【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、シート状基板の搬送装置及び搬送方法に関し、特に脆弱なシート状の基板をステージから離脱させて搬送する搬送装置及び搬送方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年太陽電池やフラットパネルディスプレー等を製造する際に、印刷装置を使用する製造方法が多用されるようになってきている。印刷は、通常シート状の基板を印刷用のステージに配置し、スクリーン印刷法によって行われる。これらの印刷に使用されるシート状基板として、例えば、太陽電池用シリコンウエハー及び液晶基板用ガラス板等の、通常厚さが大変薄く、また強度が脆弱な基板が多く使われている。従って、印刷中はもとより、印刷後にステージからシート状基板を取り出す際においても、基板の割れ等の破損を生ずることがある、取り出しに注意が必要であるという問題がある。
【０００３】
このような従来から使用されている印刷装置の印刷用ステージから印刷後のシート状基板を取り出して搬送するための搬送装置の一例の概要を、図１４に三角法を用いて示し、更に詳細にその問題点を説明する。シート状基板１１０は、印刷装置本体（図示せず）の一部である平板状ステージ１２０に配置される。平板状ステージ１２０には、その中央部に孔１２８が設けられており、その孔１２８の中を上下に動いて、孔１２８から出入可能な中子ステージ１２６が印刷装置本体の駆動部（図示せず）に支持されている。ここで、孔１２８の直径は、中子ステージ１２６の直径とほぼ同じであるが、中子ステージ１２６がスムーズに孔１２８の中を駆動できる程度にわずかに大きい。また、中子ステージ１２６の上面は、平板状ステージ１２０と同一平面を形成するようにされている。
【０００４】
平板状ステージ１２０の左上方に、シート状基板１１０を載せて搬送するためのＵ字状ハンド１９０が、印刷装置本体の駆動部（図示せず）によって、図中左右に移動可能に支持されている。Ｕ字状ハンド１９０のＵ字の径は中子ステージ１２６の径よりも少し大きくなっており、後述する図１７に示すように、Ｕ字状ハンド１９０が最も右に移動した場合、Ｕ字状ハンド１９０は、ほぼシート状基板１１０の真下に位置することができる。
【０００５】
上述したような構成を有する従来のシート状基板搬送装置の動作を、以下に図１５〜図１８を用いて説明する。
従来のシート状基板搬送装置の動作の第１ステップから第４ステップを、図１５〜図１８に示す。まず、第１ステップにおいて、平板状ステージ１２０上にシート状基板１１０が配置され、シート状基板に印刷する印刷機構（図示せず）によって、シート状基板１１０は、その上面に印刷される。図１５は、シート状基板１１０が印刷された直後の状態であって、Ｕ字状ハンド１９０で搬送される前の状態を示す。
【０００６】
次に第２ステップにおいて、孔１２８の中から中子ステージ１２６が上昇し、シート状基板１１０を下側から押し上げて、シート状基板１１０をＵ字状ハンド１９０より高い位置に保持する（図１６）。
引き続き第３ステップにおいて、Ｕ字状ハンド１９０が図中右方に移動し、Ｕ字状ハンド１９０はシート状基板１１０の下に位置する（図１７）。
最後に第４ステップにおいて、中子ステージ１２６が下降し、シート状基板１１０がＵ字状ハンド１９０の上に載せられる（図１８）。
【０００７】
以上説明したようにシート状基板１１０はＵ字状ハンド１９０の上に配置され、搬送可能となり、次の処理のために搬送される。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
従来の搬送装置において、平板状ステージ１２０と中子ステージ１２６の上面は、同一平面を形成するようにされているが、その間に段差を生ずることも有り得る。その場合、印刷工程でスキージがシート状基板を走査すると上述の段差部分に対応するシート状基板の部分に応力が集中するために、シート状基板に破損を生じ得るという問題がある。特にシート状基板が脆弱である場合、この破損の発生は顕著であった。
【０００９】
この問題を解決するため、平板状ステージ１２０と中子ステージ１２６との間に生じ得る段差を少なくするために、位置決め精度を高めることが考えられる。しかし、位置決め精度の向上は、コスト増になるという問題があり、また、完全に段差を無くすことは実質的に不可能である。
【００１０】
従って、本発明は上述した破損を発生させる応力が生ずる原因となる、ステージ内の中子ステージを用いなくとも、シート状基板を搬送可能とし得る、特に脆弱なシート状基板を搬送可能とし得る搬送装置及び搬送方法を提供する事を目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明者等は、上述の問題を解決するために種々検討した結果、シート状基板の上に負圧を発生させ、ステージから離脱せしめたシート状基板の端部を制御して、シート状基板の位置を制御することによって、シート状基板を搬送することができることを見出して、本発明に係るシート状基板の搬送装置及び搬送方法を完成するに至ったものである。
【００１２】
本発明は、一つの要旨において、新たなシート状基板の搬送装置を提供し、それは、
（ｉ）シート状基板が配置されるステージ（以下「ステージ」ともいう）、
（ｉｉ）ステージに配置されるシート状基板の平面に平行方向に圧縮空気を噴出し、シート状基板の上に負圧を発生させてシート状基板を吸引する吸引手段（以下「吸引手段」ともいう）、及び
（ｉｉｉ）ステージに配置されるシート状基板の端部と当接する位置に設けられ、シート状基板の位置を制御する制御ガイド（以下「制御ガイド」ともいう）を有して成る搬送装置である。
【００１３】
本発明の一つの態様において、吸引手段は、ベルヌーイチャックである搬送装置を提供する。
更に、本発明の他の態様において、制御ガイドは、シート状基板の端部と当接する面が傾斜面である制御部を少なくとも一つ有する搬送装置を提供する。
また、本発明の好ましい態様において、制御ガイドは、制御ガイドの制御部の先端に、更に突起部分を有する搬送装置を提供する。
【００１４】
本発明の一つの態様において、
（ｉｖ）シート状基板を保持する保持ガイドを、更に有する搬送装置を提供する。
更に、本発明の他の態様において、ステージが、少なくとも一つの空気孔を有する搬送装置を提供する。
【００１５】
更に、本発明の別の要旨において、新たなシート状基板の搬送方法を提供し、それは、
（ａ）シート状基板の平面に平行方向に圧縮空気を噴出して、シート状基板の上に負圧を発生させてシート状基板を吸引する工程（以下「（ａ）工程」ともいう）、及び
（ｂ）吸引したシート状基板の端部を制御して、シート状基板の位置を制御する工程（以下「（ｂ）工程」ともいう）
を有する搬送方法である。
【００１６】
本発明の一つの態様において、
（ａ）工程及び（ｂ）工程の後、（ｃ）吸引したシート状基板の端部を下方から保持するとともに、シート状基板の吸引を終了する工程を、更に有する搬送方法を提供する。
本発明の別の態様において、（ａ）工程において、シート状基板を吸引するとともに、シート状基板の下方からシート状基板に空気を送る搬送方法を提供する。
尚、上述の本発明の搬送方法は、上述の本発明の搬送装置を用いて、好ましく実施することができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
本発明に係るシート状基板搬送装置は、（ｉ）ステージ、（ｉｉ）シート状基板吸引手段及び、（ｉｉｉ）シート状基板の位置を制御する制御ガイドを有して成る。
