JP2004134504A - 液晶表示素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】TFT1は、ボトムゲート構造を有する逆スタガ型構造となっており、ソース電極4は、ドレイン電極5を先端部5a側から受け入れるための2個の凹部4aを有するH型形状をしている。ソース電極4は連結部7によりソース電極線2へと接続されている。ドレイン電極5は細長形状をしており、ソース電極4に形成された2ヶ所の凹部4aに2方向から挿入する形で形成されている。
【選択図】 図2
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、薄膜トランジスタ(以下、「TFT」と略する)をアクティブ素子として用いた液晶表示素子に関する。
【0002】
【従来の後術】
近年、液晶表示素子は多様化の傾向にあり、その用途はパーソナルコンピュータをはじめ、モニター、テレビ、モバイル端末等へ広く普及している。更に、携帯端末においては、屋外・屋内の双方に使用でき、光源であるバックライトを液晶パネルの背面に設置し、当該背面から光を照射する透過型の液晶表示素子が開発されている。
【0003】
これらの液晶表示素子においては、ガラス基板上に薄膜トランジスタのアレイを形成し、これらのTFTにより表示画素の駆動を行っている。このTFTは、ゲート電極上にゲート絶縁膜を介してシリコンなどの半導体層を形成し、その上にソース電極とドレイン電極を所定の間隔を置いて対向配置としている(例えば、特許文献1、2参照)。
【0004】
【特許文献1】
特開昭64−82674号公報(第3−5頁、第1−2図)
【特許文献2】
特公平5―87991号公報(第2頁、第2図、第4図)
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ソース電極とドレイン電極は、一般に同時に形成されるものであるが、当該電極形成の際に、ソース電極とドレイン電極の形成位置に関し、時として位置ずれを生じてしまい、設計通りの位置を確保できない場合がある。上記従来のTFTを有する液晶表示素子においては、この様なソース電極やドレイン電極の位置ずれにより、ソース電極とゲート電極間、又はドレイン電極とゲート電極間の重なり面積が変動してしまい、その結果、寄生容量が大きく変動してしまうという問題があった。又、当該寄生容量の変動により、各画素毎に寄生容量のバラツキが生じるため、各画素における画素電極の電位降下のバラツキが大きくなり、画像表示領域におけるTFTのフリッカ現象等の問題が生じていた。
【0006】
又、上記従来のTFTを有する液晶表示素子のうち、光源であるバックライトを液晶パネルの背面に設置し、当該背面から光を照射する透過型の液晶表示素子においては、当該光がTFTへと侵入してしまうため、光電効果に伴う電子−正孔対が発生し、その結果、半導体層にリーク電流が流れるという弊害が生じてしまう。
【0007】
本発明は、上記問題点に鑑みなされたものであり、液晶表示素子を形成する際に、電極の形成位置に関し位置ずれが生じた場合であっても、電極間の寄生容量に影響を与えず、画像表示領域におけるTFTのフリッカ現象等の不都合を回避できるとともに、半導体層へのバックライトからの光の入射を効果的に防止でき、光電効果に伴う電子−正孔対の発生によるリーク電流を低減することができる液晶表示素子を提供しようとするものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明の液晶表示素子においては、第1の絶縁基板上でゲート電極、半導体層、ソース電極及びドレイン電極、及び絶縁膜から構成される薄膜トランジスタを、ゲート電極線、及びソース電極線の交点付近に配置してマトリックス状にし、第1の絶縁基板と、第1の絶縁基板に対向して設けられ、共通電極が形成された第2の絶縁基板との間に液晶を狭持してなる液晶表示素子において、ソース電極とドレイン電極はソース電極線の長手方向に沿って並べられ、かつ、ソース電極は2個の凹部を有するH型形状をしており、ドレイン電極は2個の凹部に2方向から挿入される細長形状であることを特徴とする。
【0009】
