JP2004103845A - 光共振器および波長管理モジュール - Google Patents
光共振器および波長管理モジュール Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004103845A JP2004103845A JP2002264053A JP2002264053A JP2004103845A JP 2004103845 A JP2004103845 A JP 2004103845A JP 2002264053 A JP2002264053 A JP 2002264053A JP 2002264053 A JP2002264053 A JP 2002264053A JP 2004103845 A JP2004103845 A JP 2004103845A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- optical resonator
- reflection surface
- management module
- wavelength
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
【課題】半導体レーザ装置に内蔵させることができ、しかもWDM方式における波長間隔の高密度化にも対応できる波長管理モジュールを提供する。
【解決手段】第1の反射面21と、第2の反射面22と、第3の反射面23を備えてなり、第1の反射面21で反射された光が、第3の反射面23で第2の反射面22に向かう方向へ反射され、かつ第2の反射面22で反射された光が、第3の反射面で第1の反射面21に向かう方向へ反射させるように構成された光共振器20と、第1の光路51を通る被測定光を第1の反射面21に入射させる入射手段(第1のビームスプリッタ32)と、第2の反射面22から出射された透過光の強度変化を検知する第1の検知手段(第1の光ダイオード35)を備えてなる波長管理モジュール30。
【選択図】 図1
【解決手段】第1の反射面21と、第2の反射面22と、第3の反射面23を備えてなり、第1の反射面21で反射された光が、第3の反射面23で第2の反射面22に向かう方向へ反射され、かつ第2の反射面22で反射された光が、第3の反射面で第1の反射面21に向かう方向へ反射させるように構成された光共振器20と、第1の光路51を通る被測定光を第1の反射面21に入射させる入射手段(第1のビームスプリッタ32)と、第2の反射面22から出射された透過光の強度変化を検知する第1の検知手段(第1の光ダイオード35)を備えてなる波長管理モジュール30。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体レーザ装置に内蔵させて用いるのに好適な波長管理モジュールおよび光共振器に関する。
【0002】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
波長分割多重方式(以下、WDM方式という)においては、複数の波長の信号光を使用するが、用いる信号光の波長間隔が高密度になると隣接波長の間隔が小さくなる。WDM方式における光源としては、一般的に半導体レーザ(以下、LDということもある。)が用いられるが、LD光源は経時変化や環境により出射光の中心波長の変動が発生し、これによって隣接波長とのクロストークが発生して混信が生じることがある。そこで、LD光源の発振波長を一定に保つために、例えば図2に示すような波長管理モジュールを使用した波長管理システムが用いられる。
【0003】
この図において、符号1はLD光源を備えた半導体レーザ装置(以下、LD装置ということもある。)、11は波長管理モジュールを示す。LD装置1はチップの温度またはLD光源に導入する電流値を制御することによってLD光源の発信波長が制御できるように構成されており、前者の場合はチップの温度を制御する手段(図示略)が設けられている。
LD装置1からの出射光は光カプラ2によって2つに分岐される。この光カプラ2により、例えば出射光の95%は信号光としてLN変調器3を介して伝送用の光ファイバに入射され、残りの5%はモニター用信号光として波長管理モジュール11へ入射される。
波長管理モジュール11では、まずコリメータ12でモニター用信号光を平行光としてハーフミラー13に入射させる。ハーフミラー13の透過光は光共振器(一般的にエタロンと呼ばれることもある。)14に入射され、光共振器14の透過光強度が第1の光ダイオード15で測定される。従来の光共振器14は、互いに平行な反射面が対向配置された構造を有し、例えば四角柱状のソリッドエタロンと呼ばれる光共振器が用いられる。
一方、ハーフミラー13の反射光は反射ミラー16を介して第2の光ダイオード17に導かれ、その光強度が測定される。
【0004】
光共振器14における光の透過率は波長依存性を有しており、例えば図3に示すような正弦波に近い波長−透過光強度特性を有する。したがって、光共振器14に入射されるモニター用信号光の波長が一定であれば、第1の光ダイオード15で測定される透過光強度は一定であり、モニター用信号光の波長に変化が生じた場合には、第1の光ダイオード15で測定される透過光強度の変化として現れる。
【0005】
また、LD光源からの出射光は強度が経時的に変化する場合があり、この場合には信号光の波長が一定であっても、第1の光ダイオード15で測定される透過光強度が変化してしまう。これについては、ハーフミラー13の反射光強度を第2の光ダイオードで測定した値が、LD光源からの出射光強度の変化に応じて変化するので、演算装置5において、第1の光ダイオード15で測定される光強度の値と、第2の光ダイオードで17測定される光強度の値とを用いて、出射光強度の変化による透過光強度の変化量が相殺されるように演算処理することによって、出射光(信号光)の波長変化による透過光強度の変化量がわかる。
そして、演算装置5からは、この演算処理後の透過光強度の変化量に基づいた波長変動量の検知結果が出力されるので、制御装置6では、波長変動量の検知結果が略ゼロになるように、すなわち演算処理後の透過光強度の変化量が略ゼロになるように、LD装置1の温度コントローラ又はLD導入電流値を制御して出射光(信号光)の波長を変化させる。
【0006】
ところで、近年では、波長管理モジュールをLD装置1に内蔵させることが提案されており(例えば特許文献1参照)、波長管理モジュールの小型化が強く要求されるようになっている。
【0007】
【特許文献1】
特開2002−171023号公報
【0008】