本発明において「シート状基板」とは、通常「シート状基板」とされるものであれば、特に制限されるものではなく、例えば、ガラス、プラスチック、シリコン及びセラミック等の材料によって作られているシート状の形態をした薄い板状の基板をいう。従って、そのようなシート状基板として、具体的には、例えば、太陽電池用ウエハー及び液晶パネル用ガラス板等を例示することができる。本発明に係るシート状基板は、応力に弱い脆弱なシート状基板であってもよい。
【００１８】
本発明において「ステージ」とは、通常ステージとされるものであって、「シート状基板」をその上に配置することができるものであれば、特に制限されるものではない。ステージは、その上面が実質的に平面であることが好ましい。尚、「ステージ」は、平板状の形態を有する「平板状ステージ」であることが好ましい。
尚、ステージは、少なくとも一つの空気孔を有することが好ましい。これは、シート状基板をステージから離脱させる際に、空気孔から空気を送り、シート状基板の離脱をより容易にするためである。空気孔の大きさ、形状、数等は、適宜選択され得るものである。
【００１９】
本発明において「吸引手段」とは、ステージに配置されるシート状基板の平面に平行方向に圧縮空気を噴出し、シート状基板の上に負圧を発生させてシート状基板を吸引することができる吸引手段であれば、特に制限されるものではない。吸引手段は、具体的には、例えば、ベルヌーイチャック及び吸引パッド等を例示することができるが、特に、ベルヌーイチャックが、シート状基板を非接触で吸引することができるので好ましい。尚、吸引手段とステージ（又はシート状基板）との間の距離は、吸引する強さ及びシート状基板の重さ、大きさ等を考慮して適宜選択され得るものである。
【００２０】
本発明において、「制御ガイド」とは、ステージに配置されるシート状基板の端部と当接する位置に設けられ、シート状基板の位置を制御することができるものであれば、特に制限されるものではない。制御ガイドは、通常、シート状基板の上方に設けられることが好ましい。シート状基板は、吸引手段によって吸引されて、ステージから上方に離脱し、制御ガイドはその離脱したシート状基板の位置を制御する。そのために、制御ガイドは、シート状基板の端部と当接する制御部を有し、シート状基板を吸引手段によって吸引する時、吸引手段よりシート状基板により近い位置に、その制御部をあらかじめ配置することが好ましい。これは、シート状基板と吸引手段の接触を防止するためである。制御部は、シート状基板の位置を制御することができれば、いずれの形状を有してもよい。また、その数も適宜選択することができる。
【００２１】
制御ガイドの制御部は、水平面を有する制御部であってよく、また傾斜面を有する制御部であってもよいが、傾斜面を有する制御部であることが、シート状基板の平面方向の移動を規制することができるので好ましい。更に制御部は、その先端に突起部分を有することが、シート状基板の存在範囲をより規制することができ、確実に吸引されたシート状基板と吸引手段の接触を防ぐことができるので好ましい。制御部の先端の突起部分の形状及び大きさ等は、適宜選択することができる。
【００２２】
本発明に係る搬送装置は、（ｉｖ）シート状基板を保持する保持ガイドを有することが好ましい。本発明において「保持ガイド」とは、制御ガイドが位置を制御しているシート状基板を下方から保持することができるものであれば、特に制限されるものではない。保持ガイドは、シート状基板を保持するための保持部を有するが、その保持部はシート状基板を保持することができれば、その形状及び大きさ等は適宜選択され得るものである。保持部は、シート状基板を保持するために、突起形状であることが好ましい。保持ガイドを用いることで、シート状基板を搬送するときに、吸引手段による空気の吸引を停止することができる。
【００２３】
「吸引手段」、「制御ガイド」及び「保持ガイド」は、各々が単独のデバイスとして本発明に係る搬送装置の中に組み込まれてもよいが、一つのシステムとして統合されて搬送装置内に組み込まれてもよい。このような統合の例として、「吸引手段」、「制御ガイド」及び「保持ガイド」のすべてが取り付けられている搬送アームを例示できる。また、「吸引手段」及び「制御ガイド」が取り付けられた搬送ハンドと「保持ガイド」が取り付けられている搬送アームを例示できる。
【００２４】
本発明に係るシート状基板の搬送方法は、
（ａ）シート状基板の平面に平行方向に圧縮空気を噴出して、シート状基板の上に負圧を発生させてシート状基板を吸引する工程、及び
（ｂ）吸引したシート状基板の端部を制御して、シート状基板の位置を制御する工程
を有する。
【００２５】
本発明において「（ａ）シート状基板を吸引する工程」とは、シート状基板の平面に平行方向に圧縮空気を噴出して、シート状基板の上方に負圧を発生させて、シート状基板をステージから離脱させる工程をいう。吸引手段によって吸引する強さ及び吸引手段とシート状基板（又はステージ）との間の距離等の吸引条件は、適宜選択され得るものである。（ａ）工程において、ステージからシート状基板をより容易に離脱させるために、更にシート状基板の下方から空気を送ることが好ましい。
【００２６】
また、「（ｂ）シート状基板の位置を制御する工程」とは、（ａ）工程においてステージから離脱したシート状基板の端部を制御することで、シート状基板の位置を制御する工程をいう。尚、（ａ）工程の吸引開始時には、シート状基板の位置の制御ができるように（ｂ）工程をあらかじめ準備し、吸引することでステージから離脱したシート状基板が吸引手段と接触することがないように、直ちにシート状基板の位置を制御することが好ましい。
【００２７】
上述の本発明に係る搬送方法は、（ａ）工程及び（ｂ）工程の後、（ｃ）吸引したシート状基板の端部を下方から保持するとともに、シート状基板の吸引を終了する工程を、更に有することが好ましい。（ｃ）工程において、シート状基板の端部を下方から保持することで、（ａ）工程以降続いている吸引手段からの空気の噴出を停止することができる。これによって、シート状基板の上面が印刷された場合、吸引手段を用いる吸引による印刷面への影響を低下させることができる。
【００２８】
尚、本発明に係るシート状基板の搬送方法は、上述の本発明に係る搬送装置を用いて実施することが好ましい。
【００２９】
本発明に係るシート状基板の搬送装置及び搬送方法は、シート状基板を取り扱う技術分野であれば、特に制限されることなくいずれの技術分野においても用いることができるが、そのような技術分野として、例えば、太陽電池用ウエハーの搬送及び液晶パネル用のガラス板の搬送等を例示することができる。
尚、本発明に係る搬送装置は、例えば、印刷装置、スプレー塗布装置、ハンダ付け装置、スピンコート装置等の他の装置の一部に組み込んで使用することができる。また、本発明に係る搬送方法は、例えば、印刷方法、スプレー塗布方法、ハンダ付け方法、スピンコート方法等の他の方法の一部に組み込んで使用することができる。
【００３０】
以下、更に添付した図面を参照しながら、本発明に係るシート状基板の搬送装置及び搬送方法について、具体的に詳細に説明するが、これらは単なる本発明の実施の形態の例示にすぎず、本発明は、これらの例示によって何ら制限されるものではない。
【００３１】
実施の形態１
図１は、本発明の実施の形態１を示すシート状基板の搬送装置の概略図である。シート状基板１０は、印刷装置本体（図示せず）の一部である平板状ステージ２０の上に配置されており、印刷装置本体（図示せず）に連結され上方に位置する搬送アーム３０によって搬送される。
