JP2004029575A - 実体顕微鏡用同軸落射照明装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】2つの観察光軸m1、m2を含む平面を、該2つの観察光軸m1、m2の二等分線を中心pに90°回転させた平面に対して略垂直に交差するように半透明鏡11を配置し、上記2つの観察光軸m1、m2が試料20側から上記半透明鏡11に反射した2つの照明光軸n1、n2上に照明用ファイバ171、172を配置するようにして、所期の目的を達成した。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、例えば実体顕微鏡に係り、特に、その対物レンズ先端に装着することで、同軸落射照明を実現する実体顕微鏡用同軸落射照明装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、実体顕微鏡は、生きたままの生物等の標本を観察したり、各種の作業に用いたり、あるいは半導体デバイス工程での各種検査や作業に用いられている。このような実体顕微鏡は、例えば反射率の高い半導体ウエハ等の検査に用いる場合、その照明光軸と反射光軸が一致していないと観察系に入射する光量が激減して観察不能になってしまうことで、そのような検査を行う際に、専用の同軸落射照明装置が必要となる。
【0003】
そこで、このような同軸落射照明装置としては、特公昭63―10408号公報に開示されるように、実体顕微鏡の対物レンズ先端に着脱自在に取付けることで、選択的に同軸落射照明を可能とする技術が提案されている。
【0004】
この提案される技術は、実体顕微鏡の2つの観察光軸を含む平面に対して、2つの照明光軸が同方向から垂直に交差するように2つの光源を配置する。そして、これら観察光軸と前記照明光軸の交点には、2つの光源からの照明光を観察光軸と同軸とするために、2つの観察光軸に対して等角度で交差するように2枚の半透明鏡を配置する。これにより、2つの光源から発せられた照明光は、2つの観察光軸に対応した2つの半透明鏡で反射された後、観察光軸と同軸を成して試料を照明するように構成されている。
【0005】
しかしながら、上記同軸落射照明装置では、通常の実体顕微鏡のグリノー角(内向角)が10°や12°であったりすると、対物レンズ先端において、内向角により収束する左右2つの光束が殆ど重なってしまうために、対物レンズ先端で、それぞれの必要光束分の半透明鏡を2枚、互いに干渉しないように配置するのが物理的に難であるという問題を有する。
【0006】
そこで、上記同軸落射照明装置にあっては、必要光束径よりも狭い面積の半透明鏡を配置するか、あるいは内向角を大きくして対応する方法を採ることが必要となる。
【0007】
ところが、上記方法では、必要光束径よりも狭くすると、ズーム低倍に、いわゆる「ケラレ」が発生したり照野が満たされなかったりする虞があり、対物レンズ先端で収束する内向角を大きくすると、像の平坦性が失われるばかりでなく、実体顕微鏡全体が大型となるという不都合を有する。
【0008】
係る事情は、特に、グローバーやボンダーやテスター等の装置に組み込まれることが多い実体顕微鏡にとって、サイズが大型となるということは、致命的となる。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
以上述べたように、従来の実体顕微鏡用同軸落射照明装置では、所望の照野を得るのが困難となったり、大型となるという問題を有する。
【0010】
この発明は上記の事情に鑑みてなされたもので、理想的な内向角(10°〜12°)を有する実体顕微鏡に使用でき、低倍から高倍までの高精度な同軸落射観察の実現に寄与し得るようにした実体顕微鏡用同軸落射照明装置を提供することを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】
この発明は、グリノー型の実体顕微鏡の対物レンズ先端に着脱自在に装着されるものであって、所望のグリノー角(内向角)を持つ2つの観察光軸上に対して該観察光軸外より照明光を導き試料を照射する実体顕微鏡用同軸落射照明装置において、前記2つの観察光軸上に配置され、且つ、前記2つの観察光軸を含む平面を、前記2つの観察光軸の二等分線を中心に90°回転させた平面に対して略垂直に交差するように配置した半透明鏡と、前記2つの観察光軸が前記試料側から前記半透明鏡に反射した2つの照明光軸上に配置される光源とを備えて構成した。
【0012】
上記構成によれば、光源からの光は、半透明鏡により対物レンズの光軸と同軸方向に反射されて試料に照射される。これにより、理想的な内向角(10°〜12°)を有する実体顕微鏡に使用できる上に、光束の「ケラレ」の防止が実現されて所望の照野を実現することが可能となり、低倍から高倍までの高精度な同軸落射観察の実現に寄与される。
【0013】