また、一方では、WDM方式における波長間隔の高密度化が進み、それに対応するために、図3に示される光共振器の波長−透過光強度特性における波長間隔Wが縮小される傾向にある。該波長間隔Wは光共振器におけるキャビティ長(反射面間の距離)に反比例するので、光共振器のキャビティ長を大きくすることによって、WDM方式における波長間隔の高密度化に対応することは可能である。しかしながら、そうすると光共振器のサイズが大きくなってしまうために、波長管理モジュールをLD装置1に内蔵させることが難しくなり、場合によっては、LD装置1を大きくしなければ波長管理モジュールを内蔵できないという問題があった。
【0009】
本発明は前記事情に鑑みてなされたもので、LD装置に内蔵させることができ、しかもWDM方式における波長間隔の高密度化にも対応できる波長管理モジュールおよび光共振器、ならびに該波長管理モジュールを内蔵した半導体レーザ装置を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために、本発明の光共振器は、第1の反射面と、第2の反射面と、第3の反射面を備えてなり、前記第1の反射面で反射された光が、前記第3の反射面で前記第2の反射面に向かう方向へ反射され、かつ前記第2の反射面で反射された光が、前記第3の反射面で前記第1の反射面に向かう方向へ反射されることを特徴とする。
前記第3の反射面が全反射面となっていることが好ましい。
前記第1の反射面を含む面と、前記第2の反射面を含む面と、前記第3の反射面を含む面とが、略二等辺三角柱の側面をなしていることが好ましい。
また、前記第1の反射面を含む面と前記第2の反射面を含む面とのなす角度が略直角であることがさらに好ましい。
本発明において、前記略二等辺三角柱であるとは、前記第1の反射面を含む面と前記第3の反射面を含む面とがなす角度、および前記第2の反射面を含む面と前記第3の反射面を含む面とがなす角度が互いに等しいか、またはわずかに異なる構成をいう。両角度の差は0.04°以内が好ましい。
本発明において、前記第1の反射面を含む面と前記第2の反射面を含む面とのなす角度が略直角であるとは、該角度が90°であるか、または90°よりわずかに大きい又は小さい構成をいう。該角度は90°±0.04°の範囲内が好ましい。
前記第1の反射面を含む面と前記第3の反射面を含む面とがなす角度、および前記第2の反射面を含む面と前記第3の反射面を含む面とがなす角度が互いに等しい構成とすると、図3に例示される光共振器の波長−透過光強度特性における透過光強度の最大値と最小値との比を大きくするうえで好ましい。
また、前記第1の反射面を含む面と前記第2の反射面を含む面とのなす角度が90°であると、光共振器への入射方向と出射方向とが垂直になるので、装置の組立上好ましい。
一方、前記第1の反射面を含む面と前記第3の反射面を含む面とがなす角度に対して、前記第2の反射面を含む面と前記第3の反射面を含む面とがなす角度がわずかに異なる構成、または前記第1の反射面を含む面と前記第2の反射面を含む面とのなす角度が90°より大きいか又は小さい構成とすると、外側から第1の反射面へ入射される光の入射位置によって反射面間で共振する際の光路長(キャビティ長)を調整できるという効果が得られる。
【0011】
また本発明の波長管理モジュールは、本発明の光共振器と、該光共振器の前記第1の反射面に被測定光を入射させる入射手段と、前記第2の反射面から出射される透過光の強度変化を検知する第1の検知手段を備えてなることを特徴とする。
前記被測定光の強度変化を検知する第2の検知手段を備えてなることが好ましい。
また本発明は、半導体レーザ光源を備えた半導体レーザ装置であって、該装置内における、前記半導体レーザ光源から出射されたレーザ光の光路上に、本発明の波長管理モジュールが設けられていることを特徴とする半導体レーザ装置を提供する。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る実施形態について説明する。
図1は本発明の波長管理モジュールの第1の実施形態を示したもので、上方から見た平面図である。図中符号30は波長管理モジュールを示す。また図中符号59は波長管理モジュール30が内蔵されているLD装置を示し、50はLD光源を示す。図1中の破線は被測定光の光路を示しており、本実施形態ではLD光源50から出射されたレーザ光の光路を示している。
本実施形態の波長管理モジュール30は、基台31上に、光共振器20、第1のビームスプリッタ32(入射手段)、第2のビームスプリッタ34、第1の光ダイオード(第1の検知手段)35、および第2の光ダイオード(第2の検知手段)36が設けられて概略構成されている。
【0013】
本実施形態における光共振器20は、底面が直角二等辺三角形からなる三角柱状の透明基材からなっている。3つの側面上にはそれぞれ反射膜が蒸着されており反射面となっている。第1の反射面21と第2の反射面22とがなす角度は90°で、第1の反射面21と第3の反射面23とがなす角度、および第2の反射面22と第3の反射面23とがなす角度がそれぞれ45°となるように設計されている。第1の反射面21および第2の反射面22の反射率は40〜90%の範囲内で設定されることが好ましい。第3の反射面23は好ましくは全反射面とされ、反射率は100%に近いほど好ましい。光共振器20は、一方の底面が基台31表面に密着して固定されている。
以下、基台31表面の法線方向をZ方向、Z方向に垂直で、かつ光共振器20の第1の反射面21に平行な方向をX方向、Z方向に垂直で、かつ光共振器20の第2の反射面22に平行な方向をY方向とする。
【0014】
光共振器20の第1の反射面21に隣接して第1のビームスプリッタ32が、該第1のビームスプリッタ32の入射面と、光共振器20の第1の反射面21とが略ハ字状になるように設けられている。第1のビームスプリッタ32は、X方向に沿って波長管理モジュール30を通過する被測定光の第1の光路51上に設けられている。そして、第1のビームスプリッタ32で、該被測定光の一部がY方向に平行な第2の光路52を通る分岐光に分岐され、この分岐光(被測定光の一部)が光共振器20の第1の反射面21に入射されるように構成されている。一方、該被測定光の他部は、第1の光路51に沿ってLD装置59から信号光として出射される。
【0015】
光共振器20の第2の反射面に隣接して第1の光ダイオード35が設けられている。そして、第1のビームスプリッタ32から第2の光路52を通って光共振器20の第1の反射面21に入射された分岐光は、第3の反射面23を介して、第1の反射面21と第2の反射面22との間で共振し、第2の反射面22から出射された透過光が第1の光ダイオード35の受光部35aに入射されるように構成されている。