この構成によると、ソース電極は凹部を2個有するH型形状をしており、又、細長形状を有するドレイン電極は、ソース電極の2箇所の凹部に2方向から挿入されるものであるため、ソース電極とドレイン電極を同時に形成する際のマスク合わせによるズレが生じたとしても、ソース電極とゲート電極、及びドレイン電極とゲート電極の重なり面積は変わらず、その結果、寄生容量の変動を抑制することができる。
【0010】
又、本発明の液晶表示素子においては、半導体層は、ソース電極の外形に沿った形状を有するとともに、ゲート電極からはみ出して、ゲート電極には重ならないがドレイン電極とは重なる第1の突出部を有し、ゲート電極は、第1の突出部に隣接して第2の突出部を有することを特徴とする。
【0011】
この構成によると、半導体層は、ゲート電極からはみ出して、ゲート電極には重ならないがドレイン電極とは重なる第1の突出部を有しているため、ドレイン電極を形成する際のマスク合わせのズレが生じた場合であっても、ドレイン電極とゲート電極の間の寄生容量をを一定に保つことができる。又、TFT付近の隙間を埋めるべく、ゲート電極は、半導体層に形成された第1の突出部に隣接して、その四方の角において第2の突出部を有しており、半導体層は小さく形成されたソース電極の外形に沿って形成されているため、半導体層を小さく形成することができる。その結果、透過型の液晶表示素子において、バックライト光のTFTへの侵入を効果的に遮断することができ、その結果、光電効果に伴う電子−正孔対の発生によるリーク電流を低減することができる。尚、この第1、第2の突出部は、ソース電極線の長手方向に沿って形成することもできる。
【0012】
又、本発明の液晶表示素子においては、ソース電極とソース電極線は、ソース電極の電極幅よりも小さい幅を有する連結部により接続されており、半導体層は、ゲート電極からはみ出して、ゲート電極には重ならないが連結部とは重なる第3の突出部を更に有することを特徴とする。
【0013】
この構成によると、ソース電極とソース電極線を接続する連結部の幅が細く形成されることになるため、ソース電極を形成する際のマスク合わせのズレにより、ソース電極の位置に多少のズレが生じたとしても、当該連結部とゲート電極の重なり面積が小さくなるため、寄生容量の変動を少なくすることができる。又、半導体層が、ゲート電極からはみ出して、ゲート電極には重ならないが連結部とは重なる第3の突出部を有しているため、ソース電極を形成する際のマスク合わせのズレが生じた場合であっても、第3の突出部によりソース電極とゲート電極の間の寄生容量を一定に保つことができる。
【0014】
又、本発明の液晶表示素子においては、連結部の幅は、ソース電極の電極幅よりも小さいことを特徴とする。
【0015】
この構成によると、ソース電極を形成する際のマスク合わせのズレにより、ソース電極の位置が、ゲート電極線の長手方向に多少ずれたとしても、当該連結部とゲート電極の重なり面積は小さいため、寄生容量の変動を少なくすることができる。
【0016】
又、本発明の液晶表示素子においては、ソース電極の電極幅は、ドレイン電極の電極幅よりも小さいことを特徴とする。
【0017】
この構成によると、各TFTにおけるソース電極とゲート電極の重なり面積のムラを少なくすることができる。
【0018】
又、本発明の液晶表示素子においては、ゲート電極には、ドレイン電極と重ならない寄生容量低減用の切り欠き部が形成されていることを特徴とする。
【0019】
この構成によると、ドレイン電極のうち、チャネル領域の形成に関与しない部分が、ゲート電極と重ならない様に切り欠き部が形成されているため、ドレイン電極とゲート電極の間の寄生容量を減少することができるとともに、液晶表示への悪影響を低減することができる。
【0020】
又、本発明の液晶表示素子においては、ソース電極線とゲート電極線によって区画される領域には画素電極が配置されており、かつ、画素電極のうち、画像表示に影響を及ぼさない領域にコンタクトホールが1つ形成されており、コンタクトホールを介してドレイン電極と画素電極が1ヶ所にて接続されていることを特徴とする。
【0021】
