JP2004037378A - アンモニアセンサ及びその制御方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】アンモニアセンサ(1)は、絶縁基板(5)上にリード部(7)、(9)が配置され、各リード部(7)、(9)には一対の櫛歯電極(11)、(13)が接続され、櫛歯電極(11)、(13)の上には、感応層(15)が配置され、感応層(15)の上には、保護層(17)が配置されている。金製の櫛歯電極(11)、(13)は、互いの櫛歯が入り込んだ構造を有する。この櫛歯電極(11)、(13)の櫛歯間距離Aは、0.15mm以下の範囲であり、両櫛歯電極(11)、(13)が形成される単位面積当たりの電極の総長さB/Cは、4.00〜10.0mm/mm2の範囲である。感応層(15)は、ゼオライトの感ガス材料からなる。この感ガス材料は、周囲の雰囲気のアンモニア濃度が変化すると、その抵抗値が変化する。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、被測定ガス中のアンモニア濃度を検出するアンモニアセンサ及びその制御方法に関する。この種のアンモニアセンサは、例えば内燃機関の排ガス中のアンモニア濃度を測定するために用いられ、特に、尿素を添加してNOxを浄化するNOx選択還元システムに好適に使用される。
【0002】
【従来の技術】
近年では、内燃機関から排出されるNOxを浄化する研究が進んでおり、例えば三元触媒に尿素を添加することによりアンモニアを発生させ、そのアンモニアによりNOxを還元して排ガスを浄化する技術が開発されている。
【0003】
この技術では、実際にどの程度アンモニアが発生したかにより、尿素の添加量を調節する必要があるので、アンモニア濃度を正確に測定する必要がある。
そのため、例えばUS6069013号公報には、石英ガラス、Si、アルミナ基板上に、例えばAu電極からなる櫛歯形状の電極を形成し、感応層に疎水性のゼオライトを使用するとともに、そのモジュール(SiO2/A2lO3比)を大きくして、NOxの依存性を小さくしたゼオライト式アンモニアセンサが開示されている。このアンモニアセンサでは、例えばモジュールが50の場合には、NOxの依存性が大きいが、140では小さくなる。
【0004】
また、例えばUS5143696号公報には、水晶基板に櫛歯形状のアルミニウム電極を形成し、その上にH−formのゼオライトを形成したセンサが開示されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記US6069013号公報に記載の技術では、モジュールを大きくすると、NOxの依存性が小さくなるが、アンモニアに対する感度が小さくなるという問題があった。
【0006】
また、感応層(感ガス体)を構成する物質としてゼオライトを用いるアンモニアセンサでは、大気中或いは排ガス中で保管される際に、ゼオライトが水蒸気や雑ガスを吸着するので、使用時にアンモニアセンサの感度が低下するという問題があった。
【0007】
本発明は、前記課題を解決するためになされたものであり、主として、感度が大きく、選択性の高いアンモニアセンサ及びその制御方法を提供することを目的とする。
また、ガス温度が変化しても、素子温度を一定に保って、その出力が変化しないアンモニアセンサや、応答速度が速いアンモニアセンサ、更には、特に排ガス中で保管しても感度が低下しないアンモニアセンサを提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段及び発明の効果】
(1)請求項1の発明は、一対の電極が配置された感応層を有する素子部と、該素子部を加熱するヒータと、を備えたアンモニアセンサに関するものであり、本発明では、前記一対の電極がAuを含有し、前記感応層を構成する物質の酸量が0.1〜1.0mmol/gであることを特徴としている。
【0009】
本発明では、電極材料中に触媒不活性のAuを用いることにより、感度の大きなアンモニアセンサが得られる。特に、後述する実験例1に示す様に、電極材料中のAu量が多いものほど(例えば10重量%以上)、NH3に対する感度が大きく好適である。