また、この発明は、前記半透明鏡を、試料面に対して45°よりも鋭角に(平行近辺の角度に)配置して、ミラーを前記2つの観察光軸が前記試料側から前記半透明鏡により反射した方向に配置し、前記ミラーにより反射した照明光軸上にそれぞれの光源を配置する構成とした。
【0014】
上記構成によれば、光源からの光は、ミラーを介して半透明鏡により対物レンズの光軸と同軸方向に反射されて試料に照射される。これにより、低倍から高倍までの高精度な同軸落射観察を実現しつつ、観察光軸に対する半透明鏡の傾斜角が小さくなることにより、心ずれ量を最小限にすることが可能となるうえ、薄型化が図れて作業空間の増加が図れる。
【0015】
また、この発明は、前記照明光軸上に、2つの照明光軸を含む平面に対して略垂直に交差するように配置したミラーと、前記ミラーにより前記2つの照明光軸が反射した軸上に光源を配置して構成した。
【0016】
上記構成によれば、照明光軸上に配置したミラーに対向して配置した光源からの光は、ミラーを介して半透明鏡により対物レンズの光軸と同軸方向に反射されて試料に照射される。これにより、低倍から高倍までの高精度な同軸落射観察を実現したうえで、さらに、光源をサイドに配置することが可能となり、その配置構成の自由度が得られると共に、奥行き方向の薄型化の促進が図れる。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
【0018】
図1は、この発明の第1の実施の形態に係る実体顕微鏡用同軸落射照明装置を示すもので、同図(a)は、断面図を示し、同図(b)は底面側を断面図で示したものである。
【0019】
即ち、枠体10には、観察光軸m1、m2と照明光軸n1、n2の交点に半透明鏡11が配され、その照明光軸n1、n2上に2つのコンデンサレンズ121、122が配される。そして、この枠体10には、実体顕微鏡の対物レンズ13の先端に取付けるための実体顕微鏡取付部14が設けられる。この実体顕微鏡取付部14は、実体顕微鏡の対物レンズ先端13に、例えばクランプビス15を用いて着脱自在に取付けられる。
【0020】
また、枠体10の照明光軸n1、n2上のコンデンサレンズ121、122には、その半透明鏡11と反対側にファイバ取付部161、162が設けられる。このファイバ取付部161、162には、不図示の光源からの照明光を導くための照明用ファイバ171、172の端部が挿入されて、ビス181、182で固定される。そして、このコンデンサレンズ121、122とファイバ取付部161、162の間には、例えばフィルタ挿入部191、192が設けられ、このフィルタ挿入部191、192には、例えば目の疲労防止用の淡青色フィルタや、照明光のムラを取り除く為のフロスト等が選択的に挿着される。
【0021】
上記照明用ファイバ171、172は、2つの光源からそれぞれのファイバにより光を導くタイプでも良いし、光源が1つで、ファイバの束を途中で2つに分割したタイプのものを使用しても良い。
【0022】
ここで、上記観察光軸m1、m2は、グリノー型実体顕微鏡の左右2つの観察光軸m1、m2と合致しており、図2に示すようにその内向角2θ=10°(θ=5°)を持って実体顕微鏡のステージに搭載される試料面で合致するように、上記半透明鏡11が、2つの観察光軸m1、m2を含む平面を2つの観察光軸m1、m2の二等分線pを中心に90°回転させた平面に対して略垂直に交差し、さらに2つの観察光軸m1、m2を含む平面に対して45°を成すように上記枠体内に配置される。そして、2つのコンデンサレンズ121、122と照明用ファイバ171、172の端部は、2つの観察光軸m1、m2が試料20(図3参照)側から前記半透明鏡11に反射したそれぞれ2つの照明光軸n1、n2上に配される。
【0023】
上記2つの照明光軸n1、n2を含む平面は、2つの観察光軸m1、m2を含む平面に垂直、かつ試料面と平行である。さらに、2つの照明光軸n1、n2は、図2(c)に示すように半透明鏡11に対して例えば内向角2θ=10°(θ=5°)の傾きを有している。
【0024】
上記構成において、枠体10には、実体顕微鏡取付部14が、図3に示すように実体顕微鏡9の対物レンズ13の先端に嵌装され、クランプビス15を用いて固定される。ここで、2つの照明用ファイバ171、172から発せられると、その光は、コンデンサレンズ121、122により集光されて照明光軸n1、n2に沿って進み、半透明鏡11で反射され、観察光軸m1、m2に沿って進み試料20を照射して同軸落射照明を行う。そして、試料20からの観察光は、再び、観察光軸m1、m2に沿って逆方向に進み、上記半透明鏡11に導かれて該半透明鏡11を透過し、実体顕微鏡9の対物レンズ13に導かれ、同軸落射照明観察行われる。
【0025】
