JP2003516211A - Ｘ線吸収度を調整しうるフィルタ素子を有するフィルタとｘ線吸収センサとを具えるｘ線装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 Ｘ線放射ビームを生じるＸ線源と、このＸ線放射ビームを検出するＸ線検出器と、前記Ｘ線源及びＸ線検出器間に配置されたフィルタ素子を有し、互いに独立する各フィルタ素子内でＸ線放射ビームを個別に減衰させるＸ線フィルタとを具えるＸ線装置を提供する。各フィルタ素子（２１３）は導電性でＸ線吸収性の流体（３２）を収容することができ、この流体は供給通路（３０）を介して供給され、各フィルタ素子のＸ線吸収値は、各フィルタ素子内の流体（３２）のレベルを段歩的に調整することにより個別に調整しうる。各フィルタ素子は、フィルタ素子の壁部内に位置する第１電極を有し、この第１電極はフィルタ素子（２１３）の長さ方向でセグメント化されており、フィルタ素子のセグメントの壁部に電位を印加してフィルタ素子の内側容積部を流体（３２）で段歩的に充填するためにこれらセグメントを２つの副群に電気的に組合せる。このフィルタ素子（２１３）の内側容積部（３１）内の流体柱状部（３２）の長さを検出するために、測定手段（５０、６０）を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】 本発明は、Ｘ線ラジオグラフィーの分野、特に、Ｘ線放射ビームを生じるＸ線
源と、Ｘ線放射ビームを検出するＸ線検出器と、Ｘ線吸収媒体を収容するととも
に前記Ｘ線源及び前記Ｘ線検出器間に配置されてＸ線放射ビームを吸収するフィ
ルタ素子を有するフィルタとを具えるＸ線装置であって、Ｘ線放射ビームの伝搬
方向でのＸ線吸収媒体の柱状部の長さを変えることにより前記フィルタ素子のＸ
線吸収特性を個別に制御しうるようになっており、フィルタ素子に対する電圧供
給手段と、個別のフィルタ素子のＸ線吸収特性に関する量を測定する電気的測定
手段とを具える電気的手段が設けられている当該Ｘ線装置に関するものである。

【０００２】 Ｘ線源とＸ線検出器との間に位置させるＸ線等化フィルタが設けられた上述し
た種類のＸ線装置は、米国特許第 5,778,046号明細書に記載されており、既知で
ある。この既知のＸ線等化フィルタは、Ｘ線一次ビーム中に位置される整形可能
な組織内に入れられたＸ線吸収マスクを有し、このマスクの材料の局部的な厚さ
を変えうるようになっている。この既知のＸ線装置は、放射線診断の分野に、特
に、人体のＸ線透過像を得るのに用いることができる。人体のある領域、特に胸
部はＸ線吸収度が全く異なる組織を有しており、その結果、Ｘ線透過像において
Ｘ線検出器上の画素の黒化が異なるようになる。Ｘ線透過像における黒化の範囲
がダイナミックレンジとして規定される。Ｘ線等化フィルタの機能は、Ｘ線透過
像の画質を良好にするために、低電子密度の患者領域を、Ｘ線画像装置のダイナ
ミックレンジに整合するように補償させることにある。

【０００３】 既知のＸ線装置では、Ｘ線吸収マスクの柱状部の長さを局部的に変更しうる機
械的なピストンのマトリックスを用い、これによりＸ線流束量を局部的に変更し
ている。ピストンはニッケル‐チタンワイヤにより駆動され、各ニッケル‐チタ
ンワイヤの個別の長さを、このワイヤに供給される電流により制御している。電
流をワイヤに供給すると、ワイヤの温度が増大し、ワイヤの長さが減少する。従
って、ニッケル‐チタンワイヤを縮めるのに、又は元の長さに戻すのにある時間
が必要となる。更に、既知のＸ線装置の論理によれば、まず最初に低照射のＸ線
像を得て必要なマスクプロファイルを計算し、次に整形したマスクをＸ線一次ビ
ーム中に配置する。従って、処理全体にかなり長い時間が失われる。既知のＸ線
装置では、Ｘ線吸収マスクの所望の二次元等化プロファイルが５秒以内に得られ
る。放射線診断の分野では、像収集のタイミング特性が、特に胸部の動きにより
得られる像のアーティファクトの為に重要な役割を奏する。

