JP2004007847A - 薄膜バルク波共振子フィルタ - Google Patents
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Abstract
【課題】小型で製造の容易な薄膜バルク波共振子フィルタを実現する。
【解決手段】はしご型の薄膜バルク波共振子フィルタは、それぞれ下部電極25と上部電極24,27とこれらに挟まれた圧電層とを有する薄膜バルク波共振子(FBAR)よりなる2つの直列FBAR10および2つの並列FBAR11を備えている。2つの直列FBAR10の各上部電極24は、コプレーナ導波路構造の伝送線路における信号線路の一部をなしている。2つの直列FBAR10の各上部電極24は、関連回路に接続される。また、上部電極24によって関連回路に接続される2つの直列FBAR10は、共通の下部電極25を有している。
【選択図】図4−A
【解決手段】はしご型の薄膜バルク波共振子フィルタは、それぞれ下部電極25と上部電極24,27とこれらに挟まれた圧電層とを有する薄膜バルク波共振子(FBAR)よりなる2つの直列FBAR10および2つの並列FBAR11を備えている。2つの直列FBAR10の各上部電極24は、コプレーナ導波路構造の伝送線路における信号線路の一部をなしている。2つの直列FBAR10の各上部電極24は、関連回路に接続される。また、上部電極24によって関連回路に接続される2つの直列FBAR10は、共通の下部電極25を有している。
【選択図】図4−A
Description
本発明は、薄膜バルク波共振子(FBAR)フィルタであって、その中でも特に薄膜技術を用いて簡単に製造できる、マイクロ波周波数で動作するFBARフィルタに関する。
MHzやGHz域の高い周波数でフィルタを用意することは重要である。というのは、今日、これらの周波数域が無線通信に頻繁に使用されているからである。かかる用途のためには、フィルタのサイズは可能な限り小さいことが重要である。したがって、基板表面上のフィルタのサイズを極力小さくできるフィルタ構成が望まれている。
FBARは、高い周波数、特にMHzおよびGHz域において共振ピークを示すため、魅力的なデバイスである。さらに、FBARは小型デバイスにすることも可能である(〜100ミクロンサイズ)。したがって、FBARは携帯電話などの小型かつ軽量で薄い電気製品に実装するのにも有用であると考えられる。
FBARは、典型的には酸化亜鉛(ZnO)、窒化アルミニウム(AlN)またはチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)といった薄膜圧電層を、半導体基板上に形成された薄膜や四分の一波長音響スタックの上に堆積することにより作製される。この組合せは、特定の周波数において共振する音響構造を形成する。
従来のFBARデバイスは、接触パッドおよびワイヤボンドによって関連回路に連結されている。この方法では、金属導線の寄生インダクタンスのせいで接地接続が不充分になる。また、この手法ではシミュレーションおよび結果の分析が困難になる。
コプレーナ導波路(CPW)構造内にFBARを組み込むという代替方法では、接地−信号−接地接続部において、圧電層の上部と下部に接触する信号接続部が必要になる。公知の配置では、電極は伝送線路構造から分離されている。そのため面積が大きくなって、製造できるデバイスのサイズが制限されることになる。
本発明の目的は、小型で製造の容易な薄膜バルク波共振子フィルタを提供することにある。
本発明の第1の薄膜バルク波共振子フィルタは、それぞれ下部電極と上部電極とこれらに挟まれた圧電層とを有する複数の薄膜バルク波共振子を備え、少なくとも2つの薄膜バルク波共振子の各上部電極が関連回路に接続されるものである。
本発明の第1の薄膜バルク波共振子フィルタにおいて、関連回路に接続される少なくとも2つの上部電極は、コプレーナ導波路構造の伝送線路の一部をなしていてもよい。
