JP2003516533A - 偏光解析装置及び偏光解析方法 - Google Patents

偏光解析装置及び偏光解析方法

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JP2003516533A
JP2003516533A JP2001543989A JP2001543989A JP2003516533A JP 2003516533 A JP2003516533 A JP 2003516533A JP 2001543989 A JP2001543989 A JP 2001543989A JP 2001543989 A JP2001543989 A JP 2001543989A JP 2003516533 A JP2003516533 A JP 2003516533A
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polarization
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ドナム システムズ インコーポレイティッド.
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J4/00Measuring polarisation of light
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
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    • G01J4/00Measuring polarisation of light
    • G01J4/04Polarimeters using electric detection means

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  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
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  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】 本発明は、光の偏光状態を測定する装置、及びその測定方法に関し、この装置は、相互異なる周波数で回転する位相遅延板と偏光子とを含んでなる。本発明の方法は、位相遅延板と偏光子を通った光信号を検出して多様な周波数成分を解析し、偏光状態を示すストークスパラメータを求めることを特徴とする。本発明によると、位相遅延板における位相遅延量を、周波数成分解析を通じて偏光状態と同時に解析することができるため、これにより誤差を減少することができるのみならず、広い波長域でも使用することができるという長所を有する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】 (技術分野) 本発明は、光の偏光状態を測定する装置、及びその測定方法に関する。
【0002】 (背景技術) 光の偏光状態を表現する方法にはいろいろがあるが、そのうちの代表的なもの
は、ストークスパラメータ(Stokes parameter)を使用する方
法である。ストークスパラメータは、以下に説明するように、S、S、S 及びSの4つの要素からなっている。ここで、Sは、光の強さの総和、S は、0°線偏光の強さから90°線偏光の強さを引いた値、Sは、45°線偏
光の強さから−45°線偏光の強さを引いた値、Sは、右旋性円偏光の強さか
ら左旋性円偏光の強さを引いた値でそれぞれ定義されるが、入射光E(t)を数
1のように示す時、ストークスパラメータは、数2で示すことができる。
【0003】
【数1】 但し、ここでEとEは、それぞれ実数である。
【0004】
【数2】 但し、ここでη=φ−φであり、< >は、時間平均を意味する。
【0005】 このようなストークスパラメータを測定する方法は、空間分割測定方法と時分
割測定方法とに大別できる。
【0006】 図1は、空間分割測定方法を説明するための図面である。 図1を参照すると、第1の光検出器30aは、4方向ビームスプリッター10
(4−way beam splitter)より出た光を偏光子なしに測定し
、光の強さの総和Iを得る。また、第2の光検出器30bの前には0°方向に
整列された線形偏光子20aが、第3の光検出器30cの前には45°方向に整
列された線形偏光子20bがそれぞれ設けられ、各方向の線偏光成分のIとI を測定する。第4の光検出器30dは、45°方向に整列された1/4波長の
位相遅延板15と0°方向に整列された線形偏光子20cとを通った光を測定し
、光の強さIを得るが、この光の強さIは、右旋性円偏光の強さに該当する
。このように測定された光の強さI、I、I及びIは、ストークスパラ
メータと以下の数3の関係を有する。
【0007】
【数3】
【0008】 図1により説明された方法によると、光を均等に4等分して4つの光検出器で
同時に測定することができるため、測定速度が速い。しかし、4つの光検出器を
必要とするため装置的に具現し難く、また光検出器毎に検出感度(sensit
ivity)に差が生じ得るため、困難さがある。
【0009】 図2は、時分割測定方法を説明するための図面である。図2を参照すると、光
検出器220の前にその角度を適切にそれぞれ回転させることができる位相遅延
