JP2004151216A - Inspection table for optical device - Google Patents

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JP2004151216A
JP2004151216A JP2002314377A JP2002314377A JP2004151216A JP 2004151216 A JP2004151216 A JP 2004151216A JP 2002314377 A JP2002314377 A JP 2002314377A JP 2002314377 A JP2002314377 A JP 2002314377A JP 2004151216 A JP2004151216 A JP 2004151216A
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Japan
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stage
inspection table
optical device
gantry
link
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Application number
JP2002314377A
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Japanese (ja)
Inventor
Hideji Otsuka
秀治 大塚
Kazuko Kawashima
夏珠子 川嶋
Toru Maruyama
徹 丸山
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Otsuka Optical Co Ltd
Original Assignee
Otsuka Optical Co Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To increase the manufacturability, economic efficiency, durability, conformity property, and operability of an inspection table for optical device. <P>SOLUTION: The inspection table 1 is provided with a stage tilting means 3 of tilting a stage 2 at a desired angle and a stage sliding means 4 of linearly sliding the stage 2. The stage 2 is constituted in turntable structure and a mat 7 is stuck on its top surface. The stage tilting means 3 comprises a rack 10, a slide plate 11, a link 12, a lock means 13, and a support shaft 14. The stage sliding means 4 comprises a couple of parallel guide rods 15 and 15 and a slide plate 11 and bearing 16. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、精密部品や微生物等の検査物を拡大鏡や顕微鏡等の光学装置で検査する際に、検査物を載置するのに用いる光学装置用検査台に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の顕微鏡用検査台には、下ステージと、この下ステージに対してスライド可能に支持された上ステージと、前記下ステージ上で前記上ステージのスライド方向に沿って張り渡されたワイヤロープと、このワイヤロープの前記上ステージのスライド方向に沿った部分に対して外径が略接する位置に配置され、前記上ステージに回転可能に支持されたプーリと、このプーリに対して、前記ワイヤロープの前記上ステージのスライド方向に沿った部分から離れた位置に配置され、前記上ステージに回転可能に支持されたハンドル部とを備え、前記ワイヤロープは、前記プーリとハンドル部とに巻き付けられ、前記ハンドル部の回転操作により前記上ステージをスライドさせるものがある(例えば、特許文献1参照)。
【0003】
【特許文献1】
特開2001−166216号公報(第2−4頁,図1−図3)
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、この顕微鏡用検査台は、耐久限度の低いワイヤロープを上ステージのスライドに用いているため、ワイヤロープの伸びによって、検査物の位置調整に誤差を生じたり、位置調整時の操作フィーリングを損なうという問題がある。また、ワイヤロープが延びたり耐久限度に達した場合には、張力の調整や交換作業を熟練した作業員に頼らなければならないという不具合がある。さらに、上ステージのスライドには、ハンドル部やベアリング,プーリ,ボールといった多数の部品を必要とし、中でもハンドル部は構造が複雑であり、またベアリングは高価な精密部品であって、製作的にも経済的にも極めて不利であった。また、ハンドル部を用いた上ステージのスライドは、微調整が可能であるものの、ハンドル部を多回転させなければならないため、即応性に劣るという欠点がある。
【0005】
さらに、近年の顕微鏡用検査台に対するユーザの要求は多様化しており、ステージを任意の方向に向かせることが求められているが、前述の顕微鏡用検査台では、上ステージをX軸方向やY軸方向の平面スライドしかできず、作業性のわるいものとなっていた。
