JP2004004677A - 顕微鏡ステージおよびこの顕微鏡ステージを搭載した顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
【課題】観察試料に関係なく片ボケを生じにくい安定した観察像を得られるとともに、光軸方向のスペースを抑えたコンパクトな形状を有し、観察試料の任意の位置を回転中心付近に簡単に移動可能にした顕微鏡ステージおよびこの顕微鏡ステージを搭載した顕微鏡を提供すること。
【解決手段】対物レンズの光軸に対して直交する平面内で位置調整可能な基板302と、観察試料が載置され、且つ前記基板上で2次元方向に移動可能に設けられた上板307と、前記基板と上板の間に設けられ、前記上板の移動を、前記対物レンズの光軸に対して直交する平面上の2つの方向に規制する移動規制部材308とを備えた。
【選択図】 図1
【解決手段】対物レンズの光軸に対して直交する平面内で位置調整可能な基板302と、観察試料が載置され、且つ前記基板上で2次元方向に移動可能に設けられた上板307と、前記基板と上板の間に設けられ、前記上板の移動を、前記対物レンズの光軸に対して直交する平面上の2つの方向に規制する移動規制部材308とを備えた。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、観察試料を載置する顕微鏡ステージおよびこの顕微鏡ステージを搭載した顕微鏡に関する。
【0002】
【従来の技術】
例えば、偏光顕微鏡や倒立顕微鏡等の光学顕微鏡を用いて金属組織標本、鉱物標本および生物標本などの試料を観察する場合において、これらの観察試料を載置するための顕微鏡ステージとして、観察試料の向きの違いによる偏光特性を調べたり、画像記録装置に対する試料の向きを変えて好みのフレーミングを行ったりするために、いわゆる回転ステージが用いられることがある。
【0003】
このような回転ステージには、ステージを回転したとたんに視野から観察試料が見えなくなってしまうのを防ぐために、次のような機能が要求される。まず、その回転中心を顕微鏡の対物レンズ光軸に合致させて、現在見ている視野の中心を回転中心にした状態(予め合致するように構成されているものもある)とする。そして、次に、観察試料の観察したい任意の位置を回転中心付近に移動させる。
【0004】
特許文献1には、偏光顕微鏡の試料位置調整に用いられる顕微鏡ステージにおいて、円周部付近に角度表示目盛が付され自在に回転可能な円板状ステージの上に互いに直交するスライドグラス保持具とスライドグラス押さえを配置し、これらによって、スライドグラス上の試料を顕微鏡の視野内に入るように移動調節できることが記載されている。
【0005】
また、特許文献2には、XY軸可動ステージの回動および傾斜を可能にした顕微鏡のステージにおいて、基台上に回動可能な回転テーブルを設け、この回転テーブルの上に、上方への突出量を調整可能な3つの支持ピン部材を介してXY軸可動ステージを支持する構造とすることにより、XY軸可動ステージの回動および傾斜を調整できることが記載されている。
【0006】
【特許文献1】特開昭60−88919号公報
【0007】
【特許文献2】特開平7−56093号公報
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、観察試料に関係なく片ボケを生じにくい安定した観察像を得ることができるとともに、光軸方向のスペースを抑えたコンパクトな形状を有し、観察試料の任意の位置を回転中心付近に簡単に移動可能にした顕微鏡ステージおよびこの顕微鏡ステージを搭載した顕微鏡を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明の1局面に係る顕微鏡ステージは、対物レンズの光軸に対して直交する平面内で位置調整可能な基板と、観察試料が載置され、且つ前記基板上で2次元方向に移動可能に設けられた上板と、前記基板と上板の間に設けられ、前記上板の移動を、前記対物レンズの光軸に対して直交する平面上の2つの方向に規制する移動規制部材とを具備することを特徴としている。
【0010】
【発明の実施の形態】
図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
【0011】
図1は本発明の第1の実施の形態が適用される倒立型金属顕微鏡の概略構成を示す図である。
【0012】
図1において、顕微鏡本体(以後、「鏡体」と称する)1は、概略凹字状であって、その前後に鏡脚と呼ばれる上方向へ突出した前側固定部1aと後側固定部1bとを有する。前側固定部1aおよび後側固定部1b上に、観察試料2を載置した顕微鏡ステージ3が設けられている。
【0013】
ハロゲンランプや水銀等による落射照明光源4からの光束は、投光管5を介してミラーユニット部6に導かれ、その内部のハーフミラー6aにより反射され、対物レンズ7を介して観察試料2の観察面(下面)に照射される。この場合、複数の対物レンズ7が、レボルバー8に保持され択一的に光軸9上に配置される。
【0014】
観察試料2からの反射光は、ハーフミラー6aを透過し、結像レンズ10により対物レンズ7とともに観察試料2の拡大像が形成され、反射ミラー11により斜め上方向に反射され、図示しないリレー光学系によってリレーされた後に観察鏡筒12を介して接眼レンズ13に入射して、観察者の目に到達し観察される。
【0015】
複数の対物レンズ7を保持したレボルバー8は、図示しない保持部により鏡体1に保持されている。レボルバー8は、焦準ハンドル14の操作により光軸9に沿って上下動されて、顕微鏡ステージ3上の観察試料2と対物レンズ7との相対距離を変化させることによって、観察試料2のピント合わせを可能にしている。また、観察鏡筒12は、鏡体1の前側上部に取り付けられ、観察鏡筒12の双眼部に接眼レンズ13が装着されている。
【0016】
図2は、顕微鏡ステージ3の概略構成を示す図である。図2(a)は顕微鏡ステージ3を上面から見た図であり、図2(b)は顕微鏡ステージ3の側断面図である。
【0017】
図2において、円板状のステージ受け301の中央部には、対物レンズ7の切換えに要する移動範囲に相当する開口301aが形成されている。また、ステージ受け301の外周部には肉厚部301bが形成されている。ステージ受け301外周部の肉厚部301bの下面には、中心点を挟んで相対向する位置に、それぞれ取付面301c、301dが形成され、これら取付面301c、301dを前側固定部1aおよび後側固定部1bに載せてボルト321で締結することで、ステージ受け301が前側固定部1aおよび後側固定部1bの間に固定されている。また、ステージ受け301外周部の肉厚部301bの上面側には、開口301a周縁に沿って段部を介して平面部301gが形成されている。
【0018】
ステージ受け301の開口301a周縁の平面部301g上には、ステージ受け301に対して心出し自在に基板302が載置されている。基板302は、対物レンズ7の光軸9に対して直交する平面内で位置調整可能としたもので、ステージ受け301の開口301aとほぼ同じ大きさの開口302aが形成されるとともに、外周面にテーパ部302bが形成されている。
【0019】
ステージ受け301の外周部には、円周方向に沿って2個の心出しネジ303a、303bと1個のプランジャー304がほぼ等間隔に配置されている。これら心出しネジ303a、303bおよびプランジャー304は、ステージ受け301の肉厚部301bを貫通して、それぞれの先端部が基板302のテーパ部302bに当て付けられており、心出しネジ303a、303bによりテーパ部302bを押圧することで基板302の心出しを行うとともに、これら心出しネジ303a、303bと協業してプランジャー304により基板302を所定位置で動かないようにしている。
【0020】
基板302の上には、中央部に基板302の開口302aと連通する開口306aが形成された回転板306が配置されている。この場合、基板302の開口302a内面にラジアルベアリング305の外輪305aを固定環322で固定するとともに、このラジアルベアリング305の内輪305bに回転板306が固定環323で固定されており、基板302の中心を回転中心として回転板306が回転自在に支持されている。
【0021】
回転板306は、図3(a)に示すように上面の外周縁部に沿って突壁306bが形成され、また、突壁306bと開口306a周縁との間の平面306cおよび平面306cより一段低い平面上には、開口306aを挟んで紙面縦方向に沿った平行なガイド溝306dが設けられている。
【0022】
回転板306上には、移動規制部材としてのリング状部材308を介して上板307が配置されている。
【0023】
リング状部材308には、図3(b)に示すようにリング状部本体308aの一方の面に回転板306の平行なガイド溝306dに対応する一対のガイド部材309が設けられている。一対のガイド部材309は、図3(c)に示すように回転板306の平行なガイド溝306dに挿入される。ガイド溝306dに挿入された状態で、リング状部材308は、ガイド溝306dに沿って直線往復移動できる。また、リング状部本体308aの他方の面には、一対のガイド部材309と直交する向きに、後述する上板307の平行なガイド溝307eに対応する一対のガイド部材310が設けられている。
【0024】
上板307は、下面の外周縁部に沿って回転板306の平面306c上に摺動可能な突起部307aが形成され、回転板306上で2次元方向に移動可能になっているとともに、下面中央部に凹部307bが形成され、この凹部307bの中心に試料観察のための小さな開口307cが形成されている。また、上板307には、図3(d)に示すように突起部307aと凹部307b周縁との間の平面307d上に、凹部307bを挟んで紙面横方向に沿った平行なガイド溝307eが設けられている。
【0025】
このような上板307は、回転板306上に配置された状態で、リング状部本体308aの他方の面に設けられた一対のガイド部材310がガイド溝307eに挿入され、上板307全体が一対のガイド部材310に沿って直線往復移動可能になっている。
【0026】
つまり、回転板306、リング状部材308および上板307の関係は、回転板306に対してリング状部材308がガイド溝306dに沿ってのみ直線往復移動可能に設けられるとともに、リング状部材308に対して上板307が一対のガイド部材310に沿ってリング状部材308の移動方向と直交する方向に直線往復移動可能になっている。
【0027】
また、回転板の平面306cと、この平面306cに摺動される上板307の突起部307aとの間には、この間の動きをスムーズにするためにグリースなどの潤滑材が塗布されている。
【0028】
従って、このようにすれば、上板307を対物レンズ7の光軸9に対して直交する平面内で任意の方向に押すと、上板307は回転板306に対しての相対角度を変えることなく、XY方向に移動することができる。この場合、上板307と回転板306の摺動部には、グリースなどの潤滑材が塗布されているので、適切な力量で回転板306に対して上板307が滑動するようになる。
【0029】
また、回転板306の中央の開口306aおよびリング状部材308は、いずれも開口直径が大きく構成されており、このため倍率を切り換えるためにレボルバー8を回転した際に、対物レンズ7が干渉するようなことはない。また、上板307の下面(観察試料2を載せる面と反対側)も観察のための小さな開口307cを中心とした広い範囲において凹部307bが形成され肉薄に構成されているため、同様にレボルバー8の回転に伴い対物レンズ7が干渉するのを防止することができる。
【0030】
再び、図2に戻って、基板302には、バーニヤ目盛311が設けられている。このバーニヤ目盛311は、回転板306の外周に設けられた目盛と協業して基板302に対する回転板306の回転角度を読むことができるようになっている。バーニヤ目盛311には、回転クランプつまみ312が支持されている。回転クランプつまみ312は、締め込み操作により基板302に対して回転板306が回転しないように回転板306を固定する。
【0031】
このような回転クランプつまみ312を含む回転クランプ機構について、図4に従い説明する。図4は、回転クランプつまみ312を含む面を見た断面図で、図2と同一部分には同符号を付している。
【0032】
この場合、基板302には、目盛台313が固定されている。目盛台313にはピン313aが植設されている。目盛台313上には、クランプ台314が配置されている。このクランプ台314には、回転板306のラジアル方向(紙面左右方向)に沿って長溝314aが形成され、この長溝314aにピン313a先端が挿入され、クランプ台314全体が紙面左右方向(回転板306のラジアル方向)に移動可能になっている。
【0033】
クランプ台314には、クランプ台314の移動方向の端部に突壁314bが形成されるとともに、ラジアル方向に沿って長孔314cが形成され、この長孔314cにクランプ軸315が紙面左右方向(回転板306のラジアル方向)に移動可能に挿通されている。
【0034】
クランプ台314の突壁314bとクランプ軸315先端には、それぞれクランプピン316および317が取付けられている。これらクランプピン316および317は、回転板306下面の外周縁部に沿って形成される薄肉部306eを挟み込む方向に配置されている。この場合、クランプ軸315の図示右側方向への移動によりクランプピン316と317により回転板306の薄肉部306eを挟持し、回転板306の回転を規制する。
【0035】
クランプ台314には、ネジ部314dが形成され、このネジ部314dに上述したクランプつまみ312が螺合されている。この状態からクランプつまみ312を締め込むと、クランプ台314に対してクランプ軸315が相対的に対物レンズ7の光軸中心方向へ押し出され、結果的に2つのクランプピン316および317によって回転板306の薄肉部306eが挟み込まれ、回転板306の回転を固定することができる。
