JP2004026573A - 光ファイバ母材製造装置 - Google Patents
光ファイバ母材製造装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004026573A JP2004026573A JP2002185718A JP2002185718A JP2004026573A JP 2004026573 A JP2004026573 A JP 2004026573A JP 2002185718 A JP2002185718 A JP 2002185718A JP 2002185718 A JP2002185718 A JP 2002185718A JP 2004026573 A JP2004026573 A JP 2004026573A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- quartz tube
- optical fiber
- fiber preform
- glass
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/018—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD] by glass deposition on a glass substrate, e.g. by inside-, modified-, plasma-, or plasma modified- chemical vapour deposition [ICVD, MCVD, PCVD, PMCVD], i.e. by thin layer coating on the inside or outside of a glass tube or on a glass rod
- C03B37/01807—Reactant delivery systems, e.g. reactant deposition burners
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
【課題】MCVD法において、光ファイバ母材(プリフォーム)を効率良く製造することができる光ファイバ母材製造装置を提供する。
【解決手段】石英管1、加熱装置4、およびガラス原料とキャリアガスの混合ガスを該石英管内に供給するガス供給装置を有するMCVD法の光ファイバ母材製造装置において、ガラス原料とキャリアガスの混合ガスを、レイノルズ数1,000以下の層流である螺旋状の気流にすることができる転向部材6を備えたことを特徴とする光ファイバ母材製造装置。
【選択図】 図1
【解決手段】石英管1、加熱装置4、およびガラス原料とキャリアガスの混合ガスを該石英管内に供給するガス供給装置を有するMCVD法の光ファイバ母材製造装置において、ガラス原料とキャリアガスの混合ガスを、レイノルズ数1,000以下の層流である螺旋状の気流にすることができる転向部材6を備えたことを特徴とする光ファイバ母材製造装置。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、MCVD法において、光ファイバ母材(プリフォーム)を効率良く製造することができる光ファイバ母材製造装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
光ファイバ母材(プリフォーム)を製造する方法は、各種開発されているが、その中の代表的な方法の1つとして、MCVD法が広く一般に知られている。この方法は、中空の石英管の内部に、SiCl4、GeCl4等のガラス原料をO2等のキャリアガスと共に送り込み、石英管を回転させながら、石英管の一部を外側から酸水素バーナーで加熱すると、気相酸化反応によりガラス原料がガラス微粒子となって石英管の内壁に堆積し、次いで、酸水素バーナーを石英管の長さ方向に往復走行させると、石英管内に一様なガラス層が形成され、その後、石英管を加熱、収縮させること(コラプシング)により、中実化した光ファイバ母材を得る方法である。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のMCVD法においては、図3に示したように、ガラス原料とキャリアガスの混合ガス5を、特に制御することなく、ガス流入部2を通じて、石英管1と並行(図示した矢印)に一様の状態で、石英管1内に送り込み、加熱装置4で石英管1の外側を加熱して、生成したガラス微粒子を石英管1の内壁に付着、堆積させると共に、石英管1に付着しないガラス微粒子および未反応のガラス原料等は、ガス流出部3より排出させていた。
すなわち、従来のMCVD法では、気相酸化反応により生成したガラス微粒子の全てが、石英管の内壁に付着するわけではなく、石英管の内壁に付着することなく、そのまま石英管から排出されるガラス微粒子もかなりあるため、石英管へのガラス微粒子の堆積効率が低いという問題点があった。