ここで、第2の光路52を通る分岐光が光共振器20の一方の反射面21に入射される際の入射角は、該一方の反射面21に対して略垂直とされる。好ましくは垂直であるが、第1の反射面21および第2の反射面22の反射率が高くない場合(例えば60%以下)においては、光共振器20の透過光が第1の光ダイオード35の受光部35aに入射され、かつ透過特性が損なわれない範囲であれば、入射方向が第1の反射面21の法線方向に対して傾いていてもよい。
【0016】
また、第1の光路51上であって前記第1のビームスプリッタ32の前段に、第2のビームスプリッタ34が設けられている。該第2のビームスプリッタ34は、第1のビームスプリッタ32の入射面と、第2のビームスプリッタ34の入射面とが略ハ字状になるように設けられている。
そして、前記第1の光路51を通る被測定光が第2のビームスプリッタ34で分岐され、該分岐光(被測定光の一部)が第2の光ダイオード36の受光部36aに入射されるように構成されている。
図中符号53は、第2のビームスプリッタ34で分岐されて第2の光ダイオード36に入射される第3の光路を示しており、本実施形態ではY方向に平行である。
第1〜第3の光路51,52,53は、基台31表面に平行な同一平面上に存在している。
【0017】
本実施形態において、第1のビームスプリッタ32および第2のビームスプリッタ34として、平行平板が用いられている。このため、これら第1のビームスプリッタ32および第2のビームスプリッタ34をそれぞれ通過する前後で第1の光路51が一直線状にならず、Y方向に若干のずれが生じる。
そして該第1のビームスプリッタ32と第2のビームスプリッタ34とが略ハ字状に配置され、第1の光路51を通る被測定光が、第1のビームスプリッタ32を通過する際に生じる光路のずれと、第2のビームスプリッタ34を通過する際に生じる光路のずれとが、逆向きで同じずれ幅となるように構成されている。これにより、第1のビームスプリッタ42で生じる光路のずれは、第2のビームスプリッタ34で生じる光路のずれによって補償されるので、被測定光が波長管理モジュールを通過すると前と後とで光路ずれが生じるのが防止される。
【0018】
本実施形態の波長管理モジュール30は、LD装置59に内蔵させて用いることができ、その場合には、LD光源50から出射されるレーザ光の光路が、第1の光路51となるように位置決めされる。
【0019】
かかる構成の波長管理モジュール30を用いてLD光源50の波長管理を行う方法は、基本的には従来と同様である。
すなわち、図示しない演算装置において、第1の光ダイオード35で測定される光強度の値と、第2の光ダイオード36で測定される光強度の値とを用いて、LD光源50から出射されるレーザ光の強度変化による透過光強度の変化量が相殺されるように演算処理することによって、レーザ光の波長変化による透過光強度の変化を検出する。
そして、演算装置からは、この演算処理後の透過光強度の変化に基づいた波長変動量の検知結果が出力されるので、図示しない制御装置で、波長変動量の検知結果が略ゼロになるように、LD光源50の温度コントローラ又はLD導入電流値を制御して出射光の波長を変化させる。
演算装置および制御装置はLD装置59の外部に設けることができる。
【0020】
なお、本実施形態において、第1のビームスプリッタ32と第2のビームスプリッタ34として、平行平板以外のビームスプリッタを用いることもできる。例えばキューブハーフミラーを用いることができる。キューブハーフミラーはこれを通過する前後で光路のずれが生じないという利点を有し、平行平板は小型化が容易であるという利点を有する。
また、第2の光ダイオード36を設けない構成とすることも可能である。この場合はLD光源50から出射されるレーザ光(被測定光)の強度変化をモニターできないので、波長管理の精度は低下するが、波長管理モジュールをより小型化することができる。この場合、第2のビームスプリッタ34を設けなくてもよいが、そうすると、被測定光が第1のビームスプリッタ32を通過する際に生じる光路ずれが補償されなくなる。したがって、第2のビームスプリッタ34を設けない場合は、第1のビームスプリッタ32として、その通過前後で光路ずれを生じないキューブハーフミラー等を用いることが好ましい。
【0021】
本実施形態における光共振器20は、直角二等辺三角柱状であるので、従来の四角柱状の光共振器に比べて、反射面間で共振する際の光路長(キャビティ長)が同じであっても、底面積を小さくすることができる。したがって、従来に比べて光共振器の小型化を達成することができるので、これにより波長管理モジュールの小型化を図ることができる。
また、従来の四角柱状の光共振器にあっては、入射手段(ビームスプリッタ)と受光手段(光ダイオード)を、該光共振器をはさんで対向配置させる必要があったのに対し、本実施形態では、光共振器20への入射方向と、透過光の出射方向とが直交するので、第1のビームスプリッタ32(入射手段)と第1の光ダイオード35を直角に配置させることができる。したがって、第1のビームスプリッタ32と第1の光ダイオード35と光共振器20をコンパクトに配置させることが可能となり、これによっても波長管理モジュール30の小型化を図ることができる。
【0022】
このように、本実施形態によれば、波長管理モジュール30を小型化することができるので、LD装置59内に波長管理モジュール30を内蔵させる際の省スペース化を図ることができる。これにより、WDM方式における波長間隔の高密度化に対応して光共振器におけるキャビティ長を大きくする場合も、LD装置の大きさを変えずに、波長管理モジュールをLD装置に内蔵させることが可能となる。
また、本実施形態の波長管理モジュール30は、既存のLD装置において、LD光源から出射されるレーザ光の光路上に挿入しても、該レーザ光が波長管理モジュール30を通過する際に光路ずれを生じないので、LD光源の前方、すなわちLD装置におけるレーザ光の出射部とLD光源との間に内蔵させることができる。勿論、LD光源の後方に内蔵させることも可能である。
【0023】
また本実施形態では、特に、第1の光路51を通る被測定光が第1のビームスプリッタ32を通過する際に生じる光路のずれと、第2のビームスプリッタ34を通過する際に生じる光路のずれとが相殺されるように構成されているので、第1および第2のビームスプリッタ32,34として光路ずれを生じるものを用いても、被測定光が波長管理モジュール30を通過する前と後とで、光路にずれが生じるのを防止することができる。したがって、第1および第2のビームスプリッタ32,34を構成する光学素子の選択の幅が広くなり、小型化の点で有利な平行平板を用いることができる。
【0024】