【0036】
このように構成した回転クランプ機構によると、回転板306を対物レンズ7の光軸中心方向に向けて押圧することなく、2つのクランプピン316および317で挟み込むだけで回転板306の回転を固定することができるので、回転クランプつまみ312を締め込んだ時に、観察試料2の像が視野内で移動してしまうといった不具合を回避することができる。
【0037】
第1の実施の形態によれば、観察試料2を観察する場合、まず、レボルバー8を回して、複数の対物レンズ7の中から低倍率の対物レンズ7を光軸9上にセットし、焦準ハンドル14の操作によって観察試料2にピントを合わせる。次に、回転板306を回転させて接眼レンズ13の視野内で観察試料2の像がどのように動くかを見る。この時、観察試料2の像が、視野中心付近を中心として回転するように2つの心出しネジ303a、303bを回して基板302の心出しを行う。
【0038】
観察試料2の像の回転中心が視野中心と一致するよう調整できたら、次に上板307を回転板306上でXY方向に滑動操作して、観察試料2の中で目的の観察位置を視野内に概略位置させ、その後に、レボルバー8を回して複数の対物レンズ7の中からより高倍率な目的の倍率を有する対物レンズ7を光軸9にセットする。続けて、焦準ハンドル14の操作によるピントの微調整を行った後に、回転板306を回転させて、観察試料2の向きを好みの向きに調節し、観察試料2の向きが定まったら回転クランプつまみ312を締め込んで回転板306が回転しないように固定する。
【0039】
最後に、再度上板307を回転板306上でXY方向に滑動操作させて、最適な観察範囲となるように観察試料2の位置を微調整する。
【0040】
このような手順で、観察試料2中の目的とする1ヶ所の観察が終了したら、再び上板307を回転板306上でXY方向に滑動操作させて、観察位置を変更する。この場合、観察試料2上で変更する観察位置が最初の観察位置と比較的近い場合には、対物レンズ7の倍率を変えないまま観察位置を変えることが可能であるが、最初の観察位置から離れた位置に変更する場合には、対物レンズ7を一旦低倍率のものに変更してから、上板307を回転板306上でXY方向に滑動操作させて、概略の観察位置に移動させた後に、目的の倍率を有する対物レンズ7に交換して、さらに上板307を微調整して目的の観察範囲を得るようにする必要がある。
【0041】
なお、回転板306を回転することによって観察試料2の向きを変更したり微調整したりするのは、偏光性のある観察試料2を偏光観察法で観察する場合や、写真撮影の場合のフレーミングを変更する場合や、観察試料2が金属組織試料であれば試料作成時の研磨傷を観察像の中で目立ちにくくする場合などに用いられる。この場合、本実施の形態のように観察試料2の観察位置を変更するために行う上板307の滑動による微調整は、回転板306の回転によって設定した所定の角度を保ったまま行われ、観察試料2の向きが変わらないため非常に使い易い。また、観察試料2の向きは回転板306の角度で一義的に決まるので、バーニヤ目盛311で読み取った回転角度を記憶しておけば、その角度に戻すことで常に観察試料2を同じ向きで観察することが可能であり、操作性について著しい向上を図ることができる。
【0042】
従って、このように構成された倒立型金属顕微鏡によれば、金属組織試料や質量の大きな大型の試料であっても片ボケを生じにくい安定した観察像を得ることが可能で、しかも、顕微鏡ステージとして、ステージ受け301に対し心出し自在に基板302が配置され、この基板302上に回転可能な回転板306が配置され、さらに、リング状部材308を介してXY方向に移動可能な上板307が配置されるようになっていて、対物レンズ7の光軸方向のスペースを最小限に抑えたコンパクトな構成としているので、ステージの厚さ方向寸法に大きな制限を有する倒立顕微鏡に最適に組み合わせることができる。
【0043】
また、回転板306の中央の開口306aおよびリング状部材308は、いずれも開口直径が大きく構成されており、さらに上板307の下面にも観察のための小さな開口307cを中心とした広い範囲において凹部307bが形成され肉薄に構成されているため、倍率を切り換えるためにレボルバー8を回転した際に、対物レンズ7が干渉するような不都合を確実に除去することができる。
【0044】
さらに、観察試料2の観察位置の調整が、回転板306の回転によって設定した角度を保ったまま、上板307をXY方向に移動させることで、観察試料2の見たい場所を視野の中に移動させることができるので、観察試料2の向きが変わらない状態のままで、観察を続けることができ、ステージの操作性を著しく向上させることができる。
【0045】
さらに、回転板306の回転を固定するクランプ機構を設けたことにより、観察試料2の観察位置の調整を行う際に、不意に試料の向き(回転方向)が変わってしまうようなことがなくなるので、常に、安定した状態で試料観察を行うことができる。
【0046】
なお、第1の実施の形態において、ガイド部材309,310を2個づつ使用するようにしたが、それぞれ1個ずつでも構成可能である。
【0047】
なお、図3に示した移動規制部材としてのリング状部材308、一対のガイド部材309及び310の変形例を図5、及び図6を参照して説明する。なお、図6に示した変形例の場合には、回転板306及び上板307の形状が第1の実施の形態と若干異なるので、それらも併せて説明する。
【0048】
図5は、図3におけるリング状部材308と一対のガイド部材309及び310のみを変形したものを示しており、回転板306及び上板307は図3のそれと全く同一である。
【0049】
図3のリング状部材308に相当する部品として、リング状部材608が、回転板306上に配置される。
【0050】
リング状部材608には、リング状部材本体608aの一方の面に回転板306の平行なガイド溝306dに対応する片側2個づつ計4個のピン609が設けられている。
【0051】
これら4個のピン609は、図5(c)に示すように、回転板306の平行なガイド溝306dに挿入されるもので、この状態で、リング状部材608は、ガイド溝306dに沿って直線往復移動できるようになっている。
【0052】
また、リング状部材本体608aの他方の面には、後述する上板307の平行なガイド溝307eに対応する片側2個づつ計4個のピン610が設けられている。
【0053】
上板307は、下部の外周縁部に沿って回転板306の平面306cに摺動可能な突起部307aが形成され、回転板306上で2次元方向に移動可能となっているとともに、下面中央部に凹部307bが形成され、この凹部307bの中心に試料観察のための小さな開口307cが形成されている。
【0054】
また、上板307には、図5(d)に示すように、突起部307aと凹部307b周縁との間の平面307d上に、凹部307bを挟んで紙面横方向に沿った平行なガイド溝307eが設けられている。
【0055】
このような上板307は、回転板306上に配置された状態で、リング状部材本体608aの他方の面に設けられた計4個のピン610がガイド溝307eに挿入され、上板307全体がガイド溝307eに沿って直線往復移動できるようになっている。
【0056】
つまり、回転板306、リング状部材608及び上板307の関係は、回転板306に対してリング状部材608がガイド溝306dに沿ってのみ直線往復移動可能に設けられると共に、リング状部材608に対して上板307がガイド溝307eに沿ってリング状部材608の移動方向と直交する方向に直線往復可能となっている。
【0057】
以上記した図5記載の変形例では、ガイド部材309,310の代わりに、ピン609、610を用いるようにしたので、低コストで構成することが可能である。
【0058】
次に、図6は、図3における回転板306、上板307、リング状部材308及び一対のガイド部材309及び310を変形したものを示している。
【0059】
回転板706は、図6(a)に示すように、上面の外周縁部に沿って、突壁706bが形成され、また、突壁706bと開口706a周縁との間の平面706cより1段低い平面上で、開口706aの両側に紙面縦方向に沿った平行なガイド溝706dが設けられている。ガイド溝706dは、開口706aから連なって形成されているため、片側が紙面上下2箇所に分断され、両側合わせて4箇所となっている。
【0060】
回転板706上には、移動規制部材としてのリング状部材708を介して、上板707が配置されている。
【0061】
リング状部本体708aには、図6(e)に示すように、リング状部材708の下面側より、段付ピン709が4個圧入されている。
【0062】
4個の段付ピン709の下側709aは、図6(c)に示すように、回転板706の平行なガイド溝706dに挿入されるもので、この状態で、リング状部材708は、ガイド溝706dに沿って直線往復移動できるようになっている。
【0063】
4個の段付ピン709の上側709bは、後述する上板707の平行なガイド溝707eに挿入可能なように構成されている。
【0064】
上板707は、下部の外周縁部に沿って回転板706の平面706cに摺動可能な突起部707aが形成され、回転板706上で2次元方向に移動可能になっているとともに、下面中央部に凹部707bが形成され、この凹部707bの中心に試料観察のための小さな開口707cが形成されている。
【0065】
また、上板707には、図6(d)に示すように、突起部707aと凹部707b周縁との間の平面707d上に、凹部707bを挟んで、紙面横方向に沿った平行なガイド溝707eが設けられている。ガイド溝707eは片側が紙面左右2箇所に分断され、両側合わせて4箇所となっている。
【0066】
このような上板707は、回転板706上に配置された状態で、リング状部本体708aに設けられた計4個のピン709の上側709bがガイド溝707eに挿入され、上板707全体がガイド溝707eに沿って直線往復移動できるようになっている。
【0067】
つまり、回転板706、リング状部材708及び上板707の関係は、回転板706に対してリング状部材708がガイド溝706dに沿ってのみ直線往復移動可能に設けられると共に、リング状部材708に対して上板707がガイド溝707eに沿ってリング状部材708の移動方向と直交する方向に直線往復移動可能になっている。
【0068】
以上記した図6記載の変形例では、ガイド部材309、310の代わりに4個の段付ピン709を用いるようにしたので、図5記載の変形例より更に、低コストで構成することが可能である。
【0069】
その他、上板の移動を規制する方法はどのような方法を採用しても構わず、対物レンズの光軸に対して垂直な平面内におけるほぼ垂直な2軸方向(例えば、上記のようなXY方向)に上板が移動するような構成であれば良い。
【0070】
(第2の実施の形態)
次に、本発明の第2の実施形態を説明する。
【0071】
図7は、本発明が適用される顕微鏡ステージ3の概略構成を示す図で、図7(a)は顕微鏡ステージ3を上面から見た図、図7(b)は顕微鏡ステージ3の側断面図である。
【0072】
なお、図7において、ステージ受け301、基板302、心出しネジ303a、303b、プランジャー304、ラジアルベアリング305、リング状部材308、同リング状部材308に設けられたガイド部材309、310については、第1の実施の形態と同様であるので、その説明は省略する。
【0073】
この場合も、基板302に対してラジアルベアリング305を介して回転板406が設けられている。この回転板406は、基板302の中心を回転中心として回転自在に支持されている。
【0074】
回転板406上には、リング状部材308を介して上板407が配置されている。上板407は、下面の外周縁部に沿って形成される突起部407aが回転板406上の平面406cに摺動されることで、対物レンズ7の光軸に対して直交する平面内で2次元的に位置調整されるようになっている。また、リング状部材308の一方の面に互いに平行に取付けられた一対のガイド部材309が、回転板406に設けられたガイド溝406dに挿入されることによって、リング状部材308は紙面に垂直な方向に移動可能である。また、リング状部材308の他方の面に互いに平行に取付けられた一対のガイド部材310が、上板407に設けられたガイド溝407eに挿入されることによって、リング状部材308に対して上板407が紙面左右方向に移動可能になっている。
【0075】
これにより、第1の実施の形態と同様に、上板407は対物レンズ7の光軸9に対して直交する平面内で、回転板406に対して同じ角度を保ったまま2次元的に移動可能である。この場合、回転板の平面406cと、この平面406cに摺動される上板407の突起部407aとの間には、グリースなどの潤滑材が塗布され、上板407を適切な力量で滑動できるようになっているのも第1の実施の形態と同様である。
【0076】
上板407には、リング状部材308のガイド部材309の移動方向(すなわち紙面に垂直な方向)と平行に伸びた長溝407bと、リング状部材308のガイド部材310の移動方向(すなわち紙面左右方向)と平行に伸びた長溝407cが形成されている。
【0077】
回転板406には、対物レンズ7の光軸9に対して直交する平面内で、上板407を直交する2方向へ駆動するための第1および第2の駆動機構401、402が取付けられている。このうち、第1の駆動機構401は、上板407を、ガイド部材309の移動方向に駆動するもので、第2の駆動機構402は、上板407を、ガイド部材310の移動方向に駆動するものである。これら第1および第2の駆動機構401、402は、同じ構造をなすものであることから、これらを図8を用いて説明する。
【0078】
