JP2003533838A

JP2003533838A - 反転ディスクドライブ及び同ディスクドライブのためのヘッドサスペンション

Info

Publication number: JP2003533838A
Application number: JP2001584418A
Authority: JP
Inventors: マイケルダブリュ．デービス; ウェイドエー．リナーツ; レイモンドアール．ウォルター; ロバートビー．エヴァンス; トッドエー．クリンケ
Original assignee: ハッチンソンテクノロジーインコーポレーティッド
Priority date: 2000-05-18
Filing date: 2001-05-15
Publication date: 2003-11-11
Also published as: WO2001088906A3; WO2001088906A2

Abstract

(57)【要約】反転ディスクドライブの場合のヘッドサスペンションに関する。ヘッドサスペンションは、近接端に取り付け領域と、遠心端に剛性領域と、取り付け領域と剛性領域との間にスプリング領域を有するロードビームを含む。フレクシャが、剛性領域の遠心端に取り付けられる。スライダが、フレクシャに取り付けられる。スライダは、ロードビームの近接端に隣接する近接端を有する。１つ以上の読み取り／書き込みヘッドが、スライダの近接端に位置している。ヘッドサスペンションは、１つ以上の空気流減衰器、マイクロアクチュエータ及び／又は逆ジンバルを含むことができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の分野】

本発明は、データ記憶装置における反転ディスク及び反転ディスクにおいて読
み取り／書き込みヘッドを支持するためのヘッドサスペンションに関する。読み
取り／書き込みヘッドがディスクに関して生じる空気流に対してヘッドサスペン
ションの剛性領域の上流にあるため、ディスクを回転することによって、当業界
の現状より空気流によって生じる振動を低減する。一定のフレクシャ及び電気接
続によって、従来の読み取り／書き込みヘッドを本反転ディスクドライブにおい
て利用することができる。下流の減衰器の配置によって、空気流によって生じる
振動をさらに低減することができる。

【０００２】

【関連技術の説明】

大部分のパーソナルコンピュータシステムは、今日、データ記憶のために、直
接アクセス記憶装置（ＤＡＳＤ）又は固定ディスクドライブを用いる。図１に示
されるなどの従来のディスクドライブ２０は、方向２４の回転用のスピンドルに
取り付けられた複数の磁性材料塗布記録用ディスク２６を含み、フレクシャ４２
が空気流２３に関してロードビーム４０の下流にある。別法として、フレクシャ
４２がロードビーム４０の下流であるようにヘッドサスペンション３２が方向付
けられるという条件であれば、図１に示された方向とは反対の方向にも移動する
空気流２３によって、２４とは反対の方向にディスク２６を回転してもよい。

【０００３】ディスク２６は、複数のディスク特徴物を具備している。本願明細書で用いら
れるとき、「ディスク特徴物」とは、塗布されたディスクの個別の磁気特性又は
光学特性に関連する。ディスク２６の数及び磁気材料コーティングの組成は、部
分的にディスクドライブ２０のデータ記憶容量を決定する。回転ディスク２６の
外縁に隣接した位置に、それぞれがディスク２６の上に片持ち梁方式で延在する
１つ以上のヘッドサスペンション３２を支持している複数のアクチュエータアー
ム３０を有するＥ−ブロック２８がある。

【０００４】図２は、図１の回転ディスク２６の上でヘッドスライド３４を支持し、正確に
方向付けるために用いられるヘッドサスペンション３２をさらに詳細に示してい
る。このために、米国特許第５，９２０，４４４号（Ｈｅｅｒｅｎら）に開示さ
れているようなさまざまなヘッドサスペンションを用いることができる。ヘッド
サスペンション３２は、長手軸３６を具備し、ベースプレート３８、ロードビー
ム４０及びフレクシャ４２から構成されている。ベースプレート３８は、ロード
ビーム４０の近接端４４に取り付けられ、ヘッドサスペンション３２をディスク
ドライブ２０のアクチュエータ３０に装着するために用いられる。スライダ３４
が、フレクシャ４２に取り付けられ、記憶装置２０のディスク２６がヘッドスラ
イダ３４の下で回転するとき、空気軸受がスライダ３４と回転ディスク２６との
間に形成され、ヘッドスライダ３４に揚力を生じる。この揚力は、ヘッドサスペ
ンション３２のロードビーム４０によって生成されるばね力によって相殺され、
そのため、「フライ高さ」と呼ばれるディスク上のアライメントでスライダ３４
を位置調整する。フレクシャ４２は、回転ディスクによって形成される空気軸受
における小さな変動に応じてヘッドスライダ３４を水平に保つことができるよう
にするために必要なコンプライアンスを提供する。

【０００５】ヘッドサスペンション３２のロードビーム４０は、近接端４４にアクチュエー
タ取り付け領域４６、遠心端５０に隣接するロード領域４８、アクチュエータ取
り付け領域４６に隣接した位置に弾性スプリング領域５２、スプリング領域５２
とロード領域４８との間に延在する剛性領域５４を有する。弾性スプリング領域
５２は、ヘッドスライダ３４で作用する空気軸受の揚力を相殺する所定のばね力
を生成する。この目的のために、スプリング領域５２は、スプリング領域５２に
よって生成されるバネ力を制御するために、開口部５３を含むことができる。剛
性領域５４は、ばね力をロードビーム４０のロード領域４８に伝達する。ロード
ポイントディンプル（図示せず）が、ロード領域４８に形成され、スプリング領
域５２によって生成されるばね力をフレクシャ４２及びヘッドスライダ３４に伝
達するために、フレクシャ４２に接触している。別法として、ロードビーム４０
のロード領域４８に向かって延在し、ロード領域４８に接触するために、ロード
ポイントディンプルをフレクシャ４２に形成することができる。

【０００６】フレクシャ４２は、個別の構成要素として形成され、遠心端５０付近のロード
ビーム４０に取り付けられる。フレクシャ４２は、ジンバル領域５６及びロード
ビーム取り付け領域５８を含む。ロードビーム取り付け領域５８は剛性領域５４
の一部と重なり、スポット溶接などの従来の手段によって剛性領域５４の一部に
取り付けられる。フレクシャ４２のジンバル領域５６は、回転ディスクによって
形成される空気軸受における変動に応じて、ロードポイントディンプルを中心に
した縦揺れ及び横揺れの両方向においてヘッドスライダ３４を水平に保つことが
できる。この目的のために、ジンバル領域５６は、ヘッドスライダ３４が取り付
けられるスライダ取り付け面を備えた片持ち梁６０を有する。片持ち梁６０が、
それぞれの端部でフレクシャ４２の第１及び第２のアーム６４ａ，６４ｂに接続
されているクロスピース６２に取り付けられる。片持ち梁６０は、フレクシャ４
２の残りの部分に関して縦揺れ及び横揺れの方向に弾力的に移動可能であるため
、ヘッドスライダ３４を水平に保つことができる。ロードビーム４０のスプリン
グ領域５２によって生成されるばね力をヘッドスライダ３４に伝達し、さらに、
ヘッドスライダ３４及び片持ち梁６０が水平を保つことができる点を形成するた
めに、（ロード領域４８に形成されるとき、）ロードポイントディンプルは、片
持ち梁６０のスライダ取り付け面に対向する面に接触する。動的記憶装置におい
て、光学又は磁気の読み取り／書き込みヘッド６６は、スライダ３４の後縁６８
上で支持される。後縁６８は、ディスク２６が回転する方向２４に関して定義さ
れる。