なお、本実施形態において、光共振器20は、第1の反射面と、第2の反射面と、前記第1の反射面で反射された光を前記第2の反射面に向かう方向へ反射し、かつ前記第2の反射面で反射された光を前記第1の反射面に向かう方向へ反射する第3の反射面を有していればよく、光共振器20の形状を変更することができる。例えば、光共振器を三角柱以外の多角柱状とし、4以上からなる側面のうち、3つの側面をそれぞれ含む面が略直角二等辺三角柱の側面をなすように構成して、該3つの側面のうち略直角をなす2つの側面をそれぞれ前記第1の反射面および前記第2の反射面とし、残りの側面を前記第3の反射面としてもよい。具体例としては、三角柱状の光共振器20の底面を、該光共振器20内で共振する光路を確保できる範囲で、3つの頂角のうちの1以上を取り除いた多角形状としてもよい。例えば、光共振器20の、内角45°の頂角を含む三角形の部分(図中、斜線を付した部分)をカットした多角形状とすることができる。
【0025】
また、上記実施形態の変形例として、光共振器20の第1の反射面21の法線方向に対して第2の反射面22が傾斜している構成としてもよい。すなわち、上記実施形態では、第1の反射面と第2の反射面とがなす角度が90°に設計されていたが、この角度を90°より若干大きい略直角または90°より若干小さい略直角としてもよい。
かかる構成とすれば、被測定光の、第1の反射面21への入射位置が異なると、第3の反射面23を介して第1の反射面21と第2の反射面22との間で共振する光の光路長(キャビティ長)が変わり、光共振器の透過特性が変わるので、個々の光共振器について、第1の反射面21への入射位置を調整することにより透過特性を微調整することが可能となる。したがって、製造上の精度の限界等により個々の光共振器に透過特性のばらつきがあっても、波長管理モジュールを組み立てる際に、光共振器の透過特性を微調整することができるので、光共振器の歩留まりが向上し、低コスト化を図ることができる。
この場合、光共振器としての機能を保持しつつ、入射位置の制御による透過特性の微調整を効果的に行えるようにするためには、第1の反射面21と第2の反射面とがなす角度は、90°±0.04°の範囲内とすることが好ましく、90.02°±0.01°の範囲内がより好ましい。また第1の反射面21および第2の反射率22はそれぞれ40〜60%であることが好ましい。
【0026】
なお、上記の実施形態において、光共振器20の第1の反射面21と第2の反射面22とが垂直であっても、第1の反射面21への入射方向を制御することによって、光共振器20の透過特性の微調整を行うことが可能である。
具体的には、光共振器20を、X−Y平面内で回転させて第1の反射面21への入射角度を変化させることによって、該光共振器20内で共振する光の光路を変化させることができるので、これにより光共振器20の透過特性を微調整することができる。
このように光共振器20を回転させると、透過光の出射方向が変化するが、この場合、第1の光ダイオード35の位置を調整することによって光路の変化に対応することができる。
【0027】
また、第1の反射面を含む面と、第2の反射面を含む面と、第3の反射面を含む面とが側面をなす多角柱は、必ずしも略直角二等辺三角柱でなくてもよく、二等辺三角柱であれば、光共振器を構成することが可能であり、これを用いて波長管理モジュールおよび半導体装置を構成することが可能である。
【0028】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、光共振器を小型化できるので、これによって波長管理モジュールを小型化することができる。したがって、LD装置内に波長管理モジュールを内蔵させる際の省スペース化を図ることができるので、WDM方式における波長間隔の高密度化に対応するために光共振器のキャビティ長を大きくする場合にも、波長管理モジュール内蔵型のLD装置を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る波長管理モジュールの一実施形態を示す平面図である。
【図2】従来のLD装置の波長管理システムの例を示した概略構成図である。
【図3】光共振器における透過率の波長依存性の例を示すグラフである。
【符号の説明】
20…光共振器、
21…第1の反射面、
22…第2の反射面、
23…第3の反射面、
30…波長管理モジュール、
32…第1のビームスプリッタ(入射手段)、
34…第2のビームスプリッタ、
35…第1の光ダイオード(第1の検知手段)、
36…第2の光ダイオード(第2の検知手段)、
51…第1の光路(被測定光)。
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体レーザ装置に内蔵させて用いるのに好適な波長管理モジュールおよび光共振器に関する。
【0002】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
波長分割多重方式(以下、WDM方式という)においては、複数の波長の信号光を使用するが、用いる信号光の波長間隔が高密度になると隣接波長の間隔が小さくなる。WDM方式における光源としては、一般的に半導体レーザ(以下、LDということもある。)が用いられるが、LD光源は経時変化や環境により出射光の中心波長の変動が発生し、これによって隣接波長とのクロストークが発生して混信が生じることがある。そこで、LD光源の発振波長を一定に保つために、例えば図2に示すような波長管理モジュールを使用した波長管理システムが用いられる。
【0003】
この図において、符号1はLD光源を備えた半導体レーザ装置(以下、LD装置ということもある。)、11は波長管理モジュールを示す。LD装置1はチップの温度またはLD光源に導入する電流値を制御することによってLD光源の発信波長が制御できるように構成されており、前者の場合はチップの温度を制御する手段(図示略)が設けられている。
LD装置1からの出射光は光カプラ2によって2つに分岐される。この光カプラ2により、例えば出射光の95%は信号光としてLN変調器3を介して伝送用の光ファイバに入射され、残りの5%はモニター用信号光として波長管理モジュール11へ入射される。
波長管理モジュール11では、まずコリメータ12でモニター用信号光を平行光としてハーフミラー13に入射させる。ハーフミラー13の透過光は光共振器(一般的にエタロンと呼ばれることもある。)14に入射され、光共振器14の透過光強度が第1の光ダイオード15で測定される。従来の光共振器14は、互いに平行な反射面が対向配置された構造を有し、例えば四角柱状のソリッドエタロンと呼ばれる光共振器が用いられる。
一方、ハーフミラー13の反射光は反射ミラー16を介して第2の光ダイオード17に導かれ、その光強度が測定される。
【0004】
光共振器14における光の透過率は波長依存性を有しており、例えば図3に示すような正弦波に近い波長−透過光強度特性を有する。したがって、光共振器14に入射されるモニター用信号光の波長が一定であれば、第1の光ダイオード15で測定される透過光強度は一定であり、モニター用信号光の波長に変化が生じた場合には、第1の光ダイオード15で測定される透過光強度の変化として現れる。