【０００４】 更に、既知のＸ線等化フィルタは、８×８又は１６×１６個程度の少数のピス
トンを有する。しかし、高画質のＸ線診断像を得るには、この程度の空間解像度
では不充分な場合がある。更に、画質保証の目的及びＸ線等化フィルタの動作制
御のためには、フィルタ内のＸ線吸収媒体の柱状部の局部的な長さを検出する手
段を設けるのが望ましい。既知のＸ線装置では、各ピストンの位置を検出してお
り、この場合その目的のために特に構成したポテンシオメータを用いている。ポ
テンシオメータに対するピストンの運動の為に、対応する電気回路における局部
的な抵抗値が変化し、これにより、抵抗値の変化程度がＸ線吸収マスクの柱状部
の長さと直接相関性があるようにしている。

【０００５】 本発明の目的は、空間解像度が高く、動作速度が速いダイナミックビーム減衰
フィルタを有し、簡単な電気回路を用いてＸ線吸収媒体の柱状部の長さを直接検
出するようにしたＸ線装置を提供せんとするにある。この目的を達成するために
本発明によるＸ線装置では、前記フィルタ素子が、導電特性とＸ線吸収特性とを
持つ充填流体を有するＸ線吸収媒体を収容する内側容積部を具える管状構造体で
あり、各フィルタ素子のＸ線吸収度が前記内側容積部内のＸ線吸収流体の柱状部
の長さに依存し、各フィルタ素子は、その壁部に第１の電位を供給する第１電極
と、導電特性の流体に第２の電位を供給する第２電極とを有し、前記第１電極は
アイソレータ層により導電特性の流体から分離され、これにより前記第１電極と
導電性の流体との間にキャパシタンスを規定し、前記電気的測定手段は個別のフ
ィルタ素子における前記キャパシタンスを測定するように構成されていることを
特徴とする。

【０００６】 本発明によるＸ線装置では、互いに組合せた複数の管状フィルタ素子を有する
フィルタを構成し、個別のフィルタ素子がＸ線吸収流体を収容し、各フィルタ素
子内のＸ線吸収流体の位置的レベルを個別に制御しうるようにし、フィルタ素子
内のＸ線吸収流体の実際のレベルを、簡単な電気的手段を用いて検知することに
より、高度の空間解像度が達成される。各フィルタ素子の動作は、既知の電気的
な付着（ウエッティング）の物理効果に基づいている。

【０００７】 フィルタ素子の動作を説明するために、Ｘ線吸収流体の種々の組成を考慮する
必要がある。まず第一に、塩を液体（例えば、水）に溶解させることにより、導
電特性とＸ線吸収特性とを有するＸ線吸収流体を得ることができる。この溶液は
導電特性とＸ線吸収特性との双方を有する単一成分流体である。これとは相違し
て、導電特性のみを有しＸ線吸収度を無視しうる第１流体成分と、Ｘ線吸収特性
のみを有し絶縁体である第２流体成分との２成分流体溶液を形成することができ
る。これにより得られる溶液は導電特性とＸ線吸収特性との双方を有する流体で
ある。互いに混合できない２つの流体から２成分流体を形成することもでき、こ
の場合、第１流体は主として導電特性を有するとともにＸ線吸収特性を無視しう
る流体であり、第２流体は主としてＸ線吸収特性を有し、絶縁体である。この得
られた２成分流体は互いに重なる２つの流体柱状部を有し、対応する流体成分に
それぞれ対応する物理特性が寄与している。