【0006】
本発明は、かかる実情を背景にしてなされたもので、その目的とするところは、製作性と経済性,耐久性,即応性及び作業性に優れた光学装置用検査台を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上述の目的に従って、検査物を光学装置のレンズを通して検査するために、前記検査物を載置するステージを備えた光学装置用検査台において、該検査台は、前記ステージを所望角度に傾斜させるステージ傾斜手段と、前記ステージを直線的にスライドさせるステージスライド手段とを備えていることを特徴としている。
【0008】
前述のステージとして、ターンテーブルを用いることができる。ステージ傾斜手段は、架台及び該架台上に配設されるスライド板と、一端を前記架台に回動可能に連結し、他端を前記スライド板に枢支されるリンクと、前記一端回りに回動したリンクを固定して、該リンクの回動によって傾斜した前記スライド板の傾斜状態を保持するロック手段とを備えた構成とすることができる。ステージスライド手段は、複数の平行なガイド棒と、該ガイド棒に軸受を介してスライド可能に設けられたスライド板とを備えた構成であってもよく、複数のガイド溝を備えたスライド板と、該ガイド溝を相対移動するガイドピンとを備えた構成であってもよい。また、ステージ昇降手段を、架台及び該架台上に配設されるスライド板と、これら架台及びスライド板の両側部に形成されるガイド溝と、2つのリンクをX字状に交差させて交差部を支軸にて枢支した一対のX字状リンクとを備え、各リンクの下端を前記架台のガイド溝にスライド可能に装着し、各リンクの上端を前記スライド板のガイド溝にスライド可能に装着した構成とすることができる。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の光学装置用検査台を、拡大鏡用に適用した形態例を図面に基づいて説明する。
【0010】
図中、図1〜図5は本発明の第1形態例を示し、図1はステージを傾斜させた状態の拡大鏡用検査台の側面図、図2は図1の正面図、図3はステージを水平状態にした拡大鏡用検査台の平面図、図4は同じくステージを水平状態にした拡大鏡用検査台の正面図、図5は同じくステージを水平状態にした拡大鏡用検査台の断面側面図である。
【0011】
図1〜図5の第1形態例に示す拡大鏡用検査台1は、精密部品等の検査物(図示せず)を載置するステージ2と、該ステージ2を所望角度に傾斜させるステージ傾斜手段3と、ステージ2を左右方向へスライドさせるステージスライド手段4とを備えており、これらステージ2〜ステージスライド手段4は、いずれも拡大鏡を使用する観察者の手動によって操作される。
【0012】
ステージ2は、四角形のスライド板5に合成樹脂製の回転板6を介して回転可能に支持される金属製のターンテーブルで、上面にはマット7が貼着されており、ステージ2を回転させることによって、マット7上に載置した検査物を拡大鏡レンズの光軸上に回動して検査物をレンズで拡大検査したり、検査物を光軸外に回動して着脱がワンタッチで行えるようにしている。マット7には、軟質合成樹脂等の滑り抵抗を持たせた材料を用いたり粗面加工が施されていて、ステージ2を所定角度に傾斜させた場合にも、マット7上の検査物が容易に脱落することがないようにしている。
【0013】
ステージ傾斜手段3は、下面四隅に脚片を備える横長方形の架台10と、該架台10上に配設される傾斜板11と、該傾斜板11を架台10に起伏可能に連結する一対のリンク12,12と、傾斜板11の傾斜状態を保持するロック手段13,13とからなっている。架台10の上面奥側の左右隅部には軸受部10a,10aが突設されており、各軸受部10aに、リンク12の一端がロック手段13を用いて回動可能に枢支されている。
【0014】
傾斜板11は、架台10よりもやや小さな横長方形に形成されており、左右両側板11a,11aの中央よりもやや後側に、リンク12の他端が支軸14を用い枢支されている。傾斜板11の上面には、一対のガイド棒15,15が左右方向に架設され、該ガイド棒15,15に、前述のスライド板5がスリーブ状の軸受16,16を用いてスライド可能に支持されている。スライド板5とガイド棒15,15、軸受16,16は、前述のステージスライド手段4を構成し、スライド板5に敷設したつまみ17を把持して、ステージ2を手動操作にてX軸方向である左右二方向へスライドできるようにしている。
【0015】
前記ロック手段13には、取っ手付きのねじ部材がリンク12の支軸として用いられており、軸受部10aへのねじ込みを緩めた場合には、リンク12が一端回りに回動するのを許容し、また軸受部10aに強く締め付けた場合には、ロック手段13との間にリンク12の一端を強固に挟み込んで、リンク12の回動を阻止する。したがって、ロック手段13のねじ込みを緩めた状態で、リンク12をその一端回りに回動させると、傾斜板11が架台10上の水平状態から、側板11a,11aの手前側下縁を架台10にすべらせながら徐々に傾斜していき、傾斜板11を所望の角度に傾斜させた状態でロック手段13を締め付けてリンク12を固定することにより、傾斜板11の傾斜状態が保持される。
【0016】
以上のように構成される本形態例の拡大鏡用検査台1は、ステージ傾斜手段3やステージスライド手段4を用いて、スライド板5上のステージ2を拡大鏡のレンズの下方にスライドさせる。観察者は一般的に、拡大鏡のレンズを見やすい状態に傾斜させた状態でマット7上の検査物を覗くようになるため、ステージ2もステージ傾斜手段3を用いて観察者の目と対向するよう傾斜状態に設定されることとなる(例えば図1,2)。そして、マット7の適宜箇所に精密部品等の検査物を載置し、ステージスライド手段4による横スライドやステージ2の回動によって微調整しながら、検査物をレンズの面積内に位置させる。
【0017】
