【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、情報が担持されたマスター担体からスレーブ媒体へ磁気転写する磁気転写装置において、上記マスター担体とスレーブ媒体とを内部空間に収容し密着させるホルダーに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
本発明の対象とする磁気転写は、少なくとも表層に磁性層を有するサーボ信号等の転写パターンが凹凸形状あるいは埋め込み構造で形成されたマスター担体（パターンドマスター）を、磁気記録部を有するスレーブ媒体と密着させた状態で、転写用磁界を印加してマスター担体に担持した情報に対応する磁化パターンをスレーブ媒体に転写記録するものである。この磁気転写の一例としては、例えば特開昭６３−１８３６２３号、特開平１０−４０５４４号、特開平１０−２６９５６６号、特開２００１−２５６６４４等に開示されている。
【０００３】
上記スレーブ媒体がハードディスクまたは高密度フレキシブルディスクのような円盤状媒体の場合には、このスレーブ媒体の片面または両面に円盤状のマスター担体を密着させた状態で、その片側または両側に電磁石装置、永久磁石装置による磁界印加装置を配設して転写用磁界を印加する。
【０００４】
この磁気転写における転写品質を高めるためには、スレーブ媒体とマスター担体とをいかに均一に密着させることが重要な課題である。つまり密着不良があると、磁気転写が起こらない領域が生じ、磁気転写が起こらないとスレーブ媒体に転写された磁気情報に信号抜けが発生して信号品位が低下し、記録した信号がサーボ信号の場合にはトラッキング機能が十分に得られずに信頼性が低下するという問題がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記のような磁気転写では、マスター担体およびスレーブ媒体を、接離移動する片側ホルダーと他側ホルダーとを備えるホルダーの内部空間に位置決め状態で収容して対峙密着させることが、全面で均一な密着を得る点で良好である。
【０００６】
また、上記ホルダーに対しスレーブ媒体を供給し、供給されたスレーブ媒体にマスター担体を密着させ、磁気転写後のスレーブ媒体を搬出するのに応じてホルダーは開閉作動されるものであるが、その動作において、マスター担体またはスレーブ媒体が移動せずに位置決め状態を維持させるためには、マスター担体およびスレーブ媒体をホルダーの所定位置に保持しておく必要がある。
【０００７】
上記磁気転写においてスレーブ媒体に転写記録された磁化パターンの位置精度を確保するためには、磁気転写時におけるマスター担体とスレーブ媒体との位置合わせも重要な要件であり、このために、マスター担体とスレーブ媒体をホルダーに固定し位置ずれを防止する手段として、マスター担体およびスレーブ媒体の内径部または外径部保持する位置決め部品をホルダーに設けることが考えられるが、スレーブ媒体の着脱に伴い位置決め部品とスレーブ媒体とが摺動することによってスレーブ媒体に傷が発生したり、摺動に伴う摩耗粉が発塵し、密着面に塵埃が付着することによる転写不良（信号抜け）の原因となっていた。
【０００８】
一方、マスター担体とスレーブ媒体との密着性を高めるために、密着力を印加して両者を押し付ける必要があるが、この密着力の印加としてホルダーに外部より機械式押圧力を印加することが考えられるが、この機械式の密着力の印加だけではマスター担体とスレーブ媒体との密着面に均一に圧力を加えることが困難である。この点、ホルダーの内部空間を真空吸引して均等に作用する外気圧による密着力を得る真空吸引方式が好ましい。
【０００９】
本発明はこのような問題に鑑みなされたもので、マスター担体およびスレーブ媒体の所定位置への保持、均等な密着性を得るようにした磁気転写装置のホルダーを提供することを目的とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明の磁気転写装置のホルダーは、接離移動する片側ホルダーと他側ホルダーとの間に開閉される内部空間に、転写を受けるスレーブ媒体とその片側または両側に転写情報を担持したマスター担体を収容して対峙密着させる磁気転写装置のホルダーにおいて、
前記片側ホルダーと他側ホルダーの少なくとも一方の押圧内面に、前記マスター担体を吸着保持するための真空系統、前記スレーブ媒体を吸着保持するための真空系統、前記内部空間を減圧するための真空系統の、少なくとも２系統以上の真空系統を備えたことを特徴とするものである。
【００１１】
前記真空系統の一部は、前記ホルダーの支持軸内部を通して形成するのが好ましい。また、一部の真空系統はホルダーの円盤部から直接導出し可撓性のエアパイプによって真空源に接続するようにしてもよい。
【００１２】
前記ホルダーの１つの支持軸内部に２系統以上の真空系統を通すようにしてもよい。その際、前記ホルダーの支持軸は、固定部に軸受けとシール材を介して支承されている。
【００１３】
前記ホルダーの支持軸と固定部との間のシール材には、Ｏリングまたは磁性流体を用いるのが好適である。
【００１４】
なお、前記ホルダーにおける片側ホルダーと他側ホルダーの少なくとも一方の押圧内面に、弾性特性を有する緩衝材を備え、この緩衝材を介して押圧力を均等に作用させて押圧密着してもよい。
【００１５】
密着力の印加は、真空吸引による圧力印加方式に加えて、機械的な外圧の印加方式を併用するようにしてもよい。
【００１６】
一方、前記ホルダーに対するマスター担体およびスレーブ媒体の位置決めは、例えば、測定顕微鏡またはＣＣＤカメラ等の位置観察手段を使用し、位置決めマーク等を基準としてマスター担体またはスレーブ媒体をＸＹ方向へ微調整することにより行うものが好適である。
【００１７】
【発明の効果】
本発明によれば、ホルダーに少なくとも２系統以上の真空系統を有することにより、マスター担体の吸着保持、スレーブ媒体の吸着保持、内部空間の減圧の全てが同時に可能となり、高品位の磁気転写が可能となる。
