【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、洗浄装置に関する。さらに詳述すると、本発明は、機械部品等の被洗浄物を洗浄槽、乾燥槽を経て自動洗浄する装置の構造の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】
機械部品等のワークを加工、組立等する過程で自動洗浄するための装置として、アームで保持したワークを洗浄槽から乾燥槽へと移動させて洗浄・乾燥するようにした洗浄装置が利用されている。また、洗浄されたワークの清浄度を維持できるように、洗浄・乾燥作業エリアに清浄空気を供給してエリア内のクリーン度を保つようにした洗浄装置も利用されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、清浄装置における洗浄・乾燥作業エリアの全てをクリーンに保とうとすれば大型の清浄空気供給装置が必要となり装置全体の大型化を招く。また、かかる作業エリアの全てをクリーンに保つことは効率面で劣る。
【０００４】
そこで、本発明は、洗浄・乾燥作業エリア中にクリーンエリアを効率良く形成することができ、小型化しやすい洗浄装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
かかる目的を達成するため本件発明者は種々検討した。洗浄装置においては、洗浄槽や乾燥槽は水はね防止等のために隣り合う各槽がそれぞれ仕切られていることが一般的であるが、槽外のエリアは何ら仕切られておらず全領域がクリーンに保たれるような構造となっている。ところが、洗浄・乾燥後のワークをクリーンに保つという観点からすれば洗浄・乾燥作業エリアの全てがクリーンとされている必要はなく、少なくともある工程以降のエリアがクリーンとされていれば十分であることが知見された。
【０００６】
本願発明はかかる知見に基づくものであり、請求項１記載の発明は、被洗浄物を搬入する搬入装置と、被洗浄物を洗浄する洗浄槽と、洗浄後に被洗浄物を乾燥させる乾燥槽と、被洗浄物を乾燥槽から取り出し搬出する搬出装置と、搬入装置により搬入された被洗浄物を保持して洗浄槽及び乾燥槽内に移動させる洗浄用アームとを備えてなる洗浄装置において、搬入側エリアと搬出側エリアとの間に仕切り部材を設置しこれにより仕切られた搬出側のエリア内のクリーン度を維持するようにしたことを特徴としている。
【０００７】
洗浄・乾燥後の被洗浄物のクリーン度を保つ場合、洗浄前のエリアは必ずしもクリーンとされている必要はなく、少なくともある洗浄工程（あるいは乾燥工程）以降のエリアがクリーンとされていれば十分である。そこで本願発明においては、仕切り部材によって搬出側の所定のエリアを搬入側から仕切り、搬出側に局所的なクリーンエリアを形成するようにして、ある工程以降の被洗浄物をクリーンに保つようにしている。この場合、仕切り部材によって区切られたエリアのみをクリーンとすれば足りる。
【０００８】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の洗浄装置において、仕切り部材に洗浄用アームが通過可能な切り欠きを設けたことを特徴としている。例えば各槽が周状配置されたロータリー式の洗浄装置において仕切り部材により各槽をクリーンエリア側とそうでないエリア（以下、「一般環境エリア」という）側とに仕切ったような場合、各槽間で被洗浄物を移動させるための洗浄用アームは両エリア間を行き来する必要が生じるが、この洗浄装置によれば、洗浄用アームは切り欠きを通過して両エリア間を行き来することが可能である。また、クリーンエリアに供給された清浄空気はこの切り欠きを通過して一般環境エリア側に流れ込む。
【０００９】
請求項３記載の発明は、請求項１または２記載の洗浄装置において、フィルタを通過した清浄空気を供給する清浄空気供給装置を搬出側のクリーンエリアの上部に設け、このクリーンエリアが搬入側エリアより正圧である状態を維持することによりクリーンエリア内のクリーン度を保持するようにしたものである。この場合、塵埃がクリーンエリア内に侵入するのを防ぎやすくなる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の構成を図面に示す実施の形態の一例に基づいて詳細に説明する。