マット7は、滑り抵抗を持たせた材料を用いたり粗面加工を施してあるため、ステージ2を傾斜させてもマット7上の検査物は落下しにくいが、クリップや止めピン等の固定具を併用して、検査物をステージ2やマット7に固定することも妨げない。また、検査物が精密部品等の小物の場合には、検査物をステージ2の中心から外れた位置に載置しておくことにより、ターンテーブルのステージ2を半周程度回動させるだけで、検査物をレンズの面積内外にスライドさせることができる。したがって、マット7上の検査物をレンズの外側へスライドして、広いスペースを使って検査物の交換が行えるので、交換作業を短時間でかつ簡便に行うことができる。
【0018】
このように、本形態例の拡大鏡用検査台1は、従来にはないステージ傾斜手段3を持つため、観察者が拡大鏡のレンズを通して、ステージ2上の検査物を観察者の見やすい任意の角度に傾けることができ、観察者にむりな姿勢を強いなくて済むので、作業性が高まる。また、ステージ傾斜手段3やステージスライド手段4に、耐久限度の低いワイヤロープを用いないので、伸びによって誤差を生じたり操作フィーリングを損なうことがなく、ワイヤロープの張力調整や交換作業も不要である。
【0019】
さらに、ステージ2やステージ傾斜手段3,ステージスライド手段4を用いた検査物の位置調整は、これらを直接回転したり横スライドあるいは傾斜状態に操作するため、ハンドル部を多回転させて位置調整を行う従来に較べて即応性が高い。しかも、ステージ2やステージ傾斜手段3,ステージスライド手段4のそれぞれの構成は、部品点数が少なく、またベアリング等の高価な精密部品を使用しないから、製作性に優れるばかりか低コスト化が図れる。さらに、ステージ2にターンテーブルを採用したことにより、マット7上に載置した検査物をステージ2の周方向に移動させて、拡大鏡を用いた検査や検査物の着脱作業を容易に行うことができる。
【0020】
次に、本発明の第2形態例を図6〜図9に基づいて説明する。
【0021】
図中、図6はステージを傾斜させた状態の拡大鏡用検査台の正面図、図7は図6の側面図、図8はステージを水平状態にした拡大鏡用検査台の断面正面図、図9は同じくステージを水平状態にした拡大鏡用検査台の断面側面図である。
【0022】
なお、前記第1形態例と同一構成箇所については同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
【0023】
本形態例の拡大鏡用検査台20は、第1形態例と同様のステージ21とステージ傾斜手段22,ステージスライド手段23に加えて、ステージ21を拡大鏡のレンズ方向に接近または離反させるステージ昇降手段24を備えており、これらステージ21〜ステージ昇降手段24は、いずれも拡大鏡を使用する観察者の手動によって操作される。
【0024】
ステージ21は、ステージ昇降手段24を介して連結されるステージスライド手段23の傾斜板25と略同じ大きさの横長方形で下面を解放した箱形に形成されており、その上面に前記第1形態例と同様のマット26が貼着されるとともに、長手方向両側板にガイド片27,27が設けられている。ガイド片27のそれぞれには、中央近傍にガイド溝27a,27aが縦方向に形成されており、各ガイド溝27aに挿通したガイドピン28をステージ21の長手方向両側板に螺着することにより、ガイド片27を長手方向両側板に沿ってマット26の上下方向へにスライドできるようにしており、ガイド片27を傾斜状態のマット26よりも上側に突出させることによって、マット26上の検査物の落下を防ぐようにしている。
【0025】
ステージ21の長手方向両側板内側には、直列のガイド溝30,30が対向して設けられており、長手方向両側板に対向するガイド溝30,30にスライドピン31,31の両端をスライド可能に係止して、該スライドピン31,31をステージ21の幅方向に架設し、これらスライドピン31,31にステージ昇降手段24の4つのリンク32の上端を枢支して、前述のステージスライド手段23を構成している。ガイド溝30とスライドピン31とは、左右方向に相対移動可能な関係にあり、ステージ21を手動操作してX軸方向である左右二方向へスライドできるようにしている。
【0026】
ステージ傾斜手段22は、前記傾斜板25と、この傾斜板25よりもやや大きな横長方形の板材を用いた架台33と、該架台33に突設される軸受部33a,33aと、架台33に前記傾斜板25を起伏可能に連結する一対のリンク12,12,ロック手段13,13,支軸14,14とからなっており、第1形態例と同様に、傾斜板25を所望の傾斜状態に保持する。
【0027】
傾斜板25は、内部空間を有する箱形に形成されており、長手方向両側板内側に4つのガイド溝34が、ステージ21のガイド溝30と同様に設けられ、これらガイド溝34に、ガイドピン35,35が両端をスライド可能に係止して架設されており、両ガイドピン35,35にステージ昇降手段24の4つのリンク32の下端が枢支されている。
【0028】
リンク32は、2枚ずつX字状に組み合わせして、ステージ21と傾斜板25と間の長手方向両側部にX字状リンク36として配設され、両X字状リンク36,36の中間部の交差部分に支軸37を架設して、ステージ21及び傾斜板25とガイド溝30,34、スライドピン31,35、X字状リンク36、支軸37とで前述のステージ昇降手段24を構成しており、双方のX字状リンク26,36を伸張または縮小することによって、ステージ21を傾斜板25に対向させながら上昇または下降位置へ移動して、ステージ21を任意の高さに停止させることができるようにしている。
【0029】
傾斜板25内部のガイドピン35,35には、戻しばね38が調設されており、該戻しばね38の牽引力にて双方のガイドピン35,35を近接方向に付勢してX字状リンク36,36の伸張を助長し、ステージ21を軽い操作力で簡便に上昇させることができるようにしている。
【0030】
本形態例の拡大鏡用検査台20は、以上のように構成されており、ステージ傾斜手段22,ステージスライド手段23は、それぞれ前記第1形態例と同様の作用を行う。また、ステージ昇降手段24は、ステージ21を傾斜板25に対向させながらZ軸方向に昇降させる。したがって、ステージ21上の検査物を拡大鏡のレンズ下方の観察者の見やすい位置に接近または離間させ、同時に検査物のピント合わせも行うことができる。