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その課題は、MCVD法において、石英管へのガラス微粒子の堆積効率を向上させて、光ファイバ母材を効率良く製造することができる光ファイバ母材製造装置を提供することにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、上記問題点を解決するために、鋭意検討した結果、MCVD法により石英管に付着するガラス微粒子は、石英管の内壁に近い領域に存在するものが多く、石英管の中央部で生成したガラス微粒子の多くは、石英管に付着することなく、そのまま石英管から排出されていることがわかった。
そこで、本発明者らは、ガラス原料とキャリアガスの混合ガスを、石英管と並行に一様の状態で石英管内に流入させるのではなく、石英管内の外側に近い部分に、ガラス原料が多く集中するように流入させ、その部分で多くのガラス微粒子を生成させれば、石英管の内壁に多くのガラス微粒子が付着、堆積して、ガラス微粒子の堆積効率を高めることができると考え、かかる知見に基づき、本発明を完成した。
【0005】
すなわち、本発明は、石英管、加熱装置、およびガラス原料とキャリアガスの混合ガスを該石英管内に供給するガス供給装置を有するMCVD法の光ファイバ母材製造装置において、ガラス原料とキャリアガスの混合ガスを、レイノルズ数1,000以下の層流である螺旋状の気流にすることができる転向部材を備えたことを特徴とする光ファイバ母材製造装置である。
また、別の本発明は、ガラス原料とキャリアガスの混合ガスを、レイノルズ数1,000以下の層流である螺旋状の気流にして、石英管内に送り込むことを特徴とするMCVD法による光ファイバ母材の製造方法である。この光ファイバ母材の製造方法は、本発明の光ファイバ母材製造装置を使用することによって、実施される。
【0006】
【発明の実施の形態】
本発明の光ファイバ母材製造装置の特徴は、前記したように、石英管内に流入させるガラス原料とキャリアガスの混合ガスを、レイノルズ数1,000以下の層流である螺旋状の気流にすることができる転向部材を有する点にある。
かかる特徴を有することにより、キャリアガスとそれによって運搬されているガラス原料に遠心力がかかるため、ガラス原料の密度は、石英管内の中心部で低く、石英管内の外周部で高い状態となる。そして、この状態で石英管を加熱すると、生成するガラス微粒子の密度は、石英管内の中心部で低く、外周部で高い状態となる。その結果、石英管の内壁に付着するガラス微粒子の量が増加して、ガラス微粒子の堆積効率が向上するという優れた効果が得られる。
【0007】
本発明の光ファイバ母材製造装置の一実施態様を図1に示す。図1に例示した本発明の光ファイバ母材製造装置は、石英管1と、石英管1を加熱する酸水素バーナー等の加熱装置4と、ガラス原料とキャリアガスの混合ガス5を石英管1に供給するガス供給装置(図示せず)を有し、石英管1の一方の端部には、ガラス原料とキャリアガスの混合ガス5を、石英管1内に案内するためのガス流入部2を、他方の端部には、堆積しなかったガラス微粒子等を、石英管1外に案内するためのガス流出部3を連結し、さらに、転向部材6を、ガス流入部2内に設置することにより構成されている。この転向部材6は、前記したように、石英管1内に流入させるガラス原料とキャリアガスの混合ガス5を、レイノルズ数1,000以下の層流である螺旋状の気流にすることができる部材である。
図1に示したように、ガス供給装置より供給されるガラス原料とキャリアガスの混合ガス5は、転向部材6を通過するまでは、石英管と並行の気流であるが、石英管のガス流入部2に設置した転向部材6を通り抜けた後は、層流で螺旋状の気流に変換される。
【0008】
転向部材6は、ガス供給装置より供給されたガラス原料とキャリアガスの混合ガス5を、レイノルズ数1,000以下の層流である螺旋状の気流に変えることができる機能を有する部材であれば、その構造等は特に問わない。ガラス原料とキャリアガスの混合ガス5の流れが、レイノルズ数1,000を超えると乱流となり、石英管内へのガラス微粒子の堆積効率を向上させることができない。
また、前記したように、混合ガス5の流れが、螺旋状の気流となることにより、混合ガス5に遠心力が加わって、石英管の内壁周辺部におけるガラス原料の密度が高くなり、その結果、ガラス微粒子の堆積効率が向上する。
なお、レイノルズ数は、式ρUL/μによって求めることができる。Uは混合ガスの流速、Lは石英管の内径、ρは混合ガスの密度、μは混合ガスの粘度である。
【0009】
転向部材6の構造の具体例としては、図2に例示したように、羽根部材が挙げられる。羽根部材が回転することにより、吸い込んだガラス原料とキャリアガスの混合ガスは、前記螺旋状の気流に変換されて、石英管内に送り込まれる。羽根部材の回転数は、混合ガスが、レイノルズ数1,000以下の層流である螺旋状の気流となるように適宜決定する。また、羽根部材の羽根の形状、構造等についても、任意に決定される。
【0010】