搬送アーム３０に結合されている搬送ハンド４０の中央部に、シート状基板を吸引する吸引手段としてのベルヌーイチャック５０と、ベルヌーイチャック５０の左右にシート状基板の位置を制御する制御ガイド６０が設けられている。ベルヌーイチャック５０には中央に空気噴出孔５２が設けられており、エアー発生源（図示せず）から圧縮空気をステージのおよそ平面方向、即ち、シート状基板１０の平面に平行方向に噴出することができる。それによって、シート状基板１０とベルヌーイチャック５０との間に負圧を発生させて、即ち、シート状基板１０の上方に負圧を発生させてシート状基板１０を吸引することができる。
尚、圧縮空気の噴出によって、シート状基板１０とベルヌーイチャック５０との間にはエアクッションができるので、シート状基板１０とベルヌーイチャック５０との接触は定常状態では発生しない。
【００３２】
一方、制御ガイド６０のシート状基板の位置を制御する制御部６２は傾斜面を形成している。シート状基板１０の端部を制御ガイド６０の傾斜面を形成した制御部６２に当接させることによって、ベルヌーイチャック５０にシート状基板１０が吸引された時に、一時的に両者が接触することを防止するためである。一般に前工程の印刷処理によって、シート状基板１０の上面に所定のパターンが印刷されているが、制御ガイド６０によって、この形成された印刷面１２とベルヌーイチャック５０との接触が防止される。またシート状基板１０を吸引した状態で搬送する場合、制御部６２が傾斜面を形成していると、シート状基板１０の平面方向の移動を制御ガイド６０を用いて規制することが可能となる。これはベルヌーイチャック５０とシート状基板１０との間には負圧が発生し、シート状基板１０を吸引しているが、ベルヌーイチャック５０を用いても図中水平方向には何ら規制力が働いていないからである。
【００３３】
上述した実施の形態１の搬送装置の動作及びそれを用いるシート状基板の搬送方法を図１及び図２を参照しながら説明する。
シート状基板１０に所定の印刷処理が行われた後、平板状ステージ２０からシート状基板１０を搬送するために搬送アーム３０がシート状基板１０のほぼ上方に移動する（図１）。空気噴出孔５２から、空気がシート状基板１０の平面と平行方向に噴出し、それによって発生する負圧により、シート状基板１０は上方に吸引される。シート状基板１０は、搬送アーム３０の制御ガイド６０に保持され、所定の位置に移動する事が可能となる（図２）。以上のように本発明では従来の搬送装置で使用されていた中子ステージを用いなくても、シート状基板をステージから搬送する事ができる。
【００３４】
尚、上述した制御ガイド６０は、図１及び２において、シート状基板１０の対向する二辺を制御するように記載されているが、制御ガイドをベルヌーイチャックの前後左右に配置してシート状基板の四辺を制御するように構成してもよい。また、図１及び２において、制御ガイド６０は左右に二箇所としているが、奥行き方向に二箇所またはそれ以上の箇所で制御するように構成してもよい。
【００３５】
実施の形態１では制御ガイド６０は、傾斜面を形成している制御部６２を有するが、図中水平方向に、それほど力が加わらないのであれば、図３に示すように、制御ガイド６０は、水平面を有する制御部６４を有してよい。即ち、この水平面を有する制御部６４がシート状基板１０の印刷面１２以外の部分に当接するように、本発明に係る搬送装置を構成してもよい。この場合、シート状基板の上面の印刷は、印刷面の端部まで行われていないことが好ましい。
【００３６】
実施の形態２
図４は、本発明の実施の形態２を示すシート状基板の搬送装置の概略図である。図４に示した搬送装置は、シート状基板１０を下方から保持する保持ガイドとして機能する搬送チャック７０が、搬送アーム３０に接合されていることを除いて、図１に示した搬送装置と同様の装置である。搬送チャック７０は搬送アーム３０に対し左右に一対として設けられ、図中左右方向に稼動可能に取りつけられている。図４に示す搬送チャック７０は最も外側に広がった状態を示す。搬送チャック７０にはそれぞれ保持部７２が突起形状として図４に示すように形成されている。搬送チャック７０が最も内側に狭まった状態では、二つの保持部７２同士の先端の間隔はシート状基板１０の幅よりも狭くなる。
【００３７】
上述した実施の形態２の搬送装置の動作及びそれを用いるシート状基板の搬送方法を、図４〜６を参照しながら説明する。
シート状基板１０に所定の印刷処理が行われた後、平板状ステージ２０からシート状基板１０を搬送するために搬送アーム３０がシート状基板１０のほぼ上方に移動する（図４）。空気噴出孔５２から、空気がシート状基板１０の平面と平行方向に噴出し、それによって発生する負圧により、シート状基板１０は上方に吸引される。シート状基板１０は、搬送アーム３０の制御ガイド６０に保持される（図５）。
【００３８】
次に図６に示すように搬送チャック７０がそれぞれ内側に移動し、保持部７２は、ともにシート状基板１０の下側であって、シート状基板１０を載せることができる位置に配置される。その後ベルヌーイチャック５０の空気の噴出しを停止すると、シート状基板１０は保持部７２に保持される（図６）。シート状基板１０はこの状態で所定の位置に搬送することが可能となる。
【００３９】
このように動作することにより、シート状基板１０の搬送時においては、空気の噴出しを停止して搬送することが可能となる。これにより、中子ステージを用いなくても、シート状基板をステージから搬送する事ができるとともに、印刷直後の印刷面１２のペースト等が乾ききらない状態のシート状基板を搬送する場合、空気を噴出することによる印刷面への影響（空気による波紋の発生等）をより少なくすることが可能となる。
【００４０】
実施の形態３
図７は、本発明の実施の形態３を示すシート状基板の搬送装置の概略図である。図７に示した搬送装置は、制御ガイド６０の傾斜面を形成する制御部６２の先端に、シート状基板１０の位置を更に規制する突起部分６６が形成されていることを除いて、図４に示した搬送装置と同様の装置である。実施の形態１において説明したように、シート状基板１０を吸引した状態で搬送する場合、制御ガイド６０は傾斜面を有する制御部６２を有するので、シート状基板１０の平面方向の移動を規制することが可能となるが、更に、突起部分６６によりシート状基板１０の存在範囲が規制されるために、より確実に吸引時のシート状基板１０とベルヌーイチャック５０の接触を防ぐ事が可能となる。
【００４１】
上述した実施の形態３の搬送装置の動作及びそれを用いるシート状基板の搬送方法を、図７〜９を参照しながら説明する。
シート状基板１０に所定の印刷処理が行われた後、平板状ステージ２０からシート状基板１０を搬送するために搬送アーム３０がシート状基板１０のほぼ上方に移動する（図７）。空気噴出孔５２から、空気がシート状基板１０の平面と平行方向に噴出し、それによって発生する負圧により、シート状基板１０は上方に吸引される。シート状基板１０は、搬送アーム３０の制御ガイド６０に保持され、突起部分６６によりシート状基板１０の存在範囲が更に確実に規制され、シート状基板１０とベルヌーイチャック５０が接触することがより確実に防止される（図８）。
【００４２】
次に図９に示すように搬送チャック７０がそれぞれともに内側に移動し、保持部７２は、シート状基板１０の下側であって、シート状基板１０を載せることができる位置にともに配置される。その後ベルヌーイチャック５０の空気の噴出しを停止すると、シート状基板１０は保持部７２に保持される（図９）。シート状基板１０はこの状態で所定の位置に搬送することが可能となる。