【００１８】
また、内部空間を減圧する真空系統を備えることにより、マスター担体とスレーブ媒体間の空気が排出されるため、全面にわたって確実に密着させることができ、位置決め精度の確保とにより、転写信号品位および位置精度が良好であるとともに、位置決め部材を用いなくてもよいために、コスレによる発塵およびマスター担体の寿命低下が抑制できる。
【００１９】
また、マスター坦体およびスレーブ媒体を真空吸着によって保持するようにしたため、ホルダーの開閉密着および磁気転写時の位置ずれを抑制することができ、スレーブ媒体の中心軸とマスター担体上のパターンの中心軸を高精度に合わせた状態での磁気転写が可能となる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、図面に示す実施の形態に基づいて本発明を詳細に説明する。図１は一実施形態にかかる磁気転写装置のホルダーの開状態を示す概略断面図である。なお、この図は模式図であり各部の寸法は実際とは異なる比率で示している。
【００２１】
図１に示す磁気転写装置のホルダー１０は、両面同時磁気転写を行うものであり、接離移動可能な左側の片側ホルダー５と右側の他側ホルダー６とを備え、両者の接近に伴い外周のシール部７により密閉形成される内部空間Ａに、スレーブ媒体２、両側のマスター担体３，４を配置して中心位置を合わせた状態でスレーブ媒体２とマスター担体３，４とを対峙密着させる。ここで対峙密着とは、接触密着、ごく僅かな隙間を空けて対峙することの双方の何れかを指すものとする。
【００２２】
片側ホルダー５および他側ホルダー６は背面中心部にそれぞれ支持軸５ａ，６ａを備え、両支持軸５ａ，６ａがそれぞれ固定部８，９に回転可能に支承されている。固定部８，９には軸受け８ａ，９ａ（ベアリング）が設置されるとともに、それぞれＯリングによる３つのシール材８ｂ，９ｂが間隔をもって設置されている。
【００２３】
前記片側ホルダー５は、その押圧内面５ｂにスレーブ媒体２の片面にサーボ信号等の情報を転写する一方のマスター担体３を吸着する第１の真空系統１１と、押圧内面５ｂの中心部にスレーブ媒体２を吸着する第２の真空系統１２とを備える。前記他側ホルダー６は、その押圧内面６ｂにスレーブ媒体２の他面にサーボ信号等の情報を転写する他方のマスター担体４を吸着する第３の真空系統１３と、内部空間Ａを減圧する第４の真空系統１４とを備える。
【００２４】
上記第１〜第４の真空系統１１〜１４は、それぞれの支持軸５ａ，６ａを通して片側ホルダー５および他側ホルダー６の外部に導出される。つまり、片側ホルダー５は円盤状でマスター担体３の外径より大きい円形状の押圧内面５ｂに、マスター担体３の大きさに対応する範囲に第１の真空系統１１の吸引穴１１ａが開口され、この吸引穴１１ａに連通する第１エア通路１１ｂが片側ホルダー５の円盤部分から支持軸５ａ内の外周側部分に設置されている。また、上記マスター担体３の内径より内周側の押圧内面５ｂに第２の真空系統１２の吸引穴１２ａが開口され、この吸引穴１２ａに連通する第２エア通路１２ｂが片側ホルダー５の円盤部分から支持軸５ａ内の中心部分に設置されている。第１エア通路１１ｂおよび第２エア通路１２ｂは、支持軸５ａの周面の異なる位置に開口し、開口部分を分離するように固定部８に３つのシール材８ｂが設置され、このシール材８ｂの間の固定部８に連通穴１１ｃ，１２ｃが形成され、各連通穴１１ｃ，１２ｃに接続されたエアパイプ１１ｄ，１２ｄを通して第１および第２の真空系統１１，１２が導出され、外部に設置された不図示の真空源（真空ポンプ）に接続され、吸引圧の導入によりマスター担体３の裏面およびスレーブ媒体２の中心部を内面５ｂに吸着により保持する。
【００２５】
一方、前記他側ホルダー６も円盤状でマスター担体４の外径より大きい円形状の押圧内面６ｂに、マスター担体４の大きさに対応する範囲に第３の真空系統１３の吸引穴１３ａが開口され、この吸引穴１３ａに連通する第３エア通路１３ｂが他側ホルダー６の円盤部分から支持軸６ａ内の外周側部分に設置されている。また、上記マスター担体４の内径より内周側の押圧内面６ｂに第４の真空系統１４の吸引穴１４ａが開口され、この吸引穴１４ａに連通する第４エア通路１４ｂが他側ホルダー６の円盤部分から支持軸６ａ内の中心部分に設置されている。第３エア通路１３ｂおよび第４エア通路１４ｂは、支持軸６ａの周面の異なる位置に開口し、開口部分を分離するように固定部９に３つのシール材９ｂが設置され、このシール材９ｂの間の固定部９に連通穴１３ｃ，１４ｃが形成され、各連通穴１３ｃ，１４ｃに接続されたエアパイプ１３ｄ，１４ｄを通して第３および第４の真空系統１３，１４が導出され、外部に設置された不図示の真空源（真空ポンプ）に接続され、吸引圧の導入によりマスター担体４の裏面を吸着により保持するとともに内部空間Ａを減圧して密着力を得ると同時に、密着面のエア抜きを行って密着性を高める。
【００２６】
前記固定部８，９に設置するシール材８ｂ，９ｂとしては、固定部８，９の内周または支持軸５ａ，６ａの外周に装着するＯリング、磁性流体シール、Ｏリングと磁性流体シールとを併用して構成してもよい。磁性流体シールは摺動において発塵性がなく、シール部分からの発塵が抑えられる。
【００２７】
また、他側ホルダー６の外周に設置されたシール部７はリング状であり、他側ホルダー６の外周面に突設されたフランジ６ｃに装着されて、弾性部材７ａを介して軸方向（接離方向）にその変形量だけ移動可能である。このシール部７の端面にはＯリングによる端面シール材７ｂを備え、片側ホルダー５の内面５ｂに圧接して内部空間Ａの開閉シールを行う。また、シール部７の内周面にはＯリングによる周面シール材７ｃを備え、他側ホルダー６の外周面との間の摺動シールを行う。
【００２８】
片側ホルダー５および他側ホルダー６は図示しない回転機構に連係されて磁気転写時に支持軸５ａ，６ａを中心に一体に回転駆動される。なお、図示していないが、磁気転写装置はホルダー１０を回転させつつ転写用磁界を印加する磁界印加装置を備える。