転向部材6の材質も、特に限定されるわけではないが、ガラス原料と反応しない材質を選択することによって、ガラス微粒子の堆積効率や、得られるガラス母材の品質等を、より向上させることができるので、ガラス原料と反応しない材質、具体的には、テフロン(登録商標)、SiO2等が好ましい。
【0011】
転向部材6は、通常、ガラス原料とキャリアガスの混合ガスを導入する石英管の入口に、それと同軸に配置されるが、ガラス原料とキャリアガスの混合ガスが、上記螺旋状の気流となって石英管内に送り込まれる限り、どの場所に配置しても差し支えない。
【0012】
【実施例】
以下、実施例により、本発明の実施態様について具体的に説明するが、本発明は、実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した発明の範囲内で、種々の変形が可能である。
【0013】
(実施例)
長さ1,000mm、内径19 mmの石英管を用いて、図1に示したように、MCVD法により、石英管の内壁にガラス微粒子を堆積させて、光ファイバ母材の製造を行った。ガス供給装置からは、He3,000cc/分、O22,000 cc/分、SiCl4(25℃酸素キャリア)1,000 cc/分の混合ガスを石英管内に供給した。また、混合ガス流が20mmで1回転する、図1に示した構造の羽根部材を、ガス流入部に挿入し固定した。この羽根部材の材質には、テフロン(登録商標)を使用した。また、加熱装置である酸水素バーナーの移動速度を100mm/分、石英管の回転数を50rpmとした。
この条件で、ガラス微粒子の堆積を行ったところ、ガラス微粒子の堆積効率は56%であった。また、この時の混合ガスのレイノルズ数は696であった。
なお、ガラス微粒子の堆積効率の値は、堆積したクラッド外径より求めた付着量より算出した付着ガラス重量と流入させたガラス原料の重量比を計算し、混合ガスのレイノルズ数は、混合ガスの各成分ガスの粘度の平均値と平均密度、平均流速を用いて計算することによって求めた。
【0014】
(比較例1)
羽根部材を使用しなかった以外は、実施例と同様にして、ガラス微粒子の堆積を行ったところ、ガラス微粒子の堆積効率は52%であった。また、この時の混合ガスのレイノルズ数は221であった。
【0015】
(比較例2)
実施例で使用した羽根部材の代わりに、混合ガス流が10 mmで1回転する羽根部材を使用した以外は、実施例と同様にして、ガラス微粒子の堆積を行ったところ、混合ガスの気流が乱れ、ガラス微粒子の堆積効率は48%であった。また、この時の混合ガスのレイノルズ数は1,340であった。
【0016】
(評価)
上記結果から明らかなように、本発明に係る実施例では、ガラス微粒子の堆積効率が、比較例よりも優れていた。
【0017】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、石英管内壁へのガラス微粒子の堆積効率を高めて、光ファイバ母材(プリフォーム)を効率良く製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の光ファイバ母材製造装置の概略図である。
【図2】本発明の転向部材の一例を示す概略図である。
【図3】従来の光ファイバ母材製造装置の概略図である。
【符号の説明】
1…石英管 4…加熱装置
2…ガス流入部 5…混合ガス
3…ガス流出部 6…転向部材
【発明の属する技術分野】
本発明は、MCVD法において、光ファイバ母材(プリフォーム)を効率良く製造することができる光ファイバ母材製造装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
光ファイバ母材(プリフォーム)を製造する方法は、各種開発されているが、その中の代表的な方法の1つとして、MCVD法が広く一般に知られている。この方法は、中空の石英管の内部に、SiCl4、GeCl4等のガラス原料をO2等のキャリアガスと共に送り込み、石英管を回転させながら、石英管の一部を外側から酸水素バーナーで加熱すると、気相酸化反応によりガラス原料がガラス微粒子となって石英管の内壁に堆積し、次いで、酸水素バーナーを石英管の長さ方向に往復走行させると、石英管内に一様なガラス層が形成され、その後、石英管を加熱、収縮させること(コラプシング)により、中実化した光ファイバ母材を得る方法である。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のMCVD法においては、図3に示したように、ガラス原料とキャリアガスの混合ガス5を、特に制御することなく、ガス流入部2を通じて、石英管1と並行(図示した矢印)に一様の状態で、石英管1内に送り込み、加熱装置4で石英管1の外側を加熱して、生成したガラス微粒子を石英管1の内壁に付着、堆積させると共に、石英管1に付着しないガラス微粒子および未反応のガラス原料等は、ガス流出部3より排出させていた。