【０００８】 電気的な付着現象の本質は、金属の表面上の導電性流体とこの金属との間の接
触角の変化、従って、接触面の疎水性の変化に現れる。この目的のために、各フ
ィルタ素子がフィルタ素子の壁部内に位置する第１電極を有し、この壁部に第１
の電位を与えるようにする。各フィルタ素子の内側容積部内には第２電極を位置
させ、導電性流体に第２の電位を与えるようにする。第１電極はアイソレータ層
により内側壁から分離させる。フィルタ素子の組成を所定のものにした場合、一
組の動作電圧、すなわち、フィルタ素子を導電性流体で充填させる“充填”電圧
と、導電性流体のメニスカス部を所望のレベルに保持する“保持”電圧と、フィ
ルタ素子を空にする“空”電圧とを得る。この種類のフィルタ素子の動作は既知
であり、米国特許第 5,625,665号明細書に詳細に説明されている。Ｘ線吸収媒体
が単一成分流体であるか、導電性流体成分とＸ線吸収流体成分との溶液である場
合、フィルタ素子内に単一の液体柱状部が得られ、そのレベルがＸ線吸収度を規
定する。Ｘ線吸収流体が１つよりも多い、例えば２つの互いに混合できない成分
を有する場合には、フィルタ素子の内側容積部内に、Ｘ線伝搬方向で互いに分離
した２つの流体柱状部が存在し、これらの２つの流体柱状部はＸ線伝搬方向に対
し直角な相互分離面を有し、フィルタ素子内のＸ線吸収流体成分の柱状部の長さ
は、従って、Ｘ線吸収度は導電性流体成分の柱状部の長さによりそのまま規定さ
れる。

【０００９】 第１電極はアイソレータ層により導電性流体成分から分離されているという事
実により、キャパシタンスが発生される。このキャパシタンスの値は、導電性流
体成分による充填度の直接的な目安となる。本発明のＸ線装置に用いるべきＸ線
フィルタの一例では、前記電気的測定手段が、個別のフィルタ素子の第１及び第
２電極に交流電流を与える交流源と、この交流電流により個別のフィルタ素子内
に誘起される交流信号を測定する交流検出器とを有する電気回路を具えているこ
とを特徴とする。この場合、導電性流体成分のレベルを検知するために、簡単な
電気回路を有しキャパシタンスを測定する電気的測定手段が得られる。

【００１０】 交流電流が第１の電位の電圧供給手段に妨害を及ぼさないようにするために、
本発明によるフィルタの他の例では、前記電気的測定手段が、それぞれのキャパ
シタンスと直列に接続されて分圧器を構成している他の回路素子を具えているこ
とを特徴とする。この他の回路素子の好適例は追加のキャパシタンスであるも、
これに限定されるものではない。

【００１１】 又、第１の電位と交流通路との間の電気的な妨害を回避する為に、本発明の更
に他の例では、前記電圧供給手段は、個別のフィルタ素子に第１の電位を供給す
るために高インピーダンスを有していることを特徴とする。

【００１２】 多くの放射線診断分野では、フィルタ素子を空か充満かのいずれかで動作させ
ずに、フィルタ素子当り中間値を有しうるようにするのが望ましい。この問題に
対する１つの可能な解決策は、第１電極をＸ線伝搬方向での電極セグメントのス
タックに分割することである。この場合のフィルタ素子充填制御は、“充填”電
圧をセグメント間で適切に切換えることにより達成される。本発明によるフィル
タの更に他の例では、個別のフィルタ素子の第１電極がＸ線伝搬方向におけるセ
グメントのスタックを有し、隣り合うセグメントは互いに電気的に分離されてお
り、前記第１の電位は前記電圧供給手段によりセグメント間で切換わってＸ線伝
搬方向でのＸ線吸収流体の柱状部の長さを変えるようになっており、前記交流信
号の振幅は時間の関数であり、セグメント間の第１の電位の切換えを、時間に対
する交流信号の性質に依存して制御する制御手段が設けられていることを特徴と
する。