このように、上記実体顕微鏡用同軸落射照明装置は、2つの観察光軸m1、m2を含む平面を、該2つの観察光軸m1、m2の二等分線を中心pに90°回転させた平面に対して略垂直に交差するように半透明鏡11を配置し、上記2つの観察光軸m1、m2が試料20側から上記半透明鏡11に反射した2つの照明光軸n1、n2上に照明用ファイバ171、172を配置して構成した。
【0026】
上記構成によれば、照明用ファイバ171、172の端部から出射された光は、半透明鏡11により対物レンズ13の光軸と同軸方向に反射されて試料20に照射される。これにより、離想定な内向角(10°〜12°)を有する実体顕微鏡に使用できて、光束の「ケラレ」の防止が実現されて所望の照野を実現することが可能となり、低倍から高倍までの高精度な同軸落射観察の実現に寄与される。
【0027】
また、これによれば、2つの観察光軸m1、m2に対して同軸に照明光を導くための半透明鏡11を1枚で構成しているので、一般に用いられる内向角10°や12°を有する実体顕微鏡9に対して使用しても、干渉することなく、半透明鏡を配置でき、かつズーム低倍でも「ケラレ」が発生することなく、同軸落射照明を行うことができる。また、半透明鏡11が1枚であるため、半透明鏡11による相対的な心ずれ量を最小限に設定することが可能となる。
【0028】
また、この発明は、上記第1の実施の形態に限ることなく、その他、図4及び図5に示す第2の実施の形態、図6及び図7に示す第3の実施の形態の如く構成しても良い。但し、図4及び図5、図6及び図7の説明においては、上記図1乃至図3と同一部分について、同一符号を付して、その説明を省略する。
【0029】
先ず、図4及び図5に示す第2の実施の形態では、枠体10に対して半透明鏡111を観察光軸m1、m2上に試料面に対して45°よりも鋭角な略平行近辺に配置し、その2つの照明光軸n1、n2上に照明光軸n1、n2を半透明鏡111に折り返すようにミラー21を配置する。
【0030】
即ち、半透明鏡111は、図5に示すように試料面に対して例えば22.5°を成す角度で枠体に配置され、内向角2θ=10°(θ=5°)を有して2つの観察光軸m1、m2が試料20側から上記半透明鏡111で反射した方向、例えば照明光軸と67.5°の角度を成してミラー21を配置する。そして、照明用ファイバ171、172は、上記ミラー21により反射した照明光軸n1、n2上にそれぞれ配置される。ここで、2つの照明光軸n1、n2を含む平面は、2つの観察光軸m1、m2を含む平面に垂直、かつ試料面と平行で、該2つの照明光軸n1、n2は、上記半透明鏡111に対して内向角2θ=10°(θ=5°)の傾きを有する。
【0031】
上記構成により、枠体10は、上述した第1の実施の形態と同様に実体顕微鏡9の対物レンズ13の先端に装着され、落射照明を行う際に、照明用ファイバ171、172の端部から照明光が発せられる。すると、照明用ファイバ171、172の端部から発せられた照明光は、ミラー21により反射されて半透明鏡111に導かれ、該半透明鏡111により反射されて観察光軸m1、m2と同軸上に偏向され、試料20に照射され、同軸落射照明による観察が可能となる。
【0032】
上記実施の形態によれば、上述した第1の実施の形態と同様の効果の他に、観察光軸m1、m2に対する半透明鏡111の光軸の傾斜角が少ないため、心ずれ量が少なくすることが可能となると共に、枠体10の厚さ寸法を薄くすることが可能となり、WDが大きくなり、作業空間の増加を図ることができる。
【0033】
また、上記第2の実施の形態においては、半透明鏡111を観察光軸m1、m2上に試料20面に対して45°よりも鋭角な略平行となるように枠体に配置し、その2つの照明光軸n1、n2上に照明光軸n1、n2を半透明鏡111で折り返すようにミラー21を配置するように構成したが、半透明鏡111とミラー21の配置関係は、これに限られるものでなく、例えば図6に示すような構成にしても同様な効果が得られる。
【0034】
図6では、半透明鏡111は、上記図5の半透明鏡111とは反対方向に22.5°を成す角度で配置され、内向角2θ=10°(θ=5°)を有して2つの観察光軸m1、m2が試料20側から上記半透明鏡111で反射した方向、例えば照明光軸と57.5°の角度を成してミラー21を配置する。このとき、照明光軸n1、n2を含む平面は、2つの観察光軸m1、m2を含む面に垂直である必要はなく、この場合、照明用ファイバ171、172の端部を斜め下方へ向けて配置して照明される。
【0035】
このように構成することで、第2の実施の形態と同様の効果を達成できる上に、実体顕微鏡本体後方に配される照明用ファイバ171、172がステージ上方へ逃がされているので、第2の実施の形態でアームを回避するように照明用ファイバ171、172が自由に配置されていたのに比べて、ステージ上面及び上方の空間を有効に使うことができる。
【0036】