この構成によると、ドレイン電極と画素電極の重なり面積が小さくなるのを回避しつつ、画素電極に要求される光透過率特性、及びカラーフィルタの色設定に悪影響を及ぼすことなく、ドレイン電極と画素電極を確実に接続することができる。
【0022】
【発明の実施形態】
以下、図面を参照して、本発明の実施形態を詳細に説明する。図1は、本発明の実施形態に係るTFTを用いた液晶表示素子の基本的構成を示す平面図である。
【0023】
本液晶表示素子は、いわゆるアクティブマトリクス方式であり、画素の駆動を行うアクティブ素子として、逆スタガ型の薄膜トランジスタ(TFT)1を用い、当該TFT1をマトリクス状に配列してTFTアレイが構成されている。
【0024】
TFTアレイには、図1において左右方向に延びる複数のゲート電極線3が所定の間隔により形成されている。又、このゲート電極線3と直交して、複数のソース電極線2が所定間隔で形成されている。縦横のマトリクス状に配置されたソース電極線2とゲート電極線3により囲まれた升目毎に、即ち、ソース電極線2とゲート電極線3によって区画される領域毎に1個のTFT1が配置されている。即ち、当該TFT1は、ゲート電極線3、及びソース電極線2の交点付近にマトリックス状に配置されている。又、TFT1に隣接して、上記升目毎にITO等の透明導電膜により形成された透明な画素電極20が配置されている。当該画素電極20は、TFTと1対1で対応しており、図1に示す様に、マトリクス状に配置されている。
【0025】
次に、図2、及び図3に基づいて、本発明の実施形態に係るアレイ基板上のTFT1の構造を説明する。
【0026】
図2は、本発明の実施形態に係るアレイ基板上のTFTの一画素部分の構造を示す平面図であり、図3は、図2のA−A断面図である。
【0027】
図2に示す様に、本発明に係るTFT1は、ボトムゲート構造を有する逆スタガ型構造となっている。ソース電極4は、ソース電極線2の長手方向に沿って並べられており、ソース電極4の長手方向はソース電極線2と平行になっている。又、図2に示す様に、ソース電極4は、ドレイン電極5を先端部5a側から受け入れるための2個の凹部4aを有するH型形状をしており、ソース電極4における当該凹部4aが形成された領域がチャネル領域として機能する。又、ソース電極4の電極幅9は細く、例えば3μmに形成されており、後述のドレイン電極5の電極幅10よりも小さくなっている。ソース電極4の形状をこの様な形状にすることにより、ソース電極4を小さく形成することが可能となる。又、ソース電極4は、ソース電極4の長手方向と直角となるように形成されたに細長い連結部7によりソース電極線2へ接続されており、連結部7の幅は、ソース電極4の電極幅9よりも小さく、例えば2μmに形成されている。
【0028】
ドレイン電極5は、ソース電極4と同様に、ソース電極線2の長手方向に沿って並べられいる。又、ドレイン電極5は細長形状をしており、その先端部5a側からソース電極4が有する2個の凹部4aに2方向から挿入し、ソース電極4を挟み込む様にしてソース電極4の上下に設けられている。又、ドレイン電極5のうち、ソース電極4における凹部4aが形成されたH型形状部分に挿入される部分が、チャネル領域として機能する。ドレイン電極5の電極幅10は細く、例えば4μmに形成されている。尚、ドレイン電極5は、ソース電極と同一の金属(例えば、CrやAl)により同時に形成される。
【0029】
又、図2に示す様に、ドレイン電極5のソース電極4に対向する縁、即ち、先端部5aの縁の角を丸めた形状としている。その結果、角の丸められた形状を得るため、先端部5aの縁の形状は凸曲線となっている。ドレイン電極5の先端部5aが角張った形状をしていると、露光時にその角が丸まった形で焼き付けられやすく、特に、露光解像度よりも小さな部分は、設計形状と異なる形状に変形しやすく、その変形度合いも一定ではない。そのため、ドレイン・ゲート間の寄生容量に変動が生じやすくなり、また、ソース電極4の凹部4aとドレイン電極10の先端部5aとの間には所定の間隔(チャネル幅)が形成されるが、このチャネル幅に広狭の変動が生じやすくなってしまう。一方、上述のごとく、先端部5aの形状を縁の角を丸めた凸曲線とすることによって、ドレイン電極5の設計形状と実際形状との差を小さくすることができ、露光時にその角が丸まった形で焼き付けられることに起因するドレイン電極5の面積の変動と、それに伴う寄生容量の変動、及び、ソース電極4とドレイン電極5の間隔変動の問題を解決することができる。
