JP2004134436A - 混成集積回路装置およびその製造方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】リード15がパッド17に固着される箇所で、リード15と回路基板とが電気的に接続される混成集積回路装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】金属から成る回路基板11と、回路基板11上に構成された電気回路と、回路基板11の周辺部付近に設けたパッド17と、パッド17に固着される複数のリード15とを有し、接地電位となるリード15を、リード15が回路基板11に固着される箇所で、回路基板11に設けたホール18を介して回路基板11と電気的に接続する。
【選択図】 図1

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は混成集積回路装置およびその製造方法に関し、特に、リードが導電パターンに固着される箇所で、金属基板とリードとの電気的な接続が行われる混成集積回路装置およびその製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
図10を参照して、従来の混成集積回路装置100の構成を説明する。図10(A)は従来の混成集積回路装置100の平面図であり、図10(B)は導電パターン102が金属基板101に接地される箇所の断面図である。
【0003】
図10(A)を参照して、従来の混成集積回路装置100の構成を説明する。アルミニウム等の金属から成る金属基板101の表面には、絶縁層110を介して導電パターン102が形成されており、導電パターン102の所定の箇所に回路素子105が実装されることにより所望の混成集積回路が実現されている。ここで、回路素子105としては、IC、チップ抵抗、チップコンデンサ、パワートランジスタ等が採用され、フェイスアップで実装されるトランジスタは金属細線103を介して導電パターン102と電気的に接続されている。導電パターン102から成るパッド102Aは、金属基板101の1側辺に複数個が形成され、この箇所には、半田等のロウ材を介してリードが固着される。また、接地電位となる導電パターン102は、金属基板101と電気的に接続される。
【0004】
図10(B)を参照して、導電パターン102と金属基板101が接続される箇所の構成に関して説明する。接地電位となる導電パターン102と金属基板101との電気的接続は、露出部108と導電パターン102を金属細線103で接続することにより行われる。露出部108は、金属基板101の表面が露出するように、絶縁層110および金属基板101をエンドミルで掘削することにより形成される。また、金属細線103がボンディングされる導電パターン102の表面はメッキ109が施されている。上記のように接地電位となる導電パターン102と金属細線103を接続することにより、絶縁層101を介して絶縁された導電パターン102と金属基板101との間に容量が発生するのを防止することができる。
【0005】
次に、図11を参照して混成集積回路装置100の製造方法を簡単に説明する。導電パターン102を形成する工程、回路素子105を実装する工程および金属細線103により電気的接続を行う工程を経て短冊状の金属基板112には、複数個の混成集積回路が形成されている。そして、プレス機を用いた「打ち抜き」により、点線で示す箇所で個々の回路基板113を金属基板112から分離する。その後、個々の回路基板113のパッド102A上にリードを固着する工程、回路を封止する工程等を経て混成集積回路装置が完成する(例えば、特許文献1を参照)。
【0006】
【特許文献1】
特開2000−12987号公報(第4頁、第1図)
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述したような混成集積回路装置とその製造方法は以下に示すような問題を有していた。
【0008】
第1に、プレス機を用いて各回路基板113の分離を行った後にリードの固着を行っていたので、リードの固着を行う工程数が増加し、コストが高くなってしまう問題があった。
【0009】
第2に、接地電位となる導電パターン102と金属基板101との接続は、基板上に露出部108を形成する工程および金属細線103で導電パターン102ち露出部108とを接続する工程が必要であるので、このことが混成集積回路装置を製造する工程数の増加を招いていた。更に、露出部108を形成することより、回路の集積度が低下してしまう問題もあった。
【0010】