【0031】
なお、本発明のステージ傾斜手段とステージスライド手段,ステージ昇降手段,ロック手段のそれぞれは、形態例で示した以外の構成であってもよい。また、各形態例でステージの上面に設けた滑り止め用のマットは省略してもよく、ステージを傾斜しさせる場合には、検査物を他の固定具でステージに固定してもよい。さらに本発明は、顕微鏡用の検査台としても適用が可能である。
【0032】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の光学装置用検査台によれば、ステージ傾斜手段を用いて、観察者がステージ上の検査物を観察者の見やすい任意の角度に傾けることができる。したがって、観察者にむりな姿勢を強いなくて済み、作業性が高まる。また、ステージ傾斜手段やステージスライド手段には、耐久限度の低いワイヤロープを用いないので、伸びによって誤差を生じたり操作フィーリングを損なうことがなく、ワイヤロープの張力調整や交換作業も不要であり、耐久性とメンテナンス性に優れたものとなる。
【0033】
さらに、ステージやステージ傾斜手段,ステージスライド手段を用いた検査物の位置調整は、これらを直接回転したり横スライドあるいは傾斜状態に手動操作するため、ハンドル部を多回転させて位置調整を行う従来に較べて即応性が高い。しかも、ステージやステージ傾斜手段,ステージスライド手段のそれぞれの構成は、部品点数が少なく、またベアリング等の高価な精密部品を使用しないから、製作性に優れるばかりか低コスト化が図れる。
【0034】
さらに、本発明のステージ昇降手段によれば、ステージを傾斜板に対向させながらZ軸方向に昇降させるので、ステージ上の検査物を拡大鏡のレンズ軸方向へ容易に移動させることができ、併せて検査物のピント合わせも簡便に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1形態例を示すステージを傾斜させた状態の拡大鏡用検査台の側面図
【図2】本発明の第1形態例を示す図1の正面図
【図3】本発明の第1形態例を示すステージを水平状態にした拡大鏡用検査台の平面図
【図4】本発明の第1形態例を示すステージを水平状態にした拡大鏡用検査台の正面図
【図5】本発明の第1形態例を示す同じくステージを水平状態にした拡大鏡用検査台の断面側面図
【図6】本発明の第2形態例を示すステージを傾斜させた状態の拡大鏡用検査台の正面図
【図7】本発明の第2形態例を示す図6の側面図
【図8】本発明の第2形態例を示すステージを水平状態にした拡大鏡用検査台の断面正面図
【図9】本発明の第2形態例を示すステージを水平状態にした拡大鏡用検査台の断面側面図
【符号の説明】
1…拡大鏡用検査台、2…ステージ、3…ステージ傾斜手段、4…ステージスライド手段、5…スライド板、6…回転板、7…マット、10…架台、10a…軸受部、11…傾斜板、11a…側板、12…リンク、13…ロック手段、14…支軸、15…ガイド棒、16…軸受、20…拡大鏡用検査台、21…ステージ、22…ステージ傾斜手段、23…ステージスライド手段、24…ステージ昇降手段、25…傾斜板、26…マット、27…ガイド片、27a…ガイド溝、28…ガイドピン、30…ガイド溝、31…スライドピン、32…リンク、33…架台、33a…軸受部、34…ガイド溝、35…ガイドピン、36…X字状リンク、37…支軸、38…戻しばね
[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to an optical device inspection table used for mounting an inspection object such as a precision component or a microorganism when inspecting the inspection object with an optical device such as a magnifying glass or a microscope.
[0002]
[Prior art]
A conventional microscope inspection table has a lower stage, an upper stage slidably supported with respect to the lower stage, and a wire rope stretched over the lower stage along a sliding direction of the upper stage. A pulley which is disposed at a position where an outer diameter thereof is substantially in contact with a portion of the wire rope along the sliding direction of the upper stage, and which is rotatably supported by the upper stage; A handle portion rotatably supported by the upper stage, the wire rope being wound around the pulley and the handle portion, the handle portion being disposed at a position separated from a portion along the sliding direction of the upper stage. There is a type in which the upper stage is slid by rotating the handle (see, for example, Patent Document 1).