【００１１】
図１〜図５に、本発明の一実施形態を示す。本発明にかかる洗浄装置１０は、被洗浄物たる機械部品等（以下「ワーク」という）８を搬入する搬入装置１１と、ワーク８を洗浄する洗浄槽１〜４と、洗浄後にワーク８を乾燥させる乾燥槽５〜７と、ワーク８を乾燥槽５〜７から取り出し搬出する搬出装置１２と、搬入装置１１により搬入されたワーク８を保持して洗浄槽１〜４及び乾燥槽５〜７内に移動させる洗浄用アーム１３とを備えてなる装置である。本実施形態では、搬入装置１１と搬出装置１２との間に仕切り部材１４を設置し、これにより仕切られた搬出側のエリア（本明細書ではこのエリアを「クリーンエリア」といい、図中において符号ＣＡで示す）内のクリーン度を維持するようにしている。
【００１２】
本実施形態の洗浄装置１０は、例えば６個の槽が図１に示すように周状に等間隔配置されたロータリー式洗浄槽９を備えた装置で、その中心に配置された洗浄用アーム１３がワーク８を保持して各槽１〜６へ順に搬送するように設けられている。６個の槽をいかなる槽とするかはワーク８の種別や洗浄剤として有機溶媒を用いるかどうか等により変わってくるが、例えば本実施形態の場合は１番目の槽を洗浄槽（以下「洗浄槽１」とする）、２番目から４番目までの槽をすすぎを行う洗浄槽（以下「洗浄槽２」「洗浄槽３」「洗浄槽４」とする）、５番目と６番目の槽を水切りを行うエアー乾燥槽（以下「乾燥槽５」「乾燥槽６」とする）としている。また、ロータリー槽の近傍に最終乾燥槽としての真空乾燥槽（以下「乾燥槽７」とする）を設けている。
【００１３】
洗浄槽１は例えば水及び水系洗浄剤を使用した槽であり、その中に浸されたワーク８に付着した汚れを取り除いて洗浄する。水及び水系洗浄剤の代わりとして、準水系洗浄剤や非水系洗浄剤などが洗浄剤として用いられる場合もある。洗浄槽２は洗浄槽１で洗浄されたワーク８を粗すすぎする槽である。本実施形態の場合、図示するようにこれら２つの洗浄槽１，２と他の槽３〜６の間を通過するように仕切り部材１４を設け、洗浄槽１，２と他の槽３〜６とを仕切っている。また洗浄槽３は２次すすぎを行う槽、洗浄槽４は３次すすぎ（最終の仕上げすすぎ）を行う槽である。乾燥槽５，６はすすぎ後のワーク８に対しエアーを吹き付けて乾燥させる槽である。さらに乾燥槽７は、槽内を真空引きしてワーク８の最終乾燥を行う槽である。
【００１４】
搬入装置１１は洗浄槽１の手前まで搬送されたワーク８を洗浄用アーム１３に受け渡す装置で、例えば旋回可能かつ直線移動可能なアームでワーク８を保持し移動させるワーク搬入ロボットによって構成されている。本実施形態では、ワーク８をワーク搬送パレット１５によってワーク搬入口１６から一般環境エリア（図中では符号ＧＡで示す）内に運び込み、搬入装置１１でこのワーク８を洗浄槽１側に移動させるようにしている。本明細書では詳しくは説明しないが、ワーク搬送パレット１５は搬送レール１６上を自走しワーク８を搬送する台車であり、ワーク搬入口１７から一般環境エリア内に入る。
【００１５】
搬出装置１２は乾燥を終えたワーク８を受け取り搬出側のワーク搬送パレット１５に載せる装置であり、例えば搬入装置１１と同様、旋回可能かつ直線移動可能なアームでワーク８を保持し移動させるワーク搬入ロボットからなる。また、ワーク搬送パレット１５は搬入側の装置と同様、搬送レール１６上を自走しワーク８を搬送する台車からなり、ワーク搬出口１８を通過して洗浄装置１０の外部にワーク８を運び出す。
【００１６】
洗浄用アーム１３は搬入されたワーク８を保持して洗浄槽１〜４及び乾燥槽５〜７内を順次移動させるためのアームで、本実施形態の場合は図２に示すようにクランク形状の６本の洗浄用アーム１３がアーム支持軸１９に周状に等間隔配置されている。アーム支持軸１９は６つの槽１〜６の中心位置で回転可能かつ昇降可能な軸で、６本の洗浄用アーム１３を各槽１〜６内で同時に上げ下げし、回転して次槽に移動させる。各洗浄用アーム１３の先端部は、例えばワーク８を載せた状態で移動させることができるように二股形状とされ（図２参照）、あるいはワーク８の底面を支えるための保持治具が取り付けられるなどしている。本実施形態では各洗浄用アーム１３を２本１組としてアーム支持軸１９に取り付けることとしているが（図２参照）、各洗浄用アーム１３を個別にアーム支持軸１９に取り付ける構造としても構わない。