本発明は、上記した問題を鑑みて成されたものである。従って、本発明の主な目的は、リードがパッドに固着される箇所で、リードと回路基板とが電気的に接続される混成集積回路装置およびその製造方法を提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明は、第1に、金属から成る回路基板と、前記回路基板上に構成された電気回路と、前記回路基板の周辺部付近に設けたパッドと、前記パッドに固着される複数のリードとを有し、接地電位となる前記リードを、前記リードが前記回路基板に固着される箇所で、前記回路基板に設けたホールを介して前記回路基板と電気的に接続することを特徴とする。
【0012】
本発明は、第2に、接地電位となる前記リードは、前記回路基板に設けたホールに填め込むことにより、前記回路基板と電気的に接続されることを特徴とする。
【0013】
本発明は、第3に、接地電位となる前記リードは、前記回路基板に設けたホールに填め込まれたピンを介して、前記回路基板と電気的に接続されることを特徴とする。
【0014】
本発明は、第4に、少なくとも前記回路基板の表面が覆われるように、絶縁性樹脂で封止を行うことを特徴とする。
【0015】
本発明は、第5に、少なくとも前記回路基板の表面が覆われるように、ケース材で封止を行うことを特徴とする。
【0016】
本発明は、第6に、金属基板の表面に多数個の電気回路を構成する工程と、リードが固着される箇所の前記回路基板にホールを形成する工程と、リードフレームとして一体に保持された前記リードの、何れか1つの前記リードを前記ホールを介して固定することにより、前記リードフレームを前記回路基板に自立させる工程と、前記電気回路の境界線で前記回路基板を分離することにより個々の回路基板を分離する工程とを有することを特徴とする。
【0017】
本発明は、第7に、接地電位となる前記リードを、前記ホールを介して固定することを特徴とする。
【0018】
本発明は、第8に、前記リードを前記ホールに填め込むことで、前記リードフレームを自立させることを特徴とする。
【0019】
本発明は、第9に、曲折された前記リードの先端部を貫通させて、前記ホールにピンを填め込むことにより、前記リードフレームを自立させることを特徴とする。
【0020】
本発明は、第10に、前記導電パターン上の回路素子が固着される箇所および前記リードが固着される箇所にはロウ材が塗布され、前記ロウ材上に載置された回路素子および前記リードをリフロー工程で一括して固着することを特徴とする。
【0021】
本発明は、第11に、前記電気回路は前記回路基板上にマトリックス状に多数個が形成されることを特徴とする。
【0022】
本発明は、第12に、前記電気回路同士の境界線に対応する前記回路基板の裏面には溝が形成され、前記回路素子および前記リードの固着を行った後に、前記回路基板の表面から、前記溝が形成された箇所の前記回路基板の残りの厚み部分を除去して個別の回路基板に分離することを特徴とする。
【0023】
リードが導電パターンに固着される箇所で、接地電位となるリードと回路基板との電気的接続を行うことにより、従来例に於ける露出部等の形成を省いた回路を構成することができるので、表面に形成される回路の集積度を向上させることができる。更に、1枚の金属器板上に多数個の電気回路を構成して、各回路にリードを固着してから個々に分離することにより、リードの固着に係る工数を削減することができる。
【0024】
【発明の実施の形態】
(混成集積回路装置1を説明する第1の実施の形態)
図1を参照して、混成集積回路装置10の構成を説明する。図1(A)は混成集積回路装置1の斜視図であり、図1(B)および図1(C)は図1(A)の断面図である。
【0025】
本発明の混成集積回路装置10は、金属から成る回路基板11と、回路基板11上に構成された電気回路と、回路基板11の周辺部付近に設けたパッド17と、パッドに固着される複数のリード15とを有し、接地電位となるリード15を、リード15が回路基板11に固着される箇所で、回路基板11に設けたホール18を介して回路基板11と電気的に接続する構成と成っている。「尚、ここでは回路基板11の表面には酸化物が形成されているが、この酸化物は省略することも可能である。」
【0026】
回路基板11の材料としては、アルミや銅等の金属が採用される。また、回路基板11の材料として合金を採用しても良い。ここでは、アルミからなる回路基板11を採用し、例えばその両面はアルマイト処理されている。また、ここでは、回路基板11の側面は、傾斜の付いた構造となっている。
【0027】
絶縁層12は、回路基板11の表面に形成されており、導電パターン13と回路基板11とを絶縁させる働きを有する。また、回路素子14から発せられる熱を積極的に回路基板11に伝達させるために、絶縁層12にはアルミナが高充填されている場合もある。
【0028】