【００２９】
また、前記片側ホルダー５および他側ホルダー６の少なくとも一方が軸方向（図で左右方向）に移動可能に支持され、両ホルダー５，６が互いに接離移動可能であり、図１に示すような分離状態からの接近移動に伴い、シール部７の端面シール材７ｂが片側ホルダー５の内面５ｂに圧接して内部空間Ａを閉じる。この密閉後に、内部空間Ａを第４の真空系統により減圧すると共に、他側ホルダー６を閉方向へ移動させる。これに伴いスレーブ媒体２の両面にマスター担体３，４を所定の加圧力で密着させる。
【００３０】
なお、上記密着力の印加のために、第４の真空系統１４に加えて、ホルダー１０を外部から機械的に加圧する押圧手段を備えてもよい。この押圧手段は加圧シリンダを備え、その押圧ロッドの先端がホルダー１０の支持軸５ａまたは６ａに所定の押圧荷重を印加するように構成すればよい。
【００３１】
また、他側ホルダー６の内面にはマスター担体４の背面を吸着保持する緩衝材を備えてもよい。この緩衝材は均等に圧力を加えるためのもので、弾性特性を有する材料により円盤シート状に形成される。
【００３２】
片側ホルダー５および他側ホルダー６に対するマスター担体３，４およびスレーブ媒体２の位置決めは、例えば、測定顕微鏡またはＣＣＤカメラ等の位置観察手段を使用し、位置決めマーク等を基準としてマスター担体３，４またはスレーブ媒体２をＸＹ方向へ微調整することにより行う。
【００３３】
スレーブ媒体２は、両面または片面に磁気記録部（磁性層）が形成されたハードディスク、高密度フレキシブルディスクなどの円盤状磁気記録媒体が使用される。その磁気記録部は塗布型磁気記録層あるいは金属薄膜型磁気記録層で構成される。
【００３４】
マスター担体３，４は円盤状ディスクに形成されている。このマスター担体３は、基板上に形成された微細凹凸パターンに磁性体が被覆されてなり、この面がスレーブ媒体２に密着される転写パターンが形成された転写情報担持面となる。これと反対側の面が両ホルダー５，６に吸着保持される。マスター担体３，４の基板としては、ニッケル、シリコン、石英板、ガラス、アルミニウム、合金、セラミックス、合成樹脂等を使用する。凹凸パターンの形成は、スタンパー法等によって行われる。磁性体の形成は、磁性材料を真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の真空成膜手段、メッキ法などにより成膜する。面内記録と垂直記録とで、ほぼ同様のマスター担体３，４が使用される。
【００３５】
転写用磁界および必要に応じて初期磁界を印加する不図示の磁界印加装置は、面内記録の場合には、例えば、スレーブ媒体２の半径方向に延びるギャップを有するコアにコイルが巻き付けられたリング型ヘッド電磁石がホルダー１０の両側に配設されてなり、両側で同じ方向にトラック方向と平行に発生させた転写用磁界を印加する。ホルダー１０を回転させて、スレーブ媒体２とマスター担体３，４の全面に転写用磁界を印加する。磁界印加装置を回転移動させるように設けてもよい。磁界印加装置は、片側にのみ配設するようにしてもよく、永久磁石装置を両側または片側に配設してもよい。また、垂直記録の場合の磁界印加装置は、極性の異なる電磁石または永久磁石をホルダー１０の両側に配置し、垂直方向に転写用磁界を発生させて印加する。部分的に磁界を印加するものでは、ホルダー１０を移動させるか磁界を移動させて全面の磁気転写を行う。
【００３６】
次に、磁気転写工程を説明する。上記磁気転写装置のホルダー１０では、同じマスター担体３，４により複数のスレーブ媒体２に対する磁気転写を行うものであり、まず片側ホルダー５に第１の真空系統１１によってマスター担体３を、他側ホルダー６に第３の真空系統１３によってマスター担体４を、それぞれ位置を合わせて吸着保持させておく。
【００３７】
この他側ホルダー６と片側ホルダー５とを離間した開状態で、予め面内方向または垂直方向の一方に初期磁化したスレーブ媒体２を中心位置を合わせてセットし第２の真空系統１２によって吸着した後、他側ホルダー６を片側ホルダー５に接近移動させる。
【００３８】
そして、ホルダー１０の内部空間Ａを閉じた後に、第４の真空系統１４により内部空間Ａのエア排出を行って減圧し、内部を所定の真空度とすると共に、さらに他側ホルダー６を移動させる。スレーブ媒体２にマスター担体４が接触し、真空度に応じて作用する外力（大気圧）による圧力で、片側ホルダー５に向けてスレーブ媒体２とマスター担体３，４とに均一かつ平行に密着力を加え、所定の密着圧力で密着させる。
【００３９】
その後、ホルダー１０の両側に磁界印加装置を接近させ、ホルダー１０を回転させつつ磁界印加装置によって初期磁化とほぼ反対方向に転写用磁界を印加し、マスター担体３の転写パターンに応じた磁化パターンをスレーブ媒体２の磁気記録部に転写記録する。
【００４０】
上記磁気転写時に印加された転写用磁界は、マスター担体３，４の転写パターンにおけるスレーブ媒体２と密着した磁性体による凸部パターンに吸い込まれ、面内記録の場合にはこの部分の初期磁化は反転せずその他の部分の初期磁化が反転し、垂直記録の場合にはこの部分の初期磁化が反転しその他の部分の初期磁化は反転しない結果、スレーブ媒体２にはマスター担体３，４の転写パターンに応じた磁化パターンが転写記録される。
【００４１】
本実施形態によれば、４つの真空系統１１〜１４が設置され、両側のマスター担体３，４の吸着保持、スレーブ媒体２の吸着保持および内部空間Ａの減圧を磁気転写の工程に応じて行うように設置されているため、位置精度の確保、均一密着の確保により、転写品質が良好で信頼性の高い磁気転写が行える。
【００４２】
図２は他の実施形態のホルダー２０を示す開状態の断面図である。この実施形態は、真空系統の設置態様が前実施形態とは異なっている。
【００４３】
