JP2004151416A - 光学素子ユニット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ベース部22には半導体レーザ41がサブマウント32を介して固定され、半導体レーザ41により基準光軸5が決定される。固定部221にはU型の断面形状を有する溝222が形成されており、溝222にはんだ31が付与されて溶融され、支持アーム61に支持されたコリメータレンズ42が溝222へと移動する。半導体レーザ41から出射された光ビームはコリメータレンズ42を介して撮像部7へと導かれ、光ビームの状態を示す画像が取得される。画像に基づいてコリメータレンズ42が基準光軸5に対して位置決めされ、ベース部22との間にはんだ31を介在させつつベース部22と非接触の状態で固定される。これにより、コリメータレンズ42が基準光軸5に対して高精度に位置決めされた光学素子ユニット11の構造を簡素化することができる。
【選択図】 図4
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、光学素子ユニットに関する。
【0002】
【従来の技術】
光学素子ユニット(すなわち、光学素子の組み立て部品であり、例えば、光ファイバの組み立て部品や光通信用デバイス等)において、微小な光学素子を所定の光軸に対して位置決めして固定する(いわゆる、アライメントであり、位置および姿勢を調整する)手法として、光学素子を保持部材の接触面に当接させつつ1または2方向に移動して位置決めし、はんだや接着剤(例えば、紫外線硬化樹脂を含む接着剤)を周囲に充填して固定したり、あるいは、YAGレーザ等の高エネルギのパルス光を照射するレーザ融着やガラスパウダを用いるガラス融着等により固定することが従来より行われている。
【0003】
例えば、光源等に利用される半導体レーザでは、出射する光ビームの広がり角が大きいため(例えば、数10度)、一般的には、コリメータレンズを組み合わせることにより光ビームが平行光とされる。具体的には、図1に示すように半導体レーザ91を固定した保持部材92に接触面92aを設け、コリメータレンズ93が固定された調整補助部材94が接触面92aに当接するように挿入される。そして、調整補助部材94を図1中の矢印95の方向に移動することで光ビームの平行度を調整するコリメート調整が行われ、調整補助部材94と保持部材92とが固定される。
【0004】
また、光ファイバ通信等の光ファイバを用いるアプリケーションに利用されるマルチチャンネルの光ファイバコネクタ(例えば、通信容量を増加するためのマルチチャンネル伝送に使用される。)や、レーザ走査型の画像出力装置等の光源ユニット等では複数の光ファイバが1次元または2次元に高精度に配列される。光ファイバを配列するには、図2に示すようにV型の断面形状を有する溝96がセラミックスにより形成された保持部材97にダイヤモンドカッタ等を用いて配列形成される。そして、光ファイバ98が溝96の側面96aに当接しつつ位置決めされた後、固定される。
【0005】
なお、関連する技術としては以下の文献に記載されたものがある。
【0006】
【非特許文献1】
「光技術コンタクト」,社団法人日本オプトメカトロニクス協会,平成8年12月20日,Vol.34,No.12(1996),p.619−627,636−640
【非特許文献2】
「OPTRONICS」,株式会社オプトロニクス社,平成11年4月10日,No.4(1999),p.129−133,140−149
【非特許文献3】
「OPTRONICS」,株式会社オプトロニクス社,平成11年7月10日,No.7(1999),p.149−155
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、図1に示す例において、コリメータレンズ93は矢印95の方向にのみ移動可能であり、他の方向に関する位置または姿勢は各部材の加工精度等により決定されるため、半導体レーザ91の光ビームの出射角が微小にずれている等、微調整が必要とされる場合であっても調整することが困難である。また、調整の自由度を上げようとすると、複雑な構造となってしまうため、製造コストの上昇等の弊害が生じる。
【0008】