【0030】
又、ソース電極4とドレイン電極5との間に形成されるチャネル幅が一定になるように、ソース電極4の凹部4aの形状は円弧状になっている。この様にすることにより、TFTの特性を良好にすることができる。
【0031】
ゲート電極6は、その長手方向が、ゲート電極線3の長手方向と垂直になっており、このゲート電極6は、ゲート電極線3と同一の金属(例えば、CrやAl)により同時に形成される。ゲート電極線3上には、ゲート絶縁膜(図示せず)が形成されており、ソース電極4と同一の材料で形成された配線40が、ゲート電極線3と重なる様に、当該ゲート絶縁膜上に形成されている。この配線40を設けたのは、ゲート電極線3と配線40を重ねて2重に形成することにより、配線抵抗を少なくするためである。当該ゲート電極線3は、ゲート絶縁膜に形成されたコンタクトホール11を介して、配線40に接続されている。ここで、ゲート電極6には、ドレイン電極5と重ならない切り欠き部18が形成されている。即ち、図2において、本来、下方向からソース電極4に挿入するドレイン電極5とゲート電極6が重なる部分をカットし、当該カット部分を切り欠き部18としている。
【0032】
又、図2に示す様に、TFT1においては、ソース電極4、ドレイン電極5、半導体層8がゲート電極6上に収まる構造となっているが、TFT付近の隙間を埋めるべく、ゲート電極6の四方の角が局所的に突出した構造となっている。即ち、ゲート電極6は、4つの突出部15を有しており、この突出部15は、ソース電極線2の長手方向に沿って形成される。
【0033】
半導体層8は、ソース電極4の外形に沿った形状をしている。この半導体層8は、ゲート電極6からはみ出して、ゲート電極6には重ならないがドレイン電極5とは重なる突出部13を有しており、この突出部13は、ソース電極線2の長手方向に沿って形成されている。又、図2に示す様に、ゲート電極6に形成された突出部15は、半導体層8に形成された突出部13に隣接して形成されている。半導体層8は、ゲート電極6からはみ出して、ゲート電極6には重ならないが連結部7とは重なる突出部16を更に有しており、この突出部16は、ソース電極線2の長手方向に対し直角となるように形成されている。
【0034】
図3は、図2のA−A断面図であり、当該図3を用いて、本発明の実施形態に係るアレイ基板上のTFT1の構造、及び製造方法を簡単に説明する。
【0035】
本実施形態に係るTFT1はボトムゲート構造を有しており、下から順にゲート電極6、ゲート絶縁膜22、半導体層8を重ねた積層構造を有している。まず、絶縁された基板21上に、例えばCrやAl等からなる金属膜をスパッタ法等により積層後、フォトリソグラフィー法等によりレジストを露光後パターニングし、基板21上にゲート電極6を形成する。尚、当該基板21には、例えば、無アルカリガラス、無ソーダガラス、又は表面をソーダの流出を防ぐために保護膜で覆った普通ガラス等が使用される。次に、スパッタリング法やプラズマCVD法等によりゲート絶縁膜22を積層する。このゲート絶縁膜22には、スパッタリング法を用いた場合は、例えば、Ta2O5等が用いられ、プラズマCVD法を用いた場合は、例えば、SiO2等が用いられる。次に、ゲート絶縁膜22上に、プラズマCVD法等により半導体層8を積層する。この半導体層8は、例えば、アモルファス型のシリコン層からなり、ゲート電極6を覆うゲート絶縁膜22上に、ゲート電極6に平面的に重なるように形成されている。半導体層8をパターニングした後、オーミック層となるn+a−Si層を半導体層8上に形成し、その後、Mo、Al、Cr等からなる金属膜をスパッタ法等により積層し、フォトリソグラフィー法等によりレジストを露光後パターニングし、ソース電極4、及びドレイン電極5を形成する。ここで、ソース電極4は半導体層8と平面的に重なり、又、ドレイン電極5の一部は半導体層8と平面的に重なっている。又、ソース電極4とドレイン電極5は、半導体層8とゲート絶縁膜22を間に介在させた状態で、ゲート電極6とも平面的に重なっている。