【００１７】
仕切り部材１４は例えば搬入装置１１と搬出装置１２との間に設けられた仕切り板からなり、少なくともクリーン度が保たれるべき搬出側の所定エリアを搬入側のエリア（一般環境エリア）から仕切って局所的なクリーンエリアを形成する。本実施形態の場合、洗浄槽３以降の工程をクリーン環境とするように、槽１，２側と槽３〜７側とを仕切り部材１４によって仕切り、搬出側に局所的クリーンエリアを設けている（図３参照）。ただしこの仕切り方は一例であって、例えば乾燥槽４等以降をクリーンエリアとしてもよく、いずれの領域をクリーンエリアとするかによって仕切り位置を適宜変更することができる。また図３などに示すように、仕切り部材１４は、アーム支持軸１９を避けつつ洗浄槽２と洗浄槽３の間および洗浄槽１と乾燥槽６の間を通過するように途中で適宜折り曲げられた形状となっている。
【００１８】
仕切り部材１４によって仕切られたクリーンエリアの上部にはフィルタ（図示省略）を通過した清浄空気を供給する清浄空気供給装置２０が設けられている（図４参照）。清浄空気供給装置２０は例えばＨＥＰＡ（Ｈｉｇｈ Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ Ａｉｒ）フィルタを通過した清浄空気をクリーンエリアに向けてダウンフローさせるファンモータユニットからなる。
【００１９】
また仕切り部材１４には、回転し昇降する洗浄用アーム１３が通過可能な切り欠き２１が設けられている。すなわち、槽１，２と槽３〜７とを仕切り部材１４で仕切った本実施形態の洗浄装置１においては、洗浄槽２から洗浄槽３へと移動する洗浄用アーム１３、および乾燥槽６から洗浄槽１へと戻る洗浄用アーム１３が仕切り部材１４を通過できるように切り欠き２１を設けるようにしている。この切り欠き２１の形状や大きさは特に限定されるものではないが、クリーンエリア内のクリーン度を保つ観点からすれば切り欠き面積が小さいことが好ましい。こうした場合、クリーンエリア側から一般環境エリア側への連通域が抑えられることによって流れ込む空気量を抑えられ、これによってクリーンエリア内を正圧（陽圧）に保持しやすくなることから塵埃などがクリーンエリア内に侵入するのを防ぎやすくなる。本実施形態では、図５に示すように、回転したときの洗浄用アーム１３が通過可能な左右対称のクランク形状の切り欠き２１ａと、洗浄槽１，２内にワーク８を降下させるときの洗浄用アーム１３が通過可能な縦溝形状の切り欠き２１ｂとで切り欠き２１を構成している。
【００２０】
以上説明したように、本実施形態の洗浄装置１０によれば、仕切り部材１４が洗浄・乾燥作業エリアを一般環境エリアとクリーンエリアとに区切り、クリーンエリア内に塵埃等が入り込むのを防止する防護壁として機能する。このため、局所的なクリーンエリア内をクリーンにして洗浄・乾燥後のワーク８をクリーンに保つことができる。また、洗浄用アーム１３が通過する部分のみ切り欠き２１が設けられていることから、この切り欠き２１を通じて排気しクリーンエリアを正圧に保持することができる。
【００２１】
なお、上述の実施形態は本発明の好適な実施の一例ではあるがこれに限定されるものではなく本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々変形実施可能である。例えば本実施形態ではロータリー式洗浄槽９を備えた洗浄装置１０に仕切り部材１４を設けた形態について示したがこれは一例に過ぎず、本発明の適用が可能な洗浄装置１０はこのようなロータリー式洗浄装置に限らない。
【００２２】
【発明の効果】
以上の説明より明らかなように、請求項１記載の洗浄装置によると、仕切り部材によって仕切られたクリーンエリア内のクリーン度を保つことによって洗浄・乾燥後のワークをクリーンのまま搬出することができる。この場合、局所的エリア内のみクリーンとすれば足り、洗浄・乾燥作業エリアの全てをクリーンに保つ必要がないのでクリーン環境を形成する際の効率を向上させることができる。また、清浄空気供給装置が大型のものでなくても済むことから装置全体の小型化を達成しやすくなる。
【００２３】
請求項２記載の洗浄装置によると、仕切り部材に洗浄用アームが通過可能な切り欠きを設けたことから、この切り欠きを通過するようにして洗浄用アームを両エリア間で行き来させることが可能となる。また、クリーンエリアに供給された清浄空気をこの切り欠きを通して一般環境エリア側に排気することで、クリーンエリア内に塵埃等が入り込むのを防止することができる。