【００１３】 本例は、フィルタ素子のセグメントを導電性流体成分で充填している間、フィ
ルタ素子当りのキャパシタンスは時間に対する増大関数となるという認識に基づ
いている。対応するセグメントが充填され、次のセグメントに“充填”電圧が印
加されないと、キャパシタンスは飽和領域に到達する。フィルタ素子の内側容積
部内での流体増加を望む場合には、この領域を次のセグメントへの“充填”電圧
の設定に対するトリガとして用いることができる。この目的のために、本発明に
よる更に他の例では、前記制御手段は、セグメント間の第１の電位の切換えを、
交流信号が飽和領域に達することによりトリガするように構成されていることを
特徴とする。順次のセグメント間の“充填”電圧の切換えは時間的に臨界的な処
理である。その理由は、次のセグメントが電気的付着力を引き上げる力を得るた
めに、導電性液体のメニスカス部が次のセグメントの付近に位置するようにする
必要がある為である。キャパシタンス曲線の飽和領域は、メニスカス部が次のセ
グメントの付近に到達し、従って、切換えを行い得るということを表わす。

【００１４】 本発明の上述した観点及びその他の観点を図面につき説明する。図中、同一の
符号は対応する素子を示す。 図１は、本発明によるフィルタを有するＸ線装置の線図を示す。Ｘ線源１はＸ
線ビーム２を放出し、このＸ線ビームに、検体３、例えば検査すべき患者が曝さ
れる。検体３中のＸ線の吸収量が局部的に相違する為、この場合光増幅器撮像チ
ェインであるＸ線検出器４上にＸ線像が形成される。Ｘ線像はＸ線光増幅器６の
入射スクリーン５上に形成され、出射窓７上の光の像に変換され、この光の像が
レンズ系８によりビデオカメラ９上に結像される。ビデオカメラ９はこの光の像
から電子像信号を形成する。この電子像信号は、例えば他の処理のために、像処
理ユニット１０に供給されるか、或いは、モニタ１１に供給されて、このモニタ
上にＸ線像中の像情報が表示される。

【００１５】 Ｘ線源１と検体３との間には、Ｘ線ビーム２に沿う管状構造体の形態の種々の
フィルタ素子１３によりＸ線ビーム２を局部的に減衰させるフィルタ１２が配置
されており、そのＸ線吸収度は各フィルタ素子の壁部内に位置する電極に電圧を
印加することにより調整しうる。この電圧は、例えばＸ線像の輝度値及びＸ線源
の設定値の双方又はいずれか一方に基づいて電圧供給手段１４により調整する。
この目的のためには、Ｘ線源の電源１５及びビデオカメラ９の出力端子１６に調
整回路を結合させる。

【００１６】 出射窓の光の一部は、分割プリズム１９により照射制御システム２０に案内さ
れ、この照射制御システムが光の像から制御信号を取出して出射窓上の像の像情
報に基づいて高電圧の供給を制御する。出射窓上の像の像情報を受けるために、
フィルタ１２の電圧供給手段１４は照射制御システム２０に結合されており、従
って、フィルタ１２を出射窓７上の像に基づいて調整しうる。

【００１７】 フィルタ１２の構成及び向きは、フィルタ素子１３がほぼＸ線ビーム２の伝搬
方向に延在するようになっており、従って、空間Ｘ線吸収パターンの均一な空間
分解能がＸ線ビームの断面に亙って達成される。或いはまた、フィルタ１２は、
フィルタ素子１３が互いにほぼ平行に延在するように構成することもできる。こ
の場合、Ｘ線ビームが発散すると、ほぼ全てのＸ線がフィルタ素子を少なくとも
部分的に通過するようになり、従って、Ｘ線は２つのフィルタ素子間を減衰なし
に通過しえなくなる。電圧供給手段はフィルタ素子１３の壁部に位置する電極に
電圧を供給し、フィルタ素子の内面へのＸ線吸収流体の被着を制御するようにす
る。フィルタ素子を高Ｘ線吸収度に調整するためには、電圧供給手段１４により
関連のフィルタ素子の壁部に第１の値の電圧を印加し、次にこの関連のフィルタ
素子を、貯蔵室１７から供給通路１８を介して供給されるＸ線吸収流体を内面に
強く被着させることによりこのＸ線吸収流体で満たす。フィルタ素子を低Ｘ線吸
収度に調整するためには、電圧供給手段１４により、例えばフィルタ素子の内側
容積部内の基準電極の電位に等しい第２の値の電位を、フィルタ素子の壁部に印
加し、このフィルタ素子が貯蔵室１７からのＸ線吸収流体で満たされないように
する。フィルタ１２の一般的な構成及びＸ線吸収流体の組成は米国特許第 5,625
,665号明細書に詳細に説明されている。フィルタ素子の構成を、図２につき更に
詳細に説明する。