導電パターン13は、絶縁層12の表面に設けられており、銅等の金属から形成されている。導電パターン13の所定の箇所には回路素子14が固着され、回路基板11の1側辺には、導電パターン102から成るパッド17が形成されている。そして、パッド17には複数個のリード15が固着されている。
【0029】
回路素子14は、導電パターン13の所定の箇所に、半田等のロウ材を介して実装される。回路素子14としては、受動素子、能動素子または回路装置等を全般的に採用することができる。また、パワー系の素子を実装する場合は、導電パターン上に固着されたヒートシンク上にその素子が実装される。また、フェイスアップで実装されるトランジスタおよびICは、金属細線16を介して導電パターン13と電気的に接続されている。
【0030】
リード15は、導電パターン13より成るパッド17に固着されており、外部との入力・出力を行う働きを有する。パッド15には、多数個のリード15が固着されるが、1つのリード15は接地電位となるリードであり回路基板11と電気的に接続される。このように、接地電位となるリード15を回路基板11と電気的に接続することにより、絶縁層12で絶縁されている導電パターン13と回路基板11との間に容量が発生するのを防止することができる。本発明では、接地電位となるリード15と回路基板11との電気的接続を、リード15がパッド15に固着される箇所に形成されたホール18を介して行っている。ここで、ホール18はリード15が固着される箇所に形成され、回路基板11の一部および絶縁層12が貫通するように形成されている。具体的なリード15と回路基板11との電気的接続方法は図1(B)および図1(C)を参照して行う。
【0031】
図1(B)および図1(C)を参照して、接地電位となるリード15と回路基板11との電気的接続の構成を説明する。リード15と回路基板11とを電気的に接続する方法は、例えば2つの方法が考えられる。第1の方法はピン18を介してリード15と回路基板11とを電気的に接続する方法であり、第2の方法はリード15と回路基板11とを直に接続する方法である。
【0032】
図1(B)を参照して、上記した第1の方法では、接地電位となるリード15のパッド17に固着する箇所に、貫通孔が形成されている。そして、ピン18は、リード15の貫通孔およびホール18に填め込まれている。ここでは、接地電位となるリード15と回路基板11との電気的接続は、ピン18を介して行われている。また、ピン18による接続を確実に行うためにピン18の周辺に半田等のロウ材が塗布されても良い。更にまた、接地電位となるリード15が固着される箇所のパッド17は省いて構成されても良い。上記の説明では、ピン18を介してリード15と回路基板11とを電気的接続を行ったが、ピン18に替えてホール18に充填された半田等の導電性接着剤を用いることも可能である。
【0033】
図1(C)を参照して、第2の方法では、接地電位となるリード15の先端部がホール18に直に挿入されることにより、リード15と回路基板11との電気的接続が行われている。ここで、リード15の先端部がホール18に嵌合する様に、ホール18の大きさをリード15と同等に形成すると、リード15の先端部が隙間無くホールに填め込まれて、リード15と回路基板11との電気的接続を確実に行うことができる。更に、ホール18の径の大きさをリード15よりも大きく形成した場合は、挿入されたリード15の先端部とホール18との間に半田等のロウ材が充填されても良い。
【0034】
図2を参照して、回路基板11の表面に形成された電気回路を封止する方法の1例を説明する。
【0035】
図2(A)を参照して、回路基板11の裏面を除いた領域は、絶縁性樹脂19で封止されている。ここで使用する樹脂としては、トランスファーモールドで形成される熱硬化性樹脂や、インジェクションモールドで形成される熱可塑性樹脂を採用することができる。また、回路基板11の表面全域を封止するポッティング樹脂または、回路素子14およびその付近のみを封止するポッティング樹脂を採用しても良い。
【0036】
図2(B)を参照して、回路基板11の表面の電気回路は、ケース材20で封止されている。ケース材20としては金属および樹脂から成るものを採用することができる。ケース材20内部の空間は、樹脂で封止されても良い。また上記の説明では、リード15は回路基板11に対してほぼ平行に導出しているが、リード15を回路基板に対して垂直に導出させる場合もある。
【0037】
本発明の特徴は、リード15がパッド17に固着する箇所で、接地電位となるリード15と回路基板11との電気的接続を行うことにある。従来では、リード15と回路基板11とを電気的に接続するために、回路基板11の表面に形成される電気回路の中に露出部等を形成していたが、上記した本願の構成により露出部の形成等を省くことができる。即ち、従来例に於ける露出部108、パッドから露出部部品に延在する導電パターン102および導電パターン102と露出部108とを接続する金属細線103を除外した構成を実現している。このことから、回路基板11の表面に形成される電気回路の集積を向上させることができ、結果的に混成集積回路装置を小型化することができる。