【0010】
また、本発明では、後述する実験例2に示す様に、感応層を構成する物質の酸量(ここではNH3の吸着量を示す指標)が、0.1mmol/g以上であるので、NH3に対する感度が大きい。しかも、酸量が、1.0mmol/g以下であるので、耐熱性が高い。従って、酸量が、0.1〜1.0mmol/gの範囲が、感度及び耐熱性の点から、好ましい範囲である。
【0011】
尚、前記酸量は、後述する実験例及び図5に示す様に、例えばTemperature Programmed Desorption(TPD)より得られるプロファイルから、検量線を用いて、高温側のピーク面積を計算することにより得られる。
更に、後述する実験例3に示す様に、酸量が、0.1〜1.0mmol/gの範囲の場合には、NH3以外の雑ガス(例えばNO、C3H6、CO、H2、NO2)には殆ど感度を示すことがなく、選択性が高いという利点もある。
【0012】
(2)請求項2の発明では、前記一対の電極が、互いの櫛歯が入り込んだ櫛歯電極であって、該両櫛歯電極が形成される単位面積当たりの両櫛歯電極の総長さが、4.00〜10.0mm/mm2であることを特徴としている。
本発明では、電極として櫛歯電極を用いている。この櫛歯電極は、電極が櫛歯状に形成されたものであり、互いの櫛歯が入り込むことによって、電極同士の対向する部分が長く、そのためセンサの感度を高めることができる。
【0013】
しかも、本発明では、後述する実験例4に示す様に、両櫛歯電極が形成される単位面積当たりの両櫛歯電極長さの総長さ(B/C)が、4.00mm/mm2以上であるので、NH3に対する感度が大きい。また、このB/Cが、10.0mm/mm2以下であるので、電極同士が短絡し難いという利点がある。
【0014】
従って、前記B/Cとしては、この4.00〜10.0mm/mm2の範囲が好適である。
尚、両櫛歯電極が形成される単位面積当たりの両櫛歯電極の総長さとは、後述する図3及び表1等に示すB/Cにて定義される値であり、電極の稠密性の程度を示す指標である。
【0015】
(3)請求項3の発明では、前記両櫛歯電極における対向する櫛歯間の距離が、0.15mm以下であることを特徴としている。
本発明では、後述する実験例4に示す様に、櫛歯間距離(A)が、0.15mm以下であるので、感度が高いという効果がある。
【0016】
ここで、櫛歯間距離Aは、形成のし易さを勘案して、通常、0.01mm以上が好適である。
(4)請求項4の発明では、前記電極の厚みが、1〜50μmであることを特徴としている。
【0017】
本発明は、電極の厚みを例示したものである。つまり、この電極の厚みの範囲であれば、アンモニアセンサとして支障無く好適である。
(5)請求項5の発明では、前記感応層を覆う保護層を備えたことを特徴としている。
【0018】
本発明では、感応層の表面を、NH3の通過が可能な(例えば多孔質の)保護層で覆っている。従って、例えば排ガス中のカーボン等の被毒物質が感応層に付着することを防止でき、感応層の劣化を抑制することができる。
尚、保護層を構成する材料としては、マグネシアアルミナスピネル、アルミナ、ジルコニア等が挙げられる。
【0019】
(6)請求項6の発明では、更に、素子温度を検出する素子温度検出手段(例えば温度センサ)と、前記素子温度が所定の温度範囲となるように前記ヒータを制御する温度制御手段と、を備えたことを特徴としている。
本発明では、素子温度検出手段により、素子温度(素子部の温度)を検出し、その素子温度が所定の温度範囲(NH3の測定に好適な温度範囲)となるように、例えばヒータに印加する電圧等を制御しているので、常に、精度良くNH3濃度を測定することができる。
【0020】
例えば、後述する実験例5に示す様に、素子温度が異なるとNH3感度が変化するので、NH3感度が高い素子温度に制御することにより、NH3濃度を精密に測定することができる。
(7)請求項7の発明では、前記素子温度t[℃]が、前記感応層におけるNH3昇温脱離曲線のピークエンドの温度をT[℃]としたとき、T−100<t<T+100の温度範囲となるよう制御することを特徴としている。
【0021】