[0003]
[Patent Document 1]
JP 2001-166216 A (Pages 2-4, FIGS. 1-3)
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
However, since this microscope inspection table uses a wire rope with a low durability limit for the slide of the upper stage, there is an error in the position adjustment of the inspection object due to the elongation of the wire rope, and an operation feeling at the time of the position adjustment. There is a problem that impairs. In addition, when the wire rope is elongated or reaches the endurance limit, there is a problem that the adjustment and replacement of the tension must be performed by a skilled worker. Furthermore, the slide of the upper stage requires a number of parts such as a handle, a bearing, a pulley, and a ball. Among them, the handle is complicated in structure, and the bearing is an expensive precision part. It was extremely disadvantageous in terms of economy. In addition, although the upper stage slide using the handle portion can be finely adjusted, it has a drawback that the handle portion has to be rotated many times, so that responsiveness is poor.
[0005]
Further, in recent years, users' requirements for the microscope inspection table have been diversified, and it has been demanded that the stage be oriented in an arbitrary direction. Only flat sliding in the axial direction was possible, and workability was poor.
[0006]
The present invention has been made in view of such a situation, and an object of the present invention is to provide an optical device inspection table excellent in manufacturability, economy, durability, responsiveness, and workability. .
[0007]
[Means for Solving the Problems]
According to the present invention, there is provided an optical device inspection table including a stage on which an inspection object is mounted, for inspecting the inspection object through a lens of the optical device. And a stage sliding means for linearly sliding the stage.
[0008]
A turntable can be used as the stage described above. The stage tilting means includes a gantry and a slide plate disposed on the gantry, one end of the gantry being rotatably connected to the gantry, and a link pivotally supported at the other end by the slide plate; Locking means for fixing the moved link and holding the inclined state of the slide plate inclined by the rotation of the link can be provided. The stage slide means may be configured to include a plurality of parallel guide rods and a slide plate slidably provided on the guide rods via bearings, and a slide plate having a plurality of guide grooves. And a guide pin which relatively moves the guide groove. In addition, the stage elevating means includes a gantry, a slide plate provided on the gantry, guide grooves formed on both sides of the gantry and the slide plate, and two links intersecting in an X-shape. And a pair of X-shaped links pivotally supported by a support shaft, the lower end of each link is slidably mounted in the guide groove of the gantry, and the upper end of each link is slidable in the guide groove of the slide plate. A configuration can be adopted.
[0009]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, an embodiment in which the optical device inspection table of the present invention is applied to a magnifying glass will be described with reference to the drawings.
[0010]
1 to 5 show a first embodiment of the present invention, FIG. 1 is a side view of a magnifying glass examination table in a state where a stage is inclined, FIG. 2 is a front view of FIG. 1, and FIG. FIG. 4 is a plan view of a magnifying glass examination table with the stage in a horizontal state, FIG. 4 is a front view of the magnifying glass examination table with a stage in a horizontal state, and FIG. It is sectional side view.
[0011]
A magnifying glass inspection table 1 shown in the first embodiment of FIGS. 1 to 5 includes a stage 2 on which an inspection object (not shown) such as a precision part is mounted, and a stage tilt for tilting the stage 2 to a desired angle. A stage 3 and a stage slide unit 4 for sliding the stage 2 in the left-right direction are provided. These stages 2 to 4 are all operated manually by an observer using a magnifying glass.
[0012]
The stage 2 is a metal turntable rotatably supported on a rectangular slide plate 5 via a synthetic resin rotating plate 6. A mat 7 is adhered to the upper surface, and the stage 2 is rotated. Thus, the inspection object placed on the mat 7 can be rotated on the optical axis of the magnifying lens to inspect the inspection object with the lens, or the inspection object can be rotated out of the optical axis and detached with one touch. I can do it. The mat 7 is made of a material having slip resistance, such as a soft synthetic resin, or is subjected to a roughening process, so that even when the stage 2 is inclined at a predetermined angle, the inspection object on the mat 7 is easy. So that they do not fall off.
[0013]
The stage inclining means 3 includes a horizontal rectangular pedestal 10 having leg pieces at four lower corners, an inclined plate 11 disposed on the pedestal 10, and a pair of links for connecting the inclined plate 11 to the pedestal 10 so as to be able to undulate. It comprises locking means 13 and 13 for holding the inclined state of the inclined plate 11. Bearing portions 10a, 10a are protruded from left and right corners on the rear side of the upper surface of the gantry 10, and one end of a link 12 is rotatably supported by each bearing portion 10a using a lock means 13. .
[0014]
The inclined plate 11 is formed in a horizontal rectangular shape slightly smaller than the gantry 10, and the other end of the link 12 is pivotally supported by the support shaft 14 slightly behind the center of the left and right side plates 11 a, 11 a. . On the upper surface of the inclined plate 11, a pair of guide bars 15, 15 is provided in the left-right direction, and the slide plate 5 is slidably supported on the guide bars 15, 15 by using sleeve-shaped bearings 16, 16. Have been. The slide plate 5, the guide rods 15, 15 and the bearings 16, 16 constitute the above-described stage slide means 4, hold the knob 17 laid on the slide plate 5, and manually move the stage 2 in the X-axis direction. It can slide in two directions.