図8において、451は回転板406上に固定される固定ブロックで、この固定ブロック451には、回転可能で、かつ軸方向には移動しないように送りつまみ452が支持されている。この送りつまみ452には、送りねじ部452aが設けられている。
【0079】
送りつまみ452の送りねじ部452aには、固定ブロック451に対して一方向に駆動される可動ブロック453が設けられ、送りつまみ452の回転により可動ブロック453が直線往復駆動されるようになっている。
【0080】
固定ブロック451には、送りねじ部452aの両側対称な位置に配置される一対のガイドピン454が固定されている。これらガイドピン454は、送りつまみ452を回転させたとき、可動ブロック453全体が回転することなく直線移動できるようにするためのもので、可動ブロック453に設けられたガイド穴453aに挿通されている。この場合、これらガイドピン454の配置方向は、送りねじ部452aの軸方向と正確に合致している。また、これらガイドピン454には、固定ブロック451と可動ブロック453との間で突っ張る方向(伸長方向)に働く圧縮コイルバネ456が設けられている。これら圧縮コイルバネ456は送りつまみ452に設けられた送りねじ部452aでのガタ付きを抑制する目的で用いられている。なお、本実施の形態では、伸長方向に働く圧縮コイルバネ456としたが、逆方向に働く引張コイルバネとしてもよい。
【0081】
可動ブロック453上には、2本の係合ピン455が直立して設けられている。これら係合ピン455は、上板407に設けられた長溝407b(または長溝407c)と係合されるものである。
【0082】
このような構成において、第1の駆動機構401では、可動ブロック453に設けられた2本の係合ピン455が上板407に設けられた長溝407cに係合され、また、第2の駆動機構402では、可動ブロック453に設けられた2本の係合ピン455が上板407に設けられた長溝407bに係合される。
【0083】
この状態から、第2の駆動機構402の送りつまみ452を回転させると、可動ブロック453が紙面左右方向に駆動され、可動ブロック453に固定された2本の係合ピン455と長溝407bで係合されている上板407に対して紙面左右方向への駆動力が伝達される。
【0084】
この場合、上板407に設けられた2つのガイド溝407eの方向と可動ブロック453の駆動方向とがまったく同じ方向であるため、送りつまみ452を回転させた場合、上板407のみが紙面左右方向に駆動され、リング状部材308は駆動されず、回転板406に対して静止したままの状態である。
【0085】
この際、第1の駆動機構401の2本の係合ピン455と係合する上板407の長溝407cは、第2の駆動機構402の送りつまみ452の送りねじ部452aとまったく同じ方向に配置されているので、第2の駆動機構402の送りつまみ452を回転操作して上板407を紙面左右方向に移動させる際に、第1の駆動機構401の2本の係合ピン455と上板407の長溝407cが、その駆動の障害となることはなく、スムーズな駆動動作が可能である。
【0086】
次に、第1の駆動機構401の送りつまみ452を回転させると、可動ブロック453が図7(b)で紙面垂直方向に駆動され、可動ブロック453に固定された2本の係合ピン455と長溝407cで係合されている上板407に対して図7(b)で紙面垂直方向への駆動力が伝達される。
【0087】
この場合、上板407に設けられた2つのガイド溝407eの方向と可動ブロック453の駆動方向とが直交する方向であるため、第1の駆動機構401の送りつまみ452を回転した場合、上板407のみでなく上板407の2つのガイド溝407eに挿入されているリング状部材308側のガイド部材310とともにリング状部材308が紙面垂直方向に駆動される。
【0088】
この際、第2の駆動機構402の2本の係合ピン455と係合する上板407の長溝407bは、第1の駆動機構401の送りつまみ452の送りねじ部452aとまったく同じ方向に配置されているので、第1の駆動機構401の送りつまみ452を回転操作して上板407を図7(b)で紙面垂直方向に移動させる際に、第2の駆動機構402の2本の係合ピン455と上板407の長溝407bがその駆動の障害となることはなく、スムーズな駆動動作が可能である。
【0089】
従って、このような構成とすれば、観察試料2の観察位置の調整を行う際に、上板407の移動を第1の駆動機構401と第2の駆動機構402によってそれぞれ直交する方向に独立して調整することで行うようにし、さらに、これら第1および第2の駆動機構401、402として、送りねじ部452aを有する駆動機構を採用したため、送りつまみ452による精密かつスムーズな上板の送りが可能となり、高倍率の対物レンズを用いた観察においても、観察試料の目的とする場所を視野中心にもってくるという操作を非常に簡単に行うことができる。
【0090】
(第3の実施の形態)
次に、本発明の第3の実施形態を説明する。
【0091】
図9は、本発明が適用される顕微鏡ステージ3の概略構成を示すもので、図9(a)は顕微鏡ステージ3を上面から見た図、図9(b)は顕微鏡ステージ3の側断面図である。
【0092】
この場合、第3の実施の形態においては、上板407を駆動する第1および第2の駆動機構501、502のみが第2の実施の形態の場合と異なっており、その他の、ステージ受け301、基板302、心出しネジ303a、303b、プランジャー304、ラジアルベアリング305、回転板406、上板407、リング状部材308、同リング状部材308に設けられたガイド部材309、310については、第2の実施の形態と同様であるので、その説明は省略する。
【0093】
この場合も、回転板406には、上板407を直交する2方向へ駆動するための第1および第2の駆動機構501、502が取付けられている。このうち、第1の駆動機構501は、上板407を、ガイド部材309の移動方向に駆動し、第2の駆動機構502は、上板407を、ガイド部材310の移動方向に駆動する。これら第1および第2の駆動機構501、502は、同じ構造を有することから、これらを図10を用いて説明する。
【0094】
図10において、回転板406上に固定される固定ブロック551上には、操作ダイヤル552が回転自在に設けられている。操作ダイヤル552は、その外周縁部に沿って歯車552aが設けられている。
【0095】
また、固定ブロック551上には、回転部材としての駆動歯車553が回転自在に設けられている。この駆動歯車553は、操作ダイヤル552の歯車552aと噛み合わされている。操作ダイヤル552を回転操作すると、この回転に従って駆動歯車553が回転する。また、駆動歯車553には、回転中心から偏心した位置に駆動ピン554が設けられている。この駆動ピン554は、上板407に設けられた長溝407b(または長溝407c)と係合される。
【0096】
このように構成において、第1の駆動機構501では、駆動歯車553に設けられた駆動ピン554が上板407に設けられた長溝407cに係合され、また、第2の駆動機構502では、駆動歯車553に設けられた駆動ピン554が上板407に設けられた長溝407bに係合される。
【0097】
そして、この状態から第1および第2の駆動機構501、502の操作ダイヤル552を回転操作すると、駆動ピン554によって上板407に設けられた長溝407cおよび407bを介して上板407へ駆動力が伝達される。この時、駆動ピン554は円弧状の軌跡を描くため、上板407の長溝407bおよび407cでは駆動ピン554との接触摩擦によって溝側縁の方向に多少の力を受けるが、その摩擦力は僅かであるので、駆動ピン554による上板407の駆動力は、必ずリング状部材308に設けられたガイド部材309、310の移動方向に作用する。
【0098】
例えば、第2の駆動機構502の操作ダイヤル552を回転操作した場合、駆動ピン554からの駆動力は、上板407をガイド部材310の移動方向(すなわち紙面左右方向)に駆動させるように作用する。この場合、駆動ピン554の回転によって発生する長溝407b側縁部との摩擦力によって上板407を図9(b)で紙面垂直方向に移動させようとする力が作用するが、この時の力は回転板406に対してガイド部材309を図9(b)で紙面垂直方向に移動させるだけの大きなものでないため、上板407をガイド部材310の移動方向へのみ駆動させるようになる。
【0099】
同様に、第1の駆動機構501の操作ダイヤル552を回転操作した場合は、駆動ピン554からの駆動力は、上板407をガイド部材309の移動方向(すなわち図9(b)で紙面垂直方向)に駆動させるように作用する。
【0100】
従って、このような構成によっても、第2の実施の形態と同様な動作を得ることができ、さらに、上述した第2の実施の形態における第1および第2の駆動機構401、402よりも簡単な構成で、上板407をそれぞれ独立して直交する2方向へ駆動することが可能であり、トータルとしての顕微鏡ステージのコストも低減することができる。
【0101】
なお、上述した実施の形態では、倒立型金属顕微鏡に適用した場合について説明したが、正立型顕微鏡にも同様に適用することができる。
【0102】
図11は、以上の第1〜第3の実施の形態におけるステージを正立顕微鏡に適用した場合の概略構成を示す図である。
【0103】
ここでは、図1の倒立型金属顕微鏡に適用した場合のステージ受け301の代わりに、後述のステージ受け806が使用される。ステージ受けを除く顕微鏡ステージ部分は、図1及び図2に示した顕微鏡ステージ3と何ら変わり無い。
【0104】
図11において、参照符号801は顕微鏡本体(鏡体)、参照符号802はハロゲンランプや水銀などによる透過照明用光源である。透過照明用光源802からの光束は、鏡体801のベース部801aを通って、ベース部801aに内蔵された折り返しミラー803によって鉛直上向きに偏向される。
【0105】
鏡体の垂直部801bには焦準ハンドル804によって上下駆動される焦準ガイド805が設けられ、この焦準ガイド805にはステージ受け806を介して顕微鏡ステージ807が装着されている。顕微鏡ステージ807の上には、観察試料808が載置されている。
【0106】
ステージ受け806の下部先端には、コンデンサレンズ809が装着され、鉛直上向きの透過照明光束を観察試料808に集光照射している。
【0107】
一方、鏡体801のアーム先端801cにはレボルバー810が装着され、レボルバー810には複数の対物レンズの1つの対物レンズ811が択一的に光軸812上に配置されている。参照符号813は、鏡体801のアーム先端部801cの上に装着された偏光観察用中間鏡筒、参照符号814はこの偏光観察用中間鏡筒813の上に装着される鏡筒、参照符号815は鏡筒814に装着された接眼レンズを示している。
【0108】
観察試料808からの光束は、対物レンズ811に入射後に平行光束となって、鏡筒814に内蔵された図示しない結像レンズによって、接眼レンズ815の焦点面に結像され、観察者の目に到達して、観察者によって観察される。
【0109】
また、上述した実施の形態では、回転板上に第1の駆動機構と第2の駆動機構を装着したものと、装着しないものを別々に述べたが、第1の駆動機構と第2の駆動機構を装着したものについても、第1の駆動機構と第2の駆動機構を使用者の好みに応じて取外せば、上板に直接手を触れて操作することで上板に載置された観察試料を移動させることが可能であり、これら2通りの状態を使用者の好みにあわせて容易に選択することが可能である。また、上述した実施の形態では、移動規制部材としてリング状部材にガイド部材を設けるようにしたが、回転板と上板にそれぞれ凸状のガイド部を設けてリング状部材にはガイド溝を形成するようにしてもよい。
【0110】
また、上述した実施の形態では、回転板の回転のためにラジアルベアリング305を用いるようにしたが、基板302と回転板306,406,706との間で摺動させるようにしても良い。この場合は、間にグリースなどの潤滑材を塗布すれば、滑らかな回転が可能である。
【0111】
上記の各実施の形態から下記の発明が抽出できる。
【0112】
本発明の第1局面に係る顕微鏡ステージは、対物レンズの光軸に対して直交する平面内で位置調整可能な基板と、観察試料が載置され、且つ前記基板上で2次元方向に移動可能に設けられた上板と、前記基板と上板の間に設けられ、前記上板の移動を、前記対物レンズの光軸に対して直交する平面上の2つの方向に規制する移動規制部材とを具備することを特徴とする。
【0113】
第1の局面に係る顕微鏡ステージにおいて、下記のような実施態様が好ましい。
【0114】
(1) 前記移動規制部材は、前記平面上の第1の方向と前記平面上であって、前記第1の方向とほぼ直交する第2の方向とに、前記上板の移動を規制すること。
【0115】
(2) 対物レンズの光軸に対して直交する平面内で前記上板を直線移動させる第1の駆動機構と、前記第1の駆動機構による前記上板の直線移動方向に対して直交する方向に前記上板を直線移動させる第2の駆動機構とを更に具備すること。
【0116】
(3) (2)において、前記第1の駆動機構および前記第2の駆動機構は、固定ブロックと、前記固定ブロックに対して直線移動可能に設けられた可動体と、を具備し、前記可動体の移動に応じて前記上板を直線移動させること。
【0117】
(4) (2)において、前記第1の駆動機構および第2の駆動機構は、固定ブロックと、前記固定ブロックに対して回転可能に設けられた回転部材と、前記回転部材の回転中心から偏心した位置に設けられた駆動ピンと、を具備し、前記回転部材の回転にともなう前記駆動ピンの移動に応じて前記上板を直線移動させること。
【0118】
(5) 前記対物レンズの光軸を回転中心として回転自在に設けられた回転板を更に具備すること。
【0119】