すなわち、従来のMCVD法では、気相酸化反応により生成したガラス微粒子の全てが、石英管の内壁に付着するわけではなく、石英管の内壁に付着することなく、そのまま石英管から排出されるガラス微粒子もかなりあるため、石英管へのガラス微粒子の堆積効率が低いという問題点があった。
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その課題は、MCVD法において、石英管へのガラス微粒子の堆積効率を向上させて、光ファイバ母材を効率良く製造することができる光ファイバ母材製造装置を提供することにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、上記問題点を解決するために、鋭意検討した結果、MCVD法により石英管に付着するガラス微粒子は、石英管の内壁に近い領域に存在するものが多く、石英管の中央部で生成したガラス微粒子の多くは、石英管に付着することなく、そのまま石英管から排出されていることがわかった。
そこで、本発明者らは、ガラス原料とキャリアガスの混合ガスを、石英管と並行に一様の状態で石英管内に流入させるのではなく、石英管内の外側に近い部分に、ガラス原料が多く集中するように流入させ、その部分で多くのガラス微粒子を生成させれば、石英管の内壁に多くのガラス微粒子が付着、堆積して、ガラス微粒子の堆積効率を高めることができると考え、かかる知見に基づき、本発明を完成した。
【0005】
すなわち、本発明は、石英管、加熱装置、およびガラス原料とキャリアガスの混合ガスを該石英管内に供給するガス供給装置を有するMCVD法の光ファイバ母材製造装置において、ガラス原料とキャリアガスの混合ガスを、レイノルズ数1,000以下の層流である螺旋状の気流にすることができる転向部材を備えたことを特徴とする光ファイバ母材製造装置である。
また、別の本発明は、ガラス原料とキャリアガスの混合ガスを、レイノルズ数1,000以下の層流である螺旋状の気流にして、石英管内に送り込むことを特徴とするMCVD法による光ファイバ母材の製造方法である。この光ファイバ母材の製造方法は、本発明の光ファイバ母材製造装置を使用することによって、実施される。
【0006】
【発明の実施の形態】
本発明の光ファイバ母材製造装置の特徴は、前記したように、石英管内に流入させるガラス原料とキャリアガスの混合ガスを、レイノルズ数1,000以下の層流である螺旋状の気流にすることができる転向部材を有する点にある。
かかる特徴を有することにより、キャリアガスとそれによって運搬されているガラス原料に遠心力がかかるため、ガラス原料の密度は、石英管内の中心部で低く、石英管内の外周部で高い状態となる。そして、この状態で石英管を加熱すると、生成するガラス微粒子の密度は、石英管内の中心部で低く、外周部で高い状態となる。その結果、石英管の内壁に付着するガラス微粒子の量が増加して、ガラス微粒子の堆積効率が向上するという優れた効果が得られる。
【0007】
本発明の光ファイバ母材製造装置の一実施態様を図1に示す。図1に例示した本発明の光ファイバ母材製造装置は、石英管1と、石英管1を加熱する酸水素バーナー等の加熱装置4と、ガラス原料とキャリアガスの混合ガス5を石英管1に供給するガス供給装置(図示せず)を有し、石英管1の一方の端部には、ガラス原料とキャリアガスの混合ガス5を、石英管1内に案内するためのガス流入部2を、他方の端部には、堆積しなかったガラス微粒子等を、石英管1外に案内するためのガス流出部3を連結し、さらに、転向部材6を、ガス流入部2内に設置することにより構成されている。この転向部材6は、前記したように、石英管1内に流入させるガラス原料とキャリアガスの混合ガス5を、レイノルズ数1,000以下の層流である螺旋状の気流にすることができる部材である。
図1に示したように、ガス供給装置より供給されるガラス原料とキャリアガスの混合ガス5は、転向部材6を通過するまでは、石英管と並行の気流であるが、石英管のガス流入部2に設置した転向部材6を通り抜けた後は、層流で螺旋状の気流に変換される。
【0008】
転向部材6は、ガス供給装置より供給されたガラス原料とキャリアガスの混合ガス5を、レイノルズ数1,000以下の層流である螺旋状の気流に変えることができる機能を有する部材であれば、その構造等は特に問わない。ガラス原料とキャリアガスの混合ガス5の流れが、レイノルズ数1,000を超えると乱流となり、石英管内へのガラス微粒子の堆積効率を向上させることができない。
また、前記したように、混合ガス5の流れが、螺旋状の気流となることにより、混合ガス5に遠心力が加わって、石英管の内壁周辺部におけるガラス原料の密度が高くなり、その結果、ガラス微粒子の堆積効率が向上する。
なお、レイノルズ数は、式ρUL/μによって求めることができる。Uは混合ガスの流速、Lは石英管の内径、ρは混合ガスの密度、μは混合ガスの粘度である。
【0009】
転向部材6の構造の具体例としては、図2に例示したように、羽根部材が挙げられる。羽根部材が回転することにより、吸い込んだガラス原料とキャリアガスの混合ガスは、前記螺旋状の気流に変換されて、石英管内に送り込まれる。羽根部材の回転数は、混合ガスが、レイノルズ数1,000以下の層流である螺旋状の気流となるように適宜決定する。また、羽根部材の羽根の形状、構造等についても、任意に決定される。