図2に示す例では、一般的に、温度変化等の影響が少ないセラミックスが保持部材97として使用されるが、セラミックスは高価である上に加工コストも高くなってしまう。さらに、この手法では、複雑な配列に対応することが困難である。
【0009】
本発明は上記課題に鑑みなされたものであり、光学素子が高精度に位置決めされた光学素子ユニットの構造を簡素化することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
請求項1に記載の発明は、光学素子ユニットであって、所定の基準光軸が相対的に固定されたベース部と、前記ベース部と非接触にて前記基準光軸に対して位置決めされた光学素子と、前記光学素子と前記ベース部との間に介在し、前記光学素子を前記ベース部に対して固定するはんだとを備える。
【0011】
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の光学素子ユニットであって、前記ベース部が前記基準光軸を決定する他の光学素子に対して固定された部位である。
【0012】
請求項3に記載の発明は、請求項2に記載の光学素子ユニットであって、前記光学素子がコリメータレンズである。
【0013】
請求項4に記載の発明は、請求項2または3に記載の光学素子ユニットであって、前記他の光学素子が半導体発光素子である。
【0014】
請求項5に記載の発明は、請求項2に記載の光学素子ユニットであって、前記光学素子がマイクロレンズアレイに含まれるレンズである。
【0015】
請求項6に記載の発明は、請求項2または5に記載の光学素子ユニットであって、前記他の光学素子が光導波路素子である。
【0016】
請求項7に記載の発明は、請求項1または2に記載の光学素子ユニットであって、前記光学素子が光ファイバである。
【0017】
請求項8に記載の発明は、光学素子ユニットであって、複数の基準光軸が相対的に固定されたベース部と、前記ベース部と非接触にて前記複数の基準光軸に対してそれぞれが位置決めされた複数の光学素子と、各光学素子と前記ベース部との間に介在し、前記各光学素子を前記ベース部に対して固定するはんだとを備える。
【0018】
請求項9に記載の発明は、請求項8に記載の光学素子ユニットであって、前記複数の光学素子のそれぞれが光ファイバである。
【0019】
請求項10に記載の発明は、請求項8に記載の光学素子ユニットであって、前記複数の基準光軸のそれぞれがマイクロレンズアレイにより決定される。
【0020】
【発明の実施の形態】
図3(a)ないし(c)は本発明に係る光学素子ユニットの基本構成を示す図である。図3(a)に示す第1の基本構成に係る光学素子ユニット1aにおいて、所定の光軸5(すなわち、光学素子が位置決めされる際の基準となる軸であり、以下、「基準光軸5」という。)が相対的に固定されたベース部2の上方に基準光軸5に対して位置決めされた光学素子4が位置する。ベース部2と光学素子4との間には、はんだ3が介在し、光学素子4がベース部2に対して非接触にて固定される。光学素子4が位置決めされる際には、支持部6により支持されつつ、互いに直交する3軸方向(すなわち、図3(a)中のX,Y,Z軸方向)に移動可能とされ、さらに、各軸に平行な回動軸(以下、X,Y,Z方向を向く回動軸をそれぞれα,β,γ軸と呼ぶ。)を中心として回動可能とされる。これにより、光学素子4は基準光軸5に対して位置決めされる。
【0021】
図3(b)に示す第2の基本構成に係る光学素子ユニット1bでは、2つの光学素子4のうち一方に相対的に固定された(すなわち、一方の光学素子4により決定される)基準光軸5に対して他方の光学素子4が位置決めされつつ、互いに非接触にてはんだ3を介して固定される。また、図3(c)に示す第3の基本構成に係る光学素子ユニット1cでは、基準光軸5が相対的に固定されたベース部2の上方に基準光軸5に対してそれぞれ位置決めされた複数の光学素子4が位置し、各光学素子4は、はんだ3を介在させてベース部2に対して非接触にて固定される。光学素子ユニット1b,1cが製作される場合には、6軸の自由度を有する支持部6により各光学素子4が位置決めされる。
【0022】