(6) (5)において、前記回転板は、対物レンズの光軸に対して直交する平面内で前記上板を直線移動させる第1の駆動機構と、前記第1の駆動機構による前記上板の直線移動方向に対して直交する方向に前記上板を直線移動させる第2の駆動機構とを具備すること。
【0120】
(7) (6)において、前記第1の駆動機構および前記第2の駆動機構は、前記回転板に固定される固定ブロックと、前記固定ブロックに対して直線移動可能に設けられた可動体と、を具備し、前記可動体の移動に応じて前記上板を直線移動させること。
【0121】
(8) (6)において、前記第1の駆動機構および第2の駆動機構は、前記回転板に固定される固定ブロックと、前記固定ブロックに対して回転可能に設けられた回転部材と、前記回転部材の回転中心から偏心した位置に設けられた駆動ピンと、を具備し、前記回転部材の回転にともなう前記駆動ピンの移動に応じて前記上板を直線移動させること。
【0122】
(9) (5)において、前記基板は、前記回転板の回転を規制するクランプ機構を有すること。
【0123】
本発明の第2の局面に係る顕微鏡ステージは、対物レンズの光軸に対して直交する平面内で位置調整可能な基板と、前記対物レンズの光軸を回転中心として回転自在に設けられた回転板と、観察試料が載置され、且つ前記回転板上で2次元方向に移動可能に設けられた上板と、前記回転板と上板の間に設けられ、前記上板の移動を、前記対物レンズの光軸に対して直交する平面上の2つの方向に規制する移動規制部材とを具備することを特徴とする。
【0124】
第2の局面に係る顕微鏡ステージにおいて、下記のような実施態様が好ましい。
【0125】
(1) 前記移動規制部材は、前記平面上の第1の方向と前記平面上であって、前記第1の方向とほぼ直交する第2の方向とに、前記上板の移動を規制すること。
【0126】
(2) 対物レンズの光軸に対して直交する平面内で前記上板を直線移動させる第1の駆動機構と、前記第1の駆動機構による前記上板の直線移動方向に対して直交する方向に前記上板を直線移動させる第2の駆動機構とを更に具備すること。
【0127】
(3) (2)において、前記回転板は、前記第1の駆動機構と、前記第2の駆動機構とを具備すること。
【0128】
(4) (3)において、前記第1の駆動機構および前記第2の駆動機構は、前記回転板に固定される固定ブロックと、前記固定ブロックに対して直線移動可能に設けられた可動体と、を具備し、前記可動体の移動に応じて前記上板を直線移動させること。
【0129】
(5) (3)において、前記第1の駆動機構および第2の駆動機構は、前記回転板に固定される固定ブロックと、前記固定ブロックに対して回転可能に設けられた回転部材と、前記回転部材の回転中心から偏心した位置に設けられた駆動ピンと、を具備し、前記回転部材の回転にともなう前記駆動ピンの移動に応じて前記上板を直線移動させること。
【0130】
(6) 前記基板は、前記回転板の回転を規制するクランプ機構を有すること。
【0131】
本発明の第3の局面に係る顕微鏡は、対物レンズの光軸に対して直交する平面内で位置調整可能な基板と、観察試料が載置され、且つ前記基板上で2次元方向に移動可能に設けられた上板と、前記基板と上板の間に設けられ、前記上板の移動を、前記対物レンズの光軸に対して直交する平面上の2つの方向に規制する移動規制部材とを具備する顕微鏡ステージを搭載したことを特徴とする。
【0132】
本発明の第4の局面に係る顕微鏡は、対物レンズの光軸に対して直交する平面内で位置調整可能な基板と、前記対物レンズの光軸を回転中心として回転自在に設けられた回転板と、観察試料が載置され、且つ前記回転板上で2次元方向に移動可能に設けられた上板と、前記回転板と上板の間に設けられ、前記上板の移動を、前記対物レンズの光軸に対して直交する平面上の2つの方向に規制する移動規制部材とを具備する顕微鏡ステージを搭載したことを特徴とする。
【0133】
本発明の1局面に係る顕微鏡ステージによれば、顕微鏡光学系に対する観察試料の角度を回転板を回転させることによって設定し、回転板で設定した角度を保ったまま上板を移動させることができるので、観察試料の見たい場所を視野の中に簡単に移動させることができる。
【0134】
また、本発明の1局面に係る顕微鏡ステージによれば、観察試料の観察位置の調整を行う際に、上板の移動を第1の駆動機構と第2の駆動機構によってそれぞれ直交する方向に独立して調整することができ、この場合、固定ブロックに設けられた可動体の直線移動量または回転部材の回転量に応じて精密かつスムーズな上板の送りが可能にできる。
【0135】
さらに、本発明の1局面に係る顕微鏡ステージによれば、基板に対して回転板が回転しないように固定するクランプ機構を設けたので、観察試料を見たい場所に位置決めする際に、観察試料の角度が不意に変わらないよう回転板を固定したうえで、回転板に対して上板を移動させることが可能である。
【0136】
さらに、本発明の1局面に係る顕微鏡ステージを搭載した顕微鏡によれば、金属組織試料や質量の大きな大型の試料であっても片ボケを生じにくい安定した観察像を得ることが可能で、しかも、顕微鏡ステージは、対物レンズの光軸方向のスペースを最小限に抑えたコンパクトな構成としていることで、ステージの厚さ方向寸法に大きな制限のある倒立顕微鏡に最適に組み合わせることができる。また、顕微鏡ステージは、中央に大きな開口部を設けるようにしているので、対物レンズを切り換える際にステージ中央部に大きな逃げを必要とする倒立型顕微鏡についても最適に組み合わせて用いることができる。
【0137】
その他、本発明は、上記実施の形態に限定されるものでなく、実施段階では、その要旨を変更しない範囲で種々変形することが可能である。
【0138】
さらに、上記実施の形態には、種々の段階の発明が含まれており、開示されている複数の構成要件における適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出できる。例えば、実施の形態に示されている全構成要件から幾つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題を解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出できる。
【0139】
【発明の効果】
以上述べたように本発明の実施の形態によれば、正立型顕微鏡、倒立型顕微鏡を問わず、金属組織資料や質量の大きな大型の試料であっても片ボケを生じにくい安定した観察像を得ることが可能で、かつステージの下面に大きな開口スペースを必要とする倒立顕微鏡にも組み合わせることが可能なコンパクトな形状を有し、しかも観察試料の任意の位置を回転中心付近に移動可能にした顕微鏡ステージおよびこの顕微鏡ステージを搭載した顕微鏡を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態の倒立型金属顕微鏡の概略構成を示す図。
【図2】第1の実施の形態が適用される顕微鏡ステージの概略構成を示す図。
【図3】第1の実施の形態に用いられる回転板、リング状部材および上板の構成を説明するための図。
【図4】第1の実施の形態に用いられる回転クランプ機構の概略構成を示す図。
【図5】第1の実施の形態の変形例を示す図。
【図6】第1の実施の形態の他の変形例を示す図。
【図7】本発明の第2の実施の形態が適用される顕微鏡ステージの概略構成を示す図。
【図8】第2の実施の形態に用いられる第1および第2の駆動機構の概略構成を示す図。
【図9】本発明の第3の実施の形態が適用される顕微鏡ステージの概略構成を示す図。
【図10】第3の実施の形態に用いられる第1および第2の駆動機構の概略構成を示す図。
【図11】本発明の各実施の形態における顕微鏡ステージを正立顕微鏡に適用した場合の概略構成を示す図。
【符号の説明】
1…顕微鏡本体(鏡体)、1a…前側固定部、1b…後側固定部、2…観察試料、3…顕微鏡ステージ、4…落射照明光源、5…投光管、6…ミラーユニット部、6a…ハーフミラー、7…対物レンズ、8…レボルバー、9…光軸、10…結像レンズ、11…反射ミラー、12…観察鏡筒、13…接眼レンズ、14…焦準ハンドル、301…ステージ受け、301a…開口、301b…肉厚部、301c、301d…取付面、301g…平面部、302…基板、302a…開口、302b…テーパ部、303a、303b…心出しネジ、304…プランジャー、305…ラジアルベアリング、305a…外輪、305b…内輪、306a…開口、306…回転板、306b…突壁、306c…平面、306d…ガイド溝、306e…薄肉部、307…上板、307e…ガイド溝、307a…突起部、307b…凹部、307c…開口、307d…平面、308…リング状部材、308a…リング状部本体、309…ガイド部材、310…ガイド部材、311…バーニヤ目盛、313…目盛台、313a…ピン、314…クランプ台、314a…長溝、314b…突壁、314c…長孔、314d…ネジ部、315…クランプ軸、316…クランプピン、321…ボルト、322…固定環、323…固定環、401…第1の駆動機構、402…第2の駆動機構、406…回転板、406c…平面、406d…ガイド溝、407…上板、407a…突起部、407e…ガイド溝、407b…長溝、407c…長溝、451…固定ブロック、452…送りつまみ、452a…送りねじ部、453…可動ブロック、453a…ガイド穴、454…ガイドピン、455…係合ピン、456…圧縮コイルバネ、501…第1の駆動機構、502…第2の駆動機構、551…固定ブロック、552…操作ダイヤル、552a…歯車、553…駆動歯車、554…駆動ピン、608…リング状部材、608a…リング状部材本体、609…ピン、610…ピン、706…回転板、706b…突壁、706a…開口、706c…平面、706d…ガイド溝、707…上板、707e…ガイド溝、707a…突起部、707b…凹部、707c…開口、707d…平面、708…リング状部材、708a…リング状部本体、709…段付ピン、709a…下側、709b…上側、801…鏡体、801a…ベース部、801b…垂直部、801c…アーム先端部、802…透過照明用光源、803…ミラー、804…焦準ハンドル、805…焦準ガイド、807…顕微鏡ステージ、808…観察試料、809…コンデンサレンズ、810…レボルバー、811…対物レンズ、812…光軸、813…偏光観察用中間鏡筒、814…鏡筒、815…接眼レンズ。
【発明の属する技術分野】
本発明は、観察試料を載置する顕微鏡ステージおよびこの顕微鏡ステージを搭載した顕微鏡に関する。
【0002】
【従来の技術】
例えば、偏光顕微鏡や倒立顕微鏡等の光学顕微鏡を用いて金属組織標本、鉱物標本および生物標本などの試料を観察する場合において、これらの観察試料を載置するための顕微鏡ステージとして、観察試料の向きの違いによる偏光特性を調べたり、画像記録装置に対する試料の向きを変えて好みのフレーミングを行ったりするために、いわゆる回転ステージが用いられることがある。
【0003】
このような回転ステージには、ステージを回転したとたんに視野から観察試料が見えなくなってしまうのを防ぐために、次のような機能が要求される。まず、その回転中心を顕微鏡の対物レンズ光軸に合致させて、現在見ている視野の中心を回転中心にした状態(予め合致するように構成されているものもある)とする。そして、次に、観察試料の観察したい任意の位置を回転中心付近に移動させる。
【0004】
特許文献1には、偏光顕微鏡の試料位置調整に用いられる顕微鏡ステージにおいて、円周部付近に角度表示目盛が付され自在に回転可能な円板状ステージの上に互いに直交するスライドグラス保持具とスライドグラス押さえを配置し、これらによって、スライドグラス上の試料を顕微鏡の視野内に入るように移動調節できることが記載されている。
【0005】
また、特許文献2には、XY軸可動ステージの回動および傾斜を可能にした顕微鏡のステージにおいて、基台上に回動可能な回転テーブルを設け、この回転テーブルの上に、上方への突出量を調整可能な3つの支持ピン部材を介してXY軸可動ステージを支持する構造とすることにより、XY軸可動ステージの回動および傾斜を調整できることが記載されている。
【0006】
【特許文献1】特開昭60−88919号公報
【0007】
【特許文献2】特開平7−56093号公報
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、観察試料に関係なく片ボケを生じにくい安定した観察像を得ることができるとともに、光軸方向のスペースを抑えたコンパクトな形状を有し、観察試料の任意の位置を回転中心付近に簡単に移動可能にした顕微鏡ステージおよびこの顕微鏡ステージを搭載した顕微鏡を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明の1局面に係る顕微鏡ステージは、対物レンズの光軸に対して直交する平面内で位置調整可能な基板と、観察試料が載置され、且つ前記基板上で2次元方向に移動可能に設けられた上板と、前記基板と上板の間に設けられ、前記上板の移動を、前記対物レンズの光軸に対して直交する平面上の2つの方向に規制する移動規制部材とを具備することを特徴としている。
【0010】
【発明の実施の形態】
図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
【0011】
図1は本発明の第1の実施の形態が適用される倒立型金属顕微鏡の概略構成を示す図である。
【0012】
図1において、顕微鏡本体(以後、「鏡体」と称する)1は、概略凹字状であって、その前後に鏡脚と呼ばれる上方向へ突出した前側固定部1aと後側固定部1bとを有する。前側固定部1aおよび後側固定部1b上に、観察試料2を載置した顕微鏡ステージ3が設けられている。
【0013】