[0015]
A screw member with a handle is used as a support shaft of the link 12 in the locking means 13, and when the screwing into the bearing portion 10a is loosened, the link 12 is allowed to rotate around one end. In addition, when the link 12 is strongly fastened to the bearing portion 10a, one end of the link 12 is firmly sandwiched between the bearing 12a and the lock means 13 to prevent the link 12 from rotating. Therefore, when the link 12 is rotated around one end thereof with the screwing of the locking means 13 loosened, the lower edge of the side plates 11a, 11a on the front side of the side plates 11a By gradually inclining while sliding, the locking means 13 is tightened and the link 12 is fixed in a state where the inclined plate 11 is inclined at a desired angle, whereby the inclined state of the inclined plate 11 is maintained.
[0016]
The inspection table for a magnifying glass 1 according to the present embodiment configured as described above slides the stage 2 on the slide plate 5 below the lens of the magnifying glass using the stage tilting means 3 and the stage sliding means 4. Since the observer generally looks at the inspection object on the mat 7 in a state in which the lens of the magnifying glass is inclined so as to be easy to see, the stage 2 also faces the observer's eyes using the stage inclination means 3. As a result, it is set to the inclined state (for example, FIGS. 1 and 2). Then, an inspection object such as a precision component is placed on an appropriate portion of the mat 7, and the inspection object is positioned within the area of the lens while finely adjusting by horizontal slide by the stage slide means 4 or rotation of the stage 2.
[0017]
Since the mat 7 is made of a material having slip resistance or roughened, even if the stage 2 is inclined, the inspection object on the mat 7 is hard to drop. Also, fixing the test object to the stage 2 or the mat 7 is not prevented. When the inspection object is a small object such as a precision part, the inspection object is placed at a position deviated from the center of the stage 2 so that the stage 2 of the turntable can be rotated only about half a turn. Objects can be slid into and out of the area of the lens. Therefore, the inspection object on the mat 7 can be slid to the outside of the lens and the inspection object can be exchanged using a large space, so that the exchange operation can be performed quickly and easily.
[0018]
As described above, since the magnifying glass examination table 1 of the present embodiment has the stage tilting means 3 which has not existed in the related art, the observation object on the stage 2 can be easily viewed by the observer through the lens of the magnifier. Since it can be tilted at an angle and the observer does not have to be forced to take a restless posture, workability is enhanced. In addition, since a wire rope having a low durability limit is not used for the stage tilting means 3 and the stage sliding means 4, no error is caused by elongation and the operation feeling is not impaired. is there.
[0019]
Furthermore, the position adjustment of the inspection object using the stage 2, the stage inclining means 3, and the stage sliding means 4 is performed by rotating the handle part many times in order to directly rotate, operate horizontally or incline. Responsiveness is higher than before. In addition, each of the configuration of the stage 2, the stage tilting means 3, and the stage sliding means 4 has a small number of parts and does not use expensive precision parts such as bearings, so that not only excellent manufacturability but also low cost can be achieved. Furthermore, by using a turntable for the stage 2, the inspection object placed on the mat 7 can be moved in the circumferential direction of the stage 2 so that inspection using a magnifying glass and attachment / detachment of the inspection object can be easily performed. Can be.
[0020]
Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
[0021]
6 is a front view of the magnifying glass examination table with the stage inclined, FIG. 7 is a side view of FIG. 6, FIG. 8 is a cross-sectional front view of the magnifying glass examination table with the stage in a horizontal state, FIG. 9 is a cross-sectional side view of the magnifying glass inspection table with the stage in the horizontal state.
[0022]
The same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and detailed description is omitted.
[0023]
The magnifying glass inspection table 20 according to the present embodiment includes a stage 21 that is similar to the first embodiment, a stage tilting unit 22 and a stage sliding unit 23, and a stage elevating unit that moves the stage 21 toward or away from the lens direction of the magnifying glass. The stage 21 to the stage elevating unit 24 are all manually operated by an observer using a magnifying glass.
[0024]
The stage 21 is formed in a box-like shape having a horizontal rectangular shape having substantially the same size as the inclined plate 25 of the stage sliding means 23 connected via the stage elevating means 24 and having an open lower surface. A mat 26 similar to the example is attached, and guide pieces 27, 27 are provided on both side plates in the longitudinal direction. In each of the guide pieces 27, guide grooves 27a, 27a are formed in the vicinity of the center in the vertical direction, and the guide pins 28 inserted into the respective guide grooves 27a are screwed to the longitudinal side plates of the stage 21. The guide piece 27 can be slid in the up and down direction of the mat 26 along the longitudinal side plates, and by projecting the guide piece 27 above the mat 26 in an inclined state, the inspection object on the mat 26 can be inspected. I try to prevent falling.