また、図7及び図8に示す第3の実施の形態では、枠10に対して、半透明鏡112を観察光軸m1、m2と照明光軸n1、n2の交点に配置する。そして、枠体の2つの照明光軸n、n′上には、ミラー221、222が配置され、このミラー221、222により偏向された光軸k1、k2上には、コンデンサレンズ121、122が配置される。
【0037】
また、枠体10には、照明光軸n1、n2上のコンデンサレンズ121、122に対してミラー221、222と反対側にファイバ取付部161、162が設けられる。そして、この枠体10のファイバ取付部161、162には、上記照明用ファイバ171、172の端部が収容されて、図示しないビス等を用いて取付けられる。
【0038】
ここで、ミラー221、222は、図8に示すように照明光軸n1、n2上に、2つの照明光軸n1、n2を含む平面に対して垂直に交差するように配置される。そして、上記コンデンサレンズ121、122と照明用ファイバ171、172は、上記ミラー221、222により照明光軸n1、n2が反射した光軸k1、k2上にそれぞれ配置される。この光軸k1、k2は、2つの照明光軸n1、n2を含む平面に対して平行かつ、試料20面に対しても平行である。
【0039】
上記ミラー221は、光軸k1に対して例えば47.5°の角度を成しており、ミラー222は、軸k2に対して例えば42.5°の角度を成している。これらミラー221、222を用いて照明光軸n1、n2を折り返えすことで、照明用ファイバ171、172の端部から出射される照明光の出射方向を制御する。
【0040】
また、上記照明用ファイバ171、172の端部から出射される照明光の出射方向が平行に設定される。この際、左右の照度差を等しくするために、2つの照明用ファイバ171、172から半透明鏡112までの左右の光路長は、等しく設定される。
【0041】
上記構成により、枠体10は、上述した第1及び第2の実施の形態と同様に実体顕微鏡9の対物レンズ13の先端に装着され、落射照明を行う際に、照明用ファイバ171、172の端部から照明光が発せられる。すると、照明用ファイバ171、172から発せられた照明光は、ミラー221、222により反射された後、半透明鏡112により偏向され、試料20に対して実体顕微鏡9の観察光軸m1、m2と同軸で照明され、同軸落射照明による観察が可能となる。
【0042】
上記実施の形態によれば、上記各実施の形態と同様な効果が得られ、さらに、ファイバをサイドから挿入できることで、奥行き方向の寸法の軽減が図るので、奥行き方向に制限のある実体顕微鏡用の架台と組み合わせて使用するときなどは有効的である。
【0043】
上記第3の実施の形態においては、枠体10の2つの照明光軸n1、n2上にミラー221、222を配置して、このミラー221、222により偏向された光軸k1、k2上にコンデンサレンズ121、122を配置するように構成したが、その他、例えば図9乃至図12に示すように構成しても、同様の効果が期待される。
【0044】
図9では、ミラー221、222及びコンデンサレンズ121、122に換えて凹面鏡231、232を、照明光軸n1、n2上に配置するように構成したものである。
【0045】
図10は、2枚のミラー221、222を1枚のミラー24で構成するようにしたものである。
【0046】
図11は、2枚のミラー221、222を照明光軸に直交する光軸k1、k2に対して例えば42.5°の角度で略対称に対向配置すると共に、このミラー221、222に対向して照明用ファイバ171、172の端部をそれぞれ配置するように構成したものである。
【0047】
図12は、2枚の凹面鏡231、232を照明光軸n1、n2に直交する光軸k1、k2に対して例えば42.5°の角度で略対称に対向配置すると共に、この凹面鏡231、232に対向して照明用ファイバ171、172をそれぞれ配置するように構成したものである。
【0048】
また、この発明は、上記第1乃至第3の各実施の形態に限ることなく、その他、図13に示す第4の実施の形態、及び図14に示す第5の実施の形態の如く構成しても良い。但し、図13及び図14の説明においては、上記図1乃至図12と同一部分について、同一符号を付して、その説明を省略する。
【0049】
図13に示す第4の実施の形態では、照明光軸n1、n2上の照明用ファイバ171、172と半透明鏡11との間にポラライザ301、302を介在して、観察光軸m1、m2上の半透明鏡11と実体顕微鏡9の対物レンズ13の先端との間にアナライザ31を、互いにクロスニコルとなるように配置するように構成したものである。この第4の実施の形態によれば、さらに、簡易偏向観察を容易に行うことが可能となる。
【0050】
また、図14に示す第5の実施の形態では、照明用ファイバ171、172のフォーカシングを可能とするように枠体10のファイバ取付部161、162に対してファイバ支持部321、322を照明光軸n1、n2方向に移動自在に組付け、このファイバ支持部321、322に対して照明用ファイバ171、172の端部を挿着する。ファイバ支持部321、322は、その基端側が枠体10の端部から突出され、その突出部位間が連結板33を介して相互間が矢印X方向に移動自在に連結される。