なお、第2の基本構成は、一方の光学素子4により他方の光学素子4の位置決めの基準となる基準光軸5が決定され、一方の光学素子4の一部が第1の基本構成におけるベース部2に相当すると捉えると、第2の基本構成は第1の基本構成の応用であるといえる。また、第3の基本構成においても、基準光軸5を決定する一方の光学素子4が固定されたベース部2に対して他方の光学素子4が位置決めされると捉えた場合、第3の基本構成は第1の基本構成の応用であるといえる。
【0023】
図4は本発明の第1の実施の形態に係る光学素子ユニット11を製作する様子を示す図である。光学素子ユニット11は、コリメータレンズ42が半導体レーザ41に対して位置決めされつつ固定されることにより製作され、コリメータレンズ42により半導体レーザ41からの出射光が平行光とされる。以下、光学素子ユニット11を半導体レーザモジュール11と呼ぶ。
【0024】
図5は半導体レーザモジュール11を製作する工程の流れを示す図である。以下、図4を参照しながら図5に沿って半導体レーザモジュール11の製作工程および構造について説明する。
【0025】
ベース部22には、図4中の(Y)方向に突出する固定部221が設けられ、固定部221にはU型の断面形状を有する溝222が形成される。光ビームを出射する半導体レーザ41は、はんだ32を介して板状のサブマウント21に固定され、サブマウント21は、はんだ33(好ましくは、融点がはんだ32より低いもの)を介してベース部22に固定される。このとき、半導体レーザ41の光ビームを出射する面が固定部221に対向するように配置される。半導体レーザ41の取り付けにより、半導体レーザ41が出射する光ビームに対応する基準光軸5がベース部22に対して決定されることとなる(ステップS11)。
【0026】
続いて、ベース部22とは別の場所でコリメータレンズ42がはんだ60を介して支持アーム61により支持される(ステップS12)。コリメータレンズ42はガラスにより形成されるが、はんだ60を介して支持アーム61の先端に固定するために外周面に金等の金属が予め蒸着されている(いわゆる、メタライズされている)。なお、支持アーム61は図4中のX,Y,Z軸方向への移動、および、α,β,γ軸(すなわち、X,Y,Z方向を向く軸)を中心とする回動が可能とされる。
【0027】
固定部221の溝222には、粉末のはんだ31(例えばボールはんだやクリームはんだなど)が付与される。はんだ31は融点がはんだ32,33,60の融点よりも低いもの(例えば、融点が140度のもの)が利用され、ベース部22は図示省略のヒータによりはんだ31の融点まで加熱される。はんだ31が溶融すると、支持アーム61によりコリメータレンズ42が溝222へと移動する(ステップS13)。
【0028】
半導体レーザ41には、図示省略の半導体レーザ駆動部が電気的に接続され、半導体レーザ駆動部の制御により半導体レーザ41から光ビームがコリメータレンズ42(すなわち、図4中の(−Z)方向)に向けて出射される。光ビームはコリメータレンズ42を介してベース部22の(−Z)方向に位置する撮像部7(例えば、CCDカメラ)へと導かれる。撮像部7では、コリメータレンズ42から導出される光ビームの状態を示す画像が取得され(ステップS14)、取得された画像に基づいて支持アーム61がコリメータレンズ42をX,Y,Z軸方向へ移動、および、α,β,γ軸を中心として回動し、光ビームが基準光軸5に沿うようにコリメータレンズ42の位置および姿勢が調整される(ステップS15)。
【0029】
このとき、コリメータレンズ42は、基準光軸5に対して位置決めされるだけでなく、画像中の明るい領域の大きさに基づいて光ビームの平行度(いわゆる、コリメート性)が確認され、所望のコリメート性が確保されるように位置決めされる。また、必要に応じてステップS14およびS15が繰り返される。
【0030】
図6は製作途上の半導体レーザモジュール11を(−Z)側から(+Z)方向を向いて見たときの様子を示す図である。図6に示すように、位置決めされたコリメータレンズ42はベース部22と非接触の状態とされており、コリメータレンズ42とベース部22との間には、はんだ31が介在する。続いて、ヒータによる加熱が停止され、自然冷却によりはんだ31の温度が低下し、硬化が開始される(ステップS16)。
【0031】