ハロゲンランプや水銀等による落射照明光源4からの光束は、投光管5を介してミラーユニット部6に導かれ、その内部のハーフミラー6aにより反射され、対物レンズ7を介して観察試料2の観察面(下面)に照射される。この場合、複数の対物レンズ7が、レボルバー8に保持され択一的に光軸9上に配置される。
【0014】
観察試料2からの反射光は、ハーフミラー6aを透過し、結像レンズ10により対物レンズ7とともに観察試料2の拡大像が形成され、反射ミラー11により斜め上方向に反射され、図示しないリレー光学系によってリレーされた後に観察鏡筒12を介して接眼レンズ13に入射して、観察者の目に到達し観察される。
【0015】
複数の対物レンズ7を保持したレボルバー8は、図示しない保持部により鏡体1に保持されている。レボルバー8は、焦準ハンドル14の操作により光軸9に沿って上下動されて、顕微鏡ステージ3上の観察試料2と対物レンズ7との相対距離を変化させることによって、観察試料2のピント合わせを可能にしている。また、観察鏡筒12は、鏡体1の前側上部に取り付けられ、観察鏡筒12の双眼部に接眼レンズ13が装着されている。
【0016】
図2は、顕微鏡ステージ3の概略構成を示す図である。図2(a)は顕微鏡ステージ3を上面から見た図であり、図2(b)は顕微鏡ステージ3の側断面図である。
【0017】
図2において、円板状のステージ受け301の中央部には、対物レンズ7の切換えに要する移動範囲に相当する開口301aが形成されている。また、ステージ受け301の外周部には肉厚部301bが形成されている。ステージ受け301外周部の肉厚部301bの下面には、中心点を挟んで相対向する位置に、それぞれ取付面301c、301dが形成され、これら取付面301c、301dを前側固定部1aおよび後側固定部1bに載せてボルト321で締結することで、ステージ受け301が前側固定部1aおよび後側固定部1bの間に固定されている。また、ステージ受け301外周部の肉厚部301bの上面側には、開口301a周縁に沿って段部を介して平面部301gが形成されている。
【0018】
ステージ受け301の開口301a周縁の平面部301g上には、ステージ受け301に対して心出し自在に基板302が載置されている。基板302は、対物レンズ7の光軸9に対して直交する平面内で位置調整可能としたもので、ステージ受け301の開口301aとほぼ同じ大きさの開口302aが形成されるとともに、外周面にテーパ部302bが形成されている。
【0019】
ステージ受け301の外周部には、円周方向に沿って2個の心出しネジ303a、303bと1個のプランジャー304がほぼ等間隔に配置されている。これら心出しネジ303a、303bおよびプランジャー304は、ステージ受け301の肉厚部301bを貫通して、それぞれの先端部が基板302のテーパ部302bに当て付けられており、心出しネジ303a、303bによりテーパ部302bを押圧することで基板302の心出しを行うとともに、これら心出しネジ303a、303bと協業してプランジャー304により基板302を所定位置で動かないようにしている。
【0020】
基板302の上には、中央部に基板302の開口302aと連通する開口306aが形成された回転板306が配置されている。この場合、基板302の開口302a内面にラジアルベアリング305の外輪305aを固定環322で固定するとともに、このラジアルベアリング305の内輪305bに回転板306が固定環323で固定されており、基板302の中心を回転中心として回転板306が回転自在に支持されている。
【0021】
回転板306は、図3(a)に示すように上面の外周縁部に沿って突壁306bが形成され、また、突壁306bと開口306a周縁との間の平面306cおよび平面306cより一段低い平面上には、開口306aを挟んで紙面縦方向に沿った平行なガイド溝306dが設けられている。
【0022】
回転板306上には、移動規制部材としてのリング状部材308を介して上板307が配置されている。
【0023】
リング状部材308には、図3(b)に示すようにリング状部本体308aの一方の面に回転板306の平行なガイド溝306dに対応する一対のガイド部材309が設けられている。一対のガイド部材309は、図3(c)に示すように回転板306の平行なガイド溝306dに挿入される。ガイド溝306dに挿入された状態で、リング状部材308は、ガイド溝306dに沿って直線往復移動できる。また、リング状部本体308aの他方の面には、一対のガイド部材309と直交する向きに、後述する上板307の平行なガイド溝307eに対応する一対のガイド部材310が設けられている。
【0024】
上板307は、下面の外周縁部に沿って回転板306の平面306c上に摺動可能な突起部307aが形成され、回転板306上で2次元方向に移動可能になっているとともに、下面中央部に凹部307bが形成され、この凹部307bの中心に試料観察のための小さな開口307cが形成されている。また、上板307には、図3(d)に示すように突起部307aと凹部307b周縁との間の平面307d上に、凹部307bを挟んで紙面横方向に沿った平行なガイド溝307eが設けられている。
【0025】
このような上板307は、回転板306上に配置された状態で、リング状部本体308aの他方の面に設けられた一対のガイド部材310がガイド溝307eに挿入され、上板307全体が一対のガイド部材310に沿って直線往復移動可能になっている。
【0026】
つまり、回転板306、リング状部材308および上板307の関係は、回転板306に対してリング状部材308がガイド溝306dに沿ってのみ直線往復移動可能に設けられるとともに、リング状部材308に対して上板307が一対のガイド部材310に沿ってリング状部材308の移動方向と直交する方向に直線往復移動可能になっている。
【0027】
また、回転板の平面306cと、この平面306cに摺動される上板307の突起部307aとの間には、この間の動きをスムーズにするためにグリースなどの潤滑材が塗布されている。
【0028】
従って、このようにすれば、上板307を対物レンズ7の光軸9に対して直交する平面内で任意の方向に押すと、上板307は回転板306に対しての相対角度を変えることなく、XY方向に移動することができる。この場合、上板307と回転板306の摺動部には、グリースなどの潤滑材が塗布されているので、適切な力量で回転板306に対して上板307が滑動するようになる。
【0029】
また、回転板306の中央の開口306aおよびリング状部材308は、いずれも開口直径が大きく構成されており、このため倍率を切り換えるためにレボルバー8を回転した際に、対物レンズ7が干渉するようなことはない。また、上板307の下面(観察試料2を載せる面と反対側)も観察のための小さな開口307cを中心とした広い範囲において凹部307bが形成され肉薄に構成されているため、同様にレボルバー8の回転に伴い対物レンズ7が干渉するのを防止することができる。
【0030】
再び、図2に戻って、基板302には、バーニヤ目盛311が設けられている。このバーニヤ目盛311は、回転板306の外周に設けられた目盛と協業して基板302に対する回転板306の回転角度を読むことができるようになっている。バーニヤ目盛311には、回転クランプつまみ312が支持されている。回転クランプつまみ312は、締め込み操作により基板302に対して回転板306が回転しないように回転板306を固定する。
【0031】
このような回転クランプつまみ312を含む回転クランプ機構について、図4に従い説明する。図4は、回転クランプつまみ312を含む面を見た断面図で、図2と同一部分には同符号を付している。
【0032】
この場合、基板302には、目盛台313が固定されている。目盛台313にはピン313aが植設されている。目盛台313上には、クランプ台314が配置されている。このクランプ台314には、回転板306のラジアル方向(紙面左右方向)に沿って長溝314aが形成され、この長溝314aにピン313a先端が挿入され、クランプ台314全体が紙面左右方向(回転板306のラジアル方向)に移動可能になっている。
【0033】
クランプ台314には、クランプ台314の移動方向の端部に突壁314bが形成されるとともに、ラジアル方向に沿って長孔314cが形成され、この長孔314cにクランプ軸315が紙面左右方向(回転板306のラジアル方向)に移動可能に挿通されている。
【0034】
クランプ台314の突壁314bとクランプ軸315先端には、それぞれクランプピン316および317が取付けられている。これらクランプピン316および317は、回転板306下面の外周縁部に沿って形成される薄肉部306eを挟み込む方向に配置されている。この場合、クランプ軸315の図示右側方向への移動によりクランプピン316と317により回転板306の薄肉部306eを挟持し、回転板306の回転を規制する。
【0035】
クランプ台314には、ネジ部314dが形成され、このネジ部314dに上述したクランプつまみ312が螺合されている。この状態からクランプつまみ312を締め込むと、クランプ台314に対してクランプ軸315が相対的に対物レンズ7の光軸中心方向へ押し出され、結果的に2つのクランプピン316および317によって回転板306の薄肉部306eが挟み込まれ、回転板306の回転を固定することができる。
【0036】
このように構成した回転クランプ機構によると、回転板306を対物レンズ7の光軸中心方向に向けて押圧することなく、2つのクランプピン316および317で挟み込むだけで回転板306の回転を固定することができるので、回転クランプつまみ312を締め込んだ時に、観察試料2の像が視野内で移動してしまうといった不具合を回避することができる。
【0037】
第1の実施の形態によれば、観察試料2を観察する場合、まず、レボルバー8を回して、複数の対物レンズ7の中から低倍率の対物レンズ7を光軸9上にセットし、焦準ハンドル14の操作によって観察試料2にピントを合わせる。次に、回転板306を回転させて接眼レンズ13の視野内で観察試料2の像がどのように動くかを見る。この時、観察試料2の像が、視野中心付近を中心として回転するように2つの心出しネジ303a、303bを回して基板302の心出しを行う。
【0038】
観察試料2の像の回転中心が視野中心と一致するよう調整できたら、次に上板307を回転板306上でXY方向に滑動操作して、観察試料2の中で目的の観察位置を視野内に概略位置させ、その後に、レボルバー8を回して複数の対物レンズ7の中からより高倍率な目的の倍率を有する対物レンズ7を光軸9にセットする。続けて、焦準ハンドル14の操作によるピントの微調整を行った後に、回転板306を回転させて、観察試料2の向きを好みの向きに調節し、観察試料2の向きが定まったら回転クランプつまみ312を締め込んで回転板306が回転しないように固定する。
【0039】
最後に、再度上板307を回転板306上でXY方向に滑動操作させて、最適な観察範囲となるように観察試料2の位置を微調整する。
【0040】
このような手順で、観察試料2中の目的とする1ヶ所の観察が終了したら、再び上板307を回転板306上でXY方向に滑動操作させて、観察位置を変更する。この場合、観察試料2上で変更する観察位置が最初の観察位置と比較的近い場合には、対物レンズ7の倍率を変えないまま観察位置を変えることが可能であるが、最初の観察位置から離れた位置に変更する場合には、対物レンズ7を一旦低倍率のものに変更してから、上板307を回転板306上でXY方向に滑動操作させて、概略の観察位置に移動させた後に、目的の倍率を有する対物レンズ7に交換して、さらに上板307を微調整して目的の観察範囲を得るようにする必要がある。
【0041】
なお、回転板306を回転することによって観察試料2の向きを変更したり微調整したりするのは、偏光性のある観察試料2を偏光観察法で観察する場合や、写真撮影の場合のフレーミングを変更する場合や、観察試料2が金属組織試料であれば試料作成時の研磨傷を観察像の中で目立ちにくくする場合などに用いられる。この場合、本実施の形態のように観察試料2の観察位置を変更するために行う上板307の滑動による微調整は、回転板306の回転によって設定した所定の角度を保ったまま行われ、観察試料2の向きが変わらないため非常に使い易い。また、観察試料2の向きは回転板306の角度で一義的に決まるので、バーニヤ目盛311で読み取った回転角度を記憶しておけば、その角度に戻すことで常に観察試料2を同じ向きで観察することが可能であり、操作性について著しい向上を図ることができる。
【0042】
従って、このように構成された倒立型金属顕微鏡によれば、金属組織試料や質量の大きな大型の試料であっても片ボケを生じにくい安定した観察像を得ることが可能で、しかも、顕微鏡ステージとして、ステージ受け301に対し心出し自在に基板302が配置され、この基板302上に回転可能な回転板306が配置され、さらに、リング状部材308を介してXY方向に移動可能な上板307が配置されるようになっていて、対物レンズ7の光軸方向のスペースを最小限に抑えたコンパクトな構成としているので、ステージの厚さ方向寸法に大きな制限を有する倒立顕微鏡に最適に組み合わせることができる。
【0043】
また、回転板306の中央の開口306aおよびリング状部材308は、いずれも開口直径が大きく構成されており、さらに上板307の下面にも観察のための小さな開口307cを中心とした広い範囲において凹部307bが形成され肉薄に構成されているため、倍率を切り換えるためにレボルバー8を回転した際に、対物レンズ7が干渉するような不都合を確実に除去することができる。
【0044】
さらに、観察試料2の観察位置の調整が、回転板306の回転によって設定した角度を保ったまま、上板307をXY方向に移動させることで、観察試料2の見たい場所を視野の中に移動させることができるので、観察試料2の向きが変わらない状態のままで、観察を続けることができ、ステージの操作性を著しく向上させることができる。