【００４３】
このように動作することにより、シート状基板１０の搬送時においては、空気の噴出しを停止して搬送することが可能となる。これにより、中子ステージを用いなくても、シート状基板をステージからより確実に搬送する事ができるとともに、印刷直後の印刷面１２のペースト等が乾ききらない状態のシート状基板を搬送する場合、空気を噴出することによる印刷面への影響（空気による波紋の発生等）をより少なくすることが可能となる。
【００４４】
実施の形態４
図１０は、本発明の実施の形態４を示すシート状基板の搬送装置の概略図を示すものである。図１０に示した搬送装置は、平板状ステージ２０に空気孔２２が設けられていることを除いて、図７に示した搬送装置と同様の装置である。空気は、空気供給源（図示せず）から供給され、空気孔２２から噴出する。
【００４５】
上述した実施の形態４の搬送装置の動作及びそれを用いるシート状基板の搬送方法を、図１０〜１２を参照しながら説明する。
シート状基板１０に所定の印刷処理が行われた後、平板状ステージ２０からシート状基板１０を搬送するために搬送アーム３０がシート状基板１０のほぼ上方に移動する（図１０）。空気噴出孔５２から、空気がシート状基板１０の平面と平行方向に噴出し、それによって負圧を発生させるとともに、空気孔２２から空気を噴出することにより、シート状基板１０は平板状ステージ２０から離れる。そして、シート状基板１０は、搬送アーム３０の制御ガイド６０に保持され、制御部６２の突起部分６６によりシート状基板１０の存在範囲が更に確実に規制され、シート状基板１０とベルヌーイチャック５０の接触がより確実に防がれる（図１１）。
【００４６】
次に図１２に示すように搬送チャック７０がそれぞれ内側に移動し、保持部７２は、シート状基板１０の下側であって、シート状基板１０を載せることができる位置に配置される。その後ベルヌーイチャック５０の空気の噴出しを停止すると、シート状基板１０は保持部７２に保持される（図１２）。シート状基板１０はこの状態で所定の位置に搬送することが可能となる。
【００４７】
このように動作することにより、シート状基板１０の搬送時において、ベルヌーイチャック５０からの吸引と平板状ステージ２０からの空気の噴出しを同時に行うことによって、より容易にシート状基板をステージから離脱させることができ、より確実にシート状基板１０を制御ガイド６０に当接させ、搬送チャック７０に保持させることができる。
【００４８】
尚、一般的に印刷装置のステージには、シート状基板などを印刷時に吸引し固定するために、吸引孔が設けられていることが多いが、この吸引孔を上述したステージに設ける空気孔として併用することも可能である。この場合、例えば、図１３に示すように、空気孔２２に接続される空気の供給配管８０と真空配管８６とをバルブ８２及び８４を用いて切り替えることができるような工夫が必要である。
【００４９】
以上の実施の形態においては、シート状基板は、形状が矩形である場合について説明したが、本発明は、矩形のシート状基板に限定されるものではなく、例えば、形状が円形であっても、制御ガイド等の形状及び配置を適宜変更することによって、同様に実施することができる。
【００５０】
【発明の効果】
本発明に係るシート状基板の搬送装置及び搬送方法を使用すると、シート状基板の上に負圧を発生させることで、シート状基板をステージから離脱させるので、従来からシート状基板をステージから離脱させるために用いられている中子ステージを使用する必要がない。従って、中子ステージを用いることによるステージと中子ステージの間の段差に基づいて、シート状基板の破損が発生するという問題が解消する。
【００５１】
更に、傾斜面を有する制御部を有する制御ガイドを用いることで、吸引手段とシート状基板の印刷面との間の接触を防止しつつ、搬送時にシート状基板が水平方向に移動する事を規制しながら搬送することが可能となる。
また、制御部の先端に突起部分を有する制御ガイドを用いることで、吸引手段とシート状基板の印刷面とが接触すること、及び搬送時にシート状基板が水平方向に移動することを、より確実に防止することができる。
【００５２】
保持ガイドを用いることで、シート状基板を吸引して保持ガイドで保持した後、吸引を停止することができる。従って、印刷されたシート状基板の印刷面への吸引による影響を低下させることができる。
更に、ステージ内の空気孔を用いることで、より容易にシート状基板をステージから離脱させることができ、より確実に制御ガイドにシート状基板を当接させ、保持ガイドにシート状基板を保持させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１を示すシート状基板搬送装置の概略図である。
【図２】本発明の実施の形態１を示すシート状基板搬送装置の動作を示す概略図である。
【図３】本発明の実施の形態１を示すシート状基板搬送装置と別の形態のシート状基板搬送装置の概略図である。
【図４】本発明の実施の形態２を示すシート状基板搬送装置の概略図である。
【図５】本発明の実施の形態２を示すシート状基板搬送装置の動作を示す概略図である。
【図６】本発明の実施の形態２を示すシート状基板搬送装置の動作を示す概略図である。
【図７】本発明の実施の形態３を示すシート状基板搬送装置の概略図である。
【図８】本発明の実施の形態３を示すシート状基板搬送装置の動作を示す概略図である。
【図９】本発明の実施の形態３を示すシート状基板搬送装置の動作を示す概略図である。
【図１０】本発明の実施の形態４を示すシート状基板搬送装置の概略図である。
【図１１】本発明の実施の形態４を示すシート状基板搬送装置の動作を示す概略図である。
【図１２】本発明の実施の形態４を示すシート状基板搬送装置の動作を示す概略図である。
【図１３】本発明の実施の形態４を示すシート状基板搬送装置において使用される空気配管の一例の概略図である。
【図１４】従来のシート状基板搬送装置の一例を示す概略図である。
【図１５】従来のシート状基板搬送装置の一例の動作の第１ステップを示す概略図である。
【図１６】従来のシート状基板搬送装置の一例の動作の第２ステップを示す概略図である。
【図１７】従来のシート状基板搬送装置の一例の動作の第３ステップを示す概略図である。
【図１８】従来のシート状基板搬送装置の一例の動作の第４ステップを示す概略図である。
【符号の説明】
１０…シート状基板
１２…シート状基板の印刷面
２０…平板状ステージ
２２…空気孔
３０…搬送アーム
４０…搬送ハンド
５０…ベルヌーイチャック
５２…空気噴出孔
６０…制御ガイド
６２…傾斜面を有する制御部
６４…水平面を有する制御部
６６…突起部分
７０…搬送チャック
７２…保持部
８０…空気の供給配管
８２…バルブ
８４…バルブ
８６…真空配管
１１０…シート状基板
１２０…平板状ステージ
１２６…中子ステージ
１２８…孔
１９０…Ｕ字状ハンド[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a transfer device and a transfer method for a sheet-like substrate, and more particularly to a transfer device and a transfer method for transferring a fragile sheet-like substrate away from a stage.