次に、TFTを覆うように窒化シリコン等よりなる層間絶縁膜24を成膜し、スパッタ法等によりITO等の透明導電膜を成膜し、画素電極8をパターン形成後、ドレイン電極5と画素電極20を接続するコンタクトホール12を形成し、図3に示すTFTアレイ基板が完成する。ここで、このコンタクトホール12は1つしか形成されておらず、図2、図3に示す様に、画素電極20のうち、画像表示に影響を及ぼさない領域に形成されている。なお、画像表示に影響を及ぼさない領域としては、画素電極のエッジ付近が適している。つまり、画素電極のエッジ付近は液晶分子の配向状態を制御する力が弱いため、画素電極と対向する基板上に形成されたブラックマトリクスなどで遮光され、画層表示に用いないためである。さらにTFTに近い画素電極のエッジ付近であれば、ドレイン電極5のコンタクトホール12までの大きさを小さくでき、より表示に影響を及ぼさない。ドレイン電極5の一部は、半導体層8の外にはみ出しており、半導体層8の外にはみ出た部分が画素電極20に接続されている。即ち、前記コンタクトホール12を介して、ドレイン電極5と画素電極20が1ヶ所にて接続されている。
【0036】
図4は、本発明に係るアクティブマトリクス型の液晶表示素子の実施形態を示す模式的な部分断面図であり、一画素分を表している。
【0037】
基板21の外表面、及び基板25の外表面には、偏光板26、27が設けられている。この偏光板26、27は、例えば、ポリビニルアルコールの高分子フィルムにヨウ素化合物をドープしたものが用いられる。尚、基板25は、基板21と同様に絶縁されており、例えば、無アルカリガラス、無ソーダガラス、又は表面をソーダの流出を防ぐために保護膜で覆った普通ガラス等がにより形成されている。基板25の内表面には、カラーフィルタ28が形成されており、カラーフィルタ28を画素毎に区切るようにブラックマトリクス29が基板25の内表面に形成されている。このカラーフィルタ28、及びブラックマトリクス29の表面には、共通電極30が形成されており、共通電極30の表面には配向膜31が形成されている。又、基板21の内側は配向膜32が形成されている。これらの配向膜31、32は、例えば、ポリイミド樹脂により形成され、ラビング処理がなされている。配向膜31の内側には液晶層33が設けられており、当該液晶層33は、基板21と、当該基板21に対向して設けられ、共通電極30が形成された基板25との間に狭持された構成となっている。又、当該液晶層33は当該配向膜31、32により、一定方向に配向されている。基板21上には、図2、及び図3にて説明したTFT1が配置されており、ドレイン電極5は、配向膜32の下に形成された画素電極20に接続されている。又、画素電極20と基板21の間にはゲート絶縁膜22が形成されている。
【0038】
以上に説明した本発明の実施形態にかかるTFTを有するアクティブマトリクス型の液晶表示素子においては、以下に示す理由により、ソース・ゲート間、及びドレイン・ゲート間の寄生容量が小さくなるとともに、寄生容量の変動が抑制される。
【0039】
即ち、上述のごとく、ソース電極4は、ドレイン電極5を先端部5a側から受け入れるための凹部4aを2個有するH型形状をしており、又、細長形状を有するドレイン電極5は、その先端部5a側からソース電極4が有する2個の凹部4aに2方向から挿入されるものであるため、ソース電極4とドレイン電極5を同時に形成する際のマスク合わせのズレにより、ソース電極4の位置が、縦方向(即ち、ソース電極線2の長手方向)、又は横方向(即ち、ゲート電極線3の長手方向)に、又、ドレイン電極5の位置が横方向に多少ずれたとしても、ソース電極4とゲート電極6、及びドレイン電極5とゲート電極6の重なり面積は変わらず、その結果、寄生容量の変動が起こらない。従って、画素電極20の電位降下のバラツキが小さくなり、画像表示領域におけるTFTのフリッカ現象等を防止することができる。又、ドレイン電極5の位置が縦方向にずれた場合であっても、図2に示す様に、ゲート電極6の縁19、35がドレイン電極5の縁をその短辺方向に横切っているので、その横切り位置が縦方向にずれたとしても、ドレイン電極5とゲート電極6の全体的な重なり面積は変わらないと言える。従って、ドレイン電極5とゲート電極6の間の寄生容量の変動は抑制される。
