JP2004076623A - ターボ分子ポンプの静翼段の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ターボ分子ポンプの静翼段2の製造工程において、外周部の第1円筒状部1aと、該第1円筒状部1aの内周部の円板状部1bと、該円板状部1bの内周部の第2円筒状部1cとからなる中間工程部材1を素材から一体に削出して形成し、前記円板状部1bに多数の静翼1baをプレスの切り起し加工により形成し、該中間工程部材1の中心を通る直径線に沿って該中間工程部材1を2分割して、2つの半月形からなる静翼段2を形成した。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ターボ分子ポンプの静翼段の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
ターボ分子ポンプは分子流領域において気体の排気を行なう高真空ポンプである。
【0003】
図3に従来のターボ分子ポンプの縦断面図の一例を示した。
【0004】
即ち、ターボ分子ポンプは、ローターaの外周部に多数の動翼bを外向きの放射状に突出させて形成した動翼段M1、M2、…と、ケーシングcの内周部に多数の静翼dを内向きの放射状に多数突出させて形成した静翼段S1、S2、…とを交互に多段に有している。
【0005】
前記静翼段S1の詳細な構造の一例を図4に示した。
【0006】
従来の静翼段S1は、薄板円板にプレスの切り起し加工を行なって形成した放射状の静翼dを多数有しており、該薄板円板の外周部には平坦な鍔部eが形成されている。
【0007】
従来のターボ分子ポンプでは、スペーサリングを兼ねる押さえリングf1、f2によりこの鍔部eを上下から挟持して、前記静翼段S1をケーシングcに係着するようにしていた。
【0008】
尚、スペーサリングとは動翼段の翼部の外周を覆うように環状に形成された静翼段と動翼段との間隔を適切に配置するためのリングであり、該スペーサリングの内周と前記動翼段の翼部の外周との間には僅少の隙間を有して、前記動翼段が該スペーサリング内を自在に回動できるように形成されている。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
前記の静翼段の如く、静翼d及び鍔部eが押さえリングf1、f2を介してケーシングcに係着している従来の構造は、静翼dからケーシングcへの熱伝達率が低いという問題があった。
【0010】
このため、高流量排気時には、翼部で発生する熱が冷却されずに翼部の昇温をもたらし、内部部品、特にローターaの過熱による故障の発生原因になるという問題があった。
【0011】
本発明は上記の問題点を解消し、ターボ分子ポンプにおいて、冷却性能が良く製造コストの低い静翼段の製造方法を提供することを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記の目的を達成すべく、薄板の円板状部と該円板状部の外周に形成した第1円筒状部と該円板状部の内周に形成した短い第2円筒状部とからなる静翼段の中間工程部材を形成し、該中間工程部材の前記円板状部にプレスの切り起し加工を行なって該円板状部に多数の静翼を放射状に形成して静翼段を製造した。
【0013】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施の形態を図1及び図2により説明する。
【0014】
図1は、本発明のターボ分子ポンプの静翼段の製造工程における中間工程部材1の縦断面図を示す。
【0015】
該中間工程部材1は、外周部に形成された短い第1円筒状部即ちスペーサリング1aと、該スペーサリング1aの内周部に形成された薄板状の円板状部1bと、該円板状部1bの内周部に形成された短い第2円筒状部1cとからなり、これは鋼又はアルミニウム合金等の金属素材から旋盤加工等により一体に削り出されて形成されている。
【0016】
然る後に該中間工程部材1の円板状部1bにプレスの切り起し加工を施工して、多数の静翼1baを放射状に形成し、該中間工程部材1の中心を通る直径線に沿って該中間工程部材1を2分割して、図2に示す2つの半月形からなる静翼段2を形成した。
【0017】