[0002]
[Prior art]
2. Description of the Related Art In recent years, when manufacturing solar cells, flat panel displays, and the like, a manufacturing method using a printing apparatus has been frequently used. Printing is usually performed by a screen printing method in which a sheet-like substrate is placed on a printing stage. As sheet-like substrates used for these printings, for example, substrates having a very small thickness and a weak strength, such as a silicon wafer for a solar cell and a glass plate for a liquid crystal substrate, are often used. Therefore, not only during printing but also when taking out the sheet-like substrate from the stage after printing, there is a problem that the substrate may be damaged, such as cracking of the substrate, and care must be taken in taking out the substrate.
[0003]
An outline of an example of a transport device for taking out and transporting a printed sheet-like substrate from a printing stage of such a conventionally used printing device and transporting the same is shown in FIG. The problem will be described. The sheet substrate 110 is arranged on a flat stage 120 which is a part of a printing apparatus main body (not shown). The plate-shaped stage 120 is provided with a hole 128 at the center thereof, and a core stage 126 which can move up and down in the hole 128 so as to be able to enter and exit through the hole 128 is driven by a driving unit (not shown) of the printing apparatus main body. Zu) is supported. Here, the diameter of the hole 128 is substantially the same as the diameter of the core stage 126, but is slightly larger so that the core stage 126 can be smoothly driven through the hole 128. The upper surface of the core stage 126 is formed to be flush with the flat stage 120.
[0004]
A U-shaped hand 190 for placing and transporting the sheet-like substrate 110 on the upper left of the flat stage 120 is supported by a driving unit (not shown) of the printing apparatus main body so as to be movable left and right in the figure. I have. The diameter of the U-shaped hand 190 is slightly larger than the diameter of the core stage 126. When the U-shaped hand 190 moves to the rightmost position as shown in FIG. The hand 190 can be located substantially directly below the sheet-like substrate 110.
[0005]
The operation of the conventional sheet-like substrate transport apparatus having the above-described configuration will be described below with reference to FIGS.
FIGS. 15 to 18 show the first to fourth steps of the operation of the conventional sheet-like substrate transport apparatus. First, in a first step, the sheet-like substrate 110 is placed on the flat stage 120, and the sheet-like substrate 110 is printed on the upper surface thereof by a printing mechanism (not shown) for printing on the sheet-like substrate. FIG. 15 shows a state immediately after the sheet-shaped substrate 110 is printed and before the sheet-shaped substrate 110 is conveyed by the U-shaped hand 190.
[0006]
Next, in the second step, the core stage 126 rises from the hole 128, pushes up the sheet-like substrate 110 from below, and holds the sheet-like substrate 110 at a position higher than the U-shaped hand 190 (FIG. 16). ).
Subsequently, in the third step, the U-shaped hand 190 moves rightward in the figure, and the U-shaped hand 190 is located below the sheet-like substrate 110 (FIG. 17).
Finally, in the fourth step, the core stage 126 is lowered, and the sheet-like substrate 110 is placed on the U-shaped hand 190 (FIG. 18).
[0007]
As described above, the sheet-like substrate 110 is placed on the U-shaped hand 190, becomes transportable, and is transported for the next processing.
[0008]
[Problems to be solved by the invention]
In the conventional transfer device, the upper surfaces of the flat stage 120 and the core stage 126 are formed to be on the same plane, but a step may be generated therebetween. In this case, when the squeegee scans the sheet-shaped substrate in the printing process, stress is concentrated on a portion of the sheet-shaped substrate corresponding to the above-mentioned stepped portion, so that there is a problem that the sheet-shaped substrate may be damaged. In particular, when the sheet-like substrate was fragile, the occurrence of this damage was remarkable.
[0009]
In order to solve this problem, it is conceivable to increase the positioning accuracy in order to reduce a step that may occur between the flat stage 120 and the core stage 126. However, the improvement of the positioning accuracy has a problem that the cost is increased, and it is substantially impossible to completely eliminate the step.
[0010]
Therefore, the present invention can transport the sheet-like substrate without using the core stage in the stage, which causes the stress causing the above-described breakage, and can transport the particularly fragile sheet-like substrate. It is an object to provide an apparatus and a transport method.
[0011]
[Means for Solving the Problems]
The present inventors have conducted various studies in order to solve the above-described problems, and as a result, generated a negative pressure on the sheet-like substrate, and controlled the end of the sheet-like substrate detached from the stage, to thereby control the sheet-like substrate. It has been found that the sheet-like substrate can be conveyed by controlling the position of the sheet-like substrate, and the conveying apparatus and the conveying method for the sheet-like substrate according to the present invention have been completed.
[0012]
The present invention provides, in one aspect, a new sheet-like substrate transfer device, which comprises:
(I) a stage on which a sheet-like substrate is placed (hereinafter also referred to as a “stage”);
(Ii) Suction means for blowing compressed air in a direction parallel to the plane of the sheet-like substrate placed on the stage to generate a negative pressure on the sheet-like substrate to suck the sheet-like substrate (hereinafter also referred to as “suction means”) Say), and
(Iii) A transfer device provided at a position in contact with an end portion of a sheet-like substrate disposed on a stage and having a control guide (hereinafter, also referred to as a “control guide”) for controlling the position of the sheet-like substrate. .
[0013]
In one aspect of the present invention, there is provided a transfer device, wherein the suction means is a Bernoulli chuck.
Further, according to another aspect of the present invention, there is provided a transfer device having at least one control unit in which the control guide has an inclined surface in contact with an end of the sheet-shaped substrate.
Further, in a preferred aspect of the present invention, the control guide provides a transport device further including a protruding portion at a tip of a control unit of the control guide.
[0014]
In one embodiment of the present invention,
(Iv) Provided is a transport device further including a holding guide for holding a sheet-like substrate.
Further, in another aspect of the present invention, there is provided a transfer device in which the stage has at least one air hole.
[0015]
Further, in another aspect of the present invention, there is provided a new sheet-like substrate conveying method,
(A) a step of blowing out compressed air in a direction parallel to the plane of the sheet-like substrate to generate a negative pressure on the sheet-like substrate to suck the sheet-like substrate (hereinafter also referred to as “(a) step”); as well as
(B) A step of controlling the position of the sheet-like substrate by controlling the end of the sucked sheet-like substrate (hereinafter also referred to as “(b) step”)
It is a conveyance method having.
[0016]
In one embodiment of the present invention,
After the steps (a) and (b), the present invention provides a transport method further comprising the step of (c) holding the sucked end of the sheet substrate from below and ending the suction of the sheet substrate.
In another aspect of the present invention, there is provided a conveying method for sucking a sheet-like substrate and sending air from below the sheet-like substrate to the sheet-like substrate in the step (a).
Note that the above-described transport method of the present invention can be preferably implemented using the above-described transport device of the present invention.
[0017]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
The sheet-like substrate transfer device according to the present invention includes (i) a stage, (ii) sheet-like substrate suction means, and (iii) a control guide for controlling the position of the sheet-like substrate.