【００２４】
請求項３記載の洗浄装置によると、清浄空気供給装置を搬出側クリーンエリアの上部に設け、このクリーンエリアが搬入側エリアより正圧である状態を維持することによりクリーンエリア内のクリーン度を保持することができる。この場合、塵埃がクリーンエリア内に侵入するのを防ぎやすい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態を示す洗浄装置の概略平面図である。
【図２】洗浄用アームとアーム支持軸、およびロータリー式洗浄槽の構造の一例を示す斜視図である。
【図３】仕切り部材によって仕切られたクリーンエリアを解りやすく示す平面図である。
【図４】仕切り部材の形状例と清浄空気供給装置の設置例とを示す斜視図である。
【図５】一般環境エリア側からみた切り欠きの形状例を示す図である。
【符号の説明】
１〜４ 洗浄槽
５〜７ 乾燥槽
８ ワーク（被洗浄物）
１０ 洗浄装置
１１ 搬入装置
１２ 搬出装置
１３ 洗浄用アーム
１４ 仕切り部材
２０ 清浄空気供給装置
２１ 切り欠き[0001]
TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION
The present invention relates to a cleaning device. More specifically, the present invention relates to an improvement in the structure of an apparatus for automatically cleaning an object to be cleaned such as a mechanical part through a cleaning tank and a drying tank.
[0002]
[Prior art]
As a device for automatic cleaning in the process of processing and assembling a work such as a mechanical part, a cleaning device that moves and holds a work held by an arm from a cleaning tank to a drying tank and performs cleaning and drying is used. I have. Further, in order to maintain the cleanliness of the cleaned work, a cleaning device that supplies clean air to a cleaning / drying work area to maintain the cleanness in the area is also used.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
However, if all of the cleaning and drying work areas in the cleaning device are to be kept clean, a large-sized clean air supply device is required, resulting in an increase in the size of the entire device. Also, keeping all such work areas clean is inefficient.
[0004]
Therefore, an object of the present invention is to provide a cleaning device that can efficiently form a clean area in a cleaning / drying work area and that can be easily reduced in size.