本実施形態のホルダー２０は、接離移動可能な片側ホルダー１５と他側ホルダー１６とを備え、両者の接近に伴い外周のシール部７により密閉形成される内部空間Ａに、スレーブ媒体２、両側のマスター担体３，４を配置して中心位置を合わせた状態でスレーブ媒体２とマスター担体３，４とを対峙密着させる。
【００４４】
片側ホルダー１５および他側ホルダー１６は背面中心部にそれぞれ支持軸１５ａ，１６ａを備え、両支持軸１５ａ，１６ａがそれぞれ固定部１８，１９に回転可能に支承されている。固定部１８，１９には軸受け１８ａ，１９ａ（ベアリング）が設置されている。
【００４５】
前記片側ホルダー１５は、その押圧内面１５ｂにスレーブ媒体２の片面にサーボ信号等の情報を転写する一方のマスター担体３を吸着する第１の真空系統２１と、押圧内面１５ｂの中心部にスレーブ媒体２を吸着する第２の真空系統２２とを備える。前記他側ホルダー１６は、その押圧内面１６ｂにスレーブ媒体２の他面にサーボ信号等の情報を転写する他方のマスター担体４を吸着する第３の真空系統２３と、内部空間Ａを減圧する第４の真空系統２４とを備える。
【００４６】
上記第２および第４の真空系統２２，２４は、それぞれの支持軸１５ａ，１６ａを通して片側ホルダー１５および他側ホルダー１６の外部に導出され、第１および第３の真空系統２１，２３は、それぞれの円盤部より外部に導出される。
【００４７】
つまり、前記片側ホルダー１５の円形状の押圧内面１５ｂに、マスター担体３の大きさに対応する範囲に第１の真空系統２１の吸引穴２１ａが開口され、この吸引穴２１ａに連通する第１エア通路２１ｂが片側ホルダー１５の円盤部分に設置され、この円盤部の外周部に開口し、この開口に接続されたエアパイプ２１ｄによって導出され、外部に設置された不図示の真空源に接続され、吸引圧の導入によりマスター担体３の裏面を吸着により保持する。また、上記マスター担体３の内径より内周側の押圧内面１５ｂに第２の真空系統２２の吸引穴２２ａが開口され、この吸引穴２２ａに連通する第２エア通路２２ｂが片側ホルダー１５の円盤部分から支持軸１５ａ内の中心部分に設置され、この支持軸１５ａの端部に開口し、この開口に接続されたエアパイプ２２ｄによって導出され、外部に設置された不図示の真空源に接続され、吸引圧の導入によりスレーブ媒体２の中心部を吸着により保持する。
【００４８】
一方、前記他側ホルダー１６の円形状の押圧内面１６ｂに、マスター担体４の大きさに対応する範囲に第３の真空系統２３の吸引穴２３ａが開口され、この吸引穴２３ａに連通する第３エア通路２３ｂが他側ホルダー１６の円盤部分に設置され、この円盤部の外周部に開口し、この開口に接続されたエアパイプ２３ｄによって導出され、外部に設置された不図示の真空源に接続され、吸引圧の導入によりマスター担体４の裏面を吸着により保持する。また、上記マスター担体４の内径より内周側の押圧内面１６ｂに第４の真空系統２４の吸引穴２４ａが開口され、この吸引穴２４ａに連通する第４エア通路２４ｂが他側ホルダー１６の円盤部分から支持軸６ａ内の中心部分に設置され、この支持軸６ａの端部に開口し、この開口に接続されたエアパイプ２４ｄによって導出され、外部に設置された不図示の真空ポンプに接続され、吸引圧の導入により内部空間Ａを減圧する。
【００４９】
また、他側ホルダー１６の外周に設置されたシール部７は前実施形態と同様であり、他側ホルダー１６の外周面に突設されたフランジ１６ｃに装着されてなり、端面シール材７ｂおよび周面シール材７ｃを備え、片側ホルダー１５の内面１５ｂとの開閉シールおよび他側ホルダー１６の外周面との摺動シールを行う。
【００５０】
前記片側ホルダー１５および他側ホルダー１６の少なくとも一方が互いに接離移動可能であり、図２に示すような分離状態からの接近移動に伴い、内部空間Ａを閉じた密閉後に、内部空間Ａを真空吸引手段により減圧すると共に、スレーブ媒体２の片面にマスター担体３を所定の加圧力で密着させる。
【００５１】
その他は前述の実施形態と同様であり、その磁気転写時にホルダー２０が回転されて全面に転写用磁界が印加されるが、その回転は略１回転であり、可撓性のエアパイプ２１ｄ，２３ｄによってその回転が許容され、磁気転写後に逆回転して戻ることにより次回の磁気転写を行うようになっている。
【００５２】
上記実施形態によれば、４つの真空系統２１〜２４が設置され、両側のマスター担体３，４の吸着保持、スレーブ媒体２の吸着保持および内部空間Ａの減圧を磁気転写の工程に応じて行うように設置されているため、位置精度の確保、均一密着の確保により、転写品質が良好で信頼性の高い磁気転写が行える。また、支持軸１５ａ，１６ａおよび固定部１８，１９の構造が簡素化される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一つの実施形態にかかる磁気転写装置のホルダーの開状態を示す概略断面図
【図２】他の実施形態にかかる磁気転写装置のホルダーの開状態を示す概略断面図
【符号の説明】
１０，２０ ホルダー
２ スレーブ媒体
３，４ マスター担体
５，１５ 片側ホルダー
５ａ，１５ａ 支持軸
５ｂ，１５ｂ 内面
６，１６ 他側ホルダー
６ａ，１６ａ 支持軸
６ｂ，１６ｂ 内面
７ シール部
８，９，１８，１９ 固定部
８ｂ，９ｂ シール材
１１〜１４，２１〜２４ 真空系統
１１ａ〜１４ａ，２１ａ〜２４ａ 吸引穴
１１ｂ〜１４ｂ，２１ｂ〜２４ｂ エア通路
１１ｄ〜１４ｄ，２１ｄ〜２４ｄ エアパイプ
Ａ 内部空間[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a holder for accommodating and closely contacting the master carrier and the slave medium in an internal space in a magnetic transfer apparatus for magnetic transfer from a master carrier carrying information to a slave medium.