【0040】
又、本実施形態においては、TFT付近の隙間を埋めるべく、ゲート電極6は、その四方の角において突出部15を有しており、この突出部15は、ソース電極線2の長手方向に沿って形成されいる。従って、光源であるバックライトを液晶パネルの背面に設置し、当該背面から光を照射する透過型の液晶表示素子において、ゲート電極6に形成された突出部15により、当該バックライトからの光のTFTへの侵入を遮断することができるので、半導体層8へのバックライトからの光の入射を効果的に防止でき、光電効果に伴う電子−正孔対の発生によるリーク電流を低減することができる。
【0041】
又、TFT1においては、ソース電極4は半導体層8と重なっている必要があり、上述したマスクずれを考慮して、半導体層8はソース電極4よりも一回り大きく形成する必要がある。しかし、半導体層8をあまり大きく形成してしまうと、半導体層8へのバックライトからの光の入射により、光リークが発生してしまう。そこで、当該半導体層8による光リークを抑えるために、半導体層8を小さくする必要があるが、本発明においては、ソース電極4をできるだけ小さく形成するために、当該ソース電極4の形状を2箇所の凹部4a有するH型形状とするとともに、ソース電極4の電極幅9を細く形成し、かつ、半導体層8の形状を、ソース電極4の外形に沿った形状としている。即ち、本発明においては、半導体層8は、この様に小さく形成されたソース電極4の外形に沿って形成されているため、半導体層8を小さく形成することができる。従って、当該半導体層8による光リークを効果的に抑えることができる。
【0042】
又、ゲート電極6に突出部15を形成することにより、ソース電極4、ドレイン電極5、及び半導体層8がゲート電極6上に収まる構造となるため、TFT1における段差が少なくなり、結果として、ソース電極4、及びドレイン電極5の幅を細く形成しても、断線の可能性が小さくなる。
【0043】
尚、上述のごとく、半導体層8は、ゲート電極6からはみ出して、ゲート電極6には重ならないがドレイン電極5とは重なる突出部13と、ゲート電極6からはみ出して、ゲート電極6には重ならないが連結部7とは重なる突出部16を有しているが、当該突出部13、16を設けることにより、ソース電極4とドレイン電極5を同時に形成する際のマスク合わせのズレが生じた場合であっても、突出部13によりドレイン電極5とゲート電極6の間の寄生容量を、又、突出部16によりソース電極4とゲート電極6の間の寄生容量を一定に保つことができる。
【0044】
又、本来、ドレイン電極5のうち、チャネル領域を形成するドレイン領域(即ち、ソース電極4における凹部4aが形成されたH型形状部分に挿入される部分)は、ゲート電極6、及び半導体層8と重なりを有する必要があるが、チャネル領域の形成に関与しない部分が、ゲート電極6と重なってしまうと、寄生容量が増加してしまい、液晶表示に悪影響を及ぼしてしまう。又、ドレイン電極5のうち、チャネル領域の形成に関与しない部分が、ゲート電極6と重なってしまうと、マスク合わせのズレが生じた場合に、ドレイン電極5とゲート電極6の重なり面積の補償(即ち、ドレイン電極5、又はゲート電極6のどちらか一方の面積が増加した場合に、他方の電極の面積を減少させることによる重なり面積の調整)を行うことができない。本実施形態においては、ソース電極4において、チャネル領域を形成するソース領域(即ち、ソース電極4における凹部4aが形成された領域)に下方向から挿入するドレイン電極5のうち、半導体層8からはみ出して形成されている部分と重なるゲート電極6の領域をカットし、当該カット部分を切り欠き部18としている。即ち、上記切り欠き部18を形成することにより、ドレイン電極5のうち、チャネル領域の形成に関与しない部分が、ゲート電極6と不要に重ならない構造としている。この構造とすることで、ドレイン電極5とゲート電極6の間の寄生容量を減少することができるとともに、液晶表示への悪影響を低減することができる。
【0045】