各部材の温度が低下すると、収縮によりコリメータレンズ42の基準光軸5に対する相対的な位置が移動するが、はんだ31の硬化中においても撮像部7ではコリメータレンズ42から導出される光ビームの画像が取得されるとともに(ステップS17)、コリメータレンズ42の位置が確認され(ステップS18)、基準光軸5に対する相対移動に追従してコリメータレンズ42が位置決めされる(ステップS19)。ステップS17〜S19は、はんだ31の硬化が終了するまで繰り返され(ステップS20)、これにより、コリメータレンズ42の基準光軸5に対する相対的な位置および姿勢が維持される。はんだ31が硬化すると、支持アーム61が図示省略のアームヒータにより加熱され、はんだ60が融解される。そして、支持アーム61をコリメータレンズ42から分離することにより(ステップS21)、半導体レーザモジュール11が完成する。
【0032】
以上のように、半導体レーザモジュール11は、コリメータレンズ42が基準光軸5に対して高精度に位置決めされ、半導体レーザ41に対して固定された部位であるベース部22に非接触の状態ではんだ31により固定される。その結果、半導体レーザモジュール11は方向性およびコリメート性に優れた適切な光ビームを出射することができるとともに、構造の簡素化(および小型化)が実現される。
【0033】
なお、半導体レーザモジュール11は、図3(a)ないし(c)の基本構成のうち第1の基本構成に係る光学素子ユニット1aに対応している。すなわち、半導体レーザ41を固定することでベース部22に固定された基準光軸5に対してコリメータレンズ42が位置決めされる。また、半導体レーザ41(または、半導体レーザ41が固定されたサブマウント21)がベース部22に対して想定される基準光軸に対して位置決めされ、はんだを介在させてベース部22と非接触にて固定されてもよく、その場合、半導体レーザモジュールは図3(c)の第3の基本構成に係る光学素子ユニット1cに対応する。
【0034】
図7は、上述の半導体レーザモジュール11が利用された光学ヘッド8を示す図である。光学ヘッド8は、複数チャンネルの光源ユニット81を有し、光源ユニット81から出射される光ビームは両側テレセントリック光学系を形成するレンズ群82を介して感光材料等が位置する露光領域へと照射される。光源ユニット81は、半導体レーザモジュール11を支持するモジュール支持部811、半導体レーザモジュール11の駆動を制御する半導体レーザ駆動制御部812、および、半導体レーザモジュール11の温度を調整する温度調整部813を有し、モジュール支持部811に配列形成された複数の穴に半導体レーザモジュール11がそれぞれはめ込まれる。
【0035】
光学ヘッド8では半導体レーザモジュール11を利用することにより、複数チャンネルの光ビームを適切に出射できる小型の光学ヘッド8が実現され、画像記録装置(例えば、ラスタ走査型画像記録装置)の小型化および高精度な描画が実現される。
【0036】
図8は、本発明の第2の実施の形態に係る光学素子ユニット12を示す図である。図8に示す光学素子ユニット12(例えば、マッハツェンダー型変調器)は、光ファイバ43、リチウムナイオベート(LN)等の誘電体材料やガリウムヒ素(GaAs)等の半導体材料により形成された光導波路素子44、複数のレンズ451が配列形成されたマイクロレンズアレイ45、および、ベース部23を有し、外部の光源(例えば、半導体レーザ)に接続された光ファイバ43から光ビームが光導波路素子44へと導入される。光ビームは光導波路素子44において分岐され、マイクロレンズアレイ45に含まれるレンズ451へとそれぞれ導出され、変調された光が所定の位置へと導かれる。
【0037】
図9は、光学素子ユニット12を(+X)側から(−X)方向を向いて見たときの様子を示す図である。光学素子ユニット12では、光ファイバ43が光導波路素子44に対して位置決めされた後に、マイクロレンズアレイ45が位置決めされる。以下、図5の製作工程の流れに準じて光学素子ユニット12の製作工程および構造について詳述する。
【0038】
