JP2004093215A - 測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】測定端子ユニット2は、ベース部材20と、ベース部材20にスライド自在に取り付けられた端子ホルダ3a〜3dと、端子ホルダ3a〜3dにそれぞれ固定された金属製接続プレート4a〜4dおよび金属板測定端子6a〜6dと、ベース部材20と端子ホルダ3a〜3dとの間にそれぞれ配設されたスプリング8と、リボン状の信号線5a〜5cと、スライド機構79を介してフレーム75に取り付けられた縦腕10と横腕11とを備えている。各端子ホルダ3a〜3dはスライド自在である。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、測定装置、特に、被測定物としてチップ型電子部品の電気的特性を測定するための測定装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
チップ型電子部品の電気的特性を測定するため、チップ型電子部品の外部電極に測定端子を接触させて測定することが行なわれている。そして、この種の測定に使用される測定装置として、特開2001−249167号公報記載のものが知られている。
【0003】
図6に示すように、この測定装置100は、フレーム111と、フレーム111に揺動自在に取り付けられた揺動アーム112と、揺動アーム112の先端に保持されている2本のワイヤ状の測定プロ−ブ120と、測定プロ−ブ120の根元側を案内するプローブガイド118とを備えている。
【0004】
測定プローブ120は、揺動アーム112とプローブガイド118との間の少なくとも一部が柔軟性を有しており、揺動アーム112の回動により発生する測定プローブ120の、プローブガイド118の面方向の位置ずれを測定プローブ120の撓みにより吸収することができるようになっている。プローブガイド118には測定プローブ120の先端側が貫通するガイド穴118aが形成されている。
【0005】
揺動アーム112は測定プローブ120がプローブガイド118の外表面から上方へ突出する突出位置と、測定プローブ120がプローブガイド118の外表面から下方へ後退する後退位置との間で揺動可能となっている。このことを図6により説明すると、フレーム111には電磁コイル119が固着され、一方、揺動アーム112には電磁コイル119の通電時に電磁コイル119に吸着される吸着板117が設けられている。そして、これら電磁コイル119に通電され吸着板117が吸着されることにより、揺動アーム112を突出位置まで駆動する。この場合、吸着板117と電磁コイル119とが当接した位置が、揺動アーム112の突出位置となる。
【0006】
また、フレーム111には調整ねじ116が取り付けられ、この調整ねじ116によりストッパ115が保持されている。また、調整ねじ116の外周には、フレーム111と揺動アーム112との間に位置するスプリング121が取り付けられている。このスプリング121は揺動アーム112を後退位置まで駆動する。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の測定プローブ120はワイヤ状になっており、チップ型電子部品130に測定プローブ120の先端を当接させたときの接触圧力は、測定プローブ120に組み込まれたスプリングのばね力に依存する。通常、スプリングのばね力はスプリングの径が小さくなるにしたがって小さくなる。このため、極小のチップ型電子部品130を測定するために細径の測定プローブ120を使用すると、測定プローブの接触圧力が低くなり、信頼性のある測定が困難になる。さらに、測定プローブ120の寿命が短く、機械的強度も低くなる。
【0008】
また、測定しようとするチップ型電子部品130が小型化すると、プローブガイド118のガイド穴118aを狭隣接配置する必要があり、2本の測定プローブ120を平行状態にして配置することができない。このため、測定プローブ120がガイド穴118a内を斜めに摺動し、測定プローブ120とガイド穴118aとの間で生じる磨耗などにより測定プローブ120が正常に伸縮できなくなるおそれがある。
【0009】
さらに、このワイヤ状の測定プローブ120は、チップ型電子部品130に当接したときに撓む。ところが、2本の測定プローブ120は非平行状態であり、測定毎に2本の測定プローブ120間の浮遊容量が変化する。このため、正確な測定を安定して行なうことができないという問題もあった。
【0010】
そこで、本発明の目的は、正確な測定を信頼性良く安定して行なうことができ、しかも、長寿命で機械的強度が高い測定装置を提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段および作用】
前記目的を達成するため、本発明に係る測定装置は、
(a)ベース部材と、