【0045】
さらに、回転板306の回転を固定するクランプ機構を設けたことにより、観察試料2の観察位置の調整を行う際に、不意に試料の向き(回転方向)が変わってしまうようなことがなくなるので、常に、安定した状態で試料観察を行うことができる。
【0046】
なお、第1の実施の形態において、ガイド部材309,310を2個づつ使用するようにしたが、それぞれ1個ずつでも構成可能である。
【0047】
なお、図3に示した移動規制部材としてのリング状部材308、一対のガイド部材309及び310の変形例を図5、及び図6を参照して説明する。なお、図6に示した変形例の場合には、回転板306及び上板307の形状が第1の実施の形態と若干異なるので、それらも併せて説明する。
【0048】
図5は、図3におけるリング状部材308と一対のガイド部材309及び310のみを変形したものを示しており、回転板306及び上板307は図3のそれと全く同一である。
【0049】
図3のリング状部材308に相当する部品として、リング状部材608が、回転板306上に配置される。
【0050】
リング状部材608には、リング状部材本体608aの一方の面に回転板306の平行なガイド溝306dに対応する片側2個づつ計4個のピン609が設けられている。
【0051】
これら4個のピン609は、図5(c)に示すように、回転板306の平行なガイド溝306dに挿入されるもので、この状態で、リング状部材608は、ガイド溝306dに沿って直線往復移動できるようになっている。
【0052】
また、リング状部材本体608aの他方の面には、後述する上板307の平行なガイド溝307eに対応する片側2個づつ計4個のピン610が設けられている。
【0053】
上板307は、下部の外周縁部に沿って回転板306の平面306cに摺動可能な突起部307aが形成され、回転板306上で2次元方向に移動可能となっているとともに、下面中央部に凹部307bが形成され、この凹部307bの中心に試料観察のための小さな開口307cが形成されている。
【0054】
また、上板307には、図5(d)に示すように、突起部307aと凹部307b周縁との間の平面307d上に、凹部307bを挟んで紙面横方向に沿った平行なガイド溝307eが設けられている。
【0055】
このような上板307は、回転板306上に配置された状態で、リング状部材本体608aの他方の面に設けられた計4個のピン610がガイド溝307eに挿入され、上板307全体がガイド溝307eに沿って直線往復移動できるようになっている。
【0056】
つまり、回転板306、リング状部材608及び上板307の関係は、回転板306に対してリング状部材608がガイド溝306dに沿ってのみ直線往復移動可能に設けられると共に、リング状部材608に対して上板307がガイド溝307eに沿ってリング状部材608の移動方向と直交する方向に直線往復可能となっている。
【0057】
以上記した図5記載の変形例では、ガイド部材309,310の代わりに、ピン609、610を用いるようにしたので、低コストで構成することが可能である。
【0058】
次に、図6は、図3における回転板306、上板307、リング状部材308及び一対のガイド部材309及び310を変形したものを示している。
【0059】
回転板706は、図6(a)に示すように、上面の外周縁部に沿って、突壁706bが形成され、また、突壁706bと開口706a周縁との間の平面706cより1段低い平面上で、開口706aの両側に紙面縦方向に沿った平行なガイド溝706dが設けられている。ガイド溝706dは、開口706aから連なって形成されているため、片側が紙面上下2箇所に分断され、両側合わせて4箇所となっている。
【0060】
回転板706上には、移動規制部材としてのリング状部材708を介して、上板707が配置されている。
【0061】
リング状部本体708aには、図6(e)に示すように、リング状部材708の下面側より、段付ピン709が4個圧入されている。
【0062】
4個の段付ピン709の下側709aは、図6(c)に示すように、回転板706の平行なガイド溝706dに挿入されるもので、この状態で、リング状部材708は、ガイド溝706dに沿って直線往復移動できるようになっている。
【0063】
4個の段付ピン709の上側709bは、後述する上板707の平行なガイド溝707eに挿入可能なように構成されている。
【0064】
上板707は、下部の外周縁部に沿って回転板706の平面706cに摺動可能な突起部707aが形成され、回転板706上で2次元方向に移動可能になっているとともに、下面中央部に凹部707bが形成され、この凹部707bの中心に試料観察のための小さな開口707cが形成されている。
【0065】
また、上板707には、図6(d)に示すように、突起部707aと凹部707b周縁との間の平面707d上に、凹部707bを挟んで、紙面横方向に沿った平行なガイド溝707eが設けられている。ガイド溝707eは片側が紙面左右2箇所に分断され、両側合わせて4箇所となっている。
【0066】
このような上板707は、回転板706上に配置された状態で、リング状部本体708aに設けられた計4個のピン709の上側709bがガイド溝707eに挿入され、上板707全体がガイド溝707eに沿って直線往復移動できるようになっている。
【0067】
つまり、回転板706、リング状部材708及び上板707の関係は、回転板706に対してリング状部材708がガイド溝706dに沿ってのみ直線往復移動可能に設けられると共に、リング状部材708に対して上板707がガイド溝707eに沿ってリング状部材708の移動方向と直交する方向に直線往復移動可能になっている。
【0068】
以上記した図6記載の変形例では、ガイド部材309、310の代わりに4個の段付ピン709を用いるようにしたので、図5記載の変形例より更に、低コストで構成することが可能である。
【0069】
その他、上板の移動を規制する方法はどのような方法を採用しても構わず、対物レンズの光軸に対して垂直な平面内におけるほぼ垂直な2軸方向(例えば、上記のようなXY方向)に上板が移動するような構成であれば良い。
【0070】
(第2の実施の形態)
次に、本発明の第2の実施形態を説明する。
【0071】
図7は、本発明が適用される顕微鏡ステージ3の概略構成を示す図で、図7(a)は顕微鏡ステージ3を上面から見た図、図7(b)は顕微鏡ステージ3の側断面図である。
【0072】
なお、図7において、ステージ受け301、基板302、心出しネジ303a、303b、プランジャー304、ラジアルベアリング305、リング状部材308、同リング状部材308に設けられたガイド部材309、310については、第1の実施の形態と同様であるので、その説明は省略する。
【0073】
この場合も、基板302に対してラジアルベアリング305を介して回転板406が設けられている。この回転板406は、基板302の中心を回転中心として回転自在に支持されている。
【0074】
回転板406上には、リング状部材308を介して上板407が配置されている。上板407は、下面の外周縁部に沿って形成される突起部407aが回転板406上の平面406cに摺動されることで、対物レンズ7の光軸に対して直交する平面内で2次元的に位置調整されるようになっている。また、リング状部材308の一方の面に互いに平行に取付けられた一対のガイド部材309が、回転板406に設けられたガイド溝406dに挿入されることによって、リング状部材308は紙面に垂直な方向に移動可能である。また、リング状部材308の他方の面に互いに平行に取付けられた一対のガイド部材310が、上板407に設けられたガイド溝407eに挿入されることによって、リング状部材308に対して上板407が紙面左右方向に移動可能になっている。
【0075】
これにより、第1の実施の形態と同様に、上板407は対物レンズ7の光軸9に対して直交する平面内で、回転板406に対して同じ角度を保ったまま2次元的に移動可能である。この場合、回転板の平面406cと、この平面406cに摺動される上板407の突起部407aとの間には、グリースなどの潤滑材が塗布され、上板407を適切な力量で滑動できるようになっているのも第1の実施の形態と同様である。
【0076】
上板407には、リング状部材308のガイド部材309の移動方向(すなわち紙面に垂直な方向)と平行に伸びた長溝407bと、リング状部材308のガイド部材310の移動方向(すなわち紙面左右方向)と平行に伸びた長溝407cが形成されている。
【0077】
回転板406には、対物レンズ7の光軸9に対して直交する平面内で、上板407を直交する2方向へ駆動するための第1および第2の駆動機構401、402が取付けられている。このうち、第1の駆動機構401は、上板407を、ガイド部材309の移動方向に駆動するもので、第2の駆動機構402は、上板407を、ガイド部材310の移動方向に駆動するものである。これら第1および第2の駆動機構401、402は、同じ構造をなすものであることから、これらを図8を用いて説明する。
【0078】
図8において、451は回転板406上に固定される固定ブロックで、この固定ブロック451には、回転可能で、かつ軸方向には移動しないように送りつまみ452が支持されている。この送りつまみ452には、送りねじ部452aが設けられている。
【0079】
送りつまみ452の送りねじ部452aには、固定ブロック451に対して一方向に駆動される可動ブロック453が設けられ、送りつまみ452の回転により可動ブロック453が直線往復駆動されるようになっている。
【0080】
固定ブロック451には、送りねじ部452aの両側対称な位置に配置される一対のガイドピン454が固定されている。これらガイドピン454は、送りつまみ452を回転させたとき、可動ブロック453全体が回転することなく直線移動できるようにするためのもので、可動ブロック453に設けられたガイド穴453aに挿通されている。この場合、これらガイドピン454の配置方向は、送りねじ部452aの軸方向と正確に合致している。また、これらガイドピン454には、固定ブロック451と可動ブロック453との間で突っ張る方向(伸長方向)に働く圧縮コイルバネ456が設けられている。これら圧縮コイルバネ456は送りつまみ452に設けられた送りねじ部452aでのガタ付きを抑制する目的で用いられている。なお、本実施の形態では、伸長方向に働く圧縮コイルバネ456としたが、逆方向に働く引張コイルバネとしてもよい。
【0081】
可動ブロック453上には、2本の係合ピン455が直立して設けられている。これら係合ピン455は、上板407に設けられた長溝407b(または長溝407c)と係合されるものである。
【0082】
このような構成において、第1の駆動機構401では、可動ブロック453に設けられた2本の係合ピン455が上板407に設けられた長溝407cに係合され、また、第2の駆動機構402では、可動ブロック453に設けられた2本の係合ピン455が上板407に設けられた長溝407bに係合される。
【0083】
この状態から、第2の駆動機構402の送りつまみ452を回転させると、可動ブロック453が紙面左右方向に駆動され、可動ブロック453に固定された2本の係合ピン455と長溝407bで係合されている上板407に対して紙面左右方向への駆動力が伝達される。
【0084】
この場合、上板407に設けられた2つのガイド溝407eの方向と可動ブロック453の駆動方向とがまったく同じ方向であるため、送りつまみ452を回転させた場合、上板407のみが紙面左右方向に駆動され、リング状部材308は駆動されず、回転板406に対して静止したままの状態である。
【0085】
この際、第1の駆動機構401の2本の係合ピン455と係合する上板407の長溝407cは、第2の駆動機構402の送りつまみ452の送りねじ部452aとまったく同じ方向に配置されているので、第2の駆動機構402の送りつまみ452を回転操作して上板407を紙面左右方向に移動させる際に、第1の駆動機構401の2本の係合ピン455と上板407の長溝407cが、その駆動の障害となることはなく、スムーズな駆動動作が可能である。
【0086】
次に、第1の駆動機構401の送りつまみ452を回転させると、可動ブロック453が図7(b)で紙面垂直方向に駆動され、可動ブロック453に固定された2本の係合ピン455と長溝407cで係合されている上板407に対して図7(b)で紙面垂直方向への駆動力が伝達される。
【0087】
この場合、上板407に設けられた2つのガイド溝407eの方向と可動ブロック453の駆動方向とが直交する方向であるため、第1の駆動機構401の送りつまみ452を回転した場合、上板407のみでなく上板407の2つのガイド溝407eに挿入されているリング状部材308側のガイド部材310とともにリング状部材308が紙面垂直方向に駆動される。
【0088】
この際、第2の駆動機構402の2本の係合ピン455と係合する上板407の長溝407bは、第1の駆動機構401の送りつまみ452の送りねじ部452aとまったく同じ方向に配置されているので、第1の駆動機構401の送りつまみ452を回転操作して上板407を図7(b)で紙面垂直方向に移動させる際に、第2の駆動機構402の2本の係合ピン455と上板407の長溝407bがその駆動の障害となることはなく、スムーズな駆動動作が可能である。
【0089】
従って、このような構成とすれば、観察試料2の観察位置の調整を行う際に、上板407の移動を第1の駆動機構401と第2の駆動機構402によってそれぞれ直交する方向に独立して調整することで行うようにし、さらに、これら第1および第2の駆動機構401、402として、送りねじ部452aを有する駆動機構を採用したため、送りつまみ452による精密かつスムーズな上板の送りが可能となり、高倍率の対物レンズを用いた観察においても、観察試料の目的とする場所を視野中心にもってくるという操作を非常に簡単に行うことができる。