[0005]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve such an object, the present inventors have studied variously. In cleaning equipment, the cleaning tank and drying tank are generally separated from each other in order to prevent splashing, but the area outside the tank is not partitioned at all, Is kept clean. However, from the viewpoint of keeping the work after washing and drying clean, it is not necessary that the entire washing and drying work area be clean, and it is sufficient if at least the area after a certain process is clean. It was found that
[0006]
The invention of the present application is based on such knowledge, and the invention according to claim 1 includes a carrying-in device for carrying in an object to be cleaned, a cleaning tank for cleaning the object to be cleaned, and a drying tank for drying the object to be cleaned after cleaning. , A carry-out device for taking out the object to be cleaned from the drying tank and carrying out the same, and a cleaning arm that holds the object to be cleaned carried in by the carry-in device and moves the cleaning object into the cleaning tank and the drying tank. It is characterized in that a partition member is provided between the side area and the carry-out side area, thereby maintaining the cleanliness in the partitioned-out area on the carry-out side.
[0007]
In order to maintain the cleanness of the object to be cleaned after cleaning and drying, the area before cleaning does not necessarily have to be clean, and it is sufficient if at least the area after a certain cleaning step (or drying step) is clean. It is. Therefore, in the present invention, a predetermined area on the carry-out side is partitioned from the carry-in side by the partition member, so that a local clean area is formed on the carry-out side, and the object to be cleaned after a certain process is kept clean. I have. In this case, it is sufficient that only the area partitioned by the partition member is clean.
[0008]
According to a second aspect of the present invention, in the cleaning apparatus according to the first aspect, a notch through which a cleaning arm can pass is provided in the partition member. For example, in a rotary type washing apparatus in which each tank is arranged circumferentially, when each tank is partitioned into a clean area side and a non-clean area side (hereinafter, referred to as a “general environment area”) side by a partition member, It is necessary to move the cleaning arm for moving the object to be cleaned between the two areas, but according to this cleaning device, the cleaning arm can move between the two areas through the notch. It is. The clean air supplied to the clean area passes through the notch and flows into the general environment area.
[0009]
According to a third aspect of the present invention, in the cleaning device according to the first or second aspect, a clean air supply device for supplying clean air that has passed through the filter is provided above the clean area on the carry-out side, and the clean area is a carry-in area. By maintaining a more positive pressure state, the degree of cleanness in the clean area is maintained. In this case, it is easy to prevent dust from entering the clean area.
[0010]
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION
Hereinafter, the configuration of the present invention will be described in detail based on an example of an embodiment shown in the drawings.
[0011]
1 to 5 show one embodiment of the present invention. The cleaning device 10 according to the present invention includes a carry-in device 11 for carrying a mechanical part or the like (hereinafter, referred to as a “work”) 8 as an object to be cleaned, cleaning tanks 1 to 4 for cleaning the work 8, and drying the work 8 after the cleaning. Drying tanks 5 to 7 to be carried out, a carry-out device 12 for taking out and carrying out the work 8 from the drying tanks 5 to 7, a cleaning tank 1 to 4 holding the work 8 carried in by the carry-in device 11, and And a cleaning arm 13 for moving the cleaning arm 13. In the present embodiment, a partition member 14 is installed between the carry-in device 11 and the carry-out device 12, and the area on the carry-out side partitioned by this (this area is referred to as a "clean area" in the present specification; (Indicated by reference numeral CA).
[0012]
The cleaning apparatus 10 of the present embodiment is an apparatus provided with a rotary cleaning tank 9 in which six tanks are arranged at equal intervals around the circumference as shown in FIG. Are provided so as to hold the work 8 and transport it to the tanks 1 to 6 in order. The type of the six tanks depends on the type of the work 8 and whether or not an organic solvent is used as a cleaning agent. For example, in the case of the present embodiment, the first tank is a cleaning tank (hereinafter referred to as “cleaning tank”). Washing tanks for rinsing the second to fourth tanks (hereinafter referred to as “washing tank 2”, “washing tank 3” and “washing tank 4”), and the fifth and sixth tanks An air drying tank (hereinafter referred to as “drying tank 5” and “drying tank 6”) for draining water is used. In addition, a vacuum drying tank (hereinafter, referred to as “drying tank 7”) as a final drying tank is provided near the rotary tank.