In the present invention, the “sheet-shaped substrate” is not particularly limited as long as it is usually a “sheet-shaped substrate”, and is made of, for example, a material such as glass, plastic, silicon, and ceramic. A thin plate-shaped substrate in the form of a sheet. Therefore, specific examples of such a sheet-like substrate include a solar cell wafer and a liquid crystal panel glass plate. The sheet substrate according to the present invention may be a fragile sheet substrate that is vulnerable to stress.
[0018]
In the present invention, the “stage” is generally a stage, and is not particularly limited as long as the “sheet-like substrate” can be disposed thereon. Preferably, the stage has a substantially planar upper surface. The “stage” is preferably a “flat stage” having a flat shape.
Preferably, the stage has at least one air hole. This is because when the sheet-like substrate is separated from the stage, air is sent from the air holes to make the separation of the sheet-shaped substrate easier. The size, shape, number and the like of the air holes can be appropriately selected.
[0019]
In the present invention, the `` suction means '' means that compressed air is blown in a direction parallel to the plane of the sheet-like substrate placed on the stage, and a negative pressure is generated on the sheet-like substrate to suck the sheet-like substrate. There is no particular limitation as long as the suction means can be used. Specific examples of the suction unit include a Bernoulli chuck and a suction pad, but a Bernoulli chuck is particularly preferable because it can suck a sheet-like substrate in a non-contact manner. The distance between the suction means and the stage (or the sheet-like substrate) can be appropriately selected in consideration of the suction strength, the weight and the size of the sheet-like substrate, and the like.
[0020]
In the present invention, the “control guide” is particularly limited as long as it is provided at a position where it comes into contact with the end of the sheet-like substrate placed on the stage and can control the position of the sheet-like substrate. Not something. Usually, the control guide is preferably provided above the sheet-like substrate. The sheet-like substrate is sucked by the suction means and detaches upward from the stage, and the control guide controls the position of the detached sheet-like substrate. For this purpose, the control guide has a control unit that comes into contact with the end of the sheet-like substrate, and when the sheet-like substrate is sucked by the suction unit, the control unit is previously arranged at a position closer to the sheet-like substrate than the suction unit. Is preferred. This is to prevent contact between the sheet-like substrate and the suction means. The control section may have any shape as long as it can control the position of the sheet substrate. Also, the number can be appropriately selected.
[0021]
The control unit of the control guide may be a control unit having a horizontal surface, or may be a control unit having an inclined surface. Is preferred because it is possible to regulate Further, it is preferable that the control section has a protruding portion at its tip, because the range of the sheet-like substrate can be more restricted and the contact between the sheet-like substrate sucked reliably and the suction means can be prevented. The shape, size, and the like of the protruding portion at the tip of the control unit can be appropriately selected.
[0022]
The transport device according to the present invention preferably has (iv) a holding guide for holding the sheet-shaped substrate. In the present invention, the “holding guide” is not particularly limited as long as it can hold the sheet-like substrate whose position is controlled by the control guide from below. The holding guide has a holding portion for holding the sheet-like substrate. The shape and size of the holding portion can be appropriately selected as long as the holding portion can hold the sheet-like substrate. It is preferable that the holding portion has a projection shape in order to hold the sheet-like substrate. By using the holding guide, the suction of the air by the suction unit can be stopped when the sheet-like substrate is transported.
[0023]
The “suction unit”, the “control guide”, and the “holding guide” may each be incorporated as a single device in the transport device according to the present invention, but are integrated as one system and incorporated in the transport device. It may be. As an example of such integration, a transfer arm to which all of the “suction unit”, “control guide”, and “holding guide” are attached can be exemplified. Further, a transfer hand to which a "suction unit" and a "control guide" are attached and a transfer arm to which a "holding guide" is attached can be exemplified.
[0024]
The conveying method of the sheet-like substrate according to the present invention,
(A) blowing compressed air in a direction parallel to the plane of the sheet-like substrate to generate a negative pressure on the sheet-like substrate and sucking the sheet-like substrate; and
(B) a step of controlling the end of the sucked sheet substrate to control the position of the sheet substrate;
Having.
[0025]
In the present invention, “(a) the step of sucking the sheet-like substrate” means that compressed air is blown in a direction parallel to the plane of the sheet-like substrate to generate a negative pressure above the sheet-like substrate, From the stage. Suction conditions such as the strength of suction by the suction means and the distance between the suction means and the sheet-like substrate (or stage) can be appropriately selected. In the step (a), it is preferable that air is further sent from below the sheet-like substrate in order to more easily detach the sheet-like substrate from the stage.
[0026]
In addition, “(b) the step of controlling the position of the sheet substrate” refers to the step of controlling the position of the sheet substrate by controlling the end of the sheet substrate separated from the stage in the step (a). Say. At the start of the suction in the step (a), the step (b) is prepared in advance so that the position of the sheet-like substrate can be controlled, and by suction, the sheet-like substrate detached from the stage may come into contact with the suction means. It is preferable to immediately control the position of the sheet-shaped substrate so as not to cause such a situation.
[0027]
The transport method according to the present invention described above includes, after the steps (a) and (b), (c) a step of holding the sucked end of the sheet-like substrate from below and terminating the suction of the sheet-like substrate. It is more preferable to have. In the step (c), by holding the end of the sheet-like substrate from below, the ejection of the air from the suction means, which is continued from the step (a), can be stopped. Thereby, when the upper surface of the sheet-shaped substrate is printed, it is possible to reduce the influence of the suction using the suction unit on the printed surface.
[0028]
In addition, it is preferable that the method for transporting a sheet-like substrate according to the present invention is performed using the above-described transport device according to the present invention.
[0029]
The apparatus and method for transporting a sheet-like substrate according to the present invention can be used in any technical field without particular limitation as long as the technical field handles a sheet-like substrate. For example, transfer of a solar cell wafer and transfer of a glass plate for a liquid crystal panel can be exemplified.
The transfer device according to the present invention can be used by being incorporated in a part of another device such as a printing device, a spray coating device, a soldering device, and a spin coating device. In addition, the transport method according to the present invention can be used by being incorporated in a part of another method such as a printing method, a spray coating method, a soldering method, and a spin coating method.
[0030]
Hereinafter, the transport device and the transport method of the sheet-like substrate according to the present invention will be specifically described in detail with reference to the accompanying drawings, but these are merely examples of the embodiment of the present invention, The present invention is not limited by these examples.
[0031]
Embodiment 1
FIG. 1 is a schematic diagram of a sheet-like substrate transfer device according to a first embodiment of the present invention. The sheet-shaped substrate 10 is disposed on a flat stage 20 which is a part of a printing apparatus main body (not shown), and is connected to the printing apparatus main body (not shown) by a transport arm 30 located above. Conveyed.
A Bernoulli chuck 50 as suction means for sucking a sheet-like substrate and a control guide 60 for controlling the position of the sheet-like substrate on the left and right sides of the Bernoulli chuck 50 are provided at the center of the transfer hand 40 coupled to the transfer arm 30. Have been. The Bernoulli chuck 50 is provided with an air ejection hole 52 at the center, and ejects compressed air from an air generation source (not shown) in a direction substantially parallel to the plane of the stage, that is, in a direction parallel to the plane of the sheet substrate 10. Can be. Thus, a negative pressure is generated between the sheet-shaped substrate 10 and the Bernoulli chuck 50, that is, a negative pressure is generated above the sheet-shaped substrate 10, and the sheet-shaped substrate 10 can be sucked.
