にした後、そこに過酸化水素蒸気を注入する時、反応容器１０内の反応圧が大気圧以上（１．０３３〜１．３６ｋｇｆ／ｃｍ^２）になるように注入することだけを除いては、同様に行われる。この際、反応容器１０の内部圧力が大気圧より高いので、ドアの施錠装置と気密維持に注意を払わなければならない。
【００３６】
このように、前記反応圧の上限を限定する理由は、１．３６ｋｇｆ／ｃｍ^２以上になると、既存のプラズマ発生器ではプラズマの発生が困難になるためである。
【００３７】
前記本発明の他の滅菌方法では、反応容器１０内に大気圧以上の大量の過酸化水素蒸気を注入して滅菌するため、浸透力が強力であり、従って、直径が１ｍｍ以下で長さが５０ｃｍ以上の内視鏡、即ち、細長いルーメン等にも確実な浸透力を有するため、低気圧（大気圧より低い圧力）では必須として求められるブースター無しでも極めて容易に滅菌させることができる。
【００３８】
［実施例１］
表１は本発明のプラズマ処理機付き滅菌装置と滅菌方法を用いて滅菌処理実験を行った結果を示す。滅菌実験に使用された微生物の試料としては、実際に多くの病院で過酸化水素プラズマ滅菌装置を用いて滅菌臨床実験に使用している、米国のＡ社で市販しているＣｙｃｌｅＳｕｒｅという商標名のＢｉｏｌｏｇｉｃａｌ Ｉｎｄｉｃａｔｏｒ（ＢＩ）である“Ｂａｃｉｌｌｕｓ Ｓｔｅａｒｏｔｈｅｒｍｏｐｈｉｌｕｓ”［Ｓｐｏｒｅ Ｎｏ．２．０×１０^６、ＡＴＣＣ７９５３］を用いた。
【００３９】
臨床実験方法では、プラズマ処理機が反応容器とは別途に遠隔地に取り付けられた本発明による滅菌装置、及びプラズマ処理機と反応容器とが一体に取り付けられたプラズマ滅菌装置に同一のＢＩを同様に入れた後、それぞれの装備で提供する最適の実験条件下（過酸化水素蒸気だけ、過酸化水素プラズマだけ）で実験を行った後、採取したＢＩ試料を同一のインキュベータに入れて５５℃で最大７日まで培養実験を行った。その後採取したＢＩ試料のカラーを比較して得た結果を、下記の表１に表した。
【００４０】
【表１】

【００４１】
前記の表１から分かるように、過酸化水素蒸気だけを用いた滅菌工程では全て成功したが、これに対し、過酸化水素プラズマだけを用いた滅菌工程では全て滅菌が失敗した。これは滅菌の核心的な役割は過酸化水素蒸気によって行われることを立証する結果である。
【００４２】
［実施例２］
表２は、環境問題を測定するために、本発明のプラズマ処理機付き滅菌装置を用いる滅菌処理実験中に反応容器から大気中に放出される過酸化水素の残留放出濃度を測定した結果である。
【００４３】
過酸化水素蒸気の残留放出濃度の測定実験では、過酸化水素の残留性をｐｐｍ単位で測定することが可能な市販の残留過酸化水素テスター（Ｐｅｒｏｘｉｄ−Ｔｅｓｔｅｒ、ＭＥＲＣＫ、１１００１１）を用いて残留放出濃度を測定しようとした。
【００４４】
過酸化水素の残留放出濃度の測定実験方法では、毎１０分単位で残留過酸化水素テスターを１個ずつ回転させて経時的な過酸化水素の残留放出濃度を測定するために、真空ポンプの排気側の後端に残留過酸化水素テスターを取り付けた後、装備で提供する最適の実験条件下で実験を行いながら工程時間による過酸化水素の残留放出程度を測定し、その試料のカラーを比較した。その比較結果を下記の表２に表した。
【００４５】
【表２】