[0002]
[Prior art]
The magnetic transfer that is the subject of the present invention includes a master carrier (patterned master) in which a transfer pattern such as a servo signal having a magnetic layer at least on the surface layer is formed in a concavo-convex shape or an embedded structure, and a slave medium having a magnetic recording unit. In a state of being in close contact, a magnetic field for transfer is applied to transfer and record a magnetization pattern corresponding to information carried on the master carrier onto the slave medium. Examples of this magnetic transfer are disclosed in, for example, JP-A 63-183623, JP-A 10-40544, JP-A 10-269656, JP-A 2001-256644, and the like.
[0003]
When the slave medium is a disk-like medium such as a hard disk or a high-density flexible disk, an electromagnet device, a permanent magnet is attached to one or both sides of the slave medium in a state where a disk-like master carrier is in close contact with one or both sides. A magnetic field applying device using a magnet device is provided to apply a transfer magnetic field.
[0004]
In order to improve the transfer quality in this magnetic transfer, it is an important issue how the slave medium and the master carrier are in close contact with each other. In other words, if there is poor adhesion, there will be areas where magnetic transfer will not occur, and if magnetic transfer does not occur, signal loss will occur in the magnetic information transferred to the slave medium, the signal quality will deteriorate, and the recorded signal will be In this case, there is a problem that the tracking function cannot be sufficiently obtained and the reliability is lowered.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
By the way, in the magnetic transfer as described above, the master carrier and the slave medium can be accommodated in the inner space of the holder including the one-side holder and the other-side holder that are moved toward and away from each other in a positioning state and are in close contact with each other. It is favorable in that a good adhesion is obtained.
[0006]
Also, the slave medium is supplied to the holder, the master carrier is brought into close contact with the supplied slave medium, and the holder is opened and closed in response to carrying out the slave medium after magnetic transfer. In order to maintain the positioning state without moving the master carrier or the slave medium, it is necessary to hold the master carrier and the slave medium at predetermined positions of the holder.
[0007]
In order to ensure the positional accuracy of the magnetic pattern transferred and recorded on the slave medium in the magnetic transfer, the alignment of the master carrier and the slave medium at the time of magnetic transfer is also an important requirement. As a means for fixing the slave medium to the holder and preventing positional deviation, it is conceivable to provide the holder with a positioning part that holds the inner diameter part or the outer diameter part of the master carrier and the slave medium. Sliding with the slave medium caused scratches on the slave medium, generated abrasion powder due to sliding, and caused transfer defects (signal loss) due to dust adhering to the contact surface. .
[0008]
On the other hand, in order to improve the adhesion between the master carrier and the slave medium, it is necessary to apply an adhesion force and press the both, but as an application of this adhesion force, it is considered to apply a mechanical pressing force to the holder from the outside. However, it is difficult to apply pressure uniformly to the contact surface between the master carrier and the slave medium only by applying this mechanical contact force. In this respect, a vacuum suction method is preferred in which the internal space of the holder is vacuum-sucked to obtain an adhesion force due to an external air pressure that acts uniformly.
[0009]
The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a holder for a magnetic transfer apparatus that can hold a master carrier and a slave medium at predetermined positions and obtain uniform adhesion. is there.
[0010]
[Means for Solving the Problems]
The holder of the magnetic transfer device of the present invention has a slave medium that receives a transfer and a master carrier carrying transfer information on one side or both sides in an internal space that is opened and closed between the one-side holder that moves toward and away from the other-side holder. In the holder of the magnetic transfer device that accommodates and faces each other,
A vacuum system for sucking and holding the master carrier, a vacuum system for sucking and holding the slave medium, and a vacuum system for decompressing the internal space on at least one pressing inner surface of the one side holder and the other side holder In addition, at least two or more vacuum systems are provided.
[0011]
A part of the vacuum system is preferably formed through the inside of the support shaft of the holder. Further, some vacuum systems may be directly led out from the disk portion of the holder and connected to a vacuum source by a flexible air pipe.
[0012]
Two or more vacuum systems may be passed through one support shaft of the holder. At that time, the support shaft of the holder is supported by the fixed portion via a bearing and a sealing material.
[0013]
It is preferable to use an O-ring or a magnetic fluid for the seal material between the support shaft of the holder and the fixed portion.
[0014]
Note that at least one pressing inner surface of the one side holder and the other side holder in the holder may be provided with a buffer material having an elastic property, and the pressing force may be applied uniformly through the buffer material so as to make press contact.
[0015]
The adhesion force may be applied by using a mechanical external pressure application method in addition to a pressure application method by vacuum suction.
[0016]
On the other hand, the positioning of the master carrier and the slave medium with respect to the holder is performed by, for example, using a position observation means such as a measurement microscope or a CCD camera, and finely adjusting the master carrier or the slave medium in the XY direction with reference to the positioning mark or the like. What is done is preferred.
[0017]
【The invention's effect】
According to the present invention, by having at least two or more vacuum systems in the holder, the master carrier can be adsorbed and held, the slave medium can be adsorbed and held, and the internal space can be depressurized at the same time, enabling high-quality magnetic transfer. It becomes.
[0018]
In addition, by providing a vacuum system that depressurizes the internal space, air between the master carrier and the slave medium is discharged, so that the entire surface can be securely adhered, and the transfer signal quality and position can be ensured by ensuring positioning accuracy. Since the accuracy is good and the positioning member does not need to be used, dust generation due to rusting and a decrease in the life of the master carrier can be suppressed.