【０００７】固定ディスクドライブの場合のさらに広い面密度及びさらに高速のデータ転送
速度の連続的な傾向は、サスペンション気擦性能をさらに必要とする。面密度を
増大するための１つの方法は、トラックミスレジストレーションの低減を必要と
する１インチ当りのトラック数（ＴＰＩ）を増大させることである。気擦によっ
て生じるオフトラックに対するサスペンションの寄与が、さらに厳しいトラック
ミスレジストレーション要件の中で維持されなければならない。データ転送速度
を増大し、待ち時間を削減するための１つの対処法は、ディスクの毎分回転数（
ＲＰＭ）を増大することである。ディスクのＲＰＭがさらに増大すると、風エネ
ルギーが増大するため、サスペンション気擦性能に望ましくない影響を及ぼす可
能性がある。たとえば、異なるＲＰＭで２つの同一のドライブを回転させる場合
には、高い方のＲＰＭドライブが、ディスクが増大することによりトラックミス
レジストレーションが高くなるため、より多くの風エネルギーを生成することに
なる。固定ディスクドライブの連続傾向を満たすために、さらに厳しいトラック
ミスレジストレーションは、増大するディスク速度のために生じる気擦エネルギ
ーのレベルの増大を受ける場合には、気擦によって生じるオフトラックが減少す
るようなサスペンションを必要とすると推測される。

【０００８】オフトラックを生じるサスペンションの気擦を決定する相互作用は、３つの異
なる変数、すなわちソースエネルギー、エネルギー抽出、伝達関数から導出する
ことができる。気擦によるオフトラックは、高速回転ディスクから生じるソース
エネルギーのために生じる。Ｅ−ブロック及び他のドライブフレクシャの乱流も
、ソースエネルギーが一因である。ソースエネルギーの大きさ及び影響を表す１
つの方法は、ベルヌーイの式を用いる。任意の所与のシステムの場合には、オフ
トラックは動圧に関連すると仮定すると、ソースエネルギー⇒圧力_{Ｄｙｎａｍｉｃ}＝１／２・流体の密度・（速度）^２である。流体の密度及び流体の速度は、主要因子であり、速度の場合は二乗の影
響を受ける。所与のサスペンションの場合には、動圧の増大は、気擦オフトラッ
クの増大を生じる（他は一定のままであるが、ソースエネルギーは増大する）と
推測される。気擦に関して、理想的な場合とは、できる限り低速で回転するディ
スクを備え、生じる乱流を最小にすることである。

【０００９】第２の変数は、ソースからのエネルギーを抽出するサスペンションの効率であ
る。異なるサスペンション設計によって、部品長さ、表面積、レール高さ、ヘッ
ドリフトの特徴などに応じて、所与のソースから異なる量のエネルギーを抽出す
る。第３の変数は、サスペンションの伝達関数である。一定量の風エネルギーが
サスペンションの中に吸収された後、オフトラックを摺動させるためにどれだけ
サスペンションを平行移動するかを伝達関数が表す。すべてのサスペンションモ
ードに関して、伝達関数は、入力に対する出力の所与の比を表す。理想的な目的
は、できる限りゼロに近い比を有することによって、できる限り出力を最小にす
ることである。

【００１０】図１に戻ると、ディスク２６の回転によって、ディスクドライブ２０の中に空
気流２３が発生する。アクチュエータアーム３０及びＥ−ブロック２８は、ヘッ
ドサスペンション３２に空気流２３を向ける。空気流２３は、初めにＥ−ブロッ
ク２８及びアクチュエータアーム３０に遭遇し、ヘッドサスペンション３２及び
フレクシャ４２はこの障害物の下流に位置する。したがって、ヘッドサスペンシ
ョン３２は、Ｅ−ブロックのウェークに位置する。Ｅ−ブロック２８及び／又は
アクチュエータアーム３０によって生成される任意の乱流は、下流に伝搬し、ヘ
ッドサスペンション３２に衝突する可能性がある。Ｅ−ブロック２８及びアクチ
ュエータアーム３０は、多くの空気流２３をヘッドサスペンション３２に向ける
ようにするための漏斗として作用する。質量の流れの保存によれば、流れ領域の
断面積が限定されるようになるとき、流体密度及び／又は速度は、さらに小さな
断面積を占めるために増大しなければならない。これらの値の増大によって、ヘ
ッドサスペンション３２に作用する動圧の大きさが増大するため、気擦によって
生じるサスペンションオフトラックが増加する。

【００１１】

【発明の概要】

本発明は、反転ディスクドライブディスクドライブのためのヘッドサスペンシ
ョンに関する。ヘッドサスペンションは、近接端に取り付け領域と、遠心端に剛
性領域と、取り付け領域と剛性領域との間にスプリング領域を有するロードビー
ムを含む。フレクシャが、剛性領域の遠心端に取り付けられる。スライダが、フ
レクシャに取り付けられる。スライダは、ロードビームの近接端に隣接する近接
端を有し、ロードビームにおいてスプリング領域、剛性領域、フレクシャ及びス
ライダは、活性部分を具備する。１つ以上の読み取り／書き込みヘッドが、スラ
イダの近接端に位置している。

【００１２】別の実施形態において、ヘッドサスペンションは、近接端に取り付け領域と、
遠心端に剛性領域と、取り付け領域と剛性領域との間にスプリング領域を有する
ロードビームを含む。フレクシャが、剛性領域の遠心端に取り付けられる。スラ
イダが、フレクシャに取り付けられる。スライダは、１つ以上の読み取り／書き
込みヘッドを備え、スプリング領域、剛性領域、フレクシャ及びスライダは、活
性部分を具備する。ヘッドサスペンションは、トラッキング制御信号に応じて、
スライダを移動するようになされた１つ以上のマイクロアクチュエータを具備す
る。

【００１３】さらに別の実施形態において、ヘッドサスペンションは、近接端に取り付け領
域と、遠心端に剛性領域と、取り付け領域と剛性領域との間にスプリング領域を
有するロードビームを含む。フレクシャが、剛性領域の遠心端に取り付けられる
。スライダが、フレクシャに取り付けられる。スライダは、１つ以上の読み取り
／書き込みヘッドを備え、スプリング領域、剛性領域、フレクシャ及びスライダ
は、活性部分を具備する。ヘッドサスペンションは、活性部分から下流に位置す
る１つ以上の空気流減衰器を具備する。

【００１４】フレクシャは随意に、逆ジンバルであってもよい。本願明細書に開示されてい
る任意の実施形態は、活性部分から下流に位置する１つ以上の空気流減衰器を具
備することができる。空気流減衰器は一般に、取り付け領域の１つ又はアンアマ
ウント（ｕｎａｍｏｕｎｔ）アームの不活性部分に位置する。空気流減衰器は随
意に、取り付け領域と一体形成される。空気流減衰器は随意に、ヘッドサスペン
ションの１つ以上の側面、上面又は底面に沿って延在してもよい。一実施形態に
おいて、空気流減衰器は、フレクシャ及び／又は活性部分に隣接する位置に、空
気流の速度を減速させる領域を形成するのに適応した形状を含む。