NH3昇温脱離曲線のピークエンドの温度Tとは、後述する図5に示す様に、NH3−TPDを実施した際の脱離温度P1、P2のうちの高温側の温度P2である。このピークエンドの温度Tは、酸強度(ここでは、NH3の脱離し難さの程度を示す指標)を示しており、ピークエンドの温度T付近では、NH3の脱離と吸着の現象が顕著である。
【0022】
従って、本発明では、後述する実験例6に示す様に、素子温度tを、T−100<t<T+100の温度範囲に制御することにより、NH3に対する応答性を高めることができる。つまり、素子温度tが、T−100以下では、NH3の吸着性が強すぎて、応答性に悪影響を及ぼし、T+100以上では、NH3の吸着性が弱すぎて、感度が小さくなるので、本発明の範囲が好適である。
【0023】
例えば、ゼオライトにおけるNH3とH2Oとのピークエンドを比較した場合、H2Oのピークエンドの温度は、T−100より低いので、NH3濃度の測定に影響を受けやすいH2Oを排除して選択性を高め、精度の高いNH3濃度の測定を行うことができる。
【0024】
尚、ゼオライトとしてモルデナイトを使用する場合には、耐熱性の観点から、前記温度範囲の内、T以下の範囲が好ましい。
(8)請求項8の発明では、前記感応層を構成する物質が、ゼオライトを主成分とする材料であることを特徴とする。
【0025】
本発明は、感応層を構成する物質を例示したものであり、特に、感応層全体をゼオライトで構成することが、感度等の点で好ましい。
このゼオライトとしては、例えばZSM−5、モルデナイト等を採用できる。
(9)請求項9の発明では、前記アンモニアセンサは、前記ヒータが埋設された絶縁基板と、該絶縁基板上に形成された一対の電極と、該一対の電極を被覆するように形成された感応層と、を備えたことを特徴としている。
【0026】
本発明は、素子部の構成を例示したものである。この構造であれば、製造が容易で量産に適し、しかも高い機械的強度を有するので、好適である。
(10)請求項10の発明は、前記請求項1〜9のいずれかに記載のアンモニアセンサの制御方法に関するものであり、本発明では、センサ使用時の素子温度よりも高く、且つ、前記感応層の焼成温度以下の温度で、前記感応層の加熱クリーニングを行うことを特徴としている。
【0027】
本発明では、後述する実験例7に示す様に、上述した温度で感応層の加熱クリーニング(例えば600℃で20分間の加熱)を行うので、大気中等での保管により、H2O等の吸着などの影響で劣化したセンサ特性を回復することができる。
【0028】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明のアンモニアセンサ及びその制御方法の実施の形態の例(実施例)について説明する。
(実施例)
a)まず、本実施例のアンモニアセンサの構成について説明する。尚、図1はアンモニアセンサの全体及びその分解した状態を示す斜視図、図2は図1のA−A断面図である。
【0029】
図1に示す様に、本実施例のアンモニアセンサ1は、アンモニア濃度に応じて抵抗が変化する感ガス材料を用いた抵抗変化式のアンモニアセンサ1である。尚、交流を印加する場合には、そのインピーダンスの変化に基づいてアンモニア濃度を検出する。
【0030】
前記アンモニアセンサ1の要部を構成する素子部3は、絶縁基板5上に、以下の様に、順次各構成要素が積層されたものである。
つまり、アルミナ製の絶縁基板5上には、白金を主成分とする一対のリード部7、9が配置され、各リード部7、9には、一対の櫛歯電極11、13がそれぞれ接続され、櫛歯電極11、13の上には、櫛歯電極11、13の全てを覆うように前記感ガス材料からなる感応層15が配置され、感応層15の上には、感応層15の全てを覆うように、保護層17が配置されている。
【0031】
また、図2に示す様に、絶縁基板5内には、素子部3を加熱するヒータ19と測温抵抗体である温度センサ21とが配置されている。このヒータ19は主として白金からなり、温度センサ21も主として白金からなる。