【0010】
転向部材6の材質も、特に限定されるわけではないが、ガラス原料と反応しない材質を選択することによって、ガラス微粒子の堆積効率や、得られるガラス母材の品質等を、より向上させることができるので、ガラス原料と反応しない材質、具体的には、テフロン(登録商標)、SiO2等が好ましい。
【0011】
転向部材6は、通常、ガラス原料とキャリアガスの混合ガスを導入する石英管の入口に、それと同軸に配置されるが、ガラス原料とキャリアガスの混合ガスが、上記螺旋状の気流となって石英管内に送り込まれる限り、どの場所に配置しても差し支えない。
【0012】
【実施例】
以下、実施例により、本発明の実施態様について具体的に説明するが、本発明は、実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した発明の範囲内で、種々の変形が可能である。
【0013】
(実施例)
長さ1,000mm、内径19 mmの石英管を用いて、図1に示したように、MCVD法により、石英管の内壁にガラス微粒子を堆積させて、光ファイバ母材の製造を行った。ガス供給装置からは、He3,000cc/分、O22,000 cc/分、SiCl4(25℃酸素キャリア)1,000 cc/分の混合ガスを石英管内に供給した。また、混合ガス流が20mmで1回転する、図1に示した構造の羽根部材を、ガス流入部に挿入し固定した。この羽根部材の材質には、テフロン(登録商標)を使用した。また、加熱装置である酸水素バーナーの移動速度を100mm/分、石英管の回転数を50rpmとした。
この条件で、ガラス微粒子の堆積を行ったところ、ガラス微粒子の堆積効率は56%であった。また、この時の混合ガスのレイノルズ数は696であった。
なお、ガラス微粒子の堆積効率の値は、堆積したクラッド外径より求めた付着量より算出した付着ガラス重量と流入させたガラス原料の重量比を計算し、混合ガスのレイノルズ数は、混合ガスの各成分ガスの粘度の平均値と平均密度、平均流速を用いて計算することによって求めた。
【0014】
(比較例1)
羽根部材を使用しなかった以外は、実施例と同様にして、ガラス微粒子の堆積を行ったところ、ガラス微粒子の堆積効率は52%であった。また、この時の混合ガスのレイノルズ数は221であった。
【0015】
(比較例2)
実施例で使用した羽根部材の代わりに、混合ガス流が10 mmで1回転する羽根部材を使用した以外は、実施例と同様にして、ガラス微粒子の堆積を行ったところ、混合ガスの気流が乱れ、ガラス微粒子の堆積効率は48%であった。また、この時の混合ガスのレイノルズ数は1,340であった。
【0016】
(評価)
上記結果から明らかなように、本発明に係る実施例では、ガラス微粒子の堆積効率が、比較例よりも優れていた。
【0017】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、石英管内壁へのガラス微粒子の堆積効率を高めて、光ファイバ母材(プリフォーム)を効率良く製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の光ファイバ母材製造装置の概略図である。
【図2】本発明の転向部材の一例を示す概略図である。
【図3】従来の光ファイバ母材製造装置の概略図である。
【符号の説明】
1…石英管 4…加熱装置
2…ガス流入部 5…混合ガス
3…ガス流出部 6…転向部材
Claims (5)
- 石英管、加熱装置、およびガラス原料とキャリアガスの混合ガスを該石英管内に供給するガス供給装置を有するMCVD法の光ファイバ母材製造装置において、ガラス原料とキャリアガスの混合ガスを、レイノルズ数1,000以下の層流である螺旋状の気流にすることができる転向部材を備えたことを特徴とする光ファイバ母材製造装置。
- 転向部材が、羽根部材である請求項1記載の光ファイバ母材製造装置。
- 転向部材が、ガラス原料と反応しない材質からなる請求項1又は2記載の光ファイバ母材製造装置。
- MCVD法において石英管内に送り込むガラス原料とキャリアガスの混合ガスを、レイノルズ数1,000以下の層流である螺旋状の気流にすることができる転向部材。
- ガラス原料とキャリアガスの混合ガスを、レイノルズ数1,000以下の層流である螺旋状の気流にして、石英管内に送り込むことを特徴とするMCVD法による光ファイバ母材の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002185718A JP2004026573A (ja) | 2002-06-26 | 2002-06-26 | 光ファイバ母材製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002185718A JP2004026573A (ja) | 2002-06-26 | 2002-06-26 | 光ファイバ母材製造装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004026573A true JP2004026573A (ja) | 2004-01-29 |