【００１５】本発明はまた、反転ディスクドライブに関する。反転ディスクドライブは、１
つ以上のディスク及び本願明細書で説明される１つ以上のヘッドサスペンション
を具備する。空気流減衰器が、アクチュエータアームの活性部分から下流に位置
してもよい。

【００１６】本発明のさらなる目的及び特徴は、以下の本発明の好ましい実施形態の詳細な
説明及び図面において説明される。

【００１７】［発明の詳細な説明］図３は、本発明によるヘッドサスペンション７６を有する磁気ディスクスタッ
ク７２及びヘッドスタックアセンブリ７４を具備する反転ディスクドライブ７０
を示している。本願明細書で用いられるとき、「反転ディスクドライブ」とは、
サスペンションアームを通過する前に、ディスク特徴物が読み取り／書き込みヘ
ッドを通過するような方向にディスクが回転されるディスクドライブを表す。反
転ディスクドライブにおいて、ヘッドサスペンションの最も遠い方の端は、ディ
スクの回転によって生じる空気流の中に引き込まれる。

【００１８】ディスクスタック７２は、ドライブモータによる回転用のスピンドルに取り付
けられる１つ以上の離隔したディスク７８（２つのディスクが図３には示されて
いる）を具備する。ヘッドスタックアセンブリ（又はＥ−ブロック）７４は、ア
クチュエータシャフト８２に取り付けられる近接端を有する複数のアクチュエー
タアーム８０を含む。ヘッドサスペンションアセンブリ７６の近接端は、スエー
ジボス８４を用いるなどの従来の方法で、アクチュエータアーム８０の遠心端に
取り付けられる。フレクシャ８８は、ロードビーム９４の固定部分９１の遠心端
に位置する。磁気読み取り／書き込みヘッドを有するスライダ８６は、それぞれ
のヘッドサスペンションアセンブリ７６のフレクシャ８８に取り付けられる。ス
プリング領域９６は、ディスク７８に対してスライダ８６を偏らせる。スライダ
８６と、ディスク面に隣接する磁気ヘッドと、を配置するために、アクチュエー
タアーム８０に取り付けられるサスペンション７６がディスク７８の間に延在す
るように、アクチュエータアーム８０は、スペーサ９０によって互いに離間され
ている。

【００１９】ディスクドライブが駆動している間、ディスク７８は、１分当り数千回転（Ｒ
ＰＭ）で方向９２に回転する。したがって、ヘッドサスペンション７６の活性部
分９９が空気流９８に引き込まれる。本願明細書で用いられるとき、「活性部分
」とは、スプリング領域と、剛性領域及びフレクシャを含むヘッドサスペンショ
ンの遠い方のすべての部分を指す。

【００２０】図３に示される反転ディスクドライブ７０において、フレクシャ８８及びスラ
イダ８６は、標準的な流れの状態（図１参照）より空気流９８のさらに大きな層
流かつ低速の領域に位置する。空気流９８は、ロードビーム９４からスプリング
領域９６へと下方に伝搬し、最後にアクチュエータアーム８０を通過する。空気
流９８は、アクチュエータアーム８０を通過直後に最大のエネルギーを有する。
アクチュエータアーム８０を通過した後、再びヘッドサスペンション７６の活性
部分９９に衝突する前に分散する乱流のため、空気流９８は、ディスク７８の１
回転のうち約４分の３である。本反転ディスクドライブ７０は、従来のディスク
ドライブ（図１参照）に生じるようなアクチュエータアーム８０の下流で直ちに
得られる高いエネルギーの空気流に、フレクシャ８８及びスライダ８６を曝すこ
とはない。本願明細書で用いられるとき、「下流」は、ディスクドライブにおけ
るディスクの回転によって生成される空気流に関連する。

【００２１】図３Ａは、別の反転ディスクドライブを示し、アクチュエータアーム８０及び
ヘッドサスペンションアセンブリ７６の代わりに、アンアマウントアーム７６Ａ
と呼ばれる単独構造物が設けられている。アンアマウントアーム７６Ａは一般に
、アクチュエータコラム９３Ａに直接取り付けられる。アンアマウントアーム７
６Ａの部分８０Ａは、空気流によって生じる振動に強いヘッドサスペンション７
６の相当強固な不活性部分を含む。スプリング領域９６Ａ、剛性領域９１Ａ及び
フレクシャ８８Ａは、図３Ａのヘッドサスペンションアセンブリ７６Ａにおける
活性部分９９Ａを含む。ディスク７８Ａは、方向９２Ａにスピンドル９５Ａを中
心にして回転する。空気流９８Ａが初めにフレクシャ８８Ａに遭遇し、次に剛性
領域９１Ａ、スプリング領域９６Ａ、部分８０Ａと下方に伝搬する。上述したよ
うに、活性部分９９Ａは、空気流９８Ａに引き込まれる。一実施形態において、
以下に説明するように、不活性部分８０Ａは、空気流減衰器９７Ａを含む。

【００２２】図４〜９は、本反転ディスクドライブで用いるのに適したさまざまなヘッドジ
ンバルアセンブリに関する。

【００２３】図４は、回転ディスク１２６（図３参照）の上方にヘッドスライダ１３４を支
持し、正確に方向付けるために用いられるヘッドサスペンション１３２の一実施
形態を示している。ヘッドサスペンション１３２は、長手軸１３６を有し、ベー
スプレート１３８、ロードビーム１４０及びフレクシャ１４２から構成される。
ベースプレート１３８は、ロードビーム１４０の近接端１４４に取り付けられ、
ヘッドサスペンション１３２の取り付け領域１４６をディスクドライブ１２０の
アクチュエータ１３０に装着するために用いられる。スライダ１３４は、フレク
シャ１４２に取り付けられ、記憶装置１２０のディスク１２６がヘッドスライダ
１３４の下で回転するとき、空気軸受が、スライダ１３４と回転ディスク１２６
との間に形成され、ヘッドスライダ１３４の上に揚力を生成する。この揚力は、
ヘッドサスペンション１３２のロードビーム１４０によって生成されるばね力に
よって相殺されるため、「フライ高さ」と呼ばれるディスク上のアライメントに
スライダ１３４を配置する。フレクシャ１４２は、回転ディスク１２６によって
形成される空気軸受における小さな変動に応じてヘッドスライダ１３４を水平に
保つことができるようにするために必要なコンプライアンスを提供する。

【００２４】フレクシャ１４２は、ジンバル領域１５６及びロードビーム取り付け領域１５
８を含む。ロードビーム取り付け領域１５８は、剛性領域１５４の一部と重なり
、スポット溶接などの従来の手段によって剛性領域１５４の一部に取り付けられ
る。フレクシャ１４２のジンバル領域１５６は、回転ディスクによって形成され
る空気軸受における変動に応じて、ロードポイントディンプルを中心にした縦揺
れ及び横揺れの両方向においてヘッドスライダ１３４を水平に保つことができる
。