前記櫛歯電極11、13は、図3に示す様に、互いの複数の櫛歯12、14が入り込んだ構造を有し、主として金からなる検知電極である。櫛歯電極11、13は、厚膜印刷により形成されたものであり、その膜厚は、1〜50μmの範囲(例えば約20μm)である。
【0032】
本実施例では、櫛歯間距離Aは、0.15mm以下の範囲(例えば0.1mm)であり、両櫛歯電極長さの総和Bを櫛歯電極11、13が形成される基板面積Cで割った値である「両櫛歯電極11、13が形成される単位面積当たりの両櫛歯電極の総長さB/C」は、4.00〜10.0mm/mm2の範囲(例えば3.00mm/mm2)である。
【0033】
尚、櫛歯間距離Aとは、対向する櫛歯間の距離であり、両櫛歯電極長さの総和Bとは、図3の点線で示す両櫛歯電極11、13の長さの合計であり、両櫛歯電極11、13が形成される基板面積Cとは、図3のメッシュで示す(点線で示す)両櫛歯電極11、13が形成されている領域を含む基板部分である。
【0034】
図2に戻り、前記感応層15は、厚膜印刷により形成された膜厚約30μmの多孔質の層であり、主としてゼオライト(結晶性の多孔質アルミノケイ酸の総称)の感ガス材料、詳しくは、ZSM−5(Nan[AlnSi96−nO192]・xH2OのNaをHでイオン交換したもの)からなる。この感ガス材料は、周囲の雰囲気のアンモニア濃度が変化すると、その抵抗値が変化する、即ちアンモニアが増加すると抵抗(又はインピーダンス)が増加する性質を有するものである。
【0035】
前記保護層17は、カーボン等のデポジットなどが櫛歯電極11、13や感応層15に付着することを防止するために、厚膜印刷により形成された膜厚約30μmの層であり、主としてマグネシアアルミナスピネル(MgAl2O4)からなる多孔質の保護膜である。
【0036】
b)次に、本実施例のアンモニアセンサ1の製造方法について説明する。
▲1▼まず、絶縁基板5上に、リード部7、9及び櫛歯電極11、13を形成する。
具体的には、Al2O3からなる絶縁基板5上に、リード部7、9を形成するために、Pt系ペーストを印刷し、120℃にて1時間乾燥し、1400℃で1時間焼成する。
【0037】
一方、櫛歯電極11、13を形成するために、櫛歯電極11、13の形状の開口部を有するマスクを用い、リード部7、9の端部と櫛歯電極11、13の端部とを重ねる様にして、Auペースト(田中貴金属製TR−1306)を印刷し、120℃にて1時間乾燥し、1000℃で1時間焼成する。
【0038】
▲2▼次に、櫛歯電極11、13を覆って、感応層15を形成する。
具体的には、感応層15を構成する感ガス材料のゼオライトとして、ZSM−5を用い、乳鉢に、このゼオライトの粉末と有機溶剤と分散剤とを入れ、らいかい機で4時間分散混合した後、バインダーを添加し、更に4時間湿式混合を行ってスラリーとし、粘度調整を行ってペーストとする。
【0039】
そして、この感ガス材料のペーストを、前記櫛歯電極11、13を印刷した絶縁基板5上にスクリーン印刷し、厚膜化する。その後、60℃で乾燥後、600℃で1時間焼成する。
▲3▼次に、感応層15の上に、保護層17を形成する。
【0040】
具体的には、感応層15の上にスピネル(MgAl2O4)粉末を溶射する。
これにより、本実施例のアンモニアセンサ1が完成する。
c)次に、前記アンモニアセンサ1の使用方法について説明する。
▲1▼本実施例のアンモニアセンサ1は、車両(ディーゼル車)の排ガス中のNOxを低減するために用いられる。
【0041】
具体的には、図4に示す様に、車両の排気管23に取り付けられた酸化触媒25の上流側に、周知のSCR触媒装置27が配置されており、このSCR触媒装置27に(還元剤として)尿素を供給してアンモニアを発生させ、このアンモニアによって、NOxの還元を行うことにより、排ガス中のNOxを窒素や酸素に分解して排ガスの浄化を行う。
【0042】
このとき、排ガスの浄化を効率よく行わせるためには、供給する尿素の量(従って発生するアンモニアの濃度)を調節することが必要であるので、SCR触媒装置27の下流側にアンモニアセンサ1を配置して、SCR触媒装置27から排出されるアンモニアの濃度を検出するのである。
【0043】