また、本発明の第1の薄膜バルク波共振子フィルタにおいて、上部電極によって関連回路に接続される少なくとも2つの薄膜バルク波共振子は、共通の下部電極を有していてもよい。
本発明の第2の薄膜バルク波共振子フィルタは、それぞれ下部電極と上部電極とこれらに挟まれた圧電層とを有する薄膜バルク波共振子よりなる少なくとも2つの直列共振子および少なくとも2つの並列共振子を備えたはしご型の薄膜バルク波共振子フィルタであって、2つの直列共振子の各上部電極が関連回路に接続されるものである。
本発明の第2の薄膜バルク波共振子フィルタにおいて、関連回路に接続される2つの上部電極は、コプレーナ導波路構造の伝送線路における信号線路の一部をなしていてもよい。
本発明の第2の薄膜バルク波共振子フィルタにおいて、上部電極によって関連回路に接続される2つの直列共振子は、共通の下部電極を有していてもよい。
フィルタをCPW構造として構成することにより、浮遊寄生効果に影響されない小型フィルタが得られる。さらに、コプレーナ伝送線路構造内にフィルタを組み込むことにより、ワイヤボンドが不要となって、その結果、製造が簡単になる。
フィルタは、直列FBARが一つのグループを形成し、並列FBARが他のグループを形成しているはしご型フィルタが好ましい。はしご型フィルタ構成の利点は、余分な面積を占める追加の受動キャパシタンスやインダクタを必要としないことである。一般的に、バンドパスフィルタの場合、フィルタ内で使用するFBARが多いほど、信号通過域と比較した減衰レベルが改善する。本発明によれば、小型であり低位の帯域端減衰極(クローズインリジェクション)および低位の帯域外減衰(アウトオブバンドリジェクション)を示す、複数のFBARからなるフィルタが提供される。
典型的には、直列FBARと並列FBARとでは面積と厚みの両方が異なっていてもよいが、直列FBARは同一の面積と厚みを有し、並列FBARも同様に同一の面積と厚みを有する。同一の直列FBARを“A”型FBARと称し、同一の並列FBARを“B”型FBARと称する。
直列FBARと並列FBARは、ABABという順序で、もしくはABBAという順序で配列し得る。CPW構造内においてABAB構成はABBA構成に比べてより大きな領域を占めるため、ABBA構成を採用すれば、デバイス領域を充分に利用することが可能になる。
また、CPW内のABBA構成は、薄膜技術を用いた小型フィルタの製造を簡素化するのにも適しており、圧電層をパターニングせずにより高次のフィルタを容易に製造することをも可能にする。
FBARは、圧電層の縁端部上にエアブリッジや金属線路を形成せずに配置してもよい。
圧電層の圧電材料は、酸化亜鉛、窒化アルミニウム、チタン酸ジルコン酸鉛、スカンジウムタンタル酸鉛およびチタン酸ビスマスナトリウムから選択するのが好都合である。
強誘電性の圧電層の場合には、圧電層を分極処理するための電極への接続路が提供されるのが好ましい。
本発明において、各直列FBARの上部電極がコプレーナ導波路構造の信号線路の一部をなし、各並列FBARの上部電極がコプレーナ導波路構造の接地線路の一部をなすようにしてもよい。信号線路は、2つの接地線路の間に配置されるのが好ましい。
本発明によれば、小型で製造の容易な薄膜バルク波共振子フィルタを実現することができる。
これより添付の図面を参照しながら、専ら一例として、本発明の実施の形態をより詳細に説明する。
まず図1(A)および(B)を参照すると、標準的なFBARの上面図および断面図が示されている。FBARはコプレーナ伝送線路における接地−信号−接地線路の信号線路上に配置されている。
このデバイスは2ポート測定用に構成されており、接地プローブは接地電極27のいずれかの端部に配置でき、一方の信号プローブはコンタクトホール26を通して下部電極25上に配置でき、もう一方の信号プローブは上部電極24の端部に配置できるようになっている。
コプレーナ伝送線路の寸法は、このシステムに50オームの環境を与えるように設計されるが、FBARおよびFBARフィルタの全体のサイズを最小化しつつ、様々な面積のFBARを収容するため、接地線路と信号線路との間の距離の変更が許されるよう、設計上充分な柔軟性を有している。