【００４６】
前記表２から分かるように、残留過酸化水素テスターで測定した結果は、最大１０ｐｐｍ程度の過酸化水素蒸気が放出されることから、大気中に放出されるものは殆どが過酸化水素蒸気でないことを立証する結果と判断される。
【００４７】
［実施例３］
表３は、本発明によるプラズマ処理機付き滅菌装置の滅菌方法を用いて滅菌処理実験を行った結果を示す。
【００４８】
滅菌実験に使用した微生物試料は、前記滅菌実験で使用した方法と同じ方法を用いて過酸化水素蒸気の反応圧による滅菌臨床試験の効果に対する結果を得ようとした。
【００４９】
臨床実験方法は、直径１ｍｍ以下で長さが２００ｃｍの細長いフレキシブルなルーメンを２組用意し、これらのルーメンに用意したＢＩをそれぞれ挿入した後、ブースターなしで反応容器に仕込み、装備で提供する最適の実験条件下で滅菌工程実験を行った後、ルーメンから採取したＢＩ試料を同一のインキュベータに入れ、５５℃で最大７日まで培養実験を行った。その結果を表３に示した。
【００５０】
【表３】

【００５１】
前記表３より、本発明によるプラズマ処理機付き滅菌装置と滅菌方法を用いて過酸化水素蒸気の反応圧による滅菌効果を実験した結果、反応圧が０．０１６３ｋｇｆ／ｃｍ^２と低い場合には、直径１ｍｍ以下、長さ２００ｃｍの細長いフレキシブルなルーメンが全く滅菌されなかったが、これに対し、反応圧が１．０６００ｋｇｆ／ｃｍ^２と大気圧以上に高い場合には、全て完璧に滅菌されたことが分る。
【００５２】
これは、反応圧が低い場合には直径１ｍｍ以下、長さ２００ｃｍの細長いフレキシブルなルーメンでは滅菌の核心的な役割を果たす過酸化水素蒸気の浸透力が低下して深いところまで浸透されなかったため滅菌が行われなかったが、これに対し、反応圧が大気圧以上に高い場合には過酸化水素の浸透力があまり高くなって深いところまで浸透したため滅菌がきちんと行われることを立証する結果と判断される。
【００５３】
［実施例４］
表４は、本発明の滅菌装置を用いて真空及び大気圧以上の反応圧で滅菌充填 率実験を行った結果である。滅菌実験に使用した微生物試料は、前記実施例１と実施例３の滅菌実験で使用したものと同じものを用意した。臨床実験方法では、プラズマ処理機が反応容器とは別途に遠隔地に取り付けられた本発明の滅菌装置にサクションチューブ（Ｓｕｃｔｉｏｎ Ｔｕｂｅ）、ネラトン（Ｎｅｌａｔｏｎ）、手術用ハサミ、ステンレスルーメン（Ｓｔａｉｎｌｅｓｓ Ｌｕｍｅｎ）、バルーンカテーテル（Ｂａｌｌｏｏｎ Ｃａｔｈｅｔｅｒ）等とＢＩを滅菌用ポーチ（ｐｏｕｃｈ）にそれぞれ入れ、用意した物品を反応容器に無作為で満杯に充填した後（約１００％充填；２５０個のＢＩ、トレイ棚等をすべて除去した８０リットルの反応容器の内容積と同じ体積を充填した場合を１００％充填とみなす）、装備で提供する最適の実験条件で滅菌工程実験を行い、滅菌工程が終了すると、それぞれのポーチから採取したＢＩ試料を同一のインキュベータに入れ、５５℃で最大７日まで培養実験を行った結果とインジケーター試料のカラーを比較した。その比較結果を、下記の表４に表した。
【００５４】
【表４】