【００２５】この目的のために、ジンバル領域１５６は、ヘッドスライダ１３４が取り付け
られるスライダ取り付け面を備えた片持ち梁１６０を有する。片持ち梁１６０が
、それぞれの端部でフレクシャ１４２の第１及び第２のアーム１６４ａ，１６４
ｂに接続されているクロスピース１６２に取り付けられる。片持ち梁１６０は、
フレクシャ１４２の残りの部分に関して縦揺れ及び横揺れの方向に弾力的に移動
可能であるため、ヘッドスライダ１３４を水平に保つことができる。ロードビー
ム１４０のスプリング領域１５２によって生成されるばね力をヘッドスライダ１
３４に伝達し、さらに、ヘッドスライダ１３４及び片持ち梁１６０が水平を保つ
ことができる点を形成するために、（ロード領域１４８に形成されるとき、）ロ
ードポイントディンプルは、片持ち梁１６０のスライダ取り付け面に対向する面
に接触する。

【００２６】光学又は磁気の読み取り／書き込みヘッド１６６は、スライダ１３４の後縁１
６８上で支持されることが好ましい。後縁又は下流縁１６８は、図３に示される
空気流９８に関連して定義される。ディスク７２が図１に示されている方向と逆
方向に回転するため、後縁１６８は、近接端１４４に最も近いスライダ１３４の
縁である。反転ディスクドライブにおいて用いられるとき、スライダ１３４の後
縁１６８に読み取り／書き込みヘッド１６６を配置することにより、ヘッドサス
ペンション１３２のフライング特性を維持する。一実施形態において、スライダ
１３４は１８０°回転する従来のスライダであるため、読み取り／書き込みヘッ
ド１６６が示されているような方向を指す。

【００２７】図５は、スライダ１３４が除去された場合の図４のフレクシャ１４２の底面図
である。電線、トレース又は集積線１７４ａ，１７４ｂ，１７４ｃ，１７４ｄ（
まとめて「１７４」と呼ぶ）は、第１及び第２のアーム１６４ａ，１６４ｂ及び
クロスピース１６２に沿って、スライダ取り付け面１４７の近接端部１７０まで
延在する。さまざまな他の適切なトレース構成については、米国特許第６，０４
６，８８８号（Ｋｒｉｎｋｅら）に開示されている。スライダ取り付け面１４７
は、片持ち梁方式でクロスピース１６２に装着されるため、ギャップ１７６は、
近接端部１７０沿いを含み、面１４７の複数の側面の周囲に形成される。したが
って、コンタクトパッド１７２ａ，１７２ｂ，１７２ｃ，１７２ｄが、読み取り
／書き込みヘッド１６６（図４参照）と電気連結するために、近接端部１７０に
隣接するように配置される。

【００２８】一実施形態において、トレース１７４ａ，１７４ｂ，１７４ｃ，１７４ｄは、
複数のセグメントを含む。トレース１７４のセグメント１７５は、単独の電気導
線又はマイクロアクチュエータ（たとえば、米国特許第５，９９４，１５９号、
第５，９２３，７９８号、第５，９１２，０９４号、第６，０４６，８８８号参
照）、センサ、前置増幅器などの集積回路チップ又はさまざまな他の装置などの
何か他の装置であってもよい。無線又は添加物蒸着工程によって形成される集積
線、トレースキャリアラミネート又は米国特許第５，９８２，５８４号に開示さ
れるような無線フレクシャなどのさまざまな技術を用いて、本願明細書に開示さ
れる任意の実施形態に用いられる電気トレースを製作することができる。

【００２９】図６は、本発明による改良型スライダ１３４ａ及び改良型トレース１７４ａ，
１７４ｂ，１７４ｃ，１７４ｄ（まとめて「１７４」と呼ぶ）を備えたフレクシ
ャ１４２の底面図である。トレース１７４は、スライダ取り付け面（図５参照）
遠心端部１７１で終わる。コンタクトパッド１７２ａ，１７２ｂ，１７２ｃ，１
７２ｄ（まとめて「１７２」と呼ぶ）は、遠心端部１７１の付近に配置される。
改良型スライダ１３４ａは、近接端部１７０の付近で読み取り／書き込みヘッド
１６６にコンタクトパッド１７２を電気的に連結する集積電気導線１７３を含む
。電気導線１７３は、スライダ１３４ａの内部又は外部のいずれであってもよい
。

【００３０】図７は、他のフレクシャ２４２の底面図であり、電気トレース２７４ａ，２７
４ｂ，２７４ｃ，２７４ｄは、スライダ取り付け面２４７と第１及び第２のアー
ム２６４ａ，２６４ｂとの間のギャップ２７６を横断してスライダ取り付け面２
４７の近接端部２７０まで延在する。コンタクトパッド２７２ａ，２７２ｂ，２
７２ｃ，２７２ｄは、近接端２７３（図４参照）に向かう読み取り／書き込みヘ
ッド１６６と電気連結するために、近接端部２７０に隣接して配置される。

【００３１】図８は、別のフレクシャ３４２の上面図であり、電気トレース３７４がロード
ビーム３４０に沿って延在している。ホール又はバイア３７８が、ジンバル３４
２上のロードビーム３４０及びスライダ取り付け面３４７に形成されるため、ト
レース３７４の遠心端３７３がスライダと電気的に連結されることができる。し
たがって、フレクシャ３４２上に集積線を形成しなくてすむ。

【００３２】図９は、本反転ディスクドライブで用いるための逆ジンバル２８０の底面図で
ある。１組の外部アーム２８２が、１組の内部アーム２８６に接続する先端クロ
スピース２８４に遠心端２８３で装着される。内部アーム２８６が、逆ジンバル
２８０の近接端２８９に隣接する近接クロスピース２８８に接続された。近接ク
ロスピース２８８は、片持ち梁２９０及びスライダ取り付け面２９２に接続され
る。トレース２９４は、外部アーム２８２、先端クロスピース２８４、内部アー
ム２８６及び近接クロスピース２８２に沿ってスライダ取り付け面２９２まで巡
回する。本願明細書で用いられるとき、「逆ジンバル」とは、スライダ取り付け
面の近接側面に位置する片持ち梁を備えたジンバルを指す。一実施形態において
、座屈の危険性を最小限に抑えるために、先端クロスピース２８４は、ジンバル
２８０の遠心端側面でロードビーム（図示せず）に溶接される。逆ジンバル２８
０は、近接端２８９（図４参照）に向かう読み取り／書き込みヘッドを備えた従
来のスライダを利用することができる。

【００３３】図１０は、マイクロアクチュエータ式ヘッドサスペンションアセンブリ５０２
を備えた反転ディスクドライブ５００を示している。図示された実施形態におい
て、マイクロアクチュエータは、モータ５０４，５０６を具備する。モータ５０
４，５０６はそれぞれ、電圧に関してバイアスをかけることができるため、活性
部分５２４は、トラッキング制御信号に応じて、トラッキング軸５１０又は５１
２に沿って偏向される。マイクロアクチュエータを備えたヘッドサスペンション
アセンブリにおいて、活性部分５２４は一般に、フレクシャ５０８、剛性領域５
２６及びスプリング領域５２８を指す。マイクロアクチュエータは、圧電コイル
、電歪コイル、磁界発生コイル、微小電気機械装置（ＭＥＭＳ）、微小光学電気
機械装置（ＭＯＥＭＳ）などであってもよい。圧電素子又は電歪素子は磁界発生
コイルを用いないため、このような素子の使用によって、マイクロアクチュエー
タトラッキング信号と読み取り／書き込みプロセスの間の干渉の可能性を低減し
、一般には好ましい。マイクロアクチュエータを含む他の適切なヘッドサスペン
ションについては、米国特許第６，０４６，８８８号（Ｋｒｉｎｋｅら）に開示
されている。