(b)ベース部材にスライド自在に取り付けられた端子ホルダと、
(c)端子ホルダに固定され、被測定物に接触させる複数の金属板測定端子とを備え、
(d)金属板測定端子を並設し、かつ、金属板測定端子の先端部を互いに平行状態にして近接させたこと、
を特徴とする。
【0012】
以上の構成によれば、測定時に、金属板測定端子は撓まず、しかも、金属板測定端子同士が平行であるため、金属板測定端子相互間の浮遊容量が測定毎に変化しない。従って、正確な測定が安定して行なわれる。さらに、測定端子が金属板でできているため、機械的強度が高く、長寿命である。
【0013】
そして、金属板測定端子の先端部の少なくとも二つを金属板測定端子の板厚方向に並設するなどして、金属板測定端子を組み合わせることにより、多端子の被測定物の測定に対応可能な金属板測定端子の狭隣接配置が得られる。
【0014】
また、ベース部材と端子ホルダとの間にスプリングを配設し、該スプリングのばね力で金属板測定端子の先端部を被測定物に弾性的に圧接させるようにしているため、被測定物のサイズに関係なく、独立してスプリングを設置するための空間を大きく採れる。従って、大きなスプリングを用いて、金属板測定端子の接触圧力を十分に大きくすることができ、極小の被測定物であっても信頼性の高い測定が行なえる。
【0015】
さらに、本発明に係る測定装置は、金属板測定端子の先端部を山形状にし、その傾斜面に被測定物の底面のエッジを接触させて測定することを特徴とする。これにより、機械的強度の高い幅広の金属板測定端子を使用できる。しかも、金属板測定端子の先端部突出高さが抑えられる。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る測定装置の実施形態について添付図面を参照して説明する。
【0017】
図1および図2に示すように、測定装置1は、概略、測定端子ユニット2と、フレーム75と、フレーム75に対して測定端子ユニット2をスライド自在に取り付けるためのスライド機構79とを備えている。
【0018】
測定端子ユニット2は、ベース部材20と、ベース部材20にスライド自在に取り付けられた端子ホルダ3a〜3dと、端子ホルダ3a〜3dにそれぞれ固定された金属製接続プレート4a〜4dおよび金属板測定端子6a〜6dと、ベース部材20と端子ホルダ3a〜3dとの間にそれぞれ配設されたスプリング8と、リボン状の信号線5a〜5cと、スライド機構79を介してフレーム75に取り付けられた縦腕10と横腕11とを備えている。
【0019】
ベース部材20は、垂直に置かれた本体部21と、本体部21下部に水平に置かれたストッパ部22とを備えている。ベース部材20は金属または樹脂などからなる。本体部21には、四つのスライドユニット25が並列に固定されている。それぞれのスライドユニット25には、端子ホルダ3a〜3dがビス27で取り付けられ、各端子ホルダ3a〜3dは矢印X方向にスライド自在である。これにより、測定端子ユニット2の幅寸法Wを抑えることができる。
【0020】
端子ホルダ3a〜3dの上部裏面にはそれぞれ、金属板測定端子6a〜6dが金属製ビス51で固定されている。金属板測定端子6a〜6dのそれぞれの先端部61は山形状(略三角波形状)をしており、四つ並設された端子ホルダ3a〜3dの中央に寄せられ近接している。すなわち、本実施形態では、金属板測定端子6aと6bの先端部61、並びに、金属板測定端子6cと6dの先端部61を、それぞれ金属板測定端子6a〜6dの板厚方向に並設することにより、四端子のチップ型電子部品の測定に対応可能な狭隣接配置を得ている。
【0021】
端子ホルダ3a〜3dとベース部材20のストッパ部22はそれぞれスプリング8で繋がっている。これらのスプリング8は、金属板測定端子6a〜6dを被測定物であるチップ型電子部品80に当接させた時の接触圧力を付与する。
【0022】
端子ホルダ3a〜3dの表面にはそれぞれ、金属製接続プレート4a〜4dが取り付けられている。金属製接続プレート4a〜4dの上端部はそれぞれ、金属製ビス51を介して金属板測定端子6a〜6dに電気的に接続している。端子ホルダ3a〜3dは金属または樹脂などからなる。
【0023】
金属製接続プレート4a〜4dの下端部はそれぞれ、ビス28によってリボン状の信号線5a〜5cの一端部に電気的に接続している。例えば、信号線5aはグランド用信号線として用いられ、信号線5b,5cは入出力用信号線として用いられる。信号線5a〜5cの他端側はぜんまい状になっており、横腕11の所定の位置に固定されている。これにより、端子ホルダ3a〜3dの矢印X方向のストロークを吸収する。
【0024】
横腕11と縦腕10は直交した状態で連結されている。縦腕10の一端とフレーム75はスプリング18で繋がっている。このスプリング18は、測定端子ユニット2に矢印K方向のばね力を付与する。
【0025】