Since the air cushion is formed between the sheet-shaped substrate 10 and the Bernoulli chuck 50 by the ejection of the compressed air, the contact between the sheet-shaped substrate 10 and the Bernoulli chuck 50 does not occur in a steady state.
[0032]
On the other hand, the control section 62 for controlling the position of the sheet-shaped substrate of the control guide 60 has an inclined surface. By bringing the end of the sheet-shaped substrate 10 into contact with the control portion 62 having the inclined surface of the control guide 60, when the sheet-shaped substrate 10 is sucked by the Bernoulli chuck 50, the two can be temporarily contacted. This is to prevent it. In general, a predetermined pattern is printed on the upper surface of the sheet-like substrate 10 by a printing process in a previous process. However, the control guide 60 prevents the formed printing surface 12 from contacting the Bernoulli chuck 50. Further, when the sheet-like substrate 10 is conveyed while being sucked, if the control unit 62 has an inclined surface, the movement of the sheet-like substrate 10 in the planar direction can be regulated using the control guide 60. . This is because a negative pressure is generated between the Bernoulli chuck 50 and the sheet-like substrate 10 and the sheet-like substrate 10 is sucked. However, even if the Bernoulli chuck 50 is used, no restrictive force acts in the horizontal direction in the figure. Because it is not.
[0033]
The operation of the above-described transport device of the first embodiment and the transport method of a sheet-like substrate using the transport device will be described with reference to FIGS.
After a predetermined printing process is performed on the sheet-shaped substrate 10, the transfer arm 30 is moved substantially above the sheet-shaped substrate 10 to transfer the sheet-shaped substrate 10 from the flat-plate stage 20 (FIG. 1). Air is ejected from the air ejection holes 52 in a direction parallel to the plane of the sheet-like substrate 10, and the sheet-like substrate 10 is sucked upward by the negative pressure generated thereby. The sheet-shaped substrate 10 is held by the control guide 60 of the transfer arm 30, and can be moved to a predetermined position (FIG. 2). As described above, in the present invention, the sheet-like substrate can be transferred from the stage without using the core stage used in the conventional transfer device.
[0034]
Although the control guide 60 described above is described in FIGS. 1 and 2 so as to control two opposing sides of the sheet-shaped substrate 10, the control guide is disposed on the front, rear, left and right sides of the Bernoulli chuck, and May be configured to control the four sides. Further, in FIGS. 1 and 2, the control guide 60 is provided at two places on the left and right, but it may be configured to control at two places or more places in the depth direction.
[0035]
In the first embodiment, the control guide 60 has the control unit 62 forming an inclined surface. However, if a small force is not applied in the horizontal direction in the drawing, as shown in FIG. , A control unit 64 having a horizontal surface. That is, the transporting device according to the present invention may be configured such that the control unit 64 having the horizontal surface contacts a portion other than the printing surface 12 of the sheet-like substrate 10. In this case, it is preferable that the printing on the upper surface of the sheet-like substrate is not performed up to the end of the printing surface.
[0036]
Embodiment 2
FIG. 4 is a schematic view of a sheet-like substrate transfer device according to a second embodiment of the present invention. The transfer device illustrated in FIG. 4 is the same as the transfer device illustrated in FIG. 1 except that a transfer chuck 70 that functions as a holding guide that holds the sheet-like substrate 10 from below is joined to the transfer arm 30. Device. The transfer chuck 70 is provided as a pair on the left and right with respect to the transfer arm 30, and is mounted so as to be operable in the left-right direction in the figure. The transport chuck 70 shown in FIG. Each of the transfer chucks 70 is formed with a holding portion 72 as a projection as shown in FIG. When the transport chuck 70 is narrowed to the innermost position, the interval between the tips of the two holding portions 72 is smaller than the width of the sheet substrate 10.
[0037]
The operation of the above-described transport device of the second embodiment and a transport method of a sheet-like substrate using the transport device will be described with reference to FIGS.
After a predetermined printing process is performed on the sheet-like substrate 10, the transfer arm 30 is moved almost above the sheet-like substrate 10 to transfer the sheet-like substrate 10 from the flat-plate stage 20 (FIG. 4). Air is ejected from the air ejection holes 52 in a direction parallel to the plane of the sheet-like substrate 10, and the sheet-like substrate 10 is sucked upward by the negative pressure generated thereby. The sheet substrate 10 is held by the control guide 60 of the transfer arm 30 (FIG. 5).
[0038]
Next, as shown in FIG. 6, the transport chucks 70 move inward, and the holding units 72 are both located below the sheet-like substrate 10 and at positions where the sheet-like substrate 10 can be placed. Thereafter, when the blowing of air from the Bernoulli chuck 50 is stopped, the sheet-like substrate 10 is held by the holding section 72 (FIG. 6). In this state, the sheet-like substrate 10 can be transported to a predetermined position.
[0039]
By operating in this manner, it becomes possible to stop the ejection of air and convey the sheet-shaped substrate 10 when the sheet-shaped substrate 10 is conveyed. Accordingly, the sheet-like substrate can be transported from the stage without using the core stage, and when transporting the sheet-like substrate in a state where the paste or the like on the printing surface 12 immediately after printing is not completely dried, air is discharged. It is possible to further reduce the influence on the printing surface due to the ejection (the generation of ripples due to air, etc.).
[0040]
Embodiment 3
FIG. 7 is a schematic diagram of a sheet-like substrate transfer device according to a third embodiment of the present invention. The transfer device shown in FIG. 7 has the same configuration as that shown in FIG. 4 except that a protrusion 66 for further restricting the position of the sheet-like substrate 10 is formed at the tip of the control unit 62 forming the inclined surface of the control guide 60. Is a device similar to the transfer device shown in FIG. As described in the first embodiment, when the sheet-like substrate 10 is transported in a sucked state, the control guide 60 has the control unit 62 having the inclined surface, so that the movement of the sheet-like substrate 10 in the planar direction is restricted. However, since the protruding portion 66 restricts the existing range of the sheet-like substrate 10, the contact between the sheet-like substrate 10 and the Bernoulli chuck 50 at the time of suction can be more reliably prevented. .
[0041]
The operation of the above-described transport device of the third embodiment and the transport method of a sheet-like substrate using the transport device will be described with reference to FIGS.
After a predetermined printing process is performed on the sheet-shaped substrate 10, the transfer arm 30 moves almost above the sheet-shaped substrate 10 to transfer the sheet-shaped substrate 10 from the flat-plate stage 20 (FIG. 7). Air is ejected from the air ejection holes 52 in a direction parallel to the plane of the sheet-like substrate 10, and the sheet-like substrate 10 is sucked upward by the negative pressure generated thereby. The sheet-shaped substrate 10 is held by the control guide 60 of the transfer arm 30, and the existence range of the sheet-shaped substrate 10 is more reliably regulated by the protruding portion 66, so that the sheet-shaped substrate 10 and the Bernoulli chuck 50 are more reliably contacted. (FIG. 8).