板200と偏光子210が順番に設けられている。従って、その角度調節を通じ
て、ストークスパラメータと数3の関係で関連づけられたI、I、I及び
を測定することができる。しかし、この方法は、位相遅延板200と偏光子
210を相互正確な角度をなすように動かさなければないという困難さを有する
【0010】 前記の空間分割測定方法や時分割測定方法は、幾つかの形態への変更が可能で
ある。しかし、これらの方法の脆弱点は、位相遅延板として1/4波長遅延板を
主に使用するが、この位相遅延量が波長の関数であるため、これによる誤差を誘
発する恐れがあるという点である。
【0011】 (発明の開示) 従って、本発明の技術的課題は、単純化した構造を有する偏光解析装置を提供
することである。
【0012】 本発明の別の技術的課題は、向上した測定速度を有する偏光解析方法を提供す
ることである。
【0013】 本発明のまた別の技術的課題は、偏光状態の解析に際しての誤差を減少し、広
い波長域における光の偏光状態を解析する方法を提供することである。特に、位
相遅延板の波長に対する位相遅延量の変化に伴う測定の誤差を低減することであ
る。
【0014】 前記の技術的課題を解決するための、本発明の偏光解析装置は、位相遅延板の
速い軸と遅い軸に対する入力光の偏光成分間に位相遅延を与えると同時に、第1
の一定速度で回転する位相遅延板と;前記位相遅延板を通った光の偏光状態を変
化させると同時に、第2の一定速度で回転する偏光子と;前記偏光子を通った光
の強さを検出するための検出手段;及び前記検出手段より検出された光の周波数
成分を抽出し、入力光の偏光状態を解析するための信号処理部とを備えることを
特徴とする。
【0015】 ここで、前記位相遅延板は、約1/4波長の板であるのが好ましい。 また、前記の別の技術的課題を解決するための、本発明による偏光状態解析方
法は、遅い軸と速い軸とを有し、第1の一定速度で回転する位相遅延板に入力光
を通過させ、入力光の偏光成分間に周期的な偏光状態変化を与えるステップと;
前記偏光状態が変化された光を第2の一定速度で回転する偏光子に入射させ、光
の強さを変化させるステップと;前記光の強さを検出するステップ;及び前記検
出された光の強さから多様な周波数成分を抽出し、これよりストークスパラメー
タを求めるステップとを備えることを特徴とする。
【0016】 本発明の方法において、前記第1の一定速度と第2の一定速度とが、相互異な
るのが好ましく、それらの速度の大きさは、同じでその方向が逆になるようにし
ても良い。
【0017】 また、前記第1の一定速度と第2の一定速度とを相互同一にし、その速度比が
1:3〜3:1範囲内の値を有するようにしてもよい。
【0018】 (発明を実施するための最良の形態) 先ず、本発明を効率的に説明するために幾つかの数学的表現を言及することに
する。 2次元平面において角度θの回転行列R(θ)は、以下の数4のように表現さ
れる。
【0019】
【数4】
【0020】 一方、遅い軸(slow axis)と速い軸(fast axis)との間
の位相差が、2φであり、遅い軸がx偏光に向く位相遅延板の行列表現W(0)
は、以下の数5のように表現される。
【0021】
【数5】
【0022】 遅い軸と速い軸との間の位相差が、2φであり、遅い軸がθ回転された位相遅
延板の行列表現W(θ)は、以下の数6のように表現される。
【0023】
【数6】
【0024】 透過偏光がx偏光である偏光子の行列表現P(0)は、以下の数7の通りであ
る。
【0025】
【数7】
【0026】 透過偏光がθ回転された偏光子の行列表現P(θ)は、以下の数8の通りであ
る。
【0027】
【数8】
【0028】 一方、任意の入力偏光を表現するジョーンズベクトルEは、以下の数9の通り
である。
【0029】
【数9】 但し、ここでEとEは、それぞれ実数である。
【0030】 位相遅延板がそれぞれθ、θの方向にある時、これらを通過した後の光の
強さIは、以下の数10のように表現される。
【0031】
【数10】
【0032】 以下、図面を参照して本発明の実施例について説明することにする。 図3は、本発明の実施例による偏光解析装置の概略図である。図3を参照する
と、入力光が、第1の一定速度で回転する位相遅延板300、これと逆方向の第
2の一定速度で回転する偏光子310、検出器320、及び信号処理部330を
順に通る。位相遅延板300は、前記の数で言及したように、速い軸方向に入射
した偏光成分と遅い軸方向に入射した偏光成分との間に位相差を生じる。かかる
位相差により位相遅延板300を通った光の偏光状態が変わるようになるが、位
相遅延板が一定速度で回転すると、この回転周期により光の偏光状態も周期的に
変わるようになる。
【0033】 図4は、1/4波長の位相遅延板に対し線偏光された入射光と速い軸間の角度
が変わるにつれて出力偏光の状態がどのように変わるかを示す図面である。
【0034】 一方、任意の偏光成分が線形偏光子を通る場合、その偏光子の透過軸の成分の
みが通ることができる。図3の偏光子310に入射する偏光成分は、既に位相遅
延板300の回転によりその偏光状態が変わっているため、偏光子310を通る
光の強さもこれに応じて変わるようになる。任意の位相遅延板及び偏光子の角度
θとθに対する透過光の強さに対する表現を前記の数10に示した。
【0035】 数10の結果から、仮に位相遅延板300がfの周波数で回転し、偏光子3
10がfの周波数で回転するとすれば、即ちθ=2πft、θ=2πf tを満たすとすれば、光の強さIの多様な周波数成分のうちの直流成分、si