[0019]
In addition, since the master carrier and the slave medium are held by vacuum suction, the opening / closing adhesion of the holder and the positional deviation during magnetic transfer can be suppressed, and the central axis of the slave medium and the central axis of the pattern on the master carrier Can be magnetically transferred with high accuracy.
[0020]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, the present invention will be described in detail based on embodiments shown in the drawings. FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an open state of a holder of a magnetic transfer apparatus according to an embodiment. In addition, this figure is a schematic diagram, and the dimension of each part is shown in the ratio different from actual.
[0021]
A holder 10 of the magnetic transfer apparatus shown in FIG. 1 performs double-sided simultaneous magnetic transfer, and includes a left-side holder 5 and a right-side other holder 6 that can move toward and away from each other. The slave medium 2 and the master carriers 3 and 4 are brought into close contact with each other in a state in which the slave medium 2 and the master carriers 3 and 4 on both sides are arranged in the inner space A hermetically formed by the seal portion 7 and the center positions are aligned. Here, facing contact refers to either contact contact or facing with a very small gap.
[0022]
The one-side holder 5 and the other-side holder 6 have support shafts 5a and 6a at the center of the back surface, respectively, and both support shafts 5a and 6a are rotatably supported by the fixing portions 8 and 9, respectively. Bearings 8a and 9a (bearings) are installed on the fixed portions 8 and 9, and three seal members 8b and 9b using O-rings are installed at intervals.
[0023]
The one-side holder 5 includes a first vacuum system 11 for adsorbing one master carrier 3 for transferring information such as a servo signal to one side of the slave medium 2 on the pressing inner surface 5b, and a slave medium at the center of the pressing inner surface 5b. And a second vacuum system 12 that adsorbs 2. The other side holder 6 has a third vacuum system 13 for adsorbing the other master carrier 4 for transferring information such as servo signals to the other side of the slave medium 2 on the pressing inner surface 6b, and a first vacuum for reducing the internal space A. 4 vacuum systems 14.
[0024]
The first to fourth vacuum systems 11 to 14 are led out of the one-side holder 5 and the other-side holder 6 through the support shafts 5a and 6a. That is, the suction hole 11a of the first vacuum system 11 is opened in a range corresponding to the size of the master carrier 3 on the pressing inner surface 5b having a disk shape and a circular shape larger than the outer diameter of the master carrier 3, A first air passage 11b communicating with the suction hole 11a is provided from the disk portion of the one-side holder 5 to the outer peripheral side portion in the support shaft 5a. Further, a suction hole 12a of the second vacuum system 12 is opened on the inner surface of the pressing surface 5b on the inner peripheral side from the inner diameter of the master carrier 3, and the second air passage 12b communicating with the suction hole 12a is a disk portion of the one-side holder 5. To the support shaft 5a. The first air passage 11b and the second air passage 12b open at different positions on the peripheral surface of the support shaft 5a, and three sealing members 8b are installed in the fixed portion 8 so as to separate the opening portions. Communication holes 11c and 12c are formed in the fixed portion 8 between the first and second vacuum systems 11 and 12 through the air pipes 11d and 12d connected to the communication holes 11c and 12c, and are installed outside. It is connected to a vacuum source (vacuum pump) not shown, and the back surface of the master carrier 3 and the central portion of the slave medium 2 are held on the inner surface 5b by suction by introducing suction pressure.
[0025]
On the other hand, the suction hole 13a of the third vacuum system 13 is opened in a range corresponding to the size of the master carrier 4 on the pressing inner surface 6b having a disk shape and a circular shape larger than the outer diameter of the master carrier 4 on the other side holder 6. A third air passage 13b that communicates with the suction hole 13a is installed from the disk portion of the other holder 6 to the outer peripheral side portion in the support shaft 6a. Further, a suction hole 14a of the fourth vacuum system 14 is opened on the inner pressing surface 6b on the inner peripheral side from the inner diameter of the master carrier 4, and the fourth air passage 14b communicating with the suction hole 14a is a disk of the other side holder 6. It is installed in the center part in the support shaft 6a from the part. The third air passage 13b and the fourth air passage 14b open at different positions on the peripheral surface of the support shaft 6a, and three sealing members 9b are installed in the fixed portion 9 so as to separate the opening portions. The sealing member 9b Communication holes 13c and 14c are formed in the fixing portion 9 between the third and fourth vacuum systems 13 and 14 through the air pipes 13d and 14d connected to the communication holes 13c and 14c, and are installed outside. Connected to a vacuum source (vacuum pump) not shown in the figure, and by sucking pressure, the back surface of the master carrier 4 is held by suction and the inner space A is decompressed to obtain a close contact force. Go to increase adhesion.
[0026]
Sealing materials 8b and 9b installed in the fixing portions 8 and 9 include O-rings, magnetic fluid seals, O-rings and magnetic fluid seals attached to the inner periphery of the fixing portions 8 and 9 or the outer periphery of the support shafts 5a and 6a May be used in combination. The magnetic fluid seal does not generate dust during sliding, and dust generation from the seal portion is suppressed.
[0027]
Further, the seal portion 7 installed on the outer periphery of the other holder 6 has a ring shape, is attached to a flange 6c protruding from the outer peripheral surface of the other holder 6, and is axially (contacted) via the elastic member 7a. It is possible to move in that direction by the amount of deformation. An end face sealing material 7b made of an O-ring is provided on the end face of the seal portion 7, and the inner space A is opened and closed by being pressed against the inner face 5b of the one-side holder 5. Further, the inner peripheral surface of the seal portion 7 is provided with a peripheral surface sealing material 7 c using an O-ring, and performs a sliding seal with the outer peripheral surface of the other holder 6.
[0028]
The one-side holder 5 and the other-side holder 6 are linked to a rotation mechanism (not shown) and are integrally rotated around the support shafts 5a and 6a during magnetic transfer. Although not shown, the magnetic transfer device includes a magnetic field applying device that applies a transfer magnetic field while rotating the holder 10.