[0025]
A series of guide grooves 30, 30 are provided on the inner side of the both sides in the longitudinal direction of the stage 21 so that both ends of the slide pins 31 can slide in the guide grooves 30, 30 facing the both sides in the longitudinal direction. , The slide pins 31, 31 are installed in the width direction of the stage 21, and the upper ends of the four links 32 of the stage elevating means 24 are pivotally supported by the slide pins 31, 31, and the above-described stage slide is performed. Means 23 are constituted. The guide groove 30 and the slide pin 31 are relatively movable in the left-right direction, and the stage 21 can be manually operated to slide in the left and right directions, that is, the X-axis direction.
[0026]
The stage inclining means 22 includes the inclined plate 25, a gantry 33 using a horizontal rectangular plate slightly larger than the sloping plate 25, bearings 33 a, 33 a protruding from the gantry 33, and the gantry 33. It is composed of a pair of links 12, 12, which lock the inclined plate 25 so as to be able to undulate, locking means 13, 13, and support shafts 14, 14, and the inclined plate 25 is brought into a desired inclined state as in the first embodiment. Hold.
[0027]
The inclined plate 25 is formed in a box shape having an internal space, and four guide grooves 34 are provided inside the both side plates in the longitudinal direction in the same manner as the guide grooves 30 of the stage 21. Both ends are slidably engaged with each other, and the lower ends of the four links 32 of the stage elevating means 24 are pivotally supported by the guide pins 35.
[0028]
The links 32 are combined in an X-shape two by two, and are disposed as X-shaped links 36 on both sides in the longitudinal direction between the stage 21 and the inclined plate 25, and an intermediate portion between the X-shaped links 36, 36. A support shaft 37 is erected at the intersection of. The stage 21 and the inclined plate 25, the guide grooves 30 and 34, the slide pins 31 and 35, the X-shaped link 36, and the support shaft 37 constitute the above-described stage elevating means 24. By extending or contracting both X-shaped links 26 and 36, the stage 21 is moved to an ascending or descending position while facing the inclined plate 25, and the stage 21 is stopped at an arbitrary height. Have to be able to.
[0029]
A return spring 38 is provided on the guide pins 35 inside the inclined plate 25, and the guide pins 35 are biased in the approaching direction by the pulling force of the return spring 38 to form an X-shaped link. The extension of 36, 36 is promoted, and the stage 21 can be easily raised with a light operating force.
[0030]
The examination table 20 for a magnifying glass of the present embodiment is configured as described above, and the stage tilting means 22 and the stage sliding means 23 respectively perform the same operation as in the first embodiment. The stage elevating means 24 elevates the stage 21 in the Z-axis direction while facing the inclined plate 25. Therefore, the inspection object on the stage 21 can be moved closer or farther away from the position where the observer can easily see the object under the lens of the magnifier, and at the same time, the inspection object can be focused.
[0031]
Note that each of the stage tilting means, the stage sliding means, the stage elevating means, and the locking means of the present invention may have a configuration other than that shown in the embodiment. In each of the embodiments, the mat for preventing slippage provided on the upper surface of the stage may be omitted. When the stage is inclined, the inspection object may be fixed to the stage with another fixture. Further, the present invention can be applied as an inspection table for a microscope.
[0032]
【The invention's effect】
As described above, according to the optical device inspection table of the present invention, the observer can incline the inspection object on the stage at an arbitrary angle that is easy for the observer to see using the stage inclination means. Therefore, it is not necessary to force the observer to take a restless posture, and workability is improved. In addition, since a wire rope with a low durability limit is not used for the stage tilting means and the stage sliding means, no error is caused by elongation or the operation feeling is impaired, and tension adjustment and replacement work of the wire rope are unnecessary. , Excellent in durability and maintainability.
[0033]
Furthermore, the position adjustment of the inspection object using the stage, the stage inclining means, and the stage sliding means is performed by rotating the handle part multiple times to directly rotate, manually slide or horizontally tilt the state. Responsiveness is higher than. In addition, the respective configurations of the stage, the stage tilting means, and the stage sliding means have a small number of parts and do not use expensive precision parts such as bearings, so that not only the productivity is excellent but also the cost can be reduced.