【００３４】従来のディスクドライブにおいて、ディスク５１４は方向５１６に回転する。
アクチュエータアーム５０５及びアクチュエータアーム式サスペンションアセン
ブリ５０２に遭遇すると、生じる空気流５１８の運動エネルギーが増大する。よ
り高いエネルギー及びより高速の空気流５１８は、活性部分５２４で空気流によ
って発生する振動を増加させる。本反転ディスクドライブ５００において、ディ
スク５１４は方向５２０に回転するため、活性部分５２４は生じる空気流５２２
の中に引き込まれ、本願明細書で説明するように空気流によって発生する振動を
著しく低減する。

【００３５】下流に空気流減衰器を追加することによって、サスペンション気擦をさらに低
減することができる。下流の空気流減衰器は、ヘッドサスペンションが位置する
領域における空気の速度を低下させるように作用する。空気流減衰器は、ヘッド
サスペンションの周囲に高めの静圧（低速）空気を含む領域を形成するように作
用する。接近してくる空気が、高めの静圧の領域によって方向転換される。空気
流の速度の減速によって、動圧を全体に低下させる。

【００３６】図１１は、活性部分４２０の下流、さらに詳細にはヘッドジンバルアセンブリ
４１４の下流にある下流空気流減衰器４０２を具備する反転ディスクドライブ４
００を示している。減衰器４０２は、アクチュエータアーム４０４又はヘッドサ
スペンションアセンブリ４０６の不活性部分４２２に位置していてもよい。ヘッ
ドサスペンションアセンブリ４０６の不活性部分４２２は、一般には取り付け領
域及び／又はベースプレート４１６である活性部分４２０の下流の部分である。
一実施形態において、減衰器４０２は、ベースプレート４１６とアクチュエータ
アーム４０４との間の境界に位置する。

【００３７】本願明細書で用いられるとき、「減衰器」とは、主な機能が、活性部分に隣接
する領域において空気流の速度及び運動エネルギーを減少させることである活性
部分から下流に位置する構造物を指す。反転ディスクドライブにおけるヘッドジ
ンバルアセンブリが空気流の一部を再指向する間、再指向される空気流の量は、
減衰器によって再指向される量よりはるかに少ない。減衰器はまた、ヘッドサス
ペンションアセンブリ及びアクチュエータアームの境界を越えて延在する。一部
の実施形態の場合には、取り付け領域の近接端からフレクシャの遠心端まで測定
されるヘッドサスペンションの長さの関数として、減衰器の有効表面積を測定す
ることができる。たとえば、長さ約８．５ｍｍのヘッドサスペンションによって
分割される表面積約１０．０ｍｍ^２の減衰器は、比１．１８ｍｍを成す。

【００３８】図１１の実施形態において、減衰器４０２は、ヘッドジンバルアセンブリ４１
４の前縁４１５の有効表面積より大きい、空気流４０８と遭遇する有効表面積の
前縁を有する。本願明細書で用いられるとき、「前縁」とは、空気流と直接遭遇
する一定の構造物の前縁全体を指す。

【００３９】図示される実施形態において、減衰器４０２は、ヘッドサスペンションアセン
ブリ４０６の両面に延在する。別の実施形態において、減衰器４０２は、ヘッド
サスペンションアセンブリ４０６の１つの側面、上面及び／又は底面に沿って延
在してもよい。さらに別の実施形態において、ディスクドライブ４００は、アク
チュエータアーム４０４及びヘッドサスペンションアセンブリ４０６の両方に減
衰器を含んでもよい。反転ディスクドライブ４００の性質のために、アクチュエ
ータアーム４０４、Ｅ−ブロック、アンアマウントアーム（図３Ａ参照）及び／
又はベースプレート（図１２〜１４参照）の上に減衰器４０２を配置してもよい
。

【００４０】空気流４０８が減衰器４０２の周囲を移動するとき、減衰器４０２の直前の上
流にある領域４１２の空気流は、より低速で、より低い運動エネルギーを有する
。減速は、空気流４０８を制限する減衰器４０２によるため、部分的に空気流４
０８からヘッドサスペンション４０６を遮断し、空気流４０８の大部分が減衰器
４０２の両側にある最小の抵抗の経路を取るように促進する。減衰器４０２の上
流の領域において残っている空気流４０８は、より低速で、より低い運動エネル
ギーを有する。その結果、ヘッドジンバルアセンブリ４１４は、速度及びエネル
ギーの低減された領域に位置する。反転ディスクドライブにおいて減衰器を利用
することによって、ヘッドサスペンションの空気流によって生じる振動をさらに
低減することができる。

【００４１】本願明細書で用いられるとき、「空気流の速度」及び「空気流の運動エネルギ
ー」は、ヘッドサスペンション４０６及びアクチュエータアーム４１９から離れ
た領域で測定されることが好ましい。ヘッドジンバル付近の減速領域及び運動エ
ネルギーの低い領域は、ベースプレート及び／又はアクチュエータアームの下流
の直後の空気流の速度及び空気流の運動エネルギーに対して測定される。

【００４２】さまざまな方法及び形状で本発明の減衰器を設計し、製作することができる。
減衰器は、フレクシャ及びスライダの領域において最適な効果となるように設計
されたさまざまなサイズ及び幾何形状であってもよい。減衰器のサイズ、形状、
位置及び数は、用途に応じて変更することができる。１つの可能なトレードオフ
は、電力消費である。減衰器が大きくなればなるほど、ドライブモータにかかる
可能性がある抵抗も大きくなり、ディスクの回転を維持するためにさらに大きな
エネルギーが必要となる。

【００４３】図１２は、本発明によるヘッドサスペンションアセンブリ４４０の概略図であ
る。１組の減衰器４４４，４４６が、ロードビームを形成する材料と同一の材料
から一体形成され、ロードビームスチフナ４４８の両面に配置される。減衰器４
４４，４４６の曲げを容易にするために、部分的なエッチラインを形成してもよ
い。減衰器４４４，４４６はロードビームスチフナ４４８の両側に位置している
が、スチフナ４４８の一方の側面のみに減衰器がある場合も可能である。図１２
の実施形態において、ベースプレート４４２及び減衰器４４４，４４６は、不活
性部分４５８を含む。不活性部分は、反転ディスクドライブ（図３参照）におい
て活性部分４５６から下流に位置する。別法として、減衰器４４４，４４６は、
ベースプレート４４２と一体形成されてもよく、又はスポット溶接、接着剤又は
さまざまな他の技術によって、ベースプレート４４２に接着される個別の構成要
素として形成されてもよい。

【００４４】減衰器４４４，４４６は随意に、ロードビームスチフナ４４８の水平面から下
方に延在する。減衰器４４４，４４６はまた、ヘッドジンバルアセンブリ４５０
に向かって前方に曲線を描いて動く。空気流４５４によって生じる減速した速度
及び減少した運動エネルギーの領域４５２の形状を変更するために、減衰器４４
４，４４６の形状を修正することができる。一部の用途の場合には、２つ以上の
減衰器を同時に用いてもよい。別の実施形態において、減衰器４０２は、アクチ
ュエータアーム（又はＥ−ブロック）と一体形成されてもよい。