【0005】
また、LD光源からの出射光は強度が経時的に変化する場合があり、この場合には信号光の波長が一定であっても、第1の光ダイオード15で測定される透過光強度が変化してしまう。これについては、ハーフミラー13の反射光強度を第2の光ダイオードで測定した値が、LD光源からの出射光強度の変化に応じて変化するので、演算装置5において、第1の光ダイオード15で測定される光強度の値と、第2の光ダイオードで17測定される光強度の値とを用いて、出射光強度の変化による透過光強度の変化量が相殺されるように演算処理することによって、出射光(信号光)の波長変化による透過光強度の変化量がわかる。
そして、演算装置5からは、この演算処理後の透過光強度の変化量に基づいた波長変動量の検知結果が出力されるので、制御装置6では、波長変動量の検知結果が略ゼロになるように、すなわち演算処理後の透過光強度の変化量が略ゼロになるように、LD装置1の温度コントローラ又はLD導入電流値を制御して出射光(信号光)の波長を変化させる。
【0006】
ところで、近年では、波長管理モジュールをLD装置1に内蔵させることが提案されており(例えば特許文献1参照)、波長管理モジュールの小型化が強く要求されるようになっている。
【0007】
【特許文献1】
特開2002−171023号公報
【0008】
また、一方では、WDM方式における波長間隔の高密度化が進み、それに対応するために、図3に示される光共振器の波長−透過光強度特性における波長間隔Wが縮小される傾向にある。該波長間隔Wは光共振器におけるキャビティ長(反射面間の距離)に反比例するので、光共振器のキャビティ長を大きくすることによって、WDM方式における波長間隔の高密度化に対応することは可能である。しかしながら、そうすると光共振器のサイズが大きくなってしまうために、波長管理モジュールをLD装置1に内蔵させることが難しくなり、場合によっては、LD装置1を大きくしなければ波長管理モジュールを内蔵できないという問題があった。
【0009】
本発明は前記事情に鑑みてなされたもので、LD装置に内蔵させることができ、しかもWDM方式における波長間隔の高密度化にも対応できる波長管理モジュールおよび光共振器、ならびに該波長管理モジュールを内蔵した半導体レーザ装置を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために、本発明の光共振器は、第1の反射面と、第2の反射面と、第3の反射面を備えてなり、前記第1の反射面で反射された光が、前記第3の反射面で前記第2の反射面に向かう方向へ反射され、かつ前記第2の反射面で反射された光が、前記第3の反射面で前記第1の反射面に向かう方向へ反射されることを特徴とする。
前記第3の反射面が全反射面となっていることが好ましい。
前記第1の反射面を含む面と、前記第2の反射面を含む面と、前記第3の反射面を含む面とが、略二等辺三角柱の側面をなしていることが好ましい。
また、前記第1の反射面を含む面と前記第2の反射面を含む面とのなす角度が略直角であることがさらに好ましい。
本発明において、前記略二等辺三角柱であるとは、前記第1の反射面を含む面と前記第3の反射面を含む面とがなす角度、および前記第2の反射面を含む面と前記第3の反射面を含む面とがなす角度が互いに等しいか、またはわずかに異なる構成をいう。両角度の差は0.04°以内が好ましい。
本発明において、前記第1の反射面を含む面と前記第2の反射面を含む面とのなす角度が略直角であるとは、該角度が90°であるか、または90°よりわずかに大きい又は小さい構成をいう。該角度は90°±0.04°の範囲内が好ましい。
前記第1の反射面を含む面と前記第3の反射面を含む面とがなす角度、および前記第2の反射面を含む面と前記第3の反射面を含む面とがなす角度が互いに等しい構成とすると、図3に例示される光共振器の波長−透過光強度特性における透過光強度の最大値と最小値との比を大きくするうえで好ましい。
また、前記第1の反射面を含む面と前記第2の反射面を含む面とのなす角度が90°であると、光共振器への入射方向と出射方向とが垂直になるので、装置の組立上好ましい。
一方、前記第1の反射面を含む面と前記第3の反射面を含む面とがなす角度に対して、前記第2の反射面を含む面と前記第3の反射面を含む面とがなす角度がわずかに異なる構成、または前記第1の反射面を含む面と前記第2の反射面を含む面とのなす角度が90°より大きいか又は小さい構成とすると、外側から第1の反射面へ入射される光の入射位置によって反射面間で共振する際の光路長(キャビティ長)を調整できるという効果が得られる。
【0011】
また本発明の波長管理モジュールは、本発明の光共振器と、該光共振器の前記第1の反射面に被測定光を入射させる入射手段と、前記第2の反射面から出射される透過光の強度変化を検知する第1の検知手段を備えてなることを特徴とする。
前記被測定光の強度変化を検知する第2の検知手段を備えてなることが好ましい。
また本発明は、半導体レーザ光源を備えた半導体レーザ装置であって、該装置内における、前記半導体レーザ光源から出射されたレーザ光の光路上に、本発明の波長管理モジュールが設けられていることを特徴とする半導体レーザ装置を提供する。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る実施形態について説明する。
図1は本発明の波長管理モジュールの第1の実施形態を示したもので、上方から見た平面図である。図中符号30は波長管理モジュールを示す。また図中符号59は波長管理モジュール30が内蔵されているLD装置を示し、50はLD光源を示す。図1中の破線は被測定光の光路を示しており、本実施形態ではLD光源50から出射されたレーザ光の光路を示している。
本実施形態の波長管理モジュール30は、基台31上に、光共振器20、第1のビームスプリッタ32(入射手段)、第2のビームスプリッタ34、第1の光ダイオード(第1の検知手段)35、および第2の光ダイオード(第2の検知手段)36が設けられて概略構成されている。
【0013】
本実施形態における光共振器20は、底面が直角二等辺三角形からなる三角柱状の透明基材からなっている。3つの側面上にはそれぞれ反射膜が蒸着されており反射面となっている。第1の反射面21と第2の反射面22とがなす角度は90°で、第1の反射面21と第3の反射面23とがなす角度、および第2の反射面22と第3の反射面23とがなす角度がそれぞれ45°となるように設計されている。第1の反射面21および第2の反射面22の反射率は40〜90%の範囲内で設定されることが好ましい。第3の反射面23は好ましくは全反射面とされ、反射率は100%に近いほど好ましい。光共振器20は、一方の底面が基台31表面に密着して固定されている。