Family
ID=31181262
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002185718A Pending JP2004026573A (ja) | 2002-06-26 | 2002-06-26 | 光ファイバ母材製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004026573A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008280237A (ja) * | 2007-04-26 | 2008-11-20 | Draka Comteq Bv | 光プリフォームを製造するための装置および方法 |
-
2002
- 2002-06-26 JP JP2002185718A patent/JP2004026573A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008280237A (ja) * | 2007-04-26 | 2008-11-20 | Draka Comteq Bv | 光プリフォームを製造するための装置および方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4378985A (en) | Method and apparatus for forming an optical waveguide fiber | |
JPS593036A (ja) | 化学的気相軸付け法による光学プレフオ−ムの製造方法および装置 | |
JP2004026573A (ja) | 光ファイバ母材製造装置 | |
JP4498917B2 (ja) | ガラス棒状体の製造方法 | |
JP2004035365A (ja) | 多重管バーナおよびこれを用いたガラス体の製造方法 | |
WO2012008406A1 (ja) | ガラス微粒子堆積体製造方法およびガラス体製造方法 | |
WO2003070652A1 (fr) | Verre optique et procede de fabrication de celui-ci | |
JP4404767B2 (ja) | プラズマ補助堆積法を用いて合成石英ガラスからプリフォームを製造するための方法及び装置 | |
JP2007501182A (ja) | リングプラズマジェット式光ファイバプリフォーム製造方法及び装置 | |
CN1235821C (zh) | 用于制造光纤预制体的外部气相沉积装置和采用该装置制造光纤预制体的方法 | |
JPS5851892B2 (ja) | 光学的ガラス製品を製造するための方法および装置 | |
JP2012176861A (ja) | 多孔質ガラス微粒子堆積体の製造方法および製造装置 | |
JP5678467B2 (ja) | ガラス母材製造方法 | |
JP3576873B2 (ja) | 光ファイバ母材の製造方法 | |
JPH0669898B2 (ja) | 光ファイバ用多孔質母材合成用トーチ | |
JP2003212555A (ja) | 光ファイバ多孔質母材製造用バーナ装置およびこれを用いた光ファイバ多孔質母材の製造方法 | |
JP5778895B2 (ja) | ガラス母材製造方法 | |
US4328017A (en) | Method and apparatus for making optical fiber waveguides | |
JP2003238166A (ja) | ガラス微粒子堆積体の製造方法 | |
JP5204194B2 (ja) | 多孔性ガラス堆積法による微細構造のファイバプリフォームの形成 | |
JP4053305B2 (ja) | 光ファイバ用多孔質母材の製造方法 | |
JP2006021978A (ja) | ガラス体の加熱装置及びこれを用いた光ファイバ母材の製造方法 | |
JPS58167442A (ja) | 光フアイバ母材の製造方法 | |
JP5459241B2 (ja) | ガラス母材製造方法 | |
JPH10330129A (ja) | 光ファイバ用多孔質ガラス体の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20031210 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060524 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060529 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20061002 |