【００４５】図１３は、本発明による別のヘッドサスペンション４６０の斜視図である。ベ
ースプレート４６２は、ロードビームスチフナ４６８の両側に１組のカットアウ
ト４６６を有する一体形成された減衰器４６４を含む。減衰器４６４は図１３に
示される垂直位置で折り畳まれるとき、減衰器４６４の部分４７０がロードビー
ムスチフナ４６８の下方に延在する。また。減衰器４６４は、個別の構成要素と
して形成され、適切な技術を用いてヘッドサスペンションアセンブリ４６０に接
着されてもよい。図１３の実施形態において、減衰器４６４は、ヘッドサスペン
ション４６０の活性部分４７２の周囲に空気流４７８の減速された速度及び減少
された運動エネルギーの領域４７６を形成する。領域４７６の形状は、概略的に
示されているが、減衰器４６４の形状、サイズ及び位置に応じて変更することが
できる。

【００４６】図１４は、逆ベースプレート４９２の縁に形成される減衰器４９４を有する別
のヘッドサスペンションアセンブリ４９０を示している。ベースプレート４９２
の厚さ４９６×ベースプレート４９２の幅４９８は、減衰器４９４の有効表面積
を構成する。追加の形成工程又はスタンピング工程は必要ではない。上述したよ
うに、ベースプレート４９２がヘッドサスペンションアセンブリ４９０に接着さ
れるとき、空気流４９９を引き付けるために、減衰器４９４は活性部分４９７の
下流に配置される。

【００４７】実施例１図１５Ａ〜Ｄは、従来のディスクドライブの中で空気流によって生じる振動に
よって生成されるオフトラックの移動を示している。図１６Ａ〜Ｄは、反転ディ
スクドライブにおいて図１５Ａ〜Ｄで評価された同一のヘッドサスペンションに
よって生成されるオフトラックの移動を示している。図１５Ａ，１５Ｂ，１６Ａ
，１６Ｂは、１分当り約１０，０００回転及び１分当り約１５，０００回転の場
合のミネソタ州ハッチンソンに位置するHutchinson Technologyから入手可能な
Ｍａｇ５ｅマイクロアクチュエータ式ヘッドサスペンションの性能を示してい
る。図１５Ｃ，１５Ｄ，１６Ｃ，１６Ｄは、１分当り約１０，０００回転及び１
分当り約１５，０００回転の場合のミネソタ州ハッチンソンに位置するHutchins
on Technologyから入手可能な４２３０ＴＳＡヘッドサスペンションの性能を示
している。グラフは、ｎｍごとに気擦によって生じるオフトラックを示している
。

【００４８】グラフに示されるｚ高さは、アクチュエータマウントとディスク面との間の距
離である。図４に概ね示されているように、読み取り／書き込みヘッドが空気流
に対するスライダの下流側に位置するように、スライダは約１８０°回転された
。ヘッドサスペンションの配置には、ディスクの回転中心とアクチュエータアー
ムの回転中心との間に約６０ｍｍのギャップが含まれた。アクチュエータアーム
の回転中心からスライダまでの距離は、約５２ｍｍであった。スライダとディス
クの回転中心との距離は、約３０ｍｍであった。２つの隣接するディスクの間の
ギャップは、約２．４ｍｍであった。テストは、２つの回転ディスクの間にある
サスペンションを用いて行われた。

【００４９】図１６Ａに示されているように、１分当り約１０，０００回転で、Ｍａｇ５
ｅマイクロアクチュエータ式ヘッドサスペンションは、図１５Ａに示されている
ような従来のディスクドライブで生じる振動より、気擦によって生じる振動が約
６８％低減された。図１６Ｂに示されているように、１分当り約１５，０００回
転で、Ｍａｇ５ｅヘッドサスペンションは、図１５Ｂに示されているような従
来のディスクドライブで生じる振動より、気擦によって生じる振動が約６７％低
減された。

【００５０】同様に、図１６Ｃに示されているように、１分当り約１０，０００回転で、４
２３０ＴＳＡヘッドサスペンションは、図１５Ｃに示されているような従来の
ディスクドライブで生じる振動より、気擦によって生じる振動が約５５％低減さ
れた。図１６Ｄに示されているように、１分当り約１５，０００回転で、４２３
０ＴＳＡヘッドサスペンションは、図１５Ｄに示されているような従来のディ
スクドライブで生じる振動より、気擦によって生じる振動が約６１％低減された
。

【００５１】マイクロアクチュエータ式Ｍａｇ５ｅヘッドサスペンションは、アクチュエ
ータのない４２３０ＴＳＡヘッドサスペンションに比べて気擦によって生じる
振動をさらに大きく低減した。低減の差は、Ｍａｇ５ｅマイクロアクチュエー
タ式ヘッドサスペンションの望ましい空気力学特性によると考えられている。

【００５２】実施例２図１７Ａは、空気流減衰器がない場合の反転ディスクドライブにおいて空気流
によって生じる振動によって生成されるオフトラック移動を示している。図１７
Ｂは、空気流減衰器を備えた反転ディスクドライブにおいて空気流によって生じ
る振動によって生成されるオフトラック移動を示している。ヘッドサスペンショ
ンアセンブリは、ミネソタ州ハッチンソンに位置するHutchinson Technologyか
ら入手可能なＭａｇ５ｅであった。ディスクドライブは、１分当り約１０，０
００回転で作動した。空気流減衰器は、図１２に概ね示されているとおりであり
、有効表面積が１０ｍｍ^２であった。グラフは、ｎｍごとに気擦によって生じる
オフトラックを示している。

【００５３】図１７Ｂに示されているように、１分当り約１５，０００回転で、空気流減衰
器を有するヘッドサスペンションは、空気流減衰器がない場合のヘッドサスペン
ションによって生じる振動に比べて、気擦によって生じる振動が約３３％減少し
た。

【００５４】本発明の背景に記載されているものも含め、本願明細書に開示される特許及び
特許出願はすべて、参照によって本願明細書に引用される。前述の説明に関して
、本発明の精神から逸脱することなく、詳細に変更を行うことができることを理
解すべきである。たとえば、空気流減衰器、ヘッドサスペンション上のマイクロ
アクチュエータ及び／又は後方のフレクシャの任意の組合せに関して、本反転デ
ィスクドライブを用いることができる。本明細書及び示された態様は例示に過ぎ
ず、本発明の真の範囲及び精神は以下の請求項の広範な意味によって示されると
考えるべきである。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来技術のディスクドライブの概略図である。