n4π(f−f)t成分、sin4πft成分、cos4πft成分、
sin4π(2f−f)t成分、cos4π(2f−f)t成分である
、I、Ifw−fp、Ifp,s、Ifp,c、I2fw−fp,s、I2f w−fp,c の大きさは、それぞれ以下の数11のように与えられる。
【0036】
【数11】
【0037】 仮に、入射光の成分のうち、偏光されていない成分の強さが、Iupほど存在
するとすれば、他の成分は変化がなくI成分のみが数12のように変わるよう
になる。
【0038】
【数12】
【0039】 数11及び12の成分をストークスパラメータと関連づけると、以下の数13
の関係を得る。
【0040】
【数13】
【0041】 前記の関係から、本発明の偏光状態の測定原理は、1つの位相遅延板と偏光子
をそれぞれfとfの周波数で回転させながら測定した光の強さを、フーリエ
変換(Fourier transform)して得られるそれぞれの周波数成
分を数13に代入し、偏光解析に使用されるストークスパラメータを求めるもの
である。
【0042】 一方、数13におけるsin2φは、Ifp,cとI2fw−fp,cとの比
率、若しくはIfp,sとI2fw−fp,sとの比率から求められるtan φにより以下の数14の関係から求められる。
【0043】
【数14】
【0044】 従って、本発明によると、位相遅延板における位相遅延量2φを事前に知らな
い場合であるとしても本測定によりその値が分かるという長所がある。この長所
は、位相遅延板における位相遅延量が一般に波長の関数で与えられる値で、光源
の波長に応じてその値が変わるという点を考慮する時、光源の波長を知らない場
合、言い換えれば、位相遅延量を正確に知らない場合でも適用することができる
という長所がある。
【0045】 数13を導き出す過程において、初期時間t=0で偏光子と位相遅延板の角度
はいずれも0°にした。一般の場合、両初期角度のいずれを正確に0°に合わせ
るのは煩わしいため、偏光子の角度が0°になる瞬間を初期時間t=0とし、位
相遅延板の初期角度を任意の角度θw0とする場合に、この角度についての情報
は、cos4π(f−f)tに比例する成分の大きさとsin4π(f
)tに比例する成分の大きさから抽出することができ、θw0の存在による
数13の変更は、一定の数学的な知識のある者であれば、容易に見出すことがで
きる。
【0046】 本発明の装置では、位相遅延板、偏光子、光検出器がそれぞれ1つずつのみ使
用されるため、偏光状態を検出する装置を小型、低コストで構成することができ
、位相遅延板における位相遅延量を事前に知る必要がないため、広い波長域で正
確な測定を行うことができる。
【0047】 また、通常の時分割測定方法では、位相遅延板及び偏光子の角度を正確に固定
する必要があるが、本発明では、偏光子が0°を通る瞬間に測定を初期化するこ
とで位相遅延板の角度が分かるため、初期状態の位相遅延板の角度を事前に知っ
ておく必要がないという付加的な長所もある。
【図面の簡単な説明】
【図1】 図1は、空間分割測定方法を説明するための装置の図面である。
【図2】 図2は、時分割測定方法を説明するための図面である。
【図3】 図3は、本発明の実施例による偏光解析装置の概略図である。
【図4】 図4は、1/4波長の位相遅延板に対し線偏光された入射光と速い軸間の角度
が変わることにより出力偏光の状態がどのように変わるかを示す図面である。

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 自分の速い軸と遅い軸に対する入力光の偏光成分間に位相遅
    延を与えると同時に、第1の一定速度で回転する位相遅延板と; 前記位相遅延板を通った光の偏光状態を変化させると同時に、第2の一定速度で
    回転する偏光子と; 前記偏光子を通った光の強さを検出するための検出手段;及び 前記検出手段より検出された光の電気的信号の周波数成分を抽出し、入力光の偏
    光状態を解析するための信号処理部と; を備える偏光解析装置。
  2. 【請求項2】 前記位相遅延板が、約1/4波長の板であることを特徴とす
    る、請求項1に記載の偏光解析装置。
  3. 【請求項3】 遅い軸と速い軸とを有し、第1の一定速度で回転する位相遅
    延板に入力光を通過させ、入力光の偏光成分間に周期的な偏光状態変化を与える
    ステップと; 前記偏光状態が変化された光を第2の一定速度で回転する偏光子に入射させ、光
    の強さを変化させるステップと; 前記光の強さを検出するステップ;及び 前記検出された光の強さから多様な周波数成分を抽出し、これよりストークスパ
    ラメータを求めるステップと; を備える入力光の偏光状態の解析方法。
  4. 【請求項4】 前記第1の一定速度と第2の一定速度とが、相互異なること
    を特徴とする、請求項3に記載の入力光の偏光状態の解析方法。
  5. 【請求項5】 前記第1の一定速度と第2の一定速度とが、その大きさは同
    じで、その方向が逆であることを特徴とする、請求項4に記載の入力光の偏光状
    態の解析方法。
  6. 【請求項6】 前記第1の一定速度と第2の一定速度とが、相互同一方向で
    あり、その速度比が、1:3〜3:1範囲内の値を有することを特徴とする、請
    求項3に記載の入力光の偏光状態の解析方法。
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