以下、基台31表面の法線方向をZ方向、Z方向に垂直で、かつ光共振器20の第1の反射面21に平行な方向をX方向、Z方向に垂直で、かつ光共振器20の第2の反射面22に平行な方向をY方向とする。
【0014】
光共振器20の第1の反射面21に隣接して第1のビームスプリッタ32が、該第1のビームスプリッタ32の入射面と、光共振器20の第1の反射面21とが略ハ字状になるように設けられている。第1のビームスプリッタ32は、X方向に沿って波長管理モジュール30を通過する被測定光の第1の光路51上に設けられている。そして、第1のビームスプリッタ32で、該被測定光の一部がY方向に平行な第2の光路52を通る分岐光に分岐され、この分岐光(被測定光の一部)が光共振器20の第1の反射面21に入射されるように構成されている。一方、該被測定光の他部は、第1の光路51に沿ってLD装置59から信号光として出射される。
【0015】
光共振器20の第2の反射面に隣接して第1の光ダイオード35が設けられている。そして、第1のビームスプリッタ32から第2の光路52を通って光共振器20の第1の反射面21に入射された分岐光は、第3の反射面23を介して、第1の反射面21と第2の反射面22との間で共振し、第2の反射面22から出射された透過光が第1の光ダイオード35の受光部35aに入射されるように構成されている。
ここで、第2の光路52を通る分岐光が光共振器20の一方の反射面21に入射される際の入射角は、該一方の反射面21に対して略垂直とされる。好ましくは垂直であるが、第1の反射面21および第2の反射面22の反射率が高くない場合(例えば60%以下)においては、光共振器20の透過光が第1の光ダイオード35の受光部35aに入射され、かつ透過特性が損なわれない範囲であれば、入射方向が第1の反射面21の法線方向に対して傾いていてもよい。
【0016】
また、第1の光路51上であって前記第1のビームスプリッタ32の前段に、第2のビームスプリッタ34が設けられている。該第2のビームスプリッタ34は、第1のビームスプリッタ32の入射面と、第2のビームスプリッタ34の入射面とが略ハ字状になるように設けられている。
そして、前記第1の光路51を通る被測定光が第2のビームスプリッタ34で分岐され、該分岐光(被測定光の一部)が第2の光ダイオード36の受光部36aに入射されるように構成されている。
図中符号53は、第2のビームスプリッタ34で分岐されて第2の光ダイオード36に入射される第3の光路を示しており、本実施形態ではY方向に平行である。
第1〜第3の光路51,52,53は、基台31表面に平行な同一平面上に存在している。
【0017】
本実施形態において、第1のビームスプリッタ32および第2のビームスプリッタ34として、平行平板が用いられている。このため、これら第1のビームスプリッタ32および第2のビームスプリッタ34をそれぞれ通過する前後で第1の光路51が一直線状にならず、Y方向に若干のずれが生じる。
そして該第1のビームスプリッタ32と第2のビームスプリッタ34とが略ハ字状に配置され、第1の光路51を通る被測定光が、第1のビームスプリッタ32を通過する際に生じる光路のずれと、第2のビームスプリッタ34を通過する際に生じる光路のずれとが、逆向きで同じずれ幅となるように構成されている。これにより、第1のビームスプリッタ42で生じる光路のずれは、第2のビームスプリッタ34で生じる光路のずれによって補償されるので、被測定光が波長管理モジュールを通過すると前と後とで光路ずれが生じるのが防止される。
【0018】
本実施形態の波長管理モジュール30は、LD装置59に内蔵させて用いることができ、その場合には、LD光源50から出射されるレーザ光の光路が、第1の光路51となるように位置決めされる。
【0019】
かかる構成の波長管理モジュール30を用いてLD光源50の波長管理を行う方法は、基本的には従来と同様である。
すなわち、図示しない演算装置において、第1の光ダイオード35で測定される光強度の値と、第2の光ダイオード36で測定される光強度の値とを用いて、LD光源50から出射されるレーザ光の強度変化による透過光強度の変化量が相殺されるように演算処理することによって、レーザ光の波長変化による透過光強度の変化を検出する。
そして、演算装置からは、この演算処理後の透過光強度の変化に基づいた波長変動量の検知結果が出力されるので、図示しない制御装置で、波長変動量の検知結果が略ゼロになるように、LD光源50の温度コントローラ又はLD導入電流値を制御して出射光の波長を変化させる。
演算装置および制御装置はLD装置59の外部に設けることができる。
【0020】
なお、本実施形態において、第1のビームスプリッタ32と第2のビームスプリッタ34として、平行平板以外のビームスプリッタを用いることもできる。例えばキューブハーフミラーを用いることができる。キューブハーフミラーはこれを通過する前後で光路のずれが生じないという利点を有し、平行平板は小型化が容易であるという利点を有する。
また、第2の光ダイオード36を設けない構成とすることも可能である。この場合はLD光源50から出射されるレーザ光(被測定光)の強度変化をモニターできないので、波長管理の精度は低下するが、波長管理モジュールをより小型化することができる。この場合、第2のビームスプリッタ34を設けなくてもよいが、そうすると、被測定光が第1のビームスプリッタ32を通過する際に生じる光路ずれが補償されなくなる。したがって、第2のビームスプリッタ34を設けない場合は、第1のビームスプリッタ32として、その通過前後で光路ずれを生じないキューブハーフミラー等を用いることが好ましい。
【0021】
本実施形態における光共振器20は、直角二等辺三角柱状であるので、従来の四角柱状の光共振器に比べて、反射面間で共振する際の光路長(キャビティ長)が同じであっても、底面積を小さくすることができる。したがって、従来に比べて光共振器の小型化を達成することができるので、これにより波長管理モジュールの小型化を図ることができる。
また、従来の四角柱状の光共振器にあっては、入射手段(ビームスプリッタ)と受光手段(光ダイオード)を、該光共振器をはさんで対向配置させる必要があったのに対し、本実施形態では、光共振器20への入射方向と、透過光の出射方向とが直交するので、第1のビームスプリッタ32(入射手段)と第1の光ダイオード35を直角に配置させることができる。したがって、第1のビームスプリッタ32と第1の光ダイオード35と光共振器20をコンパクトに配置させることが可能となり、これによっても波長管理モジュール30の小型化を図ることができる。
【0022】