【0038】
(混成集積回路装置の製造方法を説明する第2の実施の形態)
図3〜図9を参照して、混成集積回路装置の製造方法は、金属基板30の表面に多数個の電気回路を構成する工程と、リード15が固着される箇所の回路基板11にホール18を形成する工程と、リードフレーム33Aとして一体に保持されたリード15の、何れか1つのリード16をホール18を介して固定することにより、リードフレーム33Aを回路基板11に自立させる工程と、電気回路の境界線で回路基板11を分離することにより個々の回路基板11を分離する工程とを有する。このような各工程を以下にて説明する。
【0039】
第1工程:図3から図5参照
本工程は、金属基板30の表面に多数個の電気回路を構成する工程である。
【0040】
先ず、図3(A)を参照して、大判の金属基板30を用意する。例えば、大判の金属基板30の大きさは、数十センチ四方の大きさを有する矩形である。金属基板30としては、例えば両面がアルマイト処理されたアルミ基板を採用することができる。そして、金属基板30の表面には、表面に形成される導電パターンと金属基板とを絶縁させるために、絶縁層12が設けられている。また、導電パターンは、所望の電気回路が実現されるようにエッチング等で形成され、各回路基板の側辺部に対応する箇所には、導電パターンにより成るパッドが形成され、後の工程でパッド上にはリードフレームが固着される。
【0041】
図3(B)を参照して、Vカットソー31を高速で回転させて、ダイシングラインD1に沿って金属基板30の裏面に溝を形成する。ダイシングラインD1は格子状に設けられており、絶縁層12上に形成された個々の電気回路の境界線に対応している。
【0042】
次に、図4(A)および図4(B)を参照して、溝32が形成された金属基板30の形状を説明する。
【0043】
図4(A)を参照して、金属基板30の絶縁層12が設けられない面には、溝32が格子状に形成されている。本実施の形態では、V型の形状の刃先を有するVカットソー31を用いて溝を形成するので、溝32はV型の断面となる。また、溝32の中心線は、絶縁層12上に形成された個々の導電パターン13の境界線に対応している。
【0044】
図4(B)を参照して、溝32の形状等を説明する。ここでは、溝32はV型の断面に形成されている。そして、溝32の深さは、金属基板30の厚さよりも浅く成っている。従って、本工程では金属基板30は個々の回路基板11に分割されず、溝32の部分に対応する金属基板30の残りの厚み部分で連結されている。このことから、個々の回路基板11として分割するまでは、金属基板30は1枚のシート状のものとして扱うことができる。また、本工程に於いて、「バリ」が発生した場合は、高圧洗浄を行って「バリ」を除去する。
【0045】
次に、図5を参照して、各回路基板11上の導電パターン13の所望の箇所に回路素子14を固着して電気的接続を行う。ここで、実装される回路素子14としては、トランジスタやIC等の能動素子や、チップ抵抗器やチップコンデンサ等の受動素子を全般的に採用することができる。更に、ベアのトランジスタ等が樹脂封止された回路装置等が実装されても良い。また、フェイスアップで実装されたICやトランジスタは、金属細線16を介して導電パターン13と電気的に接続される。
【0046】
第2工程:図6参照
本工程は、リードが固着される箇所の前記回路基板にホール18を形成する工程である。
【0047】
各回路基板11の1側辺には、リード15を固着させるためのパッド17が形成されており、少なくとも何れか1つのパッドに対応する箇所にドリル等を用いてホール18を形成する。ホール18の径は、リード15が嵌合する程度の大きさに形成される。また、ホール18の深さは、少なくともパッド17および絶縁層21が貫通される程度に形成される。
【0048】
第3工程:図7および図8参照
本工程は、リードフレーム33として一体に保持されたリード15の、何れか1つのリード15をホール18を介して固定することにより、リードフレーム33を回路基板11に自立させる工程である。
【0049】
図7を参照して、リードフレーム33の形状を説明する。多数個のリード15は、先端部に設けたタイバー34により一体に保持されたリードフレーム33として供給される。回路基板11上のパッド17に固着されるリード15の先端部は、ほぼ直角に湾曲して形成されている。
【0050】
図7(A)を参照して、接地電位となるリード15Aは、先端部が湾曲に形成されず、直線的に延在している。このリード15Aの先端部が、回路基板11に設けられたホール18に填め込まれることにより、リード15Aと回路基板11との電気的接続は行われる。