つまり、アンモニアセンサ1により検出されるアンモニア濃度が低い場合には、尿素の供給量を増加し、一方、アンモニア濃度が高い場合には、尿素の供給量を低減する等の制御を行うことにより、排ガスの浄化効率を高めることができる。
【0044】
特に本実施例では、後述する実験例に示す様に、感応層15におけるNH3昇温脱離曲線のピークエンドの温度をT[℃]としたとき、素子温度t[℃]が、T−100<t<T+100の温度範囲となるよう制御するので、アンモニアセンサ1の応答性、感度、選択性を高めることができる。
【0045】
▲2▼また、本実施例では、例えばアンモニアセンサ1による濃度測定を行わない期間に、アンモニアセンサ1の加熱クリーニングを実施して、アンモニアセンサ1の能力を常に高いレベルに保つ制御も行う。
具体的には、内燃機関の作動中において、素子部3を、例えば500〜800℃の温度範囲、即ち、アンモニアセンサ1の通常の使用時の素子温度よりも高く、且つ、感応層15の焼成温度よりも低い温度の範囲にて加熱するように、ヒータ19に通電する。これにより、アンモニアセンサ1(特に感応層15)に吸着した水分や雑ガス等を十分に除去することができる。
【0046】
それによって、アンモニアセンサ1のセンサ特性を回復することができる。
尚、上述したNH3濃度の測定の制御及び加熱クリーニングの制御は、図示しない電子制御装置(例えばマイクロコンピュータ)により実施される。
d)実験例
次に、本実施例の効果を確認するために行った実験例1〜7について説明するが、まず、各実験例で用いる試料や実験装置等について説明する。
【0047】
▲1▼アンモニアセンサ
前記本実施例の製造方法により、下記表1に示す各種の電極サイズのアンモニアセンサを製造した。
つまり、電極印刷のマスクを5種類用いて、各寸法A〜C、B/Cの異なる櫛歯電極を形成した。尚、試料No.1〜3が、本発明の請求項2の例であり、試料No.4、5がその範囲外の比較例である。
【0048】
【表1】
【0049】
▲2▼感応層
前記実施例の感応層を構成する感ガス材料として、5種類の異なる酸量を持ったゼオライトを製造し、そのNH3−TPD(NH3昇温脱離)測定を行った。
ここでは、モジュール(即ちSiO2/Al2O3のモル比)を変更することにより、酸量の異なるゼオライトを製造した。
【0050】
前記TPD測定によって得られたデータを図5に示すが、グラフの高温側のピークに対応する面積S(例えば試料No.6では斜線で示す山形状の部分)が酸量(NH3の吸着量)を示している。尚、酸量が既知の材料を用い、そのピークの面積との対比から、各試料の酸量を求める。
【0051】
また、図5において、ピークに対応する面積Sの脱離温度(山形状の部分の低温側端部から高温側端部の温度P1〜P2)から見積もったピークエンドの温度P2(即ちT)が、酸強度(NH3の吸着の強さ)を示す。
このSiO2/Al2O3(モル比)と酸量とピークエンド温度との関係を、下記表2に示す。尚、試料No.6〜9が、本発明の請求項1の例であり、試料No.10がその範囲外の比較例である。
【0052】
【表2】
【0053】
尚、この表2から明らかな様に、SiO2/Al2O3のモル比が小さいほど、即ち、SiO2の割合が小さいほど、酸量及びピークエンド温度(酸強度)が大であることが分かる。
▲3▼評価装置(ガス測定装置)
後述する実験例1〜7に使用する評価装置として、モデルガス発生装置を使用し、下記の測定条件のいずれかを採用して、それぞれ測定を行った。
【0054】
測定条件
ガス温 :280℃(300℃、400℃)
素子温 :400℃(300℃〜500℃)
ガス組成:O2:10重量%、CO2:5重量%、H2O:5重量%
NH3:0〜150ppm
妨害ガス:NO、CO、C3H6、H2:各500ppm、NO2:100ppm
そして、前記評価装置では、評価装置におけるガス流中に、実験に用いるアンモニアセンサを配置し、所定の周波数(1kHz)の交流電圧をアンモニアセンサに印加し、アンモニアセンサのインピーダンス(以下インピーダンスを単に抵抗と記す)を測定した。
【0055】
また、NH3:0ppmで得られる抵抗をベース抵抗Rとし、NH3を混入したときのベース抵抗に対する抵抗の変化ΔRの割合ΔR/Rを、NH3の感度とした。