【００１８】 図２ａは、図１のフィルタ１２のフィルタ素子１３を線図的に示す断面図であ
る。このフィルタ素子１３には、供給通路３０を介してＸ線吸収流体３２が充填
される。この場合、このＸ線吸収流体３２は、導電特性とＸ線吸収特性とを併せ
持つ１種類の均質な液体を成している。このフィルタ１２における各フィルタ素
子に対して、長さ方向ｚ及び内側容積部３１が規定してあり、この内側容積部で
は、対応するフィルタ素子の壁部３８が境界となっている。各フィルタ素子は、
アイソレータ層４４により内側容積部３１から電気的に分離された導電層の形態
で、壁部３８内に位置する第１電極３３と、壁部３８の内面上に位置する不活性
被覆層３５と、Ｘ線吸収流体３２に電位を与える第２電極３９とを有する。フィ
ルタ素子１３の導電層３３は、スイッチに、本例では電界効果トランジスタ４５
のドレイン接点４０に結合され、この電界効果トランジスタのソース接点４１は
電圧供給手段３６に接続されている。制御電圧供給ライン３７から電界効果トラ
ンジスタ４５のゲート接点３４に供給される制御電圧により、この電界効果トラ
ンジスタ４５は導通モードにされる、換言すればスイッチが閉成される。このよ
うにすることにより、電圧供給手段３６から第１電極３３に電圧が印加される。
電圧供給手段３６が“充填”電圧値である電圧を生じると、Ｘ線吸収流体３２の
メニスカス部と不活性被覆層３５とが成す接触角θが減少し、フィルタ素子１３
にＸ線吸収流体が充填される。

【００１９】 図２ｂは、Ｘ線吸収流体が２種類の互いに混合しえない第１及び第２の流体成
分を有し、第１の流体成分１３２を、導電特性と無視しうるＸ線吸収特性とを有
する液体とし、第２の流体成分１３４を、高Ｘ線吸収特性を有する電気絶縁液体
とし、これらの流体成分をそれぞれ独自の供給通路１２０及び１２１からフィル
タ素子１１３に供給する場合の図１のフィルタ１２のフィルタ素子１１３を示す
線図的断面図である。フィルタ素子１１３の他の機能的部分は図２ａのフィルタ
素子の機能的部分に類似しており、従ってフィルタ素子１１３の内側容積部３１
内の第１の流体成分のレベルも同様に制御される。従って、フィルタ素子の内側
容積部内の第２の流体成分のレベルは、これらの２種類の流体成分が相互分離面
１３０を有するという事実のために、この内側容積部内の第１の流体成分のレベ
ルによりそのまま決定される。フィルタ素子は、第１及び第２の流体成分が相互
分離面を有さずに、気相の層（図２ｂに図示せず）により分離されるように設計
することもできる。これらの場合のＸ線吸収度はフィルタ素子１１３の内側容積
部内の第２の液体成分の柱状部の長さにより決定される。