光導波路素子44は1つの光導入口441に対して複数の光導出口442を有し、ベース部23に固定される。これにより、光導波路素子44の光導入口441の向きに対応する基準光軸5aがベース部23に対して決定される(ステップS11)。続いて、先端部がメタライズされた(または、金属製スリーブが設けられた)光ファイバ43が支持アーム61によりはんだ60を介して別の場所で支持される(ステップS12)。ベース部23上において光導波路素子44の光導入口441側には、はんだ31aが付与され、ベース部23がはんだ31aの融点まで加熱されることによりはんだ31aが溶融される。そして、支持アーム61により光ファイバ43が光導入口441へと移動する(ステップS13)。
【0039】
製作途上において光ファイバ43には別途設けられた光源から光を導入することが可能とされており、光ファイバ43へと導入された光ビームは、光導入口441から光導波路素子44の内部へと導かれ、分岐された光が複数の光導出口442からそれぞれ導出される。導出された光は、第1の実施の形態と同様に、撮像部(図示省略)により受光され、画像が取得される(ステップS14)。支持アーム61は取得された画像が示す光の明るさや分布に基づいて、光ファイバ43をX,Y,Z軸方向へ移動、および、α,β,γ軸を中心として回動し、光の状態を示す画像が所定の状態となるように(すなわち、光ファイバ43の先端部が基準光軸5aに沿うように)光ファイバ43の先端部を位置決めする(ステップS15)。このとき、光ファイバ43とベース部23との間は、はんだ31aが介在する状態となっている。
【0040】
続いて、ベース部23の加熱を停止することにより、はんだ31aの硬化が開始されるとともに(ステップS16)、冷却による基準光軸5aの相対移動に追従して光ファイバ43の位置決めが繰り返される(ステップS17〜S19)。はんだ31aが硬化すると(ステップS20)、支持アーム61が加熱されてはんだ60が溶融し、光ファイバ43から分離される(ステップS21)。
【0041】
光ファイバ43がベース部23に固定されると、続いて、マイクロレンズアレイ45が別の場所で支持アーム62の把持部621にて把持される(ステップS12)。なお、マイクロレンズアレイ45の位置決めの基準となる複数の基準光軸5bは、光導波路素子44の複数の光導出口442の向きに対応することから、光導波路素子44がベース部23に固定された時点で既に複数の基準光軸5bが決定されている(ステップS11に相当)。
【0042】
そして、ベース部23の光導出口442側(すなわち、(−Z)側)の側面231にはんだ31bが付与されつつベース部23がはんだ31bの融点まで加熱され、マイクロレンズアレイ45が支持アーム62により側面231へと移動する(ステップS13)。マイクロレンズアレイ45の各レンズ451間の距離は各光導出口442間の距離と等しくされており、各レンズ451が各光導出口442に対応する位置にてマイクロレンズアレイ45が保持される。なお、マイクロレンズアレイ45のベース部23に対向する面はメタライズされており、はんだ31bはその融点がはんだ31aの融点よりも低いものが使用される。
【0043】
光導波路素子44の光導出口442より導出される複数の光は、それぞれレンズ451を介して撮像部へと導かれ、複数の光に対応する画像が取得される(ステップS14)。支持アーム62は取得された画像に基づいて、マイクロレンズアレイ45を互いに直交する3方向に移動するとともに互いに直交する3軸を中心として回動し、導出される複数の光がそれぞれ基準光軸5bに沿うようにマイクロレンズアレイ45が位置決めされる(ステップS15)。このとき、マイクロレンズアレイ45とベース部23との間は、はんだ31bが介在する状態とされる。そして、はんだ31bの硬化が開始され(ステップS16)、マイクロレンズアレイ45が基準光軸5bに対する相対移動に追従して位置決めされる(ステップS17〜S19)。はんだ31bが硬化すると(ステップS20)、支持アーム62によるマイクロレンズアレイ45の把持が解除される(ステップS21)。
【0044】
以上のように、光学素子ユニット12では、光ファイバ43およびマイクロレンズアレイ45が、はんだ31a,31bを介して非接触にてベース部23に固定されつつ、光導波路素子44が決定する基準光軸5a,5bに対して高精度にそれぞれ位置決めされる。その結果、光が効率よく導入され、分岐した光を適切な方向に出射することができる光学素子ユニット12の構造を簡素化することができる。なお、光学素子ユニット12は、ベース部23と光ファイバ43との関係では第1の基本構成に係る光学素子ユニット1a(図3(a))に対応し、ベース部23、光ファイバ43および光導波路素子44を一体的に捉えた場合、光導波路素子44とマイクロレンズアレイ45との関係では第2の基本構成に係る光学素子ユニット1b(図3(b))に対応している。