【0090】
(第3の実施の形態)
次に、本発明の第3の実施形態を説明する。
【0091】
図9は、本発明が適用される顕微鏡ステージ3の概略構成を示すもので、図9(a)は顕微鏡ステージ3を上面から見た図、図9(b)は顕微鏡ステージ3の側断面図である。
【0092】
この場合、第3の実施の形態においては、上板407を駆動する第1および第2の駆動機構501、502のみが第2の実施の形態の場合と異なっており、その他の、ステージ受け301、基板302、心出しネジ303a、303b、プランジャー304、ラジアルベアリング305、回転板406、上板407、リング状部材308、同リング状部材308に設けられたガイド部材309、310については、第2の実施の形態と同様であるので、その説明は省略する。
【0093】
この場合も、回転板406には、上板407を直交する2方向へ駆動するための第1および第2の駆動機構501、502が取付けられている。このうち、第1の駆動機構501は、上板407を、ガイド部材309の移動方向に駆動し、第2の駆動機構502は、上板407を、ガイド部材310の移動方向に駆動する。これら第1および第2の駆動機構501、502は、同じ構造を有することから、これらを図10を用いて説明する。
【0094】
図10において、回転板406上に固定される固定ブロック551上には、操作ダイヤル552が回転自在に設けられている。操作ダイヤル552は、その外周縁部に沿って歯車552aが設けられている。
【0095】
また、固定ブロック551上には、回転部材としての駆動歯車553が回転自在に設けられている。この駆動歯車553は、操作ダイヤル552の歯車552aと噛み合わされている。操作ダイヤル552を回転操作すると、この回転に従って駆動歯車553が回転する。また、駆動歯車553には、回転中心から偏心した位置に駆動ピン554が設けられている。この駆動ピン554は、上板407に設けられた長溝407b(または長溝407c)と係合される。
【0096】
このように構成において、第1の駆動機構501では、駆動歯車553に設けられた駆動ピン554が上板407に設けられた長溝407cに係合され、また、第2の駆動機構502では、駆動歯車553に設けられた駆動ピン554が上板407に設けられた長溝407bに係合される。
【0097】
そして、この状態から第1および第2の駆動機構501、502の操作ダイヤル552を回転操作すると、駆動ピン554によって上板407に設けられた長溝407cおよび407bを介して上板407へ駆動力が伝達される。この時、駆動ピン554は円弧状の軌跡を描くため、上板407の長溝407bおよび407cでは駆動ピン554との接触摩擦によって溝側縁の方向に多少の力を受けるが、その摩擦力は僅かであるので、駆動ピン554による上板407の駆動力は、必ずリング状部材308に設けられたガイド部材309、310の移動方向に作用する。
【0098】
例えば、第2の駆動機構502の操作ダイヤル552を回転操作した場合、駆動ピン554からの駆動力は、上板407をガイド部材310の移動方向(すなわち紙面左右方向)に駆動させるように作用する。この場合、駆動ピン554の回転によって発生する長溝407b側縁部との摩擦力によって上板407を図9(b)で紙面垂直方向に移動させようとする力が作用するが、この時の力は回転板406に対してガイド部材309を図9(b)で紙面垂直方向に移動させるだけの大きなものでないため、上板407をガイド部材310の移動方向へのみ駆動させるようになる。
【0099】
同様に、第1の駆動機構501の操作ダイヤル552を回転操作した場合は、駆動ピン554からの駆動力は、上板407をガイド部材309の移動方向(すなわち図9(b)で紙面垂直方向)に駆動させるように作用する。
【0100】
従って、このような構成によっても、第2の実施の形態と同様な動作を得ることができ、さらに、上述した第2の実施の形態における第1および第2の駆動機構401、402よりも簡単な構成で、上板407をそれぞれ独立して直交する2方向へ駆動することが可能であり、トータルとしての顕微鏡ステージのコストも低減することができる。
【0101】
なお、上述した実施の形態では、倒立型金属顕微鏡に適用した場合について説明したが、正立型顕微鏡にも同様に適用することができる。
【0102】
図11は、以上の第1〜第3の実施の形態におけるステージを正立顕微鏡に適用した場合の概略構成を示す図である。
【0103】
ここでは、図1の倒立型金属顕微鏡に適用した場合のステージ受け301の代わりに、後述のステージ受け806が使用される。ステージ受けを除く顕微鏡ステージ部分は、図1及び図2に示した顕微鏡ステージ3と何ら変わり無い。
【0104】
図11において、参照符号801は顕微鏡本体(鏡体)、参照符号802はハロゲンランプや水銀などによる透過照明用光源である。透過照明用光源802からの光束は、鏡体801のベース部801aを通って、ベース部801aに内蔵された折り返しミラー803によって鉛直上向きに偏向される。
【0105】
鏡体の垂直部801bには焦準ハンドル804によって上下駆動される焦準ガイド805が設けられ、この焦準ガイド805にはステージ受け806を介して顕微鏡ステージ807が装着されている。顕微鏡ステージ807の上には、観察試料808が載置されている。
【0106】
ステージ受け806の下部先端には、コンデンサレンズ809が装着され、鉛直上向きの透過照明光束を観察試料808に集光照射している。
【0107】
一方、鏡体801のアーム先端801cにはレボルバー810が装着され、レボルバー810には複数の対物レンズの1つの対物レンズ811が択一的に光軸812上に配置されている。参照符号813は、鏡体801のアーム先端部801cの上に装着された偏光観察用中間鏡筒、参照符号814はこの偏光観察用中間鏡筒813の上に装着される鏡筒、参照符号815は鏡筒814に装着された接眼レンズを示している。
【0108】
観察試料808からの光束は、対物レンズ811に入射後に平行光束となって、鏡筒814に内蔵された図示しない結像レンズによって、接眼レンズ815の焦点面に結像され、観察者の目に到達して、観察者によって観察される。
【0109】
また、上述した実施の形態では、回転板上に第1の駆動機構と第2の駆動機構を装着したものと、装着しないものを別々に述べたが、第1の駆動機構と第2の駆動機構を装着したものについても、第1の駆動機構と第2の駆動機構を使用者の好みに応じて取外せば、上板に直接手を触れて操作することで上板に載置された観察試料を移動させることが可能であり、これら2通りの状態を使用者の好みにあわせて容易に選択することが可能である。また、上述した実施の形態では、移動規制部材としてリング状部材にガイド部材を設けるようにしたが、回転板と上板にそれぞれ凸状のガイド部を設けてリング状部材にはガイド溝を形成するようにしてもよい。
【0110】
また、上述した実施の形態では、回転板の回転のためにラジアルベアリング305を用いるようにしたが、基板302と回転板306,406,706との間で摺動させるようにしても良い。この場合は、間にグリースなどの潤滑材を塗布すれば、滑らかな回転が可能である。
【0111】
上記の各実施の形態から下記の発明が抽出できる。
【0112】
本発明の第1局面に係る顕微鏡ステージは、対物レンズの光軸に対して直交する平面内で位置調整可能な基板と、観察試料が載置され、且つ前記基板上で2次元方向に移動可能に設けられた上板と、前記基板と上板の間に設けられ、前記上板の移動を、前記対物レンズの光軸に対して直交する平面上の2つの方向に規制する移動規制部材とを具備することを特徴とする。
【0113】
第1の局面に係る顕微鏡ステージにおいて、下記のような実施態様が好ましい。
【0114】
(1) 前記移動規制部材は、前記平面上の第1の方向と前記平面上であって、前記第1の方向とほぼ直交する第2の方向とに、前記上板の移動を規制すること。
【0115】
(2) 対物レンズの光軸に対して直交する平面内で前記上板を直線移動させる第1の駆動機構と、前記第1の駆動機構による前記上板の直線移動方向に対して直交する方向に前記上板を直線移動させる第2の駆動機構とを更に具備すること。
【0116】
(3) (2)において、前記第1の駆動機構および前記第2の駆動機構は、固定ブロックと、前記固定ブロックに対して直線移動可能に設けられた可動体と、を具備し、前記可動体の移動に応じて前記上板を直線移動させること。
【0117】
(4) (2)において、前記第1の駆動機構および第2の駆動機構は、固定ブロックと、前記固定ブロックに対して回転可能に設けられた回転部材と、前記回転部材の回転中心から偏心した位置に設けられた駆動ピンと、を具備し、前記回転部材の回転にともなう前記駆動ピンの移動に応じて前記上板を直線移動させること。
【0118】
(5) 前記対物レンズの光軸を回転中心として回転自在に設けられた回転板を更に具備すること。
【0119】
(6) (5)において、前記回転板は、対物レンズの光軸に対して直交する平面内で前記上板を直線移動させる第1の駆動機構と、前記第1の駆動機構による前記上板の直線移動方向に対して直交する方向に前記上板を直線移動させる第2の駆動機構とを具備すること。
【0120】
(7) (6)において、前記第1の駆動機構および前記第2の駆動機構は、前記回転板に固定される固定ブロックと、前記固定ブロックに対して直線移動可能に設けられた可動体と、を具備し、前記可動体の移動に応じて前記上板を直線移動させること。
【0121】
(8) (6)において、前記第1の駆動機構および第2の駆動機構は、前記回転板に固定される固定ブロックと、前記固定ブロックに対して回転可能に設けられた回転部材と、前記回転部材の回転中心から偏心した位置に設けられた駆動ピンと、を具備し、前記回転部材の回転にともなう前記駆動ピンの移動に応じて前記上板を直線移動させること。
【0122】
(9) (5)において、前記基板は、前記回転板の回転を規制するクランプ機構を有すること。
【0123】
本発明の第2の局面に係る顕微鏡ステージは、対物レンズの光軸に対して直交する平面内で位置調整可能な基板と、前記対物レンズの光軸を回転中心として回転自在に設けられた回転板と、観察試料が載置され、且つ前記回転板上で2次元方向に移動可能に設けられた上板と、前記回転板と上板の間に設けられ、前記上板の移動を、前記対物レンズの光軸に対して直交する平面上の2つの方向に規制する移動規制部材とを具備することを特徴とする。
【0124】
第2の局面に係る顕微鏡ステージにおいて、下記のような実施態様が好ましい。
【0125】
(1) 前記移動規制部材は、前記平面上の第1の方向と前記平面上であって、前記第1の方向とほぼ直交する第2の方向とに、前記上板の移動を規制すること。
【0126】
(2) 対物レンズの光軸に対して直交する平面内で前記上板を直線移動させる第1の駆動機構と、前記第1の駆動機構による前記上板の直線移動方向に対して直交する方向に前記上板を直線移動させる第2の駆動機構とを更に具備すること。
【0127】
(3) (2)において、前記回転板は、前記第1の駆動機構と、前記第2の駆動機構とを具備すること。
【0128】
(4) (3)において、前記第1の駆動機構および前記第2の駆動機構は、前記回転板に固定される固定ブロックと、前記固定ブロックに対して直線移動可能に設けられた可動体と、を具備し、前記可動体の移動に応じて前記上板を直線移動させること。
【0129】
(5) (3)において、前記第1の駆動機構および第2の駆動機構は、前記回転板に固定される固定ブロックと、前記固定ブロックに対して回転可能に設けられた回転部材と、前記回転部材の回転中心から偏心した位置に設けられた駆動ピンと、を具備し、前記回転部材の回転にともなう前記駆動ピンの移動に応じて前記上板を直線移動させること。
【0130】
(6) 前記基板は、前記回転板の回転を規制するクランプ機構を有すること。
【0131】
本発明の第3の局面に係る顕微鏡は、対物レンズの光軸に対して直交する平面内で位置調整可能な基板と、観察試料が載置され、且つ前記基板上で2次元方向に移動可能に設けられた上板と、前記基板と上板の間に設けられ、前記上板の移動を、前記対物レンズの光軸に対して直交する平面上の2つの方向に規制する移動規制部材とを具備する顕微鏡ステージを搭載したことを特徴とする。
【0132】
本発明の第4の局面に係る顕微鏡は、対物レンズの光軸に対して直交する平面内で位置調整可能な基板と、前記対物レンズの光軸を回転中心として回転自在に設けられた回転板と、観察試料が載置され、且つ前記回転板上で2次元方向に移動可能に設けられた上板と、前記回転板と上板の間に設けられ、前記上板の移動を、前記対物レンズの光軸に対して直交する平面上の2つの方向に規制する移動規制部材とを具備する顕微鏡ステージを搭載したことを特徴とする。
【0133】
本発明の1局面に係る顕微鏡ステージによれば、顕微鏡光学系に対する観察試料の角度を回転板を回転させることによって設定し、回転板で設定した角度を保ったまま上板を移動させることができるので、観察試料の見たい場所を視野の中に簡単に移動させることができる。
【0134】
また、本発明の1局面に係る顕微鏡ステージによれば、観察試料の観察位置の調整を行う際に、上板の移動を第1の駆動機構と第2の駆動機構によってそれぞれ直交する方向に独立して調整することができ、この場合、固定ブロックに設けられた可動体の直線移動量または回転部材の回転量に応じて精密かつスムーズな上板の送りが可能にできる。
【0135】
さらに、本発明の1局面に係る顕微鏡ステージによれば、基板に対して回転板が回転しないように固定するクランプ機構を設けたので、観察試料を見たい場所に位置決めする際に、観察試料の角度が不意に変わらないよう回転板を固定したうえで、回転板に対して上板を移動させることが可能である。