又、ソース電極4とゲート電極6の間の寄生容量、及びドレイン電極5とゲート電極6の間の寄生容量を小さくするためには、各々、ソース電極4とゲート電極6の重なり面積、及びドレイン電極5とゲート電極6の重なり面積を小さくする必要がある。これは、画素電極20に電荷を供給後、TFTをOFFにすると、画素電極20の電位が数ボルト降下するが、ソース電極4、又はドレイン電極5の電極幅が大きいと、ゲート電極6との重なり面積が広くなってしまい、上記画素電極20の電位降下が大きくなってしまうからである。特に、ドレイン電極5とゲート電極6は別工程で作成されるため、重複部分にバラツキが生じ易く、その結果、ドレイン電極5とゲート電極6の重なり面積にムラが生じてしまう。このドレイン電極5とゲート電極6の重なり面積のムラは、画素電極20への供給電圧にそのまま影響し、その結果、各画素毎に電位の低下幅にバラツキが生じてしまい、表示特性が低下するという弊害が生じる。本実施形態においては、上述のごとく、ドレイン電極5の電極幅10を小さく形成し、ドレイン電極5を細長形状とすることにより、各TFTにおけるドレイン電極5とゲート電極6の重なり面積のムラを少なくすることができ、その結果、画素電極20の電位降下のバラツキを小さすることができるとともに、画像表示領域におけるTFTのフリッカ現象等を防止することができる。
【0046】
又、上述のごとく、ソース電極4の電極幅9は細く形成されており、ドレイン電極5の電極幅10よりも小さく形成されている。ソース電極4の形状をこの様な形状にすることにより、ソース電極4を小さく形成することが可能となるため、ソース電極5とゲート電極6の重なり面積のムラを少なくすることができ、その結果、画素電極20の電位降下のバラツキを小さくすることができるとともに、画像表示領域におけるTFTのフリッカ現象等を防止することができる。
【0047】
又、コンタクトホールの面積は大きい方がドレイン電極と画素電極との接続が確実になるが、一般に、ドレイン電極はCrやAl等の不透明な金属により形成されいるため、コンタクトホールの面積を大きく形成すると、ドレイン電極と画素電極の重なり面積が大きくなってしまい、画素電極に要求される光透過率特性に悪影響を及ぼしてしまいうとともに、カラーフィルタの色設定が困難になってしまう。従って、通常、ドレイン電極と画素電極の接続ヶ所を2ヶ所設けることにより、コンタクトホールの面積を小さく形成している。しかしながら、この様にコンタクトホールの面積を小さく形成してしまうと、ドレイン電極と画素電極との確実な接続が困難になるという不都合が生じてしまう。本発明においては、上述のごとく、画素電極20のうち、画像表示に影響を及ぼさない領域にコンタクトホール12を1つだけ形成し、かつ、当該コンタクトホール12を介してドレイン電極5と画素電極20を1ヶ所にて接続することにより、ドレイン電極5と画素電極20の重なり面積が小さくなるのを回避しつつ、画素電極20に要求される光透過率特性、及びカラーフィルタの色設定に悪影響を及ぼすことなく、ドレイン電極5と画素電極20を確実に接続することができる。
【0048】
又、本実施形態においては、上述のごとく、ソース電極4とソース電極線2を接続する連結部7の幅は、ソース電極4の電極幅9よりも小さく形成されている。即ち、ソース電極4とソース電極線2を接続する連結部7の幅が細く形成されている。この構成によれば、ソース電極4を形成する際のマスク合わせのズレにより、ソース電極4の位置が、横方向(即ち、ゲート電極線3の長手方向)に多少ずれたとしても、当該連結部7とゲート電極6の重なり面積は小さいため、寄生容量の変動を少なくすることができる。
【0049】
尚、本発明は、上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形をすることが可能であり、それらを本発明の範囲から除外するものではない。
【0050】
例えば、上記の実施形態においては、アクティブマトリクスタイプのカラー液晶表示素子でもって説明しているが、STN型モノクロ、カラー単純マトリクスタイプの液晶表示素子であっても、あるいはTN型単純マトリクスタイプの液晶表示素子やTN型アクティブマトリクスタイプなどのツイストネマチック型のモノクロ、カラー液晶表示素子、双安定型単純マトリクスタイプのモノクロ、カラー液晶表示素子であっても同様の作用効果が得られる。