FBARは、絶縁層22上に堆積された連続的な圧電層23からなっている。FBARの下部電極25を形成する入力電極は、絶縁層22上に形成されており、コプレーナ伝送線路の信号線路の一部として構成されている。
絶縁層22上に規定される信号線路と圧電層23の上部に規定される信号線路部分との重複領域が、基板20における開口部28の上方に位置している。この開口部28は、背面パターン21を用いてエッチングにより作製される。
出力伝送線路は、測定点もしくははしご型構成内に配列されたその他のFBARまで延在する。連続した圧電薄膜を用いているので、この圧電薄膜の堆積の前後において入力電極と出力電極を規定しなければならない。上部電極24を作製する際には、上部電極24が特性インピーダンスを約50オームに設定されたコプレーナ導波路構造を有するよう、2つの接地電極27を同時に作製する。
測定のためのFBARの下部電極25への接続は、コンタクトホール26をエッチングすることにより達成される。上部電極24と下部電極25の中央部分に相当する作用領域の大きさは、通常、ZnOの場合は50〜200ミクロン角、PZTの場合は20〜45ミクロン角である。
図2および図3は、はしご型フィルタを形成する直列および並列FBARの配列を2種類示した概略図である。各フィルタは、直列に配列された2つのFBARと、並列に配列された2つのFBARを備えている。このようなフィルタは2×2はしご型フィルタという共通の名称で称され、ここで最初の数字は直列共振子の数を指し、二番目の数字は並列共振子の数を指す。ここでは便宜上、直列共振子をAで表し、並列共振子をBで表すこととする。直列共振子Aは、並列共振子Bとは面積と厚みが異なることも大いにありうる。直列共振子Aは全て同一であり、並列共振子Bも全て同一である。
図2および図3におけるFBARの配列は、接地順序において異なる。ここで、図2の配列をABABと称し、図3の配列をABBAと称する。これらの用語は直列共振子と並列共振子の順序を表すものである。
図3に示されるABBAコプレーナ構成の2×2フィルタの実現例を、圧電層23がZnOからなる場合に適した寸法で図4−A〜図4−Dに示し、図2に示されるABABコプレーナ構成の2×2フィルタの実現例を図5−A〜図5−Dに示す。
いずれの例においても、上部電極24,27は、コプレーナ導波路構造の伝送線路の一部をなしている。上部電極24,27は、関連回路に接続される。上部電極24,27によって関連回路に接続されるFBAR10,11は、共通の下部電極25を有している。また、いずれの例においても、2つの直列FBAR10の各上部電極24は、コプレーナ導波路構造の伝送線路における信号線路の一部をなしている。信号線路は、2つの接地電極27の間に配置されている。2つの直列FBAR10の各上部電極24は、関連回路に接続される。また、上部電極24によって関連回路に接続される2つの直列FBAR10は、共通の下部電極25を有している。
直列FBAR10および並列FBAR11は単一の膜構造上に配置されている。本発明によれば、工程が非常に簡素化され、ZnOからなる圧電層23をエッチングによりパターニングする必要がなくなる。コプレーナ伝送線路内においてABBA構成の場合もABAB構成の場合も、その2×2フィルタを構成する4つ全部のFBARに対し、一つの層によって下部電極25が形成される。
CPW内でABBA構成のフィルタを用いると、例えばABBABBA(3/4)やABBABBAA(4/4)といったように、並列FBARの数が直列FBARの数以上となる、ある次数のはしご型フィルタをCPW内に形成することがより容易になる。
単純なCPW内におけるABAB構成のフィルタの場合には、エッチングにより圧電メサを形成しないことには、ABABAB(3/3)のように直列FBARと並列FBARが同数のフィルタを作製することは困難である。一つのFBARにおいて、次のFBARの下部電極を形成できるように上部電極の金属パターンを圧電材料側にまで伸ばすには、メサが必要である。圧電材料をエッチングせずに作製できるのは、ABAAB(3/2)のように並列FBARの数が直列FBARよりも少ないフィルタだけである。