このように、本実施形態によれば、波長管理モジュール30を小型化することができるので、LD装置59内に波長管理モジュール30を内蔵させる際の省スペース化を図ることができる。これにより、WDM方式における波長間隔の高密度化に対応して光共振器におけるキャビティ長を大きくする場合も、LD装置の大きさを変えずに、波長管理モジュールをLD装置に内蔵させることが可能となる。
また、本実施形態の波長管理モジュール30は、既存のLD装置において、LD光源から出射されるレーザ光の光路上に挿入しても、該レーザ光が波長管理モジュール30を通過する際に光路ずれを生じないので、LD光源の前方、すなわちLD装置におけるレーザ光の出射部とLD光源との間に内蔵させることができる。勿論、LD光源の後方に内蔵させることも可能である。
【0023】
また本実施形態では、特に、第1の光路51を通る被測定光が第1のビームスプリッタ32を通過する際に生じる光路のずれと、第2のビームスプリッタ34を通過する際に生じる光路のずれとが相殺されるように構成されているので、第1および第2のビームスプリッタ32,34として光路ずれを生じるものを用いても、被測定光が波長管理モジュール30を通過する前と後とで、光路にずれが生じるのを防止することができる。したがって、第1および第2のビームスプリッタ32,34を構成する光学素子の選択の幅が広くなり、小型化の点で有利な平行平板を用いることができる。
【0024】
なお、本実施形態において、光共振器20は、第1の反射面と、第2の反射面と、前記第1の反射面で反射された光を前記第2の反射面に向かう方向へ反射し、かつ前記第2の反射面で反射された光を前記第1の反射面に向かう方向へ反射する第3の反射面を有していればよく、光共振器20の形状を変更することができる。例えば、光共振器を三角柱以外の多角柱状とし、4以上からなる側面のうち、3つの側面をそれぞれ含む面が略直角二等辺三角柱の側面をなすように構成して、該3つの側面のうち略直角をなす2つの側面をそれぞれ前記第1の反射面および前記第2の反射面とし、残りの側面を前記第3の反射面としてもよい。具体例としては、三角柱状の光共振器20の底面を、該光共振器20内で共振する光路を確保できる範囲で、3つの頂角のうちの1以上を取り除いた多角形状としてもよい。例えば、光共振器20の、内角45°の頂角を含む三角形の部分(図中、斜線を付した部分)をカットした多角形状とすることができる。
【0025】
また、上記実施形態の変形例として、光共振器20の第1の反射面21の法線方向に対して第2の反射面22が傾斜している構成としてもよい。すなわち、上記実施形態では、第1の反射面と第2の反射面とがなす角度が90°に設計されていたが、この角度を90°より若干大きい略直角または90°より若干小さい略直角としてもよい。
かかる構成とすれば、被測定光の、第1の反射面21への入射位置が異なると、第3の反射面23を介して第1の反射面21と第2の反射面22との間で共振する光の光路長(キャビティ長)が変わり、光共振器の透過特性が変わるので、個々の光共振器について、第1の反射面21への入射位置を調整することにより透過特性を微調整することが可能となる。したがって、製造上の精度の限界等により個々の光共振器に透過特性のばらつきがあっても、波長管理モジュールを組み立てる際に、光共振器の透過特性を微調整することができるので、光共振器の歩留まりが向上し、低コスト化を図ることができる。
この場合、光共振器としての機能を保持しつつ、入射位置の制御による透過特性の微調整を効果的に行えるようにするためには、第1の反射面21と第2の反射面とがなす角度は、90°±0.04°の範囲内とすることが好ましく、90.02°±0.01°の範囲内がより好ましい。また第1の反射面21および第2の反射率22はそれぞれ40〜60%であることが好ましい。
【0026】
なお、上記の実施形態において、光共振器20の第1の反射面21と第2の反射面22とが垂直であっても、第1の反射面21への入射方向を制御することによって、光共振器20の透過特性の微調整を行うことが可能である。
具体的には、光共振器20を、X−Y平面内で回転させて第1の反射面21への入射角度を変化させることによって、該光共振器20内で共振する光の光路を変化させることができるので、これにより光共振器20の透過特性を微調整することができる。
このように光共振器20を回転させると、透過光の出射方向が変化するが、この場合、第1の光ダイオード35の位置を調整することによって光路の変化に対応することができる。
【0027】
また、第1の反射面を含む面と、第2の反射面を含む面と、第3の反射面を含む面とが側面をなす多角柱は、必ずしも略直角二等辺三角柱でなくてもよく、二等辺三角柱であれば、光共振器を構成することが可能であり、これを用いて波長管理モジュールおよび半導体装置を構成することが可能である。
【0028】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、光共振器を小型化できるので、これによって波長管理モジュールを小型化することができる。したがって、LD装置内に波長管理モジュールを内蔵させる際の省スペース化を図ることができるので、WDM方式における波長間隔の高密度化に対応するために光共振器のキャビティ長を大きくする場合にも、波長管理モジュール内蔵型のLD装置を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る波長管理モジュールの一実施形態を示す平面図である。
【図2】従来のLD装置の波長管理システムの例を示した概略構成図である。
【図3】光共振器における透過率の波長依存性の例を示すグラフである。
【符号の説明】
20…光共振器、
21…第1の反射面、
22…第2の反射面、
23…第3の反射面、
30…波長管理モジュール、
32…第1のビームスプリッタ(入射手段)、
34…第2のビームスプリッタ、
35…第1の光ダイオード(第1の検知手段)、
36…第2の光ダイオード(第2の検知手段)、
51…第1の光路(被測定光)。
Claims (7)
- 第1の反射面と、第2の反射面と、第3の反射面を備えてなり、前記第1の反射面で反射された光が、前記第3の反射面で前記第2の反射面に向かう方向へ反射され、かつ前記第2の反射面で反射された光が、前記第3の反射面で前記第1の反射面に向かう方向へ反射されることを特徴とする光共振器。
- 前記第3の反射面が全反射面となっていることを特徴とする請求項1記載の光共振器。
- 前記第1の反射面を含む面と、前記第2の反射面を含む面と、前記第3の反射面を含む面とが、略二等辺三角柱の側面をなしていることを特徴とする請求項1または2のいずれかに記載の光共振器。
- 前記第1の反射面を含む面と前記第2の反射面を含む面とのなす角度が略直角であることを特徴とする請求項3に記載の光共振器。
- 請求項1〜4のいずれかに記載の光共振器と、