[0013]
The cleaning tank 1 is a tank using, for example, water and a water-based cleaning agent, and removes dirt attached to the work 8 immersed therein to perform cleaning. A quasi-aqueous detergent or a non-aqueous detergent may be used as a detergent instead of water and an aqueous detergent. The cleaning tank 2 is a tank for roughly rinsing the work 8 cleaned in the cleaning tank 1. In the case of the present embodiment, a partition member 14 is provided so as to pass between these two cleaning tanks 1 and 2 and the other tanks 3 to 6 as shown in the figure, and the cleaning tanks 1 and 2 and the other tanks 3 to 6 are provided. And partition. The cleaning tank 3 is a tank for performing secondary rinsing, and the cleaning tank 4 is a tank for performing tertiary rinsing (final rinsing). The drying tanks 5 and 6 are tanks for drying the work 8 after rinsing by blowing air. Further, the drying tank 7 is a tank for performing final drying of the work 8 by evacuating the inside of the tank.
[0014]
The carry-in device 11 is a device that transfers the work 8 conveyed to the position just before the cleaning tank 1 to the cleaning arm 13, and is configured by, for example, a work carry-in robot that holds and moves the work 8 with a pivotable and linearly movable arm. I have. In the present embodiment, the work 8 is carried by the work transfer pallet 15 from the work carry-in entrance 16 into a general environment area (indicated by GA in the drawing), and the carry-in device 11 moves the work 8 to the cleaning tank 1 side. I have to. Although not described in detail in the present specification, the work transport pallet 15 is a carriage that travels on the transport rail 16 and transports the work 8, and enters the general environment area from the work entrance 17.
[0015]
The unloading device 12 is a device that receives the dried work 8 and places it on the work transfer pallet 15 on the unloading side. For example, similarly to the loading device 11, a work transfer that holds and moves the work 8 with a pivotable and linearly movable arm. Consists of robots. Further, the work transport pallet 15 is composed of a carriage that travels on the transport rail 16 and transports the work 8 similarly to the apparatus on the loading side, and carries the work 8 to the outside of the cleaning device 10 through the work outlet 18.
[0016]
The cleaning arm 13 is an arm for holding the loaded work 8 and sequentially moving it in the cleaning tanks 1 to 4 and the drying tanks 5 to 7. In the case of the present embodiment, as shown in FIG. Six cleaning arms 13 are circumferentially arranged on the arm support shaft 19 at equal intervals. The arm supporting shaft 19 is a rotatable and vertically movable shaft at the center position of the six tanks 1 to 6, and simultaneously raises and lowers the six cleaning arms 13 in each of the tanks 1 to 6, rotates and moves to the next tank. Let it. The distal end of each cleaning arm 13 has a forked shape (see FIG. 2) so that it can be moved with the work 8 placed thereon, or a holding jig for supporting the bottom surface of the work 8 is attached. And so on. In the present embodiment, each cleaning arm 13 is attached to the arm support shaft 19 as a set of two (see FIG. 2), but each cleaning arm 13 may be individually attached to the arm support shaft 19. .
[0017]
The partition member 14 is composed of, for example, a partition plate provided between the carry-in device 11 and the carry-out device 12, and separates a predetermined area on the carry-out side where at least cleanness is to be maintained from a carry-in side area (general environment area). Form a local clean area. In the case of the present embodiment, the tanks 1 and 2 and the tanks 3 to 7 are partitioned by the partition member 14 so that a local clean area is provided on the unloading side so that the processes after the cleaning tank 3 are set as a clean environment. (See FIG. 3). However, this partitioning method is merely an example. For example, the area after the drying tank 4 or the like may be used as a clean area, and the partition position can be appropriately changed depending on which area is used as the clean area. Further, as shown in FIG. 3 and the like, the partition member 14 is appropriately bent halfway so as to pass between the cleaning tank 2 and the cleaning tank 3 and between the cleaning tank 1 and the drying tank 6 while avoiding the arm support shaft 19. Shape.
[0018]
Above the clean area partitioned by the partition member 14, a clean air supply device 20 that supplies clean air that has passed through a filter (not shown) is provided (see FIG. 4). The clean air supply device 20 includes, for example, a fan motor unit that downflows clean air that has passed through a HEPA (High Efficiency Particulate Air) filter toward a clean area.