[0029]
Further, at least one of the one-side holder 5 and the other-side holder 6 is supported so as to be movable in the axial direction (left-right direction in the figure), and both the holders 5 and 6 are movable toward and away from each other, as shown in FIG. With the approaching movement from the separated state, the end surface sealing material 7 b of the seal portion 7 is pressed against the inner surface 5 b of the one-side holder 5 to close the inner space A. After this sealing, the internal space A is depressurized by the fourth vacuum system, and the other side holder 6 is moved in the closing direction. Accordingly, the master carriers 3 and 4 are brought into close contact with both surfaces of the slave medium 2 with a predetermined pressure.
[0030]
In addition to the fourth vacuum system 14, a pressing means for mechanically pressing the holder 10 from the outside may be provided in order to apply the adhesion force. The pressing means may include a pressure cylinder, and the tip of the pressing rod may be configured to apply a predetermined pressing load to the support shaft 5a or 6a of the holder 10.
[0031]
Further, the inner surface of the other holder 6 may be provided with a cushioning material that holds the back surface of the master carrier 4 by suction. This cushioning material is used to apply pressure evenly, and is formed into a disk sheet shape from a material having elastic characteristics.
[0032]
The positioning of the master carriers 3 and 4 and the slave medium 2 with respect to the one-side holder 5 and the other-side holder 6 uses, for example, a position observation means such as a measurement microscope or a CCD camera, and the master carriers 3 and 4 or This is performed by finely adjusting the slave medium 2 in the XY directions.
[0033]
As the slave medium 2, a disk-shaped magnetic recording medium such as a hard disk having a magnetic recording portion (magnetic layer) formed on both sides or one side, a high-density flexible disk, or the like is used. The magnetic recording part is composed of a coating type magnetic recording layer or a metal thin film type magnetic recording layer.
[0034]
The master carriers 3 and 4 are formed in a disk-shaped disk. The master carrier 3 is a transfer information carrying surface on which a fine concavo-convex pattern formed on a substrate is coated with a magnetic material, and this surface is formed with a transfer pattern in close contact with the slave medium 2. The opposite surface is sucked and held by both holders 5 and 6. As the substrates of the master carriers 3 and 4, nickel, silicon, quartz plate, glass, aluminum, alloy, ceramics, synthetic resin or the like is used. The formation of the concavo-convex pattern is performed by a stamper method or the like. The magnetic material is formed by depositing a magnetic material by a vacuum film forming means such as a vacuum deposition method, a sputtering method or an ion plating method, a plating method or the like. Almost the same master carriers 3 and 4 are used for in-plane recording and perpendicular recording.
[0035]
In the case of in-plane recording, a magnetic field application device (not shown) that applies a transfer magnetic field and, if necessary, an initial magnetic field is, for example, a ring in which a coil is wound around a core having a gap extending in the radial direction of the slave medium 2 The mold head electromagnet is disposed on both sides of the holder 10 and applies a transfer magnetic field generated in parallel to the track direction in the same direction on both sides. The holder 10 is rotated to apply a transfer magnetic field to the entire surface of the slave medium 2 and the master carriers 3 and 4. You may provide so that a magnetic field application apparatus may be rotationally moved. The magnetic field application device may be disposed only on one side, or the permanent magnet device may be disposed on both sides or one side. In the case of perpendicular recording, the magnetic field application apparatus arranges electromagnets or permanent magnets having different polarities on both sides of the holder 10 to generate and apply a transfer magnetic field in the vertical direction. In the case of applying a magnetic field partially, the entire surface is magnetically transferred by moving the holder 10 or moving the magnetic field.
[0036]
Next, the magnetic transfer process will be described. The holder 10 of the magnetic transfer device performs magnetic transfer to the plurality of slave media 2 by the same master carrier 3, 4. First, the master carrier 3 is transferred to the one side holder 5 by the first vacuum system 11, and the other side holder 6, the master carrier 4 is adsorbed and held in position by the third vacuum system 13.
[0037]
In the open state in which the other side holder 6 and the one side holder 5 are separated from each other, the slave medium 2 initially magnetized in advance in one of the in-plane direction and the vertical direction is set with the center position aligned and adsorbed by the second vacuum system 12. Thereafter, the other side holder 6 is moved closer to the one side holder 5.
[0038]
Then, after closing the internal space A of the holder 10, the fourth vacuum system 14 discharges air from the internal space A to reduce the pressure so that the inside has a predetermined degree of vacuum and further moves the other side holder 6. . The master carrier 4 comes into contact with the slave medium 2 and the pressure by an external force (atmospheric pressure) acting in accordance with the degree of vacuum is uniform and parallel to the slave medium 2 and the master carriers 3 and 4 toward the one-side holder 5. And is brought into close contact with a predetermined contact pressure.
[0039]
Thereafter, a magnetic field application device is brought close to both sides of the holder 10, and a magnetic field for transfer is applied in a direction almost opposite to the initial magnetization by the magnetic field application device while rotating the holder 10, and a magnetization pattern corresponding to the transfer pattern of the master carrier 3 is formed. Transfer recording is performed on the magnetic recording portion of the slave medium 2.
[0040]
The magnetic field for transfer applied during the magnetic transfer is sucked into the convex pattern of the magnetic material in close contact with the slave medium 2 in the transfer pattern of the master carriers 3 and 4, and in the case of in-plane recording, the initial magnetization of this portion is The initial magnetization of the other part is reversed without being reversed, and in the case of perpendicular recording, the initial magnetization of this part is reversed and the initial magnetization of the other part is not reversed. A magnetization pattern corresponding to the pattern is transferred and recorded.
[0041]
According to the present embodiment, four vacuum systems 11 to 14 are installed, and suction and holding of the master carriers 3 and 4 on both sides, suction and holding of the slave medium 2, and decompression of the internal space A are performed according to the magnetic transfer process. Therefore, it is possible to perform magnetic transfer with good transfer quality and high reliability by ensuring positional accuracy and ensuring uniform contact.