該光共振器の前記第1の反射面に被測定光を入射させる入射手段と、
前記第2の反射面から出射される透過光の強度変化を検知する第1の検知手段を備えてなることを特徴とする波長管理モジュール。 - 前記被測定光の強度変化を検知する第2の検知手段を備えてなることを特徴とする請求項5に記載の波長管理モジュール。
- 半導体レーザ光源を備えた半導体レーザ装置であって、該装置内における、前記半導体レーザ光源から出射されたレーザ光の光路上に、請求項5または6のいずれかに記載の波長管理モジュールが設けられていることを特徴とする半導体レーザ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002264053A JP2004103845A (ja) | 2002-09-10 | 2002-09-10 | 光共振器および波長管理モジュール |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002264053A JP2004103845A (ja) | 2002-09-10 | 2002-09-10 | 光共振器および波長管理モジュール |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004103845A true JP2004103845A (ja) | 2004-04-02 |
Family
ID=32263596
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002264053A Pending JP2004103845A (ja) | 2002-09-10 | 2002-09-10 | 光共振器および波長管理モジュール |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004103845A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100751061B1 (ko) * | 2006-06-15 | 2007-08-21 | 금왕양조영농조합법인 | 복숭아 와인 제조방법 및 이를 이용해 제조된 복숭아 와인 |
KR101179204B1 (ko) * | 2010-02-16 | 2012-09-04 | 주식회사 포벨 | 파장 안정화 장치 |
-
2002
- 2002-09-10 JP JP2002264053A patent/JP2004103845A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100751061B1 (ko) * | 2006-06-15 | 2007-08-21 | 금왕양조영농조합법인 | 복숭아 와인 제조방법 및 이를 이용해 제조된 복숭아 와인 |
KR101179204B1 (ko) * | 2010-02-16 | 2012-09-04 | 주식회사 포벨 | 파장 안정화 장치 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3197869B2 (ja) | 波長可変レーザ光源装置 | |
JP2006210581A (ja) | レーザモジュール、レーザモジュールの制御装置、レーザモジュールの制御データ、光通信装置および外部共振型レーザの波長制御方法 | |
JP2004193545A (ja) | スペクトル依存性空間フィルタリングによるレーザの同調方法およびレーザ | |
JP2002523910A (ja) | 垂直キャビティ表面発光レーザのための回折性パワーモニタおよびシステム | |
US20010026574A1 (en) | External resonator type laser light source | |
US6661818B1 (en) | Etalon, a wavelength monitor/locker using the etalon and associated methods | |
TW201719109A (zh) | 光學共振腔之腔長量測裝置 | |
JP2004191349A (ja) | 大まかな測定および細密な測定から波長を決定する装置および方法 | |
EP3879643A1 (en) | Tunable laser assembly and method of control | |
KR20170098518A (ko) | 광센서 | |
US5956356A (en) | Monitoring wavelength of laser devices | |
EP1345298A1 (en) | Wavelength monitoring apparatus and method therefor | |
JP2004020564A (ja) | 安定なファブリペロー干渉計 | |
JP2004101512A (ja) | 位置測定装置 | |
JP3848220B2 (ja) | 微細多共振器を利用した波長固定集積光源構造 | |
JP2004335532A (ja) | 半導体レーザモジュール、光学部品ブロックおよび光共振器フィルタ。 | |
JP2004103845A (ja) | 光共振器および波長管理モジュール | |
JP5362169B2 (ja) | レーザ装置、光学装置の制御方法、およびレーザ装置の制御方法 | |
EP1219939A2 (en) | Wavelength monitoring apparatus | |
JP2003324241A (ja) | 波長モニタ及び半導体レーザモジュール | |
CN111194528B (zh) | 波长监测和/或控制设备、包括所述设备的激光系统及操作所述设备的方法 | |
JP2003258374A (ja) | 波長安定化半導体レーザモジュール | |
JP2004193556A (ja) | 単一モード動作を向上させた外部キャビティレーザー | |
JP4112316B2 (ja) | 波長管理モジュールおよび光共振器 | |
JP2002344078A (ja) | レーザーの放射波長を監視するための装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20041221 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20060331 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20070410 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070814 |