【図２】従来技術のヘッドサスペンションの斜視図である。

【図３】本発明による反転ディスクドライブの概略図である。

【図３Ａ】本発明による別の反転ディスクドライブの概略図である。

【図４】本発明による反転ディスクドライブにおいて使用するためのヘッドサスペンシ
ョンの斜視図である。

【図５】本発明によるフレクシャの底面図である。

【図６】本発明による別のヘッドサスペンションの斜視図である。

【図７】本発明による別のフレクシャの底面図である。

【図８】本発明によるロードビーム及びフレクシャの上面図である。

【図９】本発明による反転ディスクドライブに使用するための逆ジンバルを備えたフレ
クシャの底面図である。

【図１０】本発明によるマイクロアクチュエータ式ヘッドサスペンションを有する反転デ
ィスクドライブの斜視図である。

【図１１】本発明による減衰器を含む反転ディスクドライブの概略図である。

【図１２】本発明による減衰器を含むヘッドサスペンションアセンブリのさまざまな実施
形態を示している。

【図１３】本発明による減衰器を含むヘッドサスペンションアセンブリのさまざまな実施
形態を示している。

【図１４】本発明による減衰器を含むヘッドサスペンションアセンブリのさまざまな実施
形態を示している。

【図１５ａ】従来のディスクドライブにおける第１のヘッドサスペンションの場合の気擦オ
フトラックを示すグラフデータである。

【図１５ｂ】従来のディスクドライブにおける第１のヘッドサスペンションの場合の気擦オ
フトラックを示すグラフデータである。

【図１５ｃ】従来のディスクドライブにおける第２のヘッドサスペンションの場合の気擦オ
フトラックを示すグラフデータである。

【図１５ｄ】従来のディスクドライブにおける第２のヘッドサスペンションの場合の気擦オ
フトラックを示すグラフデータである。

【図１６ａ】図１５ａ〜図１５ｂにおいて評価されたヘッドサスペンションを用いて反転デ
ィスクドライブにおける気擦オフトラックを示すグラフデータである。

【図１６ｂ】図１５ａ〜図１５ｂにおいて評価されたヘッドサスペンションを用いて反転デ
ィスクドライブにおける気擦オフトラックを示すグラフデータである。

【図１６ｃ】図１５ａ〜図１５ｂにおいて評価されたヘッドサスペンションを用いて反転デ
ィスクドライブにおける気擦オフトラックを示すグラフデータである。

【図１６ｄ】図１５ａ〜図１５ｂにおいて評価されたヘッドサスペンションを用いて反転デ
ィスクドライブにおける気擦オフトラックを示すグラフデータである。

【図１７ａ】下流の減衰器を備えていない場合の反転ディスクドライブの気擦オフトラック
を示すグラフデータである。

【図１７ｂ】下流の減衰器を備えている場合の反転ディスクドライブの気擦オフトラックを
示すグラフデータである。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (31)優先権主張番号６０／２２１，７５８ (32)優先日平成12年７月31日(2000．7．31) (33)優先権主張国米国（ＵＳ） (81)指定国ＪＰ (72)発明者リナーツウェイドエー．アメリカ合衆国ミネソタ州 55317 チャンハッセンサウスショアードライブ 7761 (72)発明者ウォルターレイモンドアール．アメリカ合衆国ミネソタ州 55350 ハッチンソンジョージェンソンストリートサウスイースト 1125 (72)発明者エヴァンスロバートビー．アメリカ合衆国ミネソタ州 55350 ハッチンソンヒドゥンサークル 525 (72)発明者クリンケトッドエー．アメリカ合衆国ミネソタ州 55373 ロックフォードチェリーレーン 5011 Ｆターム(参考） 5D059 AA01 BA01 CA11 CA21 DA26 DA36 DA37 EA01 EA03 EA08 5D096 NN03 NN07