【0051】
図7(B)を参照して、接地電位となるリード15Aは、他のリード15と同様に湾曲して形成されており、回路基板11上に固着される部分に貫通孔が形成されている。この場合は、回路基板11に設けたホール18に填め込まれるピンを介して、リード15Aと回路基板11との電気的接続は行われる。
【0052】
図8を参照して、図7に示したリードフレームを回路基板11に自立させる方法を説明する。
【0053】
図8(A)を参照して、ここでは図7(A)で説明したリードフレーム33Aが各回路基板11に自立している。前述したように、接地電位となるリード15Aは、直線状に形成されており、その先端部がホール18に填め込まれている。従って、接地電位となるリード15Aをホール18に填め込むことにより、リード15Aと回路基板11との電気的接続を行うと同時に、リードフレーム33Aを回路基板11上に自立させている。ホール18の径は、リード15とほぼ同等に形成されているので、リード15Aはホール18に嵌合して強固に填め込まれる。また、リード15Aがホール18から抜けてしまうのを防止するために、リード15Aがホール18に填め込まれる箇所に半田等のロウ材21を塗布する。なお、接地電位となるリード15A以外のリード15は、直角に折り曲げられた先端部が、パッド15に塗布されたロウ材17に当接している。
【0054】
図8(B)を参照して、ここでは、図7(B)で説明したリードフレーム33Bが各回路基板11に自立している。接地電位となるリード15Aの曲折された先端部付近には貫通孔が形成され、この貫通孔およびホール18に、ピン18が填め込まれている。従って、ピン18によりリード15Aと回路基板11との電気的接続を行うと同時に、リードフレーム33Aを回路基板11上に自立させている。リード15Aに設けた貫通孔およびホール18の径はピン18とほぼ同等であるので、ピン18は両者に嵌合して強固に結合される。更に、ピン18付近に半田等のロウ材21を塗布することにより、ピン18が抜けてしまうのを防止することができる。
【0055】
上記の様に、各回路基板11上に自立したリードフレーム33は、リフローの工程により、パッド17に塗布された半田を介して、パッド17に固着される。また、各回路基板の回路素子の固着も、リードフレーム33の固着を行うリフローの工程で同時に行うことができる。
【0056】
第4工程:図9参照
本工程は、電気回路の境界線で回路基板11を分離することにより個々の回路基板11を分離する工程である。
【0057】
本工程では、各回路基板11上に形成された電気回路の境界線に対応する箇所の金属基板を、丸カッター41を用いて切除することにより、各回路基板11に分離する。丸カッター41は、具体的には、金属基板30の絶縁層12が設けられた面の、溝32の中心線に対応する残りの厚み部分を押し切る。ここでは、溝32はV型の断面を有する。従って、溝32が最も深く形成された部分の、金属基板30の残りの厚み部分と絶縁層12とを、丸カッター41は切除することになる。ここで、丸カッター41は駆動力を有さず、支持部42を介して丸カッター41の外周部を押しつけながら、各回路基板11の境界線沿いに移動させることにより、丸カッター41は回転する。
【0058】
リードフレーム33は、各回路基板11の1側辺部に形成されており、外部に導出される部分のリードフレーム33は、回路基板11に対して垂直に延在している。従って、丸カッター41および支持部42は、リードフレーム33に接触すること無く、各回路基板11の分離を行うことができる。
【0059】
上記の工程で個別に分離された各回路基板11は、表面の電気回路を封止する工程等を経て、例えば図1に示すような混成集積回路装置として完成する。図9で、回路基板11に対して垂直に延在しているリード15は、所定の長さに調節されて、そのまま導出させても良い。また、図1に示すように、回路基板11に対してリード15が平行になるように、折り曲げ加工を行うこともできる。
【0060】
本発明の特徴は、大判の金属基板30にマトリックス状に電気回路を形成し、各回路基板11にリードフレーム33を固着させた後に、各回路基板11を分離することにある。リードフレーム33は、回路基板11に対して垂直に固着されている。従って、分離を行う丸カッター41がリードフレーム33に接触せずに、金属基板30を各回路基板11に分離することができる。また、リフローやレーザー等の非接触で加熱する工程により、各回路素子とリードフレーム33の固着を同時に行うことも可能である。従って工数の低減を行うことができる。
【0061】
【発明の効果】
本発明では、以下に示すような効果を奏することができる。
【0062】