ABBA構造は、他の導波路構成、例えばマイクロストリップなどにおいても使用できるが、ABAB構成で使用するよりもフィルタの占める面積が大きくなる。マイクロストリップ内のABBAフィルタの場合、圧電材料上の上部電極を次のFBARの下部電極に接続できるようにする電極の伝送構成のためには、圧電メサをエッチングしたり、エアブリッジ技術を用いたりすることが必要になる。
図4−Aに示されるABBA構成に配列された4つのFBARを包含するフィルタにおける上部表面の作製順序を説明する。まず、下部電極25のメタライズパターンを従来の作製技術によって規定する。そして圧電層23を全面に堆積させる。
そして、従来技術にしたがい、直列FBARと並列FBARにそれぞれ異なる金属の厚み、およびそれによって異なる周波数を要求するかどうかに応じて、上部電極24の1つあるいは2つのメタライズパターンを堆積することにより、フィルタを完成する。
作製の最終工程は、当業者に周知のバルクシリコンエッチングあるいは深い反応性エッチングといった技術により、絶縁層22の下に開口部28を形成することである。
図5−Aに示されるABABフィルタの作製工程は、層の作製順序が異なるがABBA構成の場合と同様である。
ABAB構成およびABBA構成の、ZnOを用いた2×2FBARフィルタの透過係数(S21)を図6−A,図6−Bで比較している。これらフィルタは挿入損失が同じで、帯域外減衰にほとんど差異はない。ABAB構成のほうが、ABBA構成よりも帯域端減衰極が深く、ロールオフが急峻で、帯域幅がわずかに広い。ABBA構造は、通過帯域がより平坦になりうる。
強誘電性でもあり、従って分極処理が必要な圧電層23を用いた、本発明の2×2はしご型フィルタの更なる実施形態を図7−A〜図7−Dに示す。その作製手順は、共通の下部電極25にコンタクトホール26を形成することを除き、上述したZnOによるFBARフィルタの作製手順と同じである。このコンタクトホール26を使えば、ABBA構成において分極処理を行う際、共通の下部電極25への接続が可能になり、一つのフィルタ上で多数の下部電極を接続することが不要になる。ABAB構成の場合は、分極処理のための追加のコンタクトホールが必要となる。
10…直列FBAR、11…並列FBAR、24…上部電極、25…下部電極、27…接地電極。
Claims (6)
- それぞれ下部電極と上部電極とこれらに挟まれた圧電層とを有する複数の薄膜バルク波共振子を備え、少なくとも2つの薄膜バルク波共振子の各上部電極が関連回路に接続されることを特徴とする薄膜バルク波共振子フィルタ。
- 関連回路に接続される少なくとも2つの上部電極は、コプレーナ導波路構造の伝送線路の一部をなしていることを特徴とする請求項1記載の薄膜バルク波共振子フィルタ。
- 上部電極によって関連回路に接続される少なくとも2つの薄膜バルク波共振子は、共通の下部電極を有していることを特徴とする請求項1または2記載の薄膜バルク波共振子フィルタ。
- それぞれ下部電極と上部電極とこれらに挟まれた圧電層とを有する薄膜バルク波共振子よりなる少なくとも2つの直列共振子および少なくとも2つの並列共振子を備えたはしご型の薄膜バルク波共振子フィルタであって、
2つの直列共振子の各上部電極が関連回路に接続されることを特徴とする薄膜バルク波共振子フィルタ。 - 関連回路に接続される2つの上部電極は、コプレーナ導波路構造の伝送線路における信号線路の一部をなしていることを特徴とする請求項4記載の薄膜バルク波共振子フィルタ。
- 上部電極によって関連回路に接続される2つの直列共振子は、共通の下部電極を有していることを特徴とする請求項4または5記載の薄膜バルク波共振子フィルタ。
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