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】反転ディスクドライブ用のヘッドサスペンションであって、近接端に取り付け領域、遠心端に剛性領域及び該取り付け領域と該剛性領域と
の間にスプリング領域を有するロードビームと、前記剛性領域の前記遠心端に取り付けられるフレクシャと、前記フレクシャに取り付けられるスライダであって、前記ロードビームの前記
近接端に最も近い近接端を有し、前記スプリング領域、前記剛性領域、前記フレ
クシャ及び前記スライダが活性部分を備える、スライダと、前記スライダの前記近接端に位置する１つ以上の読み取り／書き込みヘッドと
、を具備するヘッドサスペンション。
【請求項２】前記フレクシャが、前記剛性領域の前記遠心端に隣接するジ
ンバル遠心端と、ジンバル近接端とを含む逆ジンバルを具備し、該逆ジンバルが
、前記ジンバル近接端から前記ジンバル遠心端に隣接する先端クロスピースまで
延在する１組の外部アームと、前記先端クロスピースから前記ジンバル近接端に隣接する近接クロスピースま
で延在する１組の内部アームと、前記近接クロスピースをスライダ取り付け領域に接続する片持ち梁と、を具備
する請求項１に記載のヘッドサスペンション。
【請求項３】前記剛性領域と、前記スライダの後面に隣接する前記フレク
シャと、を通って延在するバイアと、前記バイアを通って延在し、前記スライダに電気的に結合される電気導線を具
備する請求項１に記載のヘッドサスペンション。
【請求項４】前記活性部分から下流に位置する１つ以上の空気流減衰器を
具備する請求項１に記載のヘッドサスペンション。
【請求項５】前記取り付け領域又はアンアマウントアームの不活性部分の
うちの一方に配置される少なくとも１つの空気流減衰器を具備する請求項１に記
載のヘッドサスペンション。
【請求項６】前記取り付け領域と一体形成される少なくとも１つの空気流
減衰器を具備する請求項１に記載のヘッドサスペンション。
【請求項７】前記ヘッドサスペンションの側面、上面又は底面の１つ以上
に沿って延在する１つ以上の空気流減衰器を具備する請求項１に記載のヘッドサ
スペンション。
【請求項８】前記フレクシャに隣接する減速された空気流の速度の領域を
形成するようになされた形状を含む１つ以上の空気流減衰器を具備する請求項１
に記載のヘッドサスペンション。
【請求項９】前記活性部分に隣接する減速された空気流の速度の領域を形
成するようになされた形状を含む１つ以上の空気流減衰器を具備する請求項１に
記載のヘッドサスペンション。
【請求項１０】１つ以上のマイクロアクチュエータを具備する請求項１に
記載のヘッドサスペンション。
【請求項１１】マイクロアクチュエータ、センサ又は集積回路のうちの１
つを含む電気トレースを具備する請求項１に記載のヘッドサスペンション。
【請求項１２】前記電気トレースの一部が、前記スライダと一体であり、
かつ前記スライダの遠心端から該スライダの近接端まで延在する請求項１１に記
載のヘッドサスペンション。
【請求項１３】前記フレクシャが、前記ロードビームの前記近接端に向かって延在する自由端を有する片持ち梁式
スライダ取り付け面と、前記自由端と前記フレクシャとの間のギャップと、前記ギャップに広がる１つ以上の電気トレースと、前記ギャップに広がる前記電気トレースと電気的に結合される前記自由端の付
近で前記スライダ取り付け面の上にあるコンタクトパッドと、を具備する請求項１に記載のヘッドサスペンション。
【請求項１４】反転ディスクドライブ用のヘッドサスペンションであって
、近接端に取り付け領域、遠心端に剛性領域、及び前記取り付け領域と前記剛性
領域との間にスプリング領域を有するロードビームと、前記剛性領域の前記遠心端に取り付けられるフレクシャと、１つ以上の読み取り／書き込みヘッドを有する前記フレクシャに取り付けられ
るスライダであって、前記スプリング領域、前記剛性領域、前記フレクシャ及び
前記スライダが活性部分を備える、スライダと、トラッキング制御信号に応じて、前記スライダを移動させるようになされた１
つ以上のマイクロアクチュエータと、を具備するヘッドサスペンション。
【請求項１５】前記剛性領域と、前記スライダの後面に隣接する前記フレ
クシャと、を通って延在するバイアと、前記バイアを通って延在し、前記スライダに電気的に結合される電気導線を具
備する請求項１４に記載のヘッドサスペンション。
【請求項１６】前記活性部分から下流に位置する１つ以上の空気流減衰器
を具備する請求項１４に記載のヘッドサスペンション。
【請求項１７】前記取り付け領域又はアンアマウントアームの不活性部分
のうちの一方に配置される少なくとも１つの空気流減衰器を具備する請求項１４
に記載のヘッドサスペンション。
【請求項１８】前記取り付け領域と一体形成される少なくとも１つの空気
流減衰器を具備する請求項１４に記載のヘッドサスペンション。
【請求項１９】前記ヘッドサスペンションの側面、上面又は底面の１つ以
上に沿って延在する１つ以上の空気流減衰器を具備する請求項１４に記載のヘッ
ドサスペンション。
【請求項２０】前記フレクシャに隣接する減速された空気流の速度の領域
を形成するようになされた形状を含む１つ以上の空気流減衰器を具備する請求項
１４に記載のヘッドサスペンション。
【請求項２１】前記活性部分に隣接する減速された空気流の速度の領域を
形成するようになされた形状を含む１つ以上の空気流減衰器を具備する請求項１
４に記載のヘッドサスペンション。
【請求項２２】反転ディスクドライブ用のヘッドサスペンションであって
、近接端に取り付け領域、遠心端に剛性領域、及び前記取り付け領域と前記剛性
領域との間にスプリング領域を有するロードビームと、前記剛性領域の前記遠心端に取り付けられるフレクシャと、前記フレクシャに取り付けられる１つ以上の読み取り／書き込みヘッドを有す
るスライダであって、前記スプリング領域、前記剛性領域、前記フレクシャ及び
前記スライダが活性部分を備える、スライダと、前記活性部分から下流に位置する１つ以上の空気流減衰器と、を具備するヘッドサスペンション。
【請求項２３】前記フレクシャが、逆ジンバルを具備する請求項２２に記
載のヘッドサスペンション。
【請求項２４】前記取り付け領域又はアンアマウントアームの不活性部分
のうちの一方に配置される少なくとも１つの空気流減衰器を具備する請求項２２
に記載のヘッドサスペンション。
【請求項２５】前記取り付け領域に接着される少なくとも１つの空気流減
衰器を具備する請求項２２に記載のヘッドサスペンション。
【請求項２６】前記取り付け領域と一体形成される少なくとも１つの空気
流減衰器を具備する請求項２２に記載のヘッドサスペンション。
【請求項２７】前記ヘッドサスペンションの側面、上面又は底面の１つ以
上に沿って延在する１つ以上の空気流減衰器を具備する請求項２２に記載のヘッ
ドサスペンション。
【請求項２８】前記フレクシャに隣接する減速された空気流の速度の領域
を形成するようになされた形状を含む１つ以上の空気流減衰器を具備する請求項
２２に記載のヘッドサスペンション。
【請求項２９】前記活性部分に隣接する減速された空気流の速度の領域を
形成するようになされた形状を含む１つ以上の空気流減衰器を具備する請求項２
２に記載のヘッドサスペンション。
【請求項３０】１つ以上のマイクロアクチュエータを具備する請求項２２
に記載のヘッドサスペンション。
【請求項３１】マイクロアクチュエータ、センサ又は集積回路のうちの１
つを含む電気トレースを具備する請求項２２に記載のヘッドサスペンション。
【請求項３２】１つ以上のディスクと、近接端に取り付け領域、遠心端に剛性領域及び前記取り付け領域と前記剛性
領域との間にスプリング領域を有するロードビームと、前記剛性領域の前記遠心端に取り付けられるフレクシャと、前記フレクシャに取り付けられるスライダであって、前記ロードビームの前
記近接端に最も近い近接端を有し、前記スプリング領域、前記剛性領域、前記フ
レクシャ及び前記スライダが活性部分を備える、スライダと、前記スライダの前記近接端に位置する１つ以上の読み取り／書き込みヘッド
と、を具備する１つ以上のヘッドサスペンションと、を具備する反転ディスクドライブ。
【請求項３３】前記活性部分から下流に位置する１つ以上の空気流減衰器
と、を具備する請求項３２に記載の反転ディスクドライブ。
【請求項３４】前記取り付け領域又はアンアマウントアームの不活性部分
のうちの一方に配置される少なくとも１つの空気流減衰器を具備する請求項３２
に記載の反転ディスクドライブ。
【請求項３５】アクチュエータアームに位置する少なくとも１つの空気流
減衰器を具備する請求項３２に記載の反転ディスクドライブ。
【請求項３６】前記ヘッドサスペンションの側面、上面又は底面の１つ以
上に沿って延在する１つ以上の空気流減衰器を具備する請求項３２に記載の反転
ディスクドライブ。
【請求項３７】前記フレクシャに隣接する減速された空気流の速度の領域
を形成するようになされた形状を含む１つ以上の空気流減衰器を具備する請求項
３２に記載の反転ディスクドライブ。
【請求項３８】前記活性部分に隣接する減速された空気流の速度の領域を
形成するようになされた形状を含む１つ以上の空気流減衰器を具備する請求項３
２に記載の反転ディスクドライブ。
【請求項３９】１つ以上のマイクロアクチュエータを具備する請求項３２
に記載の反転ディスクドライブ。
【請求項４０】マイクロアクチュエータ、センサ又は集積回路のうちの１
つを含む電気トレースを具備する請求項３２に記載の反転ディスクドライブ。
【請求項４１】前記電気トレースの一部が、前記スライダと一体であり、
かつ該スライダの遠心端から近接端まで延在する請求項４０に記載の反転ディス
クドライブ。
【請求項４２】１つ以上のディスクと、近接端に取り付け領域、遠心端に剛性領域、及び前記取り付け領域と前記剛
性領域との間にスプリング領域を有するロードビームと、前記剛性領域の前記遠心端に取り付けられるフレクシャと、前記スプリング領域、前記剛性領域、前記フレクシャ及び前記スライダが活
性部分を備える、１つ以上の読み取り／書き込みヘッドを有する前記フレクシャ
に取り付けられるスライダと、トラッキング制御信号に応じて前記スライダを移動させるようになされた１
つ以上のマイクロアクチュエータと、を具備する１つ以上のヘッドサスペンションと、を具備する反転ディスクドライブ。
【請求項４３】１つ以上のディスクと、近接端に取り付け領域、遠心端に剛性領域、及び前記取り付け領域と前記剛
性領域との間にスプリング領域を有するロードビームと、前記剛性領域の前記遠心端に取り付けられるフレクシャと、前記スプリング領域、前記剛性領域、前記フレクシャ及び前記スライダが活
性部分を備える、前記フレクシャに取り付けられる１つ以上の読み取り／書き込
みヘッドを有するスライダと、前記活性部分から下流に位置する１つ以上のマイクロアクチュエータと、を具備する１つ以上のヘッドサスペンションと、を具備する反転ディスクドライブ。