【0045】
図10は本発明の第3の実施の形態に係る光学素子ユニット13を示す図である。図10に示す光学素子ユニット13では、複数の半導体レーザ41のそれぞれがマイクロレンズアレイ46のレンズ461に対応する位置に固定され、複数チャンネルの光源ユニットとなっている。
【0046】
図11は、光学素子ユニット13の縦断面図であり、光学素子ユニット13の一部のみを示している。以下、図10および図11を参照しながら図5に準じて光学素子ユニット13の製作工程および構造について説明を行う。
【0047】
光学素子ユニット13では、製作の際の基準となる複数の基準光軸5がマイクロレンズアレイ46のレンズ461の光軸に対応している(すなわち、図5中のステップS11は不要とされる。)。半導体レーザ41は予めサブマウント21に固定され、サブマウント21は補助板24に固定される。続いて、X,Y,Z軸方向へ移動可能、かつ、α,β,γ軸を中心として回動可能な支持アーム62により補助板24が把持される(ステップS12)。マイクロレンズアレイ46の一方の面462はメタライズされており、支持アーム62により半導体レーザ41が補助板24とともに1つのレンズ461に対応する位置へと移動する(ステップS13)。
【0048】
そして、補助板24と主面462との間にはんだ31が付与されつつ、補助板24が支持アーム62を介してはんだ31の融点まで加熱される。これにより、図11に示すように補助板24とマイクロレンズアレイ46との間にはんだ31が介在する状態とされる。
【0049】
半導体レーザ41は図示省略の半導体レーザ駆動部へと電気的に接続され、半導体レーザ駆動部の制御により半導体レーザ41から光ビームが出射される。光ビームはレンズ461を介して撮像部(図示省略)へと導かれ、光ビームの状態に対応する画像が取得される(ステップS14)。
【0050】
支持アーム62は取得された画像に基づいて、半導体レーザ41を移動および回動し基準光軸5に対して半導体レーザ41が位置決めされる(ステップS15)。このとき、マイクロレンズアレイ46と補助板24とは非接触の状態とされ、補助板24の加熱を停止することにより、はんだ31の硬化が開始され(ステップS16)、第1の実施の形態と同様に、半導体レーザ41の位置決めが基準光軸5の相対移動に追従して繰り返される(ステップS17〜S19)。はんだ31が硬化すると(ステップS20)、支持アーム62による補助板24の把持が解除される(ステップS21)。
【0051】
ステップS12〜ステップS21の工程が、複数の基準光軸5のそれぞれに対して繰り返され、複数の半導体レーザ41がマイクロレンズアレイ46に固定される。
【0052】
以上のように、光学素子ユニット13では、複数の半導体レーザ41がそれぞれマイクロレンズアレイ46の複数のレンズ461が決定する複数の基準光軸5に対して高精度に位置決めされつつ、はんだ31を介してマイクロレンズアレイ46に非接触にて固定される。これにより、複数チャンネルの光源ユニットである光学素子ユニット13において、光ビームの出射方向を高精度に決定することができるとともに構造を簡素化することができる。なお、光学素子ユニット13では、マイクロレンズアレイ46が複数の基準光軸5を決定しつつ半導体レーザ41を支持するベースとなっており、マイクロレンズアレイ46の各レンズと半導体レーザ41とは、図3(b)の第2の基本構成に係る光学素子ユニット1bに対応する。
【0053】
図12は、本発明の第4の実施の形態に係る光学素子ユニット14を製作する様子を示す図である。光学素子ユニット14は、光通信用等の半導体レーザに接続された複数の光ファイバ43がベース部23上に高精度に配列されたものである。以下、光学素子ユニット14をファイバアレイ14と呼び、図12を参照しながら図5に準じてファイバアレイ14を製作する流れおよびファイバアレイ14の構造上の特徴について言及する。
【0054】