【0051】
連結板33には、操作レバー331が設けられ、この操作レバー331を挟んで長孔332、333が、上記2つのファイバ支持部321、322に対応して設けられる。そして、この連結板33は、その長孔332、333に段付きビス341、342が挿通されて、該段付きビス341、342がファイバ支持部321、322にそれぞれ螺着される。ここで、連結板33は、2つの照明用ファイバ171、172の相互間を位置決めした状態で、その長孔332、333の作用により段付きビス341、342を、該長孔332、333に沿って案内してファイバ支持部321、322の矢印X方向の移動を許容する。
【0052】
上記構成により、照明用ファイバ171、172のフォーカシングを行う場合には、連結板33の操作レバー331を手にして連結板333と共に、ファイバ支持部321、322を矢印Y方向に移動させる。すると、ファイバ支持部321、322は、それぞれ照明光軸n1、n2方向に移動される。この際、ファイバ支持部321、322は、連結板33の長孔332、333と段付きビス341、342の作用により、それぞれ矢印X方向に移動調整されることにより、照明光軸n1、n2方向に移動されて照明用ファイバ171、172のフォーカシングを実行する。
【0053】
このフォーカシング調整時、例えばコンデンサレンズ121、122と照明用ファイバ171、172のクリアランスを狭めると照野は広がり、より低い倍率時でも対応でき、逆にコンデンサレンズ121、122と照明用ファイバ171、172のクリアランスを広げると照野は狭くなり(NAが大)、より高い倍率時でも対応することができる。これにより、低倍から高倍までの高いズーム比を備えた実体顕微鏡に対応することが可能となる。
【0054】
また、この第5の実施の形態では、照明用ファイバ171、172を照明光軸n1、n2方向に移動調整してフォーカシングを行うように構成した場合を代表して説明したが、これに限ることなく、例えばコンデンサレンズ121、122を照明光軸n1、n2方向に移動調整してフォーカシングを行うように構成することも可能で、同様の効果が期待される。
【0055】
なお、上記第4及び第5の実施の形態においては、相互を組み合わせて構成することも可能である。そして、この第4及び第5の実施の形態は、上述した第1乃至第3の実施の形態と組み合わせて構成することも可能で、その組み合わせにより、さらに有効な効果が期待される。
【0056】
また、上記第1乃至第5の実施の形態においては、光源として照明用ファイバ171、172を用いて構成した場合で説明したが、これに限ることなく、その他、光源として、ランプを用いて構成することも可能で、略同様の効果が期待される。
【0057】
よって、この発明は、上記各実施の形態に限ることなく、その他、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で種々の変形を実施し得ることが可能である。さらに、上記各実施形態には、種々の段階の発明が含まれており、開示される複数の構成要件における適宜な組合せにより種々の発明が抽出され得る。
【0058】
例えば各実施形態に示される全構成要件から幾つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出され得る。
【0059】
【発明の効果】
以上詳述したように、この発明によれば、理想的な内向角(10°〜12°)を有する実体顕微鏡に使用でき、低倍から高倍までの高精度な同軸落射観察の実現に寄与し得るようにした実体顕微鏡用同軸落射照明装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施の形態に係る実体顕微鏡用同軸落射照明装置を示した一部断面図である。
【図2】図1の配置構成を示した原理図である。
【図3】図1を実体顕微鏡に装着した状態を示した側面図である。
【図4】この発明の他の実施の形態に係る実体顕微鏡用同軸落射照明装置を示した一部断面図である。
【図5】図4の配置構成を示した原理図である。
【図6】図4の実施の形態の変形例を示す側面図である。
【図7】この発明の他の実施の形態に係る実体顕微鏡用同軸落射照明装置を示した一部断面図である。
【図8】図6の配置構成を示した原理図である。
【図9】図6の実施の形態における変形例を示した構成説明である。
【図10】図6の実施の形態における他の変形例を示した構成図である。
【図11】図6の実施の形態における他の変形例を示した構成図である。
【図12】図6の実施の形態における他の変形例を示した構成図である。
【図13】この発明の他の実施の形態に係る実体顕微鏡用同軸落射照明装置を示した一部断面図である。