第1に、本願では、接地電位となるリード15Aが、リード15が回路基板11に固着される箇所で、回路基板11と電気的に接続される。従って、従来例に於ける回路基板の露出部等を省いた構造を実現でき、表面に形成される電気回路の集積度を向上させることができる。
【0063】
第2に、本願の製造方法では、金属基板30にマトリックス状に電気回路を形成して、各回路基板11上にリードフレーム33を固着してから、個別の回路基板に分離している。従って、リードフレーム33の固着までを一括して処理できるので、生産性を向上させることができる。
【0064】
第3に、各回路基板11上に固着される回路素子14およびリードフレーム33を、リフローの工程で一括して固着することができる。従って、混成集積回路装置を製造する工数の低減を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の混成集積回路装置の斜視図(A)、断面図(B)、断面図(C)である。
【図2】本発明の混成集積回路装置の断面図(A)、断面図(B)である。
【図3】本発明の混成集積回路装置の製造方法を説明する平面図(A)、斜視図(B)である。
【図4】本発明の混成集積回路装置の製造方法を説明する斜視図(A)、断面図(B)である。
【図5】本発明の混成集積回路装置の製造方法を説明する断面図である。
【図6】本発明の混成集積回路装置の製造方法を説明する断面図である。
【図7】本発明の混成集積回路装置の製造方法を説明する斜視図(A)、斜視図(B)である。
【図8】本発明の混成集積回路装置の製造方法を説明する断面図(A)、断面図(B)である。
【図9】本発明の混成集積回路装置の製造方法を説明する断面図である。
【図10】従来の混成集積回路装置の平面図(A)、断面図(B)である。
【図11】従来の混成集積回路装置の製造方法を説明する平面図である。

Claims (12)

  1. 金属から成る回路基板と、前記回路基板上に構成された電気回路と、前記回路基板の周辺部付近に設けたパッドと、前記パッドに固着される複数のリードとを有し、
    接地電位となる前記リードを、前記リードが前記回路基板に固着される箇所で、前記回路基板に設けたホールを介して前記回路基板と電気的に接続することを特徴とする混成集積回路。
  2. 接地電位となる前記リードは、前記回路基板に設けたホールに填め込むことにより、前記回路基板と電気的に接続されることを特徴とする請求項1記載の混成集積回路装置。
  3. 接地電位となる前記リードは、前記回路基板に設けたホールに填め込まれたピンを介して、前記回路基板と電気的に接続されることを特徴とする請求項1記載の混成集積回路装置。
  4. 少なくとも前記回路基板の表面が覆われるように、絶縁性樹脂で封止を行うことを特徴とする請求項1記載の混成集積回路装置。
  5. 少なくとも前記回路基板の表面が覆われるように、ケース材で封止を行うことを特徴とする請求項1記載の混成集積回路装置。
  6. 金属基板の表面に多数個の電気回路を構成する工程と、
    リードが固着される箇所の前記回路基板にホールを形成する工程と、
    リードフレームとして一体に保持された前記リードの、何れか1つの前記リードを前記ホールを介して固定することにより、前記リードフレームを前記回路基板に自立させる工程と、
    前記電気回路の境界線で前記回路基板を分離することにより個々の回路基板を分離する工程とを有することを特徴とする混成集積回路装置の製造方法。
  7. 接地電位となる前記リードを、前記ホールを介して固定することを特徴とする請求項6記載の混成集積回路装置の製造方法。
  8. 前記リードを前記ホールに填め込むことで、前記リードフレームを自立させることを特徴とする請求項6記載の混成集積回路装置の製造方法。
  9. 曲折された前記リードの先端部を貫通させて、前記ホールにピンを填め込むことにより、前記リードフレームを自立させることを特徴とする請求項6記載の混成集積回路装置の製造方法。
  10. 前記導電パターン上の回路素子が固着される箇所および前記リードが固着される箇所にはロウ材が塗布され、前記ロウ材上に載置された回路素子および前記リードをリフロー工程で一括して固着することを特徴とする請求項6記載の混成集積回路装置の製造方法。
  11. 前記電気回路は前記回路基板上にマトリックス状に多数個が形成されることを特徴とする請求項6記載の混成集積回路装置の製造方法。
  12. 前記電気回路同士の境界線に対応する前記回路基板の裏面には溝が形成され、前記回路素子および前記リードの固着を行った後に、前記回路基板の表面から、前記溝が形成された箇所の前記回路基板の残りの厚み部分を除去して個別の回路基板に分離することを特徴とする請求項6記載の混成集積回路装置の製造方法。
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