まず、ベース部23が撮像部7に正対して配置され、ベース部23に対して想定される複数の基準光軸5が決定される(ステップS11)。続いて、先端部がメタライズされた(または、先端部に金属製スリーブが設けられた)光ファイバ43がはんだ60を介して支持アーム61により支持される(ステップS12)。支持アーム61はX,Y,Z軸方向へ移動、および、α,β,γ軸を中心として回動可能とされ、支持アーム61により光ファイバ43がベース部23上方の複数の基準光軸5のうちの1つに対応する位置近傍へと移動する(ステップS13)。
【0055】
図13は、製作途上のファイバアレイ14を(−Z)側から(+Z)方向を向いて見たときの様子を示す図である。図13に示すように、ベース部23には、はんだ31が付与されており、ベース部23をはんだ31の融点まで加熱することによりはんだ31を溶融し、光ファイバ43とベース部23との間にはんだ31が介在する状態とされる。ここで、光ファイバ43のコアから光ビームが出射され、撮像部7にて取得される光ビームの画像に基づいて支持アーム61が移動し、光ファイバ43の中心軸が基準光軸5に位置決めされる(ステップS14,S15)。続いて、ベース部22の加熱を停止してはんだ31の硬化が開始される(ステップS16)。撮像部7において、光ビームの画像を確認しながら、基準光軸5の相対移動に追従して光ファイバ43の位置決めが繰り返される(ステップS17〜S19)。
【0056】
はんだ31が硬化すると(ステップS20)、支持アーム61が加熱されて光ファイバ43から分離される(ステップS21)。そして、ステップS12〜S21が繰り返されることにより、次の光ファイバ43が次の基準光軸5に対して位置決めされる。このようにして、ベース部23上に複数の光ファイバ43が高精度に配列される。なお、一度溶融し固化したはんだ31は、直前に溶融された温度より高温にしなければ再溶融しないことが経験的に判っており、ベース部23を加熱する温度を管理することで、複数の光ファイバ43をベース部23に固定することができる。
【0057】
また、上記説明におけるステップS18において基準光軸5の移動は既に取り付けられている光ファイバ43からの光に基づいて検出されてもよく、別途設けられた検出器により検出されてもよい。
【0058】
以上のように、ファイバアレイ14は、ベース部23に相対的に固定された複数の基準光軸5に対してそれぞれ高精度に位置決めされた複数の光ファイバ43が、はんだ31を介在させてベース部23と非接触にて固定される。これにより、方向性に優れた複数の光ビーム(すなわち、出射角度が適切に調整された複数の光ビーム)を出射するファイバアレイ14の構造を簡素化することができ、製作コストを削減することができる。なお、各光ファイバ43とベース部23とは、第1の基本構成に係る光学素子ユニット1aに対応している。
【0059】
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、様々な変形が可能である。
【0060】
光学素子は、基準光軸に対して位置決めされることに加えて、光学素子から導出される光の状態が所望の状態(例えば、コリメート調整がされた状態)となるように位置決めされてもよい。
【0061】
光学素子ユニットが有する光学素子は、必ずしもコリメータレンズ、マイクロレンズアレイに含まれるレンズ、光ファイバ、半導体レーザまたは光導波路素子である必要はなく、他の光学素子(例えば、数10nm〜数μmの位置決め精度が要求される微小な光学素子)であってもよい。また、基準光軸5を決定する光学素子は半導体レーザ、光導波路素子またはマイクロレンズアレイに含まれるレンズ以外の光学素子であってもよく、例えば、光を出射する光学素子としては、発光ダイオード等、半導体レーザとは異なる種類の半導体発光素子であってもよい。
【0062】
複数の光学素子が位置決めされる光学素子ユニットにおいて、光学素子が配列される態様は上記実施の形態に限定されない。本発明に係る光学素子ユニットでは、光学素子の位置および姿勢を自在に決定することが可能であるため(すなわち、多くの自由度にて調整が可能であるため)、光学素子を複雑に配列することも可能である。
【0063】
【発明の効果】