以下、各実験例について、具体的に説明する。
(実験例1)
本実験例1では、櫛歯電極の電極材として、Au、75Au−25Pt、50Au−50Pt、10Au−90Pt、Ptを採用した5種類の電極の比較を行った。
【0056】
電極印刷時のマスクは、櫛歯間距離Aが0.092mmのもの(表1の試料No.2)を使用した。一方、ゼオライトとしては、酸量が0.22mmol/gのもの(表2の試料No.8)を使用した。
そして、評価装置に、NH3濃度が、0、5、20、50、100ppmのガスを供給し、そのときのベース抵抗Rに対する抵抗の変化ΔRの割合ΔR/R[%]を求めた。その結果を、図6の電極変化に対するNH3の感度変化のグラフに示す。尚、実験の際のガス温は280℃であり、素子温は400℃である。
【0057】
この図6から明らかな様に、電極に、Au又はAu−Pt合金からなる電極を用いると、Ptのみを用いた電極と比較して、NH3に対して数倍程度の感度を示し、安定性も非常に良好であることが分かった。尚、感度は、Auの含有割合の増加に伴って大きくなった。これは、AuがPtと比較して触媒活性が低いからであると考えられる。
(実験例2)
本実験例2では、酸量が異なる5種類のゼオライト(表2の試料No.6〜10)を用い、また、電極印刷時のマスクは、櫛歯間距離Aが0.092mmのもの(表1の試料No.2)を使用した。
【0058】
そして、前記実験例1と同様に、評価装置に、NH3濃度が、0、5、20、50、100ppmのガスを供給し、そのときのベース抵抗Rに対する抵抗の変化ΔRの割合ΔR/R[%]を求めた。その結果を、図7の各種ゼオライトのNH3の感度変化のグラフに示す。尚、実験の際のガス温は280℃であり、素子温は400℃である。
【0059】
この図7から明らかな様に、酸点が少量しか存在せず酸量が少ないゼオライト(例えば表2の試料No.10)は、感度が低いことが分かる。一方、酸量が多い(例えば0.1mmol/g以上)のものは、NH3に対する感度が高く、アンモニアセンサとして好適であることが分かる。
(実験例3)
本実験例3では、前記実験例2と同様に、酸量が異なる5種類のゼオライト(表2の試料No.6〜10)を用い、また、電極印刷時のマスクは、櫛歯間距離Aが0.092mmのもの(表1の試料No.2)を使用した。
【0060】
そして、評価装置に、NH3濃度が100ppmのNH3ガスに、妨害ガス(雑ガス)として、前記NO、CO、C3H6、H2(各500ppm)や、NO2(100ppm)を、後述する様に組み合わせて加えたガスを供給し、そのときのベース抵抗Rに対する抵抗の変化ΔRの割合ΔR/R[%]を求めた。
【0061】
その結果を、図8の各種ゼオライトのNH3、NO、C3H6感度のグラフ、図9の各種ゼオライトのNH3、CO、H2感度のグラフ、図10の各種ゼオライトのNH3、NO2感度のグラフに示す。尚、実験の際のガス温は280℃であり、素子温は400℃である。
【0062】
これらのグラフから明らかな様に、本実験例のアンモニアセンサは、NH3以外のガスにほとんど感度を示さず、NH3選択性が極めて高いことが分かる。
従って、前記実験例2及び実験例3の結果と、酸量が1.0mmol/gを超えるゼオライトは、耐熱性が低下することを考慮すると、アンモニアセンサが良好に機能する感応層を構成する物質としては、酸量が0.1〜1.0mmol/gの範囲が好適であることが分かる。
(実験例4)
本実験例4では、絶縁基板上に、表1の5種類のマスク(試料No.1〜5)を用いてAu電極を印刷し、また、ゼオライトとしてはすべて酸量が0.22mmol/gのもの(表2の試料No.8)を使用した。
【0063】
そして、前記実験例1と同様に、評価装置に、NH3濃度が、0、5、20、50、100ppmのガスを供給し、そのときのベース抵抗Rに対する抵抗の変化ΔRの割合ΔR/R[%]を求めた。その結果を、図11の櫛歯電極のピッチの影響のグラフに示す。尚、実験の際のガス温は280℃であり、素子温は400℃である。
【0064】