[0019]
Further, the partition member 14 is provided with a notch 21 through which the cleaning arm 13 that rotates and moves up and down can pass. That is, in the cleaning apparatus 1 of the present embodiment in which the tanks 1 and 2 and the tanks 3 to 7 are partitioned by the partition member 14, the cleaning arm 13 that moves from the cleaning tank 2 to the cleaning tank 3, and the drying tank 6 A notch 21 is provided so that the cleaning arm 13 returning to the cleaning tank 1 can pass through the partition member 14. The shape and size of the notch 21 are not particularly limited, but it is preferable that the notch area be small from the viewpoint of maintaining the cleanness in the clean area. In such a case, the communication area from the clean area side to the general environment area side is suppressed, so that the amount of air flowing in is suppressed, and this makes it easier to maintain the clean area at a positive pressure (positive pressure). It becomes easier to prevent intrusion into the area. In the present embodiment, as shown in FIG. 5, a symmetrical crank-shaped notch 21 a through which the cleaning arm 13 can pass when rotated, and cleaning for lowering the work 8 into the cleaning tanks 1 and 2. The notch 21 is constituted by a notch 21b having a vertical groove shape through which the arm 13 can pass.
[0020]
As described above, according to the cleaning device 10 of the present embodiment, the partition member 14 divides the cleaning / drying work area into the general environment area and the clean area, and prevents the dust and the like from entering the clean area. Functions as a wall. Therefore, the work 8 after cleaning and drying can be kept clean by cleaning the local clean area. Further, since the notch 21 is provided only in the portion where the cleaning arm 13 passes, exhaust can be performed through the notch 21 and the clean area can be maintained at a positive pressure.
[0021]
The above embodiment is an example of a preferred embodiment of the present invention, but the present invention is not limited to this, and various modifications can be made without departing from the gist of the present invention. For example, in the present embodiment, the form in which the partition member 14 is provided in the cleaning apparatus 10 including the rotary cleaning tank 9 is shown, but this is merely an example, and the cleaning apparatus 10 to which the present invention can be applied is such a rotary apparatus. It is not limited to the type cleaning device.
[0022]
【The invention's effect】
As is clear from the above description, according to the cleaning device of the first aspect, the work after cleaning and drying can be carried out in a clean state by maintaining the cleanness in the clean area partitioned by the partition member. . In this case, it is sufficient to clean only the local area, and it is not necessary to keep the entire cleaning and drying work area clean, so that the efficiency in forming a clean environment can be improved. Further, since the clean air supply device does not need to be large, it is easy to reduce the size of the entire device.
[0023]
According to the second aspect of the present invention, since the partition member has the notch through which the cleaning arm can pass, the cleaning arm can be moved between the two areas so as to pass through the notch. It becomes. By exhausting the clean air supplied to the clean area to the general environment area side through the notch, it is possible to prevent dust and the like from entering the clean area.
[0024]
According to the third aspect of the present invention, the clean air supply device is provided above the carry-out side clean area, and the clean area is maintained at a positive pressure from the carry-in side area, thereby maintaining the cleanness in the clean area. can do. In this case, it is easy to prevent dust from entering the clean area.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic plan view of a cleaning apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a perspective view showing an example of the structure of a cleaning arm, an arm support shaft, and a rotary cleaning tank.
FIG. 3 is a plan view showing a clean area partitioned by a partition member in an easily understandable manner.
FIG. 4 is a perspective view showing an example of the shape of a partition member and an example of installation of a clean air supply device.
FIG. 5 is a diagram illustrating an example of a shape of a notch as viewed from a general environment area side.
[Explanation of symbols]
1-4 Washing tank 5-7 Drying tank 8 Work (object to be cleaned)
Reference Signs List 10 Cleaning device 11 Carry-in device 12 Carry-out device 13 Cleaning arm 14 Partition member 20 Clean air supply device 21 Notch