【0136】
さらに、本発明の1局面に係る顕微鏡ステージを搭載した顕微鏡によれば、金属組織試料や質量の大きな大型の試料であっても片ボケを生じにくい安定した観察像を得ることが可能で、しかも、顕微鏡ステージは、対物レンズの光軸方向のスペースを最小限に抑えたコンパクトな構成としていることで、ステージの厚さ方向寸法に大きな制限のある倒立顕微鏡に最適に組み合わせることができる。また、顕微鏡ステージは、中央に大きな開口部を設けるようにしているので、対物レンズを切り換える際にステージ中央部に大きな逃げを必要とする倒立型顕微鏡についても最適に組み合わせて用いることができる。
【0137】
その他、本発明は、上記実施の形態に限定されるものでなく、実施段階では、その要旨を変更しない範囲で種々変形することが可能である。
【0138】
さらに、上記実施の形態には、種々の段階の発明が含まれており、開示されている複数の構成要件における適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出できる。例えば、実施の形態に示されている全構成要件から幾つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題を解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出できる。
【0139】
【発明の効果】
以上述べたように本発明の実施の形態によれば、正立型顕微鏡、倒立型顕微鏡を問わず、金属組織資料や質量の大きな大型の試料であっても片ボケを生じにくい安定した観察像を得ることが可能で、かつステージの下面に大きな開口スペースを必要とする倒立顕微鏡にも組み合わせることが可能なコンパクトな形状を有し、しかも観察試料の任意の位置を回転中心付近に移動可能にした顕微鏡ステージおよびこの顕微鏡ステージを搭載した顕微鏡を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態の倒立型金属顕微鏡の概略構成を示す図。
【図2】第1の実施の形態が適用される顕微鏡ステージの概略構成を示す図。
【図3】第1の実施の形態に用いられる回転板、リング状部材および上板の構成を説明するための図。
【図4】第1の実施の形態に用いられる回転クランプ機構の概略構成を示す図。
【図5】第1の実施の形態の変形例を示す図。
【図6】第1の実施の形態の他の変形例を示す図。
【図7】本発明の第2の実施の形態が適用される顕微鏡ステージの概略構成を示す図。
【図8】第2の実施の形態に用いられる第1および第2の駆動機構の概略構成を示す図。
【図9】本発明の第3の実施の形態が適用される顕微鏡ステージの概略構成を示す図。
【図10】第3の実施の形態に用いられる第1および第2の駆動機構の概略構成を示す図。
【図11】本発明の各実施の形態における顕微鏡ステージを正立顕微鏡に適用した場合の概略構成を示す図。
【符号の説明】
1…顕微鏡本体(鏡体)、1a…前側固定部、1b…後側固定部、2…観察試料、3…顕微鏡ステージ、4…落射照明光源、5…投光管、6…ミラーユニット部、6a…ハーフミラー、7…対物レンズ、8…レボルバー、9…光軸、10…結像レンズ、11…反射ミラー、12…観察鏡筒、13…接眼レンズ、14…焦準ハンドル、301…ステージ受け、301a…開口、301b…肉厚部、301c、301d…取付面、301g…平面部、302…基板、302a…開口、302b…テーパ部、303a、303b…心出しネジ、304…プランジャー、305…ラジアルベアリング、305a…外輪、305b…内輪、306a…開口、306…回転板、306b…突壁、306c…平面、306d…ガイド溝、306e…薄肉部、307…上板、307e…ガイド溝、307a…突起部、307b…凹部、307c…開口、307d…平面、308…リング状部材、308a…リング状部本体、309…ガイド部材、310…ガイド部材、311…バーニヤ目盛、313…目盛台、313a…ピン、314…クランプ台、314a…長溝、314b…突壁、314c…長孔、314d…ネジ部、315…クランプ軸、316…クランプピン、321…ボルト、322…固定環、323…固定環、401…第1の駆動機構、402…第2の駆動機構、406…回転板、406c…平面、406d…ガイド溝、407…上板、407a…突起部、407e…ガイド溝、407b…長溝、407c…長溝、451…固定ブロック、452…送りつまみ、452a…送りねじ部、453…可動ブロック、453a…ガイド穴、454…ガイドピン、455…係合ピン、456…圧縮コイルバネ、501…第1の駆動機構、502…第2の駆動機構、551…固定ブロック、552…操作ダイヤル、552a…歯車、553…駆動歯車、554…駆動ピン、608…リング状部材、608a…リング状部材本体、609…ピン、610…ピン、706…回転板、706b…突壁、706a…開口、706c…平面、706d…ガイド溝、707…上板、707e…ガイド溝、707a…突起部、707b…凹部、707c…開口、707d…平面、708…リング状部材、708a…リング状部本体、709…段付ピン、709a…下側、709b…上側、801…鏡体、801a…ベース部、801b…垂直部、801c…アーム先端部、802…透過照明用光源、803…ミラー、804…焦準ハンドル、805…焦準ガイド、807…顕微鏡ステージ、808…観察試料、809…コンデンサレンズ、810…レボルバー、811…対物レンズ、812…光軸、813…偏光観察用中間鏡筒、814…鏡筒、815…接眼レンズ。
Claims (19)
- 対物レンズの光軸に対して直交する平面内で位置調整可能な基板と、
観察試料が載置され、且つ前記基板上で2次元方向に移動可能に設けられた上板と、
前記基板と上板の間に設けられ、前記上板の移動を、前記対物レンズの光軸に対して直交する平面上の2つの方向に規制する移動規制部材とを具備することを特徴とする顕微鏡ステージ。 - 請求項1に記載の顕微鏡ステージにおいて、前記移動規制部材は、前記平面上の第1の方向と前記平面上であって、前記第1の方向とほぼ直交する第2の方向とに、前記上板の移動を規制することを特徴とする顕微鏡ステージ。
- 請求項1に記載の顕微鏡ステージにおいて、
対物レンズの光軸に対して直交する平面内で前記上板を直線移動させる第1の駆動機構と、
前記第1の駆動機構による前記上板の直線移動方向に対して直交する方向に前記上板を直線移動させる第2の駆動機構とを更に具備することを特徴とする顕微鏡ステージ。 - 請求項3に記載の顕微鏡ステージにおいて、前記第1の駆動機構および前記第2の駆動機構は、
固定ブロックと、
前記固定ブロックに対して直線移動可能に設けられた可動体と、を具備し、
前記可動体の移動に応じて前記上板を直線移動させることを特徴とする顕微鏡ステージ。 - 請求項3に記載の顕微鏡ステージにおいて、前記第1の駆動機構および第2の駆動機構は、
固定ブロックと、
前記固定ブロックに対して回転可能に設けられた回転部材と、
前記回転部材の回転中心から偏心した位置に設けられた駆動ピンと、を具備し、
前記回転部材の回転にともなう前記駆動ピンの移動に応じて前記上板を直線移動させることを特徴とする顕微鏡ステージ。 - 請求項1に記載の顕微鏡ステージにおいて、前記対物レンズの光軸を回転中心として回転自在に設けられた回転板を更に具備することを特徴とする顕微鏡ステージ。
- 請求項6に記載の顕微鏡ステージにおいて、前記回転板は、対物レンズの光軸に対して直交する平面内で前記上板を直線移動させる第1の駆動機構と、
前記第1の駆動機構による前記上板の直線移動方向に対して直交する方向に前記上板を直線移動させる第2の駆動機構とを具備することを特徴とする顕微鏡ステージ。 - 請求項7に記載の顕微鏡ステージにおいて、前記第1の駆動機構および前記第2の駆動機構は、
前記回転板に固定される固定ブロックと、
前記固定ブロックに対して直線移動可能に設けられた可動体と、を具備し、
前記可動体の移動に応じて前記上板を直線移動させることを特徴とする顕微鏡ステージ。 - 請求項7に記載の顕微鏡ステージにおいて、前記第1の駆動機構および第2の駆動機構は、
前記回転板に固定される固定ブロックと、
前記固定ブロックに対して回転可能に設けられた回転部材と、
前記回転部材の回転中心から偏心した位置に設けられた駆動ピンと、を具備し、
前記回転部材の回転にともなう前記駆動ピンの移動に応じて前記上板を直線移動させることを特徴とする顕微鏡ステージ。 - 請求項6に記載の顕微鏡ステージにおいて、前記基板は、前記回転板の回転を規制するクランプ機構を有することを特徴とする顕微鏡ステージ。
- 対物レンズの光軸に対して直交する平面内で位置調整可能な基板と、
前記対物レンズの光軸を回転中心として回転自在に設けられた回転板と、
観察試料が載置され、且つ前記回転板上で2次元方向に移動可能に設けられた上板と、
前記回転板と上板の間に設けられ、前記上板の移動を、前記対物レンズの光軸に対して直交する平面上の2つの方向に規制する移動規制部材とを具備することを特徴とする顕微鏡ステージ。 - 請求項11に記載の顕微鏡ステージにおいて、前記移動規制部材は、前記平面上の第1の方向と前記平面上であって、前記第1の方向とほぼ直交する第2の方向とに、前記上板の移動を規制することを特徴とする顕微鏡ステージ。
- 請求項11に記載の顕微鏡ステージにおいて、
対物レンズの光軸に対して直交する平面内で前記上板を直線移動させる第1の駆動機構と、
前記第1の駆動機構による前記上板の直線移動方向に対して直交する方向に前記上板を直線移動させる第2の駆動機構とを更に具備することを特徴とする顕微鏡ステージ。 - 請求項13に記載の顕微鏡ステージにおいて、前記回転板は、前記第1の駆動機構と、前記第2の駆動機構とを具備することを特徴とする顕微鏡ステージ。
- 請求項14に記載の顕微鏡ステージにおいて、前記第1の駆動機構および前記第2の駆動機構は、
前記回転板に固定される固定ブロックと、
前記固定ブロックに対して直線移動可能に設けられた可動体と、を具備し、
前記可動体の移動に応じて前記上板を直線移動させることを特徴とする顕微鏡ステージ。 - 請求項14に記載の顕微鏡ステージにおいて、前記第1の駆動機構および第2の駆動機構は、
前記回転板に固定される固定ブロックと、
前記固定ブロックに対して回転可能に設けられた回転部材と、
前記回転部材の回転中心から偏心した位置に設けられた駆動ピンと、を具備し、
前記回転部材の回転にともなう前記駆動ピンの移動に応じて前記上板を直線移動させることを特徴とする顕微鏡ステージ。 - 請求項11に記載の顕微鏡ステージにおいて、前記基板は、前記回転板の回転を規制するクランプ機構を有することを特徴とする顕微鏡ステージ。
- 対物レンズの光軸に対して直交する平面内で位置調整可能な基板と、観察試料が載置され、且つ前記基板上で2次元方向に移動可能に設けられた上板と、前記基板と上板の間に設けられ、前記上板の移動を、前記対物レンズの光軸に対して直交する平面上の2つの方向に規制する移動規制部材とを具備する顕微鏡ステージを搭載したことを特徴とする顕微鏡。
- 対物レンズの光軸に対して直交する平面内で位置調整可能な基板と、前記対物レンズの光軸を回転中心として回転自在に設けられた回転板と、観察試料が載置され、且つ前記回転板上で2次元方向に移動可能に設けられた上板と、前記回転板と上板の間に設けられ、前記上板の移動を、前記対物レンズの光軸に対して直交する平面上の2つの方向に規制する移動規制部材とを具備する顕微鏡ステージを搭載したことを特徴とする顕微鏡。
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Applications Claiming Priority (2)
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JP2002089471 | 2002-03-27 | ||
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2004004677A true JP2004004677A (ja) | 2004-01-08 |
JP2004004677A5 JP2004004677A5 (ja) | 2006-05-11 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2003086211A Pending JP2004004677A (ja) | 2002-03-27 | 2003-03-26 | 顕微鏡ステージおよびこの顕微鏡ステージを搭載した顕微鏡 |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013025047A (ja) * | 2011-07-20 | 2013-02-04 | Olympus Corp | 標本保持部材、顕微鏡ステージおよび顕微鏡ステージユニット |
JP2013054176A (ja) * | 2011-09-02 | 2013-03-21 | Nikon Corp | 顕微鏡 |
CN111678904A (zh) * | 2020-06-11 | 2020-09-18 | 福建医科大学附属第一医院 | 一种脑胶质瘤边界确定装置 |
-
2003
- 2003-03-26 JP JP2003086211A patent/JP2004004677A/ja active Pending
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JP2013054176A (ja) * | 2011-09-02 | 2013-03-21 | Nikon Corp | 顕微鏡 |
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