[0042]
FIG. 2 is a cross-sectional view of the holder 20 according to another embodiment in an open state. In this embodiment, the installation mode of the vacuum system is different from the previous embodiment.
[0043]
The holder 20 according to the present embodiment includes a one-side holder 15 and an other-side holder 16 that can move toward and away from each other, and the slave medium 2 and both sides are formed in an internal space A that is hermetically sealed by an outer peripheral seal portion 7 as they approach each other. The master mediums 3 and 4 are arranged and the center positions thereof are aligned, and the slave medium 2 and the master carriers 3 and 4 are brought into close contact with each other.
[0044]
The one-side holder 15 and the other-side holder 16 have support shafts 15a and 16a at the center of the back surface, respectively, and both support shafts 15a and 16a are rotatably supported by the fixing portions 18 and 19, respectively. Bearings 18a and 19a (bearings) are installed on the fixed portions 18 and 19, respectively.
[0045]
The one-side holder 15 includes a first vacuum system 21 that adsorbs one master carrier 3 for transferring information such as a servo signal to one surface of the slave medium 2 on the pressing inner surface 15b, and a slave medium at the center of the pressing inner surface 15b. And a second vacuum system 22 that adsorbs 2. The other-side holder 16 has a third vacuum system 23 for adsorbing the other master carrier 4 for transferring information such as servo signals to the other surface of the slave medium 2 on the pressing inner surface 16b, and a first vacuum for reducing the internal space A. 4 vacuum systems 24.
[0046]
The second and fourth vacuum systems 22 and 24 are led out to the outside of the one-side holder 15 and the other-side holder 16 through the support shafts 15a and 16a, and the first and third vacuum systems 21 and 23 are respectively It is led out from the disk part.
[0047]
That is, the suction hole 21a of the first vacuum system 21 is opened in the circular pressing inner surface 15b of the one-side holder 15 in a range corresponding to the size of the master carrier 3, and the first air communicated with the suction hole 21a. A passage 21b is installed in the disk portion of the one-side holder 15, opens to the outer periphery of the disk portion, is led out by an air pipe 21d connected to the opening, is connected to a vacuum source (not shown) installed outside, and is sucked By introducing pressure, the back surface of the master carrier 3 is held by adsorption. Further, a suction hole 22a of the second vacuum system 22 is opened on the inner surface of the pressing surface 15b on the inner peripheral side from the inner diameter of the master carrier 3, and the second air passage 22b communicating with the suction hole 22a is a disk portion of the one-side holder 15. Is installed at the center of the support shaft 15a, opened at the end of the support shaft 15a, led out by an air pipe 22d connected to the opening, connected to a vacuum source (not shown) installed outside, and sucked By introducing pressure, the central portion of the slave medium 2 is held by suction.
[0048]
On the other hand, a suction hole 23a of the third vacuum system 23 is opened on the circular pressing inner surface 16b of the other holder 16 in a range corresponding to the size of the master carrier 4, and a third communicating with the suction hole 23a. An air passage 23b is installed in the disk portion of the other holder 16, opens to the outer periphery of the disk portion, led out by an air pipe 23d connected to the opening, and connected to a vacuum source (not shown) installed outside. The back surface of the master carrier 4 is held by suction by introducing suction pressure. Further, a suction hole 24a of the fourth vacuum system 24 is opened in the pressing inner surface 16b on the inner peripheral side from the inner diameter of the master carrier 4, and the fourth air passage 24b communicating with the suction hole 24a is a disk of the other side holder 16. It is installed in the central part in the support shaft 6a from the part, opened to the end of the support shaft 6a, led out by the air pipe 24d connected to this opening, connected to a vacuum pump (not shown) installed outside, The internal space A is depressurized by introducing suction pressure.
[0049]
Further, the seal portion 7 installed on the outer periphery of the other side holder 16 is the same as that of the previous embodiment, and is attached to the flange 16c protruding from the outer peripheral surface of the other side holder 16, and the end surface sealing material 7b and the peripheral portion are arranged. A surface sealing material 7 c is provided, and an open / close seal with the inner surface 15 b of the one-side holder 15 and a sliding seal with the outer peripheral surface of the other-side holder 16 are performed.
[0050]
At least one of the one-side holder 15 and the other-side holder 16 can move toward and away from each other, and the internal space A is evacuated after the internal space A is closed and closed with the approaching movement from the separated state as shown in FIG. While the pressure is reduced by the suction means, the master carrier 3 is brought into close contact with one surface of the slave medium 2 with a predetermined pressure.
[0051]
Other than that, the holder 20 is rotated during the magnetic transfer and a magnetic field for transfer is applied to the entire surface. However, the rotation is approximately one rotation, and the flexible air pipes 21d and 23d are used. The rotation is allowed, and the next magnetic transfer is performed by returning to the reverse rotation after the magnetic transfer.
[0052]
According to the above embodiment, four vacuum systems 21 to 24 are installed, and suction holding of the master carriers 3 and 4 on both sides, holding of the slave medium 2 and pressure reduction of the internal space A are performed according to the magnetic transfer process. Therefore, it is possible to perform magnetic transfer with good transfer quality and high reliability by ensuring positional accuracy and ensuring uniform contact. Further, the structures of the support shafts 15a and 16a and the fixing portions 18 and 19 are simplified.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an open state of a holder of a magnetic transfer apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing an open state of a holder of a magnetic transfer apparatus according to another embodiment. Explanation of symbols]
10, 20 Holder 2 Slave medium 3, 4 Master carrier 5, 15 One side holder 5 a, 15 a Support shaft 5 b, 15 b Inner surface 6, 16 Other side holder 6 a, 16 a Support shaft 6 b, 16 b Inner surface 7 Seal part 8, 9, 18, 19 fixing | fixed part 8b, 9b Sealing material 11-14, 21-24 Vacuum system 11a-14a, 21a-24a Suction hole 11b-14b, 21b-24b Air passage 11d-14d, 21d-24d Air pipe A Internal space