[0042]
Next, as shown in FIG. 9, the transport chucks 70 are both moved inward, and the holding unit 72 is arranged together under the sheet-like substrate 10 at a position where the sheet-like substrate 10 can be placed. . Thereafter, when the blowing of air from the Bernoulli chuck 50 is stopped, the sheet-like substrate 10 is held by the holding section 72 (FIG. 9). In this state, the sheet-like substrate 10 can be transported to a predetermined position.
[0043]
By operating in this manner, it becomes possible to stop the ejection of air and convey the sheet-shaped substrate 10 when the sheet-shaped substrate 10 is conveyed. Thereby, the sheet-like substrate can be transported more reliably from the stage without using the core stage, and when the sheet-like substrate in a state where the paste or the like on the printing surface 12 immediately after printing cannot be dried completely. In addition, it is possible to further reduce the influence on the printing surface due to the ejection of air (such as generation of ripples due to air).
[0044]
Embodiment 4
FIG. 10 is a schematic diagram of a sheet-like substrate transfer device according to a fourth embodiment of the present invention. The transfer device shown in FIG. 10 is the same as the transfer device shown in FIG. 7 except that an air hole 22 is provided in the flat stage 20. The air is supplied from an air supply source (not shown) and blows out from the air holes 22.
[0045]
The operation of the transport device of the above-described fourth embodiment and the transport method of the sheet-like substrate using the transport device will be described with reference to FIGS.
After a predetermined printing process is performed on the sheet-like substrate 10, the transfer arm 30 is moved substantially above the sheet-like substrate 10 to transfer the sheet-like substrate 10 from the flat plate-like stage 20 (FIG. 10). Air is ejected from the air ejection holes 52 in a direction parallel to the plane of the sheet-like substrate 10, thereby generating a negative pressure. In addition, by ejecting air from the air holes 22, the sheet-like substrate 10 is Move away from Then, the sheet-shaped substrate 10 is held by the control guide 60 of the transfer arm 30, and the projecting portion 66 of the control unit 62 further reliably restricts the existing range of the sheet-shaped substrate 10. Contact is more reliably prevented (FIG. 11).
[0046]
Next, as shown in FIG. 12, the transport chucks 70 move inward, and the holding unit 72 is disposed below the sheet-like substrate 10 at a position where the sheet-like substrate 10 can be placed. Thereafter, when the blowing of air from the Bernoulli chuck 50 is stopped, the sheet-like substrate 10 is held by the holding section 72 (FIG. 12). In this state, the sheet-like substrate 10 can be transported to a predetermined position.
[0047]
By operating as described above, when the sheet-like substrate 10 is transported, the suction from the Bernoulli chuck 50 and the ejection of air from the plate-like stage 20 are simultaneously performed, so that the sheet-like substrate is more easily detached from the stage. The sheet substrate 10 can be more reliably brought into contact with the control guide 60 and held by the transport chuck 70.
[0048]
In general, a stage of a printing apparatus is often provided with a suction hole for sucking and fixing a sheet-like substrate at the time of printing, but this suction hole is used as an air hole provided in the above-described stage. It is also possible to use them together. In this case, for example, as shown in FIG. 13, it is necessary to devise a device that can switch between the air supply pipe 80 connected to the air hole 22 and the vacuum pipe 86 using the valves 82 and 84.
[0049]
In the above embodiment, the case where the sheet-like substrate has a rectangular shape has been described, but the present invention is not limited to a rectangular sheet-like substrate, and for example, even if the shape is circular. The present invention can be similarly implemented by appropriately changing the shape and arrangement of the control guide and the like.
[0050]
【The invention's effect】
When the sheet-like substrate transfer apparatus and the transfer method according to the present invention are used, a negative pressure is generated on the sheet-like substrate, thereby separating the sheet-like substrate from the stage. There is no need to use the core stage used to make it work. Therefore, the problem that the sheet-like substrate is damaged based on the step between the core stage and the core stage caused by using the core stage is solved.
[0051]
Furthermore, by using a control guide having a control unit having an inclined surface, it is possible to prevent the contact between the suction means and the printing surface of the sheet-like substrate, and to restrict the horizontal movement of the sheet-like substrate during conveyance. It is possible to carry while carrying.
In addition, by using a control guide having a protruding portion at the tip of the control unit, it is possible to more reliably ensure that the suction unit contacts the printing surface of the sheet-like substrate and that the sheet-like substrate moves in the horizontal direction during conveyance. Can be prevented.
[0052]
By using the holding guide, the suction can be stopped after the sheet-like substrate is sucked and held by the holding guide. Accordingly, it is possible to reduce the influence of suction on the printing surface of the printed sheet substrate.
Further, by using the air holes in the stage, the sheet-like substrate can be more easily detached from the stage, and the sheet-like substrate can be more reliably brought into contact with the control guide and the sheet-like substrate can be held by the holding guide. It becomes possible.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic view of a sheet-like substrate transfer device according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a schematic diagram illustrating an operation of the sheet-like substrate transport device according to the first embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a schematic view of a sheet-like substrate transfer device according to a first embodiment of the present invention and a sheet-like substrate transfer device of another embodiment.
FIG. 4 is a schematic view of a sheet-like substrate transfer device according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a schematic diagram showing an operation of the sheet-like substrate transport device according to the second embodiment of the present invention.
FIG. 6 is a schematic diagram showing an operation of the sheet-like substrate transport device according to the second embodiment of the present invention.
FIG. 7 is a schematic diagram of a sheet-like substrate transfer device according to a third embodiment of the present invention.
FIG. 8 is a schematic diagram illustrating an operation of a sheet-like substrate transfer device according to a third embodiment of the present invention.
FIG. 9 is a schematic diagram showing an operation of the sheet-like substrate transport device according to the third embodiment of the present invention.
FIG. 10 is a schematic view of a sheet-like substrate transfer device according to a fourth embodiment of the present invention.
FIG. 11 is a schematic diagram showing an operation of the sheet-like substrate transfer device according to the fourth embodiment of the present invention.
FIG. 12 is a schematic diagram showing an operation of the sheet-like substrate transfer device according to the fourth embodiment of the present invention.
FIG. 13 is a schematic view of an example of an air pipe used in a sheet-like substrate transfer device according to a fourth embodiment of the present invention.
FIG. 14 is a schematic view showing an example of a conventional sheet-like substrate transport device.
FIG. 15 is a schematic view showing a first step of an operation of an example of a conventional sheet-like substrate transport apparatus.
FIG. 16 is a schematic view showing a second step of the operation of an example of the conventional sheet-like substrate transport device.
FIG. 17 is a schematic view showing a third step of the operation of an example of the conventional sheet-like substrate transport device.
FIG. 18 is a schematic view showing a fourth step of the operation of an example of the conventional sheet-like substrate transport device.
[Explanation of symbols]
10. Sheet-like substrate
12: Printed surface of sheet-like substrate
20 ... flat stage
22 ... air hole
30 ... Transfer arm
40 ... Transfer hand
50 ... Bernoulli chuck
52 ... Air outlet
60 ... Control guide
62 ... Control unit having an inclined surface
64: control unit having a horizontal surface
66 ... projection part
70 ... Transport chuck
72 ... holding part
80 ... Air supply piping
82 ... Valve
84… Valve
86 ... Vacuum piping
110 ... sheet-like substrate
120 ... flat stage
126 ... Core stage
128 holes
190… U-shaped hand