測定端子ユニット2はスライド機構79によって上下することで、金属板測定端子6a〜6dがフレーム75に固定されているプローブガイド70の中を上下する。これにより、金属板測定端子6a〜6dの先端部61が、プローブガイド70の上面から突出したり、後退したりする。先端部61がプローブガイド70の上面から突出したときには、先端部61の一部が後述のターンテーブル81のキャビティ82内に入る。従って、先端部61はキャビティ82に円滑に入るような形状に設計する必要がある。
【0026】
以上の構成からなる測定装置1は、測定端子6a〜6dが板状であるので、図6に示した従来の細径の測定プローブ120と比較して、測定端子6a〜6dの寿命を長くでき、機械的強度も高くできる。また、金属板測定端子6a〜6dはその先端部61を互いに平行配置するとともに、金属板測定端子6a〜6dが測定端子ユニット2と一緒に平行にスライドするので、従来の測定プローブ120と異なり、斜め摺動による磨耗などの不具合が発生しない。
【0027】
さらに、金属板測定端子6a〜6dは機械的強度が高いので、チップ型電子部品80に当接したときにも撓む心配がない。このため、測定毎に金属板測定端子6a〜6d相互間の浮遊容量が変化せず、正確な測定を安定して行なうことができる。
【0028】
また、金属板測定端子6a〜6dとスプリング8とを構造上分離し、ベース部材20と端子ホルダ3a〜3dとの間にスプリング8を配置しているので、スプリング8を配置するための空間を大きく採れる。従って、スプリング8の選択の自由度が高くなり、チップ型電子部品80のサイズが小さくなっても、大きなスプリング8を用いて金属板測定端子6a〜6dの接触圧力を十分に大きくすることができる。この結果、極小のチップ型電子部品80であっても、信頼性の高い測定を行なうことができる。また、測定端子ユニット2は比較的大型になるので、メンテナンス作業がし易い。
【0029】
さらに、この測定装置1は、金属板測定端子6a〜6dの先端部61を山形状にし、その傾斜面にチップ型電子部品80の底面のエッジを接触させて測定する。これにより、幅広の金属板測定端子6a〜6dを使用して機械的強度を確保したまま、先端部61の突出高さを抑えることができる。
【0030】
次に、この測定装置1を使用して、チップ型電子部品を測定する手順について説明する。チップ型電子部品80としては、二端子コンデンサ、四端子コンデンサ、チップコイル(コモンモードチョークコイルなど)、もしくは、複合チップ部品などがある。本実施形態では、四端子コンデンサを例にして説明する。
【0031】
図3に示すように、チップ型電子部品80が、ターンテーブル81により順次搬送される。ターンテーブル81は略円板形状をしており、その外周縁部には所定のピッチで複数のキャビティ82が形成されている。キャビティ82のそれぞれは真空源(図示せず)に連通し、この真空源からの真空による吸引に基づいて、各キャビティ82内にチップ型電子部品80が保持される。図4に示すように、ターンテーブル81の上面側には、ターンテーブル81に対して平行に固定板85が配設されている。
【0032】
ターンテーブル81は、矢印K方向へ間欠的に回転され、この回転に従って、キャビティ82内に保持されているチップ型電子部品80を外周方向に搬送する。ターンテーブル81の回転に従って搬送されるチップ型電子部品80の搬送経路の所定の位置には、電気特性測定部が設けられている。この電気特性測定部には、チップ型電子部品80の例えば静電容量値、絶縁抵抗値、インダクタンス値などの特性を測定するために、測定装置1が配置されている。
【0033】
測定装置1の金属板測定端子6a〜6dは、チップ型電子部品80の搬送経路の下側に置かれている。チップ型電子部品80が電気特性測定部に搬送されてくると、スライド機構79によって、測定端子ユニット2が上方に移動する。これにより、図4に示すように、金属板測定端子6a〜6dの先端部61がプローブガイド70の上面に設けた開口部71から突出し、チップ型電子部品80の外部電極に当接する。すなわち、チップ型電子部品80の底面のエッジは、金属板測定端子6a〜6dの先端部61の内側の傾斜面に接触する。
【0034】
チップ型電子部品80は、金属板測定端子6a〜6dによって固定板85に当接するまで押し上げられる。そして、スプリング8のばね力が、チップ型電子部品80と金属板測定端子6a〜6dとの間に適度な接触圧力を発生させる。
【0035】
この後、チップ型電子部品80の電気特性が測定される。測定が終了すると、スライド機構79によって測定端子ユニット2が下降し、元の位置に復帰する。これに伴い、金属板測定端子6a〜6dの先端部61も、プローブガイド70の上面より下方に後退する。金属板測定端子6a〜6dによる押し上げから開放されたチップ型電子部品80は、真空吸引により、各キャビティ82内の所定の位置で保持される。
【0036】