本発明によれば、光学素子ユニットの構造を簡素化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来の光学素子ユニットを示す断面図である。
【図2】従来の光学素子ユニットを示す斜視図である。
【図3】(a)ないし(c)は光学素子ユニットの基本構成を示す図である。
【図4】第1の実施の形態に係る光学素子ユニットを製作する様子を示す図である。
【図5】光学素子ユニットを製作する工程の流れを示す図である。
【図6】光学素子ユニットを製作する様子を示す図である。
【図7】光学ヘッドを示す斜視図である。
【図8】第2の実施の形態に係る光学素子ユニットを示す斜視図である。
【図9】光学素子ユニットを製作する様子を示す図である。
【図10】第3の実施の形態に係る光学素子ユニットを製作する様子を示す図である。
【図11】光学素子ユニットを製作する様子を示す図である。
【図12】第4の実施の形態に係る光学素子ユニットを製作する様子を示す図である。
【図13】光学素子ユニットを製作する様子を示す図である。
【符号の説明】
1a〜1c,11〜14 光学素子ユニット
2,22,23 ベース部
3,31,31a,31b,32,33,60 はんだ
4 光学素子
5,5a,5b 基準光軸
41 半導体レーザ
42 コリメータレンズ
43 光ファイバ
44 光導波路素子
45,46 マイクロレンズアレイ
451,461 レンズ
Claims (10)
- 光学素子ユニットであって、
所定の基準光軸が相対的に固定されたベース部と、
前記ベース部と非接触にて前記基準光軸に対して位置決めされた光学素子と、
前記光学素子と前記ベース部との間に介在し、前記光学素子を前記ベース部に対して固定するはんだと、
を備えることを特徴とする光学素子ユニット。 - 請求項1に記載の光学素子ユニットであって、
前記ベース部が前記基準光軸を決定する他の光学素子に対して固定された部位であることを特徴とする光学素子ユニット。 - 請求項2に記載の光学素子ユニットであって、
前記光学素子がコリメータレンズであることを特徴とする光学素子ユニット。 - 請求項2または3に記載の光学素子ユニットであって、
前記他の光学素子が半導体発光素子であることを特徴とする光学素子ユニット。 - 請求項2に記載の光学素子ユニットであって、
前記光学素子がマイクロレンズアレイに含まれるレンズであることを特徴とする光学素子ユニット。 - 請求項2または5に記載の光学素子ユニットであって、
前記他の光学素子が光導波路素子であることを特徴とする光学素子ユニット。 - 請求項1または2に記載の光学素子ユニットであって、
前記光学素子が光ファイバであることを特徴とする光学素子ユニット。 - 光学素子ユニットであって、
複数の基準光軸が相対的に固定されたベース部と、
前記ベース部と非接触にて前記複数の基準光軸に対してそれぞれが位置決めされた複数の光学素子と、
各光学素子と前記ベース部との間に介在し、前記各光学素子を前記ベース部に対して固定するはんだと、
を備えることを特徴とする光学素子ユニット。 - 請求項8に記載の光学素子ユニットであって、
前記複数の光学素子のそれぞれが光ファイバであることを特徴とする光学素子ユニット。 - 請求項8に記載の光学素子ユニットであって、
前記複数の基準光軸のそれぞれがマイクロレンズアレイにより決定されることを特徴とする光学素子ユニット。
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Cited By (3)
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JP2021086050A (ja) * | 2019-11-28 | 2021-06-03 | 京セラ株式会社 | 光導波路モジュール |
CN117761844A (zh) * | 2023-11-30 | 2024-03-26 | 武汉华工正源光子技术有限公司 | 光引擎、光模块及适用于光芯片耦合的光学系统和fa结构 |
-
2002
- 2002-10-31 JP JP2002317140A patent/JP2004151416A/ja active Pending
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