【００５５】
前記の表４から分るように、本発明の滅菌装置を用いて低い反応圧で実験した結果は、充填率１００％で充填して１回実験した際、ポーチに装入された２５０個のＢＩの中から１０個だけが培養実験を通ったが、これに対し、大気圧以上の反応圧で実験した結果は、充填率１００％で反応容器に滅菌物品を充填させた場合でも完璧に滅菌が行われた。この結果より、本発明による滅菌装置は、反応容器の大きさを問わず、充填率１００％でも完璧に滅菌が行われるという特徴をもつことが分る。
【００５６】
【発明の効果】
以上で説明したように、本発明のプラズマ処理機付き滅菌装置及び滅菌方法は、反応容器内で滅菌剤として過酸化水素蒸気を用いて医療器具等のような被滅菌物の表面に存在する微生物を滅菌させ、滅菌工程中に大気中に排出される過酸化水素蒸気を、プラズマ処理機を通過させることで、環境汚染を起こさない酸素、水素及び水分に分解し放出できるという特有の効果を奏する。
【００５７】
また、本発明は、反応容器内に加熱注入される過酸化水素蒸気を大気圧以上にして滅菌させることができるため、直径が１ｍｍ以下で長さが５０ｃｍ以上のフレキシブルな内視鏡、即ち、細長いルーメンを別途のブースターを必要とすることなく極めて容易に滅菌できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるプラズマ処理機付き滅菌装置を概略的に示す構成図である。
【符号の説明】
１０ 反応容器
１１ 被滅菌物
１２ 包装材
１３ 排出ライン
１４ 真空ポンプ
２０ 滅菌剤供給ライン
２１ 過酸化水素水
２２ 気化器
２３ 流量調節器
３０ プラズマ発生器
３１ プラズマ処理機
３３ カソード
３４ アノード
３５ 高周波電力供給源
３６ インピーダンス調節器
３７ インピーダンス整合回路
４０ 自動圧力調節バルブ

Claims (4)

1. 被滅菌物（１１）を入れることができる反応容器（１０）と；この反応容器（１０）と連通し、滅菌剤の過酸化水素水（２１）、この過酸化水素水（２１）を気化させる気化器（２２）及びこの気化器（２２）で気化された過酸化水素蒸気の前記反応容器（１０）への注入量を調節する流量調節器（２３）が備えられた滅菌剤供給ライン（２０）と；前記反応容器（１０）と排出ライン（１３）を介して連通するように設けられ、前記反応容器（１０）内の気体を吸い出して真空状態にすることができる真空ポンプ（１４）と；を含む滅菌装置において、
   前記排出ライン（１３）に反応容器（１０）内の気体がプラズマを通過するようにプラズマ処理機（３１）が設けられることを特徴とするプラズマ処理機付き滅菌装置。
2. 前記プラズマ処理機（３１）はプラズマ発生器（３０）を含み、前記プラズマ発生器（３０）はプラズマ処理機（３１）の内部にカソード（３３）とアノード（３４）とが対向して設けられ、前記カソード（３３）にインピーダンス調節器（３６）とインピーダンス整合回路（３７）を介して高周波電力供給源（３５）が電気的に連結されていることを特徴とする請求項１に記載のプラズマ処理機付き滅菌装置。
3. 反応容器（１０）内に被滅菌物（１１）を投入し密閉するステップと、
   前記反応容器（１０）内の気体を真空ポンプ（１４）で吸い出して前記反応容器（１０）内を所望の圧力に形成した後、そこに過酸化水素蒸気を注入して所望の反応圧に調節した状態で、前記被滅菌物（１１）を所定の反応の時間保持して滅菌を行うステップと、
   以後、反応容器（１０）内の過酸化水素蒸気を真空ポンプ（１４）で吸い出してプラズマが発生しているプラズマ処理機（３１）内を通過させることで環境汚染及び人体に無害な酸素、水素及び水分に分解し排出するステップと、
   からなることを特徴とする滅菌方法。
4. 前記滅菌ステップにおける反応容器（１０）の反応圧が大気圧以上に注入されることを特徴とする請求項３に記載の滅菌方法。

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