[0034]
Further, according to the stage elevating means of the present invention, since the stage is raised and lowered in the Z-axis direction while facing the inclined plate, the inspection object on the stage can be easily moved in the lens axis direction of the magnifying glass. The inspection object can also be easily focused.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a side view of a magnifying glass examination table according to a first embodiment of the present invention in a state where a stage is inclined. FIG. 2 is a front view of FIG. 1 showing a first embodiment of the present invention. FIG. 4 is a plan view of a magnifying glass inspection table according to a first embodiment of the present invention with a stage in a horizontal state. FIG. 4 is a front view of a magnifying glass inspection table according to the first embodiment of the present invention with a stage in a horizontal state. FIG. 5 is a cross-sectional side view of a magnifying glass examination table according to a first embodiment of the present invention in which the stage is also in a horizontal state. FIG. 6 is an enlarged view of a stage according to a second embodiment of the present invention in a tilted state. FIG. 7 is a front view of a mirror inspection table. FIG. 7 is a side view of FIG. 6 showing a second embodiment of the present invention. FIG. 8 is a view of a magnifying mirror inspection table with a stage in a horizontal state showing a second embodiment of the present invention. FIG. 9 is a cross-sectional front view of a magnifying glass inspection table with a stage in a horizontal state, showing a second embodiment of the present invention. ]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Magnifying table, 2 ... Stage, 3 ... Stage tilt means, 4 ... Stage slide means, 5 ... Slide plate, 6 ... Rotating plate, 7 ... Mat, 10 ... Stand, 10a ... Bearing part, 11 ... Tilt Plate, 11a ... side plate, 12 ... link, 13 ... locking means, 14 ... support shaft, 15 ... guide rod, 16 ... bearing, 20 ... magnifier examination table, 21 ... stage, 22 ... stage tilting means, 23 ... stage Slide means, 24: Stage elevating means, 25: Inclined plate, 26: Mat, 27: Guide piece, 27a: Guide groove, 28: Guide pin, 30: Guide groove, 31: Slide pin, 32: Link, 33: Stand .., 33a ... bearing part, 34 ... guide groove, 35 ... guide pin, 36 ... X-shaped link, 37 ... support shaft, 38 ... return spring

Claims (7)

検査物を光学装置のレンズを通して検査するために、前記検査物を載置するステージを備えた光学装置用検査台において、該検査台は、前記ステージを所望角度に傾斜させるステージ傾斜手段と、前記ステージを直線的にスライドさせるステージスライド手段とを備えていることを特徴とする光学装置用検査台。In order to inspect an inspection object through a lens of an optical device, an inspection table for an optical device including a stage on which the inspection object is mounted, wherein the inspection table includes a stage tilting unit that tilts the stage at a desired angle; An inspection table for an optical device, comprising: stage slide means for linearly sliding a stage. 前記検査台は、前記ステージを昇降させるステージ昇降手段を備えていることを特徴とする請求項1に記載の光学装置用検査台。The inspection table for an optical device according to claim 1, wherein the inspection table includes a stage elevating unit that elevates the stage. 前記ステージがターンテーブルであることを特徴とする請求項1または2のいずれかに記載の光学装置用検査台。The inspection table for an optical device according to claim 1, wherein the stage is a turntable. 前記ステージ傾斜手段は、架台及び該架台上に配設される傾斜板と、一端を前記架台に回動可能に連結し、他端を前記傾斜板に枢支されるリンクと、前記一端回りに回動したリンクを固定して、該リンクの回動によって傾斜した前記傾斜板の傾斜状態を保持するロック手段とを備えていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の光学装置用検査台。The stage inclining means includes a gantry and an inclined plate disposed on the gantry, one end of which is rotatably connected to the gantry, and a link pivotally supported at the other end by the inclined plate, and around the one end. The optical device according to any one of claims 1 to 3, further comprising: locking means for fixing the rotated link and holding the inclined state of the inclined plate inclined by the rotation of the link. Inspection table for equipment. 前記ステージスライド手段は、複数の平行なガイド棒と、該ガイド棒に軸受を介してスライド可能に設けられたスライド板とを備えていることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の光学装置用検査台。The stage slide means comprises a plurality of parallel guide bars and a slide plate slidably provided on the guide bars via a bearing. Inspection table for optical equipment. 前記ステージスライド手段は、複数のガイド溝を備えたスライド板と、該ガイド溝を相対移動するガイドピンとを備えていることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の光学装置用検査台。The inspection for an optical device according to any one of claims 1 to 4, wherein the stage slide unit includes a slide plate having a plurality of guide grooves and a guide pin that relatively moves the guide grooves. Stand. 前記ステージ昇降手段は、架台及び該架台上に配設されるスライド板と、これら架台及びスライド板の両側部に形成されるガイド溝と、2つのリンクをX字状に交差させて交差部を支軸にて枢支した一対のX字状リンクとを備え、各リンクの下端を前記架台のガイド溝にスライド可能に装着し、各リンクの上端を前記スライド板のガイド溝にスライド可能に装着したことを特徴とする請求項2に記載の光学装置用検査台。The stage elevating means includes a gantry and a slide plate disposed on the gantry, a guide groove formed on both sides of the gantry and the slide plate, and an X-shaped intersection of the two links to form an intersection. A pair of X-shaped links pivotally supported by a support shaft, the lower end of each link is slidably mounted in the guide groove of the gantry, and the upper end of each link is slidably mounted in the guide groove of the slide plate. The inspection table for an optical device according to claim 2, wherein:
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