このようにして、この測定装置1によれば、電気特性測定を連結的に行なうことができる。
【0037】
なお、本発明に係る測定装置は前記実施形態に限定するものではなく、その要旨の範囲内で種々に変更することができる。特に、複数の金属板測定端子は、それぞれ個別の端子ホルダに固定する必要はなく、まとめて一つの端子ホルダに固定するようにしてもよい。この場合、端子ホルダは樹脂などの絶縁体で製作される。
【0038】
また、ベース部材2を樹脂などの絶縁体で製作し、かつ、端子ホルダ3a〜3dを金属で製作することにより、接続プレート4a〜4dを省略することができる。さらに、金属製の端子ホルダ3a〜3dは仕上がり精度が高く、金属板測定端子6a〜6dの取付けピッチ精度を高めることができる。
【0039】
さらに、図5に示すように、吸着ノズル90によってチップ型電子部品80を金属板測定端子6a〜6dに押し付ける構造の測定装置1Aであってもよい。すなわち、測定装置1Aの金属板測定端子6a〜6dの山形状先端部61の上方に吸着ノズル90を配置するとともに、固体板85に吸着ノズル挿通用穴85aを設ける。
【0040】
チップ型電子部品80が電気特性測定部に搬送されてくると、吸着ノズル90が下降し、ターンテーブル81のキャビティ82内のチップ型電子部品80を真空吸着する。チップ型電子部品80をターンテーブル81から受け取った吸着ノズル90はさらに下降する。そして、チップ型電子部品80の底面のエッジ(外部電極)が金属板測定端子6a〜6dの先端部61に当接し、スプリング8がチップ型電子部品80と金属板測定端子6a〜6dとの間に適度な接触圧力を発生させる位置で、吸着ノズル90の下降を停止する。
【0041】
この後、チップ型電子部品80の電気特性が測定される。測定が終了すると、吸着ノズル90を、下降させる前の元の位置まで上昇させる。途中、チップ型電子部品80がキャビティ82内に入ると、吸着ノズル90は真空の非供給状態に切り替えられ、チップ型電子部品80は吸着ノズル90からターンテーブル81に移し替えられる。
【0042】
以上の構造の測定装置1Aは、金属板測定端子6a〜6dの先端部61を常にプローブガイド70内に収容しているので、ターンテーブル81の影響を受けることなく、先端部61の形状を任意に選択できる。さらに、測定端子ユニット2を上下方向に駆動する機構を省略できるので、測定端子ユニット2が簡素な構造となり、低コストで製作できる。
【0043】
【発明の効果】
以上の説明で明らかなように、本発明によれば、測定時に、金属板測定端子は撓まず、しかも、金属板測定端子同士が平行であるため、金属板測定端子相互間の浮遊容量が測定毎に変化しない。従って、正確な測定を安定して行なうことができる。さらに、測定端子が金属板でできているため、機械的強度を高くでき、寿命を長くできる。
【0044】
そして、金属板測定端子の先端部の少なくとも二つを金属板測定端子の板厚方向に並設するなどして、金属板測定端子を組み合わせることにより、多端子のチップ型電子部品の測定に対応可能な金属板測定端子の狭隣接配置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る測定装置の一実施形態を正面から見た概略構成図。
【図2】図1に示した測定装置を左側面から見た概略構成図。
【図3】ターンテーブルによって搬送されるチップ型電子部品を示す平面図。
【図4】金属板測定端子の先端部を示す拡大図。
【図5】他の実施形態を示す拡大図。
【図6】従来の測定装置を示す断面図。
【符号の説明】
1…測定装置
2…測定端子ユニット
3a〜3d…端子ホルダ
6a〜6d…金属板測定端子
8…スプリング
20…ベース部材
61…先端部
Claims (4)
- ベース部材と、
前記ベース部材にスライド自在に取り付けられた端子ホルダと、
前記端子ホルダに固定され、被測定物に接触させる複数の金属板測定端子とを備え、
前記金属板測定端子を並設し、かつ、前記金属板測定端子の先端部を互いに平行状態にして近接させたこと、
を特徴とする測定装置。 - 前記金属板測定端子の先端部の少なくとも二つが、金属板測定端子の板厚方向に並設されていることを特徴とする請求項1に記載の測定装置。
- 前記ベース部材と前記端子ホルダとの間にスプリングを配設し、該スプリングのばね力で前記金属板測定端子の先端部を前記被測定物に弾性的に圧接させることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の測定装置。
- 前記金属板測定端子の先端部が山形状であり、山形状の前記先端部の傾斜面に前記被測定物の底面エッジが接触することを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれかに記載の測定装置。
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