【図14】この発明の他の実施の形態に係る実体顕微鏡用同軸落射照明装置を示した一部断面図である。
【符号の説明】
9 … 実体顕微鏡
10 … 枠体
11、111、112 … 半透明鏡
121、122 … コンデンサレンズ
13 … 対物レンズ
14 … 実体顕微鏡取付部
15 … クランプビス
161、162 … ファイバ取付部
171、172 … 照明用ファイバ
181、182 … ビス
191、192 … フィルタ挿入部
20 … 試料
21 … ミラー
221、222 … ミラー
231、232 … 凹面鏡
24 … ミラー
301、302 … ポラライザ
31 … アナライザ
321、322 … ファイバ支持部
33 … 連結板
331 … 操作レバー
332、333 … 長孔
341、342 … 段付きビス
m1、m2 … 観察光軸
n1、n2 … 照明光軸
k1、k2 … 光軸
Claims (3)
- グリノー型の実体顕微鏡の対物レンズ先端に着脱自在に装着されるものであって、所望のグリノー角(内向角)を持つ2つの観察光軸上に対して該観察光軸外より照明光を導き試料を照射する実体顕微鏡用同軸落射照明装置において、
前記2つの観察光軸上に配置され、且つ、前記2つの観察光軸を含む平面を、前記2つの観察光軸の二等分線を中心に90°回転させた平面に対して略垂直に交差するように配置した半透明鏡と、
前記2つの観察光軸が前記試料側から前記半透明鏡に反射した2つの照明光軸上に配置される光源と
を具備することを特徴とする実体顕微鏡用同軸落射照明装置。 - 前記半透明鏡を、試料面に対して45°よりも鋭角に(平行近辺の角度に)配置して、ミラーを前記2つの観察光軸が前記試料側から前記半透明鏡により反射した方向に配置し、前記ミラーにより反射した照明光軸上にそれぞれの光源を配置したことを特徴とする請求項1記載の実体顕微鏡用同軸落射照明装置。
- 前記照明光軸上に、2つの照明光軸を含む平面に対して略垂直に交差するように配置したミラーと、前記ミラーにより前記2つの照明光軸が反射した軸上に光源を配置したことを特徴とする請求項1記載の実体顕微鏡用同軸落射照明装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2002188553A JP2004029575A (ja) | 2002-06-27 | 2002-06-27 | 実体顕微鏡用同軸落射照明装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002188553A JP2004029575A (ja) | 2002-06-27 | 2002-06-27 | 実体顕微鏡用同軸落射照明装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004029575A true JP2004029575A (ja) | 2004-01-29 |
JP2004029575A5 JP2004029575A5 (ja) | 2005-09-02 |
Family
ID=31183273
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2002188553A Pending JP2004029575A (ja) | 2002-06-27 | 2002-06-27 | 実体顕微鏡用同軸落射照明装置 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP2004029575A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8284482B2 (en) * | 2005-10-20 | 2012-10-09 | Carl Zeiss Meditec Ag | Stereoscopic microscope |
CN103376540A (zh) * | 2012-04-29 | 2013-10-30 | 麦克奥迪实业集团有限公司 | 体视显微镜led同轴照明装置 |
-
2002
- 2002-06-27 JP JP2002188553A patent/JP2004029575A/ja active Pending
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US8284482B2 (en) * | 2005-10-20 | 2012-10-09 | Carl Zeiss Meditec Ag | Stereoscopic microscope |
CN103376540A (zh) * | 2012-04-29 | 2013-10-30 | 麦克奥迪实业集团有限公司 | 体视显微镜led同轴照明装置 |
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