【００２０】 図３は、図２のフィルタ素子の機能的な線図であり、第１電極はフィルタ素子
２１３の長さ方向ｚでセグメント化されており、２つの電気的な副群１２３及び
１２４を形成している。Ｘ線吸収流体３２を導電性流体成分とＸ線吸収流体成分
との溶液とし、これを供給通路３０からフィルタ素子２１３内に供給する場合に
つき、フィルタ素子の機能を説明する。図３ａは、電圧供給手段１３６により制
御されるフィルタ素子の電極の２つの電気的な副群１２３及び１２４に関する線
図を示す。電気スイッチ１３８は電極の一方の副群から他方の副群に、及びその
逆に交互に電圧を供給する。図３ａは更に、正弦波発生器の形態の交流源５０と
交流検出器６０とを有する流体レベル検出回路をも線図的に示す。スイッチング
制御ユニット７０は、スイッチ１３８による副群１２３及び１２４間の電圧切換
えのタイミング制御を実行する。図３ｂは、電圧供給手段１３６により第１電極
の対応する副群に供給される電圧パルスの時間表示を示す。Ｘ線吸収流体３２を
供給通路３０からフィルタ素子２１３の内側容積部３１内に、更にこの内側容積
部中に進むように送給するためには、第１電極の副群間の電気的な切換えを、各
セグメント内での流体レベル検出の結果に基づいて、スイッチング制御ユニット
７０により制御的に行う必要がある。図３ｃは、交流検出器６０からの信号ｓの
時間に対する対応する経過を示す。この図３ｃに示すように、交流検出器６０の
信号ｓの各立上り部９０は、対応するセグメント内で流体が上昇していることに
相当し、各台地部９２は、流体が対応するセグメントを充填した瞬時に相当して
いる。この説明は、この種類のフィルタ素子の電気等価回路に基づいて行ったも
のであり、この等価回路を図４に示す。

【００２１】 図４は、第１電極をセグメント化し、これらのセグメントに基づく２つの電気
的な副群を形成したフィルタ素子内の流体レベルを検出する電気等価回路を示し
ている。図４ａに示すように、セグメントの各副群は、これと流体との間に形成
される可変キャパシタンス１４０により表わすことができ、このキャパシタンス
の値は流体によるこの副群の充填度合の関数となる。フィルタ素子の副群の充填
を開始する電圧供給手段１３６がスイッチ１３８を介してこれらの副群に電圧を
供給する。測定手段は、交流源５０と、検出器１００及び１０２の電気回路とを
有する。交流信号が電圧供給手段１３６により短絡されないようにするために、
ＭΩレンジの抵抗１３７及び１３９を交流源５０と電圧供給手段１３６との間に
設ける。フィルタ素子１４０のキャパシタンスを測定するために、各副群１４０
の等価キャパシタンスと、本例では２０ｐＦ程度とした、追加のキャパシタンス
１３３及び１３５とを有する容量性分圧器を設ける。図４ｂは、測定手段（検出
器）１００及び１０２によりそれぞれ測定された結果信号Ｖ１及びＶ２を示す。
本例では、検出された信号はセグメントにまたがる電圧である。流体がセグメン
ト内で上昇するにつれ、セグメントの対応するインピーダンスが減少し、これに
より、セグメントにまたがる電圧を減少させる。流体が最大レベルまで上昇する
と、測定電圧が一定値に到達する。図４ｃは、フィルタ素子内の流体レベルの検
出を更に改善する方法を示す。図４ａによれば、測定手段１００及び１０２が検
出器からの信号を差動増幅器１０１に供給し、この差動増幅器の出力端における
結果信号は図４ｃに示すようになる。この信号の台地部を検出することにより、
対応する副群間の切換えを可能にしうる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明によるフィルタを具えるＸ線装置を示す線図である。