尚、前記プレスの切り起し加工とは、前記円板状部1bにプレスにてスリット1bcを多数打ち抜くと共に該スリット1bcの左右の板状部を一様に前後に捩り曲げて静翼1baに形成する加工法である。
【0018】
次に本実施の形態によって製造された静翼段2の使用方法及びその効果について説明する。
【0019】
ターボ分子ポンプを組立てる際には、多数の動翼段を有するローターを軸受箱部に回動自在に軸支して取付け、次いで前記各動翼段の間に静翼段を取付ける。
【0020】
このとき、前記静翼段2は2つ割れとなっているので、各動翼段の間に上下又は左右からこれら半月形の静翼段2を割り込ませて、相対する該半月形を互いに突き合せて1つの段の静翼段2を形成させ、更に相隣る静翼段2の各々のスペーサリング1aの側縁部を逐次当接させて多段に形成し、これらスペーサリング1aの外側からケーシング(図示せず)をこれらスペーサリング1aと接するように被せて、ターボ分子ポンプを組立てていく。
【0021】
このように本実施の形態では、静翼段2を構成する静翼1baとスペーサリング1aとが一体に形成されているので熱伝導性がよく、更に該スペーサリング1aが外側のケーシングに直接に接していて熱伝達率も高いので、翼部が異常に昇温したり、又はローターの過熱のため故障を発生したりするということがない。
【0022】
又、静翼段2の製造工程において、前記中間工程部材1の内周部に第2円筒状部1cを設けたので、プレスによる静翼1baの切り起し加工時に歪の発生が防止される効果を有している。
【0023】
尚、本実施の形態はターボ分子ポンプの場合について説明したが、これはターボ分子ポンプ部とねじ溝ポンプ部とを有する複合分子ポンプにおいても同様に実施してよい。又、本実施の形態では静翼段の中間工程部材1の内周部に第2円筒状部1cを有する構造としたが、この第2円筒状部を有しない中間工程部材を使用するようにしてもよい。
【0024】
或いは又、中間工程部材1の円板状部1bに多数の静翼1baを切り起し加工後、前記第2円筒状部1cを切り落して静翼段に形成してもよい。
【0025】
【発明の効果】
このように本発明によれば、翼部から外側のケーシング部への熱伝達率が向上するので、翼部が異常に昇温したり、又はローターの過熱のために故障が発生したりすることのないようなターボ分子ポンプの静翼段の製造方法を提供できる効果を有しており、又、静翼段の翼部はプレスによる切り起し加工としたため、製造コストが大幅に低減する効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態の静翼段の中間工程部材の縦断面図である。
【図2】前記静翼段の完成品の正面図である。
【図3】従来のターボ分子ポンプの一例を示す縦断面図である。
【図4】従来のターボ分子ポンプの静翼段の詳細を示す一部縦断面図である。
【符号の説明】
1 静翼段の中間工程部材
1a、1c 円筒部材
1b 円板状部
1ba 静翼
2 静翼段
Claims (5)
- 薄板の円板状部と該円板状部の外周に形成した第1円筒状部と該円板状部の内周に形成した短い第2円筒状部とからなる静翼段の中間工程部材を形成し、該中間工程部材の前記円板状部にプレスの切り起し加工を行なって該円板状部に多数の静翼を放射状に形成して静翼段を得るターボ分子ポンプの静翼段の製造方法。
- 前記円板状部に多数の静翼を放射状に形成してから前記第2円筒状部を切り落して静翼段を得る請求項1に記載のターボ分子ポンプの静翼段の製造方法。
- 薄板の円板状部と該円板状部の外周に形成した第1円筒状部とからなる静翼段の中間工程部材を形成し、該中間工程部材の前記円板状部にプレスの切り起し加工を行なって該円板部に多数の静翼を放射状に形成して静翼段を得るターボ分子ポンプの静翼段の製造方法。
- 前記中間工程部材は、金属素材から機械加工によって一体に成型して製造するようにした請求項1乃至請求項3のいずれか1に記載のターボ分子ポンプの静翼段の製造方法。
- 前記静翼段を、中心を通る半径線に沿って2以上の複数に分割する請求項1乃至請求項4のいずれか1に記載のターボ分子ポンプの静翼段の製造方法。
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