【0051】
又、上記の実施形態においては、TFTの構造を逆スタガ型として説明したが、それ以外の種類のTFT、例えば、トップゲート構造をとる正スタガ型のTFTとしてもよい。
【0052】
【発明の効果】
以上、詳細に説明した様に、本発明の液晶表示素子によれば、ソース電極とドレイン電極の形状、及び電極幅を工夫することにより、寄生容量の変動を抑制することができるため、マスクアライメント誤差に起因するフリッカ現象を軽減することができる。又、TFT付近の隙間を埋めるべく、ゲート電極は、その四方の角において突出部を有しているため、透過型の液晶表示素子において、バックライト光のTFTへの侵入を遮断することができ、その結果、光電効果に伴う電子−正孔対の発生によるリーク電流を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態に係るTFTを用いた液晶表示素子の基本的構成を示す平面図である。
【図2】本発明の実施形態に係るアレイ基板上のTFTの一画素部分の構造を示す平面図である。
【図3】図2のA−A断面図である。
【図4】本発明の実施形態に係るアクティブマトリクス型の液晶表示素子を示す模式的な部分断面図である。
【符号の説明】
1:TFT
2:ソース電極線
3:ゲート電極線
4:ソース電極
4a:凹部
5:ドレイン電極
5a:先端部
6:ゲート電極
7:連結部
8:半導体層
13、15、16:突出部
18:切り欠き部
21、25:絶縁基板
22:ゲート絶縁膜
24:絶縁膜
26、27:偏光板
28:カラーフィルタ
29:ブラックマトリクス
30:共通電極
31、32:配向膜
33:液晶層
Claims (8)
- 第1の絶縁基板上でゲート電極、半導体層、ソース電極及びドレイン電極、及び絶縁膜から構成される薄膜トランジスタを、ゲート電極線、及びソース電極線の交点付近に配置してマトリックス状にし、前記第1の絶縁基板と、前記第1の絶縁基板に対向して設けられ、共通電極が形成された第2の絶縁基板との間に液晶を狭持してなる液晶表示素子において、前記ソース電極と前記ドレイン電極は前記ソース電極線の長手方向に沿って並べられ、かつ、前記ソース電極は2個の凹部を有するH型形状をしており、前記ドレイン電極は前記2個の凹部に2方向から挿入される細長形状であることを特徴とする液晶表示素子。
- 前記半導体層は、前記ソース電極の外形に沿った形状を有するとともに、前記ゲート電極からはみ出して、前記ゲート電極には重ならないが前記ドレイン電極とは重なる第1の突出部を有し、前記ゲート電極は、前記第1の突出部に隣接して第2の突出部を有することを特徴とする請求項1に記載の液晶表示素子。
- 前記第1、第2の突出部は、前記ソース電極線の長手方向に沿って形成されていることを特徴とする請求項2に記載の液晶表示素子。
- 前記ソース電極と前記ソース電極線は、前記ソース電極の電極幅よりも小さい幅を有する連結部により接続されており、前記半導体層は、前記ゲート電極からはみ出して、前記ゲート電極には重ならないが前記連結部とは重なる第3の突出部を更に有することを特徴とする請求項2に記載の液晶表示素子。
- 前記連結部の幅は、前記ソース電極の電極幅よりも小さいことを特徴とする請求項4に記載の液晶表示素子。
- 前記ソース電極の電極幅は、前記ドレイン電極の電極幅よりも小さいことを特徴とする請求項1または2に記載の液晶表示素子。
- 前記ゲート電極には、前記ドレイン電極と重ならない寄生容量低減用の切り欠き部が形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の液晶表示素子。
- 前記ソース電極線と前記ゲート電極線によって区画される領域には画素電極が配置されており、かつ、前記画素電極のうち、画像表示に影響を及ぼさない領域にコンタクトホールが1つ形成されており、前記コンタクトホールを介して前記ドレイン電極と前記画素電極が1ヶ所にて接続されていることを特徴とする請求項1または2に記載の液晶表示素子。
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