この図11から明らかな様に、マスクとして、試料No.1〜3を用いたものが、NH3の感度が高いことが分かる。従って、図11及び表1から、絶縁基板において、両櫛歯電極が形成される単位面積当たりに形成される両櫛歯電極の総長さB/Cが、4.0〜10.0mm/mm2の範囲であれば、良好なNH3感度が得られることが分かる。尚、B/Cの上限値に関しては、10.0mm/mm2を超えると、電極同士が短絡しやすいので、この範囲が好適であると考えられる。
【0065】
同様に、櫛歯間距離Aが1.5mm以下であれば、良好なNH3感度が得られることが分かる。
(実験例5)
本実験例5では、素子温を一定にするために、Pt抵抗体(即ち測温抵抗体である温度センサ)を用いて制御(素子温制御)を行った。
【0066】
つまり、評価装置に、ガス温が300℃、400℃で、NH3濃度が、0、5、20、50、100ppmのガスを供給するとともに、素子温制御を実施しない場合と、素子温制御(400℃に制御)を実施する場合において、そのときの抵抗値R(Ω)を求めた。その結果を、図12の素子温制御無しガス温依存性のグラフと、図13の素子温制御有りガス温依存性のグラフに示す。
【0067】
この図12及び図13から明らかな様に、Pt抵抗体を用いて素子温制御を行うことにより、異なるガス温中でも素子温度を一定に保つことができ、それによって、NH3感度の温度依存性を低減できることが分かる。
(実験例6)
酸強度は、TPDの脱離温度から容易に見積もることができる。つまり、脱離温度(特にピークエンドP2:図5参照)が高温側にあるものほど、NH3が吸着後脱離し難く酸強度が強いことが分かる。
【0068】
本実験例6では、酸強度と応答性との関係を示すために、高温側のピークエンドP2が、431℃のゼオライト(表2の試料No.8)を使用したセンサで実験を行った。
ここでは、素子温を300℃、400℃、500℃と振り、NH3濃度を0〜150ppmの範囲で、所定時間(200秒)毎に、0、5、20、50、100、150、0ppmと階段状に変化させ、そのときのベース抵抗Rに対する抵抗の変化ΔRの割合ΔR/R[%]を求めた。その結果を、図14の各素子温におけるNH3ガス応答性のグラフに示す。
【0069】
前記図14から明らかな様に、300℃では応答性が非常に低下していることが分かる。これは、素子温が脱離温度より低温であると、脱離時間が増大して応答性が低下するからであると考えられる。また、素子温が無意味に高温過ぎると、ゼオライトの劣化を促進するので、好ましくない。
【0070】
よって、TPDより見積もることができる高温側のピークのピークエンドP2の温度をTとすると、素子温(t[℃])を、T−100<t<T+100に設定することにより、非常に良好な応答性を得ることができる。
(実験例7)
アンモニアセンサを大気中等に保管すると、ゼオライトに水分や各種のガスが吸着することにより、感度が低下し、その性能が低下する。
【0071】
そこで、本実験例7では、前記実験例6で用いたものと同様なアンモニアセンサを使用し、所定期間(12日)保管後に、ヒータに電圧を印加し、ゼオライトの焼成温度である(且つセンサ使用時の素子温度より高い)600℃で20分間加熱クリーニングを実施した。また、同じ期間保管後に、加熱クリーニングを実施しないものと、保管前の新品のアンモニアセンサも用意した。
【0072】
そして、評価装置に、NH3濃度が、0、5、20、50、100ppmのガスを供給し、そのときのベース抵抗Rに対する抵抗の変化ΔRの割合ΔR/R[%]を求めた。その結果を、図15のヒートクリーニングの効果のグラフに示す。
この図15から明らかな様に、アンモニアを測定する際の素子温度(例えば280℃)より高く、且つゼオライトの焼成温度(例えば600℃)以下の温度で加熱クリーニングを実施することにより、高いNH3感度を回復できることが分かる。
【0073】
尚、本発明は前記実施例になんら限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の態様で実施しうることはいうまでもない。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例のアンモニアセンサの素子部の全体及び分解した状態を示す説明図である。