【図２ａ】 図１のフィルタのフィルタ素子を示す線図的断面図である。

【図２ｂ】 図２ａの変形例を示す線図的断面図である。

【図３ａ】 第１電極をセグメント化し、この第１電極が２つの電極副群を構成
している、図２のフィルタ素子を機能的に示す線図である。

【図３ｂ】 第１電極に供給する電圧パルスを示す線図である。

【図３ｃ】 図３ａで得られる信号の経過を示す線図である。

【図４ａ】 図３ａのフィルタ素子の電気等価回路を示す線図である。

【図４ｂ】 図４ａで得られる測定結果信号を示す線図である。

【図４ｃ】 測定結果信号の変形例を示す線図である。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 4C093 AA01 CA09 DA03 EA02 EA11 FA15 FA16 FA18 FA60

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 Ｘ線放射ビームを生じるＸ線源と、Ｘ線放射ビームを検出するＸ
   線検出器と、Ｘ線吸収媒体を収容するとともに前記Ｘ線源及び前記Ｘ線検出器間
   に配置されてＸ線放射ビームを吸収するフィルタ素子を有するフィルタとを具え
   るＸ線装置であって、Ｘ線放射ビームの伝搬方向でのＸ線吸収媒体の柱状部の長
   さを変えることにより前記フィルタ素子のＸ線吸収特性を個別に制御しうるよう
   になっており、フィルタ素子に対する電圧供給手段と、個別のフィルタ素子のＸ
   線吸収特性に関する量を測定する電気的測定手段とを具える電気的手段が設けら
   れている当該Ｘ線装置において、 前記フィルタ素子が、導電特性とＸ線吸収特性とを持つ充填流体を有するＸ線
   吸収媒体を収容する内側容積部を具える管状構造体であり、各フィルタ素子のＸ
   線吸収度が前記内側容積部内のＸ線吸収流体の柱状部の長さに依存し、各フィル
   タ素子は、その壁部に第１の電位を供給する第１電極と、導電特性の流体に第２
   の電位を供給する第２電極とを有し、前記第１電極はアイソレータ層により導電
   特性の流体から分離され、これにより前記第１電極と導電性の流体との間にキャ
   パシタンスを規定し、前記電気的測定手段は個別のフィルタ素子における前記キ
   ャパシタンスを測定するように構成されていることを特徴とするＸ線装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載のＸ線装置に用いるＸ線フィルタにおいて、前記
   電気的測定手段が、個別のフィルタ素子の第１及び第２電極に交流電流を与える
   交流源と、この交流電流により個別のフィルタ素子内に誘起される交流信号を測
   定する交流検出器とを有する電気回路を具えていることを特徴とするＸ線フィル
   タ。
3. 【請求項３】 請求項２に記載のＸ線フィルタにおいて、前記電気的測定手段が
   、それぞれのキャパシタンスと直列に接続されて分圧器を構成している他の回路
   素子を具えていることを特徴とするＸ線フィルタ。
4. 【請求項４】 請求項３に記載のＸ線フィルタにおいて、前記他の回路素子が追
   加のキャパシタンスであることを特徴とするＸ線フィルタ。
5. 【請求項５】 請求項２に記載のＸ線フィルタにおいて、前記電圧供給手段は、
   個別のフィルタ素子に第１の電位を供給するために高インピーダンスを有してい
   ることを特徴とするＸ線フィルタ。
6. 【請求項６】 請求項２に記載のＸ線フィルタにおいて、個別のフィルタ素子の
   第１電極がＸ線伝搬方向におけるセグメントのスタックを有し、隣り合うセグメ
   ントは互いに電気的に分離されており、前記第１の電位は前記電圧供給手段によ
   りセグメント間で切換わってＸ線伝搬方向でのＸ線吸収流体の柱状部の長さを変
   えるようになっており、前記交流信号の振幅は時間の関数であり、セグメント間
   の第１の電位の切換えを、時間に対する交流信号の性質に依存して制御する制御
   手段が設けられていることを特徴とするＸ線フィルタ。
7. 【請求項７】 請求項６に記載のＸ線フィルタにおいて、前記制御手段は、セグ
   メント間の第１の電位の切換えを、交流信号が飽和領域に達することによりトリ
   ガするように構成されていることを特徴とするＸ線フィルタ。