【図2】素子部の図1におけるA−A断面図である。
【図3】櫛歯電極の平面構成を示す説明図である。
【図4】アンモニアセンサの使用方法を示す説明図である。
【図5】各種ゼオライトのNH3−TPDを示すグラフである。
【図6】実験例1の電極変化に対するNH3感度を示すグラフである。
【図7】実験例2の各種ゼオライトのNH3感度を示すグラフである。
【図8】実験例3の各種ゼオライトのNH3、NO、C3H6感度を示すグラフである。
【図9】実験例3の各種ゼオライトのNH3、CO、H2感度を示すグラフである。
【図10】実験例3の各種ゼオライトのNH3、NO2感度を示すグラフである。
【図11】実験例4の櫛歯電極のピッチの影響を示すグラフである。
【図12】実験例5の素子温制御無しの場合のガス温依存性を示すグラフである。
【図13】実験例5の素子温制御有りの場合のガス温依存性を示すグラフである。
【図14】実験例6の各素子温におけるNH3のガス応答性を示すグラフである。
【図15】実験例7のヒートクリーニングの効果を示すグラフである。
【符号の説明】
1…アンモニアセンサ
3…素子部
5…絶縁基板
7、9…リード部
11、13…櫛歯電極
15…感応層
17…保護層
Claims (10)
- 一対の電極が配置された感応層を有する素子部と、該素子部を加熱するヒータと、を備えたアンモニアセンサにおいて、
前記一対の電極がAuを含有し、前記感応層を構成する物質の酸量が0.1〜1.0mmol/gであることを特徴とするアンモニアセンサ。 - 前記一対の電極が、互いの櫛歯が入り込んだ櫛歯電極であって、該両櫛歯電極が形成される単位面積当たりの両櫛歯電極の総長さが、4.00〜10.0mm/mm2であることを特徴とする請求項1に記載のアンモニアセンサ。
- 前記両櫛歯電極における対向する櫛歯間の距離が、0.15mm以下であることを特徴とする請求項2に記載のアンモニアセンサ。
- 前記電極の厚みが、1〜50μmであることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のアンモニアセンサ。
- 前記感応層を覆う保護層を備えたことを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のアンモニアセンサ。
- 更に、素子温度を検出する素子温度検出手段と、
前記素子温度が所定の温度範囲となるように前記ヒータを制御する温度制御手段と、
を備えたことを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のアンモニアセンサ。 - 前記素子温度t[℃]が、前記感応層におけるNH3昇温脱離曲線のピークエンドの温度をT[℃]としたとき、T−100<t<T+100の温度範囲となるよう制御することを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載のアンモニアセンサ。
- 前記感応層を構成する物質が、ゼオライトを主成分とする材料であることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載のアンモニアセンサ。
- 前記アンモニアセンサは、前記ヒータが埋設された絶縁基板と、該絶縁基板上に形成された一対の電極と、該一対の電極を被覆するように形成された感応層と、を備えたことを特徴とする請求項1〜8のいずれかに記載のアンモニアセンサ。
- 前記請求項1〜9のいずれかに記載のアンモニアセンサの制御方法であって、
センサ使用時の素子温度よりも高く、且つ、前記感応層の焼成温度以下の温度で、前記感応層の加熱クリーニングを行うことを特徴とするアンモニアセンサの制御方法。
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- 2002-07-05 JP JP2002197479A patent/